JP3963360B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波装置に関し、特にたとえば、通過帯域周波数の異なる２つ以上の弾性表面波フィルタを含む弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
移動体通信システムの高度化、グローバル化に伴い、複数のシステムを使用する複合無線通信端末が使用されるようになってきた。また、１つのシステムに対して、複数の不連続な周波数帯域を受信帯域または送信帯域として使用するシステムも利用されている。このような複雑な無線回路を構成するデバイスとして、弾性表面波フィルタは重要な役割を担っており、分波器や共用器など複数の通過帯域周波数を備えた複合フィルタへの要望が高まっている。
【０００３】
従来、周波数帯域の異なる弾性表面波フィルタを組み合わせて分波器などの装置を作製する場合には、別々に作製された２つの弾性表面波フィルタ素子を同一のパッケージ内に実装する方法が一般的に用いられてきた。これは、動作周波数が異なり、フィルタの中心周波数に対する通過帯域幅の比（比帯域幅）が異なる場合には、最適な櫛形電極の膜厚や、使用する圧電基板が必ずしも同一でないためである。しかしながら、この方法では装置の形状が大型になる。このため、櫛形電極の設計を工夫し、１つの圧電基板上に形成された２つの異なる弾性表面波フィルタを備える装置が提案されている（特開２０００−５９１７６号公報参照）。
【０００４】
以下に、図面を用いて従来の弾性表面波装置９００について詳細に説明する。図１８は、弾性表面波装置９００の構成を示す概念図であり、図１９は、弾性表面波装置９００のチップレイアウトを模式的に示す上面図である。弾性表面波装置９００は、第１の入出力端子９０１、第２の入出力端子９０２、第３の入出力端子９０４、第１の櫛形電極対９１１および９２１、第２の櫛形電極対９１２および９２２、第３の櫛形電極対９１３および９２３、反射器９１４および９２４を備える。第１の櫛形電極対９１１、第２の櫛形電極対９１２、第３の櫛形電極対９１３および反射器９１４は、第１の弾性表面波フィルタ９１０を構成する。第１の櫛形電極対９２１、第２の櫛形電極対９２２、第３の櫛形電極対９２３および反射器９２４は、第２の弾性表面波フィルタ９２０を構成する。また、図１９に示すように、弾性表面波装置９００は、圧電基板９５０と圧電基板９５０上に形成された接地端子（電極パッド）を備える。
【０００５】
第１の弾性表面波フィルタ９１０は、中心周波数をｆ１（通過周波数帯域はｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈ）とする縦モード型の弾性表面波フィルタである。また、第２の弾性表面波フィルタ９２０は、第１の弾性表面波フィルタ９１０とはその通過帯域周波数の異なる縦モード型の表面波フィルタである。ここで、第２の弾性表面波フィルタ９２０の中心周波数をｆ２とし、通過周波数帯域をｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈとする。各周波数は、ｆ２Ｌ＜ｆ２Ｈ＜ｆ１Ｌ＜ｆ１Ｈの関係を満たし、それぞれの弾性表面波フィルタの通過周波数帯域は互いに重ならないように設定されている。
【０００６】
第１および第２の弾性表面波フィルタ９１０および９２０の第１の櫛形電極対９１１および９２１には、第１の入出力端子９０１が接続されている。第１の弾性表面波フィルタ９１０において、櫛形電極対の電極指の数および交差幅は、点Ａから第１の弾性表面波フィルタを見たときのインピーダンスが、ｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの帯域において整合がとれるように、且つｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において無限大に近づくように設定されている。また、第２の弾性表面波フィルタ９２０において、櫛形電極対の電極指の数および交差幅は、点Ａから第２の弾性表面波フィルタを見たときのインピーダンスが、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において整合がとれるように、且つｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの帯域において無限大に近づくように設定されている。
【０００７】
このように第１および第２の弾性表面波フィルタ９１０および９２０を設計することによって、第１および第２の弾性表面波フィルタ９１０および９２０では、それぞれの通過帯域周波数の信号が損失なく分波される。そして、第２の入出力端子９０２からは、第１の弾性表面波フィルタ９１０を通過したｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの信号が出力され、第３の入出力端子９０４からは、第２の弾性表面波フィルタ９２０を通過したｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの信号が出力される。
【０００８】
以上のように、櫛形電極の設計を最適化することによって、複数の異なる通過帯域周波数を備えた、いわゆる１入力２出力型の弾性表面波装置（分波器や共用器など）を同一基板上に形成することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の弾性表面波装置の場合には、複数の弾性表面波フィルタを１つの圧電基板上に形成するため、櫛形電極の配線レイアウトが複雑であり、素子形状が大きいという課題を有していた。また、配線の引き回しが長くなるため、寄生インピーダンスの影響や、配線抵抗の影響によって、弾性表面波フィルタ独自の特性を十分に引き出せないという課題があった。
【００１０】
このような状況に鑑み、本発明は、複数の弾性表面波フィルタを備える小型の弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、前記第１の櫛形電極対は、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、前記第１の櫛形電極対は、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であることを特徴とする。この本発明の弾性表面波装置では、第１の櫛形電極対が第１および第２の弾性表面波フィルタに共用されるため、装置の小型化が可能である。
【００１３】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第２の櫛形電極対と前記第３の櫛形電極対とは電極指ピッチが異なり、前記第１および第２の櫛形電極対は、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、前記第１および第３の櫛形電極対は、前記第２の弾性表面波フィルタの電極であってもよい。
【００１４】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の弾性表面波フィルタの通過帯域周波数が前記第２の弾性表面波フィルタの通過帯域周波数よりも高く、前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第２の電極指群の電極指ピッチをＰＨとし、前記第３の電極指群の電極指ピッチをＰＬとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＨと前記ＰＬとがＰＨ＜ＰＣ＜ＰＬを満たしてもよい。この場合、前記ＰＣが、前記ＰＨと前記ＰＬとの平均値に等しくてもよい。
【００１５】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第２の電極指群の電極指ピッチをＰＨとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＨとが等しくてもよい。また、上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第３の電極指群の電極指ピッチをＰＬとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＬとが等しくてもよい。
【００１６】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指群は、第１の電極指部と、前記第１の電極指部よりも電極指ピッチが大きい第２の電極指部と、前記第１の電極指部と前記第２の電極指部とを接続する接続部とを備え、前記第１の電極指部と前記第２の櫛形電極対とが、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、前記第２の電極指部と前記第３の櫛形電極対とが、前記第２の弾性表面波フィルタの電極であってもよい。この場合、前記第１の電極指と平行な方向（弾性表面波の伝播方向に垂直な方向）における前記接続部の長さが、前記第１の電極指部の電極指ピッチの２０倍以下であってもよい。
【００１７】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指部に含まれる前記第１の電極指の数と、前記第２の電極指部に含まれる前記第１の電極指の数とが異なってもよい。
【００１８】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対が、前記第１の電極指に平行な１つの直線に対して線対称であってもよい。
【００１９】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対を中心として前記第２の櫛形電極対と対称に配置された第４の櫛形電極対と、前記第２および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第１および第２の反射器と、前記第１の櫛形電極対を中心として前記第３の櫛形電極対と対称に配置された第５の櫛形電極対と、前記第３および第５の櫛形電極対を挟むように配置された第３および第４の反射器とをさらに含み、前記第１の弾性表面波フィルタが、前記第１、第２および第４の櫛形電極対と前記第１および第２の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであり、前記第２の弾性表面波フィルタが、前記第１、第３および第５の櫛形電極対と前記第３および第４の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００２０】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第２および第３の櫛形電極対を中心として前記第１の櫛形電極対と対称に配置された第４の櫛形電極対と、前記第１および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第１および第２の反射器と、同じく前記第１および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第３および第４の反射器とを含み、前記第１の弾性表面波フィルタが、前記第１、第２および第４の櫛形電極対と前記第１および第２の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであり、前記第２の弾性表面波フィルタが、前記第１、第３および第４の櫛形電極対と前記第３および第４の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００２１】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１、第２および第３の櫛形電極対が、それぞれ、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であり、前記第１および第２の弾性表面波フィルタが、それぞれ縦モード型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００２２】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１、第２および第３の櫛形電極対にそれぞれ接続された第１、第２および第３の入出力端子を含み、前記第１の櫛形電極対と前記第１の入出力端子との間、前記第２の櫛形電極対と前記第２の入出力端子との間、前記第３の櫛形電極対と前記第３の入出力端子との間から選ばれる少なくとも１つの位置に、１つの櫛形電極対とその両側に配置された２つの反射器とからなる弾性表面波共振器をさらに備えてもよい。
【００２３】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対に接続された第１の入出力端子を含み、前記第１の入出力端子から受信した電気信号を、前記第１および第２の弾性表面波フィルタでそれぞれの通過帯域周波数に分波して出力してもよい。
【００２４】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対に接続された第１の入出力端子を含み、前記第１および第２の弾性表面波フィルタのいずれか一方のフィルタが前記第１の入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、前記第１および第２の弾性表面波フィルタの他方のフィルタが前記第１の入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。
【００２５】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される第１および第２の入出力端子を含み、前記第１の入出力端子から電気信号を受信し、前記第２の入出力端子から電気信号を出力してもよい。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて具体的に説明する。
【００２７】
（実施形態１）
本発明の一例である弾性表面波装置１００の平面図を図１に示す。弾性表面波装置１００は、圧電基板１５０と圧電基板１５０上に形成された電極とを備える。弾性表面波装置１００は、第１の入出力端子１０１、第２の入出力端子１０２、第３の入出力端子１０３と、接地端子１６０と、第１の弾性表面波フィルタ１１０および第２の弾性表面波フィルタ１２０を構成する電極とを含む。
【００２８】
圧電基板１５０には、弾性表面波装置に一般的に使用される圧電基板を用いることができる。たとえば、圧電基板１５０として、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどを用いることができる。電極は、金属で形成できる。たとえばアルミニウムを主成分とする合金からなる電極を、公知のフォトリソグラフィー技術を用いることによって形成できる。
【００２９】
圧電基板１５０上に形成されている電極のパターンを図２に模式的に示す。なお、図２においては、理解を容易にするために電極指の数を減らして図を描いている。実際の装置における電極指の数は、たとえば数十本〜数百本程度である。
【００３０】
弾性表面波装置１００は、圧電基板１５０上に形成された、第１の櫛形電極対１１１、第２の櫛形電極対１１２、第３の櫛形電極対１１３、第４の櫛形電極対１１４、第５の櫛形電極対１１５、第１の反射器１１６、第２の反射器１１７、第３の反射器１１８および第４の反射器１１９を備える。第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４は、第１の櫛形電極対１１１を挟むように配置されている。第１および第２の反射器１１６および１１７は、第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４を挟むように配置されている。第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５は、第１の櫛形電極対１１１を挟むように配置されている。第３および第４の反射器１１８および１１９は、第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５を挟むように配置されている。
【００３１】
図３に示すように、第１の櫛形電極対１１１は、複数の第１の電極指１１１ａからなる第１の電極指群を含む。同様に、第２の櫛形電極対１１２は複数の第２の電極指１１２ａからなる第２の電極指群を含み、第３の櫛形電極対１１３は複数の第３の電極指１１３ａからなる第３の電極指群を含む。他の電極対も同様の構成を有する。これらの電極指は、互いに平行である。なお、電極指の接続部を除いて電極指が互いに平行であることは、以下の実施形態においても同様である。
【００３２】
図２に示すように、第１の弾性表面波フィルタ１１０は、第１、第２および第４の櫛形電極対１１１、１１２および１１４と、第１および第２の反射器１１６および１１７とによって構成される。第１の櫛形電極対１１１は、第１の弾性表面波フィルタ１１０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９１１と同様の機能を奏する。第２の弾性表面波フィルタ１２０は、第１、第３および第５の櫛形電極対１１１、１１３および１１５と、第３および第４の反射器１１８および１１９とによって構成される。第１の櫛形電極対１１１は、第２の弾性表面波フィルタ１２０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９２１と同様の機能を奏する。
【００３３】
第１の櫛形電極対１１１は、第１の弾性表面波フィルタ１１０の弾性表面波伝搬部（櫛形電極部の開口部、以下、単に弾性表面波フィルタ部とも記す）と、第２の弾性表面波フィルタ１２０の弾性表面波伝搬部とをカバーするように配置されている。したがって、第１の櫛形電極対１１１は、第１および第２の弾性表面波フィルタの共用励振電極となっている。
【００３４】
第１の弾性表面波フィルタ１１０は、中心周波数をｆ１（通過周波数帯域はｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈ）とする縦モード型の弾性表面波フィルタである。実施形態１の一例において、第１の弾性表面波フィルタ１１０の通過帯域は８７０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚであり、その中心周波数は８７７．５ＭＨｚである。
【００３５】
また、第２の弾性表面波フィルタ１２０も、第１の弾性表面波フィルタ１１０と同様に、縦モード型の表面波フィルタであるが、第１の弾性表面波フィルタ１１０とは通過帯域周波数が異なるように設計されている。ここで、第２の弾性表面波フィルタ１２０の中心周波数をｆ２とし、通過周波数帯域をｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈとする。実施形態１の一例において、弾性表面波フィルタ１２０の通過帯域は８１０ＭＨｚ〜８４３ＭＨｚであり、その中心周波数は８２６．５ＭＨｚである。これらの周波数帯域は、ｆ２Ｌ＜ｆ２Ｈ＜ｆ１Ｌ＜ｆ１Ｈの関係を満たす。すなわち、それぞれの弾性表面波フィルタの通過周波数帯域は、互いに重ならないように設定されている。
【００３６】
第１の弾性表面波フィルタ１１０の中心周波数ｆ１は、フィルタを構成する第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４の電極指ピッチ（ＰＨとする）と圧電基板１５０の弾性表面波伝搬速度とに関連している。同様に、第２の弾性表面波フィルタ１２０の中心周波数ｆ２は、フィルタを構成する第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５の電極指ピッチ（ＰＬとする）と圧電基板１５０の弾性表面波伝搬速度とに関連している。ｆ２＜ｆ１の関係を満たすため、第１の弾性表面波フィルタ１１０の電極指ピッチＰＨは、第２の弾性表面波フィルタ１２０の電極指ピッチＰＬよりも小さくなっている。なお、電極指ピッチとは、電極指の中心から隣接する電極指の中心までの距離を意味する。
【００３７】
一方、２つの弾性表面波フィルタに共有される第１の櫛形電極対１１１の電極指ピッチ（ＰＣとする）は、実施形態１では、ｆ１とｆ２との平均の周波数で最大の励振強度が得られるように設定される。したがって、実施形態１では、ＰＣを、ＰＨとＰＬとの平均値に略一致するように設定した。これによって、第１の弾性表面波フィルタ１１０および第２の弾性表面波フィルタ１２０の全帯域において有効に弾性表面波を励振することができ、弾性表面波装置としての通過損失を小さくすることができる。
【００３８】
なお、実施形態１では、ＰＣの値を上記のように設定したが、ＰＨまたはＰＬと一致させてもよい。ＰＣの値は、ＰＨとＰＬとの間である方が好ましく、第１の弾性表面波フィルタの中心周波数ｆ１とその比帯域幅、および、第２の弾性表面波フィルタの中心周波数ｆ２とその比帯域幅の組み合わせに応じて最適化することが好ましい。
【００３９】
第１の櫛形電極対１１１は、一方の櫛形電極が第１の入出力端子１０１に接続されており、他方の櫛形電極は接地されている。第１の入出力端子１０１は、第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される。また、第２の櫛形電極対１１２の一方の櫛形電極、および第４の櫛形電極対１１４の一方の櫛形電極は、第２の入出力端子１０２に接続されている。第３の櫛形電極対１１３の一方の櫛形電極、および第５の櫛形電極対１１５の一方の櫛形電極は、第３の入出力端子１０３に接続されている。
【００４０】
第１の入出力端子１０１から弾性表面波装置をみたインピーダンスは、ｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において整合がとれている。また、第２の入出力端子１０２から弾性表面波装置をみたインピーダンスは、ｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において整合がとれており、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域においては高インピーダンスとなるように設定されている。逆に、第３の入出力端子から弾性表面波装置をみたインピーダンスは、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域で整合がとれており、ｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域においては、高インピーダンスとなるように設定されている。このような構成によって、１入力２出力型の弾性表面波装置が得られる。
【００４１】
すなわち、第１の入出力端子１０１から入力される高周波信号のうちｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域の信号は、反射されることなく第１の櫛形電極対１１１に印加される。そして、ｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの信号は第１の弾性表面波フィルタ１１０でフィルタリングされ、第２の入出力端子１０２から出力される。また、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの信号は、第２の弾性表面波フィルタ１２０でフィルタリングされ、第３の入出力端子１０３から出力される。このようにして、互いに周波数帯域の重ならない２つ信号を分波することができる。
【００４２】
たとえば、実施形態１の一例では、第１の弾性表面波フィルタ１１０の通過帯域を８７０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚとし、第２の弾性表面波フィルタ１２０の通過帯域を８１０ＭＨｚ〜８４３ＭＨｚとすることができる。このように設定することによって、８００ＭＨｚ帯国内ディジタル携帯電話の複合受信フィルタを構成することができる。
【００４３】
なお、図２には、第２および第３の入出力端子１０２および１０３が不平衡型端子である装置について示した。しかし、図４に示すように、第２および第３の入出力端子を平衡型としてもよい。図４の装置では、第１の弾性表面波フィルタ１１０の第２の入出力端子１０２ａと１０２ｂとから、位相が１８０度異なる信号がそれぞれ出力される。同様に、第２の弾性表面波フィルタ１２０の第３の入出力端子１０３ａと１０３ｂとからも、位相が１８０度異なる信号がそれぞれ出力される。
【００４４】
図５（ａ）に、不平衡型の入出力端子をもつ２つの弾性表面波フィルタからなる弾性表面波装置の構成を示する。図５（ｂ）に、不平衡型の共通入出力端子と平衡型の入出力端子とをもつ２つの弾性表面波フィルタからなる弾性表面波装置の構成を示す。図５（ｃ）に、平衡型の入出力端子を備えた２つの弾性表面波フィルタからなる弾性表面波装置の構成を示す。このような、平衡型の端子と不平衡型の端子との間の設計変更は、弾性表面波フィルタの電極指の配置を工夫することによって容易に行うことができる。また、それぞれの入出力端子のインピーダンスについても可変であることは言うまでもない。
【００４５】
また、図６（ａ）〜（ｃ）に、図５（ａ）〜（ｃ）における出力端子を１端子対にした場合の弾性表面波装置の構成を示す。図５および図６において、弾性表面波フィルタを２つ備えた弾性表面波装置について説明したが、３つ以上の弾性表面波フィルタを備える弾性表面波装置であっても、同様の構成をとることができる。したがって、以降の図面においては、櫛形電極に接続される接地電極は省略し、その入出力端子は平衡型であっても、不平衡型であってもよいものとする。また、２つの入出力端子が合成された１端子対の入出力端子を用いてもよい。
【００４６】
また、以上の記述では、共通の第１の入出力端子から印加された信号が分波され、第２および第３の入出力端子にそれぞれ互いに周波数帯域の異なる信号が出力される分波器について説明した。しかし、本発明の弾性表面波装置はいわゆる共用器であってもよい。この場合には、第２の入出力端子から印加された信号が、第２の弾性表面波フィルタ１２０には印加されずに第１の入出力端子から出力され、逆に、第１の入出力端子から印加された信号が、第１の弾性表面波フィルタ１１０には印加されずに、第３の入出力端子から出力される。また、本発明の弾性表面波装置は合波器であってもよい。
【００４７】
このように、分波器や共用器における損失を小さくするためには、第１および第２の弾性表面波フィルタのインピーダンス制御が重要である。インピーダンスの制御は、第１および第２の弾性表面波フィルタの電極指の対数、交差幅、電極指幅などを変更することによって行うことができる。たとえば、第１の櫛形電極対の電極指の数を、第１の弾性表面波フィルタ部と、第２の弾性表面波フィルタ部とで異なるようにすることによってインピーダンスの制御が可能である。このような第１の櫛形電極対１１１の一例を図７に示す。この場合、インピーダンスの制御がより行いやすくなり、弾性表面波装置の周波数特性を良好にすることができる。
【００４８】
また、共用電極である第１の櫛形電極対の電極指の数を、第１の弾性表面波フィルタ部と第２の弾性表面波フィルタ部とで異ならせる場合には、第１の櫛形電極対の中心線に略対称に電極指を配置することが好ましい。このような第１の櫛形電極対１１１の一例を図８に示す。図８の第１の櫛形電極対１１１は、中心線Ｉ−Ｉに対して略線対称となるように形成されている。このような構成によって、第１の櫛形電極対によって励振される弾性表面波の対称性が保たれ、不要スプリアスの発生やアイソレーションの劣化を防止することができる。
【００４９】
実施形態１の弾性表面波装置は、従来の装置に比べて配線レイアウトが簡潔であり、且つ、第１および第２の弾性表面波フィルタを近接して配置できる。また、共用の電極である第１の櫛形電極対を弾性表面波フィルタの中央部に配置することによって、第１の櫛形電極対の両側に配置される櫛形電極対および反射器の接地電極を共通化することができる。このため、実施形態１の弾性表面波装置では、素子の小型化が可能である。たとえば８００ＭＨｚ帯の１入力２出力型の弾性表面波装置の場合、従来の装置では１．５ｍｍ×２．２ｍｍのサイズとなっていたのに対し、実施形態１の装置では１．５ｍｍ×１．６ｍｍのサイズとすることができた。その結果、面積比で約２７％の小型化が可能となった。このような小型化によって、１枚のウエハから形成できる装置の数が大幅に増加するため、本発明は装置の低コスト化にも寄与する。これらの効果は、実施形態１の他の装置においても得られる。
【００５０】
また、従来の弾性表面波装置においては、第１の入出力端子と第１の弾性表面波フィルタ、および第１の入出力端子と第２の弾性表面波フィルタとの間の配線部分で寄生インピーダンスが発生していたが、実施形態１の弾性表面波装置では、そのような寄生インピーダンスの影響を防止できる。さらに、実施形態１の弾性表面波装置は、上記配線部分における抵抗による損失を抑制でき、周波数特性に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
【００５１】
図２に示した電極パターンを有する弾性表面波装置の周波数特性を図９（ａ）に示す。また、従来の弾性表面波装置の周波数特性を図９（ｂ）に示す。図９において、実線は、共通入出力端子から第１の弾性表面波フィルタを介して出力される信号の波形であり、破線は共通入出力端子から第２の弾性表面波フィルタを介して出力される信号の波形である。この図からも明らかなように、チップサイズの大幅な小型化が達成されたにもかかわらず特性の劣化がなく、良好な周波数特性を有する弾性表面波装置が得られた。
【００５２】
以上のように、本発明によれば、特性を低下させることなく弾性表面波装置を小型化できる。
【００５３】
なお、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、一方の弾性表面波フィルタが共通入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、他方の弾性表面波フィルタが共通入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタを備え、共通入出力端子から受信した電気信号を、他の共通入出力端子から送信する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、実施形態１で例示した周波数帯域の組み合わせに対応する装置に限定されず、他の周波数帯域の組み合わせに対応する装置であってもかまわない。
【００５４】
また、上記説明では、１つの共有櫛形電極対と、その両側に配置された第２〜５の櫛形電極対とを備える弾性表面波装置について説明したが、本発明はこの構成に限定されない。たとえば、本発明の弾性表面波装置は、１つの共用櫛形電極対と、その片側に配置された２つの櫛形電極対とを備える、いわゆるトランスバーサル型の弾性表面波フィルタであってもよい。同様に、複数の共有櫛形電極対と、それに隣接して配置された３つ以上の櫛形電極対とを備える、いわゆるＩＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｔｅｄ−ＩＤＴ）型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００５５】
（実施形態２）
実施形態２では、本発明の弾性表面波装置の他の一例について説明する。実施形態２の装置は、弾性表面波装置１００と同様の圧電基板と、圧電基板上に形成された電極とを備える。実施形態２の弾性表面波装置２００の電極パターンを図１０に示す。
【００５６】
弾性表面波装置２００は、第１の入出力端子１０１ａおよび１０１ｂ、第２の入出力端子１０２ａおよび１０２ｂ、第３の入出力端子１０３ａおよび１０３ｂと、接地端子と、第１の弾性表面波フィルタ２１０および第２の弾性表面波フィルタ２２０を構成する電極とを含む。
【００５７】
弾性表面波装置２００は、圧電基板１５０上に形成された、第１の櫛形電極対２１１、第２の櫛形電極対１１２、第３の櫛形電極対１１３、第４の櫛形電極対１１４、第５の櫛形電極対１１５、第１の反射器１１６、第２の反射器１１７、第３の反射器１１８および第４の反射器１１９を備える。第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４は、第１の櫛形電極対２１１を挟むように配置されている。第１および第２の反射器１１６および１１７は、第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４を挟むように配置されている。第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５は、第１の櫛形電極対２１１を挟むように配置されている。第３および第４の反射器１１８および１１９は、第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５を挟むように配置されている。
【００５８】
図９に示すように、第１の櫛形電極対２１１は、第１の電極指部２１１ａと、第１の電極指部２１１ａよりも電極指ピッチが大きい第２の電極指部２１１ｂと、第１の電極指部２１１ａと第２の電極指部２１１ｂとを接続する接続部２１１ｃとを含む。
【００５９】
第１の弾性表面波フィルタ２１０は、第１、第２および第４の櫛形電極対２１１、１１２および１１４と、第１および第２の反射器１１６および１１７とによって構成される。第１の電極指部２１１ａは、第１の弾性表面波フィルタ２１０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９１１と同様の機能を奏する。第２の弾性表面波フィルタ２２０は、第１、第３および第５の櫛形電極対２１１、１１３および１１５と、第３および第４の反射器１１８および１１９とによって構成される。第２の電極指部２１１ｂは、第２の弾性表面波フィルタ２２０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９２１と同様の機能を奏する。
【００６０】
第１の弾性表面波フィルタ２１０は、中心周波数をｆ１（通過周波数帯域はｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈ）とする縦モード型の弾性表面波フィルタである。実施形態２の一例では、通過帯域が８７０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚであり、その中心周波数が８７７．５ＭＨｚである。ここで、第１の櫛形電極対２１１は、第１の弾性表面波フィルタ２１０の弾性表面波伝搬部（櫛形電極部の開口部）と、第２の弾性表面波フィルタの弾性表面波伝搬部とをカバーするように配されている。したがって、第１の櫛形電極対２１１は、第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される励振電極である。
【００６１】
第２の弾性表面波フィルタ２２０は、第１の弾性表面波フィルタ２１０とは通過帯域が異なる縦モード型のフィルタである。第２の弾性表面波フィルタ２２０の中心周波数をｆ２とし、通過周波数帯域をｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈとする。実施形態２の一例では、通過帯域が８１０ＭＨｚ〜８４３ＭＨｚであり、その中心周波数が８２６．５ＭＨｚである。これらの周波数は、ｆ２Ｌ＜ｆ２Ｈ＜ｆ１Ｌ＜ｆ１Ｈの関係を満たす。すなわち、２つの弾性表面波フィルタは、それぞれの通過帯域が重ならないように設計される。
【００６２】
第１の弾性表面波フィルタ２１０の中心周波数ｆ１は、フィルタを構成する第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４の電極指ピッチ（ＰＨとする）と圧電基板の弾性表面波伝搬速度とに関連している。同様に、第２の弾性表面波フィルタ２２０の中心周波数ｆ２は、フィルタを構成する第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５の電極指ピッチ（ＰＬとする）と圧電基板の弾性表面波伝搬速度とに関連している。ｆ２＜ｆ１の関係を満たすため、第１の弾性表面波フィルタ２１０の電極指ピッチＰＨは、第２の弾性表面波フィルタ２２０の電極指ピッチＰＬよりも小さくなっている。
【００６３】
一方、第１の櫛形電極対２１１の電極指ピッチ（ＰＣとする）は、第１の電極指部２１１ａではＰＨと等しくし、第２の電極指部２１１ｂでは、ＰＬと等しくした。そして、電極指ピッチが異なる第１の電極指部２１１ａと第２の電極指部２１１ｂとを、接続部２１１ｃで接続した。このような構成によって、第１および第２の弾性表面波フィルタのそれぞれにおいて、有効に弾性表面波を励振することができ、通過損失を小さくすることができる。図１０に示すような縦モード型の２つの弾性表面波フィルタを用いる場合には、それぞれの弾性表面波フィルタにおいて、電極指ピッチを最適化することが好ましい。
【００６４】
電極指の接続部２１１ｃは、ピッチが不連続であるため、接続部２１１ｃにおいては弾性表面波が励振されにくい。そのため、第１および第２の弾性表面波フィルタへ接続部２１１ｃから弾性表面波が漏洩することが少なく、装置の特性が劣化することを防止できる。したがって、実施形態２の弾性表面波装置によれば、特性を低下させることなく、装置の小型化を実現することが可能である。
【００６５】
分波器や共用器において損失を小さくするためには、第１および第２の弾性表面波フィルタのインピーダンス制御が重要である。インピーダンスの制御は、第１および第２の弾性表面波フィルタを構成する櫛形電極対の電極指の数、交差幅、電極指幅などを変更することによって行うことができる。たとえば、第１の櫛形電極対２１１の電極指の数を、第１の弾性表面波フィルタ２１０を構成する部分と、第２の弾性表面波フィルタ２２０を構成する部分とで異ならせてもよい。このような第１の櫛形電極対２１１を用いた電極パターンを図１１に示す。この構成によれば、インピーダンスの制御がより行いやすくなり、弾性表面波装置の周波数特性を良好にすることができる。このような第１の櫛形電極対を用いる場合には、第１の櫛形電極対の中心線に略対称に電極指を配置することが好ましい。これによって、第１の櫛形電極対によって励振される弾性表面波の対称性が保たれ、不要なスプリアスの発生やアイソレーションの劣化を防止することができる。
【００６６】
また、実施形態２の弾性表面波装置の他の一例の電極パターンを図１２に示す。図１２の電極パターンは、図１１の電極パターンと比較して、弾性表面波の伝播方向に対して垂直な方向（電極指と平行な方向）における接続部２１１ｃの長さが異なる。その長さは、第１の弾性表面波フィルタ２１０の部分における電極指ピッチＰＨの２０倍以下とすることが好ましい。たとえば、電極指ピッチＰＨを２００μｍとし、接続部２１１ｃの長さを２０μｍとすることができる。このような構成によって、不要波に起因するスプリアスの発生を抑制でき、良好な周波数特性を有する弾性表面波装置を得ることができた。一方、接続部２１１ｃの長さを電極指ピッチＰＨの２０倍よりも大きくすると、不要波によるスプリアスが大きくなり、損失が増大した。また、接続部２１１ｃの長さを短くすることによって接続部２１１ｃの隣り合う電極指の平行度を低くでき、接続部２１１ｃにおける弾性表面波の励振強度をより小さくすることができる。その結果、不要なスプリアスの発生を抑制することができ、良好な特性を有する弾性表面波装置が得られる。
【００６７】
また、実施形態２の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタ備え、共用される第１の入出力端子１０１から受信した電気信号を、共用される第２の入出力端子１０２から送信する装置であってもよい。この構成によれば、２つの通過帯域を有する１入力１出力型の弾性表面波装置を得ることができる。そのような弾性表面波装置の電極パターンの一例を図１３に模式的に示す。図１３の電極パターンでは、第２の入出力端子１０２ａが、第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４に接続されており、第２の入出力端子１０２ｂが、第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５に接続されている。
【００６８】
また、実施形態２の弾性表面波装置は、共用される第１の櫛形電極対と共用される第１の入出力端子との間、および／または第１の櫛形電極対以外の櫛形電極対と入出力端子との間に接続された１つ以上の弾性表面波共振器を備えてもよい。そのような装置の一例の回路構成を図１４に模式的に示す。図１４の装置では、共振器１４１および１４２が、それぞれ、櫛形電極対と第２の入出力端子１０２ａとの間、および櫛形電極対と第２の入出力端子１０２ｂとの間に配置されている。共振器１４１の構成の一例を図１５に示す。共振器１４２も同様の構成とすることができる。共振器１４１は、櫛形電極対１４１ａと、それを挟むように配置された２つの反射器１４１ｂとを備える。
【００６９】
図１４に示すような構成によって、インピーダンス制御が容易になり、周波数選択性に優れる弾性表面波装置が得られる。また、上述した共振器（たとえば共振器１４１および１４２）は、ノッチフィルタの働きをもつため、縦モード型の弾性表面波フィルタに特有の高域側のスプリアスを抑えることができる。なお、図１４の一例では、１つの入出力端子に対して１つの共振器を接続しているが、１つの入力端子に対して複数個の共振器を接続してもよい。また、直列および並列に、または並列に共振器を挿入してもよい。
【００７０】
以上のように、本発明によれば、特性を低下させることなく弾性表面波装置を小型化できる。
【００７１】
なお、本発明の弾性表面波装置は、通過帯域が異なる２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、２つのフィルタのそれぞれの通過帯域に対応する信号に分波する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、一方の弾性表面波フィルタが、共通の入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、他方の弾性表面波フィルタが共通の入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、他の共通の入出力端子から送信する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置の２つの弾性表面波フィルタは、上述した周波数帯域の組み合わせに限定されず、他の周波数帯域の組み合わせであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、３つ以上の弾性表面波フィルタを備えてもよい。
【００７２】
（実施形態３）
実施形態３では、本発明の弾性表面波装置の他の一例について説明する。実施形態３の装置は、弾性表面波装置１００と同様の圧電基板と、圧電基板上に形成された電極とを備える。実施形態３の弾性表面波装置３００の電極パターンを図１６に示す。
【００７３】
弾性表面波装置３００は、第２の櫛形電極対３１２とその電極指に平行な方向に配置された第３の櫛形電極対３１３と、それらの櫛形電極対を挟むように配置された第１および第４の櫛形電極対３１１および３１４と、第１〜第４の反射器３１６〜３１９とを備える。第４の櫛形電極対３１４は、第２および第３の櫛形電極対３１２および３１３を挟んで対称に形成されている。第１の櫛形電極対３１１は、第２の櫛形電極対３１２に隣接して配置された第１の電極指部３１１ａと、第３の櫛形電極対３１３に隣接して配置された第２の電極指部３１１ｂとを含む。同様に、第４の櫛形電極対３１４も、第１の電極指部３１４ａと、第２の電極指部３１４ｂとを含む。第１の電極指部３１１ａと第２の電極指部３１１ｂとは、電極指ピッチが異なる。また、第２の櫛形電極対３１２と第３の櫛形電極対３１３とは、電極指ピッチが異なる。第１および第２の反射器３１６および３１７は、第１の電極指部３１１ａおよび３１４ａを挟むように配置されている。また、第３および第４の反射器３１８および３１９は、第２の電極指部３１１ｂおよび３１４ｂを挟むように配置されている。
【００７４】
第２の櫛形電極対３１２と第３の櫛形電極対３１３とは、電極指を接続する１つのバスバーを共有している。第２および第３の櫛形電極対３１２および３１３の他方のバスバーには、第２の入出力端子１０２ａおよび１０２ｂがそれぞれ接続されている。また、第１の電極指部３１１ａを接続するバスバーと第１の電極指部３１４ａを接続するバスバーには、第１の入出力端子１０１ａが接続されている。また、第２の電極指部３１１ｂを接続するバスバーと第２の電極指部３１４ｂを接続するバスバーにも、第１の入出力端子１０１ｂが接続されている。
【００７５】
第１の電極指部３１１ａおよび３１４ａと第２の櫛形電極対３１２と反射器３１６および３１７とは、第１の弾性表面波フィルタ３１０を構成する。また、第２の電極指部３１１ｂおよび３１４ｂと第３の櫛形電極対３１３と反射器３１８および３１９とは、第２の弾性表面波フィルタ３２０を構成する。
【００７６】
第１および第２の弾性表面波フィルタ３１０および３２０は、共に縦モード型のフィルタである。ただし、両者は、その通過帯域周波数が異なるように設計されている。
【００７７】
実施形態３の装置では、第１および第４の櫛形電極対３１１および３１４が、２つのフィルタに共用されている。このような装置でも、実施形態１および２の装置と同様の効果が得られる。
【００７８】
実施形態３の弾性表面波装置は、共用される櫛形電極対を３つ備えてもよい。そのような弾性表面波装置の電極パターンの一例を図１７に示す。図１７の装置では、第２の櫛形電極対３１２と第３の櫛形電極対３１３とが連結されている。実施形態３の装置では、さらに、反射器が共用されてもよい。
【００７９】
以上のように、本発明によれば、特性を低下させることなく弾性表面波装置を小型化できる。
【００８０】
なお、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、２つのフィルタのそれぞれの通過帯域周波数の信号に分波する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、一方のフィルタが共通の入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、他方のフィルタが共通の入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、他の共通の入出力端子から送信する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置の２つの弾性表面波フィルタは、上述した周波数帯域の組み合わせに限定されず、他の周波数帯域の組み合わせであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、３つ以上の弾性表面波フィルタを備えてもよい。
【００８１】
以上、本発明の実施の形態について例を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず本発明の技術的思想に基づき他の実施形態に適用することができる。
【００８２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の弾性表面波装置によれば、配線レイアウトを簡略化することができるため、小型化が可能である。また、配線レイアウトを簡略化することによって、配線に起因する寄生インピーダンスの影響を低減できる。また、櫛形電極対の電極指の数を変化させることによって、弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスを容易に制御できる。また、共用される櫛形電極対の配置、電極指の数、電極指の接続部の長さを変化させることによって、不要なスプリアスを低減することができ、周波数特性に優れる弾性表面波装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の弾性表面波装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図２】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについて一例を模式的に示す平面図である。
【図３】 図２に示した電極パターンの構成を示す平面図である。
【図４】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについて他の一例を模式的に示す平面図である。
【図５】 本発明の弾性表面波装置の構成の例を示す概念図である。
【図６】 本発明の弾性表面波装置の構成の例を示す概念図である。
【図７】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図８】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図９】 （ａ）本発明の弾性表面波装置および（ｂ）従来の弾性表面波装置について周波数特性の一例を示す図である。
【図１０】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１１】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１２】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１３】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１４】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１５】 本発明の弾性表面波装置に用いられる弾性表面波共振器の一例の電極パターンを示す平面図である。
【図１６】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１７】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１８】 従来の弾性表面波装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図１９】 従来の弾性表面波装置の電極パターンについて一例を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
１００ 弾性表面波装置
１０１、１０１ａ、１０１ｂ 第１の入出力端子
１０２、１０２ａ、１０２ｂ 第２の入出力端子
１０３、１０３ａ、１０３ｂ 第３の入出力端子
１１０、２１０、３１０ 第１の弾性表面波フィルタ
１１１ 第１の櫛形電極対
１１２ 第２の櫛形電極対
１１３ 第３の櫛形電極対
１１４ 第４の櫛形電極対
１１５ 第５の櫛形電極対
１１６〜１１９、３１６〜３１９ 反射器
１４１、１４２ 共振器
１２０、２２０、３２０ 第２の弾性表面波フィルタ
２１１ａ、３１１ａ、３１４ａ 第１の電極指部
２１１ｂ、３１１ｂ、３１４ｂ 第２の電極指部
２１１ｃ 接続部
１５０ 圧電基板
１６０ 接地端子
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波装置に関し、特にたとえば、通過帯域周波数の異なる２つ以上の弾性表面波フィルタを含む弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
移動体通信システムの高度化、グローバル化に伴い、複数のシステムを使用する複合無線通信端末が使用されるようになってきた。また、１つのシステムに対して、複数の不連続な周波数帯域を受信帯域または送信帯域として使用するシステムも利用されている。このような複雑な無線回路を構成するデバイスとして、弾性表面波フィルタは重要な役割を担っており、分波器や共用器など複数の通過帯域周波数を備えた複合フィルタへの要望が高まっている。
【０００３】
従来、周波数帯域の異なる弾性表面波フィルタを組み合わせて分波器などの装置を作製する場合には、別々に作製された２つの弾性表面波フィルタ素子を同一のパッケージ内に実装する方法が一般的に用いられてきた。これは、動作周波数が異なり、フィルタの中心周波数に対する通過帯域幅の比（比帯域幅）が異なる場合には、最適な櫛形電極の膜厚や、使用する圧電基板が必ずしも同一でないためである。しかしながら、この方法では装置の形状が大型になる。このため、櫛形電極の設計を工夫し、１つの圧電基板上に形成された２つの異なる弾性表面波フィルタを備える装置が提案されている（特開２０００−５９１７６号公報参照）。
【０００４】
以下に、図面を用いて従来の弾性表面波装置９００について詳細に説明する。図１８は、弾性表面波装置９００の構成を示す概念図であり、図１９は、弾性表面波装置９００のチップレイアウトを模式的に示す上面図である。弾性表面波装置９００は、第１の入出力端子９０１、第２の入出力端子９０２、第３の入出力端子９０４、第１の櫛形電極対９１１および９２１、第２の櫛形電極対９１２および９２２、第３の櫛形電極対９１３および９２３、反射器９１４および９２４を備える。第１の櫛形電極対９１１、第２の櫛形電極対９１２、第３の櫛形電極対９１３および反射器９１４は、第１の弾性表面波フィルタ９１０を構成する。第１の櫛形電極対９２１、第２の櫛形電極対９２２、第３の櫛形電極対９２３および反射器９２４は、第２の弾性表面波フィルタ９２０を構成する。また、図１９に示すように、弾性表面波装置９００は、圧電基板９５０と圧電基板９５０上に形成された接地端子（電極パッド）を備える。
【０００５】
第１の弾性表面波フィルタ９１０は、中心周波数をｆ１（通過周波数帯域はｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈ）とする縦モード型の弾性表面波フィルタである。また、第２の弾性表面波フィルタ９２０は、第１の弾性表面波フィルタ９１０とはその通過帯域周波数の異なる縦モード型の表面波フィルタである。ここで、第２の弾性表面波フィルタ９２０の中心周波数をｆ２とし、通過周波数帯域をｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈとする。各周波数は、ｆ２Ｌ＜ｆ２Ｈ＜ｆ１Ｌ＜ｆ１Ｈの関係を満たし、それぞれの弾性表面波フィルタの通過周波数帯域は互いに重ならないように設定されている。
【０００６】
第１および第２の弾性表面波フィルタ９１０および９２０の第１の櫛形電極対９１１および９２１には、第１の入出力端子９０１が接続されている。第１の弾性表面波フィルタ９１０において、櫛形電極対の電極指の数および交差幅は、点Ａから第１の弾性表面波フィルタを見たときのインピーダンスが、ｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの帯域において整合がとれるように、且つｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において無限大に近づくように設定されている。また、第２の弾性表面波フィルタ９２０において、櫛形電極対の電極指の数および交差幅は、点Ａから第２の弾性表面波フィルタを見たときのインピーダンスが、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において整合がとれるように、且つｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの帯域において無限大に近づくように設定されている。
【０００７】
このように第１および第２の弾性表面波フィルタ９１０および９２０を設計することによって、第１および第２の弾性表面波フィルタ９１０および９２０では、それぞれの通過帯域周波数の信号が損失なく分波される。そして、第２の入出力端子９０２からは、第１の弾性表面波フィルタ９１０を通過したｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの信号が出力され、第３の入出力端子９０４からは、第２の弾性表面波フィルタ９２０を通過したｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの信号が出力される。
【０００８】
以上のように、櫛形電極の設計を最適化することによって、複数の異なる通過帯域周波数を備えた、いわゆる１入力２出力型の弾性表面波装置（分波器や共用器など）を同一基板上に形成することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の弾性表面波装置の場合には、複数の弾性表面波フィルタを１つの圧電基板上に形成するため、櫛形電極の配線レイアウトが複雑であり、素子形状が大きいという課題を有していた。また、配線の引き回しが長くなるため、寄生インピーダンスの影響や、配線抵抗の影響によって、弾性表面波フィルタ独自の特性を十分に引き出せないという課題があった。
【００１０】
このような状況に鑑み、本発明は、複数の弾性表面波フィルタを備える小型の弾性表面波装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、前記第１の櫛形電極対は、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の弾性表面波装置は、第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、前記第１の櫛形電極対は、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であることを特徴とする。この本発明の弾性表面波装置では、第１の櫛形電極対が第１および第２の弾性表面波フィルタに共用されるため、装置の小型化が可能である。
【００１３】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第２の櫛形電極対と前記第３の櫛形電極対とは電極指ピッチが異なり、前記第１および第２の櫛形電極対は、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、前記第１および第３の櫛形電極対は、前記第２の弾性表面波フィルタの電極であってもよい。
【００１４】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の弾性表面波フィルタの通過帯域周波数が前記第２の弾性表面波フィルタの通過帯域周波数よりも高く、前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第２の電極指群の電極指ピッチをＰＨとし、前記第３の電極指群の電極指ピッチをＰＬとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＨと前記ＰＬとがＰＨ＜ＰＣ＜ＰＬを満たしてもよい。この場合、前記ＰＣが、前記ＰＨと前記ＰＬとの平均値に等しくてもよい。
【００１５】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第２の電極指群の電極指ピッチをＰＨとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＨとが等しくてもよい。また、上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第３の電極指群の電極指ピッチをＰＬとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＬとが等しくてもよい。
【００１６】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指群は、第１の電極指部と、前記第１の電極指部よりも電極指ピッチが大きい第２の電極指部と、前記第１の電極指部と前記第２の電極指部とを接続する接続部とを備え、前記第１の電極指部と前記第２の櫛形電極対とが、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、前記第２の電極指部と前記第３の櫛形電極対とが、前記第２の弾性表面波フィルタの電極であってもよい。この場合、前記第１の電極指と平行な方向（弾性表面波の伝播方向に垂直な方向）における前記接続部の長さが、前記第１の電極指部の電極指ピッチの２０倍以下であってもよい。
【００１７】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の電極指部に含まれる前記第１の電極指の数と、前記第２の電極指部に含まれる前記第１の電極指の数とが異なってもよい。
【００１８】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対が、前記第１の電極指に平行な１つの直線に対して線対称であってもよい。
【００１９】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対を中心として前記第２の櫛形電極対と対称に配置された第４の櫛形電極対と、前記第２および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第１および第２の反射器と、前記第１の櫛形電極対を中心として前記第３の櫛形電極対と対称に配置された第５の櫛形電極対と、前記第３および第５の櫛形電極対を挟むように配置された第３および第４の反射器とをさらに含み、前記第１の弾性表面波フィルタが、前記第１、第２および第４の櫛形電極対と前記第１および第２の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであり、前記第２の弾性表面波フィルタが、前記第１、第３および第５の櫛形電極対と前記第３および第４の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００２０】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第２および第３の櫛形電極対を中心として前記第１の櫛形電極対と対称に配置された第４の櫛形電極対と、前記第１および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第１および第２の反射器と、同じく前記第１および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第３および第４の反射器とを含み、前記第１の弾性表面波フィルタが、前記第１、第２および第４の櫛形電極対と前記第１および第２の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであり、前記第２の弾性表面波フィルタが、前記第１、第３および第４の櫛形電極対と前記第３および第４の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００２１】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１、第２および第３の櫛形電極対が、それぞれ、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であり、前記第１および第２の弾性表面波フィルタが、それぞれ縦モード型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００２２】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１、第２および第３の櫛形電極対にそれぞれ接続された第１、第２および第３の入出力端子を含み、前記第１の櫛形電極対と前記第１の入出力端子との間、前記第２の櫛形電極対と前記第２の入出力端子との間、前記第３の櫛形電極対と前記第３の入出力端子との間から選ばれる少なくとも１つの位置に、１つの櫛形電極対とその両側に配置された２つの反射器とからなる弾性表面波共振器をさらに備えてもよい。
【００２３】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対に接続された第１の入出力端子を含み、前記第１の入出力端子から受信した電気信号を、前記第１および第２の弾性表面波フィルタでそれぞれの通過帯域周波数に分波して出力してもよい。
【００２４】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１の櫛形電極対に接続された第１の入出力端子を含み、前記第１および第２の弾性表面波フィルタのいずれか一方のフィルタが前記第１の入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、前記第１および第２の弾性表面波フィルタの他方のフィルタが前記第１の入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。
【００２５】
上記本発明の弾性表面波装置では、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される第１および第２の入出力端子を含み、前記第１の入出力端子から電気信号を受信し、前記第２の入出力端子から電気信号を出力してもよい。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて具体的に説明する。
【００２７】
（実施形態１）
本発明の一例である弾性表面波装置１００の平面図を図１に示す。弾性表面波装置１００は、圧電基板１５０と圧電基板１５０上に形成された電極とを備える。弾性表面波装置１００は、第１の入出力端子１０１、第２の入出力端子１０２、第３の入出力端子１０３と、接地端子１６０と、第１の弾性表面波フィルタ１１０および第２の弾性表面波フィルタ１２０を構成する電極とを含む。
【００２８】
圧電基板１５０には、弾性表面波装置に一般的に使用される圧電基板を用いることができる。たとえば、圧電基板１５０として、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどを用いることができる。電極は、金属で形成できる。たとえばアルミニウムを主成分とする合金からなる電極を、公知のフォトリソグラフィー技術を用いることによって形成できる。
【００２９】
圧電基板１５０上に形成されている電極のパターンを図２に模式的に示す。なお、図２においては、理解を容易にするために電極指の数を減らして図を描いている。実際の装置における電極指の数は、たとえば数十本〜数百本程度である。
【００３０】
弾性表面波装置１００は、圧電基板１５０上に形成された、第１の櫛形電極対１１１、第２の櫛形電極対１１２、第３の櫛形電極対１１３、第４の櫛形電極対１１４、第５の櫛形電極対１１５、第１の反射器１１６、第２の反射器１１７、第３の反射器１１８および第４の反射器１１９を備える。第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４は、第１の櫛形電極対１１１を挟むように配置されている。第１および第２の反射器１１６および１１７は、第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４を挟むように配置されている。第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５は、第１の櫛形電極対１１１を挟むように配置されている。第３および第４の反射器１１８および１１９は、第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５を挟むように配置されている。
【００３１】
図３に示すように、第１の櫛形電極対１１１は、複数の第１の電極指１１１ａからなる第１の電極指群を含む。同様に、第２の櫛形電極対１１２は複数の第２の電極指１１２ａからなる第２の電極指群を含み、第３の櫛形電極対１１３は複数の第３の電極指１１３ａからなる第３の電極指群を含む。他の電極対も同様の構成を有する。これらの電極指は、互いに平行である。なお、電極指の接続部を除いて電極指が互いに平行であることは、以下の実施形態においても同様である。
【００３２】
図２に示すように、第１の弾性表面波フィルタ１１０は、第１、第２および第４の櫛形電極対１１１、１１２および１１４と、第１および第２の反射器１１６および１１７とによって構成される。第１の櫛形電極対１１１は、第１の弾性表面波フィルタ１１０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９１１と同様の機能を奏する。第２の弾性表面波フィルタ１２０は、第１、第３および第５の櫛形電極対１１１、１１３および１１５と、第３および第４の反射器１１８および１１９とによって構成される。第１の櫛形電極対１１１は、第２の弾性表面波フィルタ１２０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９２１と同様の機能を奏する。
【００３３】
第１の櫛形電極対１１１は、第１の弾性表面波フィルタ１１０の弾性表面波伝搬部（櫛形電極部の開口部、以下、単に弾性表面波フィルタ部とも記す）と、第２の弾性表面波フィルタ１２０の弾性表面波伝搬部とをカバーするように配置されている。したがって、第１の櫛形電極対１１１は、第１および第２の弾性表面波フィルタの共用励振電極となっている。
【００３４】
第１の弾性表面波フィルタ１１０は、中心周波数をｆ１（通過周波数帯域はｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈ）とする縦モード型の弾性表面波フィルタである。実施形態１の一例において、第１の弾性表面波フィルタ１１０の通過帯域は８７０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚであり、その中心周波数は８７７．５ＭＨｚである。
【００３５】
また、第２の弾性表面波フィルタ１２０も、第１の弾性表面波フィルタ１１０と同様に、縦モード型の表面波フィルタであるが、第１の弾性表面波フィルタ１１０とは通過帯域周波数が異なるように設計されている。ここで、第２の弾性表面波フィルタ１２０の中心周波数をｆ２とし、通過周波数帯域をｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈとする。実施形態１の一例において、弾性表面波フィルタ１２０の通過帯域は８１０ＭＨｚ〜８４３ＭＨｚであり、その中心周波数は８２６．５ＭＨｚである。これらの周波数帯域は、ｆ２Ｌ＜ｆ２Ｈ＜ｆ１Ｌ＜ｆ１Ｈの関係を満たす。すなわち、それぞれの弾性表面波フィルタの通過周波数帯域は、互いに重ならないように設定されている。
【００３６】
第１の弾性表面波フィルタ１１０の中心周波数ｆ１は、フィルタを構成する第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４の電極指ピッチ（ＰＨとする）と圧電基板１５０の弾性表面波伝搬速度とに関連している。同様に、第２の弾性表面波フィルタ１２０の中心周波数ｆ２は、フィルタを構成する第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５の電極指ピッチ（ＰＬとする）と圧電基板１５０の弾性表面波伝搬速度とに関連している。ｆ２＜ｆ１の関係を満たすため、第１の弾性表面波フィルタ１１０の電極指ピッチＰＨは、第２の弾性表面波フィルタ１２０の電極指ピッチＰＬよりも小さくなっている。なお、電極指ピッチとは、電極指の中心から隣接する電極指の中心までの距離を意味する。
【００３７】
一方、２つの弾性表面波フィルタに共有される第１の櫛形電極対１１１の電極指ピッチ（ＰＣとする）は、実施形態１では、ｆ１とｆ２との平均の周波数で最大の励振強度が得られるように設定される。したがって、実施形態１では、ＰＣを、ＰＨとＰＬとの平均値に略一致するように設定した。これによって、第１の弾性表面波フィルタ１１０および第２の弾性表面波フィルタ１２０の全帯域において有効に弾性表面波を励振することができ、弾性表面波装置としての通過損失を小さくすることができる。
【００３８】
なお、実施形態１では、ＰＣの値を上記のように設定したが、ＰＨまたはＰＬと一致させてもよい。ＰＣの値は、ＰＨとＰＬとの間である方が好ましく、第１の弾性表面波フィルタの中心周波数ｆ１とその比帯域幅、および、第２の弾性表面波フィルタの中心周波数ｆ２とその比帯域幅の組み合わせに応じて最適化することが好ましい。
【００３９】
第１の櫛形電極対１１１は、一方の櫛形電極が第１の入出力端子１０１に接続されており、他方の櫛形電極は接地されている。第１の入出力端子１０１は、第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される。また、第２の櫛形電極対１１２の一方の櫛形電極、および第４の櫛形電極対１１４の一方の櫛形電極は、第２の入出力端子１０２に接続されている。第３の櫛形電極対１１３の一方の櫛形電極、および第５の櫛形電極対１１５の一方の櫛形電極は、第３の入出力端子１０３に接続されている。
【００４０】
第１の入出力端子１０１から弾性表面波装置をみたインピーダンスは、ｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において整合がとれている。また、第２の入出力端子１０２から弾性表面波装置をみたインピーダンスは、ｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域において整合がとれており、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域においては高インピーダンスとなるように設定されている。逆に、第３の入出力端子から弾性表面波装置をみたインピーダンスは、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域で整合がとれており、ｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域においては、高インピーダンスとなるように設定されている。このような構成によって、１入力２出力型の弾性表面波装置が得られる。
【００４１】
すなわち、第１の入出力端子１０１から入力される高周波信号のうちｆ１Ｌ〜ｆ２Ｈの帯域の信号は、反射されることなく第１の櫛形電極対１１１に印加される。そして、ｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈの信号は第１の弾性表面波フィルタ１１０でフィルタリングされ、第２の入出力端子１０２から出力される。また、ｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈの信号は、第２の弾性表面波フィルタ１２０でフィルタリングされ、第３の入出力端子１０３から出力される。このようにして、互いに周波数帯域の重ならない２つ信号を分波することができる。
【００４２】
たとえば、実施形態１の一例では、第１の弾性表面波フィルタ１１０の通過帯域を８７０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚとし、第２の弾性表面波フィルタ１２０の通過帯域を８１０ＭＨｚ〜８４３ＭＨｚとすることができる。このように設定することによって、８００ＭＨｚ帯国内ディジタル携帯電話の複合受信フィルタを構成することができる。
【００４３】
なお、図２には、第２および第３の入出力端子１０２および１０３が不平衡型端子である装置について示した。しかし、図４に示すように、第２および第３の入出力端子を平衡型としてもよい。図４の装置では、第１の弾性表面波フィルタ１１０の第２の入出力端子１０２ａと１０２ｂとから、位相が１８０度異なる信号がそれぞれ出力される。同様に、第２の弾性表面波フィルタ１２０の第３の入出力端子１０３ａと１０３ｂとからも、位相が１８０度異なる信号がそれぞれ出力される。
【００４４】
図５（ａ）に、不平衡型の入出力端子をもつ２つの弾性表面波フィルタからなる弾性表面波装置の構成を示する。図５（ｂ）に、不平衡型の共通入出力端子と平衡型の入出力端子とをもつ２つの弾性表面波フィルタからなる弾性表面波装置の構成を示す。図５（ｃ）に、平衡型の入出力端子を備えた２つの弾性表面波フィルタからなる弾性表面波装置の構成を示す。このような、平衡型の端子と不平衡型の端子との間の設計変更は、弾性表面波フィルタの電極指の配置を工夫することによって容易に行うことができる。また、それぞれの入出力端子のインピーダンスについても可変であることは言うまでもない。
【００４５】
また、図６（ａ）〜（ｃ）に、図５（ａ）〜（ｃ）における出力端子を１端子対にした場合の弾性表面波装置の構成を示す。図５および図６において、弾性表面波フィルタを２つ備えた弾性表面波装置について説明したが、３つ以上の弾性表面波フィルタを備える弾性表面波装置であっても、同様の構成をとることができる。したがって、以降の図面においては、櫛形電極に接続される接地電極は省略し、その入出力端子は平衡型であっても、不平衡型であってもよいものとする。また、２つの入出力端子が合成された１端子対の入出力端子を用いてもよい。
【００４６】
また、以上の記述では、共通の第１の入出力端子から印加された信号が分波され、第２および第３の入出力端子にそれぞれ互いに周波数帯域の異なる信号が出力される分波器について説明した。しかし、本発明の弾性表面波装置はいわゆる共用器であってもよい。この場合には、第２の入出力端子から印加された信号が、第２の弾性表面波フィルタ１２０には印加されずに第１の入出力端子から出力され、逆に、第１の入出力端子から印加された信号が、第１の弾性表面波フィルタ１１０には印加されずに、第３の入出力端子から出力される。また、本発明の弾性表面波装置は合波器であってもよい。
【００４７】
このように、分波器や共用器における損失を小さくするためには、第１および第２の弾性表面波フィルタのインピーダンス制御が重要である。インピーダンスの制御は、第１および第２の弾性表面波フィルタの電極指の対数、交差幅、電極指幅などを変更することによって行うことができる。たとえば、第１の櫛形電極対の電極指の数を、第１の弾性表面波フィルタ部と、第２の弾性表面波フィルタ部とで異なるようにすることによってインピーダンスの制御が可能である。このような第１の櫛形電極対１１１の一例を図７に示す。この場合、インピーダンスの制御がより行いやすくなり、弾性表面波装置の周波数特性を良好にすることができる。
【００４８】
また、共用電極である第１の櫛形電極対の電極指の数を、第１の弾性表面波フィルタ部と第２の弾性表面波フィルタ部とで異ならせる場合には、第１の櫛形電極対の中心線に略対称に電極指を配置することが好ましい。このような第１の櫛形電極対１１１の一例を図８に示す。図８の第１の櫛形電極対１１１は、中心線Ｉ−Ｉに対して略線対称となるように形成されている。このような構成によって、第１の櫛形電極対によって励振される弾性表面波の対称性が保たれ、不要スプリアスの発生やアイソレーションの劣化を防止することができる。
【００４９】
実施形態１の弾性表面波装置は、従来の装置に比べて配線レイアウトが簡潔であり、且つ、第１および第２の弾性表面波フィルタを近接して配置できる。また、共用の電極である第１の櫛形電極対を弾性表面波フィルタの中央部に配置することによって、第１の櫛形電極対の両側に配置される櫛形電極対および反射器の接地電極を共通化することができる。このため、実施形態１の弾性表面波装置では、素子の小型化が可能である。たとえば８００ＭＨｚ帯の１入力２出力型の弾性表面波装置の場合、従来の装置では１．５ｍｍ×２．２ｍｍのサイズとなっていたのに対し、実施形態１の装置では１．５ｍｍ×１．６ｍｍのサイズとすることができた。その結果、面積比で約２７％の小型化が可能となった。このような小型化によって、１枚のウエハから形成できる装置の数が大幅に増加するため、本発明は装置の低コスト化にも寄与する。これらの効果は、実施形態１の他の装置においても得られる。
【００５０】
また、従来の弾性表面波装置においては、第１の入出力端子と第１の弾性表面波フィルタ、および第１の入出力端子と第２の弾性表面波フィルタとの間の配線部分で寄生インピーダンスが発生していたが、実施形態１の弾性表面波装置では、そのような寄生インピーダンスの影響を防止できる。さらに、実施形態１の弾性表面波装置は、上記配線部分における抵抗による損失を抑制でき、周波数特性に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
【００５１】
図２に示した電極パターンを有する弾性表面波装置の周波数特性を図９（ａ）に示す。また、従来の弾性表面波装置の周波数特性を図９（ｂ）に示す。図９において、実線は、共通入出力端子から第１の弾性表面波フィルタを介して出力される信号の波形であり、破線は共通入出力端子から第２の弾性表面波フィルタを介して出力される信号の波形である。この図からも明らかなように、チップサイズの大幅な小型化が達成されたにもかかわらず特性の劣化がなく、良好な周波数特性を有する弾性表面波装置が得られた。
【００５２】
以上のように、本発明によれば、特性を低下させることなく弾性表面波装置を小型化できる。
【００５３】
なお、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、一方の弾性表面波フィルタが共通入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、他方の弾性表面波フィルタが共通入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタを備え、共通入出力端子から受信した電気信号を、他の共通入出力端子から送信する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、実施形態１で例示した周波数帯域の組み合わせに対応する装置に限定されず、他の周波数帯域の組み合わせに対応する装置であってもかまわない。
【００５４】
また、上記説明では、１つの共有櫛形電極対と、その両側に配置された第２〜５の櫛形電極対とを備える弾性表面波装置について説明したが、本発明はこの構成に限定されない。たとえば、本発明の弾性表面波装置は、１つの共用櫛形電極対と、その片側に配置された２つの櫛形電極対とを備える、いわゆるトランスバーサル型の弾性表面波フィルタであってもよい。同様に、複数の共有櫛形電極対と、それに隣接して配置された３つ以上の櫛形電極対とを備える、いわゆるＩＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｔｅｄ−ＩＤＴ）型の弾性表面波フィルタであってもよい。
【００５５】
（実施形態２）
実施形態２では、本発明の弾性表面波装置の他の一例について説明する。実施形態２の装置は、弾性表面波装置１００と同様の圧電基板と、圧電基板上に形成された電極とを備える。実施形態２の弾性表面波装置２００の電極パターンを図１０に示す。
【００５６】
弾性表面波装置２００は、第１の入出力端子１０１ａおよび１０１ｂ、第２の入出力端子１０２ａおよび１０２ｂ、第３の入出力端子１０３ａおよび１０３ｂと、接地端子と、第１の弾性表面波フィルタ２１０および第２の弾性表面波フィルタ２２０を構成する電極とを含む。
【００５７】
弾性表面波装置２００は、圧電基板１５０上に形成された、第１の櫛形電極対２１１、第２の櫛形電極対１１２、第３の櫛形電極対１１３、第４の櫛形電極対１１４、第５の櫛形電極対１１５、第１の反射器１１６、第２の反射器１１７、第３の反射器１１８および第４の反射器１１９を備える。第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４は、第１の櫛形電極対２１１を挟むように配置されている。第１および第２の反射器１１６および１１７は、第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４を挟むように配置されている。第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５は、第１の櫛形電極対２１１を挟むように配置されている。第３および第４の反射器１１８および１１９は、第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５を挟むように配置されている。
【００５８】
図９に示すように、第１の櫛形電極対２１１は、第１の電極指部２１１ａと、第１の電極指部２１１ａよりも電極指ピッチが大きい第２の電極指部２１１ｂと、第１の電極指部２１１ａと第２の電極指部２１１ｂとを接続する接続部２１１ｃとを含む。
【００５９】
第１の弾性表面波フィルタ２１０は、第１、第２および第４の櫛形電極対２１１、１１２および１１４と、第１および第２の反射器１１６および１１７とによって構成される。第１の電極指部２１１ａは、第１の弾性表面波フィルタ２１０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９１１と同様の機能を奏する。第２の弾性表面波フィルタ２２０は、第１、第３および第５の櫛形電極対２１１、１１３および１１５と、第３および第４の反射器１１８および１１９とによって構成される。第２の電極指部２１１ｂは、第２の弾性表面波フィルタ２２０において、上述した従来の弾性表面波装置９００の第１の櫛形電極対９２１と同様の機能を奏する。
【００６０】
第１の弾性表面波フィルタ２１０は、中心周波数をｆ１（通過周波数帯域はｆ１Ｌ〜ｆ１Ｈ）とする縦モード型の弾性表面波フィルタである。実施形態２の一例では、通過帯域が８７０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚであり、その中心周波数が８７７．５ＭＨｚである。ここで、第１の櫛形電極対２１１は、第１の弾性表面波フィルタ２１０の弾性表面波伝搬部（櫛形電極部の開口部）と、第２の弾性表面波フィルタの弾性表面波伝搬部とをカバーするように配されている。したがって、第１の櫛形電極対２１１は、第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される励振電極である。
【００６１】
第２の弾性表面波フィルタ２２０は、第１の弾性表面波フィルタ２１０とは通過帯域が異なる縦モード型のフィルタである。第２の弾性表面波フィルタ２２０の中心周波数をｆ２とし、通過周波数帯域をｆ２Ｌ〜ｆ２Ｈとする。実施形態２の一例では、通過帯域が８１０ＭＨｚ〜８４３ＭＨｚであり、その中心周波数が８２６．５ＭＨｚである。これらの周波数は、ｆ２Ｌ＜ｆ２Ｈ＜ｆ１Ｌ＜ｆ１Ｈの関係を満たす。すなわち、２つの弾性表面波フィルタは、それぞれの通過帯域が重ならないように設計される。
【００６２】
第１の弾性表面波フィルタ２１０の中心周波数ｆ１は、フィルタを構成する第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４の電極指ピッチ（ＰＨとする）と圧電基板の弾性表面波伝搬速度とに関連している。同様に、第２の弾性表面波フィルタ２２０の中心周波数ｆ２は、フィルタを構成する第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５の電極指ピッチ（ＰＬとする）と圧電基板の弾性表面波伝搬速度とに関連している。ｆ２＜ｆ１の関係を満たすため、第１の弾性表面波フィルタ２１０の電極指ピッチＰＨは、第２の弾性表面波フィルタ２２０の電極指ピッチＰＬよりも小さくなっている。
【００６３】
一方、第１の櫛形電極対２１１の電極指ピッチ（ＰＣとする）は、第１の電極指部２１１ａではＰＨと等しくし、第２の電極指部２１１ｂでは、ＰＬと等しくした。そして、電極指ピッチが異なる第１の電極指部２１１ａと第２の電極指部２１１ｂとを、接続部２１１ｃで接続した。このような構成によって、第１および第２の弾性表面波フィルタのそれぞれにおいて、有効に弾性表面波を励振することができ、通過損失を小さくすることができる。図１０に示すような縦モード型の２つの弾性表面波フィルタを用いる場合には、それぞれの弾性表面波フィルタにおいて、電極指ピッチを最適化することが好ましい。
【００６４】
電極指の接続部２１１ｃは、ピッチが不連続であるため、接続部２１１ｃにおいては弾性表面波が励振されにくい。そのため、第１および第２の弾性表面波フィルタへ接続部２１１ｃから弾性表面波が漏洩することが少なく、装置の特性が劣化することを防止できる。したがって、実施形態２の弾性表面波装置によれば、特性を低下させることなく、装置の小型化を実現することが可能である。
【００６５】
分波器や共用器において損失を小さくするためには、第１および第２の弾性表面波フィルタのインピーダンス制御が重要である。インピーダンスの制御は、第１および第２の弾性表面波フィルタを構成する櫛形電極対の電極指の数、交差幅、電極指幅などを変更することによって行うことができる。たとえば、第１の櫛形電極対２１１の電極指の数を、第１の弾性表面波フィルタ２１０を構成する部分と、第２の弾性表面波フィルタ２２０を構成する部分とで異ならせてもよい。このような第１の櫛形電極対２１１を用いた電極パターンを図１１に示す。この構成によれば、インピーダンスの制御がより行いやすくなり、弾性表面波装置の周波数特性を良好にすることができる。このような第１の櫛形電極対を用いる場合には、第１の櫛形電極対の中心線に略対称に電極指を配置することが好ましい。これによって、第１の櫛形電極対によって励振される弾性表面波の対称性が保たれ、不要なスプリアスの発生やアイソレーションの劣化を防止することができる。
【００６６】
また、実施形態２の弾性表面波装置の他の一例の電極パターンを図１２に示す。図１２の電極パターンは、図１１の電極パターンと比較して、弾性表面波の伝播方向に対して垂直な方向（電極指と平行な方向）における接続部２１１ｃの長さが異なる。その長さは、第１の弾性表面波フィルタ２１０の部分における電極指ピッチＰＨの２０倍以下とすることが好ましい。たとえば、電極指ピッチＰＨを２００μｍとし、接続部２１１ｃの長さを２０μｍとすることができる。このような構成によって、不要波に起因するスプリアスの発生を抑制でき、良好な周波数特性を有する弾性表面波装置を得ることができた。一方、接続部２１１ｃの長さを電極指ピッチＰＨの２０倍よりも大きくすると、不要波によるスプリアスが大きくなり、損失が増大した。また、接続部２１１ｃの長さを短くすることによって接続部２１１ｃの隣り合う電極指の平行度を低くでき、接続部２１１ｃにおける弾性表面波の励振強度をより小さくすることができる。その結果、不要なスプリアスの発生を抑制することができ、良好な特性を有する弾性表面波装置が得られる。
【００６７】
また、実施形態２の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタ備え、共用される第１の入出力端子１０１から受信した電気信号を、共用される第２の入出力端子１０２から送信する装置であってもよい。この構成によれば、２つの通過帯域を有する１入力１出力型の弾性表面波装置を得ることができる。そのような弾性表面波装置の電極パターンの一例を図１３に模式的に示す。図１３の電極パターンでは、第２の入出力端子１０２ａが、第２および第４の櫛形電極対１１２および１１４に接続されており、第２の入出力端子１０２ｂが、第３および第５の櫛形電極対１１３および１１５に接続されている。
【００６８】
また、実施形態２の弾性表面波装置は、共用される第１の櫛形電極対と共用される第１の入出力端子との間、および／または第１の櫛形電極対以外の櫛形電極対と入出力端子との間に接続された１つ以上の弾性表面波共振器を備えてもよい。そのような装置の一例の回路構成を図１４に模式的に示す。図１４の装置では、共振器１４１および１４２が、それぞれ、櫛形電極対と第２の入出力端子１０２ａとの間、および櫛形電極対と第２の入出力端子１０２ｂとの間に配置されている。共振器１４１の構成の一例を図１５に示す。共振器１４２も同様の構成とすることができる。共振器１４１は、櫛形電極対１４１ａと、それを挟むように配置された２つの反射器１４１ｂとを備える。
【００６９】
図１４に示すような構成によって、インピーダンス制御が容易になり、周波数選択性に優れる弾性表面波装置が得られる。また、上述した共振器（たとえば共振器１４１および１４２）は、ノッチフィルタの働きをもつため、縦モード型の弾性表面波フィルタに特有の高域側のスプリアスを抑えることができる。なお、図１４の一例では、１つの入出力端子に対して１つの共振器を接続しているが、１つの入力端子に対して複数個の共振器を接続してもよい。また、直列および並列に、または並列に共振器を挿入してもよい。
【００７０】
以上のように、本発明によれば、特性を低下させることなく弾性表面波装置を小型化できる。
【００７１】
なお、本発明の弾性表面波装置は、通過帯域が異なる２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、２つのフィルタのそれぞれの通過帯域に対応する信号に分波する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、一方の弾性表面波フィルタが、共通の入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、他方の弾性表面波フィルタが共通の入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、他の共通の入出力端子から送信する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置の２つの弾性表面波フィルタは、上述した周波数帯域の組み合わせに限定されず、他の周波数帯域の組み合わせであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、３つ以上の弾性表面波フィルタを備えてもよい。
【００７２】
（実施形態３）
実施形態３では、本発明の弾性表面波装置の他の一例について説明する。実施形態３の装置は、弾性表面波装置１００と同様の圧電基板と、圧電基板上に形成された電極とを備える。実施形態３の弾性表面波装置３００の電極パターンを図１６に示す。
【００７３】
弾性表面波装置３００は、第２の櫛形電極対３１２とその電極指に平行な方向に配置された第３の櫛形電極対３１３と、それらの櫛形電極対を挟むように配置された第１および第４の櫛形電極対３１１および３１４と、第１〜第４の反射器３１６〜３１９とを備える。第４の櫛形電極対３１４は、第２および第３の櫛形電極対３１２および３１３を挟んで対称に形成されている。第１の櫛形電極対３１１は、第２の櫛形電極対３１２に隣接して配置された第１の電極指部３１１ａと、第３の櫛形電極対３１３に隣接して配置された第２の電極指部３１１ｂとを含む。同様に、第４の櫛形電極対３１４も、第１の電極指部３１４ａと、第２の電極指部３１４ｂとを含む。第１の電極指部３１１ａと第２の電極指部３１１ｂとは、電極指ピッチが異なる。また、第２の櫛形電極対３１２と第３の櫛形電極対３１３とは、電極指ピッチが異なる。第１および第２の反射器３１６および３１７は、第１の電極指部３１１ａおよび３１４ａを挟むように配置されている。また、第３および第４の反射器３１８および３１９は、第２の電極指部３１１ｂおよび３１４ｂを挟むように配置されている。
【００７４】
第２の櫛形電極対３１２と第３の櫛形電極対３１３とは、電極指を接続する１つのバスバーを共有している。第２および第３の櫛形電極対３１２および３１３の他方のバスバーには、第２の入出力端子１０２ａおよび１０２ｂがそれぞれ接続されている。また、第１の電極指部３１１ａを接続するバスバーと第１の電極指部３１４ａを接続するバスバーには、第１の入出力端子１０１ａが接続されている。また、第２の電極指部３１１ｂを接続するバスバーと第２の電極指部３１４ｂを接続するバスバーにも、第１の入出力端子１０１ｂが接続されている。
【００７５】
第１の電極指部３１１ａおよび３１４ａと第２の櫛形電極対３１２と反射器３１６および３１７とは、第１の弾性表面波フィルタ３１０を構成する。また、第２の電極指部３１１ｂおよび３１４ｂと第３の櫛形電極対３１３と反射器３１８および３１９とは、第２の弾性表面波フィルタ３２０を構成する。
【００７６】
第１および第２の弾性表面波フィルタ３１０および３２０は、共に縦モード型のフィルタである。ただし、両者は、その通過帯域周波数が異なるように設計されている。
【００７７】
実施形態３の装置では、第１および第４の櫛形電極対３１１および３１４が、２つのフィルタに共用されている。このような装置でも、実施形態１および２の装置と同様の効果が得られる。
【００７８】
実施形態３の弾性表面波装置は、共用される櫛形電極対を３つ備えてもよい。そのような弾性表面波装置の電極パターンの一例を図１７に示す。図１７の装置では、第２の櫛形電極対３１２と第３の櫛形電極対３１３とが連結されている。実施形態３の装置では、さらに、反射器が共用されてもよい。
【００７９】
以上のように、本発明によれば、特性を低下させることなく弾性表面波装置を小型化できる。
【００８０】
なお、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、２つのフィルタのそれぞれの通過帯域周波数の信号に分波する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、２つの弾性表面波フィルタを備え、一方のフィルタが共通の入出力端子に電気信号を送信する送信フィルタであり、他方のフィルタが共通の入出力端子から電気信号を受信する受信フィルタであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、従続に接続された２つの弾性表面波フィルタを備え、共通の入出力端子から受信した電気信号を、他の共通の入出力端子から送信する装置であってもよい。また、本発明の弾性表面波装置の２つの弾性表面波フィルタは、上述した周波数帯域の組み合わせに限定されず、他の周波数帯域の組み合わせであってもよい。また、本発明の弾性表面波装置は、３つ以上の弾性表面波フィルタを備えてもよい。
【００８１】
以上、本発明の実施の形態について例を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず本発明の技術的思想に基づき他の実施形態に適用することができる。
【００８２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の弾性表面波装置によれば、配線レイアウトを簡略化することができるため、小型化が可能である。また、配線レイアウトを簡略化することによって、配線に起因する寄生インピーダンスの影響を低減できる。また、櫛形電極対の電極指の数を変化させることによって、弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスを容易に制御できる。また、共用される櫛形電極対の配置、電極指の数、電極指の接続部の長さを変化させることによって、不要なスプリアスを低減することができ、周波数特性に優れる弾性表面波装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の弾性表面波装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図２】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについて一例を模式的に示す平面図である。
【図３】 図２に示した電極パターンの構成を示す平面図である。
【図４】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについて他の一例を模式的に示す平面図である。
【図５】 本発明の弾性表面波装置の構成の例を示す概念図である。
【図６】 本発明の弾性表面波装置の構成の例を示す概念図である。
【図７】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図８】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図９】 （ａ）本発明の弾性表面波装置および（ｂ）従来の弾性表面波装置について周波数特性の一例を示す図である。
【図１０】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１１】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１２】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１３】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１４】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１５】 本発明の弾性表面波装置に用いられる弾性表面波共振器の一例の電極パターンを示す平面図である。
【図１６】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１７】 本発明の弾性表面波装置の電極パターンについてその他の一例を模式的に示す平面図である。
【図１８】 従来の弾性表面波装置の一例を模式的に示す平面図である。
【図１９】 従来の弾性表面波装置の電極パターンについて一例を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
１００ 弾性表面波装置
１０１、１０１ａ、１０１ｂ 第１の入出力端子
１０２、１０２ａ、１０２ｂ 第２の入出力端子
１０３、１０３ａ、１０３ｂ 第３の入出力端子
１１０、２１０、３１０ 第１の弾性表面波フィルタ
１１１ 第１の櫛形電極対
１１２ 第２の櫛形電極対
１１３ 第３の櫛形電極対
１１４ 第４の櫛形電極対
１１５ 第５の櫛形電極対
１１６〜１１９、３１６〜３１９ 反射器
１４１、１４２ 共振器
１２０、２２０、３２０ 第２の弾性表面波フィルタ
２１１ａ、３１１ａ、３１４ａ 第１の電極指部
２１１ｂ、３１１ｂ、３１４ｂ 第２の電極指部
２１１ｃ 接続部
１５０ 圧電基板
１６０ 接地端子
Claims (11)
- 第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、
圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、
前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、
前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、
前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、
前記第１の櫛形電極対は、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であり、
前記第２の櫛形電極対と前記第３の櫛形電極対とは電極指ピッチが異なり、
前記第１および第２の櫛形電極対は、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、
前記第１および第３の櫛形電極対は、前記第２の弾性表面波フィルタの電極であり、
前記第１の櫛形電極対を中心として前記第２の櫛形電極対と対称に配置された第４の櫛形電極対と、前記第２および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第１および第２の反射器と、前記第１の櫛形電極対を中心として前記第３の櫛形電極対と対称に配置された第５の櫛形電極対と、前記第３および第５の櫛形電極対を挟むように配置された第３および第４の反射器とをさらに含み、
前記第１の弾性表面波フィルタが、前記第１、第２および第４の櫛形電極対と前記第１および第２の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであり、
前記第２の弾性表面波フィルタが、前記第１、第３および第５の櫛形電極対と前記第３および第４の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであることを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記第１の弾性表面波フィルタの通過帯域周波数が前記第２の弾性表面波フィルタの通過帯域周波数よりも高く、
前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第２の電極指群の電極指ピッチをＰＨとし、前記第３の電極指群の電極指ピッチをＰＬとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＨと前記ＰＬとがＰＨ＜ＰＣ＜ＰＬを満たす請求項１に記載の弾性表面波装置。 - 前記ＰＣが、前記ＰＨと前記ＰＬとの平均値に等しい請求項２に記載の弾性表面波装置。
- 前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第２の電極指群の電極指ピッチをＰＨとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＨとが等しい請求項１に記載の弾性表面波装置。
- 前記第１の電極指群の電極指ピッチをＰＣとし、前記第３の電極指群の電極指ピッチをＰＬとしたときに、前記ＰＣと前記ＰＬとが等しい請求項１に記載の弾性表面波装置。
- 前記第１の電極指群は、第１の電極指部と、前記第１の電極指部よりも電極指ピッチが大きい第２の電極指部と、前記第１の電極指部と前記第２の電極指部とを接続する接続部とを備え、
前記第１の電極指部と前記第２の櫛形電極対とが、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、
前記第２の電極指部と前記第３の櫛形電極対とが、前記第２の弾性表面波フィルタの電極である請求項１に記載の弾性表面波装置。 - 前記第１の電極指部に含まれる前記第１の電極指の数と、前記第２の電極指部に含まれる前記第１の電極指の数とが異なる請求項６に記載の弾性表面波装置。
- 前記第１の櫛形電極対が、前記第１の電極指に平行な１つの直線に対して線対称である請求項６に記載の弾性表面波装置。
- 第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過 帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、
圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、
前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、
前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、
前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、
前記第１の櫛形電極対は、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であり、
前記第２の櫛形電極対と前記第３の櫛形電極対とは電極指ピッチが異なり、
前記第１および第２の櫛形電極対は、前記第１の弾性表面波フィルタの電極であり、
前記第１および第３の櫛形電極対は、前記第２の弾性表面波フィルタの電極であり、
前記第２および第３の櫛形電極対を中心として前記第１の櫛形電極対と対称に配置された第４の櫛形電極対と、前記第１および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第１および第２の反射器と、同じく前記第１および第４の櫛形電極対を挟むように配置された第３および第４の反射器とを含み、
前記第１の弾性表面波フィルタが、前記第１、第２および第４の櫛形電極対と前記第１および第２の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであり、
前記第２の弾性表面波フィルタが、前記第１、第３および第４の櫛形電極対と前記第３および第４の反射器とによって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタであることを特徴とする弾性表面波装置。 - 第１の弾性表面波フィルタと、前記第１の弾性表面波フィルタとは通過帯域周波数が異なる第２の弾性表面波フィルタとを含む弾性表面波装置であって、
圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された第１、第２および第３の櫛形電極対とを備え、
前記第１の櫛形電極対が複数の第１の電極指からなる第１の電極指群を含み、
前記第２の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された複数の第２の電極指を含む第２の電極指群を備え、
前記第３の櫛形電極対は、前記第１の電極指に平行に配置された第３の電極指を含む第３の電極指群を備え、
前記第１、第２および第３の櫛形電極対が、それぞれ、前記第１および第２の弾性表面波フィルタに共用される電極であり、
前記第１および第２の弾性表面波フィルタが、それぞれ縦モード型の弾性表面波フィルタであることを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記第１、第２および第３の櫛形電極対にそれぞれ接続された第１、第２および第３の入出力端子を含み、
前記第１の櫛形電極対と前記第１の入出力端子との間、前記第２の櫛形電極対と前記第２の入出力端子との間、前記第３の櫛形電極対と前記第３の入出力端子との間から選ばれる少なくとも１つの位置に、１つの櫛形電極対とその両側に配置された２つの反射器とからなる弾性表面波共振器をさらに備える請求項１，９，１０のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
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