JP3948047B2 - ウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハ保管容器本体の内壁に取り付けられ、ウェーハ収納の際に不揃いなウェーハの位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器本体を運搬する際にウェーハの横ずれを防止する機能を果たすウェーハ押さえ具に係り、特に、ウェーハ保管容器本体からの着脱が簡便となるように改良したウェーハ押さえ具に関する。
【0002】
【従来の技術】
集積度が256Mビットを超すLSIの量産期には、微粒子のみならず空気中に含まれる各種汚染ガスが歩留まりに悪影響を及ぼすと考えられており、ウェーハを微粒子や種々の空気中の汚染物質から保護する目的で、ウェーハ保管容器が開発されている。
【0003】
従来のウェーハ保管容器の構成を図4を用いて説明する。
同図に示すようにウェーハ保管容器8は、ウェーハ保管容器本体1、蓋2、1対のウェーハ押さえ13a、13b及び2対のリンク14a〜14dから構成されている。リンク14a〜14dはウェーハ保管容器本体1の内壁及びウェーハ押さえ13a、13bに取り付けられ、ウェーハ押さえ13a、13bの動きに伴って自由に回動できるようになっている。
また、ウェーハ保管容器本体1及び蓋2は樹脂製が一般的であるが、ウェーハ保管容器8を洗浄してベーキングが必要な用途に対しては、熱に耐えられるように金属製となっていることもある。
しかし、ウェーハ押さえ13a、13bとリンク14a〜14dは摺動部を含むため発塵しにくい樹脂製になっていることが多い。
【0004】
次に、ウェーハ保管容器8の従来のウェーハ押さえ具9の作用を図5を用いて説明する。
同図(A)には、ウェーハ20を収納するウェーハ収納カセット21を蓋2の上部に置き、カセット21がウェーハ保管容器本体の1内部に完全に収納される前のウェーハ保管容器8の状態が示されている。この場合には、ウェーハ押さえ13a、13bとカセット21内部の全てのウェーハ20が接触しておらず、カセット21内部のウェーハ20の位置が不揃いである。
【0005】
ところで、この状態で蓋2を押し上げると蓋2の上面とウェーハ押さえ13a、13bの下面とが接触してウェーハ押さえ13a、13bが持ち上げられる。それにより、ウェーハ押さえ13a、13bはリンク14a〜14dの作動によりウェーハ収納カセット21側に押し出されることになる。
従って、ウェーハ押さえ13a、13bは不揃いであったウェーハ20の位置を揃える機能を果たす。この状態のウェーハ保管容器の状態を図5(B)に示す。
更に、ウェーハ押さえ13a、13bはウェーハ保管容器8を運搬する際のウェーハ20の横ずれを防止する機能も果たしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ウェーハ保管容器の使用頻度、使用目的に応じて、ウェーハ保管容器を洗浄してベーキングをする必要がある。
前述のように、ウェーハ押さえ及びリンクは摺動部を含むため発塵しにくい樹脂製になっていることが多いが、樹脂は熱に弱いためベーキングを行う際には、ウェーハ押さえ及びリンクを取り外す必要がある。
しかし、ウェーハ保管容器本体に対するリンクの取り付けは、図示は省略したが、ねじを利用しているため、簡単には取り外しができないようになっている。
また、ベーキングを目的としない場合でも、ウェーハ保管容器の分解・組立の作業を行う必要があり、ウェーハ押さえとリンクの取り付け、取り外しに時間と手間が掛かってしまうという問題があった。
本発明は、上記従来のものの課題(問題点)を解決するために、ウェーハ保管容器本体からの着脱が簡便なウェーハ押さえ具を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明のウェーハ押さえ具は、ウェーハ保管容器において、ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを設け、このフックに係合するウェーハ押さえを備え、上記係合は、フックに対して垂直方向から斜め下方向に向かうように形成した溝と左右一対のウェーハ押さえを連結するシャフトとを係合することによって行うように構成した。
このように構成すると、ウェーハ押さえ具のウェーハ保管容器本体からの着脱は容易である。
【0008】
また、これに代え、ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを介してシャフトを設け、このシャフトに係合するウェーハ押さえを備え、上記係合をシャフトに対して側面方向から斜め上方向に向かい、それから垂直方向に向かうように形成した溝に対して、左右一対のウェーハ押さえを連結するシャフトとを係合することによって行うように構成しても同様な効果を有する。
【0009】
この場合、上記のフックとシャフトは夫々ウェーハ容器本体内に上下2段に配置するのが望ましい。
【0010】
さらに、上記ウェーハ押さえを、袋状に形成し、上記フックとシャフトとの摺動部を被覆するように構成すれば、シャフトが溝の案内に沿って滑るときに発生する微粒子の飛散を当該ウェーハ押さえにより防止することが可能となる。
【0011】
【発明の実施の形態】
第1の実施の形態:
本発明の第1の実施の形態の構成を、図1(A)、(B)を用いて説明する。
同図(A)は、本発明であるウェーハ押さえ具7の要部縦断側面図で、同図(B)は上面図である。
本発明のウェーハ押さえ具7は、同図(A)、(B)に示すように、ウェーハ保管容器本体1の内壁に上下2段に設けた各1対のフック6a〜6d、2本のシャフト4a、4bを貫通して一体に設けたウェーハ押さえ3a、3bを備え、このウェーハ押さえ3a、3bをシャフト4a、4bの両端をフック6a〜6dの後述する溝5a〜5dに係合することで支承するような構成となっている。
なお、各フック6a〜6dに設けられる溝5a〜5dは、図1(A)に示すように垂直方向から所定角度折れ込むようにし、垂直方向の溝と所定角度の溝とを連通して形成される斜め上方向に向かう溝となるように形成される。
従って、各ウェーハ押さえ3a、3bを貫通して設けられたシャフト4a、4bの両端は夫々各1対のフック6a、6c及び6b、6dの各溝5a、5c及び5b、5dに係合され、最終的には各溝の底部により支承される。
以上で、本発明の第1の実施の形態のウェーハ押さえ具7は構成される。
【0012】
本実施の形態の場合も、各ウェーハ押さえ3a、3bにより不揃いのウェーハも従来のものと同様に整理される。
次に、ウェーハ押さえ具7を解体するときは、ウェーハ押さえ具7を上方に持ち上げるだけでシャフト4a、4bが溝5a〜5dに案内され、フック6a〜6dの溝5a〜5dは上方が開放されているため、シャフト4a、4bと一体化したウェーハ押さえ3a、3bを容易に取り外すことができ、かつ取り付けも簡便である。なお、フック6a〜6dは金属製であり、上記の通りウェーハ保管容器1の内壁に固定されている。
また、ウェーハ押さえ3a、3bとシャフト4a、4bは発塵のしにくい樹脂製であるため、熱に弱く、ベーキング等の際には取り外しをしなければならないが、この取り外しは、上記のように簡便に行うことができる。
【0013】
第2の実施の形態:
本発明の第2の実施の形態の構成を図2により説明する。
本実施の形態のものでは、フック6a〜6dには溝を設けず、これに代えウェーハ押さえ3a、3b側に溝5a〜5dを設けるようにしたものである。図2(A)に示すように、ウェーハ保管容器1の内壁に金属製のシャフト4a、4bをフック6a〜6dを介して固定し、このシャフト4a、4bが係合する溝5a〜5dをウェーハ押さえ3a、3bの方に、図2(A)に示すように側面方向から斜め上方向に向かい、それから垂直方向に向かうように形成される。従って、ウェーハ押さえ3a、3bを持ち上げて、シャフト4a、4bに係合させると、シャフト4a、4bは溝5a〜5dに案内され、嵌着される。この場合、溝5a〜5dの下方が開放されているため簡便に取り付け、取り外しが可能である。
【0014】
本実施の形態のものでも、上述の溝5a〜5dを斜め上方向に向かい、それから垂直方向に所定角度折れ込むような縦方向の形状とすることにより、第1の実施の形態と同様ウェーハ押さえ3a、3bが蓋(図示せず)に持ち上げられることによりウェーハ収納カセット(図示せず)方向に押し出され、ウェーハカセット収納時にウェーハ20の位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器の運搬時にウェーハ20の横ずれを防止できる。
【0015】
第3の実施の形態:
第1の実施の形態の変形例である本発明の第3の実施の形態の構成を図3(A)、(B)により説明する。
本実施の形態のウェーハ押さえ具7Aは、図3(A)、(B)に示すように、ウェーハ押さえ3a′、3b′を中空部を有する袋状に形成し、このウェーハ押さえ3a′、3b′をフック6a〜6dに形成した溝5a〜5dとシャフト4a、4bとの摺動部を縦方向に被覆するように構成される。このように構成すると、シャフト4a、4bが溝5a〜5dの案内に沿って滑るときに発生する微粒子の飛散をウェーハ押さえ3a′、3b′を盾にして防止することができる。
なお、図3(A)は、上記ウェーハ押さえ3a′、3b′を溝5a〜5dとシャフト4a、4bとの摺動部に取り付けた状態での縦断側面図であり、また同図(B)はその上面図である。
【0016】
本発明は、上記各実施の形態には制限を受けない。
即ち、上述の各実施の形態では、フックを上下2段に構成した例を示したが、これは2段1体の構成としても良い。
また、本発明は溝の形状や、ウェーハ押さえ具を構成する各部分の材質によっては制限されない。
例えば、図1及び図2に示した溝5a〜5dの形状とは異なり、着脱がより容易な滑らかな曲線を成型する改良も考えられる。また、上記ではウェーハ押さえ3a、3bやシャフト4a、4bが発塵しにくい樹脂製と述べたが、これとは異なる材質であっても本発明が適用されるのは勿論のことである。
【0017】
【発明の効果】
本発明のウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具は、引っかけ方式でウェーハ保管容器本体の内壁から着脱する方式としたため、従来のものに比較して、以下のような優れた効果を有する。
(1)ウェーハ保管容器を分解洗浄したり、ベーキングを行ったりするにはウェーハ押さえ具を取り外すときに、従来のものでは時間と手間がかかっていたが、本発明のウェーハ押さえ具ではシャフトと溝との引っ掛け方式で着脱するようにしたから、非常に簡便に着脱が行えるようになる。
(2)また、フックまたはウェーハ押さえ自体に成型した溝を垂直方向から所定角度折れ曲がる形状とすることにより、上記の引っ掛けによる係合が確実に行われるため、ウェーハカセット収納時にウェーハの位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器運搬時にウェーハの横ずれを確実に防止できる。
(3)更に、ウェーハ押さえを中空部を有する袋状に形成し、当該ウェーハ押さえを上記フックに形成した溝と上記シャフトとの摺動部を縦方向に被覆するように設けることにより、ウェーハの位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器運搬時にウェーハの振動を防止するために必要なウェーハ押さえの機構を、微粒子による汚染の心配なく動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す図で、同図(A)はウェーハ押さえ、シャフト、フックより構成されるウェーハ押さえ具の要部縦断側面図であり、同図(B)は上面図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態を示す図で、同図(A)はウェーハ押さえ、シャフトから構成されるウェーハ押さえ具の要部縦断側面図であり、同図(B)は上面図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態を示す図で、同図(A)はウェーハ押さえを溝とシャフトとの摺動部に取り付けた状態での縦断側面図であり、また同図(B)はその上面図である。
【図4】従来のウェーハ保管容器の構成を示す縦断側面図である。
【図5】従来のウェーハ保管容器の機能を示す図であり、同図(A)はウェーハ入りカセットを収納する前のウェーハ保管容器の縦断側面図、同図(B)はウェーハ入りカセット収納後のウェーハ保管容器の縦断側面図である。
【符号の説明】
1:ウェーハ保管容器本体
2:ウェーハ保管容器の蓋
3a、3b:ウェーハ押さえ
4a、4b:シャフト
5a〜5d:溝
6a〜6d:フック
7、7A:ウェーハ押さえ具
8:ウェーハ保管容器
20:ウェーハ
21:ウェーハ収納用カセット
Claims (4)
- ウェーハ保管容器本体か、ウェーハカセットを積載する底蓋のいずれかが上又は下方向に移動してウェーハ保管容器本体中にカセットが収納され、底蓋がロックされるウェーハ保管容器において、
ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを設け、このフックに係合するウェーハ押さえを備え、
上記係合は、フックに対して垂直方向から斜め下方向に向かうように形成した溝に対して左右一対のウェーハ押さえを連結するシャフトを係合することによって行うようにしたことを特徴とするウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。 - ウェーハ保管容器本体か、ウェーハカセットを積載する底蓋のいずれかが上又は下方向に移動してウェーハ保管容器本体中にカセットが収納され、底蓋がロックされるウェーハ保管容器において、
ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを介してシャフトを設け、このシャフトに係合するウェーハ押さえを備え、
上記係合は、左右一対のウェーハ押さえに対して内側面から斜め上方向に向かい、それから垂直方向に向かうように形成した溝に対してシャフトを係合することで行うようにしたことを特徴とするウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。 - 請求項1又は2記載のフックとシャフトは夫々ウェーハ容器本体内に上下2段に配置するようにしたウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。
- 請求項1記載のウェーハ押さえは、袋状に形成し、上記フックとシャフトとの摺動部を被覆するようにしたウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。
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JPH10242258A JPH10242258A (ja) | 1998-09-11 |
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JP2011228469A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
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1997
- 1997-02-28 JP JP6017197A patent/JP3948047B2/ja not_active Expired - Fee Related
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