JP3945195B2 - 電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化合物半導体を用いた電子デバイスの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ガリウムやインジウムを用いた化合物半導体デバイスは、シリコン半導体デバイスと比較して高速動作が可能であるため、通信用デバイスとして注目されている。こうしたデバイスを製造するにあたり、古くからウエットエッチングを用いた加工方法が利用されてきたが、近年、加工精度の向上、エッチング速度の配向依存性の低減や、ウエットエッチングにより発生する排液を減らすことによる環境負荷の軽減などを目的として、ドライエッチングを用いた加工方法が導入されつつある。
【0003】
以下、従来のエッチング方法の一例として、誘導結合型プラズマ源を用いたエッチング加工について、図5を参照して説明する。図5に示すエッチング装置において、真空容器1内に、ガス供給装置2から所定のガスを導入しつつ、排気装置としてのターボ分子ポンプ3により排気を行い、真空容器1内を所定の圧力に保ちながら、コイル用高周波電源43により13.56MHzの高周波電力を誘電体板44上に設けられたコイル45に供給することにより、真空容器1内にプラズマが発生し、基板電極6上に載置された基板7に対してエッチング加工を行うことができる。また、基板電極6に400kHzの高周波電力を供給するための基板電極用高周波電源8が設けられており、基板7に到達するイオンエネルギーを制御することができるようになっている。
【0004】
このような構成のエッチング装置において、基板電極温度を50℃、圧力を0.5Pa、ArとCl2のガス流量をそれぞれ30sccm、20sccmとし、更にコイルに印加する電力と基板電極に印加するバイアス電力をそれぞれ500W、150Wとすることで窒化ガリウム(GaN)薄膜や窒化ガリウム基板をエッチング加工することができる。この条件における窒化ガリウムのエッチング速度は、290nm/minであった。
【0005】
また、基板電極温度を200℃、圧力=0.3Pa、ArとCl2のガス流量をそれぞれ10sccm、2sccmとし、更にコイルに印加する電力と基板電極に印加するバイアス電力をそれぞれ400W、100Wとすることでリン化インジウム(InP)薄膜や、リン化インジウム基板をエッチング加工することができる。この条件におけるリン化インジウムのエッチング速度は、190nm/minであった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来例で述べた窒化ガリウムのエッチング加工においては、反応生成物である塩化ガリウム(GaCl3)の揮発性が悪いため、エッチング側壁に反応生成物が堆積し、加工形状を垂直にすることが困難であるという問題点があった。これは、塩化ガリウムの沸点が201.3℃と高いことに起因しているものと考えられる。また、エッチング速度も低く、生産性に劣るという問題点があった。
【0007】
従来例のインジウムリンのエッチング加工においても同様の問題点がある。これは、反応生成物である塩化インジウム(InCl3)の沸点が570℃と高いことに起因しているものと考えられる。従来例では、基板電極温度を200℃まで高めることにより、反応生成物の揮発を促す努力を行っているが、装置構成が複雑化する上、加工時の消費電力が大きくなるという問題点もある。
【0008】
ガリウムやインジウムの化合物の中で、比較的沸点が低い物質として、Ga(CH3)3やIn(CH3)3などが知られている。Ga(CH3)3の沸点は55.7℃、In(CH3)3の沸点は136℃である。こうした反応生成物を生成することのできるエッチングガスとして、メタン(CH4)を用いたエッチング加工も研究されているが、プラズマ中に、エッチャントとなるCH3ラジカルの他にCH2ラジカル、CHラジカルなどエッチングに寄与しない活性種が発生するとともに、炭素(C)原子が多量に生成してしまうため、真空容器内壁に黒色のデポジションが発生し、ダストの原因となってしまうという問題点がある。
【0009】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、ガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体薄膜やガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体基板を精度よく高速に加工する方法、及び、ガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体薄膜やガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体基板を用いた電子デバイスを精度よく高い生産性で製造する方法を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願の第1発明の電子デバイスの製造方法は、真空容器内の基板電極にガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体基板を載置し、真空容器内に1価ハロゲン化メタンガスを含むガスを供給しつつ真空容器内を排気し、真空容器内を所定の圧力に制御しながら、真空容器内にプラズマを発生させ、基板表面をエッチングして凹部を形成する工程と、前記凹部に対向する基板裏面から基板をほぼ均等にエッチングまたは研磨することにより貫通穴を形成する工程と、貫通穴内壁に絶縁膜を形成する工程と、貫通穴内に金属配線を埋め込む工程と、金属配線によって基板の表面に形成された電極と基板の裏面に形成された電極とを接続させる工程を備えることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の参考例について、図1及び図2を参照して説明する。
【0012】
図1に、本発明の第1実施形態において用いた、パッチアンテナ方式プラズマ源を搭載したエッチング装置の断面図を示す。図1において、真空容器1内に、ガス供給装置2から所定のガスを導入しつつ、排気装置としてのターボ分子ポンプ3により排気を行い、真空容器1内を所定の圧力に保ちながら、アンテナ用高周波電源4により周波数100MHzの高周波電力をアンテナ5に供給することにより、真空容器1内にプラズマが発生し、基板電極6上に載置された基板7に対してエッチング処理を行うことができる。また、基板電極6に400kHzの高周波電力を供給するための基板電極用高周波電源8が設けられており、基板7に到達するイオンエネルギーを制御することができるようになっている。アンテナ5へ供給される高周波電圧は、給電棒9により、アンテナ5の中心付近へ給電される。また、アンテナ5の中心とも周辺とも異なる複数の部位と真空容器1の基板7に対向する面46とが、ショートピン10により短絡されている。アンテナ5と真空容器1との間に誘電板11が挟まれ、給電棒9及びショートピン10は、誘電板11に設けられた貫通穴を貫いている。また、アンテナ5の表面は、カバー12により覆われている。また、誘電板11と誘電板11の周辺部に設けられた誘電体リング13との間の溝状の空間と、アンテナ5とアンテナ5の周辺部に設けられた導体リング14との間の溝状の空間からなるスリット15が設けられている。
【0013】
アンテナ5の平面図を図2に示す。図2において、ショートピン10は3ヶ所に設けられており、それぞれのショートピン10がアンテナ5の中心に対して等配置されている。
【0014】
このような構成のエッチング装置において、基板電極温度を50℃、圧力を0.5Pa、ArとCH3Iのガス流量をそれぞれ30sccm、20sccmとし、更にアンテナに印加する電力と基板電極に印加する電力をそれぞれ500W、150Wとすることで、基板上に堆積させた窒化ガリウム(GaN)薄膜や窒化ガリウム基板をエッチング加工することができた。窒化ガリウムのエッチング速度は、510nm/minと高かった。また、反応生成物であるGa(CH3)3の揮発性が良好であるため、エッチング側壁に反応生成物がほとんど付着せず、垂直な加工形状を得ることができた。また、真空容器内壁面に黒色のデポジションが発生することもなく、500枚連続エッチングを行っても、生産に影響を与えるダストの発生は無かった。
【0015】
また、基板電極温度を50℃、圧力を0.3Pa、ArとCH3Iのガス流量をそれぞれ10sccm、2sccmとし、更にアンテナに印加する電力と基板電極に印加する電力をそれぞれ400W、100Wとすることで、基板上に堆積させたリン化インジウム(InP)薄膜や、リン化インジウム基板をエッチング加工することができた。リン化インジウムのエッチング速度は、290nm/minと高かった。また、反応生成物であるIn(CH3)3の揮発性が良好であるため、エッチング側壁に反応生成物がほとんど付着せず、垂直な加工形状を得ることができた。また、真空容器内壁面に黒色のデポジションが発生することもなく、400枚連続エッチングを行っても、生産に影響を与えるダストの発生は無かった。
【0016】
このように、従来例で見られた加工形状の不良、エッチング速度不足、ダストの発生が解決するとともに、リン化インジウムのエッチングを常温で行えた理由は、エッチングガスとしてヨウ化メタンガス(CH3I)を用いたためであると考えられる。ヨウ化メタンにおけるC−I結合の結合エネルギーは2.20eVであるのに対し、C−H結合の結合エネルギーは約4eVである(正確な値は明らかではないが、メタンにおけるC−H結合の結合エネルギー4.26eVと大差無いものと考えられる)。したがって、プラズマ中で起きる解離性衝突においては、C−I結合が切れやすいため、CH3ラジカルとIラジカルが多量に発生する一方、CH2ラジカル、CHラジカルなどエッチングに寄与しない活性種や炭素(C)ラジカルの発生が抑制される。したがって、従来例と比較して、ガリウムやインジウムとの反応性に富むCH3ラジカルが豊富に供給されるため、高速なエッチングが行えたものと考えられる。また、黒色のデポジションを発生させる元となる炭素ラジカルが少なくなったため、ダストの発生が抑制されたものと考えられる。さらに、本実施形態においては、低電子温度プラズマを発生させることのできる100MHz励起のアンテナ式プラズマ源を用いているため、C−H結合を切ることのできる高いエネルギーをもった電子の数が少ないことも、良好な加工結果を得ることに貢献している。
【0017】
以上説明した加工方法を利用することにより、ガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体薄膜を堆積する工程と、基板上に形成されたガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体薄膜をエッチングする工程とを含む電子デバイスの製造工程を高い生産性で行うことができる。
【0018】
次に、本発明の実施形態について、図3を参照して説明する。
【0019】
図3(a)に、窒化ガリウムトランジスタを形成した基板の断面図を示す。金属電極16、リセス17から成るゲート、ソース電極18、ドレイン電極19、GaN層20、AlGaN層21、GaNバッファー層22、GaN基板23から構成されている。図3(a)では、次のエッチング工程のためのフォトレジスト24も形成されている。この基板を、図1に示したエッチング装置を用いて、基板電極温度を50℃、圧力を0.4Pa、ArとCH3Iのガス流量をそれぞれ40sccm、30sccmとし、更にアンテナに印加する電力と基板電極に印加する電力をそれぞれ1000W、300Wとすることでエッチングし、図3(b)のように貫通穴25を形成する。次に、貫通穴内壁に絶縁膜26を堆積した後、貫通穴内に金属配線27を埋め込み、金属配線27によって基板の表面に形成されたソース電極19と、基板の裏面に形成された電極28とを接続させる。このように工程を組み合わせることにより、窒化ガリウムパワーデバイスを形成することができたが、とくに、貫通穴の形成工程においてヨウ化メタンガスを用いたことにより、高速な穴形成が可能となり、生産性の高い加工を実現できた。なお、貫通穴の形成工程におけるエッチング速度は、1100nm/minであった。
【0020】
なお、基板表面をエッチングして深穴を形成する工程と、深穴の底よりも基板表面に近いところまで基板裏面から基板をほぼ均等にエッチングまたは研磨することにより貫通穴を形成する工程と、貫通穴内壁に絶縁膜を形成する工程と、貫通穴内に金属配線を埋め込む工程と、金属配線によって基板の表面に形成された電極と基板の裏面に形成された電極とを接続させる工程とを含む製造方法を用いる場合においても、深穴の形成工程において上記のようなヨウ化メタンガスを用いたエッチング加工を採用することで、生産性の高い加工を実現できる。
【0021】
次に、本発明の第2の参考例について、図4を参照して説明する。
【0022】
図4に、サファイア基板を用いた窒化ガリウム半導体レーザーの製造工程を示す。サファイア基板上に、ガリウムまたはインジウムを含み、かつ、組成の異なる複数の化合物半導体薄膜を堆積した後、フォトレジストを露光・現像したものの断面図が、図4(a)である。サファイア基板29、窒化ガリウムバッファー層30、n−GaN層31、n−InGaN層32、n−AlGaN層33、n−GaN層34、InGaN多重量子井戸層35、p−AlGaN層36、p−GaN層37、p−AlGaN層38、p−GaN層39、p電極40、フォトレジスト41から構成されている。この基板を、図1に示したエッチング装置を用いて、基板電極温度を50℃、圧力を0.3Pa、ArとCH3Iのガス流量をそれぞれ30sccm、15sccmとし、アンテナに印加する電力と基板電極に印加する電力をそれぞれ300W、100Wとすることでエッチングし、メサ構造を形成した。このとき、基板上に形成された組成の異なる複数の化合物半導体薄膜を一括してエッチングする。その後、n電極42を形成することにより、図4(b)のように窒化ガリウムレーザーデバイスを形成することができた。とくに、メサ構造の形成工程において、ヨウ化メタンガスを用いたことにより、垂直なメサ構造形成が可能となった。
【0023】
以上述べた本発明の実施形態においては、本発明の適用範囲のうち、化合物半導体薄膜の組成、電子デバイスの構造、真空容器の形状、プラズマ源の構造及び配置等に関して様々なバリエーションのうちの一部を例示したに過ぎない。本発明の適用にあたり、ここで例示した以外にも様々なバリエーションが考えられることは、いうまでもない。
【0024】
また、窒化ガリウム、インジウムリンをはじめ、いくつかの化合物半導体薄膜または化合物半導体基板をエッチング加工する場合を例示したが、加工対象はこれらに限定されるものではなく、本発明は、ガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体薄膜または化合物半導体基板の加工、または、これらの材料を用いた電子デバイスの製造に適用できる。
【0025】
また、エッチング加工に際してアルゴンとヨウ化メタンガスの混合ガスを用いる場合を例示したが、ガスはこれに限定されるものではない。ヨウ化メタンガスの他に、フッ化メタンガス(CH3F)などの1価ハロゲン化メタンガスを用いることで、本発明の実施形態において述べたと同様の効果を得ることができると考えられる。また、加工条件の微調整を行うために、種々の添加ガスを用いることもできる。
【0026】
また、真空容器内にプラズマを発生させるために、アンテナ式プラズマ源を用いた場合を例示したが、基板電極のみに高周波電力を供給してプラズマを発生させる方式においても、本発明は有効である。しかし、高速で高精度なエッチングを行うためには、高密度プラズマ源を用いることが望ましい。
【0027】
また、アンテナ式プラズマ源に供給する高周波電力の周波数が100MHzである場合について例示したが、アンテナに供給する高周波電力の周波数が50MHz乃至3GHzであると、プラズマの電子温度が低くなる(約2eV)ため、1価ハロゲン化メタンにおけるC−H結合を切ることなく、C−Iなどの炭素−ハロゲン間の結合を切る確率が高まるため、プラズマ中により効率的にCH3ラジカルを生成できるという利点がある。
【0028】
また、プラズマ源に供給する高周波電力がパルス変調されていると、プラズマの電子温度をさらに低くすることができる(<2eV)ため、より効率的にプラズマ中にCH3ラジカルを生成できるという利点がある。
【0029】
プラズマ源に供給する高周波電力の周波数が低い(典型的には13.56MHzを利用する)誘導結合型プラズマ源においても、高周波電力がパルス変調されていると、プラズマの電子温度を低くすることができる(<2eV)ため、より効率的にプラズマ中にCH3ラジカルを生成できるという利点がある。
【0030】
また、基板電極に供給する高周波電力の周波数が、400kHzである場合について説明したが、基板へ到達するイオンエネルギーを制御するにあたり、他の周波数、たとえば、100kHz乃至100MHzの高周波電力を用いることができることは、いうまでもない。あるいは、基板電極に高周波電力を供給しなくとも、プラズマ電位と基板電位とのわずかな差を利用して、弱いイオンエネルギーによるエッチング加工を行うこともできる。
【0031】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本願発明の電子デバイスの製造方法によれば、真空容器内の基板電極にガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体基板を載置し、真空容器内に1価ハロゲン化メタンガスを含むガスを供給しつつ真空容器内を排気し、真空容器内を所定の圧力に制御しながら、真空容器内にプラズマを発生させ、基板表面をエッチングして凹部を形成する工程と、前記凹部に対向する基板裏面から基板をほぼ均等にエッチングまたは研磨することにより貫通穴を形成する工程と、貫通穴内壁に絶縁膜を形成する工程と、貫通穴内に金属配線を埋め込む工程と、金属配線によって基板の表面に形成された電極と基板の裏面に形成された電極とを接続させる工程を備えることを含むため、ガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体薄膜やガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体基板を用いた電子デバイスを精度よく高い生産性で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態で用いたエッチング装置の構成を示す断面図
【図2】 本発明の実施形態で用いたエッチング装置におけるアンテナの平面図
【図3】 本発明の実施形態における窒化ガリウムパワーデバイスの製造工程を示す図
【図4】 本発明の第2の参考例における窒化ガリウム半導体レーザーの製造工程を示す図
【図5】 従来例で用いたエッチング装置の構成を示す断面図
【符号の説明】
1 真空容器
2 ガス供給装置
3 ターボ分子ポンプ
4 アンテナ用高周波電源
5 アンテナ
6 基板電極
7 基板
8 基板電極用高周波電源
9 給電棒
10 ショートピン
11 誘電板
12 カバー
13 誘電体リング
14 導体リング
15 スリット
Claims (1)
- 真空容器内の基板電極にガリウムまたはインジウムを含む化合物半導体基板を載置し、真空容器内に1価ハロゲン化メタンガスを含むガスを供給しつつ真空容器内を排気し、真空容器内を所定の圧力に制御しながら、真空容器内にプラズマを発生させ、基板表面をエッチングして凹部を形成する工程と、前記凹部に対向する基板裏面から基板をほぼ均等にエッチングまたは研磨することにより貫通穴を形成する工程と、貫通穴内壁に絶縁膜を形成する工程と、貫通穴内に金属配線を埋め込む工程と、金属配線によって基板の表面に形成された電極と基板の裏面に形成された電極とを接続させる工程を備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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