JP3944324B2 - Heating and quenching equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理装置に関し、特に、被処理物を加熱した後急冷する加熱急冷装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルの熱処理過程において、液晶の再編成処理を行うためには一般に、液晶パネルを加熱後、急冷するプロセスが必要であることが知られている。従来、このようなプロセスを実現するには、互いに離隔して設置された加熱用装置及び冷却用装置の間に搬送路を設け、加熱された被処理物を冷却用装置に搬送して冷却する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来の装置では、加熱用装置から冷却用装置への搬送中に、被処理物が徐々に冷却されるので、冷却用装置における冷却はもはや理想的な「急冷」とはならない。従って、所望の処理結果が得られない場合があった。また、加熱用装置及び冷却用装置が別々に必要であることから、装置全体としての設置スペースも大きかった。
【0004】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、被処理物の加熱及び急冷と、設置スペースの削減とを実現する加熱急冷装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の加熱急冷装置は、クリーンルーム内に設置された加熱急冷装置であって、所定のクリーン度を維持した熱風を循環させ、搬入された被処理物に対して熱処理を行う加熱装置と、前記加熱装置の被処理物搬出側に隣接して設置され、クリーンフィルタを通風系路に介した送風手段及び排気手段を有し、前記加熱装置から搬出された被処理物を送風によって強制空冷する急冷装置と、前記加熱装置と前記急冷装置との隣接部に設置された開閉可能なシャッタと、前記被処理物を前記加熱装置から前記急冷装置へ搬送する搬送装置とを備え、前記急冷装置は、前記被処理物の上方に配置され、前記送風手段から送風される空気を前記被処理物に吹き付ける吹き出しノズルと、前記吹き出しノズルの下部に昇降自在に設けられ、前記被処理物の四方を囲むフードと、を備えており、前記排気手段は、前記被処理物に吹き付けられた後の空気を前記被処理物の下方に吸込する吸引口を有し、前記被処理物に吹き付けられた後の空気の内、一部を前記送風手段に吸引させ、残りを前記クリーンルーム内に排気するように構成されているものである(請求項1)。このような加熱急冷装置において、被処理物は加熱装置で熱処理され、熱処理後、加熱装置に隣接して設置された急冷装置に搬送される。急冷装置に搬送された被処理物は、送風によって一気に冷却される。この送風時にシャッタを閉めておくことにより、送風により加熱装置内に空気が入り込むことが防止される。
【0006】
また、前記急冷装置における強制空冷には少なくとも前記クリーンルーム内の空気が使用されてもよい。この場合、クリーンルーム内のクリーンな空気が急冷装置の内外を循環して被処理物の強制空冷に使用される。
【0007】
また、前記吹き出しノズルは、進退自在に設けられていてもよい(請求項2)。この場合、ノズルの進退により、被処理物の形態等に合わせて適切に空気を吹き付けることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の一実施形態による加熱急冷装置の正面図であり、図2は当該装置のうち急冷装置に関する内部構成を示す側面図である。なお、図2中の矢印は空気の流れを示す。
図1及び図2において、当該加熱急冷装置はクリーンルーム内に設置されており、主として加熱装置1と、これに隣接して設置された急冷装置2と、被処理物3を搬送する搬送装置4とによって構成されている。加熱装置1は所定のクリーン度を維持した熱風を循環させて被処理物3の熱処理を行う既知の構成である。
急冷装置2は、加熱装置1上に水平方向に設けられたブロア室2Aと、加熱装置1の被処理物搬出側(右端側)に隣接して設けられた空冷室2Bと、空冷室2Bの下方から正面側及び背面側の二手に分岐して水平方向に延設された排気装置2Cとによって構成されている。このように構成された加熱急冷装置は、加熱装置1と急冷装置2の隣接設置構造により、装置全体としての設置スペースは小さく、構成も簡素である。
【0009】
被処理物3は、例えば液晶ガラス入りのカセットと呼ばれる升を20個縦積みした重量約30kg程度のものであり、液晶の再編成処理のため熱処理に供される。被処理物3の高さ(大きさ)は複数種類あり、図は大小2種類を図示している。
搬送装置4は例えばチェーンコンベア又はウオーキングビーム機構であり、加熱装置1の搬入口1a手前から加熱装置1及び空冷室2Bを貫いて搬出台5まで水平に設置されている。被処理物3は上記搬送装置4によって搬送方向に2列で搬送される。
【0010】
上記ブロア室2Aには、吸気ブロア21が複数台(本実施形態では6台)設置されている。ブロア室2Aの外面にはクリーンフィルタ付きの吸込口22が複数箇所(正面側3箇所、裏面側3箇所)に設けられている。各吸気ブロア21の吹き出し口は送風ダクト23に接続されている。送風ダクト23は水平部23aと、その右端部から下方へ逆U字状(図2参照)に分岐して構成された垂直部23bとを備えている。図3は、図1における空冷室2Bの拡大断面図である。図3を参照して、垂直部23bの各下端には吹き出しノズル24が垂直方向にスライド可能に取り付けられており、被処理物3に対して進退自在である。この吹き出しノズル24は、図示しないスライド機構により駆動されて、上下にスライド動作する。
【0011】
吹き出しノズル24の各下部には、吹き出しノズル24から吹き付けられる空気を被処理物3に効率よく当てるためのフード25が垂直方向に昇降自在に設けられている。このフード25も、図示しない昇降機構により駆動されて、昇降動作する。
空冷室2Bと加熱装置1との隣接部には、加熱装置1の搬出口1bに面してシャッタ26が開閉自在に設けられている。また、空冷室2Bの被処理物搬出口2b1側にもシャッタ27が開閉自在に設けられている。これらのシャッタ26及び27は、それぞれの図示しない開閉機構により開閉される。
空冷室2Bの下部には空冷に使用された空気を吸い込むための吸込口28が設けられ、これに排気ダクト29の一端が接続されている。吸込口28及び排気ダクト29は正面側と背面側とに一対設けられ(図2参照)、各排気ダクト29の他端には、排気装置2C内に設けられた複数(2台)の排気ブロア20が接続されている。
【0012】
次に、上記のように構成された加熱急冷装置の動作について説明する。
加熱装置1の搬入口1aから矢印方向に投入された被処理物3は搬送装置4のタクト運転により加熱装置1の内部を搬送され、その間、被処理物3は所定の温度(120℃)まで加熱され、その温度にて所定時間(約30分)均熱状態とされる。こうして熱処理が終わると、シャッタ26が開かれ、2列各1升分の被処理物3は空冷室2B内に搬送される。このときフード25は予め上昇端まで上昇しており、被処理物3の搬入を妨げない。搬入後、シャッタ26が閉じられるとともに、吹き出しノズル24が被処理物3の高さに応じた位置まで下降する。すなわち、図2に示すように、向かって左側の被処理物3より右側の被処理物3の方が低い場合、右側の吹き出しノズル24は、左側の吹き出しノズル24より低い位置までスライド動作する。また、これと同時に、フード25が下降端まで下降する。
【0013】
次に、吸気ブロア21及び排気ブロア20が一斉に運転される。これにより、加熱急冷装置が設置されたクリーンルーム内の空気が、クリーンフィルタ付きの吸込口22を介してブロア室2Aから吸い込まれ、かつ、排気装置2Cから排気される。このとき、空冷室2B内の吹き出しノズル24から吹き出される空気は、例えば流量が毎分240m3、風速が秒速30mにも達する。この大量送風による強制空冷によって、被処理物3は、例えば毎秒2.67℃の冷却勾配で一気に冷却される。一般に、液晶の再編成処理において要求される急冷の基準は、120℃から80℃への冷却勾配が毎秒1℃以上であることからすれば、上記冷却勾配は十分なものであるといえる。なお、本実施形態の上記冷却勾配(2.67℃/秒)によれば120℃から80℃への到達時間は15秒以内である。
【0014】
被処理物3を冷却した空気は、排気ブロア20により吸引され、吸込口28から排気ダクト29を通ってクリーンルーム内に排気される。これにより、吸気から排気への流れに整流作用が生じて効率良く通風が行われる。また、図2に示すように、被処理物3を冷却した空気の一部は吸気ブロア21に吸引されてブロア室2A及び空冷室2Bの内部を循環する。このときのブロア室2Aへの戻り量は、例えば吸気ブロア21や排気ブロア20の回転数を制御することにより可変量とすることができる。通常、この戻り量は、吹き出しノズル24から吹き出される全空気量の20〜40%の範囲で設定される。
なお、送風中、シャッタ26及び27は閉まっている。シャッタ26が閉まっていることにより、送風によって加熱装置1内に空気が入り込むことが防止される。従って、加熱装置1内の温度の変動を防止することができる。また、シャッタ27が閉まっていることにより、送風によって外部の環境に大きな影響を及ぼさないようにしている。
【0015】
急冷装置2による急冷プロセスが終わると、吸気ブロア21及び排気ブロア20が停止し、フード25が上昇するとともにシャッタ27が開いて被処理物3が搬出される。搬出後、再びシャッタ27が閉ざされ、以下、上述の各処理が繰り返される。
上記のような加熱急冷装置によれば、被処理物3の搬送方向の間隔が狭くても、2列各1升分ごとに迅速な急冷ができるので、高スループットを実現することができる。また、冷却に使用するのはクリーンルーム内の空気だけであるので、低ランニングコストである。
【0016】
なお、上記実施形態においては、空冷室2B内に、ノズル24及びフード25を用いた構成としているが、被処理物の形態等によっては、これらを省略した構成も可能である。
【0017】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項1の加熱急冷装置によれば、熱処理後の被処理物は、加熱装置に隣接して設置された急冷装置に搬送され、クリーンな送風によって一気に冷却される。
従って、所望の急冷が可能になり、設置スペースが小さくなる。また、シャッタにより、送風に伴って加熱装置内に空気が入り込むことが防止されるので、加熱装置内の温度の変動を防止することができる。
【0018】
また、少なくともクリーンルーム内のクリーンな空気が急冷装置の内外を循環して被処理物の空冷に使用されるので、クリーン度を維持できるとともに、ランニングコストも安価である。
【0019】
また、ノズルの進退により、被処理物の形態等に合わせて適切に空気を吹き付けることができるので、効率よく冷却を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による加熱急冷装置の正面図である。
【図2】上記加熱急冷装置における急冷装置の内部構成を示す側面図である。
【図3】図1に示す加熱急冷装置の一部の拡大断面図である。
【符号の説明】
1 加熱装置
2 急冷装置
2A ブロア室
2B 空冷室
2C 排気装置
3 被処理物
4 搬送装置
20 排気ブロア
21 吸気ブロア
22 吸込口(クリーンフィルタ付き)
23 送風ダクト
24 吹き出しノズル
25 フード
26 シャッタ
28 吸込口
29 排気ダクト[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a heat treatment apparatus, and more particularly, to a heating and quenching apparatus that rapidly cools a workpiece after heating.
[0002]
[Prior art]
For example, it is known that a process of rapidly cooling a liquid crystal panel after heating the liquid crystal panel is generally required to perform a liquid crystal reorganization process in a heat treatment process of the liquid crystal panel. Conventionally, in order to realize such a process, a conveyance path is provided between a heating apparatus and a cooling apparatus that are installed apart from each other, and the heated object is conveyed to the cooling apparatus for cooling. .
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional apparatus as described above, the object to be processed is gradually cooled during the transfer from the heating apparatus to the cooling apparatus. Therefore, the cooling in the cooling apparatus is no longer the ideal “rapid cooling”. Don't be. Therefore, a desired processing result may not be obtained. Further, since a heating device and a cooling device are required separately, the installation space as a whole device is large.
[0004]
In view of the conventional problems as described above, an object of the present invention is to provide a heating and cooling device that realizes heating and rapid cooling of an object to be processed and a reduction in installation space.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The heating and quenching apparatus of the present invention is a heating and quenching apparatus installed in a clean room, circulating a hot air maintaining a predetermined degree of cleanliness, and performing a heat treatment on the loaded workpiece, A quenching device that is installed adjacent to the workpiece unloading side of the heating device, has a blowing means and an exhaust means through a clean filter passage, and forcibly air-cools the workpiece unloaded from the heating device by blowing air And an openable / closable shutter installed in an adjacent portion of the heating device and the quenching device, and a transport device that transports the object to be processed from the heating device to the quenching device, A blowout nozzle that is disposed above the workpiece and blows air blown from the blowing means onto the workpiece; and is provided below the blowout nozzle so as to be movable up and down. A hood surrounding the four sides, and wherein the exhaust means includes a suction port for suction of air after it has been blown to the object to be processed below the object to be treated is blown into the processing object A part of the remaining air is sucked into the blowing means, and the rest is exhausted into the clean room (claim 1). In such a heating and quenching apparatus, the object to be treated is heat-treated with the heating apparatus, and after the heat treatment, is conveyed to a quenching apparatus installed adjacent to the heating apparatus. The object to be processed conveyed to the rapid cooling device is cooled at once by blowing. By closing the shutter at the time of this air blowing, air can be prevented from entering the heating device by the air blowing.
[0006]
Furthermore, the forced air-cooling in the quench unit but it may also be air of at least the clean room is used. In this case, clean air in the clean room circulates inside and outside the quenching device and is used for forced air cooling of the workpiece.
[0007]
Further, the blowout nozzle may be provided retractably (claim 2). In this case, air can be appropriately blown in accordance with the form of the object to be processed by the advancement and retreat of the nozzle.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a front view of a heating and quenching apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view showing an internal configuration related to the quenching apparatus of the apparatus. In addition, the arrow in FIG. 2 shows the flow of air.
In FIG.1 and FIG.2, the said heating rapid cooling apparatus is installed in the clean room, mainly the
The
[0009]
The object to be processed 3 has a weight of about 30 kg obtained by vertically stacking 20 baskets called liquid crystal glass-containing cassettes, and is subjected to heat treatment for liquid crystal reorganization processing. There are a plurality of types (heights) of the
The transport device 4 is, for example, a chain conveyor or a walking beam mechanism, and is installed horizontally from the front of the carry-in
[0010]
A plurality of intake blowers 21 (six in this embodiment) are installed in the
[0011]
A
A
A
[0012]
Next, the operation of the heating and quenching apparatus configured as described above will be described.
The object to be processed 3 introduced in the direction of the arrow from the carry-in
[0013]
Next, the
[0014]
The air that has cooled the
During the air blowing, the
[0015]
When the rapid cooling process by the
According to the heating and quenching apparatus as described above, even if the interval in the transport direction of the
[0016]
In the above embodiment, the
[0017]
【The invention's effect】
The present invention configured as described above has the following effects.
According to the heating and quenching apparatus of the first aspect, the object to be processed after the heat treatment is transported to the quenching apparatus installed adjacent to the heating apparatus and cooled at once by clean air blowing.
Therefore, desired rapid cooling is possible, and the installation space is reduced. In addition, since the shutter prevents air from entering the heating device due to air blowing, temperature fluctuations in the heating device can be prevented.
[0018]
Further , at least clean air in the clean room circulates inside and outside the quenching device and is used for air cooling of the object to be processed, so that cleanliness can be maintained and running cost is low.
[0019]
Further , since the nozzle can be advanced and retracted, air can be appropriately blown in accordance with the form of the object to be processed, so that cooling can be performed efficiently.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of a heating and quenching apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an internal configuration of the quenching device in the heating and quenching device.
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a part of the heating and quenching apparatus shown in FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
23
Claims (2)
所定のクリーン度を維持した熱風を循環させ、搬入された被処理物に対して熱処理を行う加熱装置と、
前記加熱装置の被処理物搬出側に隣接して設置され、クリーンフィルタを通風系路に介した送風手段及び排気手段を有し、前記加熱装置から搬出された被処理物を送風によって強制空冷する急冷装置と、
前記加熱装置と前記急冷装置との隣接部に設置された開閉可能なシャッタと、前記被処理物を前記加熱装置から前記急冷装置へ搬送する搬送装置とを備え、
前記急冷装置は、前記被処理物の上方に配置され、前記送風手段から送風される空気を前記被処理物に吹き付ける吹き出しノズルと、
前記吹き出しノズルの下部に昇降自在に設けられ、前記被処理物の四方を囲むフードと、を備えており、
前記排気手段は、前記被処理物に吹き付けられた後の空気を前記被処理物の下方に吸込する吸引口を有し、前記被処理物に吹き付けられた後の空気の内、一部を前記送風手段に吸引させ、残りを前記クリーンルーム内に排気するように構成されていることを特徴とする加熱急冷装置。A heating / cooling device installed in a clean room,
A heating device that circulates hot air that maintains a predetermined degree of cleanliness and heat-treats the workpieces that are carried in, and
Rapid cooling that is installed adjacent to the workpiece unloading side of the heating device, has a blowing means and an exhaust means through a clean filter passage, and forcibly air-cools the workpiece unloaded from the heating device by blowing air Equipment,
An openable / closable shutter installed in an adjacent portion of the heating device and the quenching device, and a transport device for transporting the object to be processed from the heating device to the quenching device,
The quenching device is disposed above the object to be processed, and a blowing nozzle that blows air to be processed from the blowing means to the object to be processed.
A hood that is provided at the lower part of the blowing nozzle so as to be movable up and down, and that surrounds the four sides of the object to be processed .
The exhaust means has a suction port for sucking the air after being blown to the object to be processed below the object to be treated, and a part of the air after being blown to the object to be treated is A heating / quenching apparatus characterized by being sucked by a blowing means and exhausting the remainder into the clean room .
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