JP3942354B2 - コンタミの発生しない非接触ポンプ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
コンタミの発生しない非接触ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
ポンプの故障の原因の大半はシールと軸受にあると云われている。この内シールをなくし、液漏れをなくす為にシールレスポンプは開発されて久しい。シールレスポンプの種類にはインペラーを有するキャンドモーターポンプとマグネットポンプがあり、膜の往復運動によって液の輸送を行うダイヤフラムポンプがある。ダイヤフラムポンプには液中に動力軸及軸受はないが他の2種はいずれも動力軸及軸受が液中にある。それでポンプによる輸送液(以下母液と記す)中に軸受があるのでいわゆる通常の潤滑油は使用できず母液が潤滑油、冷却の役目をなしている。軸と軸受が液中にある為その摩擦細片が母液中に混入する事は避けられない。即ちコンタミの発生は避けられない。亦液のない時の空運転は軸受の損耗をきたす恐れがある。ダイヤフラムポンプはこのような事はないが吐出液に脈動があり、又膜が故障し易い。その外高揚程にはなし得るが吐出量は少く、他のポンプと同じような吐出量になるようにすると、他のポンプに比べ極めて高価になる。本出願人は、今までに非接触のポンプとして特開平03−45143号公報、特開平8−2777945号公報にて開示されたポンプの出願があるが、これはいずれも母液中に動力軸、軸受はなく周壁と非接触で運転させ、コンタミの発生のない事を目的としたものであるが完全、確実にその目的を達するまでには至らなかった。亦ポンプ効率も低いものであった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
1)回転磁界発生装置として汎用モーターのステーターの如きコイル巻線とすると2次との磁気的ギャップが大きいと力率が低下し励磁損失が増大し装置自体の損失が増加し、ポンプとしての効率を上げ得ない。それで回転磁界発生装置として電磁コイルを使用することは有利ではない。
2)インペラーにかかる吸込み側へのスラスト力はかなり大きい。亦ラジアル方向の力もかかる、本ポンプには軸承がないのでこれに対する処置が必要である。
3)コンタミの発生がないようにする為にはインペラーを含む回転部分を周壁と非接触にする必要がある。即ち回転部分を液中に浮かした状態で回転する必要がある。
4)母液にスラリーが混入している時にはこれによるキャン及びローターの損耗が発生するのでこれを防ぐ必要があり、亦母液による腐蝕にも対応する必要がある。
この為接液部の材料は之等に耐えるものか、亦はコーティングする必要がある。
【0004】
【課題を解決する為の手段】
図1は本発明によるポンプの基本的構造を示す全体縦断図面である。外磁石(3)を配列した外磁石筒(3−1)と対応させて内磁石(4)を配列した内磁石筒(4−1)を設置し、これを同一のモーター(1)にて駆動する。この内外磁石は閉磁路を構成しこれを回転させる事によって内外磁石間に回転磁界を発生させる回転磁界発生装置となる。磁石による回転磁界発生方式は、汎用モーターのステーターの如きコアーの巻線による回転磁界発生方式に比べ次の如き利点がある。
a)1次、2次間の磁気的ギャップが大きくても磁界発生装置自体の損失はない。即ち励磁損失をなくしうる。亦キャン(6,7)を厚くしうる。
b)回転磁界の回転数は磁極数(磁石数)には関係なく磁石筒駆動用モーターの回転数となる。この事は内外磁石間に挿入されたローター(8)に発生するトルクを大きくする為極数を増やしても回転数の減少はない。
c)磁石は液中にないので母液の温度上昇による磁石の磁力減少はない。
d)ローターは誘導で回転するのであって吸引力によるものではない。従って従来のマグネットポンプの如く2次側の脱調はない。この事はポンプの回転数を上げ揚程を高めうる。
e)特に冷却装置の必要はない。
f)防爆については、モーターのみを考慮すれば良い。
【0005】
外磁石筒(3−1)内磁石筒(4−1)間に非磁性高電気抵抗の二重円筒を設置する。外側の円筒を外キャン(6)内側の円筒を内キャン(7)とする。内外キャンの上辺隙間は閉鎖する。外キャンの下端外側はフランヂにてインペラーケーシング(15)に接続、内キャンの下部はその途中に底(7−2)をつけ、亦之をインペラー主板(10−1) の上面近くまで延長させておく延長部分を(7−1)とする。内外キャンの隙間に非磁性電気良導体の適正な厚み(3〜4mm)の中空円筒のローター(8)を挿入し、ローターがこの隙間で自由に回転できるようにしておく。ローターと内外キャンの隙間は約2mm程度としておく。
ローター(8)は下端をインペラー主板(10−1)と接続する。ローターには動力軸、支持軸受等はない。接液部は必要に応じて耐蝕、耐磨耗材料にてコーティングしておく。
外キャン(6)の下部の内径は上辺よりふくらましてある。ローター(8)とインペラー主板(10−1)の連結箇所の少し上辺に於いてローターの外周にリング状の補助翼−1(11)を取付ける。之の補助翼−1に対応して外キャン内部に之と対応する対応リング(11−1)を取付ける。補助翼−1と対応リングを取付けた部分の平面図を図4に、図4の部分の詳細図を図5に示す。補助翼−1には複数の小さな翼(11−a)がきざまれており、対応リング(11−1)には複数の凹凸(11−1−b)がきざみこまれて(11−a)と(11−1−b)は隙間(g)にて対応している。
【0006】
次に補助翼−1と対応リングとの作用について図6、図7、図8により説明する。
インペラー吐出口から出て来た液はこの隙間(g)を通ってローターの内部(V2)部分に流入して行く。補助翼−1が回転している時は隙間(g)では乱流が起こり流体抵抗が増大しV2への流入量を制限する。この時(11)と(11−1)の対応面の長さが大きい程、即ち対応面積の大きい程V2への流入量は抑制される。図6、図7、図8はインペラー(10)の上昇、下降により補助翼−1(11)と対応リング(11−1)との対応長さの変化を示す図である。図6を標準状態に於ける対応位置としその対応長さをL0とする。インペラーが上昇した時の対応長さをL1、下降したときの対応長さをL2とした時インペラーとキャンとの隙間を夫々にH0、H1、H2とする。H0>H1、H0<H2となる。そしてL0>L1、L0<L2なるように(11)と(11−1)の長さ及び取付け位置を選定しておくとインペラーが上昇した時は隙間(g)に於ける抵抗が少なくなり流量FW1>FW0、インペラーが下降した時は隙間(g)に於ける抵抗は多くなり流量FW2<FW0となりV2部分への液の流入量は夫々変化しV3部分の圧力も変化させる。
【0007】
次にインペラーについて説明する。
通常インペラーの主板(10−1)にかかる下向きの力F1はインペラー下板(10−2)にかかる上向きの力F2よりはるかに大きい之は主板、下板の面積差によるものであるが、この差F1−F2(以下軸方向のスラストと記す)は(吐出圧力×インペラー吸込口の断面積)に略等しいと考えられるので場合によってはかなり大きい力になる。通常のポンプにはスラスト軸承があり、これで受けているのであるが本ポンプにはスラスト軸承がないので之に対処する為にはインペラー主板にかかる力F1を減ずる事が必要である。この事が本ポンプに於いては解決すべき最大の問題である。
【0008】
液中に於けるインペラーはインペラー主板(10−1)とインペラー下板(10−2)にかかる圧力の差によって上昇、下降する。即ちインペラー主板にかかる圧力がインペラー下板にかかる圧力より大きい時はインペラーは下降、反対の時は上昇する。両者の圧力差をなくしてインペラーを液中で静止状態にする事は不可能であるが、両者の圧力差の変化を或値内にすると上昇、下降も或範囲内に収まり上下、周壁と接触しないようにしうる。インペラー吸入筒の根元のインペラー下板から離れた位置には補助翼−1と同形の、外周に小さな複数の翼を有するリング状の補助翼−2(12)を取り付けると之によってインペラー吸入筒へ還流される流れは大きく抑制されインペラー下板にかかる圧力を略一定になしうる。
【0009】
インペラーを液中で或範囲内の上下の動きで安定させる為には、インペラーの主板、下板にかかる力の差を僅少ならしめる事である。その為には先ず主板、下板夫々の圧力のかかる面積を近づける事である。その方法として、主板の中央に孔をあけそこに均圧板(9)を挿入しこの均圧板をキャン内底(7−2)より吊下げバー(7−3)にて吊下げる。このようにするとインペラー主板にかかる力はこの均圧板にかかる力の分だけ減少する。ローターとインペラー主板間のスペース(V2)部分の圧力を減少させる。
【0010】
インペラー内の圧力の変化によりインペラーが下がりすぎると云うことはV2内の圧力が大きくなりすぎてインペラーを下方に押し下げる力が大きくなりすぎた為である。その時はV2内に入る液量を減少させ還流孔よりインペラー内に液を還流させてV2内の圧力を下げるようにする。V2内の圧力が高くなると還流量も当然多くなり圧力の減少効果も大きくなる。逆にV2内の圧力が低下するとインペラーは上昇する。その時はV2内への流入量を大きくして圧力を高め、インペラー下板にかかる圧力に近づける。前記の補助翼−1(11)と対応リング(11−1)の働きはこの作用をさせる為のものである。亦補助翼−1と対応リングはその隙間の液による楔効果によってキャンとローターの接触を防ぐ作用をなす。インペラー吸入筒(10−3)と給液用連結管(20)とを連結する時、給液用連結管の湾曲部とインペラー吸入筒との距離が短いと湾曲部に於ける流れFWAとFWBとは流速の差のあるままインペラー内に入るためインペラーが傾き周囲と接触する。この為湾曲部とインペラー間に整流装置(21)を取付ける。整流装置は目の荒い網又はパンチングプレート(22)を間を置いて2〜3枚流れに直角に取付ける。之は図9に示す。又はチューブを管内に流れ方向に挿入する等の方法もあるが之等の形状、方法等は自由である。要はインペラー内に入る液流の速度が均一であればよい。但し給液用連結管(20)の長さが長い時は、整流装置は不要である。又ポンプを停止させる時、たんに電源を切って停止させるとインペラーが低速になるに従いみそ摺り運動のように振れて回転し周壁と接触、摺動する。それで停止時は、逆転制動又はブレーキにより瞬停させるとインペラーは停止状態で軟着床し摺動等はしないことが判明したので停止は瞬停させる方法とする。
【0011】
次に本ポンプに圧力調整装置を装置した場合の構造を図2に示し、その構造の詳細及び作用を図3により説明する。圧力調整管(30)(以下調整管と記す)の上端に固定してある取付けフランヂ(30−5)をネジ(30−6)にて内キャン(7−2)下に固定し、均圧板の中央、インペラー中央を貫通し連結管(20)内まで下げそこで管壁を貫通させて管外に出しておく。均圧板は調整管に固定する。ネジ(30−6)を外すと調整管(30)はキャン内底(7−2)より取外し得る。均圧板(9)の外径はインペラー吸入管(10−3)の内径より小さいので調整管を残したままでインペラー(10)は上部に引出しうる。調整管内には細管(30−1)があり、上部にてV2中に出しV2中の液の取入口(30−2)を出しておく。又細管(30−1)は連結管外にて分岐(30−3)させ液溜(35)に連通させる。インペラーケーシング内(V1)部分より管(31)を引出し、又連結管よりも管(32)を引出し調整管(30)と開閉弁(以下弁と記す)(33)、(34)を経て調整管と連結する。管(31)を分岐管−1、管(32)を分岐管−2とする。下蓋(16)内面に凹部をつくりその中と液溜(35)内に圧力検出装置のヘッド(36)、(37)を取付ける。検出ヘッド(36)はV1の圧力を検出しヘッド(37)はV2の圧力を検出しうる事になる。之等の弁、検出ヘッドはコントローラー(38)と電気的に接続しておく。次に本装置の動作及び作用について説明する。
V1内の圧力P1、V2内の圧力P2の差が或範囲内の値(δP)にある時はインペラーは上下に多少の振動は、するものの略均衡して浮いた状態で回転を続ける事は実験的にも確認してある。
即ちP1−P2≫δPの時はインペラーは上方にか浮上しP1−P2≪δPのときはインペラーは下降しケーシング底面に接触する。それでP1−P2≫δPの時はP2即ちV2内の圧力を増大させるようにする為弁(34)を閉じ弁(33)を開にしてV1より調整管(30)を通してV2内に液を流入させるとP2の値が増大する。δPの値が適正になった時、弁(33)を閉じる。P1−P2≪δPの時は弁(33)を閉じ弁(34)を開にするとV2内の液は連結管(20)内へ還流させてP2の圧力は減少しδPの値が適正になった時、弁(33)を閉じる。弁の開閉は各圧力検出器よりの信号によりコントローラー(38)の信号によって自動的に行われるようにする。この圧力調整装置の作用に加えてインペラー主板と均圧板との隙間、均圧板の還流孔の効果、補助翼−1と対応リングの作用等による調整力も加わるが、本調整装置によってインペラーの安定均衡は確実になる。特にポンプ吐出圧力が高く吐出弁の開度を変化させる時は有効性がある事を実験的に確かめている。但し場合によっては、上記の本装置なしでもの還流、流入装置のみによってもやや不安定ながらインペラーを均衡させる場合もある。
【0012】
次に磁石装置について説明する。本ポンプの磁石装置は反発力を応用した装置である。静的状態に於ける永久磁石(以下単に磁石と記す)間の吸引、反発は、特に反発力は極めて不安定な状態になる。2つの磁石間に於ける反発力を安定させる為には
i)2つの磁石magA、magBのいづれか一方、例えばmagAを固定、magBがmagAと対応している状態で回転している時。
ii)magAのN極(又はS極)がmagBのS極(又はN極)と或程度以上の距離がある時。
iii)magAのN極(又はS極)とmagBのN極(又はS極)が適当にはなれている時。即ち強力な反発力を得ようとして接近させると両者の反発力は1点で対応するような状態になり極めて不安定になる。即ち反発力は適当な大きさで対応させる事。
以上を考慮して使用する反発用磁石は図10に示す如く高さのある円筒形の磁石の組合せとする。MG2、MG3は固定側、MG1は回転側に取付けられているものとする。MG1はMG2による反発力で吸込筒(10−3)がインペラーケーシングに接触するのを防ぐ。亦MG1はMG3により反発力をうけ吸込筒の下端がインペラーケーシングに接触するのを防止する。この時MG1の磁石部分の中心線はMG3の磁石部分の中心線より内側になる様にする。即ちMG1に適当な垂直外力及び回転が加へられるとこの相対位置関係は安定する。磁石装置(14)はインペラー停止時回転部分の重量のみを支える反発力があればよく回転部分を軽量にしておくとそれ程大きな反発力は必要ではない。従って磁石の強さを適当に選び図10の如き状態を保つ様各磁石間の距離を決めておく。このようにしておくと空運転時も回転部分は周壁と接触する事はない。図11は図10の矢視X1−Y1の平面図、図12は図10の矢視X2−Y2の平面図である。この磁石装置(14)は運転時インペラーにかかるスラスト力に対応する為の装置ではない。
【0013】
次にインペラーにかかるラジアル力について説明する。
Qn...正規の吐出量
Q.....運転時の吐出量
従って一般に吐出弁を閉じた時、Qは0となりTγは最大となる。従って効率、吐出量、揚程等を考慮せずTγのみの値を押さえてラジアル推力による振れをなくし回転部分と周壁との摺動をなくす事のみ目的とする場合には
i)吐出弁と、吸込弁を機械的又は電気的に連動させて
ii)吐出弁の開度又は流量計の信号によりモーターの回転数を変化させQnを調整する。この為にはモーターはインバーター駆動にする必要がある。
【0014】
図13は、非磁性円筒と回転磁界装置間の電磁的反発力を示すグラフである。回転磁界中に於ける非磁性導体の挙動は、その回転磁界と導体の構成による磁気的レイノルズ数(Rm.)とスリップ(S)の積がRm..S>1になる時、導体は回転磁界より反発力(RF)を受け、Rm..S<1になる時は吸引力(F)を受ける。ポンプが起動する時は、S=1で反発力は最大である。この反発力によってローターとキャンの間に隙間が生じると、之に液が侵入しておればローターの回転数の上昇に従って液膜による楔効果が増大してくる。横型ポンプに於いてはローターとインペラーの重量がキャンにかかるが竪型ポンプに於いてはこのような事はない。この反発力、液膜効果によりローターとキャンとの接触を防止する。
【0015】
【発明の実施の形態】
基本的構造のポンプ(図1)についての実験についてのみ記述する。
【0016】
【発明の効果】
i)ローターは誘導によって回転させられるのであり、通常のマグネットポンプの如く2次側の脱調はない。従ってインペラーを高速になし得る、即ち高揚程になし得ダイヤフラムポンプに代わりうる可能性がある。
ii)動力源である回転磁界発生装置はマグネットの回転式によるものであるのでコイル式のものに比べて磁気的ギャップが大きくても励磁損失は発生しない。
iii)電磁気的反発力、液膜効果によりキャンとローターは基本的に非接触となし得る。又インペラー及びローターに付けられた補助翼、還流孔によってスラスト力を減少せしめている。
iv)ローター下辺に取付けた補助翼−1、之と対応する対応リングにより、ローターとキャンとの接触を防ぎうると共にインペラーの上下の動きに沿ってローター内に流入する液量を制御し、亦インペラー主板の中央の均圧板によって主板にかかる圧力と下板にかかる圧力を近づけ得亦還流孔によりローター内の圧力を調整する事によってインペラーを液中の或範囲内の位置に保持させる事が出来る。之等によってローター及びインペラーの円周及び上下方向の周壁との接触、摺動を防ぐ。即ち非接触になしうる。
基本的には上記の如きであるが圧力調整装置をつけるとインペラーの安定度は向上する。
v)磁石装置によりインペラーを含む回転部分を上方に持上げる力を出させ液のない時も非接触になしうる。即ち之等の装置により回転部分に動力軸及軸承がなく、且つ周壁と非接触となし得る事によってコンタミの発生のないポンプとなし得ている。
vi)整流装置によってインペラーの傾きを防止、又インペラーっを瞬停させる事によって軟着床させインペラー及び回転部分の周壁との摺動をなくしうる。
vii)基本構造のポンプ(図1)に於いては、本体ケーシング亦はインペラーケーシング下蓋を外せば回転部分を簡単に取外せるので内部清掃の必要頻度の高い使用個所に適用される。
又圧力調整装置を取付けたポンプに於いては本体ケーシングの外に内キャン底より調整管を外せば同じく回転部分を取外せる。
viii)コンタミがないのでIC洗浄用、医薬、バイオ等の純粋液に適用できる。亦母液中に微細なスラリーが混入している液に対してもシール、ベアリング等の故障がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の基本的構造を示す全体の縦断面図
【図2】 本発明に圧力調整装置を取付けた全体の縦断面図
【図3】 圧力調整装置の説明図
【図4】 補助翼−1、及び対応リングの平面図
【図5】 図4の部分詳細図
【図6】 補助翼−1と対応リングとの関係位置図
【図7】 同上
【図8】 同上
【図9】 整流装置の取付図
【図10】 磁石装置の磁石配置図
【図11】 図10のX1−Y1矢視平面図
【図12】 図10のX2−Y2断面矢視図
【図13】 電磁的反発力の説明図
【符号の説明】
1 モーター
2 本体ケーシング
3 外磁石
3−1 外磁石筒
4 内磁石
4−1 内磁石筒
5 アーム
6 外キャン
7 内キャン
7−1 内キャン延長部
7−2 内キャン底
7−3 均圧板吊下げバー
8 ローター
9 均圧板
9−1 インペラー主板と均圧板との隙間
10 インペラー
10−1 インペラー主板
10−2 インペラー下板
10−3 インペラー吸入筒
11 補助翼−1
11−a 補助翼−1の翼部分
11−1 補助翼−1の対応リング
11−1−b 11−1の凹凸部分
Fw 11と11−1間の液の流れ方向
R ローターの回転方向
g 11と11−1間のgap
14 磁石装置
15 インペラーケーシング
16 インペラーケーシング下蓋
20 給液用連結管
21 整流装置
22 金網又はパンチングプレート
FWA 連結管湾曲部内の内側の流れ
FWB 同上 外側の流れ
30 圧力調整管
30−1 同上内細管
30−2 同上吸込口
30−3 同上出口
30−4 調整管への液の出入孔
30−5 調整官取付用フランヂ
30−6 取付ネジ
31 V1よりの流入管(分岐管−1)
32 連結管への還流管(分岐管−2)
33 開閉弁
34 同上
35 液溜
36 圧力検出ヘッド
37 同上
38 コントローラー
V1 インペラーケーシング内スペース
V2 インペラー主板、ローター間スペース
▲A▼ 磁石円筒
▲B▼ 非磁性円筒
▲C▼ 非磁性円筒(ローター電流が飽和の場合)
S スリップ
S1 Rm、S1=1の点
S2 Rm、S2=1の点
F 吸引力
RF 反発力
Claims (4)
- 下方吸い込み、側方吐出式の堅型ポンプに於いて、
非磁性高電気抵抗材質の中空円筒形状の外キャン内に、前記外キャンより小径で中空円筒形状をした前記外キャンと同材質の内キャンを隙間を持たせて挿入し、前記内外キャンの隙間の上端は閉鎖し、前記外キャンの下端近くは内径を大きくして前記下端周縁にフランジを取付け、前記内キャンは上面開放し、下側は途中を底にて閉鎖し、前記外キャンの外側に複数個の永久磁石をその内面に配列して取付けた円筒状の外磁石筒を配置し、前記内キャン内に前記外磁石筒の磁石と異極で対応する磁石をその外面に取付配列された円筒状の外磁石筒を配列し、両磁石円筒を駆動して前記内外キャンの隙間に回転磁界を発生させるためのモーターを設け、
前記内外キャンの隙間に、当該隙間で回転しうる中空円筒状の非磁性電気良導体で形成されたローターを配置し、前記ローターの上下面を開放し、前記ローターの下端は前記外キャンの下端に連設されたインペラーケーシング内に配置されたインペラーの上面であるインペラー主板に連結し、前記インペラーの下面であるインペラー下板に前記インペラー内に連通するインペラー吸入筒を設け、
前記ローターの外側下辺で前記インペラーより少し上側に、外周に小さな複数の翼を有するリング状の補助翼−1を取付け、前記補助翼−1に対応させて前記外キャンの内側に対応面が凹凸を有するリング状の対応リングを取付け、前記インペラーより吐出された液は前記補助翼−1と前記対応リングの隙間を通って前記ローター内側に流入しうるような構造とし、
前記インペラー主板の中央に前記インペラー吸入筒内径と略同径の孔をあけ、これに円板状の均圧板を挿入し、前記均圧板は吊下げバーにて前記内キャン内の底より吊下げ、前記均圧板と前記インペラー主板との間に隙間を開けておき、前記隙間より前記インペラー主板と前記ローター間の液体が前記インペラー内に還流するようにし、また、前記均圧板にも適当な大きさの還流孔をあけ、前記インペラー吸入筒の根元のインペラー下板から離れた位置に補助翼−1と同じ形状の、外周に小さな複数の翼を有するリング状の補助翼−2を取付け、
前記インペラー吸入筒下端とインペラー下蓋に、前記インペラー停止時、当該インペラーを持上げるだけの反発力を有する磁石装置を取付けた構造としたコンタミの発生しない非接触ポンプ。 - 前記インペラー主板と前記ローターに囲まれたスペースV2の圧力とインペラーケーシング内V1の圧力を検出する検出装置を取付け、前記スペースV2内から調整管を前記均圧板、前記インペラー中央を貫通させて連結管内まで下し、前記連結管の壁より外部へ出し、前記均圧板は調整管に固定して保持し、前記インペラーケーシング内V1および前記連結管壁に内部に通ずる管を取付け、夫々の管に開閉弁を取付け、その開閉弁より後を調節管と連結し、圧力検出器の信号により上記開閉弁を作動させることにより、前記スペースV2内の液を前記連結管内へ還流させまたはインペラーケーシング内V1内の液をスペースV2へ流入させて、V1,V2内の圧力差を或範囲内の値にすることによって前記インペラーを液中に安定、均衝した状態にするための圧力調整装置を設けた請求項1記載のコンタミの発生しない非接触ポンプ。
- 前記インペラー吸入筒へ液を供給する給液用連結管の湾曲部と前記インペラーとの間に、前記インペラー吸入筒への液の流入速度を均一化させる為の整流装置を挿入した請求項1または2記載のコンタミの発生しない非接触ポンプ。
- 本体ケーシングとインペラーケーシング上蓋を連結している複数本のボルトを外して、前記本体ケーシングおよび前記内キャン底より前記調節菅を取外せば、前記インペラー、前記ローターおよび前記内外キャンを取り出せる構造とした1〜3のいずれかに記載のコンタミの発生しない非接触ポンプ。
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