JP3933526B2 - ガス濃度測定装置 - Google Patents

ガス濃度測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3933526B2
JP3933526B2 JP2002161116A JP2002161116A JP3933526B2 JP 3933526 B2 JP3933526 B2 JP 3933526B2 JP 2002161116 A JP2002161116 A JP 2002161116A JP 2002161116 A JP2002161116 A JP 2002161116A JP 3933526 B2 JP3933526 B2 JP 3933526B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
gas
semiconductor
semiconductor material
switch
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002161116A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004003903A (ja
Inventor
勝 石橋
康二三 大田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Riken Keiki KK
Original Assignee
Riken Keiki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Riken Keiki KK filed Critical Riken Keiki KK
Priority to JP2002161116A priority Critical patent/JP3933526B2/ja
Publication of JP2004003903A publication Critical patent/JP2004003903A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3933526B2 publication Critical patent/JP3933526B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、遠隔地に配置されたガスセンサからの電圧信号を有線により伝送してガスの濃度を検出するガス濃度測定装置におけるガスセンサの端子電圧を検出端子側で測定する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、化学プラントなどでは原料の漏洩を早期に検出するため、ガス検出手段を設備ごとに配置してケーブルにより中央監視所に電圧信号を伝送するように監視システムが構築されている。
【0003】
このようなガス検出手段は、通常、ガスに感応する半導体物質を加熱手段により加熱し、ガス感応時の半導体物質の抵抗を基準抵抗との分圧として検出するように回路構成されて使用される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガス検出点と中央監視所とは、長い場合にはキロメートルオーダのケーブルにより接続され、かつその長さが不定であるため、ケーブルの線路抵抗に起因した誤差が測定結果に含まれるという問題がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ガス検出点と中央監視所とを接続するケーブルの線路抵抗にかかわりなく、ガスセンサに印加される端子電圧を中央監視所から測定することができるガス検出装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような問題を解消するために本発明においては、ガスに感応する半導体物質をヒータにより加熱する半導体ガスセンサと、前記ヒータに線路を介して定電流を供給する定電流電源手段と、前記半導体物質の抵抗、または電圧を、基準抵抗の電圧信号として線路を介して検出する測定手段とを備えたガス濃度測定装置において、前記半導体物質はスイッチを介して前記基準抵抗に接続されており、前記ガスを測定する場合には前記スイッチがオンにされ、また前記半導体物質の端子電圧を測定する場合には前記スイッチがオフにされるように構成されている。
【0006】
【作用】
半導体ガスセンサの端子電圧を測定する場合には、スイッチをオフとして線路1本分の電圧降下を含む電圧を検出し、ヒータに接続する線路間の電圧との演算により線路抵抗による電圧降下を相殺した電圧データを得る。
【0007】
【発明の実施の態様】
そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
図1は、本発明の一実施例を示すものであって、ガス検出手段を構成する半導体ガスセンサ1は、ヒータ2と、これとは電気的に分離され、かつ熱伝導関係を形成するようにガス感応半導体物質3を配置して構成されている。
ガスセンサ1は、そのヒータ2をケーブルを構成する線路L1、L2を介して中央監視所の端子T1、T2に、また半導体物質3は一端をヒータ2に接続され、他端を線路L3を介して端子T3に延長されている。
【0008】
端子T1、T2には定電流電源回路4が接続されていて、半導体ガスセンサ1のヒータ2に所定電流、例えば100mAの電流が供給されている。
また端子T3には常時オン状態を維持するスイッチ5を介して接地された基準抵抗6が接続され、基準抵抗6の電圧信号が演算増幅器7を介して測定手段8に入力されている。測定手段8は、アナログーデジタル変換手段9、ガス濃度演算手段10、表示部11により構成され、半導体物質3の抵抗値を電圧信号として検出し、ガス濃度を表示部11により表示するように構成されている。
【0009】
この実施例において、被検ガスが半導体ガスセンサ1に流れ込むと、半導体物質3の抵抗値Rxがガス濃度に対応して変化する。この抵抗Rxは、ヒータ2と半導体物質3との接続点Aから端子3までの抵抗として測定手段8により検出される。つまり半導体物質3と直列に接続された基準抵抗6の電圧をアナログーデジタル変換器9から得て、ガス濃度演算手段10に予め格納されている校正データに基づいてガス濃度を算出して表示部11に表示する。
【0010】
このように分圧により半導体ガスセンサ1の信号電圧を検出する関係上、半導体ガスセンサ1に印加されている電圧V、つまりA点とB点との間の電圧を検出する必要があるが、各線路L1〜L3は、それぞれ線路抵抗R1〜R3が存在するため、端子T1、T2の電圧は、負荷電流と線路抵抗R1、R2(長さ2000mの場合には略20Ω程度)とによる電圧降下分ΔVを含む。
【0011】
半導体ガスセンサ1に印加される電圧Vを測定する場合には、スイッチ5をオフとして接続点Aと端子T3との間に電流が流れない状態として端子T1と端子T3との電圧を高入力インピーダンス電圧測定手段により測定すると、半導体物質3の抵抗(通常、200KΩ程度)や線路抵抗R3に関わり無く、端子T1とA点と間の電圧V1、つまり線路抵抗R2による電圧降下分ΔV1だけを含んだ電圧を測定できる。
【0012】
また、端子T1と端子T2との電圧V2を測定することにより、線路抵抗R1とR2とによる電圧降下ΔV2を含んだ電圧を測定することができる。
【0013】
ところで、線路L1乃至L3は通常同一規格のものが用いられ、かつ長さも同一であり、またヒータ2の抵抗も一定であるから、これら電圧V1とV2との差分V1−V2は、線路L1、L2それぞれ1本分の電圧降下を示すことになる。
【0014】
したがって、端子T1と端子T2との間の電圧V2から上記差分の2倍の電圧(V1−V2)×2を差し引くか、または端子T1と端子T3との間の電圧V1から上記差分(V1−V2)を差し引くことにより、半導体ガスセンサ1の端子電圧Vを正確に知ることができる。
【0015】
なお、上述に実施例においては、スイッチ5としてメカニカルスイッチを使用した場合について説明したが、半導体スイッチを使用しても同様の作用を奏する。
すなわち、半導体スイッチは、そのオフ時のインピーダンスは、半導体物質3や線路抵抗に対して極めて高い値を有するから、実質的に完全なオフ状態とみなすことができる。
【0016】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、半導体ガスセンサの端子電圧を測定する場合には、スイッチをオフとして線路1本分の電圧降下を含む電圧が検出できるから、ヒータに接続する線路間の電圧との演算により線路抵抗による電圧降下が相殺可能となり、遠隔地点のセンサに印加されている電圧を正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 半導体ガスセンサ
2 ヒータ
3 半導体物質
5 スイッチ
6 基準抵抗
8 測定手段

Claims (1)

  1. ガスに感応する半導体物質をヒータにより加熱する半導体ガスセンサと、前記ヒータに線路を介して定電流を供給する定電流電源手段と、前記半導体物質の抵抗、または電圧を、基準抵抗の電圧信号として線路を介して検出する測定手段とを備えたガス濃度測定装置において、
    前記半導体物質はスイッチを介して前記基準抵抗に接続されており、前記ガスを測定する場合には前記スイッチがオンにされ、また前記半導体物質の端子電圧を測定する場合には前記スイッチがオフにされるガス濃度測定装置。
JP2002161116A 2002-06-03 2002-06-03 ガス濃度測定装置 Expired - Fee Related JP3933526B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002161116A JP3933526B2 (ja) 2002-06-03 2002-06-03 ガス濃度測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002161116A JP3933526B2 (ja) 2002-06-03 2002-06-03 ガス濃度測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004003903A JP2004003903A (ja) 2004-01-08
JP3933526B2 true JP3933526B2 (ja) 2007-06-20

Family

ID=30430274

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002161116A Expired - Fee Related JP3933526B2 (ja) 2002-06-03 2002-06-03 ガス濃度測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3933526B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6379372B2 (ja) * 2013-07-10 2018-08-29 理研計器株式会社 ガス検出システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004003903A (ja) 2004-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5465355B2 (ja) サーモカップルの極性検知機能を備えたプロセス変数送信機
KR101293280B1 (ko) 멀티입력회로
JP2014529075A (ja) 差分電流センサ
CN104297569B (zh) 电阻测量
WO2018127793A1 (en) Devices and methods for smart sensor application
KR102530710B1 (ko) 전류 센서 및 전류 측정 방법
JP4819874B2 (ja) センサシステム
US4492123A (en) Thermal conductivity vacuum gage
CN203177991U (zh) 利用emf检测和校正的过程变量变送器
US20100026322A1 (en) Method for ascertaining burden resistance for a measurement transmitter
JP3933526B2 (ja) ガス濃度測定装置
JPH08247857A (ja) 測温抵抗体入力装置
JP6767731B2 (ja) 過熱検出システム事象地点のためのシステムおよび方法
JP3878779B2 (ja) 抵抗測定方法およびその装置
CA1237476A (en) Method and circuit for evaluating an analog voltage
CN109564139A (zh) 传感器装置
US9470580B2 (en) Infrared sensor
JPH0614082B2 (ja) 温度測定装置
KR101338756B1 (ko) 측온저항체를 이용한 온도 측정 장치
JP2003106879A (ja) 電磁流量計
CN215066929U (zh) 一种电流检测系统
JP2006023212A (ja) ひずみ測定装置およびひずみゲージ判別方法
JP4087616B2 (ja) 液面測定装置
JPH0534583U (ja) 四端子測定回路
JPS61100668A (ja) 断線検出回路

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050516

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070219

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070313

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070313

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3933526

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130330

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130330

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160330

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees