JP3931138B2 - Power semiconductor device and method for manufacturing power semiconductor device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は電力用半導体装置及びそれの製造方法に関し、写真製版工程を削減すると同時に、かかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のパワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effcet Transistor)は次のように製造される。
【0003】
まず、n+型シリコン基板上にn-型シリコン層をエピタキシャル成長させる。次に、上記エピタキシャル層の主面上にシリコン酸化膜(以下「酸化膜」とも呼ぶ)を形成する。そして、写真製版技術を利用してフォトレジストパターンを酸化膜上に形成し、そのフォトレジストパターンをマスクにして酸化膜のうちで素子配置部の中央領域内の部分をエッチングし、開口を形成する。このとき、エピタキシャル層のうちで素子配置部の外周領域(周辺領域)内の部分は残った酸化膜で覆われる(マスクされる)。そして、フォトレジストパターン及び開口した酸化膜をマスクにしてp型不純物(例えばボロン)をイオン注入し、その後熱処理を施すことにより、エピタキシャル層の主面内にパワーMOSFETのpベース層を形成する。その後、フォトレジストパターンを除去する。
【0004】
次に、写真製版技術を利用して、中央領域内に開口を有するフォトレジストパターンを形成する。このとき、フォトレジストパターンの開口は上記酸化膜の開口よりも狭く形成し、フォトレジストパターンで以て上記酸化膜のみならずpベース層のうちで上記酸化膜の開口付近の部分をも覆うようにする。そして、このフォトレジストパターンをマスクにしてn型不純物(砒素)をイオン注入し、その後熱処理を施すことによって、pベース層の主面内に、パワーMOSFETのn+ソース層を形成する。その後、フォトレジストパターンを除去する。
【0005】
次に、上記酸化膜及び当該酸化膜の開口内に露出した主面を覆うように、CVD(Chemical Vapor Deposition)法によって絶縁膜を全面的に形成する。続いて、当該絶縁膜上に、ゲートトレンチに対応した開口を有するフォトレジストパターンを写真製版技術を利用して形成し、このフォトレジストパターンをマスクにして上記絶縁膜をエッチングする。フォトレジストパターンの除去後、パターニングされた絶縁膜をマスクにしてn+ソース層、pベース層、及びエピタキシャル層をエッチングし、ゲートトレンチを形成する。その後、マスクとして用いた絶縁膜を除去し、露出した表面にゲート酸化膜を形成する。
【0006】
次に、n型のポリシリコンを、ゲートトレンチを埋めるように更に主面よりも上方にまで至るようにCVD法によって蒸着し、その後、所定の厚さまでエッチバックする。そして、ポリシリコンのうちでトレンチ内から上記酸化膜上に引き上げられた部分を覆うように、写真製版技術を利用してフォトレジストパターンを形成する。その後、当該フォトレジストパターンをマスクにして、主面と同じ高さ又はそれ以下までポリシリコンをドライエッチングする。これによりゲートポリシリコン電極が形成される。なお、MOSトランジスタを正常動作させるために、トレンチ内のポリシリコンの上面をpベース層とn+ソース層との接合よりも上方に設ける。その後、フォトレジストパターンを除去する。
【0007】
そして、ポリシリコンの露出した表面にキャップ酸化膜を形成し、更に、層間絶縁膜としてのBPSG(Boro-Phospho Silicate Glass)をCVD法により堆積する。
【0008】
次に、写真製版技術を利用して、ソースコンタクトホール用及びゲートコンタクトホール用の開口を有するフォトレジストパターンを層間絶縁膜上に形成する。そして、当該フォトレジストパターンをマスクにして層間絶縁膜等をエッチングし、ソースコンタクトホール及びゲートコンタクトホールを形成する。その後、フォトレジストパターンを除去する。なお、ソースコンタクトホールは、ゲートポリシリコン電極付近においてn+ソース層を貫通しpベース層に至るように形成されている。また、ゲートコンタクトホールは外周領域内において酸化膜上に形成され、当該ホール内にゲートポリシリコン電極のうちでゲートトレンチから引き上げられた部分が露出するように形成される。
【0009】
次に、ソースコンタクトホール及びゲートコンタクトホールを埋めるように、スパッタリング法によって導電性のAl−Si膜を全面的に蒸着し、このAl−Si膜上に写真製版技術を利用してフォトレジストパターンを形成する。そして、フォトレジストパターンをマスクにしてエッチングを行うことにより、Al−Si膜からソースアルミニウム電極及びゲートアルミニウム電極を形成する。そして、フォトレジストパターンを除去する。
【0010】
その後、基板においてエピタキシャル層とは反対側の表面上に全面的に導電性のTi/Ni/Au合金をスパッタリング法により蒸着し、ドレイン電極を形成する。
【0011】
以上の工程によって従来のパワーMOSFETが完成する。
【0012】
ここで、上述の従来のパワーMOSFETにおける耐圧を説明する。ソースアルミニウム電極を接地(グランド)電位に設定しドレイン電極を正の電位に設定した状態ではpベース層とエピタキシャル層との接合部に空乏層が発生する。一般的に、空乏層は印加電圧の1/2乗に比例して広がっていくので、電流も電圧の1/2乗に比例して増加していく。電圧を増加していき空乏層に掛かる電界の強度がある一定値を超えると、アバランシェ・ブレイクダウンが起きる。通常はアバランシェ・ブレイクダウンを起こさないように、アバランシェ・ブレイクダウン電圧の80%程度の電圧が使用される。このとき、pベース層の外端は曲率を有するので、空乏層に掛かる電界はより強くなり、一次元のpn接合耐圧に比べブレイクダウン電圧が小さくなる。そのため、曲率をもつパワーデバイスのブレイクダウン電圧を向上させるための構造がいくつか提案されている。代表的な構造としてフィールドリング構造(又はガードリング構造)やフィールドプレート構造が挙げられ、これらは一般的に広く使われている。フィールドリング構造によれば、主接合を形成するpベース層の外周にマルチ・フローティング状態のp型層を設けることによって、曲率を緩和し、空乏層を均一に保つ。また、フィールドプレート構造によれば、pベース層の直上及び外側に絶縁膜を介して電極を配置し該電極に負の電圧を与えることによって、外側へ空乏層を延びやすくし、曲率を緩和する。
【0013】
なお、上述の従来の製造方法は例えば特許文献1において紹介されている。
【0014】
【特許文献1】
国際公開第99/12214号パンフレット
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来のパワーMOSFETの製造方法は6つの写真製版工程を含んでいる。すなわち、
1.pベース層の形成時、
2.n+ソース層の形成時、
3.ゲートトレンチの形成時、
4.ゲートポリシリコン電極のパターニング時、
5.コンタクトホールの形成時、及び、
6.アルミニウム電極のパターニング時、
において、写真製版技術を利用する。
【0016】
ここで、製造工程数削減のためにn+ソース層の形成時の写真製版工程を無くした場合、次のような問題が生じる。すなわち、n+ソース層のためのイオン注入は、pベース層のためのイオン注入時に用いた上記酸化膜をそのまま再度マスクにして用いてセルフアラインで行うことになる(ダブル拡散構造)。この場合、n+ソース層用の既述のマスク(すなわち酸化膜よりも狭い開口を有するフォトレジストパターン)を用いる場合と比較して、n+ソース層の外端がpベース層の外端により近くなる。すなわち、外周部分においてpベース層の幅が狭くなる、換言すればpベース層の外周とn+ソース層の外周との間の距離が短くなる。このため、パンチスルーが起こりやすくなり、耐圧が低下してしまう。
【0017】
この発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、写真製版工程を削減可能であると同時にかかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善可能な、電力用半導体装置及びそれの製造方法を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る電力用半導体装置は、セル領域である中央領域と前記中央領域を取り巻く外周領域とを有する素子配置部内に電力用半導体素子を含んだ電力用半導体装置であって、第1導電型の第1半導体層と、第1絶縁体と、第2絶縁体と、第1導電型とは反対の第2導電型の第2半導体層と、第1導電型の第3半導体層と、を含んでいる。前記第1半導体層は、前記中央領域と前記外周領域とに渡って設けられた主面を含んでいる。前記第1絶縁体は、前記中央領域内に第1開口を有して前記主面上に設けられており、前記第1開口を成す側面を含んでいる。前記第2絶縁体は、前記第1開口を狭めるように前記第1絶縁体の前記側面上に設けられている。前記第2半導体層は、前記主面内に設けられている。前記第2半導体層は第1部分を含んでおり、当該第1部分は、前記中央領域内において前記電力用半導体素子のベース層を成し前記第1絶縁体に接触するように前記外周領域の側へ延在している。前記第3半導体層は、前記主面のうちで前記第1部分の形成領域内に設けられており、前記第1部分の前記形成領域のうちで前記中央領域内において前記電力用半導体素子の他の一部を成し前記第2絶縁体に接触するように前記外周領域の側へ延在している。前記第3半導体層は、前記第2絶縁体を有した状態で前記第1開口を介して不純物を注入することにより前記第2半導体層内に形成され、前記第2絶縁体に接触し、前記第1絶縁体に接触しない。
【0019】
また、この発明に係る電力用半導体装置の製造方法は、次の工程(a)〜(h)を含んでいる。なお、前記電力用半導体装置は、セル領域である中央領域と前記中央領域を取り巻く外周領域とを有する素子配置部内に電力用半導体素子を含んでいる。前記工程(a)は、第1導電型の第1半導体層を準備する工程である。なお、前記第1半導体層は、前記中央領域と前記外周領域とに渡る主面を含む。前記工程(b)は、前記中央領域と前記外周領域とに渡って前記主面上に第1絶縁膜を形成する工程である。前記工程(c)は、前記第1絶縁膜を開口して、少なくとも1つの開口を有する第1絶縁体を形成する工程である。前記工程(d)は、前記少なくとも1つの開口を介して前記第1導電型とは反対の第2導電型の不純物をイオン注入する工程である。前記工程(e)は、前記工程(d)の後に熱処理を実施する工程である。前記工程(f)は、前記少なくとも1つの開口を埋めるように第2絶縁膜を形成する工程である。前記工程(g)は、前記第2絶縁膜をエッチバックする工程である。なお、前記少なくとも1つの開口は、前記中央領域内の第1開口を含む。ここで、前記工程(c)は、前記第1絶縁膜に前記第1開口を形成する工程(c)-1)を含む。また、前記工程(d)は、前記第1開口を介して前記第2導電型の前記不純物をイオン注入して、前記主面内に前記第2導電型の第2半導体層の第1部分を形成する工程(d)-1)を含む。前記第1部分は、前記中央領域内において前記電力用半導体素子のベース層を成し前記第1絶縁体に接触するように前記外周領域の側へ延在する。また、前記工程(g)は、前記第2絶縁膜から、前記第1開口を成す前記第1絶縁体の側面上に第2絶縁体を形成して、前記第1開口を狭める工程(g)-1)を含む。前記工程(h)は、前記工程(g)の後、前記第2絶縁体を有した状態で前記第1開口を介して前記第1導電型の不純物をイオン注入して、前記主面のうちで前記第1部分の形成領域内に、前記第2絶縁体に接触し前記第1絶縁体に接触しないように前記第1導電型の第3半導体層を形成する工程である。
【0020】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1に実施の形態1に係る電力用半導体装置(以下単に「半導体装置」とも呼ぶ)501を説明するための平面図を示す。
【0021】
図1に示すように半導体装置501は、素子配置部550と、当該素子配置部550を取り巻くダイシング部560とに大別される。そして、素子配置部550は、中央領域(又はセル領域)551と、当該中央領域551を取り巻く外周領域552と、を含んでいる。
【0022】
図1中の破線で囲んだ部分2(中央領域551と外周領域552との境界付近の部分)の拡大平面図を図2に示す。また、図2中の3−3線における断面図を図3に示し(シリコンメサ領域)、図2中の4−4線における断面図を図4に示し、図3(又は図4)の一部を図5に拡大して示す。また、図1中の破線で囲んだ部分6(中央領域551)の拡大図を図6に示す。なお、図2及び後述の同様の平面図では、説明のために、絶縁膜840,850,860等の図示を省略し、電極820等を破断している。また、図面の煩雑化を避けるため、例えば図3中の第2絶縁体720のような小さい箇所ではハッチングを省略している。
【0023】
なお、以下の説明では便宜上、ゲート電極(制御電極)810用のゲートトレンチ(以下単に「トレンチ」とも呼ぶ)813の最外端の位置を、中央領域551と外周領域552との境界に選定するが、当該境界はこれに限定されるものではない。例えば、第1絶縁体710の側面71W(図5参照)の位置を上記境界を選定しても構わない。また、例えば、第2絶縁体720において第1絶縁体710から遠い側の端の位置を上記境界に選定しても構わない。
【0024】
半導体装置501において素子配置部550内にはMOS型トランジスタ構造(後述する)を有する電力用半導体素子(以下単に「半導体素子」とも呼ぶ)800が形成されており、当該半導体素子800としてここではnチャネル型パワーMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor)を例に挙げる。半導体素子800のMOS型トランジスタ構造は中央領域551に形成されている。
【0025】
図2〜図6に示すように、半導体装置501は、n型(第1導電型)の不純物を高濃度に含んだn+型のシリコン基板600と、当該基板600の主面上に配置されたn-型シリコンのエピタキシャル層(第1半導体層)610と、から成る基板を含んでおり、当該2層構造の基板に種々の要素が形成されている。なお、この2層構造基板は素子配置部550とダイシング部560とに渡っており(素子配置部550とダイシング部560とを含んでおり)、このためエピタキシャル層610の主面(基板600と接する主面とは反対側の主面)61Sは素子配置部550とダイシング部560とに渡っている。
【0026】
外周領域552内において、エピタキシャル層610の主面61S上に、例えばシリコン酸化物から成る膜状の第1絶縁体710が配置されている。第1絶縁体710は中央領域551内に開口(第1開口)711(後述の図8を参照)を有しており、平面視上、中央領域551内のMOS型トランジスタ構造を取り囲むような形状を有している。そして、第1絶縁体710は開口711を成す側面71W(図5参照)を有しており、当該側面71Wは中央領域551(の中央)側に向いている。
【0027】
第1絶縁体710の側面71W上にはエピタキシャル層610の主面61Sに接して例えばシリコン酸化物から成る第2絶縁体720が配置されており、このため第2絶縁体720によって開口711が狭められている。第2絶縁体720はいわゆるサイド・ウォール・スペーサ(MOSFETのゲート電極横に設けられ、例えばLDD(Lightly Doped Drain)領域の形成に利用される)と同様の形状をしている。図示の例では、第2絶縁体720は、第1絶縁体710と略同じ高さ(主面61Sの法線方向の寸法。図3〜図5において図面縦方向)を有し、高さ方向において主面61Sから遠くなるほど幅(主面61Sに平行且つ側面71Wに交差(直交)する方向の寸法。図3〜図5において図面横方向)が小さくなっている。なお、図面では第2絶縁体720の中央領域551側の面(側面)が平面(従って断面視が3角形)の場合を図示しているが、当該面は曲面であっても良い。
【0028】
エピタキシャル層610の主面61S内にはp型(第2導電型)の不純物、例えばボロンを含んだp型シリコンから成るp型層(第2半導体層)620が形成されており、p型層620はパワーMOSFETのpベース層(第1部分)621から成る。pベース層621は主面61Sから所定深さまで形成されているが、基板600には達していない。また、pベース層621は中央領域551内全体に設けられていると共に外周領域552の側へ(ここでは外周領域552内へ)延在している。このとき、pベース層621の端部(外端)は第1絶縁体710のうちで第2絶縁体720付近の端部に対向する位置まで達している。pベース層621は中央領域551内においてMOS型トランジスタ構造の一部を構成する。
【0029】
なお、以下の説明では、エピタキシャル層610の主面61Sのうちでp型層620の形成領域を「p型層620の主面61S」とも表現し、同様に「pベース層621の主面61S」という表現も用いる。
【0030】
更に、pベース層621の主面61S内にn型の不純物、例えば砒素を高濃度に含んだn+型シリコン層(第3半導体層)630が形成されている。なお、n+型シリコン層630はパワーMOSFETのn+ソース層を成すため、以下、当該層630を「n+ソース層630」とも呼ぶ。n+ソース層630は主面61Sから所定深さまで形成されているが、pベース層621の底部には達していない、すなわちpベース層621よりも浅くこれを越えていない。また、n+ソース層630は中央領域551内に設けられていると共に外周領域552の側へ(ここでは外周領域552内へ)延在している。このとき、n+ソース層630の端部(外端)は第2絶縁体720に対向するが第1絶縁体710には対向しない位置に設けられている。n+ソース層630は中央領域551内においてMOS型トランジスタ構造の一部を構成する。
【0031】
なお、以下の説明では、エピタキシャル層610の主面61Sのうちでn+ソース層630の形成領域を「n+ソース層630の主面61S」とも表現する。
【0032】
そして、図2に示すように、中央領域551内にはゲートトレンチ813が平面視上網状に形成されている。図3、図4及び図6に示すように、トレンチ813は主面61Sから、n+ソース層630及びpベース層621を貫通しエピタキシャル層610に至る深さまで形成されている。但し、トレンチ813は基板600には達していない。トレンチ813の内表面上には例えば酸化シリコンから成るゲート絶縁膜840が配置されており、ゲートトレンチ813を埋めるようにゲート絶縁膜840上に、高濃度にドーピングされたポリシリコンから成る、ゲートポリシリコン電極811が配置されている。なお、ゲートポリシリコン電極811はゲートパッド570(図1参照)に繋がっている。
【0033】
図3〜図5に示すように、ゲート絶縁膜840はトレンチ813内から引き続いて主面61S上にも延在している。具体的には、ゲート絶縁膜840はn+ソース層630の主面61S上に延在しており、その端部は第2絶縁体720に接している。なお、ゲート絶縁膜840は第1絶縁体710よりも薄い。更に、図2〜図5に示すように、ゲートポリシリコン電極811もトレンチ813の外へ引き出されており、ゲート絶縁膜840上、第2絶縁体720上、及び第1絶縁体710上に広がっており、これらの要素840,720,710に接している。
【0034】
そして、ゲートポリシリコン電極811を覆って、絶縁を目的とするキャップ酸化膜850が配置されている。更に、エピタキシャル層610を主面61S側から覆うように例えばBPSG(Boro-Phospho Silicate Glass)から成る層間絶縁膜860が配置されている。
【0035】
外周領域552内には層間絶縁膜860、キャップ酸化膜850、及びゲートポリシリコン電極811を貫通するように、しかし主面61Sには達しないように、ゲートコンタクトホール819が形成されている。なお、ここでは、図2に示すようにゲートコンタクトホール819が平面視上線状の場合を例示する。そして、ゲートコンタクトホール819内においてゲートポリシリコン電極811と接するように、例えば導電性のAl−Siから成るゲートアルミニウム電極812が層間絶縁膜860上に形成されている。
【0036】
このとき、ゲートポリシリコン電極811のうちでトレンチ813外へ引き出された部分は、ゲート絶縁膜840、第2絶縁体720、及び第1絶縁体710を介して主面61Sに対向するように延在しており、更にp型層620(すなわちpベース層621)よりも中央領域551から遠い側へ延在している。そして、ゲートアルミニウム電極812はゲートポリシリコン電極811のうちでトレンチ813外へ引き出された部分を介して主面61Sに対向するように設けられている。ゲートアルミニウム電極812は、トレンチ813の最外端付近から、中央領域551から遠ざかる側へ延在しており、p型層620の配置位置を越えて延在している。
【0037】
ここで、電力用半導体装置501では、ゲートポリシリコン電極811とゲートアルミニウム電極812とから成るゲート電極810が、後述のMOS型トランジスタ構造の制御電極810を成している。このとき、電力用半導体装置501のゲート電極810は、ゲート絶縁膜840のうちで主面61S上の部分並びに第1及び第2絶縁体710,720を介して主面61Sに対向するように且つp型層620よりも中央領域551から遠い側にまで延在するように(p型層620の配置位置を越えて延在するように)、設けられている。なお、ゲートアルミニウム電極812はゲートポリシリコン電極811の配線抵抗を低減させる役割を担う。
【0038】
一方、図2、図4及び図6に示すように中央領域551内には、層間絶縁膜860、ゲート絶縁膜840のうちで主面61S上の部分、及びn+ソース層630を貫通してpベース層621に至るように、ソースコンタクトホール829が形成されている。このソースコンタクトホール829は網状のゲートポリシリコン電極811の網の目部分(図2では平面視上4角形の場合を例示している)に設けられており、ゲートポリシリコン電極811の付近にn+ソース層630が残るように形成されている。そして、各ソースコンタクトホール829内においてn+ソース層630及びpベース層621に接するように、例えば導電性のAl−Siから成るソース電極(主電極)820が中央領域551内において層間絶縁膜860上に形成されている。なお、半導体装置501ではソース電極820は外周領域552内へ及んでいない。
【0039】
そして、基板600上には例えばTi/Ni/Au合金から成るドレイン電極(主電極)830が中央領域551と外周領域552とに渡って配置されている。
【0040】
このとき、ソース電極820とドレイン電極830とは、半導体層610,620,630をこれらの層610,620,630の積層方向(換言すれば主面61Sの法線方向)において挟み込むように設けられている。
【0041】
ここで、ゲート電極810とゲート絶縁膜840と半導体層610,620,630とで以て、電力用半導体素子800(ここではnチャネル型パワーMOSFET)におけるMOS構造が形成されている。そして、ソース電極820とドレイン電極830との間の主経路を流れる主電流がゲート電極810(のトレンチ813内の部分)で以て、より具体的にはゲート電極810への印加電圧で以て制御される、というMOS型トランジスタ構造が形成されている。
【0042】
次に、図7〜図22の断面図をも参照しつつ電力用半導体装置501の製造方法を説明する。なお、図7〜図22中の(a)は図3に対応し、図7〜図22中の(b)は図4に対応し、図7〜図22中の(c)は図6に対応する。
【0043】
まず、n型不純物を高濃度に含むn+型シリコン基板600を準備し、当該基板600の主面上にn-型シリコン層(第1半導体層)610をエピタキシャル成長させる(図7参照)。なお、基板600及びエピタキシャル層610は素子配置部550とダイシング部560とを含んでおり、エピタキシャル層610の主面61Sは素子配置部550とダイシング部560とに渡っている。
【0044】
次に、エピタキシャル層610の主面61S上に全面的に、例えば酸化シリコンから成る第1絶縁膜及びフォトレジスト膜をこの順序で形成する(従って、第1絶縁膜及びフォトレジスト膜は中央領域551と外周領域552とに渡って設けられる)。次に、写真製版技術を利用して上記フォトレジスト膜をパターニングし、既述の第1絶縁体710に対応したフォトレジストパターン900を形成する(図8参照)。そして、フォトレジストパターン900をマスクとするエッチングによって、中央領域551内において第1絶縁膜に開口(第1開口)711を形成する(図8参照)。これにより第1絶縁膜のうちで外周領域552内に残った部分が第1絶縁体710になる(図8参照)。その後、フォトレジストパターン900を除去する。
【0045】
次に、第1絶縁体710をマスクにして換言すれば第1絶縁体710の開口711を介してp型の不純物(例えばボロン)をイオン注入し、その後熱処理を施すことにより、エピタキシャル層610の主面61S内にp型層(第2半導体層)620のpベース層(第1部分)621を形成する(図9参照)。
【0046】
その後、CVD(Chemical Vapor Deposition)法によって、開口711を埋めるように、例えば酸化シリコンから成る第2絶縁膜720xを形成する(図10参照)。このとき、第2絶縁膜720xを、開口711内に露出した側面71W及び主面61Sに接するように形成する。そして、ドライエッチング法で以て第2絶縁膜720xをエッチバックすることにより、開口711内にpベース層621を露出させると共に第2絶縁膜720xから第2絶縁体720を側面71W上に形成する(図11参照)。これにより、第2絶縁体720によって開口711が狭められる。
【0047】
次に、第2絶縁体720を有した状態で開口711を介してn型の不純物(例えば砒素)をイオン注入し、その後熱処理を施すことにより、pベース層621の主面61S内にn+ソース層630を形成する(図12参照)。
【0048】
そして、CVD法によって、n+ソース層630の露出した主面61S並びに第1及び第2絶縁体710,720を覆うように全面的にシリコン酸化膜911を形成する。続いて、写真製版技術を利用して、ゲートトレンチ813のパターンに対応したフォトレジストパターン901を酸化膜911上に形成する。そして、フォトレジストパターン901をマスクにしてドライエッチング法によって酸化膜911をパターニングする(図13参照)。
【0049】
フォトレジストパターン901を除去した後、パターニングされた酸化膜911をマスクにしてエピタキシャル層610を(より具体的にはn+ソース層630、pベース層621、及びエピタキシャル層610)をエッチングして、ゲートトレンチ813を形成する(図14参照)。その後、酸化膜911をエッチング除去する。
【0050】
次に、エピタキシャル層610の露出表面(より具体的にはn+ソース層630、pベース層621、及びエピタキシャル層610の各露出表面)に例えば熱酸化を施すことにより、ゲート絶縁膜840を形成する(図15参照)。
【0051】
そして、CVD法によって、高濃度にドーピングされたポリシリコン膜811xを、ゲートトレンチ813を埋めるように更には第1及び第2絶縁体710,720上にも配置されるように、形成する(図16参照)。
【0052】
その後、写真製版技術を利用して、ポリシリコン膜811xのうちでゲートトレンチ813内の端部及び該端部に引き続く、第1及び第2絶縁体710,720上の部分を覆うようにフォトレジストパターン902を形成する(図17参照)。そして、フォトレジストパターン902をマスクにしてポリシリコン膜811xをドライエッチングすることにより、ゲートポリシリコン電極811を形成する(図17参照)。なお、MOSトランジスタを正常動作させるために、ゲートトレンチ813内におけるゲートポリシリコン電極811の上面がpベース層621とn+ソース層630との接合面よりも上方に且つ主面61Sよりも下方に位置するように、ポリシリコン膜811xをエッチバックする。
【0053】
フォトレジストパターン902を除去した後、ゲートポリシリコン電極811の露出面を絶縁する目的で、キャップ酸化膜850を形成する(図18参照)。更に、ゲートポリシリコン電極811等を覆うように、例えばBPSGから成る層間絶縁膜860をCVD法により形成する(図18参照)。
【0054】
次に、写真製版技術を利用して、ゲートコンタクトホール819用及びソースコンタクトホール829用の開口を有するフォトレジストパターン903を層間絶縁膜860上に形成する(図19参照)。そして、フォトレジストパターン903をマスクにしてドライエッチングにより層間絶縁膜860及びキャップ酸化膜850を開口する(図19参照)。
【0055】
フォトレジストパターン903を除去した後、開口した層間絶縁膜860をマスクにしてゲートポリシリコン電極811及びn+ソース層630をエッチングし、これによりゲートコンタクトホール819及びソースコンタクトホール829を形成する(図20参照)。なお、ソースコンタクトホール829は、n+ソース層630を貫通し該ホール829内にpベース層621が露出するように、形成する。
【0056】
次に、ゲートコンタクトホール819及びソースコンタクトホール829を埋めるように層間絶縁膜860上に導電性のAl−Si膜をスパッタリング法によって全面的に蒸着し、このAl−Si膜上に写真製版技術を利用してフォトレジストパターン904を形成する(図21参照)。そして、フォトレジストパターン904をマスクにしてエッチングを行うことにより、Al−Si膜から、既述の配置形態のゲートアルミニウム電極812及びソース電極820を形成する(図21参照)。なお、ゲートポリシリコン電極811及びゲートアルミニウム電極812のパターニング形状の制御によって、上述の構造を有する、すなわちゲート絶縁膜840のうちで主面61S上の部分並びに第1及び第2絶縁体710,720を介して主面61Sに対向し且つp型層620よりも中央領域551から遠い側にまで延在する、ゲート電極810が得られる。その後、フォトレジストパターン904を除去する。
【0057】
そして、基板600においてエピタキシャル層610から遠い側の主面上に全面的に導電性のTi/Ni/Au合金をスパッタリング法により蒸着し、ドレイン電極830を形成する(図22参照)。
【0058】
上述のように電力用半導体装置501では、n+ソース層630用のn型不純物を、第2絶縁体720を有した状態の開口711を介してイオン注入する(図12参照)。このとき、第2絶縁体720を第2絶縁膜720xのエッチバックによって形成するので(図10及び図11参照)、従来の製造方法とは異なり写真製版技術を利用しない。このため、低コスト化が図れる。更に、写真製版技術に要求される高精度な位置合わせが不要となり、歩留まりを向上させることができる。
【0059】
しかも、第2絶縁体720を用いない既述の製造方法(pベース層用のイオン注入マスクをそのままn+ソース層のイオン注入時にも再利用する)によって製造された半導体装置に比べて、半導体装置501はパンチスルーを起こしにくく、その結果、耐圧を向上させることができる。これは以下の理由による。上述のようにn+ソース層630用のイオン注入を第1及び第2絶縁体710,720をマスクにして実施する。このため、p型層620(pベース層621)の外端の幅W1(図3及び図4参照)、換言すればp型層620の外周とn+ソース層630の外周との間の距離W1を、第2絶縁体720を用いない既述の製造方法よりも、大きくすることができ、これによりp型層620の当該外端でのパンチスルーが生じにくくなる。
【0060】
このように半導体装置501によれば、写真製版工程を削減できると同時に、かかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善することができる。
【0061】
更に、ゲート電極810は、ゲートトレンチ813内に設けられているだけでなく、ゲート絶縁膜840のうちで主面61S上の部分並びに第1及び第2絶縁体710,720を介して主面61Sに対向するように且つp型層620よりも中央領域551から遠い側にまで延在するように(p型層620の配置位置を越えて延在するように)、設けられている。このため、ゲート電極810は、ソース電極820とドレイン電極830との間を流れる主電流を制御すると共に、半導体装置501の動作時(ソース電極820を接地(グランド)電位に設定しドレイン電極830を正の電位に設定した時に)フィールドプレート効果を奏して耐圧を向上させる役割を担う。
【0062】
ここで、電力用半導体装置501と、第2絶縁体720を用いない既述の製造方法で製造された比較用の電力用半導体装置と、について(いずれの半導体装置も30VクラスのパワーMOSFET)、ドレイン−ソース間耐圧をデバイスシミュレータMediciを用いて計算した結果を図23及び図24に示す。図24に示すように比較用の半導体装置では約19Vでブレイクダウンするのに対して、図23に示すように半導体装置501の耐圧は約44Vにまで向上することがわかる。
【0063】
実施の形態2.
図25に実施の形態2に係る電力用半導体装置502を説明するための平面図を示し、図25中の26−26線における断面図を図26に示し、図25中の27−27線における断面図を図27に示す。半導体装置502は、半導体装置501(図2〜図4参照)から第1及び第2絶縁体710,720を取り除いた構造を有している。このため、半導体装置502では、ゲート絶縁膜840はゲートトレンチ813外において第1及び第2絶縁体710,720の配置領域にも延在している。半導体装置502のその他の構成は既述の半導体装置501と基本的に同様である。
【0064】
次に、図28〜図38の断面図をも参照しつつ半導体装置502の製造方法を説明する。なお、図28〜図38中の(a)は図25に対応し、図28〜図38中の(b)は図26に対応し、図28〜図38中の(c)は図27に対応する。
【0065】
まず、既述の半導体装置501の製造方法によって、n+ソース層630まで形成する(図12参照)。
【0066】
次に、ウエットエッチング法により第1及び第2絶縁体710,720を除去する(図28参照)。
【0067】
その後の工程は既述の半導体装置501の製造方法と基本的に同様である。具体的には、酸化膜911を形成し、当該酸化膜911をゲートトレンチ813に対応させてパターニングする(図29参照)。なお、半導体装置502の製造方法では、上述のように第1及び第2絶縁体710,720を除去しているので、酸化膜911は第1及び第2絶縁体710,720が配置されていた領域において主面61Sに接することになる。そして、パターニングされた酸化膜911をマスクにしてゲートトレンチ813を形成する(図30参照)。
【0068】
酸化膜911を除去した後、ゲート絶縁膜840を形成する(図31参照)。なお、半導体装置502の製造方法では、上述のように第1及び第2絶縁体710,720を除去しているので、ゲート絶縁膜840は第1及び第2絶縁体710,720が配置されていた領域にも延在することになる。
【0069】
その後、ポリシリコン膜811xを形成し(図32参照)、当該膜811xをパターニングすることによって、ゲートポリシリコン電極811を形成する(図33参照)。次に、キャップ酸化膜850及び層間絶縁膜860を形成する(図34参照)。そして、層間絶縁膜860及びキャップ酸化膜850を開口し(図35参照)、ゲートコンタクトホール819及びソースコンタクトホール829を形成する(図36参照)。次に、層間絶縁膜860上にAl−Si膜を形成し、当該膜をパターニングすることにより、ゲートアルミニウム電極812及びソース電極820を形成する(図37参照)。更に、ドレイン電極830を形成する(図38参照)。
【0070】
電力用半導体装置502によれば、電力用半導体装置501と同様に、写真製版工程を削減できると同時に、かかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善することができる。
【0071】
このとき、半導体装置502は第1及び第2絶縁体710,720を有しておらず、半導体装置502ではゲート電極810のトレンチ813外の部分と主面61Sとの間に全面的に、第1絶縁体710よりも薄いゲート絶縁膜840が設けられている。このため、ゲート電極810のトレンチ813外の部分は主面61Sにより近くなる。従って、半導体装置502によれば、ゲート電極810によるフィールドプレート効果がより強くなり、耐圧が更に向上する。
【0072】
実施の形態3.
図39に実施の形態3に係る電力用半導体装置503を説明するための平面図を示し、図39中の40−40線における断面図を図40に示し、図39中の41−41線における断面図を図41に示す。半導体装置503は、半導体装置501(図2〜図4参照)においてゲート電極810を、ゲート電極810Bに変えた構造を有しており、半導体装置503のその他の構成は既述の半導体装置501と基本的に同様である。
【0073】
詳細には、ゲート電極810Bは、既述のゲートポリシリコン電極811(図2〜図4参照)においてトレンチ813外に引き出された部分を取り除いた構造を有するゲートポリシリコン電極811Bから成り、既述のゲートアルミニウム電極812(図2〜図4参照)を含んでいない。つまり、既述の半導体装置501とは異なり、半導体装置503のゲート電極810Bはp型層620よりも中央領域551から遠い側にまでは(p型層620の配置位置を越えては)延在しておらず、換言すれば外周領域552内に延在しないように設けられている。なお、半導体装置503ではキャップ酸化膜850も外周領域552内に延在していない。また、ゲート電極810Bはトレンチ813外に延在していないので、層間絶縁膜860がゲート絶縁膜840のうちで主面61S上の部分並びに第1及び第2絶縁体710,720に接している。
【0074】
このような構造の半導体装置503は、例えば、半導体装置501の製造方法においてポリシリコン膜811xをフォトレジストパターン902を用いずにエッチバックすることにより製造可能である(既述の図32及び図33参照)。
【0075】
電力用半導体装置503によれば、電力用半導体装置501と同様に、写真製版工程を削減できると同時に、かかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善することができる。
【0076】
実施の形態4.
さて、上述の半導体装置503(図39〜図41参照)ではゲート電極810Bが外周領域552内において主面61Sに対向していないので、ゲート電極810Bによるフィールドプレート効果、つまりそれによる耐圧向上効果が得られない。そこで、実施の形態4ではかかる点の改善を説明する。
【0077】
図42に実施の形態4に係る電力用半導体装置504を説明するための平面図を示し、図42中の43−43線における断面図を図43に示し、図42中の44−44線における断面図を図44に示す。半導体装置504は、上述の半導体装置503(図39〜図41参照)においてソース電極820をソース電極820Bに変えた構造を有しており、ソース電極820Bはソース電極820を外周領域552内へ延在させて成る。半導体装置504のその他の構成は既述の半導体装置503と基本的に同様である。
【0078】
このとき、半導体装置504では、ソース電極820Bが外周領域552へ延在し、ゲート絶縁膜840のうちで主面61S上の部分、第2絶縁体720、及び第1絶縁体710を介して主面61Sに対向するように設けられており、更にp型層620よりも換言すればpベース層621よりも中央領域551から遠い側へ延在するように(p型層620の配置位置を越えて延在するように)設けられている。このようなソース電極820Bは、層間絶縁膜860上に配置したAl−Si膜のパターニング制御(既述の図37参照)によって形成可能である。
【0079】
電力用半導体装置504によれば、上述の電力用半導体装置503と同様の効果が得られると共に、ソース電極820Bがフィールドプレート効果を奏することにより半導体装置503よりも耐圧が向上する。
【0080】
実施の形態5.
図45に実施の形態5に係る電力用半導体装置505を説明するための平面図を示し、図45中の46−46線における断面図を図46に示し、図45中の47−47線における断面図を図47に示す。半導体装置505は、半導体装置501(図2〜図4参照)においてp型層620をp型層(第2半導体層)620Bに変えた構造を有している。半導体装置505のその他の構成は既述の半導体装置501と基本的に同様である。
【0081】
詳細には、図46及び図47に示すようにp型層620Bは、既述のpベース層621(図2及び図3参照)の端部を中央領域551内の部分よりも主面61Sから深くまで延在させた形状のpベース層621Bから成る。なお、pベース層621Bの上記深い部分621BDの最深部はゲートトレンチ813よりも深い位置(基板600に近い位置)に在る。また、上記深い部分621BDは第1絶縁体710に対向する位置にまで延在している。pベース層621Bは次のようにして形成することができる。
【0082】
まず、既述の半導体装置501の製造方法によって、pベース層621(後にpベース層621Bの浅い部分621BSを成す)まで形成する(図9参照)。その後、pベース層621の端部が露出するように開口したフォトレジストパターン905を、第1絶縁体710及び主面61S上に形成する(図48参照)。そして、フォトレジストパターン905をマスクにしてp型の不純物(例えばボロン)をイオン注入し、その後熱処理を施すことにより、pベース層621Bの深い部分621BDを形成する(図48参照)。これにより、pベース層621Bが形成される。
【0083】
或いは、pベース層621Bの深い部分621BDのためのイオン注入を、pベース層621Bの浅い部分621BSのためのイオン注入(すなわち既述のpベース層621のためのイオン注入)よりも先に実施しても構わない(図49参照)。
【0084】
なお、浅い部分621BSのためのイオン注入後に及び深い部分621BDのためのイオン注入後にそれぞれ熱処理を実施しても良いし、これら2回の熱処理をまとめて実施しても良い。
【0085】
電力用半導体装置505によれば、既述の電力用半導体装置501と同様の効果が得られる。このとき、pベース層621Bの深い部分621BDによってp型層620B(pベース層621B)の外端の幅W1がp型層620での該幅W1よりも大きくなるので、パンチスルーがいっそう抑制されて耐圧が向上する。
【0086】
実施の形態6.
図50に実施の形態6に係る電力用半導体装置506を説明するための平面図を示し、図50中の51−51線における断面図を図51に示し、図50中の52−52線における断面図を図52に示す。半導体装置506は、半導体装置502(図25〜図27参照)と半導体装置503(図39〜図41参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置506は半導体装置503において第1及び第2絶縁体710,720を取り除いた構成を有しており、半導体装置506のその他の構成は既述の半導体装置503と基本的に同様である。半導体装置506は半導体装置502,503の製造方法の組み合わせによって製造可能である。
【0087】
電力用半導体装置506によれば、既述の電力用半導体装置503と同様の効果が得られる。
【0088】
実施の形態7.
図53に実施の形態7に係る電力用半導体装置507を説明するための平面図を示し、図53中の54−54線における断面図を図54に示し、図53中の55−55線における断面図を図55に示す。半導体装置507は、半導体装置502(図25〜図27参照)と半導体装置504(図42〜図44参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置507は半導体装置504において第1及び第2絶縁体710,720を取り除いた構成を有しており、半導体装置507のその他の構成は既述の半導体装置504と基本的に同様である。半導体装置507は半導体装置502,504の製造方法の組み合わせによって製造可能である。
【0089】
電力用半導体装置507によれば、既述の電力用半導体装置502,504と同様の効果が得られる。このとき、半導体装置507は第1及び第2絶縁体710,720を有さないので、ソース電極820Bによるフィールドプレート効果が半導体装置504よりも強くなり、耐圧が向上する。
【0090】
実施の形態8.
図56に実施の形態8に係る電力用半導体装置508を説明するための平面図を示し、図56中の57−57線における断面図を図57に示し、図56中の58−58線における断面図を図58に示す。半導体装置508は、半導体装置507(図53〜図55参照)と半導体装置505(図45〜図47参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置508は半導体装置507においてp型層620をp型層620Bに変えた構成を有しており、半導体装置508のその他の構成は既述の半導体装置507と基本的に同様である。
【0091】
電力用半導体装置508によれば、既述の電力用半導体装置507,505と同様の効果が得られる。
【0092】
実施の形態9.
図59に実施の形態9に係る電力用半導体装置509を説明するための平面図を示し、図59中の60−60線における断面図を図60に示し、図59中の61−61線における断面図を図61に示す。また、図60(又は図61)の一部を図62に拡大して示す。半導体装置509は、半導体装置501(図2〜図4参照)において第1絶縁体710及びp型層620を第1絶縁体710B及びp型層(第2半導体層)620Cに変えた構成を有している。半導体装置509のその他の構成は既述の半導体装置501と基本的に同様である。
【0093】
詳細には、p型層620Cは、既述のpベース層621(図2〜図4参照)から成る第1部分621と、第1部分621よりも外側において(中央領域551からより遠い側において)主面61S内に設けられたp型の第2部分622とを含んでおり、両部分621,622は繋がっている。また、第1絶縁体710Bは、既述の第1絶縁体710(図2〜図4参照)において、外周領域552内に主面61Sに至る第2開口712を設けた場合にあたる。このとき、第1絶縁体710Bの第2開口712はp型層620Cの第2部分622(の最深部)に対向しており、双方とも外周領域552内においてp型層620Cの第1部分621の外側に設けられている。第1絶縁体710Bの第2開口712は線状に1つ設けられており(図59参照)、これに対応してp型層620Cの第2部分622も線状に1つ設けられている。第2開口712内には例えばシリコン酸化物から成る第3絶縁体730が埋め込まれており、これにより開口712は閉じられている。
【0094】
次に、図63〜図77の断面図をも参照しつつ半導体装置509の製造方法を説明する。なお、図63〜図77中の(a)は図59に対応し、図63〜図77中の(b)は図60に対応し、図63〜図77中の(c)は図61に対応する。
【0095】
まず、既述の半導体装置501の製造方法と同様にして、n+型シリコン基板600上にn-型シリコン層(第1半導体層)610をエピタキシャル成長させる(図7参照)。次に、エピタキシャル層610の主面61S上に全面的に、例えば酸化シリコンから成る第1絶縁膜及びフォトレジストをこの順序で形成する(従って、第1絶縁膜及びフォトレジストは中央領域551と外周領域552とに渡って設けられる)。
【0096】
そして、写真製版技術を利用して上記フォトレジストをパターニングし、上述の第1絶縁体710Bに対応したフォトレジストパターン900Bを形成する(図63参照)。次に、フォトレジストパターン900Bをマスクとするエッチングによって、第1絶縁膜に第1及び第2開口711,712を形成する(図63参照)。その後、上記フォトレジストパターン900Bを除去する。
【0097】
その後の工程は基本的に既述の半導体装置501の製造方法と同様である。具体的には、第1絶縁体710Bをマスクにして換言すれば第1絶縁体710Bの開口711,712を介してp型の不純物(例えばボロン)をイオン注入し、その後熱処理を施すことにより、エピタキシャル層610の主面61S内にp型層620Cを形成する(図64参照)。このとき、第1及び第2開口711,712に対向してp型層620Cの第1及び第2部分621,622がそれぞれ形成される。特に両部分621,622が繋がるように、開口711,712の位置(間隔)及び大きさ、イオン注入条件、熱処理条件等を設定する。
【0098】
その後、CVD法によって、第1及び第2開口711,712を埋めるように、第2絶縁膜720xを形成する(図65参照)。そして、第2絶縁膜720xをエッチバックすることにより、第1開口711内にpベース層621を露出させると共に第2絶縁膜720xから第2及び第3絶縁体720,730を形成する(図66参照)。これにより、第2開口712は第3絶縁体730によって閉じられる。
【0099】
そして、第2及び第3絶縁体720,730を有した状態で第1開口711を介してn型の不純物(例えば砒素)をイオン注入し、その後熱処理を施すことにより、p型層620Cの第1部分(すなわちpベース層)621の主面61S内にn+ソース層630を形成する(図67参照)。
【0100】
その後、酸化膜911を形成し、当該酸化膜911をゲートトレンチ813に対応させてパターニングする(図68参照)。そして、パターニングされた酸化膜911をマスクにしてゲートトレンチ813を形成する(図69参照)。酸化膜911を除去した後、ゲート絶縁膜840を形成する(図70参照)。
【0101】
その後、ポリシリコン膜811xを形成し(図71参照)、当該膜811xをパターニングすることによって、ゲートポリシリコン電極811を形成する(図72参照)。次に、キャップ酸化膜850及び層間絶縁膜860を形成する(図73参照)。そして、層間絶縁膜860及びキャップ酸化膜850を開口し(図74参照)、ゲートコンタクトホール819及びソースコンタクトホール829を形成する(図75参照)。次に、層間絶縁膜860上にAl−Si膜を形成し、当該膜をパターニングすることにより、ゲートアルミニウム電極812及びソース電極820を形成する(図76参照)。更に、ドレイン電極830を形成する(図77参照)。
【0102】
電力用半導体装置509によれば、第2絶縁体720を利用したイオン注入によって、半導体装置501と同様に、写真製版工程を削減できると同時に、かかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善することができる。更に、ゲート電極810によるフィールドプレート構造によって、半導体装置501と同様に、耐圧が向上する。
【0103】
特に、p型層620Cは第2部分622を含んでいるので、p型層620Cの外端の幅W2(図60及び図61参照)、換言すればp型層620Cの外周とn+ソース層630の外周との間の距離W2は、既述の半導体装置501での同寸法W1(図3及び図4参照)よりも大きい。このため、p型層620Cの外端でのパンチスルーが更に生じにくくなる。
【0104】
このとき、第1絶縁体710Bの第2開口712はフォトレジストパターンの設計によって第1開口711と同時に形成可能であるし、p型層620Cの第2部分622は第1部分621と同時に形成可能であるし、第3絶縁体730は第2絶縁体720と同時に形成可能である。また、第2開口712はp型層620Cの第2部分622の形成後に第3絶縁体730によって閉じられるので、別途のマスクを用いなくても、第2部分622内にn+ソース層630用の不純物がイオン注入されるのを防止することができる。このように、半導体装置509は、半導体装置501と比べて工程の増加を招くことなく且つ容易に製造可能である。
【0105】
なお、半導体装置501と同様にシミュレーションしたところ、図78に示すように、電力用半導体装置509によれば43Vの耐圧が得られていることが確認できた。
【0106】
実施の形態10.
図79に実施の形態10に係る電力用半導体装置510を説明するための平面図を示し、図79中の80−80線における断面図を図80に示し、図79中の81−81線における断面図を図81に示す。半導体装置510は、半導体装置509(図59〜図62参照)から第1乃至第3絶縁体710B,720,730を取り除いた構造を有している。このため、既述の半導体装置502(図25〜図27参照)と同様に、半導体装置510では、ゲート絶縁膜840はゲートトレンチ813外において第1乃至第3絶縁体710B,720,730の配置領域にも延在している。半導体装置510のその他の構成は既述の半導体装置509と基本的に同様である。
【0107】
次に、図82〜図92の断面図をも参照しつつ半導体装置510の製造方法を説明する。なお、図82〜図92中の(a)は図79に対応し、図82〜図92中の(b)は図80に対応し、図82〜図92中の(c)は図81に対応する。
【0108】
半導体装置510は、半導体装置509(図59〜図62参照)及び半導体装置502(図25〜図27参照)の製造方法を組み合わせて製造可能である。具体的には、まず、既述の半導体装置509の製造方法によって、n+ソース層630まで形成する(図67参照)。
【0109】
次に、ウエットエッチング法により第1乃至第3絶縁体710B,720,730を除去する(図82参照)。
【0110】
その後の工程は既述の半導体装置509の製造方法と基本的に同様である。具体的には、酸化膜911を形成し、当該酸化膜911をゲートトレンチ813に対応させてパターニングする(図83参照)。なお、半導体装置510の製造方法では、上述のように第1乃至第3絶縁体710B,720,730を除去しているので、酸化膜911は第1乃至第3絶縁体710B,720,730が配置されていた領域において主面61Sに接することになる。そして、パターニングされた酸化膜911をマスクにしてゲートトレンチ813を形成する(図84参照)。
【0111】
酸化膜911を除去した後、ゲート絶縁膜840を形成する(図85参照)。なお、半導体装置510の製造方法では、上述のように第1乃至第3絶縁体710B,720,730を除去しているので、ゲート絶縁膜840は第1乃至第3絶縁体710B,720,730が配置されていた領域にも延在することになる。
【0112】
その後、ポリシリコン膜811xを形成し(図86参照)、当該膜811xをパターニングすることによって、ゲートポリシリコン電極811を形成する(図87参照)。次に、キャップ酸化膜850及び層間絶縁膜860を形成する(図88参照)。そして、層間絶縁膜860及びキャップ酸化膜850を開口し(図89参照)、ゲートコンタクトホール819及びソースコンタクトホール829を形成する(図90参照)。次に、層間絶縁膜860上にAl−Si膜を形成し、当該膜をパターニングすることにより、ゲートアルミニウム電極812及びソース電極820を形成する(図91参照)。更に、ドレイン電極830を形成する(図92参照)。
【0113】
電力用半導体装置510によれば、電力用半導体装置509と同様の効果が得られる。
【0114】
このとき、半導体装置510は第1乃至第3絶縁体710B,720,730を有していないので、半導体装置502(図25〜図27参照)と同様に、ゲート電極810によるフィールドプレート効果が半導体装置509(図59〜図62参照)よりも強くなり、耐圧が更に向上する。
【0115】
実施の形態11.
図93に実施の形態11に係る電力用半導体装置511を説明するための平面図を示し、図93中の94−94線における断面図を図94に示し、図93中の95−95線における断面図を図95に示す。半導体装置511は、半導体装置509(図59〜図62参照)においてゲート電極810を既述のゲート電極810B(例えば図39〜図41の半導体装置503を参照)に変えた構成を有している。すなわち、半導体装置511ではゲート電極810Bが外周領域552内に延在しないように設けられている。半導体装置511のその他の構成は既述の半導体装置509と基本的に同様である。なお、半導体装置511は例えば半導体装置509,503の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0116】
電力用半導体装置511によれば、ゲート電極810によるフィールドプレート効果を除いて電力用半導体装置509と同様の効果が得られる。
【0117】
実施の形態12.
図96に実施の形態12に係る電力用半導体装置512を説明するための平面図を示し、図96中の97−97線における断面図を図97に示し、図96中の98−98線における断面図を図98に示す。半導体装置512は、上述の半導体装置511(図93〜図95参照)においてソース電極820を既述のソース電極820B(例えば図42〜図44の半導体装置504を参照)に変えた構造を有しており、半導体装置512のその他の構成は既述の半導体装置511と基本的に同様である。なお、半導体装置512は例えば半導体装置509,504の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0118】
電力用半導体装置512によれば、上述の電力用半導体装置511と同様の効果が得られると共に、ソース電極820Bがフィールドプレート効果を奏することにより半導体装置511よりも耐圧が向上する。
【0119】
実施の形態13.
図99に実施の形態13に係る電力用半導体装置513を説明するための平面図を示し、図99中の100−100線における断面図を図100に示し、図99中の101−101線における断面図を図101に示す。半導体装置513は、半導体装置509(図59〜図62参照)においてp型層620Cをp型層(第2半導体層)620Dに変えた構成を有している。半導体装置513のその他の構成は既述の半導体装置509と基本的に同様である。
【0120】
詳細には、p型層620Dは既述のp型層620C(図59〜図62参照)と同様に第1及び第2部分621,622を含んでいるが、p型層620Dでは両部分621,622は互いに繋がっていない。但し、両部分621,622付近の空乏層621d,622dが半導体装置513の動作時において(ソース電極820を接地(グランド)電位に設定しドレイン電極830を正の電位に設定した時において)繋がるように、第1及び第2部分621,622が配置されている(図100及び図101参照)。なお、p型層620Dの第2部分622に対向するように第1絶縁体710Bの開口712(図99及び図62参照)が設けられている。p型層620Dの両部分621,622は、半導体装置509の製造方法において開口711,712の位置(間隔)及び大きさ、イオン注入条件、熱処理条件等を変更・制御することによって、上述のように配置可能である。
【0121】
電力用半導体装置513によれば、半導体装置501と同様の効果が得られる。特に、p型層620Dの第2部分622はいわゆるフィールドリング構造ないしはガードリング構造を成すので、これにより半導体装置501に比べて耐圧が向上する。
【0122】
実施の形態14.
図102に実施の形態14に係る電力用半導体装置514を説明するための平面図を示し、図102中の103−103線における断面図を図103に示し、図102中の104−104線における断面図を図104に示す。
【0123】
半導体装置514は、半導体装置513(図99〜図101参照)においてp型層620Dの線状の第2部分622を2個設けた場合にあたり、半導体装置514のその他の構成は既述の半導体装置513と基本的に同様である。上記2個の第2部分622は互いに離れて設けられている(繋がっていない)が、半導体装置514の動作時には隣接する第2部分622付近の空乏層622dが互いに繋がるように配置されている(図103及び図104参照)。また、動作時に、第1部分621のすぐ横の第2部分622付近の空乏層622dが第1部分621付近の空乏層621dに繋がるように(このとき複数の第2部分622全体における空乏層622dが空乏層621dに繋がるとも捉えられる)、第1及び第2部分621,622が配置されている(図103及び図104参照)。
【0124】
なお、第1絶縁体710Bには各第2部分622に対向するように開口712(図102及び図62参照)が設けられており、各開口712内に第3絶縁体730が配置されている。p型層620Dの複数の第2部分622は、開口712の位置(間隔)及び大きさ、イオン注入条件、熱処理条件等の制御によって上述のように配置可能である。なお、このような第2部分622を3個以上設けても良いことは言うまでもない。
【0125】
電力用半導体装置514によれば、半導体装置513と同様の効果が得られる。特に、p型層620Dの複数の第2部分622によって、上述の半導体装置513に比べて更に耐圧が向上する。
【0126】
実施の形態15.
図105に実施の形態15に係る電力用半導体装置515を説明するための平面図を示し、図105中の106−106線における断面図を図106に示し、図105中の107−107線における断面図を図107に示す。
【0127】
半導体装置515は、半導体装置509(図59〜図62参照)においてp型層620Cの線状の第2部分622を2個設けた場合にあたり、半導体装置515のその他の構成は既述の半導体装置509と基本的に同様である。上記2個の第2部分622は互いに繋がっており、第1部分621のすぐ横の第2部分622は第1部分621に繋がっている(従って互いに繋がった第2部分622が第1部分621に繋がっている)。なお、第1絶縁体710Bには各第2部分622に対向するように開口712(図105及び図62参照)が設けられており、各開口712内に第3絶縁体730が配置されている。p型層620Cの複数の第2部分622は半導体装置509の製造方法において開口712の位置(間隔)及び大きさ、イオン注入条件、熱処理条件等の制御によって上述のように配置可能である。なお、このような第2部分622を3個以上設けても良いことは言うまでもない。
【0128】
電力用半導体装置515によれば、電力用半導体装置509と同様の効果が得られる。特に複数の第2部分622によってp型層620Cの外端の幅W2(図106及び図107参照)が半導体装置509(図60及び図61参照)のそれよりも大きくなるので、p型層620Cの外端でのパンチスルーが更に生じにくくなる。
【0129】
実施の形態16.
図108に実施の形態16に係る電力用半導体装置516を説明するための平面図を示し、図108中の109−109線における断面図を図109に示し、図108中の110−110線における断面図を図110に示す。半導体装置516は、半導体装置509(図59〜図62参照)において第1絶縁体710B及びp型層620Cを第1絶縁体710C及びp型層(第2半導体層)620Eに変えた構成を有している。半導体装置516のその他の構成は既述の半導体装置509と基本的に同様である。
【0130】
詳細には、既述の第1絶縁体710Bでは開口712が線状であったが、第1絶縁体710Cは平面視上点状の第2開口712を複数、有している。そして、各点状の開口712に対向するようにp型層620Eの第2部分622が点状に設けられており(点在しており)、p型層620Eはこれらの複数の第2部分622と既述の第1部分621とを含んでいる。このとき、隣接する第2部分622は互いに繋がっており、第1部分621のすぐ横の第2部分622は第1部分621に繋がっている(従って互いに繋がった第2部分622が第1部分621に繋がっている)。なお、各開口712内に第3絶縁体730が配置されている。p型層620Eの複数の第2部分622は、半導体装置509の製造方法において開口712の形状を変更し、更に点状の開口712の位置(間隔)及び大きさ、イオン注入条件、熱処理条件等を制御することによって上述のように配置可能である。
【0131】
なお、図108〜図110では、開口712及び第2部分622が第1部分621の外側において2本の列(既述の図105〜図107に示す2列の線状の開口712及び2列の線状の第2部分622を参照)を成すように並んでいる場合を図示しているが、点状の開口712及び点状の第2部分622が成す列は1列又は3列以上であっても良い。
【0132】
電力用半導体装置516によれば、半導体装置509と同様の効果が得られる。
【0133】
実施の形態17.
図111に実施の形態17に係る電力用半導体装置517を説明するための平面図を示し、図111中の112−112線における断面図を図112に示し、図111中の113−113線における断面図を図113に示す。半導体装置517は、半導体装置516(図108〜図110参照)においてp型層620Eをp型層(第2半導体層)620Fに変えた構成を有している。半導体装置517のその他の構成は既述の半導体装置516と基本的に同様である。
【0134】
詳細には、p型層620Fは、既述のp型層620E(図108〜図110参照)において第1部分621と各点状の第2部分622とを互いに離した場合にあたる。但し、第1部分621付近の空乏層621dと第1部分621に隣接する第2部分622付近の空乏層622dとが半導体装置517の動作時において繋がるように、又、隣接する第2部分622付近の空乏層622dが半導体装置517の動作時において互いに繋がるように、第1及び第2部分621,622が配置されている(図112及び図113参照)。そして、p型層620Fの各第2部分622に対向するように第1絶縁体710Cの点状の開口712が設けられており、各開口712内に第3絶縁体730が配置されている。なお、一部の第2部分622が互いに繋がるようにp型層620Fを形成しても良い。p型層620Fの複数の第2部分622は、半導体装置516の製造方法において点状の開口712の位置(間隔)及び大きさ、イオン注入条件、熱処理条件等の制御によって上述のように配置可能である。
【0135】
なお、図111〜図113では、開口712及び第2部分622が第1部分621の外側において2本の列(既述の図105〜図107に示す2列の線状の開口712及び2列の線状の第2部分622を参照)を成すように並んでいる場合を図示しているが、点状の開口712及び点状の第2部分622が成す列は1列又は3列以上であっても良い。
【0136】
電力用半導体装置517によれば、半導体装置513,514(図99〜図101及び図102〜図104参照)と同様の効果が得られる。
【0137】
実施の形態18.
図114に実施の形態18に係る電力用半導体装置518を説明するための平面図を示し、図114中の115−115線における断面図を図115に示し、図114中の116−116線における断面図を図116に示す。
【0138】
電力用半導体装置518は半導体装置510(図79〜図81参照)と半導体装置506(図50〜図52参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置518は既述の半導体装置510(図79〜図81参照)においてゲート電極810をゲート電極810Bに変えた構成を有しており、半導体装置518のその他の構成は既述の半導体装置510と基本的に同様である。換言すれば、半導体装置518は既述の半導体装置506(図50〜図52参照)においてp型層620をp型層620Cに変えた構成を有しており、半導体装置518のその他の構成は既述の半導体装置506と基本的に同様である。なお、半導体装置518は例えば半導体装置510,506の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0139】
電力用半導体装置518によれば、電力用半導体装置510,506と同様の効果が得られる。
【0140】
実施の形態19.
図117に実施の形態19に係る電力用半導体装置519を説明するための平面図を示し、図117中の118−118線における断面図を図118に示し、図117中の119−119線における断面図を図119に示す。半導体装置519は、上述の半導体装置518(図114〜図116参照)においてソース電極820を既述のソース電極820B(例えば図53〜図57の半導体装置504を参照)に変えた構造を有しており、半導体装置519のその他の構成は既述の半導体装置518と基本的に同様である。なお、半導体装置519は例えば半導体装置518,507の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0141】
電力用半導体装置519によれば、上述の電力用半導体装置518と同様の効果が得られると共に、ソース電極820Bがフィールドプレート効果を奏することにより半導体装置518よりも耐圧が向上する。
【0142】
実施の形態20.
図120に実施の形態20に係る電力用半導体装置520を説明するための平面図を示し、図120中の121−121線における断面図を図121に示し、図120中の122−122線における断面図を図122に示す。
【0143】
電力用半導体装置520は半導体装置510(図79〜図81参照)と半導体装置513(図99〜図101参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置520は、既述の半導体装置510(図79〜図81参照)においてp型層620Cを既述のp型層620Dに変えた構造を有しており、半導体装置520のその他の構成は既述の半導体装置510と基本的に同様である。換言すれば、半導体装置520は、既述の半導体装置513(図99〜図101参照)において第1乃至第3絶縁体710B,720,730を取り除いた構造を有しており、半導体装置520のその他の構成は既述の半導体装置513と基本的に同様である。なお、半導体装置520は例えば半導体装置510,513の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0144】
電力用半導体装置520によれば、電力用半導体装置510,513と同様の効果が得られる。
【0145】
実施の形態21.
図123に実施の形態21に係る電力用半導体装置521を説明するための平面図を示し、図123中の124−124線における断面図を図124に示し、図123中の125−125線における断面図を図125に示す。
【0146】
電力用半導体装置521は半導体装置510(図79〜図81参照)と半導体装置514(図102〜図104参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置521は、既述の半導体装置510(図79〜図81参照)において半導体装置514(図102〜図104参照)のようにp型層620Dの第2部分622を複数設けた構成を有しており、半導体装置521のその他の構成は既述の半導体装置510と基本的に同様である。換言すれば、半導体装置521は、既述の半導体装置514(図102〜図104参照)において第1乃至第3絶縁体710B,720,730を取り除いた構造を有しており、半導体装置521のその他の構成は既述の半導体装置514と基本的に同様である。なお、半導体装置521は例えば半導体装置510,514の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0147】
電力用半導体装置521によれば、電力用半導体装置510,514と同様の効果が得られる。
【0148】
実施の形態22.
図126に実施の形態22に係る電力用半導体装置522を説明するための平面図を示し、図126中の127−127線における断面図を図127に示し、図126中の128−128線における断面図を図128に示す。
【0149】
電力用半導体装置522は半導体装置510(図79〜図81参照)と半導体装置515(図105〜図107参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置522は、半導体装置510(図79〜図81参照)において半導体装置515(図105〜図107参照)のようにp型層620Cの第2部分622を複数設けた構造を有しており、半導体装置522のその他の構成は半導体装置510と基本的に同様である。換言すれば、半導体装置522は、既述の半導体装置515(図105〜図107参照)において第1乃至第3絶縁体710B,720,730を取り除いた構造を有しており、半導体装置522のその他の構成は既述の半導体装置515と基本的に同様である。なお、半導体装置522は例えば半導体装置510,515の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0150】
電力用半導体装置522によれば、電力用半導体装置510,515と同様の効果が得られる。
【0151】
実施の形態23.
図129に実施の形態23に係る電力用半導体装置523を説明するための平面図を示し、図129中の130−130線における断面図を図130に示し、図129中の131−131線における断面図を図131に示す。
【0152】
電力用半導体装置523は半導体装置510(図79〜図81参照)と半導体装置516(図108〜図110参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置523は、半導体装置510(図79〜図81参照)においてp型層620Cを半導体装置516(図108〜図110参照)のp型層620Eに変えた構造を有しており、半導体装置523のその他の構成は既述の半導体装置510と基本的に同様である。換言すれば、半導体装置523は、既述の半導体装置516(図108〜図110参照)において第1乃至第3絶縁体710C,720,730を取り除いた構造を有しており、半導体装置523のその他の構成は既述の半導体装置516と基本的に同様である。なお、半導体装置523は例えば半導体装置510,516の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0153】
電力用半導体装置523によれば、電力用半導体装置510,516と同様の効果が得られる。
【0154】
実施の形態24.
図132に実施の形態24に係る電力用半導体装置524を説明するための平面図を示し、図132中の133−133線における断面図を図133に示し、図132中の134−134線における断面図を図134に示す。
【0155】
電力用半導体装置524は半導体装置510(図79〜図81参照)と半導体装置517(図111〜図113参照)とを組み合わせた構成を有している。具体的には、半導体装置524は、半導体装置510(図79〜図81参照)においてp型層620Cを半導体装置517(図111〜図113参照)のp型層620Fに変えた構造を有しており、半導体装置524のその他の構成は半導体装置510と基本的に同様である。換言すれば、半導体装置524は、半導体装置517(図111〜図113参照)において第1乃至第3絶縁体710C,720,730を取り除いた構造を有しており、半導体装置524のその他の構成は半導体装置517と基本的に同様である。なお、半導体装置524は例えば半導体装置510,517の製造方法を組み合わせて製造可能である。
【0156】
電力用半導体装置524によれば、電力用半導体装置510,517と同様の効果が得られる。
【0157】
実施の形態25.
図135及び図136に実施の形態25に係る半導体装置525を説明するための断面図を示す。なお、図135及び図136は例えば図3及び図4に対応する。電力用半導体装置525は、既述の半導体装置501(図3及び図4参照)においてn+型基板600をp型の不純物を高濃度に含んだp+型のシリコン基板600Bに変えた構成を有しており、半導体装置525のその他の構成は半導体装置501と基本的に同様である。すなわち、半導体装置525は電力用半導体素子800としてIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)を含んでいる。かかる半導体装置525によっても半導体装置501と同様の効果が得られる。
【0158】
なお、半導体装置525はいわゆるバッファを有さない構造(non-punchthrough(NPT)構造)であるが、これをp+型基板600Bとエピタキシャル層610との間にバッファとしてのn+型層を設けた構造(punchthrough(PT)構造)に変形することもできる。また、半導体装置502〜524にIGBTを適用することもできる。更に、半導体装置501〜525における上述の耐圧構造等は、例えばインバータやその駆動回路、保護回路などを1つのチップに収めたHVIC(High Voltage Integrated Circuit)等へ応用可能である。
【0159】
実施の形態1〜25の変形例.
電力用半導体装置501〜525の要素は上述の例以外にも種々に組み合わせが可能である。例えば、p型層620C(例えば図60及び図61参照)及びp型層620D(例えば図100及び図101参照)の第1部分621をpベース層621B(例えば図46及び図47参照)に変えても良く、そのような半導体装置によっても既述の効果が得られる。
【0160】
また、電力用半導体装置501等において半導体の導電型を入れ替えても同様の効果が得られる。つまり、例えば半導体装置501の電力用半導体素子800としてpチャネル型のパワーMOSFETを適用することもできる。
【0161】
また、ゲート絶縁膜840に酸化シリコン以外の絶縁体も適用可能であり、そのような場合をも鑑みれば電力用半導体素子800はMIS(Metal Insulator Semiconductor)型トランジスタ構造を含んでいると言える。
【0162】
また、アルミニウム電極とシリコンとの間、例えばゲートアルミニウム電極812とゲートポリシリコン電極811との間にバリアメタルを挿入しても良く、これにより接合抵抗が下がるので特性向上が図られる。
【0163】
また、半導体材料及び絶縁体材料は上述の例示のシリコン及び酸化シリコンに限られない。また、電極811,811Bをポリシリコン以外の電極材料、例えばW−SiやAl等で形成しても構わないし、ドレイン電極830をTi/Ni/Au合金以外の電極材料、例えばTi/Ni/Ag合金やAl/Mo/Ni/Au合金で形成しても構わない。これらの場合にも既述の効果が得られる。
【0164】
【発明の効果】
この発明によれば、写真製版工程を削減できると同時に、かかる工程削減に起因した耐圧の低下を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図2】 図1中の破線で囲んだ部分2の拡大図である。
【図3】 図2中の3−3線における断面図である。
【図4】 図2中の4−4線における断面図である。
【図5】 図3の一部拡大図である。
【図6】 図1中の破線で囲んだ部分6の断面図である。
【図7】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図8】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図9】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図10】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図11】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図12】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図13】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図14】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図15】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図16】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図17】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図18】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図19】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図20】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図21】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図22】 実施の形態1に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図23】 実施の形態1に係る電力用半導体装置を説明するためのグラフである。
【図24】 比較用の電力用半導体装置を説明するためのグラフである。
【図25】 実施の形態2に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図26】 図25中の26−26線における断面図である。
【図27】 図25中の27−27線における断面図である。
【図28】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図29】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図30】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図31】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図32】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図33】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図34】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図35】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図36】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図37】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図38】 実施の形態2に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図39】 実施の形態3に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図40】 図39中の40−40線における断面図である。
【図41】 図39中の41−41線における断面図である。
【図42】 実施の形態4に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図43】 図42中の43−43線における断面図である。
【図44】 図42中の44−44線における断面図である。
【図45】 実施の形態5に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図46】 図45中の46−46線における断面図である。
【図47】 図45中の47−47線における断面図である。
【図48】 実施の形態5に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図49】 実施の形態5に係る電力用半導体装置の他の製造方法を説明するための断面図である。
【図50】 実施の形態6に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図51】 図50中の51−51線における断面図である。
【図52】 図50中の52−52線における断面図である。
【図53】 実施の形態7に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図54】 図53中の54−54線における断面図である。
【図55】 図53中の55−55線における断面図である。
【図56】 実施の形態8に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図57】 図56中の57−57線における断面図である。
【図58】 図56中の58−58線における断面図である。
【図59】 実施の形態9に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図60】 図59中の60−60線における断面図である。
【図61】 図59中の61−61線における断面図である。
【図62】 図60の一部拡大図である。
【図63】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図64】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図65】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図66】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図67】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図68】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図69】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図70】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図71】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図72】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図73】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図74】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図75】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図76】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図77】 実施の形態9に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図78】 実施の形態9に係る電力用半導体装置を説明するためのグラフである。
【図79】 実施の形態10に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図80】 図79中の80−80線における断面図である。
【図81】 図79中の81−81線における断面図である。
【図82】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図83】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図84】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図85】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図86】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図87】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図88】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図89】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図90】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図91】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図92】 実施の形態10に係る電力用半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図93】 実施の形態11に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図94】 図93中の94−94線における断面図である。
【図95】 図93中の95−95線における断面図である。
【図96】 実施の形態12に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図97】 図96中の97−97線における断面図である。
【図98】 図96中の98−98線における断面図である。
【図99】 実施の形態13に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図100】 図99中の100−100線における断面図である。
【図101】 図99中の101−101線における断面図である。
【図102】 実施の形態14に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図103】 図102中の103−103線における断面図である。
【図104】 図102中の104−104線における断面図である。
【図105】 実施の形態15に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図106】 図105中の106−106線における断面図である。
【図107】 図105中の107−107線における断面図である。
【図108】 実施の形態16に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図109】 図108中の109−109線における断面図である。
【図110】 図108中の110−110線における断面図である。
【図111】 実施の形態17に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図112】 図111中の112−112線における断面図である。
【図113】 図111中の113−113線における断面図である。
【図114】 実施の形態18に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図115】 図114中の115−115線における断面図である。
【図116】 図114中の116−116線における断面図である。
【図117】 実施の形態19に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図118】 図117中の118−118線における断面図である。
【図119】 図117中の119−119線における断面図である。
【図120】 実施の形態20に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図121】 図120中の121−121線における断面図である。
【図122】 図120中の122−122線における断面図である。
【図123】 実施の形態21に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図124】 図123中の124−124線における断面図である。
【図125】 図123中の125−125線における断面図である。
【図126】 実施の形態22に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図127】 図126中の127−127線における断面図である。
【図128】 図126中の128−128線における断面図である。
【図129】 実施の形態23に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図130】 図129中の130−130線における断面図である。
【図131】 図129中の131−131線における断面図である。
【図132】 実施の形態24に係る電力用半導体装置を説明するための平面図である。
【図133】 図132中の133−133線における断面図である。
【図134】 図132中の134−134線における断面図である。
【図135】 実施の形態25に係る電力用半導体装置を説明するための断面図である。
【図136】 実施の形態25に係る電力用半導体装置を説明するための断面図である。
【符号の説明】
501〜525 電力用半導体装置、550 素子配置部、551 中央領域、552 外周領域、610 エピタキシャル層(第1半導体層)、61S 主面、620,620B〜620F p型層(第2半導体層)、621,621Bpベース層(第1部分)、621BS 浅い部分、621BD 深い部分、621d,622d 空乏層、622 第2部分、630 第3半導体層、710,710B,710C 第1絶縁体、711 第1開口、712 第2開口、71W 側面、720 第2絶縁体、720x 第2絶縁膜、730 第3絶縁体、800 電力用半導体素子、810,810B ゲート電極(制御電極)、820,820B ソース電極(主電極)、830 ドレイン電極(主電極)、840 ゲート絶縁膜。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a power semiconductor device and a method for manufacturing the same, and to a technique for reducing a photolithography process and at the same time improving a decrease in breakdown voltage caused by the process reduction.
[0002]
[Prior art]
A conventional power MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) is manufactured as follows.
[0003]
First, n+N on a silicon substrate-The epitaxial silicon layer is epitaxially grown. Next, a silicon oxide film (hereinafter also referred to as “oxide film”) is formed on the main surface of the epitaxial layer. Then, a photo resist pattern is used to form a photoresist pattern on the oxide film, and using the photoresist pattern as a mask, a portion of the oxide film in the central region of the element placement portion is etched to form an opening. . At this time, a portion of the epitaxial layer in the outer peripheral region (peripheral region) of the element placement portion is covered (masked) with the remaining oxide film. Then, a p-type impurity (for example, boron) is ion-implanted using the photoresist pattern and the opened oxide film as a mask, and then a heat treatment is performed to form a p-base layer of the power MOSFET in the main surface of the epitaxial layer. Thereafter, the photoresist pattern is removed.
[0004]
Next, using a photoengraving technique, a photoresist pattern having an opening in the central region is formed. At this time, the opening of the photoresist pattern is formed narrower than the opening of the oxide film, and the photoresist pattern covers not only the oxide film but also a portion of the p base layer near the opening of the oxide film. To. Then, an n-type impurity (arsenic) is ion-implanted using the photoresist pattern as a mask, and then heat treatment is performed, so that the n-type impurity of the power MOSFET is formed in the main surface of the p base layer.+A source layer is formed. Thereafter, the photoresist pattern is removed.
[0005]
Next, an insulating film is entirely formed by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method so as to cover the oxide film and the main surface exposed in the opening of the oxide film. Subsequently, a photoresist pattern having an opening corresponding to the gate trench is formed on the insulating film using photolithography, and the insulating film is etched using the photoresist pattern as a mask. After removing the photoresist pattern, n is patterned using the patterned insulating film as a mask.+The source layer, the p base layer, and the epitaxial layer are etched to form a gate trench. Thereafter, the insulating film used as a mask is removed, and a gate oxide film is formed on the exposed surface.
[0006]
Next, n-type polysilicon is deposited by CVD so as to fill the gate trench and further up to the main surface, and then etched back to a predetermined thickness. Then, a photoresist pattern is formed using a photoengraving technique so as to cover a portion of the polysilicon that is pulled up from the trench to the oxide film. Thereafter, using the photoresist pattern as a mask, the polysilicon is dry etched to the same height as the main surface or lower. Thereby, a gate polysilicon electrode is formed. In order to operate the MOS transistor normally, the upper surface of the polysilicon in the trench is connected to the p base layer and the n base layer.+Provided above the junction with the source layer. Thereafter, the photoresist pattern is removed.
[0007]
Then, a cap oxide film is formed on the exposed surface of the polysilicon, and BPSG (Boro-Phospho Silicate Glass) as an interlayer insulating film is deposited by a CVD method.
[0008]
Next, a photoresist pattern having openings for a source contact hole and a gate contact hole is formed on the interlayer insulating film using a photoengraving technique. Then, the interlayer insulating film or the like is etched using the photoresist pattern as a mask to form a source contact hole and a gate contact hole. Thereafter, the photoresist pattern is removed. The source contact hole is n near the gate polysilicon electrode.+It is formed so as to penetrate the source layer and reach the p base layer. The gate contact hole is formed on the oxide film in the outer peripheral region, and is formed in the hole so that a portion of the gate polysilicon electrode that is pulled up from the gate trench is exposed.
[0009]
Next, conductive Al—Si is formed by sputtering so as to fill the source contact hole and the gate contact hole.filmAnd a photoresist pattern is formed on the Al-Si film using a photoengraving technique. Then, etching is performed using the photoresist pattern as a mask to form a source aluminum electrode and a gate aluminum electrode from the Al-Si film. Then, the photoresist pattern is removed.
[0010]
Thereafter, a conductive Ti / Ni / Au alloy is deposited on the entire surface of the substrate opposite to the epitaxial layer by sputtering to form a drain electrode.
[0011]
A conventional power MOSFET is completed through the above steps.
[0012]
Here, the breakdown voltage in the above-described conventional power MOSFET will be described. In a state where the source aluminum electrode is set to ground (ground) potential and the drain electrode is set to positive potential, a depletion layer is generated at the junction between the p base layer and the epitaxial layer. In general, since the depletion layer spreads in proportion to the 1/2 power of the applied voltage, the current also increases in proportion to the 1/2 power of the voltage. Avalanche breakdown occurs when the voltage increases and the intensity of the electric field applied to the depletion layer exceeds a certain value. Normally, a voltage of about 80% of the avalanche breakdown voltage is used so as not to cause the avalanche breakdown. At this time, since the outer end of the p base layer has a curvature, the electric field applied to the depletion layer becomes stronger, and the breakdown voltage becomes smaller than the one-dimensional pn junction breakdown voltage. Therefore, several structures for improving the breakdown voltage of a power device having a curvature have been proposed. Typical structures include a field ring structure (or guard ring structure) and a field plate structure, which are generally widely used. According to the field ring structure, by providing a multi-floating p-type layer on the outer periphery of the p base layer forming the main junction, the curvature is relaxed and the depletion layer is kept uniform. Further, according to the field plate structure, an electrode is disposed directly above and outside the p base layer via an insulating film, and a negative voltage is applied to the electrode, thereby making it easier to extend the depletion layer to the outside and reducing the curvature. .
[0013]
The above-described conventional manufacturing method is introduced in, for example,
[0014]
[Patent Document 1]
WO99 / 12214 pamphlet
[0015]
[Problems to be solved by the invention]
The above-described conventional method for manufacturing a power MOSFET includes six photolithography processes. That is,
1. When forming the p base layer,
2. n+When forming the source layer,
3. When forming the gate trench,
4). When patterning the gate polysilicon electrode,
5). When forming contact holes, and
6). When patterning aluminum electrodes,
In, use photoengraving technology.
[0016]
Here, to reduce the number of manufacturing processes, n+When the photoengraving process at the time of forming the source layer is eliminated, the following problems occur. That is, n+Ion implantation for the source layer is performed by self-alignment using the oxide film used at the time of ion implantation for the p base layer as a mask again (double diffusion structure). In this case, n+Compared with the case of using the above-described mask for the source layer (that is, a photoresist pattern having an opening narrower than the oxide film),+The outer edge of the source layer is closer to the outer edge of the p base layer. That is, the width of the p base layer becomes narrower in the outer peripheral portion, in other words, the outer periphery of the p base layer and n+The distance from the outer periphery of the source layer is shortened. For this reason, punch-through is likely to occur, and the breakdown voltage is reduced.
[0017]
The present invention has been made in view of the above points, and provides a power semiconductor device capable of reducing the photolithography process and at the same time improving the decrease in breakdown voltage resulting from the process reduction, and a method of manufacturing the same. For the purpose.
[0018]
[Means for Solving the Problems]
A power semiconductor device according to the present invention includes:Is a cell regionCentral areaAnd surrounding the central areaPerimeter areaWhenA power semiconductor device including a power semiconductor element in an element placement portion having a first conductivity type first semiconductor layer, a first insulator, a second insulator, and a first conductivity type A second semiconductor layer of the opposite second conductivity type and a third semiconductor layer of the first conductivity type are included. The first semiconductor layer includes a main surface provided across the central region and the outer peripheral region. The first insulator has a first opening in the central region, is provided on the main surface, and includes a side surface forming the first opening. The second insulator is provided on the side surface of the first insulator so as to narrow the first opening. The second semiconductor layer is provided in the main surface. The second semiconductor layer includes a first portion, and the first portion is formed in the central region of the power semiconductor element.Base layerAnd the first insulatorcontactIt extends to the outer peripheral region side. The third semiconductor layer is provided in the formation region of the first portion in the main surface, and the power semiconductor element is disposed in the central region in the formation region of the first portion. And forming the second insulatorcontactIt extends to the outer peripheral region side.The third semiconductor layer is formed in the second semiconductor layer by injecting impurities through the first opening with the second insulator, and is in contact with the second insulator, Does not contact the first insulator.
[0019]
The method for manufacturing a power semiconductor device according to the present invention includes the following steps (a) to (h). The power semiconductor device isIs a cell regionCentral areaAnd surrounding the central areaPerimeter areaWhenA power semiconductor element is included in the element arrangement portion having the following. The step (a) is a step of preparing a first semiconductor layer of a first conductivity type. The first semiconductor layer includes a main surface extending over the central region and the outer peripheral region. The step (b) is a step of forming a first insulating film on the main surface over the central region and the outer peripheral region. The step (c) is a step of opening the first insulating film to form a first insulator having at least one opening. The step (d) is a step of ion-implanting an impurity of a second conductivity type opposite to the first conductivity type through the at least one opening. The step (e) is a step of performing a heat treatment after the step (d). The step (f) is a step of forming a second insulating film so as to fill the at least one opening. The step (g) is a step of etching back the second insulating film. The at least one opening includes a first opening in the central region. Here, the step (c) includes a step (c) -1) of forming the first opening in the first insulating film. In the step (d), the impurity of the second conductivity type is ion-implanted through the first opening, and the first portion of the second conductivity type second semiconductor layer is formed in the main surface. Forming step (d) -1).The first portion forms a base layer of the power semiconductor element in the central region and extends toward the outer peripheral region so as to be in contact with the first insulator.In the step (g), a second insulator is formed on the side surface of the first insulator forming the first opening from the second insulating film, and the first opening is narrowed (g). -1) is included. In the step (h), after the step (g), the first conductivity type impurity is ion-implanted through the first opening with the second insulator, In the formation region of the first part, So as to contact the second insulator and not the first insulatorForming a third semiconductor layer of the first conductivity type;
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a plan view for explaining a power semiconductor device (hereinafter also simply referred to as “semiconductor device”) 501 according to the first embodiment.
[0021]
As shown in FIG. 1, the
[0022]
FIG. 2 shows an enlarged plan view of a
[0023]
In the following description, the position of the outermost end of a gate trench (hereinafter also simply referred to as “trench”) 813 for the gate electrode (control electrode) 810 is selected as a boundary between the
[0024]
In the
[0025]
As shown in FIGS. 2 to 6, the
[0026]
In the outer
[0027]
On the
[0028]
A p-type layer (second semiconductor layer) 620 made of p-type silicon containing p-type (second conductivity type) impurities, for example, boron, is formed in the
[0029]
In the following description, the formation region of the p-
[0030]
Further, the
[0031]
In the following description, n of
[0032]
As shown in FIG. 2, a
[0033]
As shown in FIGS. 3 to 5, the
[0034]
A
[0035]
A
[0036]
At this time, a portion of the
[0037]
Here, in the
[0038]
On the other hand, as shown in FIGS. 2, 4, and 6, in the
[0039]
A drain electrode (main electrode) 830 made of, for example, a Ti / Ni / Au alloy is disposed on the
[0040]
At this time, the
[0041]
Here, the
[0042]
Next, a method for manufacturing the
[0043]
First, n containing a high concentration of n-type impurities+
[0044]
Next, a first insulating film and a photoresist film made of, for example, silicon oxide are formed in this order over the
[0045]
Next, using the
[0046]
Thereafter, a second
[0047]
Next, an n-type impurity (for example, arsenic) is ion-implanted through the
[0048]
Then, by CVD, n+A
[0049]
After removing the
[0050]
Next, the exposed surface of the epitaxial layer 610 (more specifically, n+The
[0051]
Then, a heavily doped
[0052]
Thereafter, using the photoengraving technique, the photoresist is covered so as to cover the end portion in the
[0053]
After removing the
[0054]
Next, a
[0055]
Photo resistpatternAfter removing 903, the
[0056]
Next, a
[0057]
Then, a conductive Ti / Ni / Au alloy is deposited on the entire main surface of the
[0058]
As described above, in the
[0059]
Moreover, the manufacturing method described above that does not use the second insulator 720 (the ion implantation mask for the p base layer is used as it is.+The
[0060]
As described above, according to the
[0061]
Furthermore, the
[0062]
Here, the
[0063]
FIG. 25 is a plan view for explaining the
[0064]
Next, a method for manufacturing the
[0065]
First, according to the manufacturing method of the
[0066]
Next, the first and
[0067]
Subsequent steps are basically the same as the method for manufacturing the
[0068]
After removing the
[0069]
Thereafter, a
[0070]
According to the
[0071]
At this time, the
[0072]
FIG. 39 is a plan view for explaining the
[0073]
Specifically, the gate electrode 810BConsists of a
[0074]
The
[0075]
According to the
[0076]
In the semiconductor device 503 (see FIGS. 39 to 41) described above, the
[0077]
42 is a plan view for explaining the
[0078]
At this time, in the
[0079]
According to the
[0080]
Embodiment 5 FIG.
45 is a plan view for illustrating
[0081]
Specifically, as shown in FIGS. 46 and 47, the p-
[0082]
First, the p base layer 621 (which later forms the shallow portion 621BS of the
[0083]
Alternatively, the ion implantation for the deep portion 621BD of the
[0084]
Note that heat treatment may be performed after ion implantation for the shallow portion 621BS and after ion implantation for the deep portion 621BD, or these two heat treatments may be performed together.
[0085]
According to the
[0086]
50 is a plan view for explaining
[0087]
According to the
[0088]
FIG. 53 is a plan view for explaining the
[0089]
According to the
[0090]
FIG. 56 is a plan view for explaining the
[0091]
According to the
[0092]
Embodiment 9 FIG.
59 is a plan view for explaining the
[0093]
Specifically, the p-
[0094]
Next, a method for manufacturing the
[0095]
First, in the same manner as the method for manufacturing the
[0096]
Then, the photoresist is patterned using a photoengraving technique to form a photoresist pattern 900B corresponding to the
[0097]
Subsequent processes are basically the same as those of the
[0098]
Thereafter, a second
[0099]
Then, an n-type impurity (for example, arsenic) is ion-implanted through the
[0100]
Thereafter, an
[0101]
Thereafter, a
[0102]
According to the
[0103]
In particular, since the p-
[0104]
At this time, the
[0105]
When the simulation was performed in the same manner as the
[0106]
79 is a plan view for illustrating
[0107]
Next, a method for manufacturing the
[0108]
The
[0109]
Next, first to
[0110]
Subsequent steps are basically the same as the method for manufacturing the
[0111]
After removing the
[0112]
Thereafter, a
[0113]
According to the
[0114]
At this time, the
[0115]
93 is a plan view for illustrating
[0116]
According to the
[0117]
Embodiment 12 FIG.
FIG. 96 is a plan view for illustrating
[0118]
According to the
[0119]
99 is a plan view for illustrating the
[0120]
Specifically, the p-
[0121]
According to the
[0122]
FIG. 102 is a plan view for explaining the
[0123]
The
[0124]
The
[0125]
According to the
[0126]
105 is a plan view for explaining
[0127]
The
[0128]
According to the
[0129]
Embodiment 16 FIG.
108 is a plan view for illustrating
[0130]
Specifically, the
[0131]
108 to 110, the
[0132]
According to the
[0133]
FIG. 111 is a plan view for illustrating a power semiconductor device 517 according to the seventeenth embodiment, FIG. 112 is a cross-sectional view taken along the line 112-112 in FIG. 111, and FIG. A cross-sectional view is shown in FIG. The semiconductor device 517 has a configuration in which the p-
[0134]
Specifically, the p-
[0135]
In FIGS. 111 to 113, the
[0136]
According to the power semiconductor device 517, the same effects as those of the
[0137]
Embodiment 18 FIG.
114 is a plan view for illustrating a
[0138]
The
[0139]
According to the
[0140]
117 is a plan view for illustrating
[0141]
According to the
[0142]
120 is a plan view for illustrating
[0143]
The
[0144]
According to the
[0145]
Embodiment 21. FIG.
123 shows a plan view for illustrating
[0146]
The
[0147]
According to the
[0148]
126 is a plan view for explaining
[0149]
The
[0150]
According to the
[0151]
Embodiment 23. FIG.
FIG. 129 is a plan view for explaining a
[0152]
The
[0153]
According to the
[0154]
Embodiment 24. FIG.
FIG. 132 is a plan view for explaining a
[0155]
The
[0156]
According to the
[0157]
Embodiment 25. FIG.
135 and 136 are cross-sectional views for explaining the
[0158]
Note that the
[0159]
Modification of
The elements of the
[0160]
Further, the same effect can be obtained even if the semiconductor conductivity type is changed in the
[0161]
In addition, an insulator other than silicon oxide can be used for the
[0162]
Further, a barrier metal may be inserted between the aluminum electrode and silicon, for example, between the
[0163]
Further, the semiconductor material and the insulator material are not limited to the above exemplified silicon and silicon oxide. The
[0164]
【The invention's effect】
According to the present invention, the photolithography process can be reduced, and at the same time, the decrease in breakdown voltage due to the process reduction can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to a first embodiment;
FIG. 2 is an enlarged view of a
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG.
4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 in FIG.
5 is a partially enlarged view of FIG. 3;
6 is a cross-sectional view of a
7 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
8 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment.
10 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
11 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
12 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
13 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
14 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
FIG. 15 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment.
16 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
FIG. 17 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment.
18 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
FIG. 19 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment.
20 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
21 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
22 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the first embodiment. FIG.
FIG. 23 is a graph for explaining the power semiconductor device according to the first embodiment;
FIG. 24 is a graph for explaining a comparative power semiconductor device;
FIG. 25 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the second embodiment;
26 is a cross-sectional view taken along line 26-26 in FIG.
27 is a cross-sectional view taken along line 27-27 in FIG.
FIG. 28 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
29 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment. FIG.
30 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment. FIG.
FIG. 31 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
32 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment. FIG.
FIG. 33 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
34 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment. FIG.
FIG. 35 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
FIG. 36 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
FIG. 37 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
FIG. 38 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the second embodiment.
FIG. 39 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the third embodiment;
40 is a cross-sectional view taken along line 40-40 in FIG. 39. FIG.
41 is a cross-sectional view taken along line 41-41 in FIG. 39;
42 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the fourth embodiment. FIG.
43 is a cross-sectional view taken along line 43-43 in FIG.
44 is a cross-sectional view taken along line 44-44 in FIG. 42. FIG.
45 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the fifth embodiment; FIG.
46 is a cross-sectional view taken along line 46-46 in FIG. 45. FIG.
47 is a cross-sectional view taken along line 47-47 in FIG. 45. FIG.
48 is a diagram for explaining the method for manufacturing the power semiconductor device according to the fifth embodiment. FIG.RefusalFIG.
49 is a diagram for explaining another method for manufacturing the power semiconductor device according to the fifth embodiment. FIG.RefusalFIG.
50 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the sixth embodiment. FIG.
51 is a cross-sectional view taken along line 51-51 in FIG. 50. FIG.
52 is a cross-sectional view taken along line 52-52 in FIG. 50. FIG.
53 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the seventh embodiment. FIG.
54 is a cross-sectional view taken along line 54-54 in FIG. 53. FIG.
55 is a sectional view taken along line 55-55 in FIG. 53. FIG.
56 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the eighth embodiment. FIG.
57 is a cross-sectional view taken along line 57-57 in FIG.
FIG. 58 is a cross-sectional view taken along line 58-58 in FIG.
FIG. 59 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the ninth embodiment;
60 is a cross-sectional view taken along line 60-60 in FIG. 59. FIG.
61 is a cross-sectional view taken along line 61-61 in FIG. 59. FIG.
62 is a partially enlarged view of FIG. 60. FIG.
63 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
64 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
65 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
66 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
67 is a cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
68 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
69 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
FIG. 70 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment.
71 is a cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
72 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
73 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
74 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
75 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
76 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
77 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the ninth embodiment. FIG.
78 is a graph for explaining a power semiconductor device according to the ninth embodiment; FIG.
79 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the tenth embodiment; FIG.
80 is a cross-sectional view taken along the line 80-80 in FIG. 79.
81 is a cross sectional view taken along line 81-81 in FIG. 79;
82 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
83 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
84 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
85 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
86 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
87 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
88 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
FIG. 89 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment.
90 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
FIG. 91 is a cross-sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment.
92 is a cross sectional view for illustrating the method for manufacturing the power semiconductor device according to the tenth embodiment. FIG.
93 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the eleventh embodiment. FIG.
94 is a sectional view taken along line 94-94 in FIG. 93. FIG.
95 is a cross sectional view taken along line 95-95 in FIG. 93. FIG.
96 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the twelfth embodiment; FIG.
97 is a cross sectional view taken along line 97-97 in FIG. 96. FIG.
98 is a cross sectional view taken along line 98-98 in FIG. 96. FIG.
99 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to a thirteenth embodiment; FIG.
100 is a sectional view taken along line 100-100 in FIG. 99. FIG.
101 is a sectional view taken along the line 101-101 in FIG. 99. FIG.
102 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to a fourteenth embodiment; FIG.
103 is a cross-sectional view taken along line 103-103 in FIG. 102. FIG.
104 is a cross-sectional view taken along line 104-104 in FIG. 102. FIG.
105 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the fifteenth embodiment; FIG.
106 is a cross-sectional view taken along line 106-106 in FIG. 105. FIG.
107 is a cross sectional view taken along line 107-107 in FIG. 105. FIG.
108 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to the sixteenth embodiment; FIG.
FIG. 109 is a cross-sectional view taken along line 109-109 in FIG.
FIG. 110 is a cross-sectional view taken along line 110-110 in FIG.
111 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the seventeenth embodiment; FIG.
112 is a cross sectional view taken along line 112-112 in FIG. 111;
113 is a cross-sectional view taken along line 113-113 in FIG. 111. FIG.
114 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to an eighteenth embodiment; FIG.
115 is a sectional view taken along line 115-115 in FIG. 114. FIG.
116 is a cross-sectional view taken along line 116-116 in FIG. 114. FIG.
117 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to a nineteenth embodiment; FIG.
118 is a cross-sectional view taken along line 118-118 in FIG. 117. FIG.
119 is a cross-sectional view taken along line 119-119 in FIG. 117. FIG.
120 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to the twentieth embodiment; FIG.
121 is a cross-sectional view taken along line 121-121 in FIG. 120. FIG.
122 is a sectional view taken along line 122-122 in FIG. 120. FIG.
123 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to the twenty-first embodiment; FIG.
124 is a cross-sectional view taken along line 124-124 in FIG. 123. FIG.
125 is a cross sectional view taken along line 125-125 in FIG. 123. FIG.
126 is a plan view for explaining the power semiconductor device according to the twenty-second embodiment; FIG.
127 is a cross-sectional view taken along line 127-127 in FIG. 126. FIG.
128 is a sectional view taken along line 128-128 in FIG.
129 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to a twenty-third embodiment; FIG.
130 is a sectional view taken along line 130-130 in FIG. 129. FIG.
131 is a cross-sectional view taken along line 131-131 in FIG. 129;
132 is a plan view for explaining a power semiconductor device according to a twenty-fourth embodiment; FIG.
133 is a sectional view taken along line 133-133 in FIG. 132. FIG.
134 is a sectional view taken along line 134-134 in FIG. 132. FIG.
135 is a cross sectional view for illustrating a power semiconductor device according to a twenty-fifth embodiment. FIG.
136 is a cross sectional view for illustrating a power semiconductor device according to a twenty-fifth embodiment. FIG.
[Explanation of symbols]
501 to 525 Power semiconductor device, 550 element arrangement portion, 551 center region, 552 outer peripheral region, 610 epitaxial layer (first semiconductor layer), 61S main surface, 620, 620B to 620F p-type layer (second semiconductor layer), 621, 621Bp base layer (first portion), 621BS shallow portion, 621BD deep portion, 621d, 622d depletion layer, 622 second portion, 630 third semiconductor layer, 710, 710B, 710C first insulator, 711
Claims (20)
前記中央領域と前記外周領域とに渡って設けられた主面を含む、第1導電型の第1半導体層と、
前記中央領域内に第1開口を有して前記主面上に設けられており、前記第1開口を成す側面を含む、第1絶縁体と、
前記第1開口を狭めるように前記第1絶縁体の前記側面上に設けられた第2絶縁体と、
前記主面内に設けられた、前記第1導電型とは反対の第2導電型の第2半導体層と、を備え、
前記第2半導体層は、前記中央領域内において前記電力用半導体素子のベース層を成し前記第1絶縁体に接触するように前記外周領域の側へ延在する、第1部分を含み、
前記電力用半導体装置は、
前記主面のうちで前記第1部分の形成領域内に設けられており、前記第1部分の前記形成領域のうちで前記中央領域内において前記電力用半導体素子の他の一部を成し前記第2絶縁体に接触するように前記外周領域の側へ延在し、前記第2絶縁体を有した状態で前記第1開口を介して不純物を注入することにより前記第2半導体層内に形成された、前記第1導電型の第3半導体層を更に備え、
前記第3半導体層は、前記第2絶縁体に接触し、前記第1絶縁体に接触しない、
電力用半導体装置。A power semiconductor device including a power semiconductor device in the element placement portion and a peripheral region surrounding said central region and the central region is a cell region,
A first semiconductor layer of a first conductivity type including a main surface provided over the central region and the outer peripheral region;
A first insulator having a first opening in the central region and provided on the main surface, and including a side surface forming the first opening;
A second insulator provided on the side surface of the first insulator so as to narrow the first opening;
A second semiconductor layer of a second conductivity type opposite to the first conductivity type provided in the main surface,
The second semiconductor layer includes a first portion that forms a base layer of the power semiconductor element in the central region and extends toward the outer peripheral region so as to contact the first insulator;
The power semiconductor device includes:
The main surface is provided in the formation region of the first portion, and forms another part of the power semiconductor element in the central region of the formation region of the first portion. extend to the side of the outer peripheral region so as to contact the second insulator, formed on the second semiconductor layer by implanting an impurity through said first opening in a state of having the second insulator has been further example Bei a third semiconductor layer of the first conductivity type,
The third semiconductor layer is in contact with the second insulator and not in contact with the first insulator;
Power semiconductor device.
前記第1絶縁体は、前記第2半導体層の前記第1部分の外側に設けられ前記主面に至る少なくとも1つの第2開口を更に含み、
前記第2半導体層は、前記少なくとも1つの第2開口に接触して前記主面内に設けられた前記第2導電型の少なくとも1つの第2部分を更に含む、
電力用半導体装置。The power semiconductor device according to claim 1,
The first insulator further includes at least one second opening provided outside the first portion of the second semiconductor layer and reaching the main surface,
The second semiconductor layer further includes at least one second portion of the second conductivity type provided in the main surface in contact with the at least one second opening.
Power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2部分は、前記第1部分と離れて設けられているが、前記電力用半導体装置の動作時には前記少なくとも1つの第2部分付近の空乏層が前記第1部分付近の空乏層に繋がるように設けられている、
電力用半導体装置。The power semiconductor device according to claim 2,
The at least one second portion is provided apart from the first portion, but when the power semiconductor device is operated, the depletion layer near the at least one second portion is depleted near the first portion. It is provided to connect to
Power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2部分は、互いに離れて設けられた複数の第2部分を含み、前記複数の第2部分は、前記動作時に各第2部分付近の空乏層が隣の第2部分付近の空乏層と繋がるように設けられている、
電力用半導体装置。The power semiconductor device according to claim 3,
The at least one second portion includes a plurality of second portions provided apart from each other, and the plurality of second portions includes a depletion layer near each second portion in the vicinity of the adjacent second portion during the operation. It is provided to connect with the depletion layer,
Power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2部分は、前記第1部分に繋がっている、
電力用半導体装置。The power semiconductor device according to claim 2,
The at least one second portion is connected to the first portion;
Power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2開口は、線状又は点状に設けられている、
電力用半導体装置。A power semiconductor device according to any one of claims 2 to 5,
The at least one second opening is provided in a line shape or a dot shape,
Power semiconductor device.
前記電力用半導体素子は、前記第1乃至第3半導体層を前記第1乃至第3半導体層の積層方向において挟み込むように設けられた2つの主電極と、前記2つの主電極間の経路を制御するための制御電極と、を有するMIS型トランジスタ構造を含んでおり、
前記2つの主電極及び前記制御電極のうちの1つの電極が、前記第1絶縁体を介して前記主面に対向するように且つ前記第2半導体層よりも前記中央領域から遠い側にまで延在するように、設けられている、
電力用半導体装置。A power semiconductor device according to any one of claims 1 to 6,
The power semiconductor element controls two main electrodes provided so as to sandwich the first to third semiconductor layers in the stacking direction of the first to third semiconductor layers, and a path between the two main electrodes. A MIS type transistor structure having a control electrode,
One electrode of the two main electrodes and the control electrode extends to the side farther from the central region than the second semiconductor layer so as to face the main surface through the first insulator. As it exists,
Power semiconductor device.
前記第2半導体層の前記第1部分は、前記中央領域内の部分よりも深くまで延在する端部を有する、
電力用半導体装置。A power semiconductor device according to any one of claims 1 to 7,
The first portion of the second semiconductor layer has an end extending deeper than a portion in the central region;
Power semiconductor device.
前記電力用半導体素子は、前記第1乃至第3半導体層を前記第1乃至第3半導体層の積層方向において挟み込むように設けられた2つの主電極と、前記2つの主電極間の経路を制御するための制御電極と、を有するMIS型トランジスタ構造を含んでおり、
前記制御電極は、前記中央領域内において平面視上網目状に形成されており、前記外周領域内には延在していない、
電力用半導体装置。A power semiconductor device according to any one of claims 1 to 8,
The power semiconductor element controls two main electrodes provided so as to sandwich the first to third semiconductor layers in the stacking direction of the first to third semiconductor layers, and a path between the two main electrodes. A MIS type transistor structure having a control electrode,
The control electrode is formed in a mesh shape in plan view in the central region and does not extend in the outer peripheral region,
Power semiconductor device.
(a)第1導電型の第1半導体層を準備する工程を備え、
前記第1半導体層は、前記中央領域と前記外周領域とに渡る主面を含み、
前記製造方法は、
(b)前記中央領域と前記外周領域とに渡って前記主面上に第1絶縁膜を形成する工程と、
(c)前記第1絶縁膜を開口して、少なくとも1つの開口を有する第1絶縁体を形成する工程と、
(d)前記少なくとも1つの開口を介して前記第1導電型とは反対の第2導電型の不純物をイオン注入する工程と、
(e)前記工程(d)の後に熱処理を実施する工程と、
(f)前記少なくとも1つの開口を埋めるように第2絶縁膜を形成する工程と、
(g)前記第2絶縁膜をエッチバックする工程と、を更に備え、
前記少なくとも1つの開口は、前記中央領域内の第1開口を含み、
前記工程(c)は、(c)-1)前記第1絶縁膜に前記第1開口を形成する工程を含み、
前記工程(d)は、(d)-1)前記第1開口を介して前記第2導電型の前記不純物をイオン注入して、前記主面内に前記第2導電型の第2半導体層の第1部分を形成する工程を含み、
前記第1部分は、前記中央領域内において前記電力用半導体素子のベース層を成し前記第1絶縁体に接触するように前記外周領域の側へ延在し、
前記工程(g)は、(g)-1)前記第2絶縁膜から、前記第1開口を成す前記第1絶縁体の側面上に第2絶縁体を形成して、前記第1開口を狭める工程を含み、
前記製造方法は、
(h)前記工程(g)の後、前記第2絶縁体を有した状態で前記第1開口を介して前記第1導電型の不純物をイオン注入して、前記主面のうちで前記第1部分の形成領域内に、前記第2絶縁体に接触し前記第1絶縁体に接触しないように前記第1導電型の第3半導体層を形成する工程を更に備える、
電力用半導体装置の製造方法。A method of manufacturing a power semiconductor device including a power semiconductor device in the element placement portion and a peripheral region surrounding said central region and the central region is a cell region,
(a) providing a first semiconductor layer of a first conductivity type,
The first semiconductor layer includes a main surface extending over the central region and the outer peripheral region,
The manufacturing method includes:
(b) forming a first insulating film on the main surface across the central region and the outer peripheral region;
(c) opening the first insulating film to form a first insulator having at least one opening;
(d) ion-implanting impurities of a second conductivity type opposite to the first conductivity type through the at least one opening;
(e) performing a heat treatment after the step (d);
(f) forming a second insulating film so as to fill the at least one opening;
(g) further comprising a step of etching back the second insulating film,
The at least one opening includes a first opening in the central region;
The step (c) includes a step (c) -1) forming the first opening in the first insulating film,
In the step (d), (d) -1) the second conductivity type impurity is ion-implanted through the first opening, and the second conductivity type second semiconductor layer is formed in the main surface. Forming a first portion;
The first portion forms a base layer of the power semiconductor element in the central region and extends toward the outer peripheral region so as to contact the first insulator,
In the step (g), (g) -1) a second insulator is formed on the side surface of the first insulator forming the first opening from the second insulating film to narrow the first opening. Including steps,
The manufacturing method includes:
(h) After the step (g), the first conductivity type impurity is ion-implanted through the first opening in a state having the second insulator, and the first surface of the main surface is Forming a third semiconductor layer of the first conductivity type so as to contact the second insulator and not contact the first insulator in a formation region of the portion;
A method of manufacturing a power semiconductor device.
(i)前記工程(h)の後に前記第1及び第2絶縁体を除去する工程を、更に備える、
電力用半導体装置の製造方法。It is a manufacturing method of the semiconductor device for electric power according to claim 10,
(i) The method further comprises the step of removing the first and second insulators after the step (h).
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記少なくとも1つの開口は、前記外周領域内の少なくとも1つの第2開口を更に含み、
前記工程(c)は、(c)-2)前記外周領域内において前記第1絶縁膜に前記少なくとも1つの第2開口を形成する工程を更に含み、
前記工程(d)は、(d)-2)前記少なくとも1つの第2開口を介して前記第2導電型の前記不純物をイオン注入して、前記主面内に前記第2半導体層の少なくとも1つの第2部分を形成する工程を含み、
前記工程(g)は、(g)-2)前記第2絶縁膜から、前記少なくとも1つの第2開口内に少なくとも1つの第3絶縁体を形成して、前記少なくとも1つの第2開口を閉じる工程を含む、
電力用半導体装置の製造方法。It is a manufacturing method of the semiconductor device for electric power according to claim 10,
The at least one opening further includes at least one second opening in the outer peripheral region;
The step (c) further includes a step (c) -2) forming the at least one second opening in the first insulating film in the outer peripheral region,
In the step (d), (d) -2) the impurity of the second conductivity type is ion-implanted through the at least one second opening, and at least one of the second semiconductor layers is formed in the main surface. Forming two second parts,
In the step (g), (g) -2) at least one third insulator is formed in the at least one second opening from the second insulating film, and the at least one second opening is closed. Including steps,
A method of manufacturing a power semiconductor device.
(j)前記工程(h)の後に前記第1乃至第3絶縁体を除去する工程を、更に備える、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to claim 12,
(j) further comprising a step of removing the first to third insulators after the step (h).
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2部分は、前記第1部分と離れて設けられているが、前記電力用半導体装置の動作時には前記少なくとも1つの第2部分付近の空乏層が前記第1部分付近の空乏層に繋がるように、前記少なくとも1つの第2開口の位置及び大きさ並びに前記工程(d)-2)及び(e)の条件を設定する、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to claim 12 or 13,
The at least one second portion is provided apart from the first portion, but when the power semiconductor device is operated, the depletion layer near the at least one second portion is a depletion layer near the first portion. Setting the position and size of the at least one second opening and the conditions of the steps (d) -2) and (e) so as to lead to
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2部分は、互いに離れて設けられた複数の第2部分を含み、
前記動作時に各第2部分付近の空乏層が隣の第2部分付近の空乏層と繋がるように、前記少なくとも1つの第2開口の位置及び大きさ並びに前記工程(d)-2)及び(e)の条件を設定する、
電力用半導体装置の製造方法。15. A method of manufacturing a power semiconductor device according to claim 14,
The at least one second portion includes a plurality of second portions provided apart from each other;
The position and size of the at least one second opening and the steps (d) -2) and (e) so that a depletion layer near each second portion is connected to a depletion layer near the adjacent second portion during the operation. ) Conditions,
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記少なくとも1つの第2部分が前記第1部分に繋がるように、前記少なくとも1つの第2開口の位置及び大きさ並びに前記工程(d)-2)及び(e)の条件を設定する、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to claim 12 or 13,
Setting the position and size of the at least one second opening and the conditions of the steps (d) -2) and (e) so that the at least one second portion is connected to the first portion;
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記工程(c)-2)は、前記少なくとも1つの第2開口を線状又は点状に形成する工程を含む、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to any one of claims 12 to 16,
The step (c) -2) includes a step of forming the at least one second opening in a line shape or a dot shape,
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記電力用半導体素子は、前記第1乃至第3半導体層を前記第1乃至第3半導体層の積層方向において挟み込むように設けられた2つの主電極と、前記2つの主電極間の経路を制御するための制御電極と、を有するMIS型トランジスタ構造を含んでおり、
前記製造方法は、
(k)前記2つの主電極及び前記制御電極のうちの1つの電極を、前記主面に対向するように且つ前記第2半導体層よりも前記中央領域から遠い側にまで延在するように、形成する工程を更に備える、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to any one of claims 10 to 17,
The power semiconductor element controls two main electrodes provided so as to sandwich the first to third semiconductor layers in the stacking direction of the first to third semiconductor layers, and a path between the two main electrodes. A MIS type transistor structure having a control electrode,
The manufacturing method includes:
(k) One of the two main electrodes and the control electrode extends so as to face the main surface and extend further to the side farther from the central region than the second semiconductor layer. Further comprising the step of forming,
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記第2半導体層の前記第1部分は、前記中央領域内の部分よりも深くまで延在する端部を有し、
前記工程(d)-1)は、
前記第1部分の前記中央領域内の前記部分を形成する工程と、
前記第1部分の前記端部を形成する工程と、を含む、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to any one of claims 10 to 18,
The first portion of the second semiconductor layer has an end extending deeper than a portion in the central region;
Step (d) -1)
Forming the portion in the central region of the first portion;
Forming the end of the first portion.
A method of manufacturing a power semiconductor device.
前記電力用半導体素子は、前記第1乃至第3半導体層を前記第1乃至第3半導体層の積層方向において挟み込むように設けられた2つの主電極と、前記2つの主電極間の経路を制御するための制御電極と、を有するMIS型トランジスタ構造を含んでおり、
前記製造方法は、
(l)前記制御電極を、前記中央領域内においては平面視上網目状に形成され前記外周領域内には延在しないように形成する工程を更に備える、
電力用半導体装置の製造方法。A method for manufacturing a power semiconductor device according to any one of claims 10 to 19,
The power semiconductor element controls two main electrodes provided so as to sandwich the first to third semiconductor layers in the stacking direction of the first to third semiconductor layers, and a path between the two main electrodes. A MIS type transistor structure having a control electrode,
The manufacturing method includes:
(l) The control electrode further includes a step of forming the control electrode in a mesh shape in plan view so as not to extend into the outer peripheral region.
A method of manufacturing a power semiconductor device.
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