JP3927515B2 - 基板加熱装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は基板加熱装置、特に、大型の半導体基板やガラス基板用の加熱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板をパネル型ヒーターによって加熱する基板加熱装置は既知である。（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−１３５２２７号公報（第２頁、図１）。
【０００４】
図５はこのような従来の基板加熱装置を示し、１はパネル型ヒーター収納枠、２は上下に多段に配置したパネル型ヒーター、３はこのパネル型ヒーター２によって加熱される被処理基板、４は基板支持ピンである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
然しながらこのような従来の基板加熱装置においては、被加熱処理基板が大型になるとともに、パネル型ヒーターも大型となり、昇温時、棚に支持されているパネル型ヒーターの中央部が下方に垂れ下がり、下方に位置する被加熱処理基板に損傷を与える恐れがあった。
【０００６】
本発明はこのような欠点を除くようにしたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板加熱装置は、パネル型ヒーターと、このパネル型ヒーター上に被処理基板を水平に支持するための支持部材と、上記パネル型ヒーターをその中央部が上方に凸となるよう湾曲せしめるための湾曲部材とより成る基板加熱装置において、上記パネル型ヒーター上面に互いに高さの異なる基板支持ピンを垂直に設けてなり、上記湾曲部材は、上記パネル型ヒーターの端部間を互いに接近する方向に引張する引張部材であることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の基板加熱装置は、パネル型ヒーターと、このパネル型ヒーター上に被処理基板を水平に支持するための支持部材と、上記パネル型ヒーターをその中央部が上方に凸となるよう湾曲せしめるための湾曲部材とより成る基板加熱装置において、上記パネル型ヒーター下面に互いに縦方向に離間して横方向に延びる複数の垂下支板を設けてなり、上記湾曲部材は、上記垂下支板の横方向両端に連結され上記パネル型ヒーターの端部間を互いに接近する方向に引張する引張部材であることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
【００１０】
本発明においては図１及び図２に示すように、パネル型ヒーター２をその中央部が上方に凸となるように湾曲せしめ、このようにしたパネル型ヒーター２によって互いに高さの異なる基板支持ピン５によって被処理基板３を水平となるよう支持せしめる。
【００１１】
上記パネル型ヒーター２を上記のように湾曲せしめるには、例えばパネル型ヒーター２の横方向両端下面に互いに縦方向に離間して複数の垂下支板６を固定し、互いに横方向に対向する垂下支板６，６に線状または板状の例えばステンレススチールのような材質の引張部材７の両端を夫々連結し、この引張部材７の長さを上記パネル型ヒーター２の非湾曲時の横方向長さより短くして上記パネル型ヒーター２を湾曲せしめる。
【００１２】
この湾曲の程度は例えば80mm／m変位される大きさとする。
【００１３】
本発明の他の実施例においては図３及び図４に示すようにパネル型ヒーター２の下面に互いに縦方向に離間して横方向に延びる複数の垂下支板８を固定し、この各垂下支板８の横方向両端部に線状または板状の例えばステンレススチールのような材質の引張部材９の両端を夫々連結し、この引張部材９の長さを上記パネル型ヒーター２の非湾曲時の長さより短くして上記パネル型ヒーター２を上記と同様湾曲せしめる。
【００１４】
この実施例によればパネル型ヒーターがより一層補強されるようになる。
【００１５】
なお、上記垂下支板６，８は例えば逆Ｌ字状断面のものとするのが好ましい。
【００１６】
【発明の効果】
上記のように本発明の基板加熱装置によればパネル型ヒーター２はその中央部が上方に凸となるように予め湾曲されているためパネル型ヒーター２が大型となってもその中央部が昇温時下方に垂れ下がることがなく、長期に亘って安定した性能を維持できるようになる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板加熱装置の縦断正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の基板加熱装置の他の実施例の縦断正面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】従来の基板加熱装置の縦断正面図である。
【符号の説明】
１ パネル型ヒーター収納枠
２ パネル型ヒーター
３ 被処理基板
４ 基板支持ピン
５ 基板支持ピン
６ 垂下支板
７ 引張部材
８ 垂下支板
９ 引張部材
Claims (2)
- パネル型ヒーターと、このパネル型ヒーター上に被処理基板を水平に支持するための支持部材と、上記パネル型ヒーターをその中央部が上方に凸となるよう湾曲せしめるための湾曲部材とより成る基板加熱装置において、上記パネル型ヒーター上面に互いに高さの異なる基板支持ピンを垂直に設けてなり、上記湾曲部材は、上記パネル型ヒーターの端部間を互いに接近する方向に引張する引張部材であることを特徴とする基板加熱装置。
- パネル型ヒーターと、このパネル型ヒーター上に被処理基板を水平に支持するための支持部材と、上記パネル型ヒーターをその中央部が上方に凸となるよう湾曲せしめるための湾曲部材とより成る基板加熱装置において、上記パネル型ヒーター下面に互いに縦方向に離間して横方向に延びる複数の垂下支板を設けてなり、上記湾曲部材は、上記垂下支板の横方向両端に連結され上記パネル型ヒーターの端部間を互いに接近する方向に引張する引張部材であることを特徴とする基板加熱装置。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2003104831A JP3927515B2 (ja) | 2003-04-09 | 2003-04-09 | 基板加熱装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004311802A JP2004311802A (ja) | 2004-11-04 |
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| KR102342652B1 (ko) * | 2020-08-21 | 2021-12-23 | 주식회사 보성산업 | 천장형 복사난방장치 |
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- 2003-04-09 JP JP2003104831A patent/JP3927515B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2004311802A (ja) | 2004-11-04 |
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