JP3904110B2 - 光学特性測定方法及び光学特性測定装置、光学系の調整方法、並びに露光装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学特性測定方法及び光学特性測定装置、光学系の調整方法、並びに露光装置に係り、より詳しくは、被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定方法及び光学特性測定装置、前記光学特性測定方法を使用する光学系の調整方法、並びに前記光学特性測定装置を備える露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体素子、液晶表示素子等を製造するためのリソグラフィ工程では、マスク又はレチクル（以下、「マスク」と総称する）に形成されたパターン（以下、「レチクルパターン」とも呼ぶ）を投影光学系を介してレジスト等が塗布されたウエハ又はガラスプレート等の基板（以下、適宜「基板」と総称する）上に転写する露光装置が用いられている。こうした露光装置としては、いわゆるステッパ等の静止露光型の露光装置や、いわゆるスキャニング・ステッパ等の走査露光型の露光装置が主として用いられている。
【０００３】
かかる露光装置においては、レチクルに形成されたパターンを基板に、高い解像力で、忠実に投影する必要がある。このため、投影光学系は、諸収差が十分に抑制された良好な光学特性を有するように設計されている。
【０００４】
しかし、完全に設計どおりに投影光学系を製造することは困難であり、実際に製造された投影光学系には様々な要因に起因する諸収差が残存してしまう。このため、実際に製造された投影光学系の光学特性は、設計上の光学特性とは異なるものとなってしまう。
【０００５】
そこで、実際に製造された投影光学系のような被検光学系の収差等の光学特性を測定するための様々な技術が提案されている。かかる様々な提案技術の中で、（１）ピンホールを用いて発生させた球面波を被検光学系に入射し、被検光学系を通過した後のピンホール像を一旦平行光に変換して、その波面を複数に分割する、（２）その分割された波面ごとにスポット像を形成し、分割波面ごとのスポット像の形成位置に基づいて被検光学系の波面収差を測定する、という波面収差測定技術が注目されている。
【０００６】
こうした波面収差測定技術を使用する波面収差測定装置では、例えば、入射光の波面を分割して分割波面ごとにスポット像を形成する波面分割素子として、平行光の理想波面と平行な２次元平面に沿って微小なレンズが多数配列されたマイクロレンズアレイを採用することにより、簡単に構成することができる。この場合には、マイクロレンズアレイが形成した多数のスポット像をＣＣＤ等の撮像素子によって撮像し、各スポット像の撮像波形の重心を重心法により求めたり、各スポット像の撮像波形とテンプレート波形との最大相関位置を相関法により求めたりしてスポット像位置を検出する。そして、検出された各スポット像位置の設計位置からのズレから、例えば波面形状のツェルニケ多項式展開における係数を算出して、波面収差を求めていた。
【０００７】
かかる波面収差の測定を、例えば露光装置における両側テレセントリックな投影光学系に適用するにときには、レチクルのピンホールパターンを通過した光が、投影光学系を介することにより集光された後に波面分割することがおこなわれている。そして、分割波面ごとにスポット像を結像させ、多数のスポット像の位置関係から波面の傾きを求め、波面を再構成することにより波面収差を求めることができる。かかるレチクルのピンホールパターンを利用すると、開口数（以下、「ＮＡ」とも記す）の大きな露光装置における投影光学系に、回折により広範囲で均一強度の光を入射させることができる。
【０００８】
しかし、投影光学系のＮＡが大きいことから、レチクルにおけるピンホールパターンの大きさは、測定用光の波長すなわち露光光の波長程度の大きさとすることが必要となる。このため、ピンホールパターンを通過して投影光学系に入射する光量が非常に少なくなり、必要な測定時間が非常に長くなってしまう。そこで、投影光学系に入射する光の光量の確保と、広範囲で均一性の高い光の投影光学系への入射の確保とを両立させるために、ピンホールパターンに代えて測定用光の波長程度より大きな径の開口パターンをレチクルに形成し、照明光を、レモンスキン板等の拡散板を介した後にレチクルに照射する方法が提案されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上述した拡散板を使用する従来の波面収差測定方法では、測定用光の波長程度より大きな開口パターンを使用するので、投影光学系には回折されていない光が入射することになる。このため、投影光学系の瞳面においては、拡散板による光の拡散ムラに起因する光量分布の不均一が必然的に発生する。
【００１０】
かかる光量分布の不均一が分割波面内で発生することなると、その分割波面に対するスポット像の形状が光量分布の不均一さに応じて変化する。この結果、スポット像位置の検出精度が低下してしまい、ひいては波面収差の測定精度の低下を招いていた。
【００１１】
ところで、近年における半導体デバイスにおける高集積化の進展に伴う露光精度の向上の要請から、露光装置における投影光学系の波面収差測定の精度の向上が強く求められている。このため、拡散板による拡散ムラに起因する波面収差の測定精度の低下を防止することできる技術が、強く求められている。
【００１２】
本発明は、こうした事情のもとでなされたものであり、その第１の目的は、被検光学系の光学特性を迅速にかつ精度良く測定することができる光学特性測定方法及び光学特性測定装置を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の第２の目的は、光学系の光学特性を迅速にかつ精度良く調整することができる光学系の調整方法を提供することにある。
【００１４】
また、本発明の第３の目的は、所定のパターンを基板に精度良く転写することができる露光装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学特性測定方法は、光拡散部材（ＤＦ）、所定のパターンが形成されたマスク（ＰＴ、ＰＴ’）、及び被検光学系（ＰＬ）を順次介した後、受光用開口（９１ａ）に到達した光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定方法であって、前記受光用開口に到達する光に対して、前記光拡散部材、前記マスク、及び前記受光用開口の少なくとも１つの位置を変化させ、前記受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成し、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を検出するパターン像位置検出工程と；前記パターン像位置検出工程において検出された前記複数のパターン像それぞれの位置情報に基づいて、前記被検光学系の光学特性を算出する光学特性算出工程と；を含む光学特性測定方法である。
【００１６】
これによれば、パターン像位置検出工程において、光拡散部材を介して所定のパターンが形成されたマスクを照射するとともに、光拡散部材、マスク、及び受光用開口の少なくとも１つの位置を変化させて、受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成する。そして、複数のパターン像それぞれの位置情報を検出する。この結果、光拡散部材による光の拡散ムラが一種の平均化効果によって低減した状態での複数のスポット像の位置情報を迅速に検出することができる。
【００１７】
引き続き、光学特性算出工程において、パターン像位置検出工程で検出された複数のスポット像の位置情報に基いて、被検光学系の光学特性が算出される。この光学特性の算出結果においては、光拡散部材による光の拡散ムラに起因する光学特性の測定結果の精度低下が抑制されている。
【００１８】
したがって、本発明の光学特性測定方法によれば、被検光学系の光学特性を迅速にかつ精度良く測定することができる。
【００１９】
本発明の光学特性測定方法では、前記パターン像位置検出工程において、前記マスクと前記受光用開口との前記被検光学系に関する共役位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記光拡散部材とを相対移動させることとすることができる。
【００２０】
ここで、前記所定のパターンを円形開口とし、前記相対移動のストロークを前記円形開口の径程度とすることができる。
【００２１】
また、本発明の光学特性測定方法では、前記パターン像位置検出工程において、前記光拡散部材と前記マスクとの位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記受光用開口とを相対移動させることとすることができる。
ここで、前記所定のパターンを複数の開口とし、前記マスクと前記受光用開口との相対移動を、前記受光用開口が前記複数の開口それぞれの前記被検光学系に関する共役位置を順次巡る相対移動とすることができる。
【００２２】
また、本発明の光学特性測定方法では、前記パターン像をスポット像とすることができる。
【００２３】
また、本発明の光学特性測定方法では、前記光学特性を波面収差とすることができる。
【００２４】
本発明の光学特性測定装置は、所定のパターンが形成されたマスク（ＰＴ、ＰＴＡ）及び被検光学系（ＰＬ）を順次介した後、受光用開口（９１ａ）に到達した光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、入射した光を拡散させて、前記マスクへ向けて射出する光拡散部材（ＤＦ）と；前記受光用開口を有し、該受光用開口に介した光を波面分割して複数のパターン像を形成し、該複数のパターン像の情報を検出する像情報検出装置（９０）と；前記受光用開口に到達する光に対して、前記光拡散部材、前記マスク、及び前記像検出装置の少なくとも１つの位置を変化させる駆動装置（２３，２４）と；前記像情報検出装置による検出結果に基づいて、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を算出する位置情報算出装置（３２）と；前記位置情報算出装置によって算出された前記複数のパターン像それぞれの位置情報に基づいて、前記被検光学系の光学特性を算出する光学特性算出装置（３３）と；を備える光学特性測定装置である。
【００２５】
これによれば、光拡散部材を介した光がマスクに照射するとともに、駆動装置が、光拡散部材、マスク、及び像情報検出装置（すなわち受光用開口）の少なくとも１つの位置を変化させる。この状態で、像検出装置が、受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成する。そして、位置情報算出装置が、形成された複数のパターン像それぞれの位置情報を検出する。引き続き、光学特性算出装置が、位置情報算出装置によって検出された複数のスポット像の位置情報に基いて、被検光学系の光学特性を算出する。すなわち、本発明の光学特性測定装置は、上述した本発明の光学特性測定方法を使用して、被検光学系の光学特性を測定することができる。
【００２６】
したがって、本発明の光学特性測定装置によれば、被検光学系の光学特性を迅速にかつ精度良く測定することができる。
【００２７】
本発明の光学特性測定装置では、前記像情報検出装置が、前記受光用開口を介した光を波面分割して前記複数のパターンを形成する波面分割部材（９４）と；前記複数のパターン像の検出する像検出装置（９５）と；を備える構成とすることができる。
【００２８】
ここで、前記波面分割部材を、複数のレンズ要素（９４ａ）が配列されたマイクロレンズアレイとすることができる。
【００２９】
また、本発明の光学特性測定装置では、前記光学特性を波面収差とすることができる。
【００３０】
本発明の光学系の調整方法は、光学系の光学特性を調整する光学系の調整方法であって、前記光学系の光学特性を、本発明の光学特性測定方法を用いて測定する光学特性測定工程と；前記光学特性測定工程における測定結果に基づいて、前記光学系の光学特性を調整する光学特性調整工程と；を含む光学系の調整方法である。
【００３１】
これによれば、光学特性測定工程において、本発明の光学特性測定方法により、光学系の光学特性が精度良く測定される。そして、光学特性調整工程において、精度良く測定された光学特性に基づいて、光学系の光学特性が調整される。したがって、光学系の光学特性を所望の特性を迅速にかつ精度良く調整することができる。
【００３２】
本発明の露光装置は、露光光を基板に照射することにより、所定のパターンを前記基板（Ｗ）に転写する露光装置であって、露光光の光路上に配置された投影光学系（ＰＬ）と；前記投影光学系を被検光学系とする本発明の光学特性測定装置と；を備える露光装置である。
【００３３】
これによれば、本発明の光学特性測定装置により精度良く光学特性が測定され、光学特性が良好に調整されていることが保証された投影光学系を使用して、所定のパターンを基板に転写することができる。したがって、所定のパターンを基板に精度良く転写することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
《第１の実施形態》
以下、本発明の第１の実施形態を、図１〜図９を参照して説明する。
【００３５】
図１には、本発明の第１の実施形態に係る露光装置１００の概略構成が示されている。この露光装置１００は、ステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置である。この露光装置１００は、露光装置本体６０と波面収差測定装置７０とを備えている。
【００３６】
前記露光装置本体６０は、照明系１０、光拡散部材としてのレモンスキン板ＤＦを保持する保持部材ＤＦＨ、レチクルＲを保持するレチクルステージＲＳＴ、被検光学系としての投影光学系ＰＬ、基板（物体）としてのウエハＷが搭載されるステージ装置としてのウエハステージＷＳＴ、アライメント検出系ＡＳ、レチクルステージＲＳＴ及びウエハステージＷＳＴの位置及び姿勢を制御するステージ制御系１９、並びに装置全体を統括制御する主制御系２０等を備えている。
【００３７】
前記照明系１０は、光源、フライアイレンズ等のオプティカルインテグレータからなる照度均一化光学系、リレーレンズ、可変ＮＤフィルタ、レチクルブラインド、及びダイクロイックミラー等（いずれも不図示）を含んで構成されている。こうした照明系の構成は、例えば、特開平１０−１１２４３３号公報に開示されている。この照明系１０では、回路パターン等が描かれたレチクルＲ上のレチクルブラインドで規定されたスリット状の照明領域部分を照明光ＩＬによりほぼ均一な照度で照明する。
【００３８】
前記保持部材ＤＦＨ上には、レモンスキン板ＤＦが、例えば真空吸着により固定できるようになっている。この保持部材ＤＦＨは、平面視で中空のロ字状の形状をしており、レモンスキン板ＤＦを介した照明光ＩＬは、保持部材ＤＦＨの中空部を通過するようになっている。また、保持部材ＤＦＨは、露光装置本体６０における不図示の筐体部材に固定されている。なお、投影光学系ＰＬの波面収差の測定時にのみレモンスキン板ＤＦが保持部材ＤＦＨ上に搭載され、パターン転写露光動作には、レモンスキン板ＤＦは、保持部材ＤＦＨから取り除かれるようになっている。
【００３９】
前記レチクルステージＲＳＴ上にはレチクルＲが、例えば真空吸着により固定されるようになっている。レチクルステージＲＳＴは、ここでは、磁気浮上型の２次元リニアアクチュエータから成る不図示のレチクルステージ駆動部によって、レチクルＲの位置決めのため、照明系１０の光軸（後述する投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに一致）に垂直なＸＹ平面内で微少駆動可能であるとともに、所定の走査方向（ここではＹ方向とする）に指定された走査速度で駆動可能となっている。さらに、本実施形態では上記磁気浮上型の２次元リニアアクチュエータはＸ駆動用コイル、Ｙ駆動用コイルの他にＺ駆動用コイルを含んでいるため、Ｚ方向にも微小駆動可能となっている。
【００４０】
レチクルステージＲＳＴのステージ移動面内の位置はレチクルレーザ干渉計（以下、「レチクル干渉計」という）１６によって、移動鏡１５を介して、例えば０．５〜１ｎｍ程度の分解能で常時検出される。レチクル干渉計１６からのレチクルステージＲＳＴの位置情報（又は速度情報）はステージ制御系１９を介して主制御系２０に送られ、主制御系２０は、この位置情報（又は速度情報）に基づき、ステージ制御系１９及びレチクルステージ駆動部２３を介してレチクルステージＲＳＴを駆動する。
【００４１】
前記投影光学系ＰＬは、レチクルステージＲＳＴの図１における下方に配置され、その光軸ＡＸの方向がＺ軸方向とされている。投影光学系ＰＬとしては、例えば両側テレセントリックな縮小系であり、共通のＺ軸方向の光軸ＡＸを有する不図示の複数のレンズエレメントから構成されている。また、この投影光学系ＰＬとしては、投影倍率βが例えば１／４、１／５、１／６などのものが使用されている。このため、上述のようにして、照明光（露光光）ＩＬによりレチクルＲ上の照明領域が照明されると、そのレチクルＲに形成されたパターンが投影光学系ＰＬによって投影倍率βで縮小された像（部分倒立像）が表面にレジスト（感光剤）が塗布されたウエハＷ上のスリット状の露光領域に投影され転写される。
【００４２】
なお、本実施形態では、上記の複数のレンズエレメントのうち、特定のレンズエレメント（例えば、所定の５つのレンズエレメント）がそれぞれ独立に移動可能となっている。かかるレンズエレメントの移動は、特定レンズエレメントを支持するレンズ支持部材を支持し、鏡筒部と連結する、特定レンズごとに設けられた３個のピエゾ素子等の駆動素子によって行われるようになっている。すなわち、特定レンズエレメントを、それぞれ独立に、各駆動素子の変位量に応じて光軸ＡＸに沿って平行移動させることもできるし、光軸ＡＸと垂直な平面に対して所望の傾斜を与えることもできるようになっている。そして、これらの駆動素子に与えられる駆動指示信号が、主制御系２０からの指令ＭＣＤに基づいて結像特性補正コントローラ５１によって制御され、これによって各駆動素子の変位量が制御されるようになっている。
【００４３】
こうして構成された投影光学系ＰＬでは、主制御系２０による結像特性補正コントローラ５１を介したレンズエレメントの移動制御により、ディストーション、像面湾曲、非点収差、コマ収差、又は球面収差等の光学特性が調整可能となっている。
【００４４】
前記ウエハステージＷＳＴは、投影光学系ＰＬの図１における下方で、不図示のベース上に配置され、このウエハステージＷＳＴ上には、ウエハホルダ２５が載置されている。このウエハホルダ２５上にウエハＷが例えば真空吸着等によって固定されている。ウエハホルダ２５は不図示の駆動部により、投影光学系ＰＬの光軸直交面に対し、任意方向に傾斜可能で、かつ投影光学系ＰＬの光軸ＡＸ方向（Ｚ方向）にも微動可能に構成されている。また、このウエハホルダ２５は光軸ＡＸ回りの微小回転動作も可能になっている。
【００４５】
また、ウエハステージＷＳＴの＋Ｙ方向側には、後述する波面センサ９０を着脱可能とするためのブラケット構造が形成されている。
【００４６】
ウエハステージＷＳＴは走査方向（Ｙ方向）の移動のみならず、ウエハＷ上の複数のショット領域を前記照明領域と共役な露光領域に位置させることができるように、走査方向に垂直な方向（Ｘ方向）にも移動可能に構成されており、ウエハＷ上の各ショット領域を走査（スキャン）露光する動作と、次のショットの露光開始位置まで移動する動作とを繰り返すステップ・アンド・スキャン動作を行う。このウエハステージＷＳＴはモータ等を含むウエハステージ駆動部２４によりＸＹ２次元方向に駆動される。
【００４７】
ウエハステージＷＳＴのＸＹ平面内での位置はウエハレーザ干渉計（以下、「ウエハ干渉計」という）１８によって、移動鏡１７を介して、例えば０．５〜１ｎｍ程度の分解能で常時検出されている。ウエハステージＷＳＴの位置情報（又は速度情報）はステージ制御系１９を介して主制御系２０に送られ、主制御系２０は、この位置情報（又は速度情報）に基づき、ステージ制御系１９及びウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴの駆動制御を行う。
【００４８】
前記アライメント検出系ＡＳは、投影光学系ＰＬの側面に配置され、本実施形態では、ウエハＷ上に形成されたストリートラインや位置検出用マーク（ファインアライメントマーク）を観測する結像アライメントセンサから成るオフ・アクシス方式の検出系が用いられている。このアライメント検出系ＡＳの詳細な構成は、例えば特開平９−２１９３５４号公報に開示されている。アライメント検出系ＡＳによる観測結果は、主制御系２０に供給される。
【００４９】
更に、図１の装置には、ウエハＷ表面の露光領域内部及びその近傍の領域のＺ方向（光軸ＡＸ方向）の位置を検出するための斜入射光式のフォーカス検出系（焦点検出系）の一つである、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）が設けられている。この多点フォーカス位置検出系（２１，２２）は、光ファイバ束、集光レンズ、パターン形成板、レンズ、ミラー、及び照射対物レンズ（いずれも不図示）から成る照射光学系２１と、集光対物レンズ、回転方向振動板、結像レンズ、受光用スリット板、及び多数のフォトセンサを有する受光器（いずれも不図示）から成る受光光学系２２とから構成されている。この多点フォーカス位置検出系（２１，２２）の詳細な構成等については、例えば特開平６−２８３４０３号公報に開示されている。多点フォーカス位置検出系（２１，２２）による検出結果は、ステージ制御系１９に供給される。
【００５０】
前記波面収差測定装置７０は、波面センサ９０と、波面データ処理装置８０とから構成されている。
【００５１】
前記波面センサ９０は、図２に示されるように、標示板９１、コリメータレンズ９２、レンズ９３ａ及びレンズ９３ｂから成るリレーレンズ系９３、波面分割素子としてのマイクロレンズアレイ９４、並びに撮像装置としてのＣＣＤ９５を備えており、この順序で光軸ＡＸ１上に配置されている。また、波面センサ９０は、波面センサ９０に入射した光の光路を設定するミラー９６ａ，９６ｂ，９６ｃ、並びにコリメータレンズ９２、リレーレンズ系９３、マイクロレンズアレイ９４、ＣＣＤ９５、及びミラー９６ａ，９６ｂ，９６ｃを収納する収納部材９７を更に備えている。
【００５２】
前記標示板９１は、例えばガラス基板を基材とし、ウエハホルダ２５に固定されたウエハＷの表面と同じ高さ位置（Ｚ方向位置）に、光軸ＡＸ１と直交するように配置されている（図１参照）。この標示板９１の表面には、図３に示されるように、その中央部に開口９１ａが形成されている。また、標示板９１の表面における開口９１ａの周辺には、３組以上（図３では、４組）の２次元位置検出用マーク９１ｂが形成されている。この２次元位置検出用マーク９１ｂとしては、本実施形態では、Ｘ方向に沿って形成されたラインアンドスペースマーク９１ｃと、Ｙ方向に沿って形成されたラインアンドスペースマーク９１ｄとの組合せが採用されている。なお、ラインアンドスペースマーク９１ｃ，９１ｄは、上述のアライメント検出系ＡＳによって観察可能となっている。また、開口９１ａ及び２次元位置検出用マーク９１ｂを除く標示板９１の表面は反射面加工がなされている。かかる反射面加工は、例えば、ガラス基板にクロム（Ｃｒ）を蒸着することによって行われている。
【００５３】
図２に戻り、前記コリメータレンズ９２は、開口９１ａを通って入射した光を平面波に変換する。
【００５４】
前記マイクロレンズアレイ９４は、図４に示されるように、マトリクス状に正の屈折力を有する正方形状の多数のマイクロレンズ９４ａが稠密に配列されたものである。ここで、各マイクロレンズ９４ａの光軸は互いにほぼ平行となっている。なお、図４においては、マイクロレンズ９４ａが７×７のマトリクス状に配列されたものが、一例として示されている。マイクロレンズ９４ａは、正方形状に限らず長方形状であってもよく、また、マイクロレンズ９４ａは、全てが同一形状でなくともよい。また、マイクロレンズアレイ９４におけるマイクロレンズ９４ａの配列は、不等ピッチ配列でもよいし、また、斜め並び配列であってもよい。
【００５５】
こうしたマイクロレンズアレイ９４は、平行平面ガラス板にエッチング処理を施すことにより作成される。マイクロレンズアレイ９４は、リレーレンズ系９３を介した光を入射したマイクロレンズ９４ａごとに、開口９１ａの像をそれぞれ異なる位置に結像する。
【００５６】
なお、コリメータレンズ９２、リレーレンズ系９３、マイクロレンズアレイ９４、及びミラー９６ａ，９６ｂ，９６ｃから成る光学系を、以下では「波面収差測定光学系」というものとする。
【００５７】
図２に戻り、前記ＣＣＤ９５は、マイクロレンズアレイ９４の各マイクロレンズ９４ａによって開口９１ａに形成された後述する開口パターンの像が結像される結像面、すなわち、波面収差測定光学系における開口９１ａの形成面の共役面に受光面を有し、その受光面に結像された多数の開口パターンの像を撮像する。この撮像結果は、撮像データＩＭＤとして波面データ処理装置８０に供給される。
【００５８】
前記収納部材９７は、その内部に、コリメータレンズ９２、リレーレンズ系９３、マイクロレンズアレイ９４、及びＣＣＤ９５をそれぞれ支持する不図示の支持部材を有している。なお、ミラー９６ａ，９６ｂ，９６ｃは、収納部材９７の内面に取り付けられている。また、前記収納部材９７の外形は、上述したウエハステージＷＳＴのブラケット構造と嵌合する形状となっており、ウエハステージＷＳＴに対して着脱自在となっている。
【００５９】
前記波面データ処理装置８０は、図５に示されるように、主制御装置３０と記憶装置４０とを備えている。主制御装置３０は、（ａ）主制御系２０の制御の下で波面データ処理装置８０の動作全体を制御するとともに、波面測定結果データＷＦＡを主制御系２０へ供給する制御装置３９と、（ｂ）波面センサ９０からの撮像データＩＭＤを収集する撮像データ収集装置３１と、（ｃ）像データに基づいてスポット像の位置を算出する位置情報算出装置としての位置算出装置３２と、（ｄ）位置検出装置３２により検出されたスポット像位置に基づいて、投影光学系ＰＬの波面収差を算出する波面収差算出装置３３とを含んでいる。
【００６０】
また、記憶装置４０は、（ａ）撮像データを格納する撮像データ格納領域４１と、（ｂ）算出されたスポット像位置を格納するスポット像位置格納領域４２と、（ｃ）波面収差データを格納する波面収差データ格納領域４３とを有している。
【００６１】
本実施形態では、波面データ処理装置８０を上記のように、各種の装置を組み合わせて構成したが、波面データ処理装置８０を計算機システムとして構成し、主制御装置３０を構成する上記の各装置の機能を波面データ処理装置８０に内蔵されたプログラムによって実現することも可能である。
【００６２】
以下、本実施形態の露光装置１００による露光動作を、図６に示されるフローチャートに沿って、適宜他の図面を参照しながら説明する。
【００６３】
なお、以下の動作の前提として、波面センサ９０はウエハステージＷＳＴに装着されており、また、波面データ処理装置８０と主制御系２０とが接続されているものとする。
【００６４】
また、ウエハステージに装着された波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａとウエハステージＷＳＴとの位置関係は、２次元位置マーク９１ｂをアライメント検出系ＡＳで観察することにより、正確に求められているものとする。すなわち、ウエハ干渉計１８から出力される位置情報（速度情報）に基づいて、開口９１ａのＸＹ位置が正確に検出でき、かつ、ウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴを移動制御することにより、開口９１ａを所望のＸＹ位置に精度良く位置決めできるものとする。なお、本実施形態では、開口９１ａとウエハステージＷＳＴとの位置関係は、アライメント検出系ＡＳによる４つの２次元位置マーク９１ｂの位置の検出結果に基づいて、特開昭６１−４４４２９号公報等に開示されているいわゆるエンハンストグローバルアライメント（以下、「ＥＧＡ」という）等の統計的な手法を用いて正確に検出される。
【００６５】
図６に示される処理では、まず、サブルーチン１０１において、投影光学系ＰＬの波面収差が測定される。この波面収差の測定では、図７に示されるように、まず、ステップ１１１において、保持部材ＤＦＨ上にレモンスキン板ＤＦが載置されるとともに、不図示のレチクルローダにより、図８に示される波面収差測定用の測定用レチクルＲＴがレチクルステージＲＳＴにロードされる。測定用レチクルＲＴには、図８に示されるように、複数個（図８では、９個）の開口パターンＰＨ₁〜ＰＨ_N（図８では、Ｎ＝９）がＸ方向及びＹ方向に沿ってマトリクス状に形成されている。なお、開口パターンＰＨ₁〜ＰＨ_Nは、図８において点線で示されるスリット状の照明領域の大きさの領域内に形成されている。また、本実施形態では、開口パターンＰＨ₁〜ＰＨ_Nそれぞれは円形開口パターンとされている。円形開口パターンの直径は、照明光ＩＬの波長程度あるいは波長以下に設定される。なお、本実施形態では、円形開口パターンの直径は、被検光学系のＮＡの範囲内では球面波と見なせる光を通過させる程度であればよく、照明光ＩＬの波長よりも大きく設定されている。
【００６６】
引き続き、ウエハステージＷＳＴ上に配置された不図示の基準マーク板を使用したレチクルアライメントや、更にアライメント検出系ＡＳを使用したベースライン量の測定等が行われる。そして、収差測定が行われる最初の開口パターンＰＨ₁が投影光学系ＰＬの光軸ＡＸ上に位置するように、レチクルステージＲＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、レチクル干渉計１６が検出したレチクルステージＲＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してレチクル駆動部２３を制御することにより行われる。
【００６７】
図７に戻り、次に、ステップ１１２において、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａが、開口パターンＰＨ₁の投影光学系ＰＬに関する共役位置（開口パターンＰＨ₁の場合には、光軸ＡＸ上）、すなわち開口パターンＰＨ₁に関する測定初期位置にウエハステージＷＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、ウエハ干渉計１８が検出したウエハステージＷＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してウエハステージ駆動部２４を制御することにより行われる。この際、主制御系２０は、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）の検出結果に基づいて、開口パターンＰＨ₁の像が結像される像面に波面センサ９０の標示板９１の上面を一致させるべく、ウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴをＺ軸方向に微少駆動する。
【００６８】
以上のようにして、最初の開口パターンＰＨ₁からの球面波に関する投影光学系ＰＬの波面収差測定のための光学的な各装置の配置が終了する。こうした、光学的配置について、波面センサ９０の光軸ＡＸ１及び投影光学系ＰＬの光軸に沿って展開したものが、図９に示されている。
【００６９】
こうした光学配置において、照明系１０から照明光ＩＬが射出されると、測定用レチクルＲＴの最初の開口パターンＰＨ₁に到達した光が、球面波となって開口パターンＰＨから出射する。そして、投影光学系ＰＬを介した後、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａに集光される。なお、最初の開口パターンＰＨ₁以外の開口パターンＰＨ₂〜ＰＨ_Nを通過した光は、開口パターン９１ａには到達しない。こうして開口９１ａに集光された光の波面は、投影光学系ＰＬの波面収差を含んだものとなっている。
【００７０】
なお、光の波面には、投影光学系ＰＬの波面収差だけでなく、ピンホールパターンＰＨ₁のピンホール像が結像される像面（投影光学系ＰＬの像面）と、波面センサ９０の標示板９１の上面との間におけるＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置ずれ成分（例えば、傾斜成分、光軸方向の位置ずれ成分等）を含んでいる可能性がある。そこで、波面収差測定装置７０で求められる波面収差データから上述した位置ずれ成分を算出し、この位置ずれ成分に基づいて、ウエハステージＷＳＴの位置を制御する。これにより、高精度な波面収差測定を行うことができる。
【００７１】
開口９１ａを通過した光は、コリメータレンズ９２によりほぼ平行光に変換され、さらにリレーレンズ系９３を介した後、マイクロレンズアレイ９４に入射する。ここで、マイクロレンズアレイ９４に入射する光の波面は、投影光学系ＰＬの波面収差を反映したものとなっている。すなわち、投影光学系ＰＬに波面収差が無い場合には、図９において点線で示されるように、その波面ＷＦが光軸ＡＸ１と直交する平面となるが、投影光学系ＰＬに波面収差が有る場合には、図９において二点鎖線で示されるように、その波面ＷＦ’は位置に応じた角度で傾くことになる。
【００７２】
マイクロレンズアレイ９４は、各マイクロレンズ９４ａごとに、開口９１ａの像を、標示板９１の共役面すなわちＣＣＤ９５の撮像面に結像される。マイクロレンズ９４ａに入射した光の波面が光軸ＡＸ１と直交する場合には、そのマイクロレンズ９４ａの光軸と撮像面の交点を中心とするスポット像が、撮像面に結像される。また、マイクロレンズ９４ａに入射した光の波面が傾いている場合には、その傾き量に応じた距離だけ、そのマイクロレンズ９４ａの光軸と撮像面の交点からずれた点を中心とするスポット像が撮像面に結像される。
【００７３】
図７に戻り、次いで、ステップ１１３において、開口パターンＰＨ₁と開口９１ａとの共役位置関係を維持した同期移動をさせながら、ＣＣＤ９５により、その撮像面に形成された像の撮像を行う。かかる同期移動は、レチクルステージＲＳＴを＋Ｙ方向又は−Ｙ方向へ速度Ｖ_Rで移動されるとともに、ウエハステージＷＳＴをレチクルステージＲＳＴの駆動方向の反対方向へ速度Ｖ_W（＝β・Ｖ_R）で移動させることによって行われる。ここで、レチクルステージＲＳＴの移動は、主制御装系２０が、ステージ制御系１９を介してレチクルステージ駆動部２３を制御することにより行われる。また、ウエハステージＷＳＴの移動は、主制御装系２０が、ステージ制御系１９を介してウエハステージ駆動部２４を制御することにより行われる。
【００７４】
なお、ステップ１１３におけるレチクルステージＲＳＴとウエハステージＷＳＴとの同期移動では、レチクルステージＲＳＴの移動距離が開口パターンＰＨ₁の径程度以上であればよい。また、上述した速度Ｖ_R及び速度Ｖ_Wは、レチクルステージＲＳＴの移動距離及びウエハステージＷＳＴの移動距離と、ＣＣＤ９５にとってスポット像撮像として必要な受光時間（撮像時間）とに基いて定められる。
【００７５】
以上のようにして行われる撮像では、マイクロレンズアレイ９４によって波面分割される光、すなわち開口パターンＰＨ₁、投影光学系ＰＬ、標示板９１の開口９１ａ、コリメータレンズ９２、及びリレー光学系を順次介した光におけるレモンスキン板ＤＦによる拡散ムラに起因する光強度分布の不均一性は、上述した撮像期間における同期移動により低減されている。この結果、波面形状を精度良く反映した位置にスポット像が結像される。
【００７６】
この撮像により得られた撮像データＩＭＤは、波面データ処理装置８０に供給される。波面データ処理装置８０では、撮像データ収集装置３１が撮像データＩＭＤを収集し、撮像データ格納領域４１に収集した撮像データを格納する。
【００７７】
次に、ステップ１１４において、撮像結果に基づいて、各スポット像の位置情報が検出される。かかる位置情報の算出にあたり、位置算出装置３２は、撮像データ格納領域４１から、撮像結果のデータを読み出す。引き続き、位置算出装置３２は、マイクロレンズアレイ９４によりＣＣＤ９５の撮像面に形成された各スポット像の光強度分布の重心を算出することにより、各スポット像の中心位置を算出する。位置算出装置３２は、こうして求められた各スポット像の中心位置を、マイクロレンズアレイ９４によりＣＣＤ９５の撮像面に形成された各スポット像の位置情報として、スポット像位置格納領域４２に格納する。
【００７８】
次いで、ステップ１１５において、波面収差算出装置３３が、スポット像位置格納領域４２からスポット像位置の検出結果を読み出して、測定用レチクルＲＴにおける最初の開口パターンＰＨ₁を介した光に関する投影光学系ＰＬの波面収差を算出する。かかる波面収差の算出は、波面収差が無いときに期待される各スポット像位置と、検出されたスポット像位置の差から、ツェルニケ多項式の係数を求めることにより行われる。こうして、算出された波面収差は、開口パターンＰＨ₁の位置とともに、波面収差データ格納領域４３に格納される。
【００７９】
次に、ステップ１１６において、全ての開口パターンに関して投影光学系ＰＬの波面収差を算出したか否かが判定される。この段階では、最初の開口パターンＰＨ₁についてのみ投影光学系ＰＬの波面収差を測定しただけなので、否定的な判定がなされ、処理はステップ１１７に移行する。
【００８０】
ステップ１１７では、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａが、次の開口パターンＰＨ₂の投影光学系ＰＬに関する共役位置、すなわち開口パターンＰＨ₂に関する測定初期位置にウエハステージＷＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、ウエハ干渉計１８が検出したウエハステージＷＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してウエハステージ駆動部２４を制御することにより行われる。なお、このときも、主制御系２０が、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）の検出結果に基づいて、開口パターンＰＨ₂の像が結像される像面に波面センサ９０の標示板９１の上面を一致させるべく、必要に応じて、ウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴをＺ軸方向に微少駆動する。
【００８１】
ピンホールパターンＰＨ₂のピンホール像が結像される像面に波面センサ９０の標示板９１の上面を移動させる場合も、前述したように、波面収差測定装置７０で求められる波面収差データから上述した位置ずれ成分を算出し、この位置ずれ成分に基づいて、ウエハステージＷＳＴの位置を制御する。こうした制御は、各ピンホールパターン毎に行うことが望ましい。
【００８２】
そして、上記の開口パターンＰＨ₁の場合と同様にして、投影光学系ＰＬの波面収差が測定される。そして、波面収差の測定結果は、開口パターンＰＨ₂の位置とともに、波面収差データ格納領域４３に格納される。
【００８３】
以後、上記と同様にして、全ての開口パターンに関する投影光学系ＰＬの波面収差が順次測定され、開口パターンごとの測定結果が開口パターンの位置とともに、波面収差データ格納領域４３に格納される。こうして全ての開口パターンに関する投影光学系ＰＬの波面収差が測定されると、ステップ１１７において肯定的な判定がなされる。そして、制御装置３９が、波面収差データ格納領域４３から波面収差の測定結果を読み出し、波面測定結果データＷＦＡとして主制御系２０へ供給する。この後、処理が図６のステップ１０２に移行する。
【００８４】
ステップ１０２では、主制御系２０が、制御装置３９から供給された波面測定結果データＷＦＡに基づいて、投影光学系ＰＬの波面収差の測定が許容値以下であるか否かを判定する。この判定が肯定的である場合には、処理がステップ１０４に移行する。一方、判定が否定的である場合には、処理はステップ１０３に移行する。この段階では、判定が否定的であり、処理がステップ１０３に移行したとして、以下の説明を行う。
【００８５】
ステップ１０３では、主制御系２０が、投影光学系ＰＬの波面収差の測定結果に基づき、現在発生している波面収差を低減させるように、投影光学系ＰＬの波面収差の調整を行う。かかる波面収差の調整は、制御装置３９が、結像特性補正コントローラ５１を介してレンズエレメントの移動制御を行うことや、場合によっては、人手により投影光学系ＰＬのレンズエレメントのＸＹ平面内での移動やレンズエレメントの交換を行うことによりなされる。
【００８６】
引き続き、サブルーチン１０１において、調整された投影光学系ＰＬに関する波面収差が上記と同様にして測定される。以後、ステップ１０２において肯定的な判断がなされるまで、投影光学系ＰＬの波面収差の調整（ステップ１０３）と、波面収差の測定（ステップ１０１）が繰り返される。そして、ステップ１０２において肯定的な判断がなされると、保持部材ＤＦＨ上からレモンスキン板ＤＦが除去された後、処理はステップ１０４に移行する。
【００８７】
ステップ１０４では、波面センサ９０をウエハステージＷＳＴから取り外し、波面データ処理装置８０と主制御系２０との接続を切断した後、主制御系２０の制御のもとで、不図示のレチクルローダにより、転写したいパターンが形成されたレチクルＲがレチクルステージＲＳＴにロードされる。また、不図示のウエハローダにより、露光したいウエハＷがウエハステージＷＳＴにロードされる。
【００８８】
次に、ステップ１０５において、主制御系２０の制御のもとで、露光準備用計測が行われる。すなわち、ウエハステージＷＳＴ上に配置された不図示の基準マーク板を使用したレチクルアライメントや、更にアライメント検出系ＡＳを使用したベースライン量の測定等の準備作業が行われる。また、ウエハＷに対する露光が第２層目以降の露光であるときには、既に形成されている回路パターンと重ね合わせ精度良く回路パターンを形成するため、アライメン検出系ＡＳを使用した上述のＥＧＡ計測により、ウエハＷ上におけるショット領域の配列座標が高精度で検出される。
【００８９】
次いで、ステップ１０６において、露光が行われる。この露光動作にあたって、まず、ウエハＷのＸＹ位置が、ウエハＷ上の最初のショット領域（ファースト・ショット）の露光のための走査開始位置となるように、ウエハステージＷＳＴが移動される。ウエハ干渉計１８からの位置情報（速度情報）等（第２層目以降の露光の場合には、基準座標系と配列座標系との位置関係の検出結果、ウエハ干渉計１８からの位置情報（速度情報）等）に基づき、主制御系２０によりステージ制御系１９及びウエハステージ駆動部２４等を介して行われる。同時に、レチクルＲのＸＹ位置が、走査開始位置となるように、レチクルステージＲＳＴが移動される。この移動は、主制御系２０によりステージ制御系１９及び不図示のレチクル駆動部等を介して行われる。
【００９０】
次に、ステージ制御系１９が、主制御系２０からの指示に応じて、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）によって検出されたウエハのＺ位置情報、レチクル干渉計１６によって計測されたレチクルＲのＸＹ位置情報、ウエハ干渉計１８によって計測されたウエハＷのＸＹ位置情報に基づき、不図示のレチクル駆動部及びウエハステージ駆動部２４を介して、ウエハＷの面位置の調整を行いつつ、レチクルＲとウエハＷとを相対移動させて走査露光を行う。
【００９１】
こうして、最初のショット領域の露光が終了すると、次のショット領域の露光のための走査開始位置となるように、ウエハステージＷＳＴが移動されるとともに、レチクルＲのＸＹ位置が、走査開始位置となるように、レチクルステージＲＳＴが移動される。そして、当該ショット領域に関する走査露光が、上述の最初のショット領域と同様にして行われる。以後、同様にして各ショット領域について走査露光が行われ、露光が完了する。
【００９２】
そして、ステップ１０７において、不図示のアンローダにより、露光が完了したウエハＷがウエハホルダ２５からアンロードされる。こうして、１枚のウエハＷの露光処理が終了する。
【００９３】
以後のウエハの露光においては、ステップ１０１〜１０３の投影光学系ＰＬに関する波面収差の測定及び調整が必要に応じて行われながら、ステップ１０４〜１０７のウエハ露光作業が行われる。
【００９４】
以上説明したように、本第１の実施形態では、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとを投影光学系ＰＬに関する共役位置関係を維持して同期移動させている最中に、レモンスキン板ＤＦ、測定用レチクルＲＴに形成された開口パターンのいずれか、投影光学系ＰＬ、開口９１ａ、コリメータレンズ９２、及びリレー光学系９３を順次介した光を波面分割し、分割波面ごとに形成されるスポット像の位置情報を検出する。この結果、レモンスキン板ＤＦによる光の拡散ムラに起因するスポット像位置情報の検出結果の精度低下を抑制することができ、迅速にかつ精度良く各スポット像の位置情報を検出することができる。
【００９５】
そして、本実施形態では、精度良く検出された各スポット像の位置情報の検出結果に基づいて、投影光学系ＰＬの波面収差を求める。したがって、本実施形態によれば、投影光学系ＰＬの光学特性である波面収差特性を迅速にかつ精度良く測定することができる。
【００９６】
また、精度良く求められた投影光学系ＰＬの波面収差に基づいて、投影光学系ＰＬの収差を調整し、十分に諸収差が低減された投影光学系ＰＬによりレチクルＲに形成された所定のパターンがウエハＷ表面に投影されるので、所定のパターンをウエハＷに精度良く転写することができる。
【００９７】
なお、本第１の実施形態では、測定用レチクルＲＴに投影光学系ＰＬの波面収差測定用の開口パターンＰＨ₁〜ＰＨ_Nのみを形成したが、波面センサ９０自体による波面収差の発生を測定するために、開口パターンＰＨ₁〜ＰＨ_Nよりも格段に大きな開口パターンを測定用レチクルＲＴに較正用開口パターンとして形成してもよい。かかる較正用開口パターンを使用した場合にも、レモンスキン板ＤＦによる拡散ムラが、波面センサ９０の波面収差の測定結果における測定精度の低下を招くことになるが、上述した投影光学系ＰＬの波面収差測定の場合と同様にして、波面センサ９０の開口９１ａに到達する光が経由するレモンスキン板ＤＦの領域を変化させて、ＣＣＤ９５によりスポット像を撮像することにより、波面形状を精度良く反映した位置に結像されたスポット像を撮像することができる。この結果、波面センサ９０の較正に使用される波面センサ９０の波面収差を精度良く測定でき、ひいては投影光学系ＰＬの波面収差を非常に精度良く測定することができる。なお、標示板９１に結像された較正用開口パターン像が開口９１ａよりも十分に大きければ、開口９１ａに到達する光が経由するレモンスキン板ＤＦの領域を変化させるためには、波面センサ９０のみを移動させることとすることができる。
【００９８】
また、本第１の実施形態では、スポット像の撮像の際に、レモンスキン板ＤＦを固定し、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとを同期移動させた。これに対して、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとの位置を固定し、レモンスキン板ＤＦを移動させるようにしてもよい。こうしたレモンスキン板ＤＦの移動は、保持部材ＤＦＨを可動とし、例えば、ボイスコイルモータやピエゾ素子により、保持部材ＤＦＨを駆動するようにすればよい。
【００９９】
かかるレモンスキン板ＤＦの移動は、測定用レチクルＲＴにおけるパターン形成面と平行な方向の移動であってもよいし、また、測定用レチクルＲＴにおけるパターン形成面と垂直な方向の移動であってもよい。
【０１００】
また、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとの同期移動及びレモンスキン板ＤＦの移動を組み合わせてもよい。
【０１０１】
また、本第１の実施形態では、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとの同期移動中にＣＣＤ９５の各画素において連続的に受光した光量の総和に基づいてスポット像位置を求めた。これに対して、測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとが互いに投影光学系ＰＬに関する共役位置であるような、複数の測定用レチクルＲＴと波面収差測定装置７０における受光用の開口９１ａとの位置関係それぞれにおいて、ＣＣＤ９５による撮像を行い、複数の撮像結果について同一画素位置の和を算出した後に、算出された和画像に基づいてスポット像位置を求めることもできる。さらに、複数の撮像結果ごとにスポット像候補位置を算出し、これらのスポット像候補位置の平均をスポット像位置として求めることも可能である。
【０１０２】
《第２の実施形態》
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明において、第１の実施形態の場合と同一又は同等な要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０１０３】
図１０には、本発明の第２の実施形態に係る露光装置１００Ａの概略構成が示されている。この露光装置１００Ａは、上述した第１の実施形態の露光装置１００と同様に、ステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置である。この露光装置１００Ａは、露光装置本体６０Ａと波面収差測定装置７０Ａとを備えている。
【０１０４】
前記露光装置本体６０Ａは、上述した第１の実施形態の露光装置本体６０（図１参照）と比べて、保持部材ＤＦＨを備えていない点のみが相違している。
【０１０５】
前記波面収差測定装置７０Ａは、波面センサ９０と、波面データ処理装置８０Ａとから構成されている。すなわち、波面収差測定装置７０Ａは、第１の実施形態の場合と同様に構成された波面センサ９０と、第１の実施形態の波面データ処理装置８０とは異なる構成を有する波面データ処理装置８０Ａとを備えている。
【０１０６】
前記波面データ処理装置８０Ａは、図１１に示されるように、主制御装置３０Ａと記憶装置４０Ａとを備えている。主制御装置３０Ａは、（ａ）主制御系２０の制御の下で波面データ処理装置８０Ａの動作全体を制御するとともに、波面測定結果データＷＦＡを主制御系２０へ供給する制御装置３９と、（ｂ）波面センサ９０からの撮像データＩＭＤを収集する撮像データ収集装置３１と、（ｃ）撮像データ収集装置３１によって収集された像データに基づいてスポット像の位置を算出する位置情報演算装置３２Ａと、（ｄ）位置情報演算装置３２Ａにより算出されたスポット像位置に基づいて、投影光学系ＰＬの波面収差を算出する波面収差算出装置３３とを含んでいる。ここで、位置情報演算装置３２Ａは、（ｉ）撮像データ収集装置３１によって収集された複数の像データを合成して、スポット像位置を算出するための位置算出用データを作成する像データ合成装置３４と、（ii）位置算出用データに基づいて、スポット像の位置を算出する位置検出装置３２とを有している。
【０１０７】
また、記憶装置４０Ａは、（ａ）撮像データを格納する撮像データ格納領域４１と、（ｂ）算出されたスポット像位置を格納するスポット像位置格納領域４２と、（ｃ）波面収差データを格納する波面収差データ格納領域４３と、（ｄ）位置算出用データを格納する位置算出用データ格納領域４４とを有している。
【０１０８】
本実施形態では、波面データ処理装置８０Ａを上記のように、各種の装置を組み合わせて構成したが、第１の実施形態の場合と同様にして、波面データ処理装置８０Ａを計算機システムとして構成し、主制御装置３０Ａを構成する上記の各装置の機能を波面データ処理装置８０Ａに内蔵されたプログラムによって実現することも可能である。
【０１０９】
以下、本実施形態の露光装置１００Ａによる露光動作を説明する。なお、本実施形態の露光装置１００Ａによる露光動作は、上述した第１の実施形態の露光装置１００による露光動作と比べて、図６におけるサブルーチン１０１の処理すなわち投影光学系ＰＬの波面収差測定処理のみが相違する。そこで、この相違点に主に着目して、以下の説明を行う。
【０１１０】
なお、以下の動作の前提として、上述した第１の実施形態の場合と同様に、波面センサ９０はウエハステージＷＳＴに装着されており、また、波面データ処理装置８０と主制御系２０とが接続されているものとする。
【０１１１】
また、第１の実施形態の場合と同様に、ウエハステージに装着された波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａとウエハステージＷＳＴとの位置関係は、２次元位置マーク９１ｂをアライメント検出系ＡＳで観察することにより、正確に求められているものとする。
【０１１２】
本実施形態では、まず、図６のサブルーチン１０１において、投影光学系ＰＬの波面収差が測定される。このサブルーチン１０１では、図１２に示されるように、まず、ステップ１２１において、図１３（Ａ）〜図１３（Ｃ）で総合的に示されるような測定用レチクルセットＲＡが不図示のレチクルローダによりレチクルステージＲＳＴにロードされる。
【０１１３】
この測定用レチクルセットＲＡは、図１３（Ａ）に示されるように、測定用レチクルＲＴＡ、スペーサＳＰ、及びレモンスキン板ＤＦとを備えて構成されている。ここで、測定用レチクルＲＴＡとレモンスキン板ＤＦとは、スペーサＳＰを介して固定的に接続されている。なお、スペーサＳＰとしては、平面視で中空のロ字状の形状を有しており、レモンスキン板ＤＦを介した照明光ＩＬは、スペーサＳＰの中空部を通過して測定用レチクルＲＴＡに到達できるようになっている。
【０１１４】
測定用レチクルＲＴＡは、例えば図１３（Ｂ）に示されるように、複数個（図１３（Ｂ）では、９個）の開口パターン群ＰＨＧ₁〜ＰＨＧ_N（図１３（Ｂ）では、Ｎ＝９）がＸ方向及びＹ方向に沿ってマトリクス状に形成されている。なお、開口パターン群ＰＨＧ₁〜ＰＨＧ_Nは、図１３（Ｂ）において点線で示されるスリット状の照明領域の大きさの領域内に形成されている。
【０１１５】
開口パターン群ＰＨＧ_j（ｊ＝１〜Ｎ）それぞれは、例えば図１３（Ｃ）に示されるように、複数個（図１３（Ｃ）では、５個）の開口パターンＰＨ_j1〜ＰＨ_jM（図１３（Ｂ）では、Ｍ＝５）を有している。なお、開口パターンＰＨ_jk（ｋ＝１〜Ｍ）は、波面収差の測定において開口パターンＰＨ_jkの全てがほぼ同一点とみなせる程度に近接して形成されている。
【０１１６】
引き続き、ウエハステージＷＳＴ上に配置された不図示の基準マーク板を使用したレチクルアライメントや、更にアライメント検出系ＡＳを使用したベースライン量の測定等が行われる。そして、収差測定が行われる最初の開口パターンＰＨ₁が投影光学系ＰＬの光軸ＡＸ上に位置するように、レチクルステージＲＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、レチクル干渉計１６が検出したレチクルステージＲＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してレチクル駆動部２３を制御することにより行われる。
【０１１７】
図１２に戻り、次に、ステップ１２２において、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａが、開口パターンＰＨ₁₁の投影光学系ＰＬに関する共役位置、すなわち開口パターン群ＰＨＧ₁に関する初期撮像位置にウエハステージＷＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、ウエハ干渉計１８が検出したウエハステージＷＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してウエハステージ駆動部２４を制御することにより行われる。この際、主制御系２０は、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）の検出結果に基づいて、開口パターンＰＨ₁₁の像が結像される像面に波面センサ９０の標示板９１の上面を一致させるべく、ウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴをＺ軸方向に微少駆動する。
【０１１８】
以上のようにして、最初の開口パターンＰＨ₁₁からの球面波に関する投影光学系ＰＬの波面収差測定のための光学的な各装置の配置が終了する。こうした、光学的配置について、波面センサ９０の光軸ＡＸ１及び投影光学系ＰＬの光軸に沿って展開したものが、図１４に示されている。
【０１１９】
こうした光学配置において、照明系１０から照明光ＩＬが射出されると、測定用レチクルＲＴの最初の開口パターンＰＨ₁₁に到達した光が、球面波となって開口パターンＰＨ₁₁から出射する。そして、投影光学系ＰＬを介した後、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａに集光される。なお、最初の開口パターンＰＨ₁₁以外の開口パターンを通過した光は、開口パターン９１ａには到達しない。こうして開口９１ａに集光された光の波面は、ほぼ球面ではあるが、投影光学系ＰＬの波面収差を含んだものとなっている。
【０１２０】
開口９１ａを通過した光は、第１の実施形態の場合と同様にして、コリメータレンズ９２により平行光に変換され、さらにリレーレンズ系９３を介した後、マイクロレンズアレイ９４に入射する。ここで、マイクロレンズアレイ９４に入射する光の波面は、投影光学系ＰＬの波面収差を反映したものとなっている。すなわち、投影光学系ＰＬに波面収差が無い場合には、図１４において点線で示されるように、その波面ＷＦが光軸ＡＸ１と直交する平面となるが、投影光学系ＰＬに波面収差が有る場合には、図１４において二点鎖線で示されるように、その波面ＷＦ’は位置に応じた角度で傾くことになる。
【０１２１】
マイクロレンズアレイ９４は、各マイクロレンズ９４ａごとに、開口９１ａにおける開口パターン像を、標示板９１の共役面すなわちＣＣＤ９５の撮像面に結像させる。マイクロレンズ９４ａに入射した光の波面が光軸ＡＸ１と直交する場合には、そのマイクロレンズ９４ａの光軸と撮像面の交点を中心とするスポット像が、撮像面に結像される。また、マイクロレンズ９４ａに入射した光の波面が傾いている場合には、その傾き量に応じた距離だけ、そのマイクロレンズ９４ａの光軸と撮像面の交点からずれた点を中心とするスポット像が撮像面に結像される。
【０１２２】
図１２に戻り、次いで、ステップ１２３において、ＣＣＤ９５により、その撮像面に形成された像の撮像が行われる。この撮像により得られた撮像データＩＭＤは、波面データ処理装置８０に供給される。波面データ処理装置８０では、撮像データ収集装置３１が撮像データＩＭＤを収集し、撮像データ格納領域４１に収集した撮像データを格納する。
【０１２３】
次に、ステップ１２４において、開口パターン群ＰＨＧ₁に含まれる全ての開口パターンＰＨ_1kについての撮像が完了した否かが判定される。この段階では、開口パターンＰＨ₁₁についての撮像が完了したのみなので、否定的な判定がなされ、処理がステップ１２５へ移行する。
【０１２４】
ステップ１２５では、開口パターン群ＰＨＧ₁に関連する次の撮像位置（この段階では、開口パターンＰＨ₁₂の投影光学系ＰＬに関する共役位置）に、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａが位置するようにウエハステージＷＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、ウエハ干渉計１８が検出したウエハステージＷＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してウエハステージ駆動部２４を制御することにより行われる。なお、このときも、主制御系２０が、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）の検出結果に基づいて、開口パターン群ＰＨＧ₂における最初の開口パターンＰＨ₂₁の像が結像される像面に波面センサ９０の標示板９１の上面を一致させるべく、必要に応じて、ウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴをＺ軸方向に微少駆動する。
【０１２５】
以後、ステップ１２４において、肯定的な判定がなされるまで、ステップ１２３〜１２５の処理が繰り返される。そして、開口パターン群ＰＨＧ₁に含まれる全ての開口パターンＰＨ_1kについての撮像が完了し、ステップ１２４において肯定的な判定がなされると、処理がステップ１２６へ移行する。
【０１２６】
ステップ１２６では、撮像結果に基づいて、各スポット像の位置情報が検出される。かかる位置情報の算出にあたり、まず、位置情報演算装置３２Ａの像データ合成装置３４が、撮像データ格納領域４１から、開口パターン群ＰＨＧ₁に含まれる開口パターンＰＨ_1kそれぞれについての撮像結果データを読み出す。そして、開口パターンＰＨ_1kそれぞれについての撮像結果データにおける同一画素位置のデータを足し合わせることにより、スポット像位置算出のための位置算出用データを求める。かかる位置算出用データでは、マイクロレンズアレイ９４によって波面分割される光、すなわち開口パターンＰＨ₁₁〜ＰＨ_1Mのいずれか、投影光学系ＰＬ、標示板９１の開口９１ａ、コリメータレンズ９２、及びリレー光学系を順次介した光におけるレモンスキン板ＤＦによる拡散ムラに起因する光強度分布の不均一性が、拡散ムラに対する平均化効果により低減されている。この結果、波面形状を精度良く反映した位置にスポット像が結像される。像データ合成装置３４は、こうして求められた位置算出用データを位置算出用データ格納領域４４に格納する。
【０１２７】
次に、位置算出装置３２が、位置算出用データ格納領域４４から位置算出用データを読み出す。引き続き、位置算出装置３２は、マイクロレンズアレイ９４によりＣＣＤ９５の撮像面に形成された各スポット像の合成像の光強度分布の重心を算出することにより、各スポット像の中心位置を算出する。位置算出装置３２は、こうして求められた各スポット像の中心位置を、マイクロレンズアレイ９４によりＣＣＤ９５の撮像面に形成された各スポット像の位置情報として、スポット像位置格納領域４２に格納する。
【０１２８】
次いで、ステップ１２７において、波面収差算出装置３３が、スポット像位置格納領域４２からスポット像位置の検出結果を読み出して、測定用レチクルＲＴにおける最初の開口パターン群ＰＨＧ₁の位置を通過した光に関する投影光学系ＰＬの波面収差を算出する。かかる波面収差の算出は、波面収差が無いときに期待される各スポット像位置と、検出されたスポット像位置の差から、ツェルニケ多項式の係数を求めることにより行われる。こうして、算出された波面収差は、開口パターン群ＰＨＧ₁の位置とともに、波面収差データ格納領域４３に格納される。
【０１２９】
次に、ステップ１２８において、全ての開口パターン群に関して投影光学系ＰＬの波面収差を算出したか否かが判定される。この段階では、最初の開口パターン群ＰＨＧ₁についてのみ投影光学系ＰＬの波面収差を測定しただけなので、否定的な判定がなされ、処理はステップ１２９に移行する。
【０１３０】
ステップ１２９では、波面センサ９０の標示板９１の開口９１ａが、次の開口パターン群ＰＨＧ₂についての初期撮像位置となるように、ウエハステージＷＳＴを移動させる。かかる移動は、主制御系２０が、ウエハ干渉計１８が検出したウエハステージＷＳＴの位置情報（速度情報）に基づいて、ステージ制御系１９を介してウエハステージ駆動部２４を制御することにより行われる。なお、このときも、主制御系２０が、多点フォーカス位置検出系（２１，２２）の検出結果に基づいて、開口パターン群ＰＨＧ₂の開口パターンＰＨ₂₁の像が結像される像面に波面センサ９０の標示板９１の上面を一致させるべく、必要に応じて、ウエハステージ駆動部２４を介してウエハステージＷＳＴをＺ軸方向に微少駆動する。
【０１３１】
そして、上記の開口パターン群ＰＨＧ₁の場合と同様にして、投影光学系ＰＬの波面収差が測定される。そして、波面収差の測定結果は、開口パターン群ＰＨＧ₂の位置とともに、波面収差データ格納領域４３に格納される。
【０１３２】
以後、上記と同様にして、全ての開口パターン群を通過した光に関する投影光学系ＰＬの波面収差が順次測定され、開口パターン群ごとの測定結果が開口パターン群の位置とともに、波面収差データ格納領域４３に格納される。こうして全ての開口パターン群に関する投影光学系ＰＬの波面収差が測定されると、ステップ１２８において肯定的な判定がなされる。そして、制御装置３９が、波面収差データ格納領域４３から波面収差の測定結果を読み出し、波面測定結果データＷＦＡとして主制御系２０へ供給する。この後、処理が図６のステップ１０２に移行する。
【０１３３】
この後、第１の実施形態と同様にして、投影光学系ＰＬの波面収差が許容値以下となるまで、ステップ１０２→１０３→１０１のループ処理が繰り返される。そして、投影光学系ＰＬの波面収差が許容値以下となると、第１の実施形態の場合と同様にして、ステップ１０４〜１０７が実行されて、レチクルＲに形成されたパターンが、ウエハＷの各ショット領域に転写される。
【０１３４】
以上説明したように、本第２の実施形態では、レモンスキン板ＤＦにおける通過位置が互いに異なるが、投影光学系ＰＬの波面収差特性の測定ではほぼ同一点とみなせる複数の開口パターンを通過した光それぞれが、投影光学系ＰＬ、開口９１ａ、コリメータレンズ９２、及びリレー光学系９３を順次介した後に波面分割し、分割波面ごとに形成されるスポット像を撮像する。そして、通過した開口パターンそれぞれについて得られた撮像結果を同一画素位置ごとに足し合わせる合成を行い、その合成結果からスポット像の位置情報を検出する。この結果、レモンスキン板ＤＦによる光の拡散ムラに起因するスポット像位置情報の検出結果の精度低下を抑制することができ、迅速にかつ精度良く各スポット像の位置情報を検出することができる。
【０１３５】
そして、本実施形態では、精度良く検出された各スポット像の位置情報の検出結果に基づいて、投影光学系ＰＬの波面収差を求める。したがって、本実施形態によれば、投影光学系ＰＬの光学特性である波面収差特性を迅速にかつ精度良く測定することができる。
【０１３６】
また、精度良く求められた投影光学系ＰＬの波面収差に基づいて、投影光学系ＰＬの収差を調整し、十分に諸収差が低減された投影光学系ＰＬによりレチクルＲに形成された所定のパターンがウエハＷ表面に投影されるので、所定のパターンをウエハＷに精度良く転写することができる。
【０１３７】
なお、本第２の実施形態では、同一の開口パターン群に含まれる開口パターンごとの撮像にあたって、波面収差測定装置７０Ａが装着されたウエハステージＷＳＴを移動させたが、レチクルステージＲＳＴが十分なストロークで２次元駆動可能な場合には、レチクルステージＲＳＴを移動させることとすることもできる。
【０１３８】
また、レチクルステージＲＳＴがウエハステージＷＳＴと同程度に大きなストロークで２次元駆動可能な場合には、測定用レチクルＲＴＡに代えて第１の実施形態で使用した測定用レチクルＲＴを使用し、ウエハステージＷＳＴの位置を固定した上で、標示板９１の開口９１ａの共役位置に開口パターンＰＨ₁〜ＰＨ_Nを順次移動させ、スポット像の撮像を行うこととしてもよい。
【０１３９】
また、本第２の実施形態では、同一の開口パターン群における複数の開口パターンそれぞれの開口パターンについての撮像結果の合成をしてスポット像位置を求めたが、複数の撮像結果ごとにスポット像候補位置を算出し、これらのスポット像候補位置の平均をスポット像位置として求めることも可能である。
【０１４０】
また、本第２の実施形態においても、上述した第１の実施形態の場合と同様に、較正用パターンが更に形成された測定用レチクルを用いる変形を行うことができる。
【０１４１】
なお、上記の各実施形態では、測定用レチクルＲＴにおける開口パターンを９つとしたが、所望の波面収差の測定精度に応じて、数を増減することが可能である。また、マイクロレンズアレイ９４におけるマイクロレンズ９４aの配列数や配列態様も、所望の波面収差の測定精度に応じて変更することが可能である。
【０１４２】
また、上記の各実施形態では、位置検出の対象像をスポット像としたが、他の形状のパターンの像であってもよい。
【０１４３】
また、上記の各実施形態では、露光にあたっては波面収差測定装置７０を露光装置本体６０から切り離したが、波面収差測定装置７０を露光装置本体６０に装着したままで露光してもよいことは勿論である。
【０１４４】
また、上記の各実施形態では、投影光学系ＰＬの波面収差測定及び波面収差調整を、露光装置が組み立てられた後の定期メンテナンス時等に行い、その後のウエハの露光に備える場合について説明したが、露光装置の製造における投影光学系ＰＬの調整時に、上記の実施形態と同様にして、波面収差の調整を行ってもよい。なお、露光装置の製造時における投影光学系ＰＬの調整にあたっては、上記の実施形態において行われる投影光学系ＰＬを構成する一部のレンズエレメントの位置調整に加えて、他のレンズエレメントの位置調整、レンズエレメントの再加工、レンズエレメントの交換等を行うことが可能である。
【０１４５】
また、上記の各実施形態では、走査型露光装置の場合を説明したが、本発明は、投影光学系を備える露光装置であれば、ステップ・アンド・リピート機、ステップ・アンド・スキャン機、ステップ・アンド・スティッチング機を問わず適用することができる。
【０１４６】
また、上記の各実施形態では、露光装置における投影光学系の収差測定に本発明を適用したが、露光装置に限らず、他の種類の装置における結像光学系の諸収差の計測にも本発明を適用することができる。
【０１４７】
さらに、光学系の収差測定以外であっても、例えば反射鏡の形状等の様々な光学系の光学特性の測定にも本発明を適用することができる。
【０１４８】
《デバイスの製造》
次に、本実施形態の露光装置及び方法を使用したデバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造について説明する。
【０１４９】
まず、設計ステップにおいて、デバイスの機能設計（例えば、半導体デバイスの回路設計等）を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、マスク製作ステップにおいて、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ウエハ製造ステップにおいて、シリコン等の材料を用いてウエハを製造する。
【０１５０】
次に、ウエハ処理ステップにおいて、上記のステップで用意されたマスクとウエハを使用して、後述するように、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路等を形成する。
【０１５１】
このウエハ処理ステップは、例えば、半導体デバイスの製造にあたっては、ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を形成するＣＶＤステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打込みステップといったウエハプロセスの各段階の前処理工程と、後述する後処理工程を有している。前処理工程は、ウエハプロセスの各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
【０１５２】
ウエハプロセスの各段階において、前処理工程が終了すると、レジスト処理ステップにおいてウエハに感光剤が塗布され、引き続き、露光ステップにおいて上記で説明した露光装置１０によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。次に、現像ステップにおいて露光されたウエハが現像され、引き続き、エッチングステップにおいて、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去る。そして、レジスト除去ステップにおいて、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
【０１５３】
以上のようにして、前処理工程と、レジスト処理ステップからレジスト除去ステップまでの後処理工程とを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【０１５４】
こうしてウエハ処理ステップが終了すると、組立ステップにおいて、ウエハ処理ステップにおいて処理されたウエハを用いてチップ化する。この組み立てには、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）やパッケージング工程（チップ封入）等の工程が含まれる。
【０１５５】
最後に、検査ステップにおいて、組立ステップで作製されたデバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経た後にデバイスが完成し、これが出荷される。
【０１５６】
以上のようにして、精度良く微細なパターンが形成されたデバイスが、高い量産性で製造される。
【０１５７】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の光学特性測定方法によれば、被検光学系の光学特性を精度良く測定することができる。
【０１５８】
また、本発明の光学特性測定装置によれば、本発明の光学特性測定方法を使用して被検光学系の光学特性を測定するので、被検光学系の光学特性を迅速にかつ精度良く測定することができる。
【０１５９】
また、本発明の光学系の調整方法によれば、本発明の光学特性測定方法によって精度良く測定された光学系の光学測定に基づいて、光学系の光学特性を調整するので、光学系の光学特性を所望の特性を迅速にかつ精度良く調整することができる。
【０１６０】
また、本発明の露光装置によれば、投影光学系の光学特性を測定する本発明の光学特性測定装置を備えるので、本発明の光学特性測定装置により精度良く光学特性が測定され、光学特性が良好に調整されていることが保証された投影光学系を使用して、所定のパターンを基板に転写することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】図１の波面センサの構成を概略的に示す図である。
【図３】図２の標示板の表面状態を説明するための図である。
【図４】図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、図２のマイクロレンズアレイの構成を示す図である。
【図５】図１の主制御系の構成を示すブロック図である。
【図６】図１の装置による露光動作における処理を説明するためのフローチャートである。
【図７】図６の収差測定サブルーチンにおける処理を説明するためのフローチャートである。
【図８】第１の実施形態における測定用レチクルに形成された測定用パターンの例を示す図である。
【図９】第１の実施形態におけるスポット像の撮像時における光学配置を説明するための図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図１１】図１０の主制御系の構成を示すブロック図である。
【図１２】第２の実施形態における収差測定サブルーチンにおける処理を説明するためのフローチャートである。
【図１３】第２の実施形態における測定用レチクルセットの構成例を説明するための図である。
【図１４】第２の実施形態におけるスポット像の撮像時における光学配置を説明するための図である。
【符号の説明】
２３…レチクルステージ駆動部（駆動装置）、２４…ウエハステージ駆動部（駆動装置）、３２…位置算出装置（位置情報算出装置）、３３…波面収差算出装置（光学特性算出装置）、７０…波面収差測定装置、９０…波面センサ（像情報検出装置）、９１ａ…開口（受光用開口）、９４…マイクロレンズアレイ（波面分割部材）、９４ａ…マイクロレンズ（レンズ要素）、９５…ＣＣＤ（像検出装置）、９８…マイクロレンズ（レンズ要素）、９９…ミラー駆動機構（波面分割光学系交換装置の一部）、ＤＦ…レモンスキン板（光拡散部材）、ＰＬ…投影光学系（被検光学系）、ＰＴ，ＰＴＡ…測定用レチクル（マスク）、Ｗ…ウエハ（基板）。

Claims (15)

1. 光拡散部材、所定のパターンが形成されたマスク、及び被検光学系を順次介した後、受光用開口に到達した光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定方法であって、
   前記受光用開口に到達する光に対して、前記光拡散部材、前記マスク、及び前記受光用開口の少なくとも１つの位置を変化させ、前記受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成し、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を検出するパターン像位置検出工程と；
   前記パターン像位置検出工程において検出された前記複数のパターン像それぞれの位置情報に基づいて、前記被検光学系の光学特性を算出する光学特性算出工程と；を含む光学特性測定方法。
2. 前記パターン像位置検出工程では、前記マスクと前記受光用開口との前記被検光学系に関する共役位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記光拡散部材とを相対移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定方法。
3. 前記所定のパターンは円形開口であり、
   前記相対移動のストロークは前記円形開口の径程度である、ことを特徴とする請求項２に記載の光学特性測定方法。
4. 前記パターン像位置検出工程では、前記光拡散部材と前記マスクとの位置関係を維持しつつ、前記マスクと前記受光用開口とを相対移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の光学特性測定方法。
5. 前記所定のパターンは複数の開口であり、
   前記マスクと前記受光用開口との相対移動は、前記受光用開口が、前記複数の開口それぞれの前記被検光学系に関する共役位置を順次巡る相対移動である、ことを特徴とする請求項４に記載の光学特性測定方法。
6. 前記パターン像位置検出工程では、前記相対移動により、前記複数の開口のそれぞれを通過した光について検出される前記複数のパターン像を合成し、合成した結果に基づいて、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を検出することを特徴とする請求項５に記載の光学特性測定方法。
7. 前記パターン像は、スポット像であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学特性測定方法。
8. 前記光学特性は、波面収差であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学特性測定方法。
9. 所定のパターンが形成されたマスク及び被検光学系を順次介した後、受光用開口に到達した光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、
   入射した光を拡散させて、前記マスクへ向けて射出する光拡散部材と；
   前記受光用開口を有し、該受光用開口を介した光を波面分割して複数のパターン像を形成し、該複数のパターン像の情報を検出する像情報検出装置と；
   前記受光用開口に到達する光に対して、前記光拡散部材、前記マスク、及び前記像情報検出装置の少なくとも１つの位置を変化させる駆動装置と；
   前記像情報検出装置による検出結果に基づいて、前記複数のパターン像それぞれの位置情報を算出する位置情報算出装置と；
   前記位置情報算出装置によって算出された前記複数のパターン像それぞれの位置情報に基づいて、前記被検光学系の光学特性を算出する光学特性算出装置と；を備える光学特性測定装置。
10. 前記像情報検出装置は、
    前記受光用開口を介した光を波面分割して前記複数のパターンを形成する波面分割部材と；
    前記複数のパターン像を検出する像検出装置と；を備えることを特徴とする請求項９に記載の光学特性測定装置。
11. 前記波面分割部材は、複数のレンズ要素が配列されたマイクロレンズアレイであることを特徴とする請求項１０に記載の光学特性測定装置。
12. 前記マスクは、複数の開口を備え、
    前記駆動装置は、前記受光用開口が前記複数の開口それぞれの前記被検光学系に関する共役位置を順次巡るように、前記マスクと前記像情報検出装置とを相対移動させることを特徴とする請求項９に記載の光学特性測定装置。
13. 前記光学特性は、波面収差であることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか一項に記載の光学特性測定装置。
14. 光学系の光学特性を調整する光学系の調整方法であって、
    前記光学系の光学特性を、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学特性測定方法を用いて測定する光学特性測定工程と；
    前記光学特性測定工程における測定結果に基づいて、前記光学系の光学特性を調整する光学特性調整工程と；を含む光学系の調整方法。
15. 露光光を基板に照射することにより、所定のパターンを前記基板に転写する露光装置であって、
    露光光の光路上に配置された投影光学系と；
    前記投影光学系を被検光学系とする請求項９〜１３のいずれか一項に記載の光学特性測定装置と；を備える露光装置。

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