JP3903669B2 - 紫外線照射器及びその照射量制御方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線照射器及びその照射量制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、紫外線硬化樹脂や接着剤や塗料などの被照射部に紫外線を照射して、硬化させるための紫外線照射器が提供されていた。ここで、照射対象である紫外線硬化樹脂や接着剤や塗料の種類は様々であり、その種類によって必要な紫外線量（ＵＶ強度）が異なるため、照射対象に応じて必要な紫外線量の紫外線を安定して照射することが重要である（例えば、特開平７−２３６８２８号公報参照）。
【０００３】
図７は紫外線照射器の概略構成図であり、紫外線ランプ１と、紫外線ランプ１から照射された紫外光を出射口３に集光させる反射鏡２と、ヒューズ付きのＡＣインレット１２から電源スイッチＳＷ１及びインターロックスイッチＳＷ２を介して商用交流電源が供給され、紫外線ランプ１に電力を供給するランプ電源４と、紫外線ランプ１に高電圧を印加して紫外線ランプ１を始動させる高圧スタータ５と、出射口３を介して紫外線ランプ１から入射された紫外光を被照射部に導く例えば光ファイバーからなるライトガイド６と、紫外線ランプ１と出射口３との間の光路に配置され、紫外線ランプ１の紫外光を出射口３に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で開閉自在に設けられた出射シャッター７と、後述する制御部１０からの制御信号に応じて出射シャッター７を開閉させるモータ２２と、操作パネル８の操作や外部制御端子９から入力される外部制御信号に応じてランプ電源４の出力や出射シャッター７の開閉状態を制御する例えばマイクロコンピュータからなる制御部１０と、出射シャッター７と出射口３との間の光路に配置され、紫外光を全て出射口３に入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段としての調光シャッター１１とで構成される。ここに、ランプ電源４及び高圧スタータ５から点灯手段が構成される。尚、図７中の２０はランプ電源４や高圧スタータ５などを冷却するための冷却ファンである。
【０００４】
調光シャッター１１は、図８（ａ）（ｂ）に示すように、遮光性を有する略扇形の遮光板１１ａからなり、遮光板１１ａにおける扇の中心部には軸１１ｂが突設され、軸１１ｂを中心として回動自在に配置される。而して、図８（ａ）に示すように遮光板１１ａにより紫外線ランプ１の紫外光（ＵＶ光）が遮光されていない状態から、遮光板１１ａを図中時計回りに手動で回転させると、図８（ｂ）に示すように紫外光の一部が遮光板１１ａで遮光され、被照射部に照射される紫外線量が低下するので、遮光板１１ａにより遮光される紫外線量を調整することによって、被照射部への紫外光の照射量を調光することができる。尚、調光シャッター１１が設けられていない場合は、図９に示すように、ライトガイド６の先端から被照射部３０までの距離Ｌを変化させることによって、被照射部３０に照射されるＵＶ強度を調整していた。
【０００５】
ところで、紫外線ランプ１は白熱ランプや蛍光ランプなどに比べて寿命が短く、紫外線ランプ１から照射される紫外光の紫外線量（ＵＶ強度）が急激に減衰・劣化するため、被照射部に照射される紫外光のＵＶ強度を所望の値に調整しても、時間の経過とともにＵＶ強度が変化してしまい、すぐに再調整する必要があった。
【０００６】
そこで、図７に示した紫外線照射器において、図１及び図２に示すように、ライトガイド６に被照射部へ紫外光を導く導光路としてのメインファイバー６ａとは別に、出射口３から出射された紫外光の一部を分岐する分岐手段としてのモニタ用ファイバー６ｂを設け、モニタ用ファイバー６ｂから入射口１４を介して入射された分岐光の紫外線量を検出する分岐光検出手段としてのＵＶセンサ１５と、制御部１０から入力される制御信号に応じて調光シャッター１１を所望の回転角だけ回転させる例えばパルスモータやＤＣモータからなるモータ１６とを設けた紫外線照射器が提供されている。尚、入射口１４とＵＶセンサ１５との間の光路には入射シャッター１７が設けられており、制御部１０から入力される制御信号に応じて、入射口１４からの紫外光をＵＶセンサ１５に全て入射させる位置と、入射口１４からの紫外光を全て遮光する位置との間で開閉自在となっている。また図１中の２１はＲＳ−２３２Ｃの通信ポートである。
【０００７】
ここで、ＵＶセンサ１５は、モニタ用ファイバー６ｂから入射口１４を介して入射された分岐光の強度（光量）を検出し、強度に応じた電圧信号（又は電流信号）を検出信号として制御部１０に出力する。制御部１０では、ＵＶセンサ１５の検出信号に基づいて被照射部に照射される紫外光の照射量を推定しており、予め設定された照射量と推定値との間に偏差があれば、偏差をなくす方向へ調光シャッター１１を回転させるようにモータ１６に駆動信号を出力し、被照射部への照射量を制御する。ここに、制御部１０から光量推定手段及び光量制御手段が構成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成の紫外線照射器に用いるライトガイド６は図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように複数本のファイバー線２３を束ねた集合体から構成され、全体の外径は個々のファイバー線２３の径やメインファイバー６ａの分岐数に応じて異なっている。尚、図１０（ａ）〜（ｃ）において調光シャッター１１の全開位置を実線で示しており、調光シャッター１１を全開位置から図中時計回りに回転させ、図中に破線で示す全閉位置まで移動させると、紫外光が全て遮光されライトガイド６に紫外光が入射しなくなる。ここに、全開位置とは紫外線ランプ１から照射される紫外光を調光シャッター１１で遮光せず、全て出射口３に照射させる位置をいい、全閉位置とは紫外線ランプ１から照射される紫外光を調光シャッター１１で全て遮光する位置をいう。
【０００９】
ここで、図１０（ａ）は全てのファイバー線をメインファイバー６ａとしたライトガイド６の例である。一方、図１０（ｂ）は一部のファイバー線（図１０（ｂ）中に黒丸で示すファイバー線）をモニタ用ファイバー６ｂとし、残りのファイバー線をメインファイバー６ａとしたライトガイド６の例である。また図１０（ｃ）は一部のファイバー線（図１０（ｃ）中に黒丸で示すファイバー線）をモニタ用ファイバー６ｂとし、残りのファイバー線をさらに二分して、メインファイバー６ａを２つ設けたライトガイド６の例（図１０（ｃ）中の○印は一方のメインファイバー６ａであり、斜線をつけた○印はもう一方のメインファイバーである。）であり、このライトガイド６では、出射口３から入射された紫外光の内、一部の紫外光をＵＶセンサ１５に分岐するとともに、残りの紫外光を２つに分岐して、それぞれ被照射部に照射させている。
【００１０】
ところで、モニタ用ファイバー６ｂを構成するファイバー線は、ライトガイド６を構成する複数本のファイバー線の中からランダムに選択されているため、調光シャッター１１が所定の位置まで移動した際に、モニタ用ファイバー６ｂを構成する複数本のファイバー線の内、調光シャッター１１により遮光されるファイバー線の本数と遮光されないファイバー線の本数との比率が、メインファイバー６ａを構成する複数本のファイバー線の内、調光シャッター１１により遮光されるファイバー線の本数と遮光されないファイバー線の本数との比率と異なる場合があった。そのため、調光シャッター１１の移動によって発生するモニタ用ファイバー６ｂの分岐光の変化傾向と、メインファイバー６ａから出力される紫外光の変化傾向とに差が発生していた。また、図１１及び図１２に示すように、調光シャッター１１の遮光板１１ａのエッジ形状が変化すると、調光シャッター１１の開閉状態と、調光シャッター１１により遮光される紫外線量（すなわち、被照射部に照射される紫外光のＵＶ強度）との関係が変化するため、調光シャッター１１の形状のばらつきによっても、調光シャッター１１の移動によって発生するモニタ用ファイバー６ｂの分岐光の変化傾向と、メインファイバー６ａから出力される紫外光の変化傾向とに差が発生し、モニタ用ファイバー６ｂにより分岐された分岐光の紫外線量をフィードバックして、被照射部への照射量を調光制御した場合、被照射部に照射される紫外線量を精度良く制御することができないという問題があった。
【００１１】
また、ＵＶセンサ１５を用いて紫外線ランプ１から照射される紫外光の紫外線量を検出する場合、出射シャッター７を開いて、紫外線ランプ１の光をライトガイド６に出射させる必要があった。そのため、メインファイバー６ａから紫外光を照射していない状態で、ＵＶセンサ１５を用いて紫外線量をモニタすることができず、紫外線量の調整時にもメインファイバー６ａから高出力の紫外光が出力されてしまうという問題があった。
【００１２】
本発明は上記問題点に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、被照射部に照射される紫外線量を精度良く制御することのできる紫外線照射器及びその照射量制御方法を提供することにある。また、請求項２及び請求項７の発明の目的は、上記目的に加えて、紫外光を外部に照射させることなく紫外線量の調整を行うことができる紫外線照射器及びその照射量制御方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明では、紫外線ランプと、紫外線ランプを点灯させる点灯手段と、紫外線ランプから照射された紫外光を被照射部に導くための導光路と、紫外線ランプと導光路との間の光路に、紫外線ランプの紫外光を全て遮光する全閉位置と紫外光を全て導光路に照射させる全開位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段と、調光手段と導光路との間の光路に設けられ、導光路に入射する紫外光の一部を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐された分岐光の光量を検出する分岐光検出手段と、分岐光検出手段の検出結果に基づいて被照射部への照射量を推定する光量推定手段と、光量推定手段の推定結果に基づいて調光手段が遮光する紫外線量を制御し、被照射部への照射量を制御する光量制御手段とを備え、調光手段が全開位置と全閉位置との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差により光量推定手段の推定結果を補正する光量補正手段を設けたことを特徴とし、分岐光検出手段では分岐手段により分岐された紫外線の光量を検出し、光量推定手段では、分岐光検出手段の検出結果から被照射部に照射される紫外光の照射量を推定しており、光量補正手段では、上記各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差に基づいて、各区間内における誤差を近似する近似式を求め、この近似式から区間内の任意の位置における誤差を求め、光量推定手段の推定した照射量を補正しているので、調光手段の移動に応じて発生する分岐光検出手段の検出結果の変化割合と被照射部への照射量の変化割合とが異なる場合でも、被照射部に照射される照射量を正確に検出して、フィードバックすることができる紫外線照射器を実現できる。
【００１４】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、導光路と分岐手段との間の光路に、分岐手段により分岐された分岐光以外の紫外光を導光路に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に設けられた出射シャッターを備えて成ることを特徴とし、出射シャッターは導光路と分岐手段との間の光路に設けられているので、出射シャッターが紫外光を遮光しているか否かに関係なく、分岐光検出手段により分岐手段で分岐された分岐光の光量を検出することができ、且つ、分岐光以外の紫外光を全て遮光する位置に出射シャッターを移動させることによって、導光路から被照射部に紫外光を出射させない状態で調光手段の遮光量を制御することのできる紫外線照射器を実現できる。
【００１５】
請求項３の発明では、紫外線ランプと、紫外線ランプを点灯させる点灯手段と、紫外線ランプから照射された紫外光を被照射部に導くための導光路と、紫外線ランプと導光路との間の光路に、紫外線ランプの紫外光を全て遮光する全閉位置と紫外光を全て導光路に照射させる全開位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段と、調光手段と導光路との間の光路に設けられ、導光路に入射する紫外光の一部を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐された分岐光の光量を検出する分岐光検出手段と、分岐光検出手段の検出結果に基づいて被照射部への照射量を推定する光量推定手段と、光量推定手段の推定結果に基づいて調光手段が遮光する紫外線量を制御し、被照射部への照射量を制御する光量制御手段とを備え、調光手段が全開位置と全閉位置との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差により光量推定手段の推定結果を補正する光量補正手段を設けた紫外線照射器の照射量制御方法であって、分岐光検出手段が分岐手段により分岐された分岐光の紫外線量を検出し、光量推定手段が分岐光検出手段の検出結果から被照射部への照射量を推定した後、光量補正手段が上記近似式から求めた誤差を光量推定手段の推定した照射量に加算することにより照射量を補正することを特徴とし、分岐光検出手段では分岐手段により分岐された紫外線の光量を検出し、光量推定手段では、分岐光検出手段の検出結果から被照射部に照射される紫外光の照射量を推定しており、光量補正手段では、上記各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差に基づいて、各区間内における誤差を近似する近似式を求め、この近似式から区間内の任意の位置における誤差を求め、光量推定手段の推定した照射量を補正しているので、調光手段の移動に応じて発生する分岐光検出手段の検出結果の変化割合と被照射部への照射量の変化割合とが異なる場合でも、被照射部に照射される照射量を正確に検出して、フィードバックすることができる。
【００１６】
請求項４の発明では、請求項３の発明において、ある区間の境界点における調光手段の位置をＸ１，Ｘ２とし、調光手段が位置Ｘ１，Ｘ２に移動した時点において、それぞれ、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分をＭ１，Ｍ２とし、調光手段が当該区間内の位置Ｘに移動した時点において、光量推定手段の推定した照射量をＵ、光量補正手段により補正した照射量をＵ’とすると、光量補正手段は、
Ｕ’＝Ｕ＋（Ｍ１×（Ｘ２−Ｘ）＋Ｍ２×（Ｘ−Ｘ１））／（Ｘ２−Ｘ１）
という演算を行って照射量を補正したことを特徴とし、各区間の境界点における照射量の推定値と実際の照射量との誤差に基づいて、当該区間内における誤差を直線で近似しているので、光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差を簡単な演算で補正することができる。
【００１７】
請求項５の発明では、請求項３の発明において、ある区間の境界点における調光手段の位置をＸ１，Ｘ２とし、調光手段が位置Ｘ１，Ｘ２に移動した時点において、それぞれ、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分の光量推定手段が推定した照射量に対する比率をＮ１，Ｎ２とし、調光手段が当該区間内の位置Ｘに移動した時点において、光量推定手段の推定した照射量をＵ、光量補正手段により補正した照射量をＵ’とすると、光量補正手段は、
Ｕ’＝Ｕ＋Ｕ×（Ｎ１×（Ｘ２−Ｘ）＋Ｎ２×（Ｘ−Ｘ１））／（Ｘ２−Ｘ１）
という演算を行って照射量を補正したことを特徴とし、各区間の境界点において、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分の光量推定手段が推定した照射量に対する比率から、当該区間内における誤差を直線で近似しているので、光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差を簡単な演算で補正することができ、且つ、上記比率に光量推定手段の推定した照射量を乗じて誤差を求めているので、経時変化などによって誤差が照射量に応じて変動した場合でも、被照射部に照射される光量を正確に補正することができる。
【００１８】
請求項６の発明では、請求項３の発明において、光量補正手段は、各区間内において誤差を二次曲線で近似したことを特徴とし、請求項３の発明と同様の作用を奏する。
【００１９】
請求項７の発明では、請求項３の発明において、導光路と分岐手段との間の光路に設けられ、分岐手段により分岐された分岐光以外の紫外光を導光路に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に移動する出射シャッターを、紫外光を全て遮光する位置に移動させた状態で、分岐光検出手段が分岐手段により分岐された分岐光の紫外線量を検出し、光量推定手段が分岐光検出手段の検出結果から被照射部への照射量を推定した後、光量補正手段が上記近似式から求めた誤差を光量推定手段の推定した照射量に加算することにより照射量を補正することを特徴とし、出射シャッターは導光路と分岐手段との間の光路に設けられているので、出射シャッターが紫外光を遮光しているか否かに関係なく、分岐光検出手段により分岐手段で分岐された分岐光の光量を検出することができ、且つ、分岐光以外の紫外光を全て遮光する位置に出射シャッターを移動させることによって、導光路から被照射部に紫外光を出射させない状態で調光手段の遮光量を制御でき、被照射部に不用意に紫外光が出射されるのを防止できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
（実施形態１）
本実施形態の紫外線照射器の概略構成図を図１に示す。本実施形態の紫外線照射器は、上述した従来の紫外線照射器と略同様の構成を有しており、従来の紫外線照射器では、ＵＶセンサ１５でモニタ用ファイバー６ｂから出力される分岐光の光量を検出し、制御部１０でＵＶセンサ１５の検出結果に所定の換算値を乗じて被照射部に照射される照射量を推定しているため、実際に被照射部に照射される照射量とＵＶセンサ１５の検出結果から推定した照射量との間に誤差が発生する。それに対して本実施形態の紫外線照射器では、光量補正手段としての制御部１０が、調光シャッター１１が全閉位置と全開位置 との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における照射量の推定値と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差を照射量の推定値に加算して、照射量の推定値を補正している。尚、制御部１０以外の紫外線照射器の構成は、上述した従来の紫外線照射器と同様であるので、同一の構成要素についての説明は省略する。
【００２２】
以下に、制御部１０の動作について簡単に説明する。本実施形態では、モータ１６にパルスモータを用いており、調光シャッター１１を全開位置から全閉位置まで回転させるのに、制御部１０からモータ１６に例えば１８０パルスのパスル信号を出力するものとする。ここで、調光シャッター１１の初期位置を全開位置とすると、調光シャッター１１が全開位置にある場合に、制御部１０からモータ１６に出力されているパルス数Ｘは０パルスであり、調光シャッター１１を全閉位置まで移動させた時に、制御部１０からモータ１６に出力されたパルス数Ｘは１８０パルスである。また、調光シャッター１１の全開位置における調光率は１００％であり、調光シャッター１１の全閉位置における調光率は０％である。尚、調光率とは、調光シャッター１１が全開位置から全閉位置に回転するまでの調光シャッター１１の開口率（回転角の比）であり、制御部１０からモータ１６に入力されるパルス数Ｘによって決定される。
【００２３】
調光シャッター１１が全開位置（調光率１００％）から全閉位置（調光率０％）まで回転すると、調光シャッター１１によって遮光される紫外光の紫外線量が徐々に増加するため、被照射部への照射量が減少する。この時、モニタ用ファイバー６ｂにより分岐される分岐光の光量も減少するので、図３（ａ）に示すようにＵＶセンサ１５の出力電圧も徐々に低下する。制御部１０では、ＵＶセンサ１５の検出結果に所定の係数を乗じて、被照射部に照射される照射量（ＵＶ強度）を演算しており、演算により求めた照射量Ｕを図２（ｂ）に破線で示す。
【００２４】
ところで、調光シャッター１１の回転によって発生するメインファイバー６ａからの照射光の変化傾向と、モニタ用ファイバー６ｂからの分岐光の変化傾向との間には、ライトガイド６の種類や調光シャッター１１の形状によって差が生じるため、メインファイバー６ａから被照射部に照射される実際の照射量Ｖ（図２（ｂ）に実線で示す。）と、演算により求めた照射量Ｕとの間にも誤差が発生する。
【００２５】
ここで、本実施形態では調光シャッター１１が全開位置から全閉位置に移動するまでの移動範囲を、制御部１０からモータ１６に出力するパルス数Ｘに応じて５つの区間Ｗ１〜Ｗ５に分割している。すなわち、制御部１０からモータ１６に出力されるパルス数Ｘが、０以上且つ４０以下の区間をＷ１、４０以上且つ７０以下の区間をＷ２、７０以上且つ１００以下の区間をＷ３、１００以上且つ１３０以下の区間をＷ４、１３０以上且つ１８０以下の区間をＷ５に設定している。
【００２６】
そして、各区間の境界点におけるパルス数をＸ１，Ｘ２とし、パルス数がＸ（Ｘ１≦Ｘ≦Ｘ２）の位置に調光シャッター１１が移動した時点での演算により求めた照射量をＵとすると、制御部１０は以下の演算式により照射量Ｕを補正し、補正後の照射量Ｕ’を求めている。
【００２７】
【式１】

【００２８】
但し、Ｍ１は、パルス数がＸ１の位置に調光シャッター１１が移動した時点において、実際の照射量Ｌ１から照射量の推定値Ｋ１を引いた差分（Ｍ１＝Ｌ１−Ｋ１）であり、Ｍ２は、パルス数がＸ２の位置に調光シャッター１１が移動した時点において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分（Ｍ２＝Ｌ２−Ｋ２）である。
【００２９】
例えば各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点、すなわちパルス数Ｘが０パルス、４０パルス、７０パルス、１００パルス、１３０パルス、１８０パルスの時の照射量ＵをそれぞれＡ’，Ｂ’，Ｃ’，Ｄ’，Ｅ’，Ｆ’とし、パルス数Ｘが０パルス、４０パルス、７０パルス、１００パルス、１３０パルス、１８０パルスの時の照射量ＶをそれぞれＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆとすると、制御部１０では、各区間Ｗ１〜Ｗ５において、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点における実際の照射量Ｖと照射量の推定値Ｕとの差分（誤差）から、各区間Ｗ１〜Ｗ５内における誤差を近似する近似式を求め、各区間Ｗ１〜Ｗ５内の任意の位置において、この近似式を用いて求めた誤差を推定値Ｕに加算することにより、区間補正を行っている。尚、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点における実際の照射量Ａ〜Ｆは、被照射部に照射される照射量を予め実測した値が制御部１０に設定されている。
【００３０】
つまり、パルス数Ｘが０パルスの位置において、照射量の推定値Ｕと実際の推定値Ｖとの誤差をａ１（＝Ａ−Ａ’）、パルス数Ｘが４０パルスの位置において、照射量の推定値Ｕと実際の推定値Ｖとの誤差をｂ１（＝Ｂ−Ｂ’）とすると、区間Ｗ１（４０−０＝４０パルス）においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００３１】
【式２】

【００３２】
パルス数Ｘが７０パルスの位置において、照射量の推定値Ｕと実際の推定値Ｖとの誤差をｃ１（＝Ｃ−Ｃ’）とすると、区間Ｗ２（７０−４０＝３０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００３３】
【式３】

【００３４】
パルス数Ｘが１００パルスの位置において、照射量の推定値Ｕと実際の推定値Ｖとの誤差をｄ１（＝Ｄ−Ｄ’）とすると、区間Ｗ３（１００−７０＝３０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００３５】
【式４】

【００３６】
パルス数Ｘが１３０パルスの位置において、照射量の推定値Ｕと実際の推定値Ｖとの誤差をｅ１（＝Ｅ−Ｅ’）とすると、区間Ｗ４（１３０−１００＝３０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００３７】
【式５】

【００３８】
パルス数Ｘが１８０パルスの位置において、照射量の推定値Ｕと実際の推定値Ｖとの誤差をｆ１（＝Ｅ−Ｅ’）とすると、区間Ｗ５（１８０−１３０＝５０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００３９】
【式６】

【００４０】
上述のように、制御部１０では、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点における照射量の推定値Ｕと実際の照射量Ｖとの誤差（例えば区間Ｗ１ではパルス数Ｘが０パルスと４０パルスでの差ａ，ｂ）に基づいて各区間内での誤差を直線で近似している。そして、誤差を近似した近似式を用いて各区間Ｗ１〜Ｗ５内の任意の位置における誤差を求め、照射量の推定値Ｕに加算しており、図３（ｄ）に示すように補正後の照射量Ｕ’と実測値Ｖとを略一致させることができる。
【００４１】
尚、本実施形態では各区間Ｗ１〜Ｗ５において、各区間内での照射量の推定値Ｕと実際の照射量Ｖとの誤差を直線で補正しているが、二次曲線で補正しても良く、同様の効果を得ることができる。また、上述の各式では制御部１０からモータ１６に出力するパルス数Ｘを変数としているが、パルス数Ｘの代わりに調光率を用いても良い。また本実施形態では、調光シャッター１１が全開位置から全閉位置へ移行するまでの移動範囲を５つの区間Ｗ１〜Ｗ５に分割しているが、区間の数を５つに限定する趣旨のものではなく、調光シャッター１１の形状によって、パルス数Ｘに対する強度換算値Ｕの変化傾向が変化した場合は、その変化傾向に合わせて区間の数を増減させれば良い。
【００４２】
（実施形態２）
実施形態１では、制御部１０は、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点における照射量の推定値Ｕと実際の照射量Ｖとの差（例えば区間Ｗ１では０パルスと４０パルスでの差ａ，ｂ）から、各区間内での両者の誤差を近似する近似式を求め、この近似式から区間内の任意の位置における誤差を求めて推定値Ｕに加算しているため、誤差が変化しない場合は有効であるが、例えば紫外線ランプ１の劣化に伴って、図４に示すよう実際の照射量Ｖ及び照射量の推定値Ｕが変化し、両者の誤差も変化する場合は、時間の経過とともに補正後の照射量Ｕ’と実際の照射量Ｖとが一致しなくなる場合がある。尚、図４中のイ、ロは紫外線ランプ１が劣化する前の照射量Ｕ、Ｖをそれぞれ示し、図４中のハ，ニは劣化後の照射量Ｕ、Ｖをそれぞれ示している。例えばパルス数がＸａの位置に調光シャッター１１がある場合に、実際の照射量Ｖが劣化前後でＧからＧ１に変化し、照射量の推定値Ｕが劣化前後でＧ’からＧ１’に変化したとすると、劣化前後で両者の誤差が変化している。
【００４３】
そこで、本実施形態の紫外線照射装置では、実施形態１と同様に、調光シャッター１１の移動範囲を、制御部１０からモータ１６に出力するパルス数Ｘに応じて５つの区間Ｗ１〜Ｗ５に分割しており、各区間の境界点におけるパルス数をＸ１，Ｘ２とし、パルス数がＸ（Ｘ１≦Ｘ≦Ｘ２）の位置に調光シャッター１１が移動した時点での演算により求めた照射量をＵとすると、制御部１０は以下の演算式により照射量Ｕを補正し、補正後の照射量Ｕ’を求めている。尚、紫外線照射器の構成は実施形態１と同様であるので、その説明は省略し、異なる部分についてのみ説明を行う。
【００４４】
【式７】

【００４５】
但し、Ｎ１は、パルス数がＸ１の位置に調光シャッター１１が移動した時点において、実際の照射量Ｌ１から照射量の推定値Ｋ１を引いた差分の推定値Ｋ１に対する比率（Ｎ１＝（Ｌ１−Ｋ１）／Ｋ１）であり、Ｎ２は、パルス数がＸ２の位置に調光シャッター１１が移動した時点において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率（Ｍ２＝（Ｌ２−Ｋ２）／Ｋ２）である。
【００４６】
例えば、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点、すなわとパルス数Ｘが０パルス、４０パルス、７０パルス、１００パルス、１３０パルス、１８０パルスの時の紫外線の強度換算値ＵをそれぞれＡ’，Ｂ’，Ｃ’，Ｄ’，Ｅ’，Ｆ’とし、パルス数Ｘが０パルス、４０パルス、７０パルス、１００パルス、１３０パルス、１８０パルスの時にメインファイバー６ａから照射される紫外光の実測値ＶをそれぞれＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆとすると、制御部１０では、各区間Ｗ１〜Ｗ５において、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点における実際の照射量Ｖと照射量の推定値Ｕとの差分の推定値Ｕに対する比率から、各区間Ｗ１〜Ｗ５内における誤差を近似する近似式を求め、各区間Ｗ１〜Ｗ５内の任意の位置において、この近似式を用いて求めた誤差を推定値Ｕに加算することにより、区間補正を行っている。
【００４７】
つまり、パルス数Ｘが０パルスの位置において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率をａ２（＝（Ａ−Ａ’）／Ａ’）、パルス数Ｘが４０パルスの位置において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率をｂ２（＝（Ｂ−Ｂ’）／Ｂ’）とすると、区間Ｗ１（４０−０＝４０パルス）においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００４８】
【式８】

【００４９】
パルス数Ｘが７０パルスの位置において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率をｃ２（＝（Ｃ−Ｃ’）／Ｃ’）とすると、区間Ｗ２（７０−４０＝３０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００５０】
【式９】

【００５１】
パルス数Ｘが１００パルスの位置において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率をｄ２（＝（Ｄ−Ｄ’）／Ｄ’）とすると、区間Ｗ３（１００−７０＝３０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００５２】
【式１０】

【００５３】
パルス数Ｘが１３０パルスの位置において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率をｅ２（＝（Ｅ−Ｅ’）／Ｅ’）とすると、区間Ｗ４（１３０−１００＝３０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００５４】
【式１１】

【００５５】
パルス数Ｘが１８０パルスの位置において、実際の照射量Ｌ２から照射量の推定値Ｋ２を引いた差分の推定値Ｋ２に対する比率をｆ２（＝（Ｆ−Ｆ’）／Ｆ’）とすると、区間Ｗ５（１８０−１３０＝５０（パルス））においてパルス数がＸの時の補正後の照射量Ｕ’は次式のようになる。
【００５６】
【式１２】

【００５７】
このように、制御部１０では、各区間Ｗ１〜Ｗ５の境界点における実際の照射量Ｖから照射量の推定値Ｕを引いた差分の推定値Ｕに対する比率に基づいて、各区間内での強度換算値Ｕと実測値Ｖとの誤差を直線補正で推測し、その比率に推定値Ｕを乗じて誤差を求めているので、経時変化などによって誤差が照射量Ｕに応じて変動した場合でも、補正後の照射量Ｕ’と実際の照射量Ｖとを略一致させることができる。
【００５８】
尚、本実施形態では各区間Ｗ１〜Ｗ５において、各区間内での照射量の推定値Ｕと実際の照射量Ｖとの誤差を直線で補正しているが、二次曲線で補正しても良く、同様の効果を得ることができる。また、上述の各式では制御部１０からモータ１６に出力するパルス数Ｘを変数としているが、パルス数Ｘの代わりに調光率を用いても良い。また本実施形態では、調光シャッター１１が全開位置から全閉位置へ移行するまでの移動範囲を５つの区間Ｗ１〜Ｗ５に分割しているが、区間の数を５つに限定する趣旨のものではなく、調光シャッター１１の形状によって、パルス数Ｘに対する強度換算値Ｕの変化傾向が変化した場合は、その変化傾向に合わせて区間の数を増減させれば良い。
【００５９】
（実施形態３）
図５に本実施形態の紫外線照射器の一部省略せる概略構成図を示す。実施形態１又は２の紫外線照射器では、メインファイバー６ａとモニタ用ファイバー６ｂとでライトガイド６を構成しているが、本実施形態ではメインファイバー６ａのみでライトガイド６を構成している。また、実施形態１又は２の紫外線照射器では、紫外線ランプ１と調光シャッター１１との間の光路に出射シャッター７を設けているが、本実施形態では、調光シャッター１１と出射口３との間の光路に出射シャッター７を設け、さらに調光シャッター１１と出射シャッター７との間の光路にハーフミラー１８を設けている。そして、紫外線ランプ１から出射口３に入射する紫外光の一部をハーフミラー１８で分岐し、分岐された紫外光をレンズ１９で集光してモニタ用ファイバー６ｂに入射させ、モニタ用ファイバー６ｂに入射された紫外光は入射シャッター１７を介してＵＶセンサ１５に入射されている。
【００６０】
この紫外線照射器の動作を簡単に説明する。先ず紫外線ランプ１を発光させ、紫外線ランプ１から照射された紫外光を反射鏡２で調光シャッター１１に集光させる。モータ１６は制御部１０からの信号に応じて調光シャッター１１の開度を変化させており、ハーフミラー１８側に出射される紫外光の紫外線量が制御される。ハーフミラー１８では、調光シャッター１１を介して入射した紫外光の一部をモニタ用ファイバー６ｂに分岐するとともに、残りの紫外光を出射シャッター７を介して出射口３に照射する。そして出射口３に入射された紫外光はライトガイド６に導かれて被照射部に照射される。
【００６１】
一方、ハーフミラー１８で分岐された紫外光はレンズ１９により集光されて、モニタ用ファイバー６ｂに照射される。モニタ用ファイバー６ｂに照射された紫外光は入射シャッター１７を介してＵＶセンサ１５に入射され、ＵＶセンサ１５は入射された紫外線の強度に応じた電圧信号（又は電流信号）を検出信号として制御部１０に出力する。制御部１０では、ＵＶセンサ１５の検出信号に基づいて被照射部に照射される紫外線の強度を推定しており、予め設定された紫外線強度と推定値との間に偏差があれば、偏差をなくす方向へ調光シャッター１１を回転させるよう、モータ１６に駆動信号を出力する。尚、制御部１０では、実施形態１又は２と同様の方法で、ＵＶセンサ１５の検出結果から求めた紫外線強度と実際の紫外線強度との誤差を補正している。
【００６２】
このように、本実施形態では出射シャッター７の前段で紫外線ランプ１から照射された紫外光の一部を分岐し、分岐された紫外光をＵＶセンサ１５に入射させているので、出射シャッター７を閉じた状態でも、ＵＶセンサ１５を用いてモニタ用ファイバー６ｂに分岐される紫外光の紫外線量を検出して、被照射部に照射される紫外線量を調光することができる。したがって、出射シャッター７を閉じた状態で被照射部に照射される紫外線量を調光すれば、紫外線量を調整する際にメインファイバー６ａから外部へ紫外光が不用意に出射されるのを防止でき、安全性を高めることができる。
【００６３】
【発明の効果】
上述のように、請求項１の発明は、紫外線ランプと、紫外線ランプを点灯させる点灯手段と、紫外線ランプから照射された紫外光を被照射部に導くための導光路と、紫外線ランプと導光路との間の光路に、紫外線ランプの紫外光を全て遮光する全閉位置と紫外光を全て導光路に照射させる全開位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段と、調光手段と導光路との間の光路に設けられ、導光路に入射する紫外光の一部を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐された分岐光の光量を検出する分岐光検出手段と、分岐光検出手段の検出結果に基づいて被照射部への照射量を推定する光量推定手段と、光量推定手段の推定結果に基づいて調光手段が遮光する紫外線量を制御し、被照射部への照射量を制御する光量制御手段とを備え、調光手段が全開位置と全閉位置との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差により光量推定手段の推定結果を補正する光量補正手段を設けたことを特徴とし、分岐光検出手段では分岐手段により分岐された紫外線の光量を検出し、光量推定手段では、分岐光検出手段の検出結果から被照射部に照射される紫外光の照射量を推定しており、光量補正手段では、上記各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差に基づいて、各区間内における誤差を近似する近似式を求め、この近似式から区間内の任意の位置における誤差を求め、光量推定手段の推定した照射量を補正しているので、調光手段の移動に応じて発生する分岐光検出手段の検出結果の変化割合と被照射部への照射量の変化割合とが異なる場合でも、被照射部に照射される照射量を正確に検出して、フィードバックすることができる紫外線照射器を実現できるという効果がある。
【００６４】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、導光路と分岐手段との間の光路に、分岐手段により分岐された分岐光以外の紫外光を導光路に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に設けられた出射シャッターを備えて成ることを特徴とし、出射シャッターは導光路と分岐手段との間の光路に設けられているので、出射シャッターが紫外光を遮光しているか否かに関係なく、分岐光検出手段により分岐手段で分岐された分岐光の光量を検出することができ、且つ、分岐光以外の紫外光を全て遮光する位置に出射シャッターを移動させることによって、導光路から被照射部に紫外光を出射させない状態で調光手段の遮光量を制御することのできる紫外線照射器を実現できるという効果がある。
【００６５】
請求項３の発明は、紫外線ランプと、紫外線ランプを点灯させる点灯手段と、紫外線ランプから照射された紫外光を被照射部に導くための導光路と、紫外線ランプと導光路との間の光路に、紫外線ランプの紫外光を全て遮光する全閉位置と紫外光を全て導光路に照射させる全開位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段と、調光手段と導光路との間の光路に設けられ、導光路に入射する紫外光の一部を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐された分岐光の光量を検出する分岐光検出手段と、分岐光検出手段の検出結果に基づいて被照射部への照射量を推定する光量推定手段と、光量推定手段の推定結果に基づいて調光手段が遮光する紫外線量を制御し、被照射部への照射量を制御する光量制御手段とを備え、調光手段が全開位置と全閉位置との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差により光量推定手段の推定結果を補正する光量補正手段を設けた紫外線照射器の照射量制御方法であって、分岐光検出手段が分岐手段により分岐された分岐光の紫外線量を検出し、光量推定手段が分岐光検出手段の検出結果から被照射部への照射量を推定した後、光量補正手段が上記近似式から求めた誤差を光量推定手段の推定した照射量に加算することにより照射量を補正することを特徴とし、分岐光検出手段では分岐手段により分岐された紫外線の光量を検出し、光量推定手段では、分岐光検出手段の検出結果から被照射部に照射される紫外光の照射量を推定しており、光量補正手段では、上記各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差に基づいて、各区間内における誤差を近似する近似式を求め、この近似式から区間内の任意の位置における誤差を求め、光量推定手段の推定した照射量を補正しているので、調光手段の移動に応じて発生する分岐光検出手段の検出結果の変化割合と被照射部への照射量の変化割合とが異なる場合でも、被照射部に照射される照射量を正確に検出して、フィードバックすることができるという効果がある。
【００６６】
請求項４の発明は、請求項３の発明において、ある区間の境界点における調光手段の位置をＸ１，Ｘ２とし、調光手段が位置Ｘ１，Ｘ２に移動した時点において、それぞれ、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分をＭ１，Ｍ２とし、調光手段が当該区間内の位置Ｘに移動した時点において、光量推定手段の推定した照射量をＵ、光量補正手段により補正した照射量をＵ’とすると、光量補正手段は、
Ｕ’＝Ｕ＋（Ｍ１×（Ｘ２−Ｘ）＋Ｍ２×（Ｘ−Ｘ１））／（Ｘ２−Ｘ１）
という演算を行って照射量を補正したことを特徴とし、各区間の境界点における照射量の推定値と実際の照射量との誤差に基づいて、当該区間内における誤差を直線で近似しているので、光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差を簡単な演算で補正することができるという効果がある。
【００６７】
請求項５の発明は、請求項３の発明において、ある区間の境界点における調光手段の位置をＸ１，Ｘ２とし、調光手段が位置Ｘ１，Ｘ２に移動した時点において、それぞれ、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分の光量推定手段が推定した照射量に対する比率をＮ１，Ｎ２とし、調光手段が当該区間内の位置Ｘに移動した時点において、光量推定手段の推定した照射量をＵ、光量補正手段により補正した照射量をＵ’とすると、光量補正手段は、
Ｕ’＝Ｕ＋Ｕ×（Ｎ１×（Ｘ２−Ｘ）＋Ｎ２×（Ｘ−Ｘ１））／（Ｘ２−Ｘ１）
という演算を行って照射量を補正したことを特徴とし、各区間の境界点において、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分の光量推定手段が推定した照射量に対する比率から、当該区間内における誤差を直線で近似しているので、光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差を簡単な演算で補正することができ、且つ、上記比率に光量推定手段の推定した照射量を乗じて誤差を求めているので、経時変化などによって誤差が照射量に応じて変動した場合でも、被照射部に照射される光量を正確に補正できるという効果がある。
【００６８】
請求項６の発明は、請求項３の発明において、光量補正手段は、各区間内において誤差を二次曲線で近似したことを特徴とし、請求項３の発明と同様の効果をそうする。
【００６９】
請求項７の発明は、請求項３の発明において、導光路と分岐手段との間の光路に設けられ、分岐手段により分岐された分岐光以外の紫外光を導光路に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に移動する出射シャッターを、紫外光を全て遮光する位置に移動させた状態で、分岐光検出手段が分岐手段により分岐された分岐光の紫外線量を検出し、光量推定手段が分岐光検出手段の検出結果から被照射部への照射量を推定した後、光量補正手段が上記近似式から求めた誤差を光量推定手段の推定した照射量に加算することにより照射量を補正することを特徴とし、出射シャッターは導光路と分岐手段との間の光路に設けられているので、出射シャッターが紫外光を遮光しているか否かに関係なく、分岐光検出手段により分岐手段で分岐された分岐光の光量を検出することができ、且つ、分岐光以外の紫外光を全て遮光する位置に出射シャッターを移動させることによって、導光路から被照射部に紫外光を出射させない状態で調光手段の遮光量を制御でき、被照射部に不用意に紫外光が出射されるのを防止できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１及び従来の紫外線照射器の概略構成図である。
【図２】同上に用いるライトガイドの概略図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は同上の照射量補正方法を説明する説明図である。
【図４】実施形態２の紫外線照射器の照射量補正方法を説明する説明図である。
【図５】実施形態３の紫外線照射器の一部省略せる概略構成図である。
【図６】（ａ）は同上に用いるメインファイバーの断面図であり、（ｂ）は同上に用いるモニタ用ファイバーの断面図である。
【図７】従来の紫外線照射器の概略構成図である。
【図８】（ａ）（ｂ）は同上に用いる調光シャッターの動作を説明する図である。
【図９】同上の紫外線強度の別の調整方法を説明する図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は同上に用いるライトガイドの断面図である。
【図１１】（ａ）は同上に用いる調光シャッターのエッジ形状を示す図であり、（ｂ）は調光シャッターの開閉位置と被照射部に照射されるＵＶ強度との関係を示す図である。
【図１２】（ａ）は同上に用いる別の調光シャッターのエッジ形状を示す図であり、（ｂ）は調光シャッターの開閉位置と被照射部に照射されるＵＶ強度との関係を示す図である。
【符号の説明】
１ 紫外線ランプ
６ ライトガイド
６ｂ 分岐用ファイバー
１０ 制御部
１１ 調光シャッター
１５ ＵＶセンサ

Claims (7)

1. 紫外線ランプと、紫外線ランプを点灯させる点灯手段と、紫外線ランプから照射された紫外光を被照射部に導くための導光路と、紫外線ランプと導光路との間の光路に、紫外線ランプの紫外光を全て遮光する全閉位置と紫外光を全て導光路に照射させる全開位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段と、調光手段と導光路との間の光路に設けられ、導光路に入射する紫外光の一部を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐された分岐光の光量を検出する分岐光検出手段と、分岐光検出手段の検出結果に基づいて被照射部への照射量を推定する光量推定手段と、光量推定手段の推定結果に基づいて調光手段が遮光する紫外線量を制御し、被照射部への照射量を制御する光量制御手段とを備え、調光手段が全開位置と全閉位置との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差により光量推定手段の推定結果を補正する光量補正手段を設けたことを特徴とする紫外線照射器。
2. 導光路と分岐手段との間の光路に、分岐手段により分岐された分岐光以外の紫外光を導光路に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に設けられた出射シャッターを備えて成ることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射器。
3. 紫外線ランプと、紫外線ランプを点灯させる点灯手段と、紫外線ランプから照射された紫外光を被照射部に導くための導光路と、紫外線ランプと導光路との間の光路に、紫外線ランプの紫外光を全て遮光する全閉位置と紫外光を全て導光路に照射させる全開位置との間で移動自在に設けられ、遮光する紫外線量を変化させることによって被照射部への照射量を調光する調光手段と、調光手段と導光路との間の光路に設けられ、導光路に入射する紫外光の一部を分岐する分岐手段と、分岐手段により分岐された分岐光の光量を検出する分岐光検出手段と、分岐光検出手段の検出結果に基づいて被照射部への照射量を推定する光量推定手段と、光量推定手段の推定結果に基づいて調光手段が遮光する紫外線量を制御し、被照射部への照射量を制御する光量制御手段とを備え、調光手段が全開位置と全閉位置との間で移動する移動範囲を複数の区間に分割し、各区間の境界点における光量推定手段の推定した照射量と実際の照射量との誤差から各区間内において誤差を近似する近似式を求め、該近似式から求めた誤差により光量推定手段の推定結果を補正する光量補正手段を設けた紫外線照射器の照射量制御方法であって、分岐光検出手段が分岐手段により分岐された分岐光の紫外線量を検出し、光量推定手段が分岐光検出手段の検出結果から被照射部への照射量を推定した後、光量補正手段が上記近似式から求めた誤差を光量推定手段の推定した照射量に加算することにより照射量を補正することを特徴とする紫外線照射器の照射量制御方法。
4. ある区間の境界点における調光手段の位置をＸ１，Ｘ２とし、調光手段が位置Ｘ１，Ｘ２に移動した時点において、それぞれ、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分をＭ１，Ｍ２とし、調光手段が当該区間内の位置Ｘに移動した時点において、光量推定手段の推定した照射量をＵ、光量補正手段により補正した照射量をＵ’とすると、光量補正手段は、
   Ｕ’＝Ｕ＋（Ｍ１×（Ｘ２−Ｘ）＋Ｍ２×（Ｘ−Ｘ１））／（Ｘ２−Ｘ１）
   という演算を行って照射量を補正したことを特徴とする請求項３記載の紫外線照射器の照射量制御方法。
5. ある区間の境界点における調光手段の位置をＸ１，Ｘ２とし、調光手段が位置Ｘ１，Ｘ２に移動した時点において、それぞれ、実際の照射量から光量推定手段が推定した照射量を引いた差分の光量推定手段が推定した照射量に対する比率をＮ１，Ｎ２とし、調光手段が当該区間内の位置Ｘに移動した時点において、光量推定手段の推定した照射量をＵ、光量補正手段により補正した照射量をＵ’とすると、光量補正手段は、
   Ｕ’＝Ｕ＋Ｕ×（Ｎ１×（Ｘ２−Ｘ）＋Ｎ２×（Ｘ−Ｘ１））／（Ｘ２−Ｘ１）
   という演算を行って照射量を補正したことを特徴とする請求項３記載の紫外線照射器の照射量制御方法。
6. 光量補正手段は、各区間内において誤差を二次曲線で近似したことを特徴とする請求項３記載の紫外線照射器の照射量制御方法。
7. 導光路と分岐手段との間の光路に設けられ、分岐手段により分岐された分岐光以外の紫外光を導光路に全て入射させる位置と紫外光を全て遮光する位置との間で移動自在に移動する出射シャッターを、紫外光を全て遮光する位置に移動させた状態で、分岐光検出手段が分岐手段により分岐された分岐光の紫外線量を検出し、光量推定手段が分岐光検出手段の検出結果から被照射部への照射量を推定した後、光量補正手段が上記近似式から求めた誤差を光量推定手段の推定した照射量に加算することにより照射量を補正することを特徴とする請求項３記載の紫外線照射器の照射量制御方法。

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