JP3893438B2 - 半導体実装用基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体実装用基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、接合信頼性に優れた半導体実装用基板、およびこの半導体実装用基板を用いた半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体における電極間の接合技術には、リードフレームと金属製の細線を用いるワイヤーボンディング方式と、テープあるいは基板と金属等の突起物を利用するバンプ接合方式が存在し、後者の例としてはSiウェハー上でバンプをめっきするウェハーバンプ法、あらかじめ形成させたバンプを転写させる転写バンプ法、接合後の金の細線を切断してバンプを得るスタッドバンプ法、そして球状バンプを用いるボールバンプ法等が挙げられる。
【0003】
バンプ接合方式を用いた一技術である、テープBGA(Ball Grid Array) およびTAB(Tape Automated Bonding)の方式では、テープの使用により、リードフレームおよびワイヤを用いた現在主流のワイヤーボンディング方式よりも薄型の実装が可能である。
【0004】
テープBGA方式では図6(a)に示すように、ポリイミドテープ27上にCuから成る配線21を配し、そのCu配線21と半導体チップ26上のAl電極25とを、バンプあるいはワイヤ状のAuから成る接合材料24にて接合する。また、図6(b)に示すように、樹脂29で封止した半導体チップ26を外部接続端子30にて半導体基板に接合するBGA方式では、封止した樹脂29中の半導体チップ26と半導体装置実装用基板28上のCu配線21とはAuから成る接合材料24にて接続する接続法が一般的である。
【0005】
一般に、テープBGA、TAB、およびBGA方式においては、図6(a)及び図6(b)にあるように、Cu配線21の酸化防止および接合材料との接合性の向上を目的として、主としてSnあるいはSn合金薄膜23をCu配線上に設置する。従って、これら方式では、Auから成る接合材料24を、Cu配線21上に設置されたSnあるいはSn合金薄膜23に接合させる接合方法が主流であり、この方式は例えば特開平3−250638号公報に開示されている。
【0006】
一方、今後その利用の増加が見込まれる実装方式としては、図6(c)に示すように、複数の半導体チップ26上のAl電極25を接合材料24にて半導体モジュール用基板31上のCu配線21に接合してモジュールとするMCM(Multi Chip Module) 方式、そして、図6(d)に示すように、樹脂封止せずに半導体チップ26上のAl電極25を接合材料24にて直接フリップチップ実装用基板32上のCu配線21に接合するベアチップ実装型のFC(Flip Chip) 方式、が挙げられる。
【0007】
MCMおよびFC方式では、接合材料としていくつかの材料が用いられているが、その中でも半田合金を用いる手法が今後増加すると見込まれ、例えば特開平6−84919号公報に開示されている。
【0008】
本明細書中では、上述のテープBGA、TAB、BGA、ワイヤーボンディング、MCMおよびFCの各方式を用いて接合された半導体部品を、総合して半導体装置と称する。
【0009】
MCMおよびFC方式においても、Cu配線上に設置されたSnあるいはSn合金薄膜をAuから成る接合材料にて半導体チップのAl電極に接合する接合方法が必然的に行われると考えられる。なぜなら、SnあるいはSn合金薄膜とAuから成る接合材料との接合は前述の通りTAB方式等で既に実用化されており、かつ、Auでは半田合金よりも微細な加工が可能であるため、Auから成る接合材料の利用は半導体装置の小型化という技術動向に寄与できるからである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
従来のテープBGA、TAB、およびBGA方式にて用いられてきたように、ポリイミドテープあるいは半導体基板上のCu配線上に設置されたSn薄膜と半導体チップの電極とをAuから成る接合材料にて接合させると、Au−Sn系金属間化合物の成長に伴いCu界面にてクラックやヴォイドが出現し、Sn薄膜側の接合部における接合強度が著しく低下する。これは、接合後は半導体装置としての使用時に発生する熱に起因して、AuとSnの間に拡散が生じ、その拡散によりAu−Sn系金属間化合物がCu界面近傍まで成長することによる。
【0011】
この場合、Cu配線上に設置されたSnあるいはSn合金薄膜とAuから成る接合材料とを接合させると、接合直後は良好な接合強度が得られる場合もあった。しかし、接合後一定時間が経過すると、Cu界面にてクラックやヴォイドが出現し、かつ、接合部の接合強度も低下するという問題が発生していた。
【0012】
また、半導体装置の小型化または薄型化という技術動向に対応するため、接合材料は小型化し、かつ、その間隔は必然的に狭くなる傾向にある。一般に、接合材料の小型化を行う際は接合面積の低下に伴い単位面積当たりの接合強度を強化する必要があり、かつ、半導体装置の使用時に発生する熱による影響は接合材料の間隔が狭くなる程顕著になる。
【0013】
従って、テープBGA、TAB、およびBGA方式での、SnあるいはSn合金薄膜をCu配線上に設置した電極とAuから成る接合材料との接合部における長期信頼性の維持は、今後益々重要となる。
【0014】
本発明は、このような問題を解決するために成されたものであり、Cuから成る材料とAuから成る材料がSn薄膜を介して接続された構造を有する半導体装置において、Snから成る材料とAuから成る材料との接合部にて、良好な長期信頼性を維持することを可能とした半導体実装用基板、半導体装置及びこれらの製造方法を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体実装用基板は、絶縁性の樹脂板、絶縁性の樹脂テープ、絶縁性のセラミックス板、あるいはこれらの複合材料上に、Cu又はCu合金から成る電極が形成された構造を有する半導体実装用基板であって、前記電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、前記Sn又はSn合金薄膜がAuからなる接続材料と接続され、前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内である。
【0018】
本発明の半導体実装用基板の一態様例においては、前記Sn又はSn合金薄膜の厚さが0.3μm以上である。
【0019】
本発明の半導体装置は、絶縁性の樹脂板、絶縁性の樹脂テープ、絶縁性のセラミックス板、あるいはこれらの複合材料上にCu又はCu合金から成る第1の電極が形成された構造を有する半導体実装用基板と、第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が構成され、前記Sn又はSn合金薄膜はAuから成る接続材料と接続されており、前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であり、前記接続材料が前記第2の電極と接続されている。
【0020】
本発明の半導体装置は、Cu又はCu合金から成る第1の電極が形成された、ポリイミドテープ、半導体装置実装用基板又はリードフレームのインナーリードと、第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であり、前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極とがAuから成る接続材料によって接続されている。
【0021】
本発明の半導体装置は、Cu又はCu合金から成る第1の電極が形成された半導体モジュール用基板と、第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極とがAuから成る接続材料によって接続され、前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内である。
【0022】
本発明の半導体装置は、Cu又はCu合金から成る第1の電極が形成されたフリップチップ実装用基板と、第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極とがAuから成る接続材料によって接続され、前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内である。
【0024】
本発明の半導体装置の一態様例においては、前記Sn又はSn合金薄膜の厚さが0.3μm以上である。
【0028】
本発明の半導体実装用基板の製造方法は、絶縁性の樹脂板、絶縁性の樹脂テープ、絶縁性のセラミックス板、あるいはこれらの複合材料上にCu又はCu合金から成る第1の電極が形成された半導体実装用基板と、第2の電極が形成された半導体チップとが電気的に接続された半導体装置の製造方法であって、前記第1の電極上にSn又はSn合金薄膜を形成する工程と、熱処理を施すことにより、前記第1の電極と前記Sn又はSn合金薄膜の間にCu−Sn系金属間化合物層を形成する工程と、Auから成る接続材料により前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極を接続する工程とを有し、前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内である。
【0030】
本発明の半導体装置の製造方法の一態様例においては、前記熱処理後の前記SnあるいはSn合金薄膜層を0.3μm以上の厚さに形成する。
【0031】
Au−Sn系およびCu−Sn系金属間化合物では、Au−Sn系金属間化合物の成長の方がCu−Sn系金属間化合物のそれよりも速いため、Cu、Sn、そしてAuが表記の順に設置された材料においては、Au−Sn系が優先的に成長し、Cu−Sn系の成長は抑制される。従って、Cu配線上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn薄膜が形成された構造にAuから成る接合材料を接合すれば、半導体装置としての使用時に発生する熱に起因して成長するAu−Sn系金属間化合物はCu界面に到達できなくなり、Cu界面でのクラックやヴォイドの出現を抑止できる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を説明する。本実施形態に係る半導体装置は、半導体実装用基板と半導体チップとが接合材料により電気的に接続されている。半導体実装用基板上においては、Cu又はCu合金からなる電極上にCu−Sn系金属間化合物層及びSn又はSn合金薄膜が形成されている。一方、半導体チップには電極が形成されている。半導体チップの電極とSn又はSn合金薄膜とをAuから成る接合材料を用いて接合することにより、半導体実装用基板と半導体チップとが接合されている。
【0033】
この際、Au−Sn系およびCu−Sn系金属間化合物では、前者の成長の方が後者のそれよりも速いため、Cu、Sn及びAuがこの順に形成された材料において、Cu上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn薄膜を形成し、このSn薄膜にAuから成る接合材料を接合すれば、Cu界面でのクラックやヴォイドの出現を抑止できる。
【0034】
半導体装置としては、テープBGA方式、BGA方式又はTAB方式の半導体装置に適用することができる。
【0035】
また、上記の方式以外にも、リードフレームと半導体チップとを金属製の細線により接続する、ワイヤーボンディング方式の半導体装置に適用しても、同様の効果が得られた。これらは、接合直後および接合後に行う加速加熱試験時の、接合強度の評価および接合部の断面観察から確認することができた。
【0036】
なお、上記の効果を示すCu−Sn系金属間化合物層は主としてCu3 Sn相およびCuSn相から成るが、本化合物層の厚さが0.3μm未満である場合は、Auから成る接合材料とSn薄膜とを接合させると、Cu界面近傍にてクラックやヴォイドが形成され接合強度が著しく低下するため、0.3μm未満という化合物層の厚さは接合部における長期信頼性の向上には不充分な厚さといえる。厚さが5μmを超える場合は、その作製に比較的大きなコストを要するため実用上望ましくない。従って、本化合物の厚さは0.3〜5μmとするのが好ましい。
【0037】
Auから成る接合材料をSn薄膜上に接合させた後では、Cu配線とSn薄膜の間にCu−Sn系金属間化合物は成長しない。よって、接合部の信頼性の確保に必要なCu−Sn系金属間化合物を確実に形成させるには、Sn薄膜と半導体チップ上のAl電極とをAuから成る接合材料にて接合する前に、例えば熱処理法を用いて、Cu配線とSn薄膜の間にあらかじめCu−Sn系金属間化合物を形成させる方法が望ましい。
【0038】
一般に、金属間化合物の作製にはめっき法、蒸着法、あるいは析出法などが挙げられるが、これらはいずれも複雑な工程や高価な製造設備を必要とする。しかしながら、熱処理法は、加熱を要するのみであるため複雑な工程も高価な製造設備も不要となり、目的の金属間化合物を精度良く短時間で作製するのに適しているからである。
【0039】
なお、後述する実施例において強度の低下の生じた試料の接合部には、Cu−Sn系金属間化合物は確認されなかった。また、Cu−Sn系金属間化合物の成長速度は比較的遅いため、半導体装置の接合等の目的で当該ポリイミドテープあるいは半導体基板を加熱する程度では、Cu配線とSn薄膜の間にはCu−Sn系金属間化合物は形成されないことが確認されている。
【0040】
さらに、具体的な当該化合物の形成条件としては、100〜231℃の温度領域にて1〜10時間の熱処理条件で行うのが好ましい。なぜなら、100℃未満の熱処理では所定の厚さのCu−Sn系金属間化合物層を形成するのに長い熱処理時間を要するため実用上不向きであり、かつ、231℃以上の熱処理温度ではSnの融点を超えるためSnが溶解して接続用端子間を短絡する危険性があるからである。また、熱処理の雰囲気としては、N2 、大気、あるいはAr等の不活性ガスのいずれを用いても、得られる効果は同等に良好であったが、操業上のコストの面からN2 あるいは大気中で熱処理するのが望ましい。
【0041】
また、Auから成る接合材料を良好に接合させるためには、Cu−Sn系金属間化合物の形成後のSn層は薄くとも0.3μm必要である。
【0042】
なお、本明細書における半導体チップの電極はAl, Cu, あるいはAuから成ることでよく、本明細書におけるAuおよびAlは、Auを主体とする合金およびAlを主体とする合金をそれぞれ含むものとする。
【0043】
【実施例】
本発明の実施例として図1〜図4及び図5に示すような半導体装置を作製した。
【0044】
ここで、図1は本発明をテープBGA方式の半導体装置に適用した態様(試料)を示している。ポリイミドテープ7上にCu電極1が形成され、Cu電極1上にCu−Sn系金属間化合物2、Sn又はSn合金薄膜3が順次形成されている。
【0045】
半導体チップ6にはAl電極5が形成されている。そして、ポリイミドテープ7上のSn又はSn合金薄膜3とAl電極5とは、Auからなる接合材料4によって接合されている。
【0046】
図2は、本発明をBGA方式の半導体装置に適用した態様(試料)を示している。BGA方式においては、半導体装置実装用基板8上にCu電極1が形成されている。その他の構成はテープBGA方式と同様に構成されてる。
【0047】
図3は、本発明をMCM方式の半導体装置に適用した態様(試料)を示している。MCM方式においては、半導体モジュール用基板11上にCu電極1が形成されている。その他の構成はテープBGA方式と同様に構成されている。
【0048】
図4は、本発明をベアチップ実装型のFC方式の半導体装置に適用した態様(試料)を示している。FC方式においては、フリップチップ実装用基板12上にCu電極1が形成されている。その他の構成はテープBGA方式と同様に構成されている。
【0049】
図1〜図4に示す半導体装置では、1cm角の半導体チップ6上のAl電極5と、Cu電極1上にめっきで形成された純度が99.9%のSn薄膜3との接合は、純度が99.99%以上の高純度Auから成る、高さ58μmのバンプ4を1チップ当たり300個用いて、市販のバンプ接合装置により行った。
【0050】
なお、接合部のせん断強度の測定に用いた試料は、図1〜図4に示す半導体装置とは異なり、意図的に半導体チップ6上のAl電極5を接合させずに、ポリイミドテープ7、半導体装置実装用基板8、半導体モジュール用基板11、あるいはフリップチップ実装用基板12上に所定の要領で構成されたSn薄膜3とAuから成る接合材料4のみを接合させて構成した。
【0051】
一方、図5は、本発明をワイヤーボンディング方式による半導体装置に適用した態様(試料)を示している。この試料は、Cuから成るインナーリード13上に所定の要領で形成させたSn薄膜3と、1cm角の半導体チップ6上のAl電極5とをワイヤ4’により接合することで構成した。ワイヤ4’は、先端に直径58μm程度の接合ボールを形成させた、純度が99.99%以上の高純度Auから成り、線径は25μm程度である。そして、ワイヤ4’を1チップ当たり200本用いて、接合させることによりこの試料を構成した。図1〜図4に示す試料と同様にインナーリード13とSn薄膜3との間にはCu−Sn系金属間化合物2が形成されている。
【0052】
そして、接合強度の測定には市販のせん断強度測定装置を、加速加熱試験には内部を所定の雰囲気に保持した100〜231℃の電気炉をそれぞれ用いた。また、組成分析の結果、当該Cu−Sn系金属間化合物2は主としてCu3 Sn相およびCuSn相から成ることが示された。
【0053】
本実施例における実験では、図1に示すように、テープBGA方式でのポリイミドテープ7上に、比較材(イ)としてCu電極1および厚さが3μmのSn薄膜3のみから成る接続用端子を有する試料を作製し、また、Cu電極1および厚さが3μmのSn薄膜3のみからなる接続用端子を175℃のN2 雰囲気の電気炉中であらかじめ1〜10時間熱処理することで、Cu層とSn薄膜間にCu−Sn系金属間化合物2を形成し、このCu−Sn系金属間化合物2の膜厚が0.2μmの試料(ロ)、0.3μmの試料(ハ)、および2μmの試料(ニ)となる接続用端子をそれぞれ作製した。
【0054】
さらに、Cu電極1および厚さが7μmのSn薄膜3のみからなる接続用端子を175℃のN2 雰囲気の電気炉中であらかじめ10時間熱処理することで両者間に(ホ)5μmの厚さのCu−Sn系金属間化合物層2を形成させた接続用端子を有する試料を作製した。
【0055】
表1に、接続用端子とAuからなる接合材料4との接合直後、および接合後175℃のN2 雰囲気中で100および3000時間それぞれ熱処理した後の、接合部のせん断接合強度をそれぞれ測定した結果を示す。
【0056】
【表1】
【0057】
表1より明白なように、接合直後のせん断接合強度は60gf程度といずれの試料においても良好であったものの、接合後にN2 雰囲気の電気炉中で175℃100および3000時間の熱処理をそれぞれ行うと、(イ)および(ロ)は30gf未満と、不良を示した。一方、(ハ)、(ニ)および(ホ)では上記と同条件の熱処理後も、接合強度は60gf程度と熱処理前と同様に良好であった。
【0058】
なお、実用上要求される半導体装置の接合部の信頼性を考慮して、175℃、3000時間の熱処理後も接合強度の低下の生じない状態をもって、良好な信頼性と判断した。従って、上記の(イ)および(ロ)では良好な信頼性は得られなかったが、本発明による(ハ)、(ニ)および(ホ)では良好な信頼性が得られた。
【0059】
このように、Cu電極1およびSn薄膜3間に0.3μm以上のCu−Sn系金属間化合物2をあらかじめ形成させることで、Auから成る接合材料4との接合部の長期信頼性は著しく向上することが確認された。なお、TAB方式での同様な評価を行った結果、上記と同等の効果が確認された。
【0060】
また、BGA、MCM、およびベアチップ実装型FC方式用の各基板、およびワイヤーボンディング方式のリードフレーム、を用いた試料に関する同様の評価を行った。表2は厚さ2.0μmの本化合物を有するBGA、MCM、およびベアチップ実装型FC方式用の基板及びワイヤーボンディング方式のリードフレームにおいて、Al電極5とAuから成る接合材料4とを接合した試料の接合強度を示す。このように、いずれも同様に良好な長期信頼性が得られた。
【0061】
【表2】
【0062】
なお、上記各方式用の基板としては、図2〜図4に示すように、エポキシ樹脂を主体とする半導体実装用基板8、半導体モジュール用基板11、およびフリップチップ実装用基板12、上のCu電極1に純度99.9%のSn薄膜3が3μmの厚さにめっきされた基板を用いた。
【0063】
ワイヤーボンディング方式用のリードフレームとしては、図5に示すように、Cu製のインナーリード13上のCu電極に純度99.9%のSn薄膜3が3μmの厚さにめっきされたリードフレームを用い、N2 雰囲気の電気炉中での175℃の熱処理によりあらかじめCu電極およびSn薄膜3間に2.0μmの厚さのCu−Sn系金属間化合物2を形成させた試料を用いた。
【0064】
表3は、純度99.9%のSn薄膜3の代わりに、重量比率が7:3のSn−Pb合金薄膜を用いた結果を示す。このように、純度99.9%のSnの代わりに、重量比率が7:3のSn−Pb合金薄膜を用いた際も同様の結果が得られた。
【0065】
【表3】
【0066】
さらに、表4に示すように、テープBGA方式でのポリイミドテープを、N2 、大気、そしてArの各雰囲気に保持した電気炉に設置して、Cu配線とSn薄膜の間に2.0μmの厚さのCu−Sn系金属間化合物層を得た試料においても、得られる効果は同様に良好であった。
【0067】
【表4】
【0068】
また、テープBGA方式でのポリイミドテープを、N2 雰囲気に保持した100〜231℃の温度の電気炉に1〜10時間設置した際には、Cu配線とSn薄膜の間に0.3〜5.0μmの厚さのCu−Sn系金属間化合物が得られた。
【0069】
さらに、Auから成る接合材料とCu層上のSn薄膜の接合において、Sn薄膜の厚さが0.3μm以上では60gf程度と良好な接合強度が示されたが、0.3μm未満では20gf強と充分な強度は得られなかった。
【0070】
以上説明したように、本実施形態においては、Cu電極1上にCu−Sn系金属間化合物2を介してSn薄膜3が形成された構造にAuから成る接合材料4を接合することにより、Cu界面でのクラックやヴォイドの出現を抑止できる。
【0071】
そして、テープBGA、TAB、およびBGA方式に適用することにより、接合後に成長するAu−Sn系金属間化合物はCu界面に到達できなくなり、接合信頼性の飛躍的に向上した上記の各方式による半導体装置を提供できる。
【0072】
さらに、現在主流の半導体装置の接合方式であるワイヤーボンディング方式においても、半導体チップ上の電極との接合部の信頼性を向上させることができる。
【0073】
MCMおよびFC方式による半導体装置においても、今後、接合材料として半田合金の利用が増加すると見込まれているが、より微細な加工が可能である上にTAB等での利用実績もあることから、Auから成る接合材料4の利用も今後起こりうる。そして、MCMおよびFC方式による半導体装置では多ピン化が進められるため、接合材料の小型化に伴う接合面積の低下が生じ、接合材料の間隔の減少に起因して半導体装置の使用時に発生する熱による影響も顕著になる。
【0074】
本実施形態によれば、単位面積当たりの接合強度を強化する必要が生じるMCMおよびFC方式による半導体装置においても、接合信頼性を飛躍的に向上させることができる。従って、MCMおよびFC方式における本発明に基づくAuから成る接合材料4の利用は、接合部の高信頼性化に有効であり、かつ、半導体装置の小型化という技術動向に寄与する。
【0075】
特に、ベアチップ実装型FC方式では強度を分担すべき樹脂による封止はしないため、より強固な接合が要求される。本発明のFC方式への適用は接合信頼性の向上をもたらすため、FC方式による半導体装置における接合強度の向上に、特に寄与できる。
【0076】
本実施形態においては、既述したように、接合直後の接合強度のみならず半導体装置としての使用中の接合部における長期信頼性も良好である上、一般に、Auから成る接合材料4よれば、半田合金よりも微細な加工が可能である。従って、MCMおよびFC方式の接合においても半導体装置の小型化という技術動向に寄与することができる。
【0077】
【発明の効果】
本発明によれば、Cuから成る材料とAuから成る材料をSn薄膜を介して接続する際に、接合後に成長するAu−Sn系金属間化合物のCu界面への到達を抑止することができる。従って、長期的な信頼性を有する半導体実装用基板、半導体装置及びこれらの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づくテープBGA方式による半導体装置の概略を示す断面図である。
【図2】本発明に基づくBGA方式による半導体装置の概略を示す断面図である。
【図3】本発明に基づくMCM方式による半導体装置の概略を示す断面図である。
【図4】本発明に基づくベアチップ実装型のFC方式による半導体装置の概略を示す断面図である。
【図5】本発明に基づくワイヤーボンディング方式による半導体装置の例を示す断面図である。
【図6】従来の半導体装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1 Cu電極
2 Cu−Sn系金属間化合物
3 Sn薄膜
4 接合材料
4' ワイヤ(接合材料)
5 Al電極
6 半導体チップ
7 ポリイミドテープ
8 半導体装置実装用基板
11 半導体モジュール用基板
12 フリップチップ実装用基板
13 Cuから成るインナーリード
21 Cu配線
23 SnあるいはSn合金薄膜
24 Auから成る接合材料
25 Al電極
26 半導体チップ
27 ポリイミドテープ
28 半導体装置実装用基板
29 樹脂
30 外部接続端子
31 半導体モジュール用基板
32 フリップチップ実装用基板
Claims (9)
- 絶縁性の樹脂板、絶縁性の樹脂テープ、絶縁性のセラミックス板、あるいはこれらの複合材料上に、Cu又はCu合金から成る電極が形成された構造を有する半導体実装用基板であって、
前記電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、
前記Sn又はSn合金薄膜がAuからなる接続材料と接続され、
前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であることを特徴とする半導体実装用基板。 - 前記Sn又はSn合金薄膜の厚さが0.3μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体実装用基板。
- 絶縁性の樹脂板、絶縁性の樹脂テープ、絶縁性のセラミックス板、あるいはこれらの複合材料上にCu又はCu合金から成る第1の電極が形成された構造を有する半導体実装用基板と、
第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、
前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が構成され、
前記Sn又はSn合金薄膜はAuから成る接続材料と接続されており、
前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であり、
前記接続材料が前記第2の電極と接続されていることを特徴とする半導体装置。 - Cu又はCu合金から成る第1の電極が形成された、ポリイミドテープ、半導体装置実装用基板又はリードフレームのインナーリードと、
第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、
前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、
前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であり、
前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極とがAuから成る接続材料によって接続されていることを特徴とするテープBGA、TAB、BGA、あるいはワイヤーボンディング方式による半導体装置。 - Cu又はCu合金から成る第1の電極が形成された半導体モジュール用基板と、
第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、
前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、
前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極とがAuから成る接続材料によって接続され、
前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であることを特徴とするマルチチップモジュール方式による半導体装置。 - Cu又はCu合金から成る第1の電極が形成されたフリップチップ実装用基板と、
第2の電極が形成された半導体チップとを有する半導体装置であって、
前記第1の電極上にCu−Sn系金属間化合物層を介してSn又はSn合金薄膜が形成され、
前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極とがAuから成る接続材料によって接続され、
前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であることを特徴とするベアチップ実装型のフリップチップ方式による半導体装置。 - 前記Sn又はSn合金薄膜の厚さが0.3μm以上であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 絶縁性の樹脂板、絶縁性の樹脂テープ、絶縁性のセラミックス板、あるいはこれらの複合材料上にCu又はCu合金から成る第1の電極が形成された半導体実装用基板と、第2の電極が形成された半導体チップとが電気的に接続された半導体装置の製造方法であって、
前記第1の電極上にSn又はSn合金薄膜を形成する工程と、
熱処理を施すことにより、前記第1の電極と前記Sn又はSn合金薄膜の間にCu−Sn系金属間化合物層を形成する工程と、
Auから成る接続材料により前記Sn又はSn合金薄膜と前記第2の電極を接続する工程とを有し、
前記Cu−Sn系金属間化合物層の厚さが0.3μmから5μmの範囲内であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記熱処理後の前記SnあるいはSn合金薄膜層を0.3μm以上の厚さに形成することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8805298A JP3893438B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 半導体実装用基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP8805298A JP3893438B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 半導体実装用基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11265963A JPH11265963A (ja) | 1999-09-28 |
JP3893438B2 true JP3893438B2 (ja) | 2007-03-14 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8805298A Expired - Fee Related JP3893438B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 半導体実装用基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3893438B2 (ja) |
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JP4963143B2 (ja) * | 2001-02-15 | 2012-06-27 | 矢崎総業株式会社 | 金属同士の接合方法 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A711 | Notification of change in applicant |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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