JP3846584B2

JP3846584B2 - Cleaning device and cleaning method for parts

Info

Publication number: JP3846584B2
Application number: JP2002310179A
Authority: JP
Inventors: 純一前野; 嘉一増成; 和貴善福
Original assignee: Arakawa Chemical Industries Ltd
Current assignee: Arakawa Chemical Industries Ltd
Priority date: 2002-10-24
Filing date: 2002-10-24
Publication date: 2006-11-15
Anticipated expiration: 2022-10-24
Also published as: JP2004141778A; TWI247632B; KR100988294B1; CN1708365A; HK1082930A1; TW200416075A; KR20050055031A; CN100336611C; WO2004037452A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミックやガラスや金属等で形成された精密部品の洗浄方法及び洗浄装置に関する。更に詳しくは、フェルールや割りスリーブ（以下、フェルール類という）をはじめとする精密加工部品の研削工程後の表面や貫通孔内部の砥粒やパーティクルやバリを洗浄液により除去するための洗浄方法及び洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光コネクターのフェルール類、エンジンのオイル噴射ノズル、注射針等の精密加工部品を製造する場合には、多数の研削工程が必要となり、各研削工程毎に研削油の脱脂洗浄、砥粒、パーティクル類の除去が必要となる。これは各研削工程で用いられる研削油や砥粒の種類が異なるため、次工程に研削油成分や砥粒を持ち込むと、例えば、異種砥粒の混在による研削加工不良や、砥粒の焼け付きによる砥粒の除去不能や、研削油の混合により脱脂洗浄が困難になる等の不具合が発生するからである。
【０００３】
従来、多くのメーカーで採用されているフェルール類の洗浄方法は、専用冶具にフェルール類をセットした状態で、またはフェルール類を専用冶具から取り出して洗浄籠等にバラで入れた状態で、超音波洗浄装置やブラシ式洗浄装置や高圧シャワー洗浄装置などで洗浄するものである（例えば、特許公報１参照）。
【０００４】
超音波洗浄装置では、一度に多量のフェルール類を処理できるが、被洗浄物の構造上、洗浄液が貫通孔内部まで浸透し難く、また、キャビテーション効果によって気泡が発生しやすくなり、フェルール類のテーパー部分に溜まった気泡は除去できないために超音波が伝わらず洗浄できなくなる。また、ブラシ式洗浄装置は、ワイヤーの破片がフェルール類に突き刺さることもあり、洗浄方法自体に問題がある。また、高圧シャワー方式ではある程度の洗浄性を確保できるが、生産性の問題や、洗浄液ミストの問題などがある。このように従来の洗浄装置はいずれも洗浄性や生産性等の面で満足できるものではなかった。
【０００５】
また、現在、洗浄装置に一般的に使用されるアルカリ系洗浄剤は、フロンや塩素系溶剤とは異なり、オゾン層破壊等の心配がないことから部品の洗浄に広く用いられているが、洗浄性の面で劣るので、高温、高濃度で比較的長時間の洗浄されることが多く、作業者の安全性、廃液の中和処理などの作業性、安定化ジルコニア等の部品侵食など様々な問題がある
更に、微細な貫通孔を有するフェルール類にあっては、貫通孔内に砥粒や研削液やバリ等が溜まり易いうえ、孔径が小さくなるほど貫通孔内に洗浄液やすすぎ液が浸透し難くなり、洗浄が非常に困難になる。特に、表面張力の大きい水（純水）やアルカリ洗浄剤等の水系洗浄剤を用いたときには、この傾向が顕著になり、洗浄のみならず、すすぎや乾操にも長時間を要することになる。
【０００６】
特開平１１―４７７０５号公報（全頁、第１図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、フェルール類をはじめ微細な貫通孔を有する精密部品の効率的な洗浄が可能になる部品類の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の部品類の洗浄装置及びその洗浄方法を提供する。
【０００９】
部品類の洗浄装置は、洗浄液の循環ライン中に組み入れられた洗浄容器内の被洗浄物を、前記洗浄容器内を強制流通する洗浄液により洗浄する装置において、微細な貫通孔を有する被洗浄物を該貫通孔の貫通方向が前記洗浄液の液流方向と同方向又はそれに近い方向となるように保持する保持手段を備え、前記保持手段によって前記洗浄容器内を上室と下室とに仕切り、前記上室に流入する前記洗浄液が主として被洗浄物の貫通孔を通って前記下室に至るように構成することにより、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流が通過するように構成したことを特徴とする。
【００１１】
また、前記保持手段は、被洗浄物が遊嵌される複数の保持用凹所と、該保持用凹所の底部に設けられる該保持用凹所よりも小径の流通孔とを備え、前記保持用凹所に遊嵌された前記被洗浄物の貫通孔と前記流通孔とが連通するように構成されるのが望ましい。
【００１２】
また、被洗浄物を超音波により洗浄する超音波洗浄手段を備えるのが望ましい。
【００１３】
そして、超音波洗浄手段を備えた装置を用いて部品類を洗浄する方法は、超音波洗浄と、被洗浄物の貫通孔内を高圧洗浄液流を通過させる高圧洗浄とを交互に繰り返したり、超音波洗浄と高圧洗浄とを同時に行うことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１に概略的に示す全体のフロー図からも明らかなように、部品類の洗浄装置は、洗浄液１が貯えられた液タンク２と、液タンク２の液出口２ａと液戻り口２ｂとの間で洗浄液１を循環させる循環ライン３と、循環ライン３の途中に設置されて被洗浄物が収容される洗浄容器４及び強制循環用の送液ポンプ５とを備えており、これにより洗浄容器４内において洗浄液１を縦方向に流通させて被洗浄物を洗浄する方法（以下、直通式洗浄法という）が可能になる。なお、直通式洗浄法としてはダイレクトパス洗浄装置（荒川化学工業（株）、商品名、特許第２６２１８００号）を用いたダイレクトパス洗浄法が好適である。
【００１６】
洗浄容器４の縦方向の中間部の内壁面には全周にわたって治具受け１２が設けられ、該治具受け１２に後述するセット冶具（保持手段）１１を載せることにより、洗浄容器４は上室４ａと下室４ｂとに区割りされるようになっている。セット治具１１の外周部は全周にわたって治具受け１２に接触するものであり、また、該接触部分に図外のシール部を設ければ、洗浄容器４の上室４ａの洗浄液１が前記接触部分を通って下室４ｂに漏れ落ちるのを防止できる。また、図３のように洗浄容器４には洗浄液１の流入口４ｃ及び流出口４ｄが設けられている。
【００１７】
洗浄容器４の上室４ａの流入口４ｃには排気（真空）ライン６に接続され、下室４ｂの流出口４ｄには洗浄液１を液タンク２に戻すための返送ライン１０に接続されている。排気（真空）ライン６には図外の真空ポンプが設けられ、洗浄容器４の手前の循環ライン３からはバイパスライン７が分岐され、循環ライン３中には図外のフィルターが設けられ、該フィルターにより洗浄液１は全量ろ過されるようになっている。
【００１８】
循環ライン３、バイパスライン７、排気（真空）ライン６及び返送ライン１０にはバルブＶ１〜Ｖ４が設けられ、これらのバルブＶ１〜Ｖ４の開閉操作により循環ライン３と排気（真空）ライン６の切り替えが行われ、また、洗浄液１をバイパスライン７を用いて液タンク２に直接戻す流量調節することにより、洗浄容器４の内圧を制御して送液ポンプ５による洗浄容器４の内圧の急激な上昇を防ぐようになっている。なお、洗浄容器４は耐圧構造であり、洗浄容器４の上端は蓋８で閉塞され、該蓋８には洗浄容器４の内圧を監視するための圧力計９が装着されている。
【００１９】
また、洗浄装置には、図示しないリンス液の液タンク、リンス液の循環ライン、液切り用のコンプレッサー、乾燥用のブロワー及びヒータ、送風ラインなどが備わり、循環ライン及び送風ラインは洗浄容器４に接続されている。そして、セット治具１１にセットされた被洗浄物を洗浄した後は、同じ洗浄容器４内ですすぎ、液切り及び乾燥が行えるようになっている。
【００２０】
図２のようにセット治具１１は、板状であって、フェルール（被洗浄物の一例）Ａを遊嵌するための複数の保持用凹所１１ａが形成され、各保持用凹所１１ａの下端部はテーパ状に形成され、該下端部は保持用凹所１１ａよりも小径の流通孔１１ｂと連通している。また、セット治具１１の両側部には逆Ｕ字状の取っ手１１ｃが立設されている。
【００２１】
なお、後述のように洗浄液１が主としてフェルールＡの貫通孔Ａ１を通って洗浄容器４の下室４ｂに至るような構成のものであれば、保持用凹所１１ａ及び流通孔１１ｂの形状や位置等は限定されず、例えば、一つの保持用凹所１１ａに複数のフェルールＡを遊嵌できるようにしても良い。
【００２２】
そして、微細な貫通孔Ａ１を有するフェルールＡをセット治具１１の保持用凹所１１ａに嵌め込むことによりフェルールＡが立設保持されると共にフェルールＡの貫通孔Ａ１とセット治具１１の流通孔１１ｂとが連通する。セット治具１１は、送液ポンプ５により送液される洗浄液１により生じる洗浄容器４の上室４ａと下室４ｂとの差圧に耐えられるものであれば、その材質や構造は特に限定されるものではない。
【００２３】
また、セット冶具１１は治具受け１２によって支持されるが、治具受け１２との接触面積が小さく、セット冶具１１の剛性が低いと、高圧の洗浄液１によってセット冶具１１が破損や変形をする恐れがある。そこで、フェルールＡの貫通孔Ａ１を通過する洗浄液流を妨げないように補強材を用いてセット治具１１を補強したり、冶具受け１２の支持面積を大きくすることも可能である。
【００２４】
セット治具１１は、図３に示す操作手段２０によって洗浄容器４内に収納され、洗浄後は洗浄容器４から取り出されるようになっている。操作手段２０は、外側を向いた一対のフック２０ａと、一対のフック２０ａの間隔を矢印のように拡縮可能に保持するフック保持体２０ｂと、該フック保持体２０ｂを矢印のように昇降及び水平方向に移動させる図外の移動手段とを備えている。この操作手段２０を用いれば、フック２０ａの間隔を拡げてセット治具１１の取っ手１１ｃを引っ掛け、この状態でフック保持体２０ｂを降下させることにより、セット治具１１を洗浄容器４の治具受け１２に載置することができる。また、洗浄が完了すれば、間隔が狭まった一対のフック２０ａを、蓋８が開いた洗浄容器４内に降下させ、次にフック２０ａの間隔を拡げてセット治具１１の取っ手１１ｃを引っ掛けた状態でフック２０ａを上昇させる。これにより、セット治具１１を洗浄容器４から取り出すことができる。
【００２５】
次に、フェルールＡの貫通孔Ａ１の洗浄方法について説明する。セット冶具１１の保持用凹所１１ａにフェルールＡを嵌め込み、該セット治具１１を洗浄容器４の治具受け１２に載置し、洗浄容器４の蓋８を閉じる。次に、バルブＶ３を開き、他のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ４を閉じ、真空ポンプを作動させて洗浄容器４内を減圧する。次に、バルブＶ３を閉じ、バルブＶ４のみを開いて洗浄液１を引き上げた後、バルブＶ１，Ｖ２を開いて送液ポンプ５を作動させる。そして、送液ポンプ５が定常運転状態になってのちにバルブＶ２を徐々に閉め、圧力計９が所定圧力を示した時点でバルブＶ２の閉め動作を停止して該状態を保持する。なお、洗浄容器４内の圧力調整は、インバータを用いて送液ポンプ５のモータの回転数を制御することによっても行うことができる。
【００２６】
これにより、洗浄液１は循環ライン３内を強制循環し、洗浄容器４では洗浄液１は上室４ａからフェルールＡの貫通孔Ａ１及びセット治具１１の流通孔１１ｂを通過して下室４ｂに至る。このとき、洗浄液１は、セット冶具１１及び洗浄容器４の治具受け１２の間や、フェルールＡ及びセット治具１１の保持用凹所１１ａの間をほとんど通過することがない。
【００２７】
このように洗浄液１は主としてフェルールＡの微細な貫通孔Ａ１を通過して洗浄容器４の下室４ｂに至るので、洗浄液１は貫通孔Ａ１内を高圧洗浄液流となって通過して貫通孔Ａ１の孔壁に付着した油分や砥粒等の異物を押し流すことができる。
【００２８】
所定時間が経過してフェルールＡの貫通孔Ａ１が洗浄された後は、バイパスバルブＶ２を開き、洗浄容器４の内圧が低下した後に送液ポンプ５を停止する。
【００２９】
また、図３のように洗浄容器４には超音波を発振させる超音波振動子２１が設置され、直通式洗浄法と超音波洗浄法とを併用できるようになっている。超音波振動子２１は、一般に洗浄容器４の側壁や底部に設けられ、超音波振動子２１には超音波発振器が接続されている。超音波振動子２１としては、磁歪型振動子、電歪型振動子のような公知のものを採用できる。超音波洗浄は、バルブＶ３，Ｖ４を閉じ、バルブＶ１，Ｖ２を開き、送液ポンプ５を作動させて洗浄容器４内に洗浄液１を充満させた状態で行われ、超音波洗浄の時期は洗浄液１を強制循環させる前後である。
【００３０】
このように同一の洗浄容器４を用いた直通式洗浄法及び超音波洗浄法を併用し、両洗浄法を交互に繰り返して実施すれば、洗浄効率が向上し、短時間で洗浄度の高い洗浄を行うことができる。特に、貫通孔Ａ１の孔壁に微粒子等の異物が付着している被洗浄物には有効である。例えば、貫通孔Ａ１の孔壁に刺さっている砥粒を洗浄する場合には、超音波によって砥粒を孔壁から引き離した後に、貫通孔Ａ１内に漂う該砥粒を高圧洗浄液流によって洗い流す。これにより、短時間洗浄が可能になり、また、超音波洗浄専用のスペースを確保する必要がなくなる。なお、両洗浄法を同時に実施する場合には、高圧洗浄液流と超音波とで同時に貫通孔Ａ１を洗浄することになるので、高圧洗浄液によっても超音波による洗浄能力が低下しない超音波洗浄手段を採用する。
【００３１】
図４〜図６は、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂを用いてセット治具１１を洗浄容器４に収容する実施形態を示している。
【００３２】
図４に示すバスケット１３は板状に形成され、バスケット１３の上面側にはセット治具１１が嵌め込まれる凹部１３ａが設けられ、該凹部１３ａの底面部にはセット治具１１の流通孔１１ｂに対応する通液孔１３ｂが設けられ、凹部１３ａにセット治具１１をはめ込んだときには各通液孔１３ｂとセット治具１１の各流通孔１１ｂとが連通する。また、バスケット１３の両側部には逆Ｕ字状の取っ手１３ｃが立設されている。なお、取っ手１３ｃ付きのバスケット１３，１３Ａ，１３Ｂを使用する場合には、セット治具１１に取っ手１１ｃを設けなくても良い。
【００３３】
図５に示すバスケット１３Ａは有底筒状に形成され、バスケット１３Ａの底部には通液孔１３ｂが設けられ、胴部１３ｄには通液孔が設けられておらず、バスケット１３Ａの上端に形成された外鍔１３ｅには取っ手１３ｃが立設されている。そして、セット治具１１が収められたバスケット１３Ａを洗浄容器４内にセットするときには、その外鍔１３ｅを洗浄容器４の治具受け１２に載置する。
【００３４】
図６に示すバスケット１３Ｂは、被洗浄物の処理量を増やすために、セット冶具１１を多段式に収容できるように構成され、筒状本体１３ｄの一側面には開口部１３ｅが設けられ、該開口部１３ｅの両側にはガイド溝１３ｆが形成され、開口部１３ｅを開閉する蓋体１３ｉの両縁部がガイド溝１３ｆに摺動自在にはめ込まれ、本体１３ｄの両側板には上下に適宜間隔で複数の治具受け１３ｇが設けられ、本体１３ｄの上端には外鍔１３ｈが形成され、該外鍔１３ｈには取っ手１３ｃが取り付けられている。そして、横蓋１３ｆを引き上げ、セット治具１１を開口部１３ｅから挿入して各治具受け１３ｇに載置した後、蓋体１３ｉで開口部１３ｅを閉塞し、バスケット１３Ｂの外鍔１３ｈを洗浄容器４の治具受け１２に引っ掛けることにより、バスケット１３Ｂを洗浄容器４内にセットする。
【００３５】
また、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂ及びセット冶具１１の接触部分、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂ及び洗浄容器４の接触部分に、図外のシール部を設けることにより、該接触部分から洗浄液１の漏れを防止しても良い。なお、セット冶具１１の大きさや形状に適応できれば、バスケット１３，１３Ａ，１３Ｂの大きさや形状は特に限定されない。
【００３６】
図７は、直通式洗浄専用の洗浄容器４と超音波洗浄専用の洗浄容器４１とを交互に配設し、これらの洗浄容器４，４１を用いて同時に複数のセット治具１１を制御して直通式洗浄と超音波洗浄とを交互に行う装置を示している。また、該装置には液切り用のコンプレッサー（図示省略）及び乾燥容器４２が備わり、該乾燥容器４２にはヒーター４２ａ及びブロワー４２ｂによって温風が供給される。洗浄容器４には超音波振動子２１はなく、洗浄容器４内に収められたセット治具１１のフェルールＡは、循環する洗浄液１の高圧洗浄液流によってその貫通孔が洗浄される。また、洗浄容器４１は図外の真空ポンプによる減圧によって洗浄液１を吸い上げる。
【００３７】
図８のように洗浄容器４１の内の中間部分には治具受け４１ｃが設けられ、治具受け４１ｃに載置されるセット治具１１によって洗浄容器４１は上室４１ａと下室４１ｂとに分けられ、洗浄容器４１の下部には超音波振動子２１が設けられている。また、洗浄容器４１の上室４１ａには流出口４１ｄが開口し、下室４１ｂの底部には流入口４１ｅが開口し、洗浄容器４１の上端は蓋４１ｆで閉塞されている。
【００３８】
図９は、図７に示す装置を用いた洗浄工程を示している。なお、この洗浄工程では、連設された複数の操作手段２０を用いてセット治具１１をタクト式に搬送する。
【００３９】
そして、複数のセット治具１１のそれぞれに被洗浄物をセットした後、これら複数のセット治具１１を洗浄容器４，４１に入れて被洗浄物を洗浄した後、矢印のように隣の洗浄容器４，４１に次々と移し替えて直通式洗浄と超音波洗浄とを交互に行い、最後に乾燥容器４２に移し替えて被洗浄物を乾燥する。なお、被洗浄物の貫通孔に付着した洗浄液については、次工程の直通式洗浄の前に液切りを行って該次工程での洗浄効率を高めるようにする。
【００４０】
なお、超音波洗浄専用の洗浄容器４１として、図１０のように上部及び下部に超音波振動子２１を設けたものや、図１１のように左右両側部に超音波振動子２１を設けたものを用いても良い。
【００４１】
以上の洗浄装置及び洗浄方法に使用される洗浄液１としては、純水や工業用水の他に、炭化水素系溶剤、グリコールエーテル系化合物若しくはアルコール系化合物の洗浄剤、又はこれらと各種界面活性剤及び水等との混合物からなる洗浄剤や、前記混合物からなるエマルジョン系洗浄剤、その他カチオン性、アニオン性、ノニオン性の洗浄剤など各種洗浄剤を使用できる。かかる洗浄剤の洗浄力を高める目的で適宜にヒーターを用いて暖めて使用しても良い。
【００４２】
この洗浄工程で使用される洗浄剤は、洗浄物の材質により異なるが、セラミック製フェルールＡには、実際に使用する液のｐＨが８〜１４のアルカリ系洗浄剤が好ましい。
【００４３】
また、すすぎ液は、純水を使用するのが好ましいが、要求される製品の清浄度によりイオン交換水や市水を用いても良い。また、乾燥効率を上げるため、すすぎ工程後にアルコール類や揮発性の高い溶剤成分などを含む水切り剤を使用しても良い。
【００４４】
なお、被洗浄物はフェルールＡに限られるものではない。
【００４５】
【実施例】
セット冶具１は、縦寸法×横寸法×厚み寸法が８０ｍｍ×８０ｍｍ×５ｍｍ、フェルール（外径が２．５ｍｍ、貫通孔の内径が０．１２５ｍｍ、長さが１０ｍｍ）を１００個搭載可能である。
【００４６】
図１に示す装置を用い、研削工程が終了した１００個のフェルールがセットされたセット治具１１を洗浄容器４の治具受けに載置し、洗浄剤として荒川化学工業（株）製パインアルファＳＴ−８８０の３％水溶液を用い、すすぎ水として
純水を用いて、表１に記載の通りに洗浄実験を行った。なお、洗浄容器４には超音波振動子２１が設けられている。洗浄液１は主としてフェルールの微細な貫通孔Ａ１を通過して下室４ｂに流入するので、洗浄容器４の上室の内圧が５ｋｇ／ｃｍ²に達する高圧ダイレクトパスとなった。
【００４７】
比較例は、次の洗浄装置により、表１に記載の通りに洗浄実験を行った。比較例の洗浄装置は、図１２のように底部に多数の通液孔１００が設けられたバスケット１０１を備え、該バスケット１０１を洗浄容器１０２内の受け部１０３に載置して洗浄容器１０２が上室１０４と下室１０５とに分けられるようになっている。そして、１００個のフェルールをセット治具１１を用いることなくバケット１０１内に直に投入し、実施例と同様に、循環ライン中の送液ポンプを作動させてダイレクトパス洗浄を行った。このとき、洗浄容器の上室の内圧は上昇しなかった。
【００４８】
実験の結果は表１に示す通り、比較例では合格率が５０％以下にとどまったが、実施例１では８３％に達してかなりの洗浄効果が得られ、また、実施例２のように超音波洗浄の後にダイレクトパス洗浄を行ったり、実施例３のようにまず超音波洗浄を行い、且つダイレクトパス洗浄と超音波洗浄とを交互に行うことにより、合格率が更に向上した。この結果、実施例１から３は、フェルールＡの微細な貫通孔Ａ１の洗浄に適することが判明した。
【００４９】
【表１】

【００５０】
【発明の効果】
本発明の部品類の洗浄装置及び洗浄方法によれば、高圧の洗浄液が被洗浄物の貫通孔を集中的に流れ込み、洗浄効果を高めることができるので、洗浄が困難な微細な貫通孔を有する光コネクターのフェルール類等の精密部品の洗浄効果を高め、短時間での洗浄が可能になる。また、従来、高圧シャワー洗浄により被洗浄物を１個づつ狙い打ちして洗浄するのに較べ、例えば数百個単位での洗浄が可能になり、量産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る洗浄装置を示す概略図である。
【図２】（ａ）は同装置のセット治具の平面図、（ｂ）は同セット治具の断面図、（ｃ）は同セット治具の拡大断面図である。
【図３】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図４】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図５】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図６】同装置のセット治具のバスケットを示す斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る洗浄装置を示す概略図である。
【図８】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図９】同装置の洗浄工程を示す図である。
【図１０】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図１１】同装置の洗浄容器を示す断面図である。
【図１２】比較例に係る洗浄装置を示す概略図である。
【符号の説明】
Ａフェルール類（部品類）
Ａ１フェルール類の貫通孔
１洗浄液
２液タンク
４洗浄容器
１１セット治具（保持手段）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cleaning method and a cleaning apparatus for precision parts formed of ceramic, glass, metal, or the like. More specifically, a cleaning method and a cleaning method for removing abrasive grains, particles, and burrs in the surface and through-holes of precision processed parts such as ferrules and split sleeves (hereinafter referred to as ferrules) with a cleaning liquid. Relates to the device.
[0002]
[Prior art]
When manufacturing precision processed parts such as optical connector ferrules, engine oil injection nozzles, injection needles, etc., a number of grinding processes are required. Grinding oil degreasing, abrasive grains, and particles are required for each grinding process. Need to be removed. This is because the type of grinding oil and abrasive grains used in each grinding process is different, so if you introduce a grinding oil component or abrasive grains into the next process, for example, grinding processing defects due to the mixing of different abrasive grains, or seizure of abrasive grains This is because problems such as inability to remove the abrasive grains due to the above, and difficulty in degreasing and cleaning due to mixing of the grinding oil occur.
[0003]
Conventionally, many manufacturers use ferrule cleaning methods that use ultrasonic waves with ferrules set in a dedicated jig, or in a state where the ferrules are removed from the dedicated jig and placed in a cleaning rod or the like. Cleaning is performed by a cleaning device, a brush-type cleaning device, a high-pressure shower cleaning device, or the like (see, for example, Patent Publication 1).
[0004]
Ultrasonic cleaning equipment can process a large amount of ferrules at a time, but due to the structure of the object to be cleaned, the cleaning liquid is difficult to penetrate into the through hole, and bubbles are easily generated due to the cavitation effect. Since the bubbles accumulated in the portion cannot be removed, the ultrasonic wave is not transmitted and cleaning cannot be performed. Further, the brush type cleaning apparatus has a problem in the cleaning method itself because a broken piece of the wire may pierce the ferrules. In addition, the high-pressure shower method can secure a certain degree of cleanability, but there are problems of productivity and a problem of cleaning liquid mist. As described above, none of the conventional cleaning apparatuses is satisfactory in terms of cleaning properties and productivity.
[0005]
In addition, alkaline cleaners that are generally used in cleaning equipment are widely used for cleaning parts because they do not cause ozone layer destruction, unlike fluorocarbon and chlorinated solvents. Since it is inferior in terms of performance, it is often washed at high temperature and high concentration for a relatively long time, and it is various for safety of workers, workability such as neutralization treatment of waste liquid, erosion of parts such as stabilized zirconia In addition, in ferrules having fine through-holes, abrasive grains, grinding fluid, burrs, etc. tend to accumulate in the through-holes, and cleaning and rinsing liquid penetrate into the through-holes as the hole diameter decreases. It becomes difficult and cleaning becomes very difficult. In particular, when a water-based cleaning agent such as water (pure water) having a large surface tension or an alkali cleaning agent is used, this tendency becomes remarkable, and it takes a long time not only for cleaning but also for rinsing and drying operations. .
[0006]
JP-A-11-47705 (all pages, Fig. 1)
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
This invention is made in view of this point, Comprising: It provides the washing | cleaning apparatus and washing | cleaning method of components which can perform efficient washing | cleaning of the precision components which have fine through-holes including ferrules. Objective.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides the following parts cleaning apparatus and cleaning method therefor.
[0009]
A cleaning apparatus for parts is a device for cleaning an object to be cleaned in a cleaning container incorporated in a cleaning liquid circulation line with a cleaning liquid forcibly circulating in the cleaning container. A holding means for holding the through hole so that the penetration direction is the same as or close to the liquid flow direction of the cleaning liquid, and the holding means partitions the inside of the cleaning container into an upper chamber and a lower chamber; The configuration is such that the cleaning liquid flowing into the upper chamber mainly passes through the through-hole of the object to be cleaned and reaches the lower chamber, so that the high-pressure cleaning liquid flow passes through the through-hole of the object to be cleaned. Features.
[0011]
The holding means includes a plurality of holding recesses into which an object to be cleaned is loosely fitted, and a flow hole having a smaller diameter than the holding recess provided at the bottom of the holding recess. It is desirable that the through hole of the article to be cleaned loosely fitted in the recess and the flow hole communicate with each other.
[0012]
Moreover, it is desirable to provide an ultrasonic cleaning means for cleaning an object to be cleaned with ultrasonic waves.
[0013]
A method for cleaning parts using an apparatus equipped with an ultrasonic cleaning means is to repeat ultrasonic cleaning and high-pressure cleaning that allows a high-pressure cleaning liquid flow to pass through the through-hole of the object to be cleaned. Sonic cleaning and high pressure cleaning are performed simultaneously.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.
[0015]
As is apparent from the overall flow chart schematically shown in FIG. 1, the parts cleaning apparatus includes a liquid tank 2 in which the cleaning liquid 1 is stored, a liquid outlet 2a of the liquid tank 2, and a liquid return port 2b. A circulation line 3 that circulates the cleaning liquid 1 between them, a cleaning container 4 installed in the middle of the circulation line 3 and containing an object to be cleaned, and a liquid feed pump 5 for forced circulation. 4, the cleaning liquid 1 is allowed to flow in the vertical direction to clean the object to be cleaned (hereinafter referred to as a direct cleaning method). A direct pass cleaning method using a direct pass cleaning apparatus (Arakawa Chemical Industries, Ltd., trade name, Japanese Patent No. 2621800) is suitable as the direct cleaning method.
[0016]
A jig receiver 12 is provided on the inner wall surface of the intermediate portion in the vertical direction of the cleaning container 4 over the entire circumference. By placing a set jig (holding means) 11 described later on the jig receiver 12, the cleaning container 4 is It is divided into a chamber 4a and a lower chamber 4b. The outer peripheral portion of the setting jig 11 is in contact with the jig receiver 12 over the entire circumference, and if a seal portion (not shown) is provided at the contact portion, the cleaning liquid 1 in the upper chamber 4a of the cleaning container 4 is It is possible to prevent leakage through the contact portion into the lower chamber 4b. Further, as shown in FIG. 3, the cleaning container 4 is provided with an inlet 4 c and an outlet 4 d for the cleaning liquid 1.
[0017]
The inlet 4c of the upper chamber 4a of the cleaning container 4 is connected to an exhaust (vacuum) line 6, and the outlet 4d of the lower chamber 4b is connected to a return line 10 for returning the cleaning liquid 1 to the liquid tank 2. . A vacuum pump (not shown) is provided in the exhaust (vacuum) line 6, a bypass line 7 is branched from the circulation line 3 in front of the cleaning container 4, and a filter (not shown) is provided in the circulation line 3. The entire amount of the cleaning liquid 1 is filtered by the filter.
[0018]
The circulation line 3, the bypass line 7, the exhaust (vacuum) line 6 and the return line 10 are provided with valves V1 to V4. Switching between the circulation line 3 and the exhaust (vacuum) line 6 is performed by opening and closing these valves V1 to V4. In addition, the internal pressure of the cleaning container 4 is controlled by adjusting the flow rate at which the cleaning liquid 1 is directly returned to the liquid tank 2 using the bypass line 7, and the internal pressure of the cleaning container 4 is rapidly increased by the liquid feed pump 5. Is to prevent. The cleaning container 4 has a pressure resistant structure, and the upper end of the cleaning container 4 is closed with a lid 8, and a pressure gauge 9 for monitoring the internal pressure of the cleaning container 4 is attached to the lid 8.
[0019]
In addition, the cleaning device includes a rinse liquid tank (not shown), a rinse liquid circulation line, a liquid draining compressor, a drying blower and heater, a blower line, and the like. It is connected. And after wash | cleaning the to-be-washed | cleaned material set to the setting jig | tool 11, it rinses in the same washing | cleaning container 4, and can perform liquid draining and drying.
[0020]
As shown in FIG. 2, the setting jig 11 is plate-shaped, and has a plurality of holding recesses 11a for loosely fitting ferrules (an example of an object to be cleaned) A. The lower end portion is formed in a tapered shape, and the lower end portion communicates with the flow hole 11b having a smaller diameter than the holding recess 11a. In addition, inverted U-shaped handles 11 c are provided upright on both sides of the setting jig 11 .
[0021]
As will be described later, if the cleaning liquid 1 is configured to mainly pass through the through-hole A1 of the ferrule A and reach the lower chamber 4b of the cleaning container 4, the shape and position of the holding recess 11a and the circulation hole 11b For example, a plurality of ferrules A may be loosely fitted in one holding recess 11a.
[0022]
Then, by inserting the ferrule A having the fine through-hole A1 into the holding recess 11a of the setting jig 11, the ferrule A is erected and held, and the through-hole A1 of the ferrule A and the flow hole of the setting jig 11 11b communicates. The setting jig 11 is not particularly limited in material and structure as long as it can withstand the differential pressure between the upper chamber 4a and the lower chamber 4b of the cleaning container 4 generated by the cleaning liquid 1 fed by the liquid feeding pump 5. It is not something.
[0023]
The set jig 11 is supported by the jig receiver 12, but if the contact area with the jig receiver 12 is small and the rigidity of the set jig 11 is low, the set jig 11 is damaged or deformed by the high-pressure cleaning liquid 1. There is a fear. Therefore, it is possible to reinforce the setting jig 11 using a reinforcing material so as not to hinder the flow of the cleaning liquid passing through the through hole A1 of the ferrule A, or to increase the support area of the jig receiver 12.
[0024]
The setting jig 11 is accommodated in the cleaning container 4 by the operating means 20 shown in FIG. 3 and is removed from the cleaning container 4 after cleaning. The operating means 20 includes a pair of hooks 20a facing outward, a hook holding body 20b that holds the distance between the pair of hooks 20a so as to be expandable and contractable as shown by arrows, and the hook holding body 20b is moved up and down and horizontally as shown by arrows. And a moving means (not shown) that moves in the direction. If this operation means 20 is used, the interval between the hooks 20a is widened, the handle 11c of the setting jig 11 is hooked, and the hook holding body 20b is lowered in this state, whereby the setting jig 11 is received by the jig receiving of the cleaning container 4. 12 can be mounted. When the cleaning is completed, the pair of hooks 20a with a narrow interval is lowered into the cleaning container 4 with the lid 8 open, and then the interval between the hooks 20a is increased and the handle 11c of the setting jig 11 is hooked. The hook 20a is raised in the state. Thereby, the setting jig 11 can be taken out from the cleaning container 4.
[0025]
Next, a method for cleaning the through hole A1 of the ferrule A will be described. The ferrule A is fitted into the holding recess 11 a of the set jig 11, the set jig 11 is placed on the jig receiver 12 of the cleaning container 4, and the lid 8 of the cleaning container 4 is closed. Next, the valve V3 is opened, the other valves V1, V2, and V4 are closed, and the inside of the cleaning container 4 is decompressed by operating the vacuum pump. Next, the valve V3 is closed and only the valve V4 is opened to pull up the cleaning liquid 1, and then the valves V1 and V2 are opened to operate the liquid feed pump 5. Then, the valve V2 is gradually closed after the liquid feed pump 5 is in a steady operation state, and when the pressure gauge 9 shows a predetermined pressure, the closing operation of the valve V2 is stopped and this state is maintained. The pressure in the cleaning container 4 can also be adjusted by controlling the number of revolutions of the motor of the liquid feed pump 5 using an inverter.
[0026]
As a result, the cleaning liquid 1 is forcedly circulated in the circulation line 3, and in the cleaning container 4, the cleaning liquid 1 passes from the upper chamber 4a through the through hole A1 of the ferrule A and the flow hole 11b of the set jig 11 and reaches the lower chamber 4b. . At this time, the cleaning liquid 1 hardly passes between the setting jig 11 and the jig receiver 12 of the cleaning container 4 or between the ferrule A and the holding recess 11 a of the setting jig 11.
[0027]
Thus, since the cleaning liquid 1 mainly passes through the fine through-hole A1 of the ferrule A and reaches the lower chamber 4b of the cleaning container 4, the cleaning liquid 1 passes through the through-hole A1 as a high-pressure cleaning liquid flow and passes through the through-hole A1. Foreign matter such as oil and abrasive grains adhering to the hole wall can be swept away.
[0028]
After the predetermined time has passed and the through-hole A1 of the ferrule A has been cleaned, the bypass valve V2 is opened, and the liquid feed pump 5 is stopped after the internal pressure of the cleaning container 4 has decreased.
[0029]
Further, the cleaning container 4 as shown in FIG. 3 the ultrasonic transducer 21 to oscillate the ultrasonic waves are disposed, so that may be used in combination with direct-type cleaning method and an ultrasonic cleaning method. The ultrasonic vibrator 21 is generally provided on the side wall or bottom of the cleaning container 4, and an ultrasonic oscillator is connected to the ultrasonic vibrator 21. As the ultrasonic vibrator 21, a known one such as a magnetostrictive vibrator or an electrostrictive vibrator can be employed. The ultrasonic cleaning is performed in a state where the valves V3 and V4 are closed, the valves V1 and V2 are opened, the liquid feeding pump 5 is operated, and the cleaning container 1 is filled with the cleaning liquid 1, and the timing of the ultrasonic cleaning is the cleaning liquid. 1 before and after forced circulation.
[0030]
In this way, if the direct cleaning method and the ultrasonic cleaning method using the same cleaning container 4 are used in combination, and both cleaning methods are repeated alternately, the cleaning efficiency is improved and the cleaning is performed in a short time with a high degree of cleaning. It can be performed. This is particularly effective for an object to be cleaned in which foreign matter such as fine particles adheres to the hole wall of the through hole A1. For example, when the abrasive grains stuck in the hole wall of the through-hole A1 are cleaned, the abrasive grains floating in the through-hole A1 are washed away by a high-pressure cleaning liquid flow after the abrasive grains are separated from the hole wall by ultrasonic waves. This makes it possible to perform cleaning for a short time and eliminates the need for a space dedicated for ultrasonic cleaning. In the case where both cleaning methods are performed simultaneously, the through hole A1 is cleaned simultaneously with the high-pressure cleaning liquid flow and ultrasonic waves. adopt.
[0031]
4-6 has shown embodiment which accommodates the setting jig | tool 11 in the washing | cleaning container 4 using the

baskets

13, 13A, and 13B.
[0032]
The basket 13 shown in FIG. 4 is formed in a plate shape, and a concave portion 13a into which the setting jig 11 is fitted is provided on the upper surface side of the basket 13, and a bottom surface portion of the concave portion 13a is formed in the flow hole 11b of the setting jig 11. Corresponding liquid passage holes 13b are provided, and when the setting jig 11 is fitted into the recess 13a, the liquid passage holes 13b communicate with the flow holes 11b of the setting jig 11. Further, inverted U-shaped handles 13 c are provided upright on both sides of the basket 13. In addition, when using

basket

13,13A, 13B with the handle 13c, the handle 11c does not need to be provided in the setting jig 11. FIG.
[0033]
The basket 13A shown in FIG. 5 is formed in a bottomed cylindrical shape, a liquid passage hole 13b is provided in the bottom portion of the basket 13A, and a liquid passage hole is not provided in the body portion 13d, and is formed at the upper end of the basket 13A. A handle 13c is erected on the outer casing 13e. When setting the basket 13 </ b> A containing the setting jig 11 in the cleaning container 4, the outer casing 13 e is placed on the jig receiver 12 of the cleaning container 4.
[0034]
The basket 13B shown in FIG. 6 is configured so that the set jig 11 can be accommodated in a multistage manner in order to increase the processing amount of the object to be cleaned, and an opening 13e is provided on one side surface of the cylindrical main body 13d. Guide grooves 13f are formed on both sides of the opening 13e, and both edges of the lid 13i that opens and closes the opening 13e are slidably fitted into the guide grooves 13f. A plurality of jig receivers 13g are provided, and an outer collar 13h is formed at the upper end of the main body 13d, and a handle 13c is attached to the outer collar 13h. Then, the horizontal lid 13f is pulled up, and the setting jig 11 is inserted from the opening 13e and placed on each jig receiver 13g. Then, the opening 13e is closed by the lid 13i, and the outer casing 13h of the basket 13B is cleaned. The basket 13 </ b> B is set in the cleaning container 4 by being hooked on the jig receiver 12 of the container 4.
[0035]
Further, by providing a seal portion (not shown) at the contact portions of the

baskets

13, 13A, 13B and the set jig 11, and the contact portions of the

baskets

13, 13A, 13B and the cleaning container 4, the cleaning liquid 1 is leaked from the contact portions. It may be prevented. In addition, if it can adapt to the magnitude | size and shape of the set jig 11, the magnitude | size and shape of the

baskets

13, 13A, 13B will not be specifically limited.
[0036]
In FIG. 7, a cleaning container 4 dedicated to direct cleaning and a cleaning container 41 dedicated to ultrasonic cleaning are alternately arranged, and a plurality of setting jigs 11 are controlled simultaneously using these

cleaning containers

4 and 41. An apparatus for alternately performing direct cleaning and ultrasonic cleaning is shown. Further, the apparatus is provided with a liquid draining compressor (not shown) and a drying container 42, and warm air is supplied to the drying container 42 by a heater 42a and a blower 42b. There is no ultrasonic vibrator 21 in the cleaning container 4, and the through-hole of the ferrule A of the setting jig 11 housed in the cleaning container 4 is cleaned by the high-pressure cleaning liquid flow of the circulating cleaning liquid 1. Further, the cleaning container 41 sucks up the cleaning liquid 1 by depressurization by a vacuum pump (not shown).
[0037]
As shown in FIG. 8, a jig receiver 41c is provided in an intermediate portion of the cleaning container 41, and the cleaning container 41 is separated into an upper chamber 41a and a lower chamber 41b by a setting jig 11 placed on the jig receiver 41c. The ultrasonic vibrator 21 is provided below the cleaning container 41. In addition, an outlet 41d is opened in the upper chamber 41a of the cleaning container 41, an inlet 41e is opened in the bottom of the lower chamber 41b , and the upper end of the cleaning container 41 is closed by a lid 41f.
[0038]
FIG. 9 shows a cleaning process using the apparatus shown in FIG. In this cleaning step, the set jig 11 is conveyed in a tact manner using a plurality of operation means 20 provided in series.
[0039]
Then, after setting the object to be cleaned in each of the plurality of setting jigs 11, the plurality of setting jigs 11 are put in the

cleaning containers

4 and 41 to clean the objects to be cleaned, and then the adjacent cleaning as indicated by the arrows. It transfers to the

containers

4 and 41 one after another, and direct washing | cleaning and ultrasonic cleaning are performed alternately, and finally it transfers to the drying container 42 and dries to-be-cleaned object. In addition, about the washing | cleaning liquid adhering to the through-hole of to-be-washed | cleaned object, it drains before the direct-type washing | cleaning of the following process, and it is made to improve the washing | cleaning efficiency in this next process.
[0040]
As the cleaning container 41 dedicated to ultrasonic cleaning, an ultrasonic vibrator 21 is provided at the upper and lower parts as shown in FIG. 10, or an ultrasonic vibrator 21 is provided at both the left and right sides as shown in FIG. May be used.
[0041]
The cleaning liquid 1 used in the above-described cleaning apparatus and cleaning method includes, in addition to pure water and industrial water, a hydrocarbon solvent, a glycol ether compound or an alcohol compound cleaning agent, or these and various surfactants. Various detergents such as a detergent composed of a mixture with water, an emulsion detergent composed of the above mixture, and other cationic, anionic and nonionic detergents can be used. You may use it, using a heater suitably for the purpose of improving the cleaning power of such a cleaning agent.
[0042]
Although the cleaning agent used in this cleaning step varies depending on the material of the cleaning object, the ceramic ferrule A is preferably an alkaline cleaning agent having a pH of 8 to 14 for the liquid actually used.
[0043]
Moreover, although it is preferable to use pure water as the rinsing liquid, ion exchange water or city water may be used depending on the required cleanliness of the product. In order to increase the drying efficiency, a draining agent containing alcohols or highly volatile solvent components may be used after the rinsing step.
[0044]
The object to be cleaned is not limited to the ferrule A.
[0045]
【Example】
The set jig 1 can be equipped with 100 vertical dimensions × horizontal dimensions × thickness dimensions of 80 mm × 80 mm × 5 mm and ferrules (outer diameter is 2.5 mm, through-hole inner diameter is 0.125 mm, length is 10 mm). .
[0046]
Using the apparatus shown in FIG. 1, a set jig 11 in which 100 ferrules after the grinding process are set is placed on the jig receiver of the cleaning container 4, and Pine Alpha manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd. is used as a cleaning agent. Washing experiments were performed as described in Table 1 using a 3% aqueous solution of ST-880 and using pure water as the rinse water. The cleaning container 4 is provided with an ultrasonic vibrator 21. Since the cleaning liquid 1 mainly flows through the fine through-hole A1 of the ferrule and flows into the lower chamber 4b, a high-pressure direct path in which the internal pressure of the upper chamber of the cleaning container 4 reaches 5 kg / cm ² is obtained.
[0047]
In the comparative example, a cleaning experiment was performed as described in Table 1 using the following cleaning apparatus. Cleaning device of the comparative example has a basket 101 a number of liquid passage holes 100 in the bottom portion is kicked set as shown in FIG. 12, the cleaning vessel 102 by placing the basket 101 to the receiving portion 103 of the cleaning vessel 102 Are divided into an upper chamber 104 and a lower chamber 105. Then, the 100 ferrules directly put in the bucket 101 without using the setting jig 11, as in Example was subjected to direct path washed by operating the liquid feed pump in the circulation line. At this time, the internal pressure of the upper chamber of the cleaning container did not increase.
[0048]
As a result of the experiment, as shown in Table 1, in the comparative example, the pass rate was 50% or less, but in Example 1, it reached 83% and a considerable cleaning effect was obtained. The pass rate was further improved by performing direct pass cleaning after ultrasonic cleaning, or performing ultrasonic cleaning first as in Example 3, and alternately performing direct pass cleaning and ultrasonic cleaning. As a result, Examples 1 to 3 were found to be suitable for cleaning the fine through-hole A1 of the ferrule A.
[0049]
[Table 1]

[0050]
【The invention's effect】
According to the parts cleaning apparatus and the cleaning method of the present invention, the high-pressure cleaning liquid can intensively flow through the through-holes of the object to be cleaned, and the cleaning effect can be enhanced, so that it has fine through-holes that are difficult to clean. It improves the cleaning effect of precision parts such as ferrules of optical connectors and enables cleaning in a short time. In addition, conventionally, it is possible to perform cleaning in units of several hundred pieces, for example, and mass productivity is improved, as compared with conventional high-pressure shower cleaning, in which cleaning is performed by aiming at an object to be cleaned one by one.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
2A is a plan view of a setting jig of the apparatus, FIG. 2B is a sectional view of the setting jig, and FIG. 2C is an enlarged sectional view of the setting jig;
FIG. 3 is a sectional view showing a cleaning container of the apparatus.
FIG. 4 is a sectional view showing a cleaning container of the apparatus.
FIG. 5 is a sectional view showing a cleaning container of the apparatus.
FIG. 6 is a perspective view showing a basket of a setting jig of the apparatus.
FIG. 7 is a schematic view showing a cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a sectional view showing a cleaning container of the apparatus.
FIG. 9 is a view showing a cleaning process of the apparatus.
FIG. 10 is a sectional view showing a cleaning container of the apparatus.
FIG. 11 is a sectional view showing a cleaning container of the apparatus.
FIG. 12 is a schematic view showing a cleaning apparatus according to a comparative example.
[Explanation of symbols]
A Ferrules (parts)
A1 Ferrule through-hole 1 Cleaning liquid 2 Liquid tank 4 Cleaning container 11 Setting jig (holding means)

Claims

In an apparatus for cleaning an object to be cleaned in a cleaning container incorporated in a cleaning liquid circulation line with a cleaning liquid forcibly circulating in the cleaning container,
A holding means for holding an object to be cleaned having a fine through hole so that the through direction of the through hole is the same as or close to the liquid flow direction of the cleaning liquid;
The inside of the cleaning container is partitioned into an upper chamber and a lower chamber by the holding means, and the cleaning liquid flowing into the upper chamber is mainly configured to pass through a through-hole of an object to be cleaned and reach the lower chamber. A cleaning apparatus for parts, wherein a high-pressure cleaning liquid flow passes through a through-hole of a cleaning object.

The holding means includes a plurality of holding recesses into which an object to be cleaned is loosely fitted, and a flow hole having a smaller diameter than the holding recess provided at the bottom of the holding recess, The parts cleaning apparatus according to claim 1 , wherein the through hole of the object to be cleaned loosely fitted to the place and the flow hole communicate with each other.

The apparatus for cleaning parts according to claim 1 or 2 , further comprising an ultrasonic cleaning means for cleaning an object to be cleaned with ultrasonic waves.

A method for cleaning parts, wherein the cleaning apparatus according to claim 3 alternately repeats ultrasonic cleaning and high-pressure cleaning in which a high-pressure cleaning liquid flow is passed through the through-hole of the object to be cleaned.

A cleaning method for parts, wherein the cleaning apparatus according to claim 3 performs ultrasonic cleaning and high-pressure cleaning that allows a high-pressure cleaning liquid flow to pass through the through-hole of an object to be cleaned.