JP3845225B2 - 磁気駆動ポンプ - Google Patents
磁気駆動ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3845225B2 JP3845225B2 JP12690999A JP12690999A JP3845225B2 JP 3845225 B2 JP3845225 B2 JP 3845225B2 JP 12690999 A JP12690999 A JP 12690999A JP 12690999 A JP12690999 A JP 12690999A JP 3845225 B2 JP3845225 B2 JP 3845225B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic field
- piece
- annular path
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electromagnetic Pumps, Or The Like (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体或いは液体を移送するための新規な磁気駆動ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
通常、光ディスクや磁気ディスク等の回転型情報記録媒体の駆動装置にあっては、ディスクを含む回転部分は空気中にあるが、記録媒体の大容量化に伴いその高速化の要求が強くなるに従い、空気抵抗が無視できなくなっている。記録媒体の高速回転により空気抵抗が大きくなると、それだけモータに負荷がかかり、消費電力も大きくなる。
【0003】
このため、従来より、記録媒体の収納空間を減圧して回転時の空気抵抗を低減し、消費電力を抑えることが試みられている。例えば、特開平10−222960号公報には、光ディスクの装着部を気密室にして真空ポンプによりこの気密室を減圧する構成が開示されている。また、磁気ディスク装置(HDD)においても、密閉されたディスク室を真空ポンプを用いて真空排気したり、ディスクを保持するロータに関連してエアポンプとしての部材を設け、ロータの回転によりディスク室から外部へのポンプ作用を生じさせ、ディスク室を減圧するようにしたものがある(例えば米国特許第5,328,270号)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のポンプでは、機械的可動部が必須であるため、保守,寿命の点で問題があり、長寿命での動作を必要とする装置には適さず、しかも装置が大型化する難点がある。
【0005】
本発明は、上述した従来の技術の有する問題点に留意してなされたものであり、その目的とするところは、機械的可動部がなく長寿命で、小型化することが可能な磁気駆動ポンプを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の磁気駆動ポンプにあっては、吸入口及び排出口を有し内部に少なくとも2個の磁性体片が移動自在に収容された環状路と、この環状路において磁性体片を保持するためのバイアス磁界、及び磁性体片を環状路に沿って移動させるための駆動用磁界を発生させる磁界印加手段を有し、環状路には、常時バイアス磁界が加えられて磁性体片を保持する常時保持部及び磁性体片を移動させる駆動部を有し、環状路における常時保持部の、磁性体片移動方向前方に前記吸入口が、後方に前記排出口がそれぞれ配置され、磁界印加手段は、前記吸入口部分に少なくともパルス状の駆動用磁界を印加して常時保持部から1個の磁性体片を分離するように構成され、常時保持部に保持された磁性体片により排出口及び吸入口の開閉が制御され、常時保持部の少なくとも2個の磁性体片から1個が前記吸入口部分で分離されて環状路に沿って移動駆動され、排出口を経て再び常時保持部に保持されるように構成され、かつ、駆動部には、常時保持部から分離された磁性体片を常時保持部に移動せしめるまで徐々に磁界強度が増大するようバイアス磁界及び駆動用磁界が印加されるものである(請求項1)。
【0007】
上記でいう環状路は、円環状に限られるものではなく、楕円はもとより四角形や三角形等閉路を構成するものであればよい。また、バイアス磁界及び駆動用磁界を発生させる磁界印加手段は、バイアス磁界と駆動用磁界とを個々に発生させる磁界発生器により構成することができ、或いはバイアス磁界を発生する磁界発生器が駆動用磁界の発生も兼用する構成とすることもできる。バイアス磁界の発生器が駆動用磁界の発生を兼用する場合には、パルス状駆動用磁界を発生する発生器を別途設けるのがよい。環状路に移動自在に収容された磁性体片は、常時保持部にバイアス磁界で保持され、磁性体片移動方向の前方の吸入口と後方の排出口とを選択的に開閉し、駆動部における吸入口と排出口との間に磁性体片が存在しない状態では、両口が同時に開状態になることがないように調整されている。
【0008】
常時保持部にバイアス磁界で保持された少なくとも2個の磁性体片は、吸入口部分に印加されたパルス状駆動用磁界により、吸入口側の磁性体片が分離されて吸入口を経て環状路の駆動部に案内され、駆動部において駆動用磁界により排出口側に移動駆動され、排出口を経て再び常時保持部に至り、常時保持部において保持される。
【0009】
磁性体片が吸入口を経て駆動部を移動することに関連して吸入口から環状路に気体或いは液体の移送対象が取り込まれ、パルス状駆動磁界により磁性体片が駆動部を移動することにより移送対象も排出口側に移動され、排出口より排出される。この吸入口から排出口への移送動作は、磁性体片の常時保持部からの分離・駆動部での移動・常時保持部への回収の一連の動作に応じて行われる。
【0010】
ここで、駆動部には、常時保持部から分離された磁性体片を常時保持部に移動せしめるまで徐々に磁界強度が増大するようバイアス磁界及び駆動用磁界が印加されることから、常時保持部から分離された磁性体片は、駆動部における磁界強度に従ってその増大する方向つまり移動方向に引き寄せられ、常時保持部まで速やかに移動駆動されることとなる。
【0012】
この場合、バイアス磁界の磁界発生器を常時保持部に配置した磁石により構成する一方、この磁石からの磁束を伝達する磁性体を、環状路に沿って磁性体片の移動方向とは逆方向に周回すると共に前記磁石とは磁気的に間隙を有して終端するように配置してもよく(請求項2)、駆動部においては磁性体からの磁界強度が磁石に近づくほど増大する結果、移動方向に常時保持部に向かうに従って磁界強度を増大させることが可能になり、この磁性体による磁界が磁性体片に対する駆動用磁界を発生することになる。
【0013】
また、上記磁気駆動ポンプにおいて、環状路内の磁性体片の駆動部に、磁性体片の移動方向前方に順次局所磁界を断続的に加えて磁性体片を吸引するよう、磁界印加手段を設けることができる(請求項3)。常時保持部から分離された磁性体片は、磁界印加手段により順次印加された局所磁界により移動方向前方に順次吸引されて移動し、常時保持部への移動が迅速に行われる。この場合、局所磁界を印加する複数場所のそれぞれの間に磁性体片の移動方向に磁界強度が増大するようなバイアス磁界印加手段を有することにより、断続する局所駆動磁界とバイアス磁界とで磁性体片を順次移動せしめることができる(請求項4)。
【0014】
環状路を移動する磁性体片の位置を検知して駆動磁界の断続のタイミングを制御するものとすれば(請求項5)、磁性体片の移動を円滑に制御することが可能となる。
【0015】
上述した磁気駆動ポンプにおいて、磁性体片を、その移動方向前方部が凹凸のない滑らかな形状に、移動方向後方部が角部を有する形状に形成することにより(請求項6)、磁性体片の移動方向逆方向への移動を阻止した上で移動方向前方への移動を促進することができ、さらには、環状路の内面を、段差もしくは凹凸を有する形状に形成することにより(請求項7)、磁性体片の移動方向逆方向への移動をより効果的に阻止することができる。
【0016】
そして、上述した磁気駆動ポンプにおいて、各磁性体片のそれぞれの回りに、環状路の内壁面との間にオイル、磁性流体等のシール用液体を毛細管現象により保持するのがよい(請求項8)。こうすることにより、環状路における磁性体片の移動方向前後がこの磁性体片及びシール用液体により封止され、気体或いは液体の移送対象を確実に移送でき、ポンピングの信頼性が高まる。特に、シール用液体を磁性流体により構成する場合には、上記毛細管現象に加えて、磁性体片に集中する磁束によっても磁性体片周辺に磁性流体を保持する力が発生し、シール用液体の保持がより確実になる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照しながら詳述する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の磁気駆動ポンプの第1の実施形態を示す平面図であり、閉鎖された環状空間である閉回路を形成する環状路2は、その周囲が非磁性外殻部材により覆われて円環状に構成され、環状路2に比較的近接して設けられた吸入口4及び排出口6においてのみ外部と連通している。この環状路2は、これとほぼ同形で一部に切り欠きを有する環状の磁性体8,10により上下から挟み込まれている。
【0018】
図3は、環状路2に沿って展開した場合の一部の断面構成を示している。図1における吸入口4及び排出口6は説明のために便宜上外周側から環状路2に接続されているように記載しているが、図3に見られるように環状路2に上方から接続されているものとすることができる。吸入口4及び排出口6を有する環状路2の下側にほぼ平板環状の磁性体10が配置され、磁性体10の切り欠き部が吸入口4の対向位置に設定され、環状路2の上側にほぼ環状の磁性体8が配置され、磁性体8の切り欠き部が概ね吸入口4の位置に配置されている。
【0019】
環状路2の吸入口4と排出口6との間には、バイアス磁界及び駆動用磁界の発生器としてバイアス磁界発生器12が配置されている。このバイアス磁界発生器12は、図2(a)に示すように、上下方向に着磁された永久磁石14と一対の磁性ブロック16,18とを有してなり、永久磁石14の両磁極に一対の磁性ブロック16,18のそれぞれの一端部が磁気的に接続され、一対の磁性ブロック16,18のそれぞれの他端部が環状路2の吸入口4と排出口6との間(後述する常時保持部)において磁性体8,10にそれぞれ磁気的に接続されている。これにより上側磁性体8から下側磁性体10に向かう磁界が加えられ、環状路2に上から下への磁界つまりバイアス磁界が常時印加されることになる。この場合、環状路2内の磁界は、吸入口4から図1で時計方向に排出口6に向かうに従い、バイアス磁界発生器12に近接することにより、磁界強度が徐々に増大することになる。
【0020】
上述した環状路2には、2個の扁平円柱状の磁性体片20がそれぞれの回りにシール用オイルを介在させて収容されている。この磁性体片20は、軟磁性体により構成され、2個の磁性体片20はその周面と環状路2の内壁面との間にシール用オイルを主に毛細管現象により保持した状態で環状路2を移動することができるように構成されている。2個の磁性体片20のうち少なくとも1個は、バイアス磁界の磁界強度の最も大きいバイアス磁界発生器12付近に常時保持され、この部分が環状路2における磁性体片20の常時保持部2aとなる。環状路2の吸入口4から(図1の時計方向に)常時保持部2aに至るまでは磁性体片20を移動する駆動部2bとなる。磁性体片20は、後で詳述するように、環状路2に沿って図1において時計方向に移動駆動されるが、この移動方向に関連して、常時保持部2aの前方に吸入口4が、後方に排出口6がそれぞれ配置されることになる。
【0021】
環状路2の吸入口4部分(詳しくは吸入口4より磁性体片移動方向側)には、常時保持部2aから1個の磁性体片14を磁気吸引して分離するための駆動用磁界発生器22が設けられている。この駆動用磁界発生器22は、図2(b)に示すように、コ字状磁性ブロック24とこの磁性ブロック24の中腹部に巻回されたコイル26とを有してなり、磁性ブロック24の開放端間に吸入口4付近の環状路2が挟み込まれている。そして、コイル26にパルス状電流を通電してコイル26を駆動すると、コイル26により磁性ブロック24が励磁され、磁性ブロック24の開放端間にパルス状駆動磁界が発生する。従って、環状路2においては、このパルス状駆動磁界により、常時保持部2aに保持された2個の磁性体片20のうち吸入口4側の磁性体片20が吸入口4を経て駆動部2b側に吸引される。
【0022】
上述した実施形態において、例えば、環状路2の径方向の幅をミリオーダ(1〜数ミリ)、環状路2の直径をセンチオーダ(数センチ)、環状路2における上下方向の間隙をミクロンオーダ(数百ミクロン)で構成することができ、製品装置(例えば磁気ディスク装置)内部或いはこの外部に隣接して設置することができる。
【0023】
次に、上記第1の実施形態のポンプ動作につき説明する。
図3(a)は、初期状態を示し、環状路2に収容された2個の磁性体片(便宜上この状態の吸入口4側をA,排出口6側をBとする)20が常時保持部2aにおいてバイアス磁界発生器12の磁界により保持されている。この状態では、常時保持部6の2個の磁性体片(A,B)20により排出口6が閉状態、吸入口4は開状態にそれぞれ設定されている。
【0024】
上記初期状態から、駆動用磁界発生器22のコイル26にパルス状電流を印加してパルス状駆動磁界を発生させると、図3(b)に示すように、この磁界により常時保持部2aの吸入口4側の磁性体片(A)20が吸入口4側に磁気吸引され、吸入口4は閉状態となると共に、この磁性体片(A)20が駆動用磁界発生器22に吸引されることに連動してバイアス磁界発生器12より磁性体片移動方向前方に存在する吸入口4より空気が流入するので、この部分で2個の磁性体片(A,B)20は分離され、図3(c)に示す状態となり、磁性体片(A)20が吸入口4より移動方向前方に分離移動される。
【0025】
この磁性体片(A)20は環状路2を上下から挟む一対の磁性体8,10間に位置することになり、ここで、上側磁性体8から下側磁性体10に向けてバイアス磁界発生器12による磁束が流れ、しかもこの磁界強度が図1の時計方向つまり移動方向前方に行くに従い増大傾向にあるため、磁性体片(A)20は、図3の(d)のように、移動方向前方にバイアス磁界発生器12の位置に至るまで駆動される。この磁性体片(A)20の移動に伴い、環状路2に封入された空気は磁性体片(A)20に押されて移動し、排出口6より徐々に排出され、磁性体片(A)20は遂には、磁界強度の最も大きいバイアス磁界発生器12に引き寄せられて、常時保持部2aの磁性体片(B)20と合体し、図3(a)の初期状態に戻る。
【0026】
このように、常時保持部2aの2個の磁性体片(A,B)20より1個を分離することに関連して、吸入口4より空気を環状路2に取り込み、磁性体片20を移動駆動することによりこの空気を排出口6に案内し、排出することができ、上述の動作を繰り返し行うことにより、空気に対するポンピング動作が実現する。この場合、従来より使用されている真空ポンプなどに比較し、毎分の空気排出量は少ないが、機械的可動部を全く要しないことからメンテナンスフリーで長寿命を期待できることになる。
【0027】
ここで、磁性体片(A,B)20と環状路2の内壁面との間には間隙があり、これにオイルが毛細管現象により保持され、シールとして働く。このオイルは毛細管現象により保持されるのでオイルの諸特性,間隙の大きさ等は磁性体片20の前後の圧力差を考慮して決められる。シール用オイルは移送対象と混和することのない液体であればよいが、特に、磁性流体オイルを使用すれば、磁性体片20に集中する磁束によってもこの周辺に磁性流体オイルが保持されるので、シール用オイルの保持がより安定する。
【0028】
上述の第1の実施形態では、磁性体片20を単なる軟磁性体として説明したが、これを永久磁石片で構成し、バイアス磁界発生器12で環状路2に加えられる磁束の向きと同一方向に磁化されたものとすることができる。この場合、バイアス磁界発生器12或いは駆動用磁界発生器22による磁界と共に作用してさらに大きな移動力を発生することができ、ポンプ圧力を大にできる効果がある。
【0029】
また、上側磁性体8は、スパッタ、蒸着、メッキ、エッチング等の薄膜形成技術を用いて製造することができる。勿論、下側磁性体10の製造においてもこの技術により製造することもできる。
【0030】
(第2の実施形態)
つぎに、本発明の第2の実施形態を、図4及び図5を用いて説明する。これらの図面において、前記と同一符号のものは同一若しくは相当するものを示すものとする。
この実施形態では、図1で示した磁気駆動ポンプと同様、環状路2の常時保持部2aにバイアス磁界(磁性流体の保持用磁界及び磁性流体ブロックの駆動用磁界を含む)を印加するためのバイアス磁界発生器20を設ける一方、環状路2の駆動部2bにおける磁性体片20の駆動力を複数の磁界発生器により得るようにしたものである
【0031】
すなわち、環状路2の常時保持部2aには、第1の実施形態の場合と同様に、バイアス磁界及び駆動用磁界発生用のバイアス磁界発生器12が配置されるが、環状路2の駆動部2bには、吸入口4の磁性体片移動方向前方に駆動用磁界発生器30を配置する以外に、3個の駆動用バイアス磁界発生器32,34,36がほぼ等間隔に配置されている。
【0032】
駆動用磁界発生器30及び3個の駆動用バイアス磁界発生器32,34,36は、1個のコイル38により駆動できるように構成されている。駆動用磁界発生器30は、図5に示すように、コ字状磁性ブロック30aを有し、この磁性ブロック30aの開放端間に環状部2を挟み込むと共に、磁性ブロック30aの両側部間にコイル38を配置させることにより構成され、駆動用バイアス磁界発生器32〜36においても同様に構成されている。駆動用バイアス磁界発生器32,34,36は、磁界強度の異なる2レベルの磁界を切り換えて発生させることができるものである。
【0033】
環状路2の駆動部2bに複数の磁界発生器30,32,34,36を設置することに関連して、環状路2を上下から挟み込むよう配置された磁性体も多段構造に分割されている。すなわち、上側の磁性体は、駆動用磁界発生器30と駆動用バイアス磁界発生器32との間を結合する磁性体8Aと、各駆動用バイアス磁界発生器32〜36のそれぞれの間を結合する磁性体8B,8Cと、駆動用バイアス磁界発生器36とバイアス磁界発生器12との間を結合する磁性体8Dとに分割され、各磁性体8A〜8Dはそれぞれの端部が隙間を介在させて互いに対向し、下側の磁性体10も同様に磁性体10A,10B,10c,10dに分割されてそれぞれの端部が隙間を介在させて対向している。そして、上下の磁性体の分割部分においてその磁性体片移動方向前方寄りに磁界発生器32〜36がそれぞれ配置されている。
【0034】
環状路2の常時保持部2aに2個の磁性体片20が保持されている初期状態においては、第1の実施形態の場合と同様、排出口6は閉塞され、吸入口4は開放されている。この初期状態から常時保持部2aより1個の磁性体片20を分離する動作は、駆動用磁界発生器30が駆動することにより行われる。すなわち、コイル38に駆動用パルス電流が印加されると、コイル38により発生した磁界により駆動用磁界発生器30の磁性ブロック30aが磁化され、環状路2における吸入口4の磁性体片移動方向前方にパルス状磁界が発生し、常時保持部2aの吸入口4側の1個の磁性体片20が吸入口4側に磁気吸引され、分離されて駆動部2bに移動する。
【0035】
環状路2の駆動部2bに磁性体片20が移動した後は、駆動用バイアス磁界発生器32〜36の駆動により磁性体片20は移動駆動される。磁性体8Aの移動方向前端位置に対応する駆動用バイアス磁界発生器32は、磁性体片20が磁性体8Aに対応する環状路2にある時には、2レベルのうち低レベル磁界強度の磁界を発生させており、この磁界により磁性体片20は発生器32側に吸引されて移動する。この磁性体片20が磁性体8Aの端部に達したとき、発生器32は高レベル磁界強度の磁界を発生するように切り替わり、磁性体片20はこの位置から磁性体8Bに対応する位置までこの強力な磁界により吸引される。
【0036】
磁性体8Bに対応する位置に吸引された磁性体片20は、つぎに駆動用バイアス磁界発生器34による低レベル磁界強度の磁界により移動駆動され、以下同様にして、磁性体片20が磁性体8Bの対応位置から磁性体8Cの対応位置、さらには磁性体8Dの対応位置に吸引かつ移動駆動される。磁性体8Dの対応位置に達した磁性体片20は、さらにバイアス磁界発生器12の磁力により常時保持部2a側に移動駆動され、排出口6を経て常時保持部2aの磁性体片20と合体する。
【0037】
上記駆動用バイアス磁界発生器32,34,36で磁界強度の異なる2レベルの磁界を発生させる具体的な方法としては、これらに共通のコイル38による発生器磁界を2レベルに切り替えることにより行うことができる。各磁界発生器30〜36は共通のコイル38を常時低レベルで駆動することにより環状路2にバイアス磁界を発生し、磁性体片20を磁性体8A〜8B間で移動させる際にコイル38を高レベルで駆動して大きな駆動力を得るようにする。
【0038】
なお、駆動用バイアス磁界発生器32,34,36で磁界強度の異なる2レベルの磁界を発生させる具体的な方法としては、上記以外に、永久磁石とコイル駆動とを併用し、低いレベルの磁界強度は永久磁石で常時発生させ、高いレベルの磁界強度を発生させるときにコイル38を駆動して、永久磁石の磁界にコイル38による磁界を重畳させるようにしてもよい。
【0039】
第2の実施形態の場合、各発生器30〜36に共通のコイル38を環状路2の内周側に配置しているため、ポンプ全体としてのスペース効率が良好になる。勿論、コイル38を環状路2の上側(或いは下側)に重ねてもよい。さらには、各発生器30〜36を駆動するコイルは個々に設けてもよいし、駆動用磁界発生器30単独と駆動用バイアス磁界発生器32〜36共通との2つを設けてもよい。
【0040】
(第3の実施形態)
つぎに、第3の実施形態を、図6及び図7を用いて説明する。
この実施形態は、吸入口4と排気口6との圧力をさらに取りたい場合や高速で排気を行うような応用に適したポンプの形態であり、多相の磁界を発生させて順次磁性体片を吸引駆動するようにしたものである。以下の説明では、2相の磁界で磁性体片を順次吸引して移動させるものについて説明するが、3相以上の多相の磁界を用いて同様に実施できることは明らかである。
【0041】
吸入口4及び排出口6を有する円環状の環状路2は、吸入口4と排出口6との間に位置する常時保持部2aと、吸入口4から磁性体片移動方向(図6で時計方向)に排出口6に至る駆動部2bとを有する。環状路2には、先の実施形態で説明したような磁性体は存在せず、環状路2に沿ってこの環状路2の上方外周寄りと上方内周寄りとに円環状の2相のコイル40,42が配設されている。
【0042】
環状路2の常時保持部2aには、バイアス磁界発生器44が配置されている。この発生器44は、図7(a)に示すように、バイアス磁界を発生させるための永久磁石44aと一対の磁性板44b,44cとよりなり、磁性板44b,44cの端部間に永久磁石44aがその両磁極を磁性板44b,44cに向けて挟み込まれており、両磁性板44b,44cの開放端は常時保持部2aの外周側を上下から覆うように配置されている。上側の磁性板44bには外周側のコイル40が接合され、このコイル40が駆動した際には、永久磁石44aによる磁界にコイル40による磁界が重畳されることになる。この発生器44は吸入口4と排出口6との間に永久磁石44aが配置されることからこの位置の磁界強度が最大となり、磁性体片はこの付近を中心に保持されることになる。
【0043】
環状路2の常時保持部2aを除く部分には、環状路2の内周側の駆動用磁界発生器46と外周側の駆動用磁界発生器48とが環状路2に沿って交互に配置されている。吸入口4の対応位置を含め、環状の内周側に間隔を介して配置された複数個(図6では6個)の駆動用磁界発生器46は、図7(b)に示すように、外周側に開口した断面コ字状の磁性体ブロック46aと各発生器46に共通の内周側コイル42とからなり、磁性体ブロック46aの下側片が環状路2の内周半部を支持すると共に、磁性体ブロック46aの上側片が環状路2の内周半部の上側を覆っており、上側片の下面にコイル42が接合されている。
【0044】
環状路2の外周側に環状路2に沿って間隔を配置された複数個(図6では5個)の駆動用磁界発生器48は、図7(c)に示すように、内周側に開口した断面コ字状の磁性体ブロック48aと各発生器48に共通の外周側コイル40とからなり、磁性体ブロック48aの下側片が環状路2の外周半部を支持すると共に、磁性体ブロック48aの上側片が環状路2の外周半部の上側を覆っており、上側片の下面にコイル40が接合されている。
【0045】
吸入口4に対応して配置された発生器46は、その磁性体ブロック46aの周方向側縁(磁性体片移動方向前方側縁)が前記発生器44の両磁性板44bの周方向側縁(磁性体片移動方向後方側縁)に移動方向に対し重なることなく一致している。しかし、その他の外周側の発生器48と内周側の発生器46は、それぞれの磁性体ブロック48a,46aがその周方向全長のほぼ1/3を周方向に互いに重ならせて配置され、常時保持部2aに移動方向逆方向において近接した内周側の発生器46は、その磁性体ブロック46がバイアス磁界発生器44の磁性板44bに周方向に幾分重なって配置されている。
【0046】
この第3の実施形態では、初期状態において、バイアス磁界発生器44の永久磁石44aの磁束により常時保持部2aにバイアス磁界が常時印加されているため、常時保持部2aに磁性体片が保持される。この初期状態からポンプ動作を開始する場合、まず内周側のコイル42が駆動され、吸入口4に対応した駆動用磁界発生器46による磁界が吸入口4に印加され、これに隣接する常時保持部2aの磁性体片が吸入口4側に吸引され、分離される。この動作時、内周側の各発生器46は一斉に磁界を発生するが、問題はなく、特に常時保持部2aに移動方向逆方向において近接する発生器46からの磁界は、バイアス磁界発生器44の永久磁石44aの位置から幾分離れているため、常時保持部2aの磁性体片が逆方向に吸引されることはほとんどない。
【0047】
コイル42の駆動により磁性体片が分離された直後、このコイル42の駆動が停止されてつぎに外周側のコイル40が駆動される。従って外周側の駆動用磁界発生器48による磁界が発生し、環状路2において吸入口4位置の発生器46に対応した位置に分離された磁性体片がこれに隣接した発生器48の磁界により移動方向前方に吸引され、環状路2を移動する。その後、外周側のコイル40が停止してさらに内周側のコイル42が再び駆動し、上記発生器48に移動方向前方側に隣接した発生器46の磁界により磁性体片が前方に移動する。以下同様にして、コイル42,40が交互に駆動することにより、磁性体片が移動方向前方に配置された発生器48,46による磁界により移動する。移動方向最終端の内周側発生器46の発生磁界によりこの発生器46に対応する位置に移動した磁性体片は、つぎに外周側コイル40が駆動されることによるバイアス磁界発生器44の磁界により排気口6側に吸引移動され、排気口6を経て永久磁石44aの磁力により常時保持部2a側に速やかに移動され、常時保持部2aの磁性体片と合体する。
【0048】
内周側のコイル42が駆動する毎に、吸入口4に対応した発生器46の磁界により常時保持部2aの磁性体片を吸入口4側に磁気吸引することが可能であるため、常時保持部2aに3以上の複数個の磁性体片を保持した上で、2相のコイル42,40を交互に駆動することにより、常時保持部2aから磁性体片を順次分離してこれを移動方向前方に順次移動駆動することができ、連続した空気の移動つまりポンピング動作を行わせることができ、吸入口4から環状路2を通して排気口6に連続的に排気することができる。
【0049】
(第4の実施形態)
つぎに、第4の実施形態を、図8を用いて説明する。
この第4の実施形態は、吸入口4及び排出口6を有する環状路2の内部に、移動方向前方部が滑らかな引っ掛かりの無い突曲面形状に形成され後方部が逆方向に移動し難いよう周縁に角部のある形状に形成された2個の磁性体片50を収容したものを示している。特に、図8では、環状路2の駆動部2bに位置する磁性体片50が、逆方向への力の作用により、その後方部の角部が環状路2の内壁面に引っ掛かって停止している状態を示しており、これ以上の逆方向への移動が阻止されると共に、移動方向前方への駆動力が作用することにより円滑に前方へ移動することができるようになっている。
【0050】
なお、第4の実施形態において、環状路2の内面を、磁性体片50の逆方向への移動時にその角部が引っ掛かり易いような段差や凹凸の多い表面に形成することが望ましく、磁性体片50の逆方向への移動をより確実に阻止することが可能となる。
【0051】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で変更乃至修正が可能である。たとえば、上述した各実施形態では、磁性体片20,50の位置検出は行わずに非同期で駆動磁界を発生させる場合で説明したが、特に第2及び第3の実施形態の場合や、高速度で運転する場合には、磁性体片20,50の位置を検出して駆動磁界を制御するのがよい。
【0052】
また、上述した実施形態では、単体のポンプ構成を示しているが、これを多段に構成して並列運転することもでき、ポンプ容量を大幅に増大することが可能であり、特に、環状路2を多段に積層した場合には、バイアス磁界発生手段や駆動用磁界発生手段をこれら多段のポンプに共用とすることも可能である。
【0053】
さらに、上記では空気を排気する場合を説明したが、排気対象はこれに限らず、他の気体や液体でも同様に適用することができることは明らかである。
【0054】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、つぎに記載する効果を奏する。
環状路に収納した少なくとも2個の磁性体片をバイアス磁界及び駆動用磁界により環状路に沿って移動駆動させ、この磁性体片の移動に関連させて吸入口からの気体や液体を環状路を通して排出口より排出することができるので、ポンピング動作の全てを磁気的に行わせることができ、機械的な駆動部分を全く要さず、メンテナンスフリーである上、長寿命を実現できるものである。しかも、吸入口及び排出口を有する環状路にバイアス磁界及び駆動用磁界の磁界印加手段を設けるだけの構成であるため、小型化が可能であり、ポンプ搭載装置の小型化にも大きく寄与できるものである。
【0055】
特に、本発明の磁気駆動ポンプは、ポンプ容量そのものはあまり大きくないものの、長寿命での動作を必要とする製品装置に適用して大きな効果を発揮でき、例えば、磁気ディスク装置に搭載することによりこの装置内を低圧に保持でき、ディスクの高速回転を可能にし、低消費電力化,信頼性向上を実現できるものである。勿論、他の製品装置に適用してメンテナンスフリー及び長寿命の特徴を十分に享受できるものである。
【0056】
また、環状路の駆動部に磁性体片の移動方向に磁界強度が増大するようなバイアス磁界及び駆動用磁界が印加するようにした場合には、駆動部に吸引された磁性体片をこの磁界勾配で円滑かつ迅速に移動駆動することができ、気体や液体のポンピング動作をより高めることができる。この駆動部における磁界強度の勾配の調整・制御において、環状路を対の磁性体で挟み込むようにして行う場合には、環状路に対面する磁性体の面積を制御することにより簡単に磁界勾配を制御でき、構成が簡単になる効果が得られ、特にこの磁性体はスパッタや蒸着、メッキ、エッチング等の薄膜形成技術で製造することもでき、超小型のポンプを製造することも可能となる。
【0057】
さらに、環状路の駆動部において、磁性体片の移動方向前方に順次局所磁界を断続的に加えるようにすれば、磁性体片の移動駆動をより確実かつ高速に行わせることができ、ポンプ容量の増大を図ることができ、しかも、環状路における磁性体片の位置を検出する手段を設けて駆動磁界の断続のタイミングを制御するようにすれば、より正確に高速運転が実現できる。
【0058】
また、磁性体片を、その移動方向前方部が凹凸のない滑らかな形状に、移動方向後方部が角部を有する形状に形成することにより、磁性体片の移動方向前方への移動を円滑に案内できると同時に、磁性体片に逆方向の力が作用した場合であっても磁性体片の逆方向へに移動を阻止することができ、磁性体片の移動駆動を安定して行うことができるものである。加えて、環状路の内面に段差や凹凸を有する形状に形成しておくことにより、磁性体片の逆方向への移動をより確実に阻止することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気駆動ポンプの第1の実施形態を示す概略平面図である。
【図2】図1におけるバイアス磁界発生器及び駆動用磁界発生器を示し、(a)は図1のバイアス磁界発生器のa−a’線断面図、(b)は図1の駆動用磁界発生器のb−b’線断面図である。
【図3】図1において環状路に沿って切断した場合の断面展開図であり、(a)〜(d)はそれぞれ異なる動作状態を示すものである。
【図4】本発明の磁気駆動ポンプの第2の実施形態を示す概略平面図である。
【図5】図4の磁界発生器におけるc−c’線断面図である。
【図6】本発明の磁気駆動ポンプの第3の実施形態を示す概略平面図である。
【図7】図6におけるバイアス磁界発生器及び駆動用磁界発生器を示し、(a)は図6のバイアス磁界発生器のd−d’線断面図、(b)は図6の駆動用磁界発生器のe−e’線断面図、(c)は図6の駆動用磁界発生器のf−f’線断面図である。
【図8】本発明の磁気駆動ポンプの第4の実施形態を示す概略平面図である。
【符号の説明】
環状路
2a 常時保持部
2b 駆動部
4 吸入口
排出口
8、10 磁性体
8A、8B、8C、8D 磁性体
10A,10B,10C,10D 磁性体
12 バイアス磁界発生器
20、50 磁性体片
22、30 駆動用磁界発生器
32、34,36 駆動用バイアス磁界発生器
44 バイアス磁界発生器
46、48 駆動用磁界発生器
Claims (8)
- 吸入口及び排出口を有し内部に少なくとも2個の磁性体片が移動自在に収容された環状路と、該環状路において前記磁性体片を保持するためのバイアス磁界、及び前記磁性体片を前記環状路に沿って移動させるための駆動用磁界を発生させる磁界印加手段を有し、前記環状路には、常時バイアス磁界が加えられて前記磁性体片を保持する常時保持部及び前記磁性体片を移動させる駆動部を有し、前記環状路における前記常時保持部の、磁性体片移動方向前方に前記吸入口が、後方に前記排出口がそれぞれ配置されており、前記磁界印加手段は、前記吸入口部分に少なくともパルス状の駆動用磁界を印加して前記常時保持部から1個の前記磁性体片を分離するように構成され、前記常時保持部に保持された前記磁性体片により前記排出口及び前記吸入口の開閉が制御され、前記常時保持部の前記少なくとも2個の磁性体片から1個が前記吸入口部分で分離されて前記環状路に沿って移動駆動され、前記排出口を経て再び前記常時保持部に保持されるように構成され、かつ、前記駆動部には、前記常時保持部から分離された磁性体片を前記常時保持部に移動せしめるまで徐々に磁界強度が増大するよう前記バイアス磁界及び駆動用磁界が印加されることを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項1において、前記バイアス磁界の磁界印加手段として前記常時保持部に磁石を配置し、該磁石からの磁束を伝達する磁性体を、前記環状路に沿って磁性体片の移動方向とは逆方向に周回すると共に前記磁石とは磁気的に間隙を有して終端するように配置したことを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項1において、前記環状路内の磁性体片の駆動部には、前記磁性体片の移動方向前方に順次局所磁界を断続的に加えて前記磁性体片を吸引するよう、駆動用磁界のための磁界印加手段が設けられていることを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項3において、局所磁界を印加する複数場所のそれぞれの間には前記磁性体片の移動方向に磁界強度が増大するようなバイアス磁界印加手段を有し、断続する局所駆動磁界とバイアス磁界とで前記磁性体片を順次移動せしめることを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項3において、前記環状路を移動する磁性体片の位置を検知して駆動磁界の断続のタイミングを制御することを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項1,2,3,4及び5のいずれかにおいて、前記磁性体片は、その移動方向前方部が凹凸のない滑らかな形状に、移動方向後方部が逆方向に移動し難いよう角部を有する形状に形成されていることを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項1,2,3,4,5及び6のいずれかにおいて、前記環状路の内面は、磁性体片が移動方向逆方向に移動し難いよう、段差もしくは凹凸を有する形状に形成されていることを特徴とする磁気駆動ポンプ。
- 請求項1,2,3,4,5,6及び7のいずれかにおいて、前記各磁性体片のそれぞれの回りには前記環状路の内壁面との間にオイル、磁性流体等のシール用液体が毛細管現象により保持されており、前記環状路における前記磁性体片の移動方向前後が当該磁性体片及び前記シール用液体により封止されていることを特徴とする磁気駆動ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12690999A JP3845225B2 (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | 磁気駆動ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12690999A JP3845225B2 (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | 磁気駆動ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000320473A JP2000320473A (ja) | 2000-11-21 |
JP3845225B2 true JP3845225B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=14946904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12690999A Expired - Fee Related JP3845225B2 (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | 磁気駆動ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3845225B2 (ja) |
-
1999
- 1999-05-07 JP JP12690999A patent/JP3845225B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000320473A (ja) | 2000-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4505050B2 (ja) | ステップモータ | |
EP1898133B1 (en) | Magnetic fluid sealing device | |
WO2011013483A1 (ja) | 回転駆動装置およびそれを用いた遠心式ポンプ装置 | |
JP4695881B2 (ja) | 流体移動のための方法およびマイクロ蠕動ポンプ | |
WO2012036059A1 (ja) | 遠心式ポンプ装置 | |
JP6205520B2 (ja) | マグネトロンスパッタリング装置用の回転式カソードユニット | |
JP2005127222A (ja) | 磁気浮上型ポンプ | |
JP3845225B2 (ja) | 磁気駆動ポンプ | |
JP3805921B2 (ja) | 磁性流体駆動ポンプ | |
JP4472611B2 (ja) | 遠心式血液ポンプ装置 | |
JP2005504928A (ja) | 真空ポンプに用いられる振動ピストン駆動装置ならびに振動ピストン駆動装置のための運転法 | |
JPS58207853A (ja) | ブラシレスモ−タ | |
JP3757733B2 (ja) | 公転式アクチュエータ | |
JP2005083309A (ja) | 電磁式ポンプの駆動方法 | |
JPH10290558A (ja) | マグネチックsrモータ | |
JPH10336994A (ja) | リニアモータ及び該リニアモータを用いた往復動形圧縮機 | |
JPH03113184A (ja) | 電動式流量制御弁 | |
KR102266140B1 (ko) | 영구자석의 고정구조를 개선한 모터 고정장치 | |
JPS63189676A (ja) | 可動磁石式ダイヤフラムポンプ | |
JP4570342B2 (ja) | 電磁ポンプの固定子 | |
JPH03199696A (ja) | 遠心ポンプ | |
JPH1189180A (ja) | ポンプレスポンプ | |
JP2024048522A (ja) | 磁気冷凍装置及び冷凍機 | |
JP2005054638A (ja) | 電磁式ポンプ | |
JPS6365185A (ja) | 可動磁石式ダイヤフラムポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060818 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |