JP3840036B2 - 化合物半導体エピタキシャルウェハ及びhemt - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化合物半導体エピタキシャルウェハ及びHEMTに関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は従来の化合物半導体エピタキシャルウェハの構造図である。
【0003】
同図に示す化合物半導体エピタキシャルウェハ1は、GaAs基板2の上に、un−GaAsからなる下側バッファ層3、un−AlGaAsからなる上側バッファ層4、n+ −AlGaAsからなる下側電子供給層5、un−InGaAsからなる電子走行層6、n+ −AlGaAsからなる上側電子供給層7、un−AlGaAsからなるショットキー層8及びn+ −GaAsからなるオーミックコンタクト層9が順次積層されたエピタキシャルウェハである。
【0004】
このエピタキシャルウェハ1は、FET(電界効果トランジスタ)構造とは異なるD−HEMT(ダブルヘテロダブルドープの高電子移動度トランジスタ)の構造を有しており、下側電子供給層5の直下の上側バッファ層4が、下側電子供給層5のAl組成以上のAlGaAs層となっている点に特徴がある。
【0005】
このD−HEMT構造のエピタキシャルウェハ1は、上側バッファ層4のバンドギャップを下側電子供給層5のバンドギャップより大きい組成(高抵抗)とすることで、バッファ層側に2次元電子ガスが形成されることを防止するものである。2次元電子ガスが形成されると、上側バッファ層4へのリーク電流が発生し、トランジスタ特性が著しく悪化する。
【0006】
これを改善するため、バッファ層に酸素等を添加した高抵抗のAlGaAs層を使用したものもある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、バッファ層が最適化されていないと、バッファ層側へのリーク電流が発生したり、電子走行層のキャリアが消滅したりするという不具合が生じる。特に前述した酸素添加のバッファ層はキャリアを消滅させる確率が高いという問題があった。
【0008】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、最適なバッファ層を有する化合物半導体エピタキシャルウェハ及びHEMTを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の化合物半導体エピタキシャルウェハは、GaAs基板上に、バッファ層、AlGaAsからなる下側電子供給層、GaAsもしくはInGaAsからなる電子走行層、AlGaAsからなる上側電子供給層及びAlGaAsからなるショットキー層が順次形成されたダブルヘテロダブルドープHEMT構造の化合物半導体エピタキシャルウェハにおいて、下側電子供給層の直下のバッファ層は、下側電子供給層のAl組成以上のAlGaAsバッファ層であり、AlGaAsバッファ層の厚さが100〜300nmの範囲内にあり、p濃度が1E16〜5E16cm-3の範囲内にあり、かつAl組成が0.28より大きく0.4以下の範囲内にあるものである。
【0010】
本発明のHEMTは、GaAs基板上に、バッファ層、AlGaAsからなる下側電子供給層、GaAsもしくはInGaAsからなる電子走行層、AlGaAsからなる上側電子供給層及びAlGaAsからなるショットキー層が順次形成され、ショットキー層の上に対向するように一対のオーミックコンタクト層が形成され、オーミックコンタクト層の上にソース電極とドレイン電極とがそれぞれ形成され、ショットキー層の上のソース電極とドレイン電極との間にゲート電極が形成されたダブルヘテロダブルドープのHEMTにおいて、下側電子供給層の直下のバッファ層は、下側電子供給層のAl組成以上のAlGaAsバッファ層であり、AlGaAsバッファ層の厚さが100〜300nmの範囲内にあり、p濃度が1E16〜5E16cm-3の範囲内にあり、かつAl組成が0.28より大きく0.4以下の範囲内にあるものである。
【0011】
ここで、図6は図5に示した従来の化合物半導体エピタキシャルウェハのエネルギーバンド図である。
【0012】
同図において上側バッファ層4、下側電子供給層5、電子走行層6、上側電子供給層7及びショットキー層8を右から左に配列したときのバンド構造が示されている。なお、EF はフェルミ準位である。
【0013】
従来の化合物半導体エピタキシャルウェハは、高抵抗のAlGaAsからなるバッファ層を有しているため障壁が低く、バッファ層へのリーク電流が発生しやすい。
【0014】
図3は本発明のp- −AlGaAsを用いたD−HEMT構造のエピタキシャルウェハのエネルギーバンド図である。
【0015】
本発明のエピタキシャルは、バッファ層の濃度をp- になるように制御しているため、同図に示すようにバッファ層のバンドエネルギーを持ち上げることができ、バッファ層側へのリーク電流を減らすことができる。
【0016】
ここで、p- −AlGaAsバッファ層の厚さと、p- のキャリア濃度の適性化とが問題となる。トランジスタを正常に動作させるためには、バッファ層は空乏化している必要がある。p- −AlGaAsバッファ層が厚すぎたり、p濃度が高すぎると、バッファ層がp型になってしまうため最適化が必要となる(この制限は後述する。)。また、下側電子供給層より大きなAl組成のAlGaAsを用いると、障壁が大きくなるため、これもバッファ層へのリーク電流を防止するのに有効である。但し、Al組成が多すぎると、電子走行層に悪影響を及ぼすため、適性化が必要となる。
【0017】
そこで、下側電子供給層の直下のAlGaAsバッファ層の厚さを50〜300nmの範囲内にし、p濃度を5E14〜5E16cm-3の範囲内にし、かつAl組成を0.2より大きく0.4以下の範囲内にすることにより、バッファ層のバンドエネルギーを持ち上げることができ、バッファ層側へのリーク電流を減らすことができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【0019】
図1は本発明の化合物半導体エピタキシャルウェハの一実施の形態を示す構造図である。なお、従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【0020】
本化合物半導体エピタキシャルウェハ10は、GaAs基板2上に、un−GaAsからなる下側バッファ層3、AlGaAsからなる上側バッファ層11、n+ −AlGaAsからなる下側電子供給層5、un−InGaAsからなる電子走行層6、n+ −AlGaAsからなる上側電子供給層7、un−AlGaAsからなるショットキー層8及びn+ −GaAsからなるオーミックコンタクト層9が順次積層されたダブルヘテロダブルドープHEMT構造の化合物半導体エピタキシャルウェハであって、下側電子供給層5の直下の上側バッファ層11は、下側電子供給層5のAl組成以上のAlGaAs層で厚さが100〜300nmの範囲内にあり、かつ、p濃度が1E16〜5E16cm-3の範囲内にあり、Al組成が0.28より大きく0.4以下の範囲内にあるものである。
【0021】
本エピタキシャルウェハ10は、上側バッファ層11のp濃度をp- になるように制御しているため、上側バッファ層11のバンドエネルギーを持ち上げることができ、上側バッファ層11側へのリーク電流を減らすことができる。このため、最適なバッファ層を有する化合物半導体エピタキシャルウェハ及びHEMTの提供を実現することができる。
【0022】
【実施例】
次に具体的な数値を挙げて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0023】
(実施例1)
図2は本発明のHEMTの一実施例を示す断面図である。
【0024】
このHEMT20は、電子供給層5,7のAlGaAsのAl組成を0.23とし、電子走行層6をInGaAsとし、In組成を0.20としたシュードモルフィックのD−HEMTエピタキシャルウェハをMOVPE法により成長させ、ショットキー層8上にゲート電極21を形成し、オーミックコンタクト層9a、9bにそれぞれドレイン電極22とソース電極23を形成したものである。
【0025】
(比較例)
上側バッファ層4のAlGaAsのAl組成を0.23とし、膜厚dを200nmとし、V/III 比を高くして高抵抗層としたものを作製し、これをリファレンスとした。
【0026】
(実施例2)バッファ層の最上層のAlGaAs層の膜厚の適性化
上側バッファ層11のAlGaAsのキャリア濃度をp型で1E16cm-3とし、Al組成を0.28に固定した。膜厚dは20nm、35nm、50nm、100nm、200nm、300nm、500nmとした。ゲート電極に逆バイアスをかけ、ゲート電圧Vg=閾値電圧Vthとし、ドレイン−ソース間に電圧VDSを印加しても電流IDSが流れない状態にしておいて、ドレイン−ソース電圧VDSを20Vまでかけてドレイン−ソース間に流れるリーク電流をILeakとして測定した。
【0027】
このリーク電流ILeakが100μA以上流れたときのソースドレイン耐圧BVDSを表1に示す。
【0028】
【表1】
【0029】
図4はBVDSの説明図である。同図において横軸はドレイン−ソース電圧軸であり、縦軸がドレイン−ソース電流軸を示す。
【0030】
BVDSは大きい方がよく、表1より膜厚dが50nm以上で比較例(高抵抗層)よりBVDSが大きくなっており、効果があることが分る。特に膜厚dが100nm以上で大きな効果があることが分る。BVDSの測定結果では500nmでも問題はないが、バッファ層が空乏化せずp型になってしまった。このため、膜厚dは50〜300nmが適性値と言える。
【0031】
(実施例3)バッファ層の最上層AlGaAsのp濃度適正化
上側バッファ層11のAlGaAsの膜厚dを100nmとし、Al組成を0.28に固定した。p濃度を1E14、5E14、1E15、5E15、1E16、5E16、1E17cm-3と変化させ、実施例2と同様にBVDSを測定した。その結果を表2に示す。
【0032】
【表2】
【0033】
同表よりp=5E14cm-3以上でリファレンスより高いBVDSが得られたことが分る。すなわちp濃度を増加することにより効果が得られることが分る。p=1E17cm-3のときは空乏化せずp型化してしまった。従ってキャリア濃度p=5E14〜5E16cm -3 が適性値である。
【0034】
(実施例4)バッファ層の最上層のAlGaAsのAl組成の適性化
上側バッファ層11のAlGaAsの膜厚dを100nmとし、p濃度を1E16cm-3とした。Al組成を0.23、0.25、0.28、0.30、0.35、0.40、0.50と変化させ、実施例2と同様にBVDSを測定した。また、併せてVG =0Vのときの電子移動度μを室温で測定した結果を表3に示す。
【0035】
【表3】
【0036】
下側電子供給層5のAl組成以上でAl組成が高い方がリーク電流が減少することが分る。但し、Al組成0.50で電子移動度μが著しく低下している。Al組成が高すぎて取り込まれた酸素や炭素が電子走行層6まで悪影響を及ぼしていると考えられる。通常、下側電子供給層5のAl組成は0.20以上のため、上側バッファ層11の適性範囲は0.20より大きく0.40以下である。
【0037】
ここで、本実施の形態ではバッファ層がun−GaAs層と、AlGaAs層の単層からなる例の場合で説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、AlGaAs/un−GaAsの繰り返し構造でも同様の効果が得られる。
【0038】
以上において本発明によれば、バッファ層へのリーク電流が少く、かつ電子走行層への悪影響が無いバッファ層が得られるため、より高出力のトランジスタが得られる。従って、携帯電話の端末用、或いは基地局用のHEMT用として最適なエピタキシャルウェハを提供することができる。
【0039】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
【0040】
最適なバッファ層を有する化合物半導体エピタキシャルウェハ及びHEMTの提供を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の化合物半導体エピタキシャルウェハの一実施の形態を示す構造図である。
【図2】 本発明のHEMTの一実施例を示す断面図である。
【図3】 本発明のp- −AlGaAsを用いたD−HEMT構造のエピタキシャルウェハのエネルギーバンド図である。
【図4】 BVDSの説明図である。
【図5】 従来の化合物半導体エピタキシャルウェハの構造図である。
【図6】 図5で示した従来の化合物半導体エピタキシャルウェハのエネルギーバンド図である。
【符号の説明】
2 GaAs基板
3 下側バッファ層
4 上側バッファ層
5 下側電子供給層
6 電子走行層
7 上側電子供給層
8 ショットキー層
9 オーミックコンタクト層
9a,9b オーミックコンタクト層
10 化合物半導体エピタキシャルウェハ
11 上側バッファ層
20 HEMT
21 ゲート電極
22 ドレイン電極
23 ソース電極
Claims (3)
- GaAs基板上に、バッファ層、AlGaAsからなる下側電子供給層、GaAsもしくはInGaAsからなる電子走行層、AlGaAsからなる上側電子供給層及び全体にAlGaAsからなるショットキー層が順次形成されたダブルヘテロダブルドープHEMT構造の化合物半導体エピタキシャルウェハにおいて、
上記下側電子供給層の直下のバッファ層は、上記下側電子供給層のAl組成以上のAlGaAsバッファ層であり、該AlGaAsバッファ層の厚さが100〜300nmの範囲内にあり、p濃度が1E16〜5E16cm-3の範囲内にあり、かつAl組成が0.28より大きく0.4以下の範囲内にあることを特徴とする化合物半導体エピタキシャルウェハ。 - GaAs基板上に、バッファ層、AlGaAsからなる下側電子供給層、GaAsもしくはInGaAsからなる電子走行層、AlGaAsからなる上側電子供給層及びAlGaAsからなるショットキー層が順次形成され、該ショットキー層の上に対向するように一対のオーミックコンタクト層が形成され、該オーミックコンタクト層の上にソース電極とドレイン電極とがそれぞれ形成され、上記ショットキー層の上のソース電極とドレイン電極との間にゲート電極が形成されたダブルヘテロダブルドープのHEMTにおいて、
上記下側電子供給層の直下のバッファ層は、上記下側電子供給層のAl組成以上のAlGaAsバッファ層であり、該AlGaAsバッファ層の厚さが100〜300nmの範囲内にあり、p濃度が1E16〜5E16cm-3の範囲内にあり、かつAl組成が0.28より大きく0.4以下の範囲内にあることを特徴とするHEMT。 - GaAs基板上に、バッファ層、AlGaAsからなる下側電子供給層、GaAsもしくはInGaAsからなる電子走行層、AlGaAsからなる上側電子供給層及びAlGaAsからなるショットキー層が順次形成されたダブルヘテロダブルドープHEMT構造の化合物半導体エピタキシャルウェハにおいて、
上記下側電子供給層の直下のバッファ層は、上記下側電子供給層のAl組成以上のAlGaAsバッファ層であり、該AlGaAsバッファ層の厚さが100〜300nmの範囲内にあり、p濃度が1E16〜5E16cm-3の範囲内にあり、かつAl組成が0.28より大きく0.4以下の範囲内にあることを特徴とする化合物半導体エピタキシャルウェハ。
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