JP3835030B2 - Photoelectric conversion module manufacturing apparatus and manufacturing method - Google Patents

Photoelectric conversion module manufacturing apparatus and manufacturing method Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は光電変換モジュールの製造装置および製造方法に関し、特に片面に非晶質シリコン太陽電池素子などの光電変換素子を複数個形成した可撓性のフィルム基板をその両面から耐候性の可撓性フィルムにより挟み込んで構成される光電変換モジュールを製造する光電変換モジュールの製造装置および製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
高分子材料フィルムのような可撓性のフィルム基板上に背後電極層、薄膜光電変換層および透明電極層を積層してなる薄膜光電変換素子を複数個形成し、これら複数個の薄膜光電変換素子を接続導線により接続し、両面を保護フィルムなどにより被覆することによって、外気の水分やガスの影響より保護された光電変換モジュールは公知である。また、このような光電変換モジュールを製造する製造装置も、本出願人による特開平10−135496号公報において公知であり、以下、その光電変換モジュールの製造装置について説明する。
【0003】
図6は従来の光電変換モジュールの製造装置の構成を示す図であって、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は左側面図である。この製造装置は、たとえば(A)において図の上下方向に設置されていて光電変換素子が形成されているフィルム基板を搬送する第1搬送ラインと、たとえば(A)において図の左右方向に設置されていて保護フィルムを搬送する第2搬送ラインと、これら搬送ラインの交差する位置に配置されていて第1搬送ラインの光電変換素子を第2搬送ラインへ供給する供給装置とから構成されている。
【0004】
第1搬送ラインは、(C)に最もよく示されるように、光電変換素子を形成した可撓性のフィルム基板が巻き取られている送り出しロール1Lと、熱接着性樹脂のフィルムが巻き取られている送り出しロール11Lと、加熱ロール21と、第1搬送ラインから搬送されたフィルム基板から光電変換素子の部分を切り出す第1の裁断刃33および第2の裁断刃34と、フィルム基板から光電変換素子が裁断された残りのフィルム基板を巻き取る巻き取りロール1Rとを備え、第1の裁断刃はガイド3gに裁断幅を調節可能に保持されている。
【0005】
第2搬送ラインは、(B)に最もよく示されるように、保護フィルムを繰り出す送り出しロール12Lと、加熱ロール22kと、このラインの間欠送り動作を連続送り動作となるように速度調整を行うアキュムレータ4と、導電性テープを供給する送り出しロールkLと、保護フィルムを繰り出す送り出しロール13Lと、加熱ロール22と、光電変換モジュールの巻き取りロール12Rとを備えている。
【0006】
供給装置30は、フィルム基板1sから裁断された光電変換素子1uを吸着させて第2の搬送ラインに供給する吸着テーブル32tを備えている。
上記構成の光電変換モジュールの製造装置において、まず、第1の搬送ラインでは、送り出しロール1Lから繰り出されるフィルム基板1sの光電変換素子側に、送り出しロール11Lから供給される熱接着性樹脂よりなるフィルム11が重ねられ、加熱ロール21により熱接着される。
【0007】
供給装置30の位置では、フィルム11が既に熱接着されたフィルム基板1sの裁断を行うが、この裁断は、第1の裁断刃33と第2の裁断刃34とによって行われる。すなわち、第1搬送ラインの上流側に設置されている1対の第1の裁断刃33は、ガイド3gによってフィルム基板1sの搬送方向に対し直角方向(フィルム基板1sの幅方向)に調整された位置で、フィルム基板1sにこれを搬送しながらその搬送方向に2本の切れ目を入れる。この後、フィルム基板1sを、フィルム基板1sの切れ目を入れた光電変換素子1uの部分が第2搬送ラインの保護フィルム12と対向する位置P1まで搬送して停止させる。次に、光電変換素子1uの部分を位置P1に停止した吸着テーブル32tに真空吸着させ、固定する。ここで、フィルム基板1sの幅方向に移動する2個の第2の裁断刃34で、先の第1の裁断刃33による切れ目の間に次の切れ目を入れて、光電変換素子1uの部分を裁断する。光電変換素子1uは裁断と同時に吸着テーブル32tに真空吸着される。
【0008】
供給装置30のところで光電変換素子1uが裁断された後、残りのフィルム基板1sは巻き取りロール1Rに巻き取られて回収される。
次に、第1搬送ラインに直交している第2搬送ラインでは、送り出しロール12Lから搬送基体でもある保護フィルム12が繰り出される。その繰り出された保護フィルム12の上に、供給装置30によって供給された光電変換素子1uが所定数並べられて搭載される。すなわち、光電変換素子1uを吸着した吸着テーブル32tを、位置P1から加熱ロール22kよりも上流側の位置P2まで移動させ、その位置で吸着面を保護フィルム12の搬送面より少し高い位置まで下降させ、停止させる。同時に、保護フィルム12の搬送も停止される。次に、吸着テーブル32tの下流側の端の位置Q1において、下方で待機していた加熱ロール22kを上昇させ、保護フィルム12を吸着テーブル32tの吸着面(光電変換素子1u)に押しつけ、その状態で加熱ロール22kを吸着テーブル32tの下流側の端の位置Q2まで所定の速度で移動させ、これによって、保護フィルム12と光電変換素子1uとの仮接着を行う。
【0009】
保護フィルム12は加熱ロール22kで持ち上げられており、光電変換素子1uおよび保護フィルム12は吸着テーブル32tと加熱ロール22kとの接線上でしか接触せず、この接線上で搭載、熱接着が行われる。
【0010】
熱仮接着した後は、吸着テーブル32tの真空吸引を止めて光電変換素子1uの吸引を解除し、吸着テーブル32tを上昇させて光電変換素子1uを吸着する位置P1まで戻すとともに、熱仮接着終了に位置Q2にある加熱ロール22kを降下させ、これを熱仮接着開始の位置Q1まで戻す。次に、保護フィルム12の搬送を開始し、以上の動作を繰り返すことにより、供給装置30による光電変換素子1uの保護フィルム12への搭載が順次行われていく。
【0011】
このようにして光電変換素子1uが搭載された保護フィルム12は、次に、光電変換素子1uの裏面電極に送り出しロールkLから繰り出される導電性テープ1kが重ねられ、さらに送り出しロール13Lから繰り出される保護フィルム13が重ねられ、加熱ロール22により加熱される。これにより、フィルム基板1sおよび保護フィルム12は熱接着性のフィルム11を介して接着され、また保護フィルム13はフィルム基板1sに直接熱接着されて、三層のラミネートされた光電変換モジュールが形成される。同時に電極の表面上にコートされたハンダが溶融され、導電性テープ1kが接続されて固定される。こうして、保護フィルム12を搬送基体とする光電変換モジュールは巻き取りロール12Rに巻き取られる。
【0012】
なお、加熱ロール22を熱接着温度に整定させるには時間を要するので、加熱ロール22には連続して必要材料を供給する必要があり、仮接着時の間欠送りを解消するために、加熱ロール22の上流側に昇降可能に設けたアキュムレータ4により、保護フィルム12が光電変換素子1uの搭載および熱仮接着のために停止している間は、アキュムレータ4を上昇させ、また搬送している間はアキュムレータ4を降下または停止させ、アキュムレータ4以降の保護フィルム12の搬送を常に所定の速度に維持するようにしている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来の光電変換モジュールの製造装置では、高分子材料フィルムのような可撓性のフィルム基板上に電極層、光電変換層の薄膜を複数の層を定間隔に積層し形成した場合、薄膜が積層されている部分とされていない部分の膜応力の差からフィルム基板の両耳端がカールし、耳端の状態が安定せず、光電変換素子の裁断寸法の不良および搬送トラブルを発生させるという問題点があった。また、加熱し薄膜を積層していることからフィルム基板が硬化され、さらに第1の切れ目を搬送方向に入れた後、第2の切れ目を幅方向に入れる裁断の仕方では耳端残部に鋭利な加工痕が残り、搬送の張力によって応力集中が発生して破断され、フィルム基板の残部の搬送および巻き取りが正常に行われなくなるという問題点があった。
【0014】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、フィルム基板の耳端がカールし不安定な状態でも精度よく裁断することができ、光電変換素子を保護フィルム上に安定して供給することができる光電変換モジュールの製造装置および製造方法を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明では上記問題を解決するために、光電変換素子の両面を保護フィルムで被覆して構成される光電変換モジュールの製造装置において、複数の光電変換素子が形成された可撓性のフィルム基板を吸着しながら繰り出す繰り出し手段と、繰り出された前記フィルム基板を吸着しながら所定の裁断長分の搬送を行う測長手段と、前記フィルム基板から単独の光電変換素子に裁断する裁断手段と、裁断された前記光電変換素子を吸着しながら前記保護フィルムによる被覆を行う工程に供給すべき位置基準に位置決めする定位置供給手段と、裁断された前記光電変換素子以外の前記フィルム基板の不用残部を収集する回収手段と、を備え、前記裁断手段は、前記フィルム基板の左右耳端を裁断する二つの第1の裁断刃と、前記フィルム基板の幅方向を裁断する第2の裁断刃とを有し、前記回収手段は、前記第1の裁断刃により裁断した前記フィルム基板の耳端を巻き取る残部処理手段を有することを特徴とする光電変換モジュールの製造装置が提供される。
【0016】
このような光電変換モジュールの製造装置によれば、光電変換素子が形成されたフィルム基板を繰り出す繰り出し手段、搬送量から裁断位置を測ってフィルム基板から光電変換素子を裁断する測長手段、および裁断された光電変換素子を所定位置まで搬送する定位置供給手段は、それぞれフィルム基板を吸着しながら搬送する構成にした。これにより、フィルム基板が常に安定した状態で搬送され、また、測長することができるため、精度よく裁断することができる。また、定位置供給手段を備えたことにより、裁断された光電変換素子を常に一定の位置まで搬送され、したがって保護フィルム上に移動させる際にも常に同じ位置に吸着されている光電変換素子を受け取ることになるため、光電変換素子を保護フィルム上に搭載精度の再現性よく安定して供給することができる。さらに、繰り出し手段から繰り出されたフィルム基板は光電変換素子との膜応力の差により両側の耳端部分がカールした状態になっているが、その耳端部分を二つの第1の裁断刃で除去することで、光電変換素子が形成されたフィルム基板をより安定して定位置供給手段に搬送することができる。
【0017】
また、本発明によれば、光電変換素子の両面を保護フィルムで被覆して構成される光電変換モジュールの製造方法において、複数の光電変換素子が形成された可撓性のフィルム基板を繰り出し、前記フィルム基板をその幅方向に設置された二つの第1の裁断刃により搬送ラインに平行に裁断し、裁断された耳端部を残部処理手段によって巻き取りながら前記耳端部が除かれた前記フィルム基板を繰り出し、前記フィルム基板に形成されたマーカを第1の検出手段が検出することで第1の裁断位置信号を得て前記フィルム基板の繰り出しを停止させ、第2の裁断刃を通過してサクション機能を有するエンドレスベルト上に繰り出された前記光電変換素子間の不用部を前記エンドレスベルトにより吸引して搬送方向に引っ張りながら前記第2の裁断刃によって前記フィルム基板の幅方向に裁断し、前記不用部が第2の検出手段により前記エンドレスベルトの排出位置を過ぎて搬送されたことを検出して、前記光電変換素子の搬送方向の裁断長だけ前記フィルム基板を定尺送りし、前記第1の裁断位置信号を得た位置で裁断された前記光電変換素子の先端部が前記エンドレスベルトに形成した位置決め孔に懸かり合致するまで、前記エンドレスベルトによって前記フィルム基板を吸引しながら回転駆動することにより、前記フィルム基板に引っ張り力を与え続け、前記エンドレスベルトの前記位置決め孔と相対する位置に設けられた検出孔を第3の検出手段が検出することにより前記光電変換素子の第2の裁断位置信号を得るとともに前記第2の裁断刃により前記フィルム基板を裁断して前記フィルム基板から単独の光電変換素子を切り出し、切り出された単独の前記光電変換素子を保護フィルムの搬送ラインに移動して両面から保護フィルムで被覆する、ステップからなることを特徴とする光電変換モジュールの製造方法が提供される。
【0018】
この光電変換モジュールの製造方法によれば、光電変換素子が形成されたフィルム基板をエンドレスベルトに吸着しながら搬送する方式とし、光電変換素子のフィルム基板からの裁断は、搬送方向の辺についてはフィルム基板を繰り出しながら第1の裁断刃により行い、フィルム基板の幅方向の辺については第2の裁断刃によりこれを通過して繰り出された部分を減圧室より吸引して搬送方向に引っ張り力を与えながら行うようにした。これにより、膜応力差および熱残留応力などによりカールが発生したフィルム基板においても安定した搬送、繰り出し、裁断を行うことができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明による光電変換モジュールの製造装置を示す図であって、(A)は平面図、(B)は正面断面図、(C)は右側面断面図である。この光電変換モジュールの製造装置において、(A)に示したように、図の上下方向に配置されたフィルム基板の第1搬送ラインと図の左右方向に配置された保護フィルムを搬送する第2の搬送ラインと、これら搬送ラインが交差する位置に配置された供給装置とから構成されている。ここで、第2搬送ラインおよびモジュールの加熱接着工程は従来例として説明した図6の製造装置とほぼ同じである。すなわち、(B)に示したように、第2搬送ラインでは、供給装置30により吸着テーブル32tに吸着されて移動されてきた光電変換素子1uの下面に送り出しロール12Lから繰り出されてきた保護フィルム12を加熱ロール22kにより熱仮接着し、さらに、送り出しロールkLから繰り出された導電性テープ1kおよび送り出しロール13Lから繰り出された保護フィルム13を熱仮接着したモジュールに加熱ロール22で熱接着し、巻き取りロール12Rにて巻き取るようにしている。
【0020】
本発明に係る光電変換モジュールの製造装置は、第1搬送ラインの構成に特徴を有しているので、この第1搬送ラインについて詳細に説明する。第1搬送ラインは、図1の(C)に示したように、フィルム基板1sを供給する送り出しロール1Lと、熱接着性樹脂のフィルム11を供給する送り出しロール11Lと、加熱ロール21と、フィルム11が熱接着されたフィルム基板1sを吸着して繰り出す繰り出し部51と、熱接着と裁断の作業時間を同調させるアキュムレータ6と、フィルム基板1sの両耳端を裁断する第1の裁断刃33と、両側で裁断された耳端部分をそれぞれ回収する残部処理部7L,7Rと、光電変換素子1uの搬送方向の長さを測定する測長部52と、光電変換素子1uをその搬送方向に直角な方向に裁断する第2の裁断刃34と、この第2の裁断刃34によって裁断された光電変換素子1uを吸着テーブル32tが吸着する位置に再現よく供給する定位置供給部53と、第2の裁断刃34によって裁断されたフィルム基板1sの不要部を回収する回収部54とを備えている。ここで、繰り出し部51、測長部52、定位置供給部53は、それぞれフィルム基板1sまたは光電変換素子1uをエンドレスベルトに張り付けながら搬送または裁断するが、以下の説明では、両者の間に滑りがないときを吸着、両者に滑りがあるときおよび吸着状態にするときを吸引という。
【0021】
ここで、第1搬送ラインに装着されフィルム基板1sを供給する送り出しロール1Lについて説明する。
図2は製造装置に装着される前工程におけるフィルム基板を示す図であって、(A)はフィルム基板の巻き取り状態を示す斜視図、(B)はフィルム基板のX−X矢視断面図である。第1搬送ラインに装着される送り出しロール1Lは、可撓性のフィルム基板1sを巻き取ったもので、その片方の面には複数の光電変換素子1uが長手方向に一列に形成されている。各光電変換素子1uは、フィルム基板1s上に形成された後、それぞれ評価テストが行われ、その良否判定の結果、良品の場合は所定位置にマーカ1mが記録される。したがって、このマーカ1mの記録された光電変換素子1uのみが、第1搬送ラインで裁断される対象となる。
【0022】
また、(B)に示したように、フィルム基板1sの裁断位置であるX−X矢視断面を見ると、フィルム基板1sと光電変換素子1uとの膜応力の差により、中央部の光電変換素子1uの近傍では波状になっており、両側の耳端部分ではカールした状態になっており、この状態でフィルム基板1sが巻き取られている。
【0023】
さて、このようなフィルム基板1sの送り出しロール1Lが装着された第1搬送ラインでは、まず、送り出しロール1Lから繰り出されたフィルム基板1sから良品の光電変換素子1uであることを表わすマーカ1mが読み取られ、裁断が行われ、良品の光電変換素子1uの場合は吸着テーブル32tにより保護フィルム12上に移送され、不良品の場合および基板不用残部はこの第1搬送ラインの最終にあたる回収部54に集められ、回収される。
【0024】
この第1搬送ラインでは、加熱ロール21にてフィルム11が既に熱接着されたフィルム基板1sは、これを繰り出し部51が吸着して移動させることにより搬送される。フィルム11とフィルム基板1sとの熱接着は連続搬送して行われる。一方、フィルム基板1sの裁断は搬送を停止して行う。このため、この熱接着と裁断との作業時間の同調はアキュムレータ6が行い、光電変換素子1uを連続供給できるようにしている。
【0025】
裁断は、第1の裁断刃33と第2の裁断刃34とによって行われる。この実施の形態では、第1の裁断刃33として左右2対のスリッタ、第2の裁断刃34としてシャー刃を用いた。第1搬送ラインに平行な光電変換素子1uの裁断寸法は第1の裁断刃33の取付位置により任意に変更可能である。第1の裁断刃33によってスリットされて不用となった左右耳端は、左右それぞれに設置した残部処理部7L,7Rに耳端が切れないようにトルク制御することで巻き取られ、回収される。
【0026】
この後、左右耳端がスリットされたフィルム基板1sを矩形に裁断する。このため、測長部52を測長基準としてフィルム基板1sを吸着および移動して測長しながら、第2の裁断刃34および定位置供給部53に繰り出し、第2の裁断刃34による裁断が行われる。光電変換素子1uおよび不用部はフィルム基板1sに一定の間隔で形成されているので、測長部52の測長機能に光電変換素子1uおよび不用部の長さを設定し、測長部52がその設定された長さの搬送量の制御を行って、光電変換素子1uおよび不用部を第2の裁断刃34を介して定位置供給部53に繰り出し、定位置供給部53が吸引力を制御し、繰り出された部分を吸引し引っ張りながら、第2の裁断刃34が光電変換素子1uおよび不用部を交互に裁断する。
【0027】
矩形に裁断された良品の光電変換素子1uは、引き続き、定位置供給部53により吸着されながら、吸着テーブル32tが真空吸着する位置まで搬送され、不良および不用部は、定位置供給部53が吸着移動し続けられ、回収部54まで搬送され、回収される。以降は、この一連の操作が繰り返される。
【0028】
図3は第1搬送ラインの搬送部を示す図であって、(A)は搬送部の平面図、(B)は搬送部の正面図である。繰り出し部51、測長部52、および定位置供給部53は、それぞれエンドレスベルト51a,52a,53aを回転駆動することにより、フィルム基板1sを搬送する。フィルム基板1sは耳端を除き、粘着性があるフィルム11を熱接着するため、フィルム基板1sの耳端がカールし易くなっている。このため、エンドレスベルト51a,52a,53aとして、この実施の形態では、上面が不織布状で滑り易く、下面より吸引可能な孔51b,52b,53bを多数形成したものを用いている。ここで、エンドレスベルト51a,52a,53aをそれぞれ下面より吸引し、エンドレスベルト51a,52a,53aの上面にフィルム基板1sを吸着させて搬送することで、粘着およびカールが原因となって発生する搬送不良を防止している。
【0029】
また、第2の裁断刃34で裁断後、光電変換素子1uは膜応力の差からカールし易くなっているが、定位置供給部53のエンドレスベルト53aの面に吸着しながら搬送させることで、定位置供給部53上でのカールが防止され、さらに、この吸着された状態で光電変換素子1uを吸着テーブル32tに真空吸着させることができる。
【0030】
繰り出し部51、測長部52、および定位置供給部53は、エンドレスベルト51a,52a,53aを支えるロール間の下部に設けられて天板がない箱体51c,52c,53cをそれぞれ備え、それぞれ排気調節弁51d,52d,53dを介して減圧発生器51e,52e,53eに接続されている。したがって、繰り出し部51、測長部52、定位置供給部53でのフィルム基板1sの吸着搬送は、減圧発生器51e,52e,53eを起動し、上に乗せたフィルム基板1sを孔51b,52b,53bより吸引しながらエンドレスベルト51a,52a,53aを回転駆動することにより行うことができる。また、吸着力は排気調節弁51d,52d,53dの開度あるいは減圧発生器51e,52e,53eの電源周波数などを制御することにより、調整される。
【0031】
図4はフィルム基板を裁断して不用部を排出するまでの動作を時系列に示した図であって、(A)は定位置供給部に不用部を繰り出した状態を示す搬送ラインの平面図、(B)は定位置供給部に不用部を繰り出した状態を示す搬送ラインの正面図、(C)は不用部を裁断した状態を示す搬送ラインの正面図、(D)は不用部を排出した状態を示す搬送ラインの正面図である。ここで、定位置供給部53の箱体53cは、内部を三つの室531c,532c,533cに仕切り、それぞれの室531c,532c,533cを、排気調節弁531d,532d,533dを介して減圧発生器531e,532e,533eに接続し、各室531c,532c,533cの圧力を独立して制御するようにして、吸着位置、吸着面積および吸引力、吸着力を個々に制御できるようにしている。これは、光電変換素子1uと不用部との裁断長が異なるために、孔53bを塞ぐ孔数が増減し、箱体53c内の圧力が変化して引っ張り力が変動することに対してなされたものである。したがって、室531cと室532cとの仕切りはほぼ不要部の裁断長に合わせて設けられ、室532cと室533cとの仕切りはほぼ光電変換素子1uの裁断長に合わせて設けられていて、繰り出し量によらず一定な引っ張り力を与えるようにしている。また、第1の裁断刃33の上流側には、光電変換素子1uの良否判定を表わすマーカ1mを読み取るためのマーカ読み取りセンサ10mが設けられている。
【0032】
光電変換素子1uの搬送前縁側の不要部の裁断は、(A),(B),(C)に示したように、フィルム基板1sの不用部が第2の裁断刃34を通過して定位置供給部53のエンドレスベルト53a上に繰り出されていって、マーカ読み取りセンサ10mがフィルム基板1s上のマーカ1mを検出したとき、測長部52の搬送動作を停止して第2の裁断刃34により行われる。この第2の裁断刃34による不要部の裁断のときには、定位置供給部53の上に繰り出されたフィルム基板1sの不用部が箱体53cの室531cから吸引および搬送力を受けるよう制御され、したがって不要部はその先端部が吸引されかつ搬送方向に引っ張られながらの安定状態で裁断が行われることになる。裁断された不要部は、(D)に示したように、定位置供給部53のエンドレスベルト53aにより搬送され、不用部が吸着テーブル32tの吸着エリア外に排出されたことをセンサ10Lにより感知されると、測長部52が搬送開始して、不用部を裁断した後の光電変換素子1uを定位置供給部53に繰り出す。
【0033】
図5はフィルム基板から光電変換素子を裁断する動作を時系列に示した図であって、(A)は定位置供給部に光電変換素子を繰り出した状態を示す平面図、(B)は定位置供給部に光電変換素子を繰り出した状態を示す正面図、(C)は光電変換素子を裁断した状態を示す正面図である。(B)および(C)の正面図に見られるように、第2の裁断刃34の下部の搬送方向前後にガイドプレート80,81が設置されている。これらのガイドプレート80,81は多数の孔が穿設され、その下にはこれらの孔を介してエアが上方に吹き出されるよう圧縮エア室がそれぞれ設けられている。これらのガイドプレート80,81はまた、フィルム基板1sが接する表面をブラスト処理、フッ素樹脂コート処理などの非粘着処理が施されている。また、第2の裁断刃34の下刃から下流側に向けて開口する配管口34aが設けられている。
【0034】
さらに、定位置供給部53において、エンドレスベルト53aには、裁断のタイミングを検出する検出孔53mと搬送方向に直角な方向であって検出孔53mを通る線上のフィルム基板1sの幅寸法内に配置されてエンドレスベルト53aの駆動停止のタイミングを検出する位置決め孔53sとが設けられ、これらに対応してエンドレスベルト53aの脇に検出孔53mを検出するセンサ10rが設置され、エンドレスベルト53aの上下位置には位置決め孔53sを検出する透過式ビームセンサ10sが配置されている。この透過式ビームセンサ10sはたとえば光電変換素子1uが位置決めされるべき先端位置の上方に設置された投光素子および箱体53cの室533c内に設置された受光素子から構成され、位置決め孔53sを透過してきた発光素子からの光を受光素子が検出することによってエンドレスベルト53aが停止すべき位置を検出する。ここで、位置決め孔53sの検出に透過式のセンサを用いたが、これは、反射式センサの場合、裁断後の光電変換素子1uの先端形状は、図2の(B)に示したように、波状となっていて、これが光源の光を乱反射させるため、再現よく位置検知ができないことによる。また、この、位置決め孔53sはフィルム基板1sを吸着させるための孔53bよりも開口面積が十分に大きく、透過式ビームセンサ10sは光の遮蔽量の違いを判断することによって位置決め孔53sを検出する。
【0035】
ここで、センサ10Lが不用部の排出を感知して、測長部52が光電変換素子1uの部分を定位置供給部53に繰り出す。このとき、フィルム基板1sは光電変換素子1uの形成部において、膜応力の差からカールし易く、不用部を裁断した後の光電変換素子1uを定位置供給部53に繰り出す際、基板先端が第2の裁断刃34に引っ掛かり易い。また、フィルム基板1s自体の厚みが75μm以下と薄く、腰が弱いため、定位置供給部53に繰り出す際、折れてしまい易い。さらに、保護を目的としたフィルム11にエチレンビニルアセテート(EVA)などの熱接着性樹脂が多く用いられるが、表面の粘着性強く、第2の裁断刃34の下刃に固着し易い。このような点に対して、本実施の形態では、フィルム基板1sとの接触面が非粘着処理されたガイドプレート80,81の孔より吹き出すエアーの流量および圧力を調整することでフィルム基板1sをエアーフローティングするとともに、第2の裁断刃34の下刃に設置した配管口34aから圧縮エアを送り込み、フィルム基板1sの腰折れ、固着を防止するようにしている。
【0036】
このようにして、定位置供給部53が繰り出された光電変換素子1uを吸引し搬送方向に引っ張りながら、測長部52は定位置供給部53に設定した光電変換素子1uの裁断長分を測長し、繰り出したところで停止する。定位置供給部53は搬送動作を継続しており、エンドレスベルト53aに設けられた検出孔53mをセンサ10rが検出したとき、すなわち、位置決め孔53sの中心が裁断しようとする光電変換素子1uの先端に合致したとき、第2の裁断刃34を動作させて、フィルム基板1sを裁断する。裁断された光電変換素子1uは定位置供給部53によって吸着搬送され、エンドレスベルト53aに設けられた位置決め孔53sが透過式ビームセンサ10sに到達する手前でエンドレスベルト53aの回転駆動を減速し、そして位置決め孔53sが透過式ビームセンサ10sの光軸上に到達した時点で定位置供給部53の搬送動作を停止する。これにより、裁断された光電変換素子1uは、定位置供給部53上の吸着テーブル32tの吸着位置に正確に位置決めされることになる。
【0037】
その後、吸着テーブル32tの吸着位置に正確に位置決めされた光電変換素子1uは吸着テーブル32tにより吸着され、定位置供給部53の箱体53cの室531cが大気復帰して定位置供給部53による吸着を解除し、吸着テーブル32tが光電変換素子1uをその両面から保護フィルムで被覆する次工程の第2搬送ラインまで移動開始した後、再度、定位置供給部53はその箱体53cの室531cを減圧し、搬送動作を開始するよう制御される。
【0038】
そして、以上の不要部の裁断および光電変換素子1uの裁断の動作が繰り返し実行される。なお、マーカ読み取りセンサ10mがフィルム基板1s上のマーカ1mを検出しなかったときは、測長部52は不要部および光電変換素子1uの裁断長の測定を停止することなく連続して行い、1回分の不要部の裁断および光電変換素子1uの裁断の動作をパスし、不良の光電変換素子1uを不要部として回収部54により回収する。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、繰り出し手段、測長手段および定位置供給手段を備え、それぞれ複数の孔を形成したエンドレスベルトを回転駆動しながら、エンドレスベルトを介して可撓性フィルム基板を吸着搬送する構成にした。これにより、可撓性フィルム基板が膜応力差および熱処理経歴などによりカールしたりあるいは厚みが薄く腰折れし易いものであっても、安定して搬送を行うことができる。
【0040】
また、測長手段および定位置供給手段間の第2の裁断手段の直前および直後に、表面を非粘着処理し、複数の吹出孔を設けたガイドプレートを備えるようにした。これによりフィルム基板を浮上制御することで、第2の裁断手段にフィルム基板の先端が引っ掛からず、安定してフィルム基板を定位置供給部に繰り出すことができる。
【0041】
また、定位置供給手段の箱体を搬送方向に区切った複数の減圧室で構成し、各減圧室の圧力を制御することで、吸引位置および面積を制御し、吸引力を調整するようにした。これにより、裁断長の違いから吸引面積が異なる光電変換素子と不用部においても、第2の裁断手段が裁断する直前のフィルム基板状態を同一にすることができる。
【0042】
また、定位置供給手段のベルトに位置決め孔と検出孔とを備え、さらに光電変換素子の先端が位置決め孔の中心に合致した時点で裁断信号を出力する検出器と光電変換素子の先端が所定位置に搬送されてきたときに位置決め孔を検出して定位置供給手段の搬送動作を停止させる透光式センサとを備えるようにした。これにより、裁断した光電変換素子の先端形状によらず、光電変換素子を再現よく同位置に停止させることできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光電変換モジュールの製造装置を示す図であって、(A)は平面図、(B)は正面断面図、(C)は右側面断面図である。
【図2】製造装置に装着される前工程におけるフィルム基板を示す図であって、(A)はフィルム基板の巻き取り状態を示す斜視図、(B)はフィルム基板のX−X矢視断面図である。
【図3】第1搬送ラインの搬送部を示す図であって、(A)は搬送部の平面図、(B)は搬送部の正面図である。
【図4】フィルム基板を裁断して不用部を排出するまでの動作を時系列に示した図であって、(A)は定位置供給部に不用部を繰り出した状態を示す搬送ラインの平面図、(B)は定位置供給部に不用部を繰り出した状態を示す搬送ラインの正面図、(C)は不用部を裁断した状態を示す搬送ラインの正面図、(D)は不用部を排出した状態を示す搬送ラインの正面図である。
【図5】フィルム基板から光電変換素子を裁断する動作を時系列に示した図であって、(A)は定位置供給部に光電変換素子を繰り出した状態を示す平面図、(B)は定位置供給部に光電変換素子を繰り出した状態を示す正面図、(C)は光電変換素子を裁断した状態を示す正面図である。
【図6】従来の光電変換モジュールの製造装置の構成を示す図であって、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は左側面図である。
【符号の説明】
1L 送り出しロール
1R 巻き取りロール
1k 導電性テープ
1m マーカ
1s フィルム基板
1u 光電変換素子
3g ガイド
4 アキュムレータ
6 アキュムレータ
7L,7R 残部処理部
10L センサ
10m マーカ読み取りセンサ
10r センサ
10s 透過式ビームセンサ
11 フィルム
11L 送り出しロール
12 保護フィルム
12L 送り出しロール
12R 巻き取りロール
13 保護フィルム
13L 送り出しロール
21 加熱ロール
22 加熱ロール
22k 加熱ロール
30 供給装置
32t 吸着テーブル
33 第1の裁断刃
34 第2の裁断刃
34a 配管口
51 繰り出し部
51a,52a,53a エンドレスベルト
51b,52b,53b 孔
51c,52c,53c 箱体
51d,52d,53d 排気調節弁
51e,52e,53e 減圧発生器
52 測長部
53 定位置供給部
53m 検出孔
53s 位置決め孔
54 回収部
80,81 ガイドプレート
531c,532c,533c 室
531d,532d,533d 排気調節弁
531e,532e,533e 減圧発生器
kL 送り出しロール
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method for a photoelectric conversion module, and in particular, a flexible film substrate in which a plurality of photoelectric conversion elements such as amorphous silicon solar cell elements are formed on one side is weather-resistant and flexible. The present invention relates to a photoelectric conversion module manufacturing apparatus and a manufacturing method for manufacturing a photoelectric conversion module sandwiched between films.
[0002]
[Prior art]
A plurality of thin film photoelectric conversion elements formed by laminating a back electrode layer, a thin film photoelectric conversion layer, and a transparent electrode layer on a flexible film substrate such as a polymer material film are formed. A photoelectric conversion module that is protected from the influence of moisture and gas of the outside air by connecting the two with a connecting conductor and covering both surfaces with a protective film or the like is known. A manufacturing apparatus for manufacturing such a photoelectric conversion module is also known in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-135596 by the applicant of the present application. Hereinafter, the manufacturing apparatus for the photoelectric conversion module will be described.
[0003]
6A and 6B are diagrams showing the configuration of a conventional photoelectric conversion module manufacturing apparatus, where FIG. 6A is a plan view, FIG. 6B is a front view, and FIG. 6C is a left side view. For example, the manufacturing apparatus is installed in the vertical direction of the figure in (A) and a first conveyance line for conveying the film substrate on which the photoelectric conversion element is formed, and in the horizontal direction of the figure in (A), for example. The second transport line that transports the protective film and the supply device that is arranged at a position where these transport lines intersect and supplies the photoelectric conversion elements of the first transport line to the second transport line.
[0004]
As best shown in (C), the first transport line is wound with a feed roll 1L on which a flexible film substrate on which a photoelectric conversion element is formed is wound, and a film of a heat-adhesive resin. 11L, the heating roll 21, the 1st cutting blade 33 and the 2nd cutting blade 34 which cut out the part of a photoelectric conversion element from the film substrate conveyed from the 1st conveyance line, and photoelectric conversion from a film substrate A winding roll 1R that winds up the remaining film substrate from which the element has been cut is provided, and the first cutting blade is held by the guide 3g so that the cutting width can be adjusted.
[0005]
The second transport line, as best shown in (B), is an accumulator that adjusts the speed so that the intermittent feed operation of the feed roll 12L for feeding out the protective film, the heating roll 22k, and the intermittent feed operation of this line becomes a continuous feed operation. 4, a feed roll kL for supplying the conductive tape, a feed roll 13 </ b> L for feeding the protective film, a heating roll 22, and a take-up roll 12 </ b> R for the photoelectric conversion module.
[0006]
The supply device 30 includes a suction table 32t that sucks the photoelectric conversion element 1u cut from the film substrate 1s and supplies the photoelectric conversion element 1u to the second transport line.
In the photoelectric conversion module manufacturing apparatus having the above-described configuration, first, in the first transport line, a film made of a heat-adhesive resin supplied from the delivery roll 11L to the photoelectric conversion element side of the film substrate 1s fed out from the delivery roll 1L. 11 are stacked and thermally bonded by the heating roll 21.
[0007]
At the position of the supply device 30, the film substrate 1 s to which the film 11 has already been thermally bonded is cut. This cutting is performed by the first cutting blade 33 and the second cutting blade 34. That is, the pair of first cutting blades 33 installed on the upstream side of the first transport line is adjusted by the guide 3g in a direction perpendicular to the transport direction of the film substrate 1s (the width direction of the film substrate 1s). At the position, two cuts are made in the conveying direction while conveying the film substrate 1s to the film substrate 1s. Thereafter, the film substrate 1s is transported to the position P1 where the portion of the photoelectric conversion element 1u having the cut of the film substrate 1s is opposed to the protective film 12 of the second transport line and stopped. Next, the portion of the photoelectric conversion element 1u is vacuum-sucked and fixed to the suction table 32t stopped at the position P1. Here, with the two second cutting blades 34 moving in the width direction of the film substrate 1s, the next cut is made between the cuts made by the first cutting blade 33, and the photoelectric conversion element 1u portion is replaced. Cut. The photoelectric conversion element 1u is vacuum-sucked to the suction table 32t simultaneously with the cutting.
[0008]
After the photoelectric conversion element 1 u is cut at the supply device 30, the remaining film substrate 1 s is taken up and collected by the take-up roll 1 R.
Next, in the 2nd conveyance line orthogonal to the 1st conveyance line, the protective film 12 which is a conveyance base | substrate is drawn | fed out from the sending roll 12L. A predetermined number of photoelectric conversion elements 1 u supplied by the supply device 30 are arranged and mounted on the protective film 12 that has been fed out. That is, the adsorption table 32t that adsorbs the photoelectric conversion element 1u is moved from the position P1 to the position P2 upstream of the heating roll 22k, and the adsorption surface is lowered to a position slightly higher than the conveyance surface of the protective film 12 at that position. , Stop. At the same time, the conveyance of the protective film 12 is also stopped. Next, at the downstream end position Q1 of the suction table 32t, the heating roll 22k that has been waiting below is raised, and the protective film 12 is pressed against the suction surface (photoelectric conversion element 1u) of the suction table 32t. Then, the heating roll 22k is moved at a predetermined speed to the downstream end position Q2 of the suction table 32t, whereby the protective film 12 and the photoelectric conversion element 1u are temporarily bonded.
[0009]
The protective film 12 is lifted by the heating roll 22k, and the photoelectric conversion element 1u and the protective film 12 are in contact with each other only on the tangent line between the suction table 32t and the heating roll 22k, and are mounted and thermally bonded on this tangential line. .
[0010]
After the thermal temporary bonding, the vacuum suction of the suction table 32t is stopped, the suction of the photoelectric conversion element 1u is released, the suction table 32t is raised and returned to the position P1 where the photoelectric conversion element 1u is sucked, and the thermal temporary bonding is completed. Then, the heating roll 22k at the position Q2 is lowered, and this is returned to the position Q1 where thermal temporary bonding is started. Next, the conveyance of the protective film 12 is started, and the above operation is repeated, whereby the supply device 30 sequentially mounts the photoelectric conversion element 1 u on the protective film 12.
[0011]
In the protective film 12 on which the photoelectric conversion element 1u is mounted in this manner, the conductive tape 1k fed out from the feed roll kL is then overlapped on the back electrode of the photoelectric conversion element 1u, and further the protection fed out from the feed roll 13L. The film 13 is stacked and heated by the heating roll 22. As a result, the film substrate 1s and the protective film 12 are bonded via the heat-adhesive film 11, and the protective film 13 is directly heat bonded to the film substrate 1s to form a three-layer laminated photoelectric conversion module. The At the same time, the solder coated on the surface of the electrode is melted, and the conductive tape 1k is connected and fixed. In this way, the photoelectric conversion module using the protective film 12 as the transport base is wound around the winding roll 12R.
[0012]
In addition, since it takes time to set the heating roll 22 to the thermal bonding temperature, it is necessary to continuously supply the necessary material to the heating roll 22, and in order to eliminate intermittent feeding during temporary bonding, the heating roll 22 is required. While the protective film 12 is stopped for mounting and thermal temporary bonding of the photoelectric conversion element 1u by the accumulator 4 provided so as to be movable up and down on the upstream side, the accumulator 4 is raised and conveyed. The accumulator 4 is lowered or stopped, and the transport of the protective film 12 after the accumulator 4 is always maintained at a predetermined speed.
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional photoelectric conversion module manufacturing apparatus as described above, a plurality of thin layers of electrode layers and photoelectric conversion layers are laminated at regular intervals on a flexible film substrate such as a polymer material film. In this case, both ear ends of the film substrate curl due to the difference in film stress between the portion where the thin film is laminated and the portion where the thin film is not laminated, the state of the ear end is not stable, the cutting size of the photoelectric conversion element is poor, and the conveyance There was a problem of causing trouble. In addition, since the film substrate is cured by heating and laminating the thin film, and after the first cut is put in the transport direction, the second cut is cut in the width direction, and the remaining edge is sharp. There is a problem that the processing trace remains, the stress concentration occurs due to the tension of the conveyance and the fracture occurs, and the conveyance and winding of the remaining part of the film substrate cannot be normally performed.
[0014]
The present invention has been made in view of such points, and can be cut accurately even when the edge of the film substrate is curled and unstable, and the photoelectric conversion element is stably supplied onto the protective film. An object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a photoelectric conversion module.
[0015]
[Means for Solving the Problems]
  In the present invention, in order to solve the above problem, in a photoelectric conversion module manufacturing apparatus configured by covering both sides of a photoelectric conversion element with a protective film, a flexible film substrate on which a plurality of photoelectric conversion elements are formed is provided. A feeding unit that feeds out while adsorbing, a length measuring unit that transports a predetermined cutting length while adsorbing the fed film substrate, and a cutting unit that cuts the film substrate into a single photoelectric conversion element. And collecting a non-used remaining portion of the film substrate other than the cut photoelectric conversion element, and a fixed position supply means for positioning to a position reference to be supplied to the step of covering with the protective film while adsorbing the photoelectric conversion element And a recovery meansThe cutting means has two first cutting blades for cutting the left and right ear ends of the film substrate, and a second cutting blade for cutting the width direction of the film substrate, and the collecting means It has the remainder process means which winds up the ear | edge end of the said film substrate cut | judged with the 1st cutting blade.An apparatus for manufacturing a photoelectric conversion module is provided.
[0016]
  According to such a photoelectric conversion module manufacturing apparatus, the feeding means for feeding out the film substrate on which the photoelectric conversion element is formed, the length measuring means for measuring the cutting position from the carry amount and cutting the photoelectric conversion element from the film substrate, and the cutting The fixed position supply means for transporting the photoelectric conversion element thus formed to a predetermined position is configured to transport the film substrate while adsorbing each film substrate. Thereby, since a film substrate is always conveyed in the stable state and length can be measured, it can cut accurately. In addition, since the fixed position supply means is provided, the cut photoelectric conversion element is always transported to a certain position, and therefore the photoelectric conversion element that is always adsorbed at the same position is received even when moved onto the protective film. Therefore, the photoelectric conversion element can be stably supplied on the protective film with high reproducibility of mounting accuracy.Further, the film substrate fed from the feeding means is curled at both ear ends due to the difference in film stress from the photoelectric conversion element, but the ear ends are removed by the two first cutting blades. By doing so, the film substrate on which the photoelectric conversion element is formed can be more stably conveyed to the fixed position supply means.
[0017]
  According to the present invention, in the method for producing a photoelectric conversion module configured by covering both sides of the photoelectric conversion element with a protective film, the flexible film substrate on which a plurality of photoelectric conversion elements are formed is drawn out, The film in which the ear end is removed while the film substrate is cut in parallel with the conveying line by two first cutting blades installed in the width direction, and the cut end of the ear is wound by the remaining processing means The substrate is unrolled, and the first detection means detects the marker formed on the film substrate to obtain the first cutting position signal, stops the unwinding of the film substrate, and passes through the second cutting blade. While sucking the unnecessary portion between the photoelectric conversion elements drawn out on the endless belt having a suction function by the endless belt and pulling it in the transport directionSaidThe film is cut in the width direction of the film substrate by a second cutting blade, and the unnecessary portion is cut by the second detection means.EndlessDetecting that the film has been transported past the discharge position of the belt, and feeding the film substrate by a predetermined length in the transport direction of the photoelectric conversion element, the first cutting positionThe position where the signal was obtainedThe tip of the photoelectric conversion element cut byEndlessPositioning the film substrate opposite to the positioning hole by continuously applying a tensile force to the film substrate by rotating the film substrate while sucking the film substrate with the endless belt until the positioning hole is formed in the belt. The detection hole provided in the third detection means detects the second cutting position signal of the photoelectric conversion element, and the film substrate is cut by the second cutting blade to separate from the film substrate. A method for producing a photoelectric conversion module comprising the steps of: cutting out the photoelectric conversion element of the above, and moving the cut out single photoelectric conversion element to a transport line of a protective film and covering with a protective film from both sides is provided. Is done.
[0018]
According to this method for manufacturing a photoelectric conversion module, a film substrate on which a photoelectric conversion element is formed is transported while being adsorbed to an endless belt, and the cutting of the photoelectric conversion element from the film substrate is performed on the side in the transport direction. While the substrate is being fed out, the first cutting blade performs the drawing, and the side in the width direction of the film substrate is drawn by the second cutting blade through the drawn portion from the decompression chamber to give a pulling force in the conveying direction. While doing so. Accordingly, stable conveyance, feeding, and cutting can be performed even on a film substrate in which curling has occurred due to a difference in film stress, thermal residual stress, or the like.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1A and 1B are diagrams showing a photoelectric conversion module manufacturing apparatus according to the present invention, in which FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a front sectional view, and FIG. 1C is a right side sectional view. In this photoelectric conversion module manufacturing apparatus, as shown in (A), a second transport line transports a first transport line of a film substrate arranged in the vertical direction of the figure and a protective film arranged in the horizontal direction of the figure. It is comprised from the conveyance line and the supply apparatus arrange | positioned in the position which these conveyance lines cross | intersect. Here, the heating and bonding process of the second transfer line and the module is almost the same as the manufacturing apparatus of FIG. 6 described as the conventional example. That is, as shown in (B), in the second transport line, the protective film 12 that has been fed from the feed roll 12L to the lower surface of the photoelectric conversion element 1u that has been attracted to and moved by the suction table 32t by the supply device 30. Is heat-bonded to the module where the conductive tape 1k fed from the feed roll kL and the protective film 13 fed from the feed roll 13L are heat-bonded by the heating roll 22 and wound. The take-up roll 12R is wound up.
[0020]
Since the photoelectric conversion module manufacturing apparatus according to the present invention is characterized by the configuration of the first transport line, the first transport line will be described in detail. As shown in FIG. 1C, the first transport line includes a feed roll 1L for supplying a film substrate 1s, a feed roll 11L for supplying a film 11 of a heat-adhesive resin, a heating roll 21, and a film. 11 is a drawing unit 51 that sucks and feeds the film substrate 1s to which heat bonding is performed, an accumulator 6 that synchronizes heat bonding and cutting work time, and a first cutting blade 33 that cuts both ear ends of the film substrate 1s. The remaining portion processing units 7L and 7R for collecting the edge portions cut on both sides, the length measuring unit 52 for measuring the length of the photoelectric conversion element 1u in the transport direction, and the photoelectric conversion element 1u at right angles to the transport direction A second cutting blade 34 for cutting in any direction, and a fixed position for supplying the photoelectric conversion element 1u cut by the second cutting blade 34 to a position where the suction table 32t sucks it in a reproducible manner. And parts 53, and a recovery portion 54 for recovering the unnecessary portion of the shredded film substrate 1s by the second cutting blade 34. Here, the feeding unit 51, the length measuring unit 52, and the fixed position supply unit 53 respectively convey or cut the film substrate 1s or the photoelectric conversion element 1u while being attached to the endless belt. When there is no adsorption, it is called adsorption.
[0021]
Here, the delivery roll 1L that is mounted on the first transport line and supplies the film substrate 1s will be described.
2A and 2B are diagrams showing a film substrate in a pre-process mounted on the manufacturing apparatus, wherein FIG. 2A is a perspective view showing a winding state of the film substrate, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line XX of the film substrate. It is. The delivery roll 1L mounted on the first transport line is obtained by winding up a flexible film substrate 1s, and a plurality of photoelectric conversion elements 1u are formed in a line in the longitudinal direction on one surface thereof. After each photoelectric conversion element 1u is formed on the film substrate 1s, an evaluation test is performed. As a result of the quality determination, a marker 1m is recorded at a predetermined position in the case of a non-defective product. Therefore, only the photoelectric conversion element 1u on which the marker 1m is recorded is a target to be cut by the first transport line.
[0022]
Further, as shown in (B), when the cross section taken along the line XX, which is the cutting position of the film substrate 1s, is seen, the photoelectric conversion at the center is caused by the difference in film stress between the film substrate 1s and the photoelectric conversion element 1u. In the vicinity of the element 1u, it is wavy and curled at the ear ends on both sides. In this state, the film substrate 1s is wound up.
[0023]
In the first transport line to which the delivery roll 1L for the film substrate 1s is mounted, first, a marker 1m indicating that the photoelectric conversion element 1u is a good product is read from the film substrate 1s fed out from the delivery roll 1L. In the case of a non-defective photoelectric conversion element 1u, the non-defective photoelectric conversion element 1u is transferred onto the protective film 12 by the suction table 32t. And collected.
[0024]
In the first transport line, the film substrate 1s to which the film 11 has already been thermally bonded by the heating roll 21 is transported by the feeding unit 51 adsorbing and moving it. The thermal bonding between the film 11 and the film substrate 1s is performed by continuous conveyance. On the other hand, the cutting of the film substrate 1s is performed with the conveyance stopped. For this reason, the accumulator 6 synchronizes the work time between the thermal bonding and the cutting so that the photoelectric conversion elements 1u can be continuously supplied.
[0025]
Cutting is performed by the first cutting blade 33 and the second cutting blade 34. In this embodiment, two pairs of left and right slitters are used as the first cutting blade 33 and a shear blade is used as the second cutting blade 34. The cutting dimension of the photoelectric conversion element 1u parallel to the first transport line can be arbitrarily changed by the mounting position of the first cutting blade 33. The left and right ear ends slitted by the first cutting blade 33 are wound up and collected by controlling the torque so that the ear ends are not cut off by the remaining processing units 7L and 7R installed on the left and right sides, respectively. .
[0026]
Thereafter, the film substrate 1s with the left and right ear ends slit is cut into a rectangle. For this reason, the film substrate 1 s is sucked and moved with the length measuring unit 52 as a reference for length measurement, and the film substrate 1 s is fed to the second cutting blade 34 and the fixed position supply unit 53 to measure the length. Done. Since the photoelectric conversion element 1u and the unnecessary part are formed on the film substrate 1s at regular intervals, the length of the photoelectric conversion element 1u and the unnecessary part is set in the length measurement function of the length measurement part 52, and the length measurement part 52 The conveyance amount of the set length is controlled, and the photoelectric conversion element 1u and the unnecessary portion are fed out to the fixed position supply unit 53 via the second cutting blade 34, and the fixed position supply unit 53 controls the suction force. Then, the second cutting blade 34 alternately cuts the photoelectric conversion element 1u and the unnecessary portion while sucking and pulling the drawn portion.
[0027]
The non-defective photoelectric conversion element 1u cut into a rectangular shape is continuously transported to the position where the suction table 32t is vacuum-sucked while being sucked by the fixed position supply unit 53, and the fixed position supply unit 53 sucks the defective and unnecessary parts. It continues to move and is transported to the collection unit 54 and collected. Thereafter, this series of operations is repeated.
[0028]
FIGS. 3A and 3B are diagrams illustrating the transport unit of the first transport line, where FIG. 3A is a plan view of the transport unit, and FIG. 3B is a front view of the transport unit. The feeding unit 51, the length measuring unit 52, and the fixed position supply unit 53 convey the film substrate 1s by rotationally driving the endless belts 51a, 52a, and 53a, respectively. Since the film substrate 1s excluding the ear ends and thermally sticks the adhesive film 11, the ear ends of the film substrate 1s are easily curled. Therefore, as the endless belts 51a, 52a, and 53a, in this embodiment, the upper surface is non-woven and slippery, and a plurality of holes 51b, 52b, and 53b that can be sucked from the lower surface are used. Here, the endless belts 51a, 52a, and 53a are sucked from the lower surface, and the film substrate 1s is sucked and transported to the upper surfaces of the endless belts 51a, 52a, and 53a, thereby transporting due to adhesion and curling. Defects are prevented.
[0029]
In addition, after the cutting with the second cutting blade 34, the photoelectric conversion element 1u is easily curled due to the difference in film stress, but by being conveyed while adsorbing to the surface of the endless belt 53a of the fixed position supply unit 53, Curling on the fixed position supply unit 53 is prevented, and further, the photoelectric conversion element 1u can be vacuum-sucked to the suction table 32t in this sucked state.
[0030]
The feeding unit 51, the length measuring unit 52, and the fixed position supplying unit 53 are respectively provided with boxes 51c, 52c, and 53c that are provided below the rolls that support the endless belts 51a, 52a, and 53a and do not have a top plate. It is connected to decompression generators 51e, 52e, 53e via exhaust control valves 51d, 52d, 53d. Accordingly, the suction conveyance of the film substrate 1s by the feeding unit 51, the length measuring unit 52, and the fixed position supply unit 53 starts the decompression generators 51e, 52e, 53e, and the film substrate 1s placed on the holes 51b, 52b. , 53b while rotating the endless belts 51a, 52a, 53a. Further, the adsorption force is adjusted by controlling the opening degree of the exhaust control valves 51d, 52d, 53d or the power supply frequency of the decompression generators 51e, 52e, 53e.
[0031]
FIG. 4 is a diagram showing, in chronological order, operations until the film substrate is cut and the unused portion is discharged, and FIG. 4A is a plan view of the conveyance line showing a state where the unnecessary portion is extended to the fixed position supply portion. , (B) is a front view of the conveyance line showing a state in which the unnecessary part is extended to the fixed position supply unit, (C) is a front view of the conveyance line showing a state in which the unnecessary part is cut, and (D) is a discharge of the unnecessary part. It is a front view of the conveyance line which shows the state performed. Here, the box 53c of the fixed position supply unit 53 partitions the inside into three chambers 531c, 532c, and 533c, and the respective chambers 531c, 532c, and 533c are decompressed via the exhaust control valves 531d, 532d, and 533d. The devices 531e, 532e, and 533e are connected to each other, and the pressures of the respective chambers 531c, 532c, and 533c are independently controlled so that the suction position, the suction area, the suction force, and the suction force can be individually controlled. This was done because the number of holes blocking the hole 53b increased or decreased due to the different cutting lengths of the photoelectric conversion element 1u and the unused portion, and the tensile force fluctuated due to the pressure in the box 53c changing. Is. Therefore, the partition between the chamber 531c and the chamber 532c is provided according to the cutting length of the unnecessary portion, and the partition between the chamber 532c and the chamber 533c is provided according to the cutting length of the photoelectric conversion element 1u, and the feeding amount Regardless of this, a constant tensile force is applied. Further, on the upstream side of the first cutting blade 33, a marker reading sensor 10m is provided for reading the marker 1m indicating the pass / fail judgment of the photoelectric conversion element 1u.
[0032]
As shown in (A), (B), and (C), the unnecessary portion of the photoelectric conversion element 1u on the conveyance front edge side is fixed by passing the unnecessary portion of the film substrate 1s through the second cutting blade 34. When the marker reading sensor 10m is fed onto the endless belt 53a of the position supply unit 53 and detects the marker 1m on the film substrate 1s, the conveying operation of the length measuring unit 52 is stopped and the second cutting blade 34 is stopped. Is done. At the time of cutting the unnecessary portion by the second cutting blade 34, the unnecessary portion of the film substrate 1s drawn out on the fixed position supply portion 53 is controlled to receive suction and conveying force from the chamber 531c of the box 53c, Therefore, the unnecessary portion is cut in a stable state while the tip portion is sucked and pulled in the transport direction. The cut unnecessary part is conveyed by the endless belt 53a of the fixed position supply part 53 as shown in (D), and the sensor 10L senses that the unnecessary part is discharged out of the suction area of the suction table 32t. Then, the length measuring unit 52 starts conveyance, and feeds the photoelectric conversion element 1 u after cutting the unnecessary portion to the fixed position supply unit 53.
[0033]
5A and 5B are diagrams showing the operation of cutting the photoelectric conversion element from the film substrate in time series, in which FIG. 5A is a plan view showing a state where the photoelectric conversion element is extended to the fixed position supply unit, and FIG. The front view which shows the state which extended the photoelectric conversion element to the position supply part, (C) is a front view which shows the state which cut the photoelectric conversion element. As can be seen from the front views of FIGS. (B) and (C), guide plates 80 and 81 are installed in front of and behind the second cutting blade 34 in the transport direction. These guide plates 80 and 81 are provided with a large number of holes, and compressed air chambers are provided below the holes so that air is blown upward through these holes. These guide plates 80 and 81 are also subjected to non-adhesion processing such as blast processing and fluororesin coating processing on the surface with which the film substrate 1s is in contact. A piping port 34a that opens from the lower blade of the second cutting blade 34 toward the downstream side is provided.
[0034]
Further, in the fixed position supply unit 53, the endless belt 53a is disposed within the width dimension of the film substrate 1s on the line passing through the detection hole 53m and a direction perpendicular to the detection hole 53m for detecting the cutting timing. In addition, a positioning hole 53s for detecting the timing of stopping the driving of the endless belt 53a is provided, and a sensor 10r for detecting the detection hole 53m is installed on the side of the endless belt 53a correspondingly, and the vertical position of the endless belt 53a is set. Is provided with a transmission beam sensor 10s for detecting the positioning hole 53s. The transmissive beam sensor 10s includes, for example, a light projecting element installed above the tip position where the photoelectric conversion element 1u is to be positioned and a light receiving element installed in the chamber 533c of the box 53c. The light receiving element detects the transmitted light from the light emitting element, thereby detecting the position where the endless belt 53a should stop. Here, a transmissive sensor was used to detect the positioning hole 53s. In the case of a reflective sensor, the tip shape of the photoelectric conversion element 1u after cutting is as shown in FIG. This is due to the fact that the position of the light source cannot be detected with good reproducibility because of the irregular reflection of the light from the light source. Further, the positioning hole 53s has a sufficiently larger opening area than the hole 53b for adsorbing the film substrate 1s, and the transmission beam sensor 10s detects the positioning hole 53s by judging the difference in the light shielding amount. .
[0035]
Here, the sensor 10L senses the discharge of the unused portion, and the length measuring unit 52 feeds the photoelectric conversion element 1u portion to the fixed position supply unit 53. At this time, the film substrate 1 s is easily curled due to the difference in film stress in the formation portion of the photoelectric conversion element 1 u, and when the photoelectric conversion element 1 u after cutting the unused portion is fed out to the fixed position supply unit 53, It is easy to get caught by the two cutting blades 34. Further, since the thickness of the film substrate 1 s itself is as thin as 75 μm or less and the waist is weak, the film substrate 1 s is easily broken when being fed out to the fixed position supply unit 53. Further, a heat adhesive resin such as ethylene vinyl acetate (EVA) is often used for the film 11 for the purpose of protection, but the surface is highly sticky and easily fixed to the lower blade of the second cutting blade 34. In contrast to this, in the present embodiment, the film substrate 1s is adjusted by adjusting the flow rate and pressure of the air blown from the holes of the guide plates 80 and 81 in which the contact surface with the film substrate 1s is non-adhesive. In addition to air floating, compressed air is sent from a piping port 34a installed on the lower blade of the second cutting blade 34 to prevent the film substrate 1s from being bent or stuck.
[0036]
In this way, the length measuring unit 52 measures the cutting length of the photoelectric conversion element 1 u set in the fixed position supply unit 53 while sucking and pulling the photoelectric conversion element 1 u fed out by the fixed position supply unit 53 in the transport direction. Stop for a long time. When the sensor 10r detects the detection hole 53m provided in the endless belt 53a, that is, the tip of the photoelectric conversion element 1u to be cut by the center of the positioning hole 53s. When the value matches, the second cutting blade 34 is operated to cut the film substrate 1s. The cut photoelectric conversion element 1u is sucked and conveyed by the fixed position supply unit 53, decelerates the rotational drive of the endless belt 53a before the positioning hole 53s provided in the endless belt 53a reaches the transmission beam sensor 10s, and When the positioning hole 53s reaches the optical axis of the transmission beam sensor 10s, the transport operation of the fixed position supply unit 53 is stopped. As a result, the cut photoelectric conversion element 1 u is accurately positioned at the suction position of the suction table 32 t on the fixed position supply unit 53.
[0037]
After that, the photoelectric conversion element 1u that is accurately positioned at the suction position of the suction table 32t is sucked by the suction table 32t, the chamber 531c of the box 53c of the fixed position supply unit 53 returns to the atmosphere, and is sucked by the fixed position supply unit 53. After the suction table 32t starts moving to the second transport line of the next process in which the photoelectric conversion element 1u is covered with the protective film from both sides, the fixed position supply unit 53 again opens the chamber 531c of the box 53c. Control is performed so that the pressure is reduced and the transfer operation is started.
[0038]
And the operation | movement of the above cutting of an unnecessary part and the cutting of the photoelectric conversion element 1u is repeatedly performed. When the marker reading sensor 10m does not detect the marker 1m on the film substrate 1s, the length measuring unit 52 continuously performs measurement of the cutting length of the unnecessary portion and the photoelectric conversion element 1u without stopping. The operation of cutting unnecessary portions and cutting the photoelectric conversion element 1u is passed, and the defective photoelectric conversion element 1u is recovered as an unnecessary portion by the recovery unit 54.
[0039]
【The invention's effect】
As described above, in the present invention, the flexible film substrate is provided through the endless belt while rotating and driving the endless belt, which is provided with the feeding means, the length measuring means, and the fixed position supply means. It was configured to perform suction conveyance. Thereby, even if the flexible film substrate is curled due to a difference in film stress and a heat treatment history or is thin and easy to bend, it can be stably conveyed.
[0040]
Further, immediately before and immediately after the second cutting means between the length measuring means and the fixed position supplying means, the surface is subjected to non-adhesive treatment, and a guide plate provided with a plurality of blowing holes is provided. Thus, by controlling the floating of the film substrate, the tip of the film substrate is not caught by the second cutting means, and the film substrate can be stably fed to the fixed position supply unit.
[0041]
In addition, the box of the fixed position supply means is composed of a plurality of decompression chambers divided in the transport direction, and the suction position and area are controlled by adjusting the pressure of each decompression chamber, and the suction force is adjusted. . Thereby, the film substrate state just before a 2nd cutting means cuts can be made the same also in the photoelectric conversion element from which a suction area differs, and an unnecessary part from the difference in cutting length.
[0042]
Further, the belt of the fixed position supply means is provided with a positioning hole and a detection hole, and when the tip of the photoelectric conversion element matches the center of the positioning hole, the detector that outputs a cutting signal and the tip of the photoelectric conversion element are at a predetermined position. And a translucent sensor that detects the positioning hole when the sheet is conveyed and stops the conveying operation of the fixed position supply means. Thereby, the photoelectric conversion element can be stopped at the same position with good reproducibility regardless of the shape of the cut end of the photoelectric conversion element.
[Brief description of the drawings]
1A and 1B are diagrams showing a photoelectric conversion module manufacturing apparatus according to the present invention, in which FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a front sectional view, and FIG. 1C is a right side sectional view.
FIGS. 2A and 2B are diagrams showing a film substrate in a pre-process mounted on a manufacturing apparatus, wherein FIG. 2A is a perspective view showing a winding state of the film substrate, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line XX of the film substrate; FIG.
FIGS. 3A and 3B are diagrams illustrating a transport unit of a first transport line, where FIG. 3A is a plan view of the transport unit, and FIG. 3B is a front view of the transport unit.
4A and 4B are diagrams showing time-series operations from cutting a film substrate to discharging a waste portion, and FIG. 4A is a plan view of a conveyance line showing a state where the waste portion is extended to a fixed position supply portion. (B) is a front view of a conveyance line showing a state where an unnecessary part is extended to a fixed position supply unit, (C) is a front view of a conveyance line showing a state where an unnecessary part is cut, and (D) is an unnecessary part. It is a front view of the conveyance line which shows the discharged state.
FIGS. 5A and 5B are diagrams showing time-series operations for cutting a photoelectric conversion element from a film substrate, in which FIG. 5A is a plan view showing a state in which the photoelectric conversion element is extended to a fixed position supply unit, and FIG. The front view which shows the state which extended the photoelectric conversion element to the fixed position supply part, (C) is a front view which shows the state which cut the photoelectric conversion element.
6A and 6B are diagrams illustrating a configuration of a conventional photoelectric conversion module manufacturing apparatus, where FIG. 6A is a plan view, FIG. 6B is a front view, and FIG. 6C is a left side view.
[Explanation of symbols]
1L delivery roll
1R Winding roll
1k conductive tape
1m marker
1s film substrate
1u photoelectric conversion element
3g guide
4 Accumulator
6 Accumulator
7L, 7R Remaining processing part
10L sensor
10m Marker reading sensor
10r sensor
10s transmission beam sensor
11 film
11L delivery roll
12 Protective film
12L delivery roll
12R Winding roll
13 Protective film
13L delivery roll
21 Heating roll
22 Heating roll
22k heating roll
30 Supply device
32t suction table
33 First cutting blade
34 Second cutting blade
34a Piping port
51 Feeding part
51a, 52a, 53a Endless belt
51b, 52b, 53b hole
51c, 52c, 53c box
51d, 52d, 53d Exhaust control valve
51e, 52e, 53e Depressurization generator
52 Length measuring section
53 Fixed position supply unit
53m detection hole
53s positioning hole
54 Collection Department
80, 81 Guide plate
531c, 532c, 533c chamber
531d, 532d, 533d Exhaust control valve
531e, 532e, 533e Reduced pressure generator
kL delivery roll

Claims (10)

光電変換素子の両面を保護フィルムで被覆して構成される光電変換モジュールの製造装置において、
複数の光電変換素子が形成された可撓性のフィルム基板を吸着しながら繰り出す繰り出し手段と、
繰り出された前記フィルム基板を吸着しながら所定の裁断長分の搬送を行う測長手段と、
前記フィルム基板から単独の光電変換素子に裁断する裁断手段と、
裁断された前記光電変換素子を吸着しながら前記保護フィルムによる被覆を行う工程に供給すべき位置基準に位置決めする定位置供給手段と、
裁断された前記光電変換素子以外の前記フィルム基板の不用残部を収集する回収手段と、
を備え、前記裁断手段は、前記フィルム基板の左右耳端を裁断する二つの第1の裁断刃と、前記フィルム基板の幅方向を裁断する第2の裁断刃とを有し、前記回収手段は、前記第1の裁断刃により裁断した前記フィルム基板の耳端を巻き取る残部処理手段を有することを特徴とする光電変換モジュールの製造装置。
In a photoelectric conversion module manufacturing apparatus configured by covering both sides of a photoelectric conversion element with a protective film,
A feeding means for feeding out a flexible film substrate formed with a plurality of photoelectric conversion elements;
A length measuring means for transporting a predetermined cutting length while adsorbing the fed film substrate;
Cutting means for cutting from the film substrate into a single photoelectric conversion element;
A fixed position supply means for positioning to a position reference to be supplied to the step of covering with the protective film while adsorbing the cut photoelectric conversion element;
A collecting means for collecting unused remainder of the film substrate other than the cut photoelectric conversion element;
The cutting means has two first cutting blades for cutting the left and right ear ends of the film substrate, and a second cutting blade for cutting the width direction of the film substrate, and the collecting means An apparatus for manufacturing a photoelectric conversion module, comprising: a remaining portion processing unit that winds up an end of the film substrate cut by the first cutting blade .
前記繰り出し手段、前記測長手段および前記定位置供給手段は、複数の孔が形成されて前記フィルム基板を吸着しながら搬送するエンドレスベルトと、前記エンドレスベルトを支持する軸間に天板が開放されていて減圧発生器が接続された箱体とを有することを特徴とする請求項1記載の光電変換モジュールの製造装置。  In the feeding means, the length measuring means, and the fixed position supplying means, a top plate is opened between an endless belt that forms a plurality of holes and conveys the film substrate while adsorbing the film substrate, and a shaft that supports the endless belt. The apparatus for manufacturing a photoelectric conversion module according to claim 1, further comprising: a box body to which a reduced pressure generator is connected. 前記繰り出し手段、前記測長手段および前記定位置供給手段の少なくとも一つの前記箱体は、搬送方向に複数仕切られて配列され、それぞれ個別制御の前記減圧発生器が接続されて前記フィルム基板および前記光電変換素子に対する吸着力、吸着位置および吸着面積を選択することができる複数の減圧室を有することを特徴とする請求項2記載の光電変換モジュールの製造装置。The box of at least one of the feeding means, the length measuring means, and the fixed position supply means is arranged in a plurality of partitions in the transport direction, and each of the individually controlled decompression generators is connected to the film substrate and the The apparatus for producing a photoelectric conversion module according to claim 2, further comprising a plurality of decompression chambers capable of selecting an adsorption force, an adsorption position, and an adsorption area for the photoelectric conversion element. 前記測長手段と前記定位置供給手段との間にある前記第2の裁断刃の直前および直後にガイドプレートを備えたことを特徴とする請求項記載の光電変換モジュールの製造装置。Apparatus for manufacturing a photoelectric conversion module according to claim 1, characterized in that a guide plate immediately before and after the second cutting blade located between the fixed position feed means and the measuring means. 前記ガイドプレートは、前記フィルム基板と接する表面を非粘着処理したことを特徴とする請求項4記載の光電変換モジュールの製造装置。  The photoelectric conversion module manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the guide plate has a non-adhesive treatment on a surface in contact with the film substrate. 前記ガイドプレートは、前記フィルム基板の未吸着部分をエアーフローティングする多数のエアー吹き出し孔を有することを特徴とする請求項5項記載の光電変換モジュールの製造装置。  6. The apparatus for manufacturing a photoelectric conversion module according to claim 5, wherein the guide plate has a plurality of air blowing holes for air floating the non-adsorbed portion of the film substrate. 前記定位置供給手段は、前記エンドレスベルトの前記フィルム基板の幅寸法内に少なくとも一つ設けられた位置決め孔と、前記エンドレスベルトに設けられて前記位置決め孔に相対した位置を検知する検出孔と、前記検出孔を検出して前記位置決め孔が前記光電変換素子の先端まで回転駆動されてきたと判断して前記第2の裁断刃を動作させる裁断位置検出手段と、前記位置基準の先端位置に設置されて前記位置決め孔を検出して前記エンドレスベルトの回転駆動を停止させる停止位置検出手段とを有することを特徴とする請求項2記載の光電変換モジュールの製造装置。The fixed position supply means includes at least one positioning hole provided within a width dimension of the film substrate of the endless belt, a detection hole provided in the endless belt and detecting a position relative to the positioning hole, Cutting position detecting means for detecting the detection hole and determining that the positioning hole has been rotationally driven to the tip of the photoelectric conversion element and operating the second cutting blade; and installed at the tip position of the position reference 3. The photoelectric conversion module manufacturing apparatus according to claim 2, further comprising stop position detecting means for detecting the positioning hole and stopping the rotational driving of the endless belt. 前記停止位置検出手段は、前記エンドレスベルトの上方または下方の前記箱体内に設置された投光素子と、前記エンドレスベルトを挟んで前記箱体内または前記エンドレスベルトの上方に前記投光素子と対峙して設置された受光素子とを有することを特徴とする請求項7記載の光電変換モジュールの製造装置。The stop position detecting means opposes the light projecting element installed in the box above or below the endless belt and the light projecting element in the box or above the endless belt across the endless belt. The photoelectric conversion module manufacturing apparatus according to claim 7, further comprising: a light receiving element that is installed. 光電変換素子の両面を保護フィルムで被覆して構成される光電変換モジュールの製造方法において、In the method of manufacturing a photoelectric conversion module configured by covering both sides of a photoelectric conversion element with a protective film
複数の光電変換素子が形成された可撓性のフィルム基板を繰り出し、  Feed out a flexible film substrate on which a plurality of photoelectric conversion elements are formed,
前記フィルム基板をその幅方向に設置された二つの第1の裁断刃により搬送ラインに平行に裁断し、裁断された耳端部を残部処理手段によって巻き取りながら前記耳端部が除かれた前記フィルム基板を繰り出し、  The film substrate was cut in parallel with the conveying line by two first cutting blades installed in the width direction, and the ear end portion was removed while the cut end portion of the film was wound up by the remaining processing means. Pull out the film substrate,
前記フィルム基板に形成されたマーカを第1の検出手段が検出することで第1の裁断位置信号を得て前記フィルム基板の繰り出しを停止させ、  The first detection means detects the marker formed on the film substrate and obtains a first cutting position signal to stop the feeding of the film substrate,
第2の裁断刃を通過してサクション機能を有するエンドレスベルト上に繰り出された前記光電変換素子間の不用部を前記エンドレスベルトにより吸引して搬送方向に引っ張りながら前記第2の裁断刃によって前記フィルム基板の幅方向に裁断し、  The film is cut by the second cutting blade while the unused portion between the photoelectric conversion elements fed through the second cutting blade and drawn on the endless belt having a suction function is sucked by the endless belt and pulled in the transport direction. Cut in the width direction of the board,
前記不用部が第2の検出手段により前記エンドレスベルトの排出位置を過ぎて搬送されたことを検出して、前記光電変換素子の搬送方向の裁断長だけ前記フィルム基板を定尺送りし、  Detecting that the unused portion has been conveyed past the discharge position of the endless belt by the second detection means, and sending the film substrate by a fixed length by the cutting length in the conveyance direction of the photoelectric conversion element,
前記第1の裁断位置信号を得た位置で裁断された前記光電変換素子の先端部が前記エンドレスベルトに形成した位置決め孔に懸かり合致するまで、前記エンドレスベルトによって前記フィルム基板を吸引しながら回転駆動することにより、前記フィルム基板に引っ張り力を与え続け、  Rotation drive while sucking the film substrate by the endless belt until the leading end of the photoelectric conversion element cut at the position where the first cutting position signal is obtained is in contact with a positioning hole formed in the endless belt. By continuing to give a tensile force to the film substrate,
前記エンドレスベルトの前記位置決め孔と相対する位置に設けられた検出孔を第3の検出手段が検出することにより前記光電変換素子の第2の裁断位置信号を得るとともに前記第2の裁断刃により前記フィルム基板を裁断して前記フィルム基板から単独の光電変換素子を切り出し、  The third detection means detects a detection hole provided at a position opposite to the positioning hole of the endless belt, thereby obtaining a second cutting position signal of the photoelectric conversion element, and the second cutting blade. Cut out a single photoelectric conversion element from the film substrate by cutting the film substrate,
切り出された単独の前記光電変換素子を保護フィルムの搬送ラインに移動して両面から保護フィルムで被覆する、  The cut out single photoelectric conversion element is moved to the transport line of the protective film and covered with the protective film from both sides.
ステップからなることを特徴とする光電変換モジュールの製造方法。  A process for producing a photoelectric conversion module comprising steps.
前記単独の光電変換素子を切り出すステップの後に、After the step of cutting out the single photoelectric conversion element,
前記第2の裁断位置信号をもとに前記第2の裁断刃による裁断が行われてから単独の前記光電変換素子を所定の位置まで搬送する手前で前記エンドレスベルトの搬送速度を減速し、  Decreasing the transport speed of the endless belt before the single photoelectric conversion element is transported to a predetermined position after being cut by the second cutting blade based on the second cutting position signal,
前記エンドレスベルトの前記位置決め孔を第4の検出手段が検出することにより前記エンドレスベルトの回転駆動を停止して、単独の前記光電変換素子を前記所定の位置に位置決めする、  The fourth detection means detects the positioning hole of the endless belt to stop the rotational driving of the endless belt, and positions the single photoelectric conversion element at the predetermined position.
ステップをさらに有することを特徴とする請求項9記載の光電変換モジュールの製造方法。  The method of manufacturing a photoelectric conversion module according to claim 9, further comprising a step.
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