JP3820178B2 - 流量制御弁 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス等の流体の流量を連続制御する流量制御弁に関する。
【0002】
【従来技術及び課題】
従来、ソレノイド部及びこのソレノイド部の励磁により変位するプランジャ部を有する電磁駆動部と、プランジャ部に対して一体に設けることにより流路を開閉する弁部を備え、ソレノイド部に印加する励磁電圧を可変して、流体の流量を連続制御できるようにした流量制御弁(マスフローバルブ)は知られている。この場合、弁部は、板バネ部材により弾性支持し、ソレノイド部の励磁によりプランジャ部に付与される吸引力に対するバランスを取っている。
【0003】
しかし、このような従来の流量制御弁、特に、ノーマルオープンタイプ(非通電時に全開)の流量制御弁では、弁部が板バネ部材のみで支持され、また、弁部は、ソレノイド部による吸引力,バネ定数,流体圧の三要素が微妙なバランスを保ちつつ開閉されるため、僅かな振動が発生しても共振により増幅され、板バネ部材に音鳴りを生じるとともに、これに伴う悪影響、即ち、制御の安定性及び正確性が損なわれる問題があった。
【0004】
本発明は、このような従来技術に存在する課題を解決したものであり、特に、音鳴りの発生を防止して静音性を高め、加えて制御の安定性及び正確性が損なわれる不具合を回避するとともに、容易かつ低コストに実施できるようにした流量制御弁の提供を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段及び実施の形態】
本発明は、ソレノイド部3及びこのソレノイド部3の励磁により変位するプランジャ部4を有する電磁駆動部2と、プランジャ部4に対して一体に設けることにより流路Fを開閉する弁部5を備えるとともに、弁部5をバネ機構により弾性支持してなる流量制御弁1を構成するに際して、中心側から周縁側に至る複数の板バネ部7as…,7bs…を有し、かつプランジャ部4の変位位置に対応して異なるバネ定数となる複数の板バネ部材7a,7bを組合わせた第一バネ機構6を備え、一の板バネ部材7aを、周縁側をソレノイド部3に対して固定し、かつ中心側を弁部5に固定し、他の一(又は二以上)の板バネ部材7bを、周縁側をソレノイド部3に対して固定し、かつ中心側をプランジャ部4の変位位置に対応して弁部5に係止させるとともに、第一バネ機構6を、当該第一バネ機構6に一端を圧接し、かつ他端を固定したコイルバネ部材9x,9yを用いた第二バネ機構8により弾性支持してなることを特徴とする。
【0006】
この場合、好適な実施の形態により、コイルバネ部材9x,9yは、第一バネ機構6の軸方向両側に配してもよいし一側に配してもよい。
【0007】
これにより、弁部5は、板バネ部材7a,7bを用いた第一バネ機構6により弾性支持されるも、同時に、第一バネ機構6は、当該第一バネ機構6に一端を圧接し、かつ他端を固定したコイルバネ部材9x,9yを用いた第二バネ機構8により弾性支持されるため、板バネ部材7a,7bに発生する振動(音鳴り)はコイルバネ部材9x,9yにより抑制される。
【0008】
【実施例】
次に、本発明に係る好適な実施例を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【0009】
まず、本実施例に係る流量制御弁1の構成について、図1〜図6を参照して説明する。
【0010】
例示の流量制御弁1は、ノーマルオープンタイプであり、図1に示すように、基本的な構成として電磁駆動部2と弁部5を備える。電磁駆動部2は、磁性材で形成した細長い長方形プレートをコの字形に折曲したヨーク21を備え、このヨーク21の内側に、コイルボビン22にワイヤWを巻回して構成したソレノイド部3を収容する。そして、コイルボビン22の一端面22s側から、コイルボビン22の内部に、磁性材で形成したコア部23を挿入するとともに、ヨーク21の開放側には、磁性材で形成したサブヨーク24を架設固定する。この場合、コア部23は、内端に軸方向へ刳り貫いた凹部23sを有するとともに、固定ネジ25によりサブヨーク24の内面に固定される。なお、26,27は、コイルボビン22の両側に配したセパレータである。
【0011】
また、コイルボビン22の他端面22t側におけるセパレータ27に対向するヨーク21には開孔部28を形成し、非磁性のステンレス材により形成したガイド筒29を挿入する。この場合、ガイド筒29は、ヨーク21から外方に突出するアウタ部29oと、開孔部28を通してコイルボビン22の内部に挿入するインナ部29iからなる。この際、インナ部29iの先端側は、コア部23の外周面に嵌合させる。一方、ガイド筒29の内部には、凹部23sに挿入する凸部4sを有する磁性材で形成したプランジャ部4をスライド自在に収容し、さらに、プランジャ部4の端面に対向する磁性材で形成したポール部30を収容する。なお、ソレノイド部3は、当該ソレノイド部3を励磁(通電)する通電部40に接続するとともに、この通電部40はソレノイド部3に印加する励磁電圧を可変する制御部41に接続する。以上により、電磁駆動部2が構成される。
【0012】
他方、弁部5はプランジャ部4に対して一体に設ける。このため、上述したプランジャ部4及びポール部30は、弁部5を装着した状態でガイド筒29に収容する。弁部5は、非磁性材で形成したシャフト部31と、このシャフト部31の先端を大径化し、この先端面に円盤形の弁部材32を埋設した弁本体部33を一体に有する。また、弁部5には、プランジャ部4の変位位置に対応して異なるバネ定数となる一対の板バネ部材7a,7bを組合わせた第一バネ機構6を装着する。
【0013】
図4に板バネ部材7aを、図5に板バネ部材7bをそれぞれ示す。板バネ部材7aは、円形のバネ板材11aに打抜孔を形成することにより、中心に挿通孔11asを設けるとともに、中心側から周縁側に至る三つの板バネ部7as…を設けて構成する。また、板バネ部材7bは、円形のバネ板材11bに打抜孔を形成することにより、中心に挿通孔11bsを設けるとともに、中心側から周縁側に至る三つの板バネ部7bs…を設けて構成する。この場合、打抜孔の形状や大きさにより板バネ部7as…,7bs…の数量,長さ及び幅を任意に設定することができる。
【0014】
そして、シャフト部31の後端側を、板バネ部材7aの挿通孔11as及び板バネ部材7bの挿通孔11bsに対して順番に通し、この後、シャフト部31の外周面に形成したネジ部に、係合ナット34を螺着する。これにより、一の板バネ部材7aの中心側が、弁本体部33の背面と係合ナット34間に挟まれて固定されるとともに、他の板バネ部材7bの中心側は、弁本体部33と係合ナット34間に遊びを有する状態で装着され、この板バネ部材7aと7bにより第一バネ機構6が構成される。この場合、係合ナット34は、図2に示すように、プランジャ部4の変位位置に対応して板バネ部材7bに係止可能な段差係止部34sを有する。
【0015】
一方、弁部5を、プランジャ部4に固定するに際しては、図2に示すコイルバネ部材9xを用意し、シャフト部31を、後端側から当該コイルバネ部材9xに挿通させた後、ポール部30の中心に形成した貫通孔、さらにはプランジャ部4の中心に形成した貫通孔へ順番に挿通させる。これにより、図2に示すように、板バネ部材7bとポール部30間に、圧縮した状態のコイルバネ部材9xが介在する。そして、プランジャ部4に挿通させたシャフト部31に対して、プランジャ部4の凸部4s側の端面に螺着した規制ネジ35により軸方向への位置規制を行うとともに、プランジャ部4の外周面から螺着した固定ネジ36により固定する。なお、シャフト部31は、ポール部30に対してスライド自在となる。
【0016】
この後、プランジャ部4及びポール部30をガイド筒29に内部に収容する。この際、ポール部30に形成した段差が、ガイド筒29の内面に形成した段差に係止することにより、ポール部30の収容位置が規制される。これにより、シャフト部31は、プランジャ部4から軸方向に突出し、ポール部30を貫通してヨーク21から突出したガイド筒29の内部に臨むとともに、ポール部30は、コイルボビン22の他端面22t付近に配される。
【0017】
他方、図2に示すコイルバネ部材9yを用意する。そして、このコイルバネ部材9yを同図に示すように、ガイド筒29におけるアウタ部29oの内部に収容するとともに、さらに、このアウタ部29oの内部に、固定筒37を挿入する。これにより、固定筒37とポール部30間に、板バネ部材7aと7bの周縁側が挟まれる。そして、この状態で、アウタ部29oの内周面に、弁座ブロック38を螺着し、図2に示すように、固定筒37,ポール部30及び板バネ部材7a,7bの周縁側を固定するとともに、板バネ部材7aと弁座ブロック38間に、圧縮した状態のコイルバネ部材9yを介在させる。この場合、弁座ブロック38は、中心に、弁本体部33に対向する流入口Riを有するとともに、この流入口Riの周りに周方向に一定間隔置きに形成した六つの流出口Ro…を有する。これにより、流入口Riから弁本体部33が収容される弁室Rfを通って流出口Ro…に至る流路Fが構成される。
【0018】
また、以上の構成において、コイルバネ部材9xと9yは、第二バネ機構8を構成し、コイルバネ部材9xの上端は、ポール部30の下面に圧接して固定端となり、かつ下端は板バネ部材7b(第一バネ機構6)の上面に圧接して自由端となるとともに、コイルバネ部材9yの下端は、弁座ブロック38の上面に圧接して固定端となり、かつ上端は板バネ部材7a(第一バネ機構6)の下面に圧接して自由端となる。したがって、第二バネ機構8は、一対のコイルバネ部材9x,9yにより、第一バネ機構6を弾性支持する。この場合、第一バネ機構6に付与されるコイルバネ部材9xと9yの加圧力は平衡させる。このような第二バネ機構8を設ける目的は、第一バネ機構6(板バネ部材7a…)で発生する振動(音鳴り)を回避することにあるため、使用するコイルバネ部材9x,9yの大きさやバネ定数等は、実験により最良の結果を得るものを選定できる。
【0019】
次に、本実施例に係る流量制御弁1の動作について、図1〜図7を参照して説明する。
【0020】
まず、非通電時には、ソレノイド部3は励磁されないため、弁部5の位置は、第一バネ機構6及び第二バネ機構8によって規制される。即ち、図2に示すように、板バネ部材7a,7bは中立位置にあるため、弁部5は上昇した開位置となる。したがって、図1に示すように、例えば、ガス等の流体を、白抜矢印Wiの方向から流入口Riに供給すれば、流体は流路Fを通り、流出口Ro…から白抜矢印Woの方向に流出する。
【0021】
一方、制御部41により通電部40を制御し、ソレノイド部3に所定の励磁電圧を印加すれば、ソレノイド部3から磁束が発生する。この磁束は、ポール部30とプランジャ部4間では軸方向に通過するとともに、コア部23とプランジャ部4間では、凹部23sと凸部4sの存在により径方向(放射方向)に通過する。したがって、軸方向におけるコア部23とプランジャ部4間には、ほとんど吸引力が発生しないのに対し、軸方向におけるポール部30とプランジャ部4間には、吸引力が発生する。この結果、変位自在のプランジャ部4は、固定されたポール部30に吸引され、図1中、下方へ変位する。
【0022】
この場合、弁部5は、プランジャ部4の変位位置に対応して異なるバネ定数となる複数の板バネ部材7a,7bを組合わせた第一バネ機構6により弾性支持されるため、例示するノーマルオープンタイプの流量制御弁1の場合には、ソレノイド部3に印加する励磁電圧を、0〔V〕から徐々に上昇させることにより、一の板バネ部材7aにより支持される弁部5は、最初に、板バネ部材7aのみのバネ定数に基づく弾性に抗して下方へ変位する。この結果、弁部5による開度が徐々に小さくなり、流量は緩やかに減少する。このときの励磁電圧対流量特性Poを図7に実線で示す。
【0023】
ところで、従来は、第一バネ機構6に単一の板バネ部材7aのみが用いられていた。この場合、図7に点線で示す励磁電圧対流量特性Prのように、5〔V〕付近(Xc点)から急激に流量の変化率が大きくなるため、流量が少なくなる範囲では、励磁電圧を僅かに変化させただけでも流量は大きく変化することになり、制御が不安定になるとともに、高精度かつ信頼性の高い流量制御を行うことができない不具合があった。
【0024】
しかし、本実施例では、プランジャ部4の変位位置に対応して異なるバネ定数となる複数のバネ部材7a,7bを組合わせたバネ機構6を用いたため、弁部5が、板バネ部材7aのみでは流量の変化率が急激に大きくなる位置、即ち、図7のXc点に対応する予め設定した所定位置に達すれば、図3に示すように、係合ナット34の段差係止部34sが板バネ部材7bの中心側に係止し、弁部5は、板バネ部材7aと7bを組合わせたバネ定数に基づく弾性に抗して変位する。この結果、急激に流量の変化率が大きくなる不具合が回避され、流量の変化率が緩やかな状態で流量を0(閉位置)まで変化させることが可能となる(図7に実線で示す励磁電圧対流量特性Po参照)。よって、全制御範囲において、高精度の流量制御、さらには安定性及び信頼性の高い流量制御を行うことができる利点がある。
【0025】
また、弁部5は、板バネ部材7a,7bを用いた第一バネ機構6により弾性支持されるも、同時に、第一バネ機構6は、当該第一バネ機構6に一端を圧接し、かつ他端を固定したコイルバネ部材9x,9yを用いた第二バネ機構8により弾性支持されるため、板バネ部材7a,7bに発生する振動はコイルバネ部材9x,9yにより抑制される。よって、音鳴りの発生が防止され、静音性が高められるとともに、加えて制御の安定性及び正確性が損なわれる不具合が回避される。しかも、一対のコイルバネ部材9x,9yを用いた第二バネ機構8のみによって容易かつ低コストに実施可能となる。
【0026】
以上、実施例について詳細に説明したが、本発明はこのような実施例に限定されるものではなく、細部の構成,形状,材料,数量,数値等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更,追加,削除することができる。例えば、ノーマルオープンタイプの流量制御弁1を例示したが、ノーマルクローズタイプ(非通電時に全閉)にも同様に適用できる。また、コイルバネ部材9x,9yは、第一バネ機構6の軸方向両側に配した場合を例示したが、いずれか一側にのみ配しても一定の効果を得ることができる。さらに、第一バネ機構6は、一対の板バネ部材7a,7bを用いた二段タイプを例示したが、単一の板バネ部材7aにより構成してもよいし、任意数量の板バネ部材7a…を用いた複数段タイプにより構成してもよい。
【0027】
【発明の効果】
このように、本発明に係る流量制御弁は、中心側から周縁側に至る複数の板バネ部を有し、かつプランジャ部の変位位置に対応して異なるバネ定数となる複数の板バネ部材を組合わせた第一バネ機構を備え、一の板バネ部材を、周縁側をソレノイド部に対して固定し、かつ中心側を弁部に固定し、他の板バネ部材を、周縁側をソレノイド部に対して固定し、かつ中心側をプランジャ部の変位位置に対応して弁部に係止させるとともに、第一バネ機構を、当該第一バネ機構に一端を圧接し、かつ他端を固定したコイルバネ部材を用いた第二バネ機構により弾性支持してなるため、次のような顕著な効果を奏する。
【0028】
(1) 音鳴りの発生を防止でき、静音性を高めることができるとともに、加えて制御の安定性及び正確性が損なわれる不具合を回避できる。
【0029】
(2) 一対のコイルバネ部材を用いた第二バネ機構のみによって容易かつ低コストに実施できる。
【0030】
(3) 第一バネ機構を、プランジャ部の変位位置に対応して異なるバネ定数となる複数の板バネ部材を組合わせて構成したため、全制御範囲において、高精度の流量制御、さらには安定性及び信頼性の高い流量制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適な実施例に係る流量制御弁の縦断側面図、
【図2】同流量制御弁に備える弁部の開位置における第一バネ機構及び第二バネ機構の縦断側面図、
【図3】同流量制御弁に備える弁部の閉位置における第一バネ機構及び第二バネ機構の縦断側面図、
【図4】同流量制御弁に備える第一バネ機構の一の板バネ部材の平面図、
【図5】同流量制御弁に備える第一バネ機構の他の板バネ部材の平面図、
【図6】図1中A−A線における半断面を含む底面図、
【図7】流量制御弁の励磁電圧対流量特性図、
【符号の説明】
1 流量制御弁
2 電磁駆動部
3 ソレノイド部
4 プランジャ部
5 弁部
6 第一バネ機構
7a 板バネ部材
7b 板バネ部材
7as… 板バネ部
7bs… 板バネ部
8 第二バネ機構
9x コイルバネ部材
9y コイルバネ部材
Claims (2)
- ソレノイド部及びこのソレノイド部の励磁により変位するプランジャ部を有する電磁駆動部と、前記プランジャ部に対して一体に設けることにより流路を開閉する弁部を備えるとともに、前記弁部をバネ機構により弾性支持してなる流量制御弁において、中心側から周縁側に至る複数の板バネ部を有し、かつ前記プランジャ部の変位位置に対応して異なるバネ定数となる複数の板バネ部材を組合わせた第一バネ機構を備え、一の板バネ部材を、周縁側を前記ソレノイド部に対して固定し、かつ中心側を前記弁部に固定し、他の一又は二以上の板バネ部材を、周縁側を前記ソレノイド部に対して固定し、かつ中心側を前記プランジャ部の変位位置に対応して前記弁部に係止させるとともに、前記第一バネ機構を、当該第一バネ機構に一端を圧接し、かつ他端を固定したコイルバネ部材を用いた第二バネ機構により弾性支持してなることを特徴とする流量制御弁。
- 前記コイルバネ部材は、前記第一バネ機構の軸方向両側又は一側に配することを特徴とする請求項1記載の流量制御弁。
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JP2002101468A JP3820178B2 (ja) | 2002-04-03 | 2002-04-03 | 流量制御弁 |
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Cited By (1)
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-
2002
- 2002-04-03 JP JP2002101468A patent/JP3820178B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102985736A (zh) * | 2010-07-13 | 2013-03-20 | 株式会社京浜 | 电磁阀 |
CN102985736B (zh) * | 2010-07-13 | 2014-10-08 | 株式会社京浜 | 电磁阀 |
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JP2003294164A (ja) | 2003-10-15 |
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