JP3806752B2 - マイクロ波放電発生装置及び環境汚染ガスの処理方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、環境汚染ガスの分解やマイクロ波プラズマ加工などに利用し得る、マイクロ波吸収体を用いるマイクロ波放電装置装置及びそれを用いた環境汚染ガスの処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
マイクロ波放電は無電極でクリーンな放電として、電子、機械関連技術の分野での広範囲な応用が行われている。マイクロ波放電を利用したマイクロ波プラズマによる加工技術に関しては、各種材料のエッチング装置や堆積装置等として半導体製造、光学部品製造等の多くの産業で、広範囲に使用されている。
【0003】
近年、マイクロ波放電は、環境汚染ガスの削減のような環境への応用も注目され、車両などからの廃棄ガスに含まれる環境汚染ガスの分解への応用が検討されている。従来は、環境に悪影響を与える環境汚染ガスの主成分である窒素酸化物(以下、NOxと呼ぶ)の分解にマイクロ波を応用した場合、NOxのマイクロ波放電分解に関する研究のほとんどは、NOxをHeやAr等の希ガス中に希釈したガスを使用して行われていた。しかしながら、HeやArは、資源が少なくて高価であるので、実用的ではない。
【0004】
希ガスの代わりに、窒素ガス中でマイクロ波放電によりNOxの分解ができるようになれば実用的であるが、未だ実現されていない。窒素中でのマイクロ波放電を用いたNOxの処理は、M.A.Wojtowitz等により報告されている(J.Hazardous Materials、74巻、pp.81−89、2000)。
【0005】
しかしながら、彼らの実験は最高609Torrで真の大気圧(760Torr)には到達しておらず、またそのときのマイクロ波出力も300Wと高いものであった。従来の技術では、マイクロ波出力が100Wから200Wでは、放電が維持可能な最大窒素圧力は約50Torrであった。
このように従来技術では、真空排気装置を必要としない窒素大気圧中で、マイクロ波放電を100Wから200Wという低電力のマイクロ波で得ることは、困難であった。
【0006】
大気圧窒素中で放電が維持できないのは、圧力の増加に伴い電子の平均自由行程が短くなり、電子がマイクロ波電場により十分に加速されないためである。
また窒素は希ガスと異なり、振動回転運動や解離があるために電子のエネルギーが吸収され、同じマイクロ波電場においては、希ガスほど効率よく電離されないからである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、大気圧での放電を可能とする新規な、マイクロ波放電発生装置及びそれを利用した環境汚染ガスの処理方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、この発明は次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載のマイクロ波放電装置は、マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器に接続されたマイクロ波空洞共振器と、このマイクロ波空洞共振器に結合されたガス導入口とガス排出口を備えた反応管と、この反応管に導入される窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスとの混合ガスと、この反応管のマイクロ波空洞共振器中に設置される複数個のマイクロ波吸収体と、を備え、マイクロ波吸収体が、所定の間隔をおいてガス流に沿って直列に連続的に設置されており、混合ガスの大気圧での放電を、マイクロ波吸収体間において行なう構成としたものである。
【0009】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のマイクロ波放電発生装置において、前記マイクロ波吸収体が、少なくともZr、W、Cの何れかによることを特徴とするものである。
【0010】
請求項3に記載の環境汚染ガスの処理方法は、マイクロ波発振器と、このマイクロ波発振器に接続されたマイクロ波空洞共振器と、このマイクロ波空洞共振器に結合されたガス導入口とガス排出口を備えた反応管に、窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスとの混合ガスを大気圧で導入し、上記マイクロ波空洞共振器中に設けられ、所定の間隔をおいて、上記ガス流に沿って直列に連続的に設置された少なくとも1個以上のマイクロ波吸収体に上記マイクロ波発振器からマイクロ波電力を印加し、上記窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスとの混合ガスを、上記マイクロ波吸収体間において大気圧でマイクロ波放電することにより、上記環境汚染ガスを無害なガスに分解することを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項3記載の環境汚染ガスの処理方法において、前記マイクロ波吸収体がZrであり、前記環境汚染ガスがN2 Oであり、このN2 Oの分解率が90%以上であることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項3記載の環境汚染ガスの処理方法において、前記マイクロ波吸収体がZr、W、Cの何れかであり、前記環境汚染ガスがNOを含み、このNOの分解率が60%以上であることを特徴とする。
【0011】
請求項1に記載の発明の作用は、次のとおりである。このように構成されるマイクロ波放電発生装置では、反応管のマイクロ波空洞共振器に結合した領域内に複数個のマイクロ波吸収体を、所定の間隔をおいて、ガス流に沿って直列に連続的に設置したことにより、主として熱電子と二次電子からなるより多数の電子が、マイクロ波吸収体からガス中に供給される。熱電子は、マイクロ波吸収体表面がマイクロ波によって加熱されることにより生じる。また、二次電子は、マイクロ波吸収体がプラズマ中の電子衝突によって加熱されることにより発生する。この作用により、例えば、大気圧の窒素ガスを、マイクロ波吸収体間において低マイクロ波電力により放電を持続的に行わせることができる。
【0012】
請求項2に記載の発明によれば、マイクロ波吸収体が、少なくともZr、W、Cの何れかによるので、本発明のマイクロ波放電発生装置は、さらにマイクロ波放電を効率良く発生できる。
【0013】
請求項3に記載の環境汚染ガスの処理方法によれば、ほぼ大気圧の窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスの混合ガスとを導入することにより、マイクロ波放電により環境汚染ガスを安全な成分に分解し、排出することができる。
請求項4に記載の発明によれば、マイクロ波吸収体をZrとした場合に、N2 Oガスの分解率を90%以上とすることができる。
請求項5に記載の発明によれば、マイクロ波吸収体をZr、W、Cの何れかとし、環境汚染ガスにNOが含まれている場合に、NOガスの分解率を60%以上とすることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面により詳細に説明する。
図1は、本発明のマイクロ波放電発生装置の第1の実施の形態を示す構成図である。図において、1はマイクロ波発振器で、伝送線路2によりマイクロ波空洞共振器3に接続されている。石英のような耐熱材で造られた反応管4は、マイクロ波空洞共振器3に挿入された部分がマイクロ波と結合することにより、マイクロ波電力が供給される。反応管4は、ガスの流入口5とガスの排出口6を有する。なお、反応管4の外側に記載した矢印は、ガスの流れを示している。
【0015】
マイクロ波吸収体7は、反応管4のマイクロ波と結合する領域に設置される。マイクロ波吸収体7は、図1に示す実施の形態では、ガス流に沿って直列に2個配置されているが、3個以上としても良い。8は放電領域、9は反応管を塞ぐ形状としたガラスウールである。
上記のマイクロ波放電発生装置構成により、ガスが流され、マイクロ波空洞共振器3に結合された反応管4内に設置されたマイクロ波吸収体7に、マイクロ波発振器1からマイクロ波電力が印加されることにより電子が発生し、マイクロ波の放電8が発生する。
前述の動作原理からマイクロ波吸収体7が備える好ましい条件としては、例えば次のことが挙げられる。
(1)マイクロ波により加熱され熱電子の放出が生起し易く、また二次電子が放出し易い材料が好ましい。
(2)導電率は高い方がマイクロ波加熱させやすい。
(3)材料の仕事関数は低い方が電子を放出させやすい。
(4)マイクロ波吸収体7は非常に高温になるので、材料の融点は2000℃以上が好ましい。
【0016】
次に、本発明のマイクロ波放電発生装置のマイクロ波空洞共振器3と反応管4の結合状態を図2を用いて説明する。
図2は図1の構成図の右側面に相当する。本例では、マイクロ波空洞共振器3として、内寸法が長辺の長さをA,短辺の長さをBとした矩形導波管10を用いている。図2は矩形導波管10の長辺面を示しており、共振器の長さがL1 で、図示したように長さL2 のU字状の切り込み部を形成し、その半円のL3 部分を開口部とすることにより、反応管4にマイクロ波電力を供給した。
11は同軸−導波管変換器の同軸ケーブル用コネクタであり、12は矩形導波管マイクロ波空洞共振器10の共振周波数を調整する反射器である。矩形導波管マイクロ波空洞共振器10の寸法は一例として、A=86mm、B=45mm、共振器の長さは、L1 が約259mm、L2 が約58mmとしている。
【0017】
図3は、図2のI−I線に沿う概略断面図を示している。反応管4の4a,4b部分が、矩形導波管空洞共振器10と結合している。4aを含む反応管の中心より上側が、誘電体窓となっている。
13 は矩形導波管マイクロ波共振器10に設けられたスタブチューナで、マイクロ波電力を反応管4の内部に設置されたマイクロ波吸収体7へ効率良く伝送する機能を有している。
図3において、その他の図1,図2に示したものと同一の符号は、図1,図2と同一のものを示すので、説明は省略する。
【0018】
マイクロ波発振器1としては、2.45GHzのマグネトロン、トランジスタ式の微小出力の発振器と高出力アンプを組み合わせた発振器等が使用される。
伝送線路2は、マイクロ波発振器1と、マイクロ波空洞共振器3を接続するための同軸線もしくは導波管などで構成される。伝送線路2として、アイソレータやマイクロ波空洞共振器3とのインピーダンス整合用の回路を含むように構成する場合もある。また、伝送線路2中にマイクロ波の電力測定用の方向性結合器を挿入することにより、進行波電力と反射波電力の測定を行うことが好ましい。マイクロ波空洞共振器3としては、矩形導波管の他に、円形導波管、同軸構造などの空洞共振器が使用できる。
【0019】
ガスの流入口5及びガスの排出口6は、周知のガスコネクタである。反応管4とガスコネクタは、図示してはいないが、周知のステンレス製のフランジなどを介して接続される。
ガラスウール9は、マイクロ波吸収体7からの蒸発物を外部へ流出させないようにするために設けられている。また、ガラスウール9は、マイクロ波吸収体7がカーボンのような軽い材料を用いた場合に、マイクロ波吸収体7がガスにより外部に排出されることを防ぐために設けられる。ガラスウール9は、放電領域8から十分離した排出口6側に設置するのが好ましい。装置構成上、必要がない場合は省略できる。
【0020】
図4は本発明の第1の実施の形態によるマイクロ波放電発生装置の反応管4にマイクロ波吸収体7を2個設けたときに、マイクロ波吸収体7間の距離と窒素ガスのマイクロ波放電の放電持続圧力の関係を示すものである。
放電持続圧力とは、放電可能な最高圧力である。従って、窒素ガスは、放電持続圧力が大気圧を越えていれば、大気圧で放電する。
図1に示すように放電領域8は、2個のマイクロ波吸収体7の間に発生する。マイクロ波吸収体7の材料は、図4(a)がZr(ジルコニウム)、図4(b)がW(タングステン)、図4(c)がC(カーボン)である。Cは、材料としてはグラファイトを使用した。マイクロ波吸収体7の形状は、各材料とも丸棒である。また、その寸法は直径3mmで、長さが15mmと同一である。
【0021】
マイクロ波電力と窒素ガス流量は、マイクロ波吸収体7に係らず共通で、それぞれ100W、1000ccmである。ここで、ccmはcm3 /分であり25℃において、1013hPaに換算した場合の流量をあらわす単位である。
マイクロ波吸収体7がZrとWの場合には、マイクロ波吸収体7の間隔が約3mm以下、またCの場合にはマイクロ波吸収体7の間隔が約2mm以下のときに、窒素ガスを大気圧でマイクロ波放電をさせることができた。
マイクロ波電力を上げ200Wとした場合には、さらに大気圧の窒素ガスのマイクロ波放電を発生し易くなり、マイクロ波吸収体間隔7を約10mm程度まで広くすることができた。
【0022】
窒素ガス流量とマイクロ波電力が同一の場合には、マイクロ波吸収体7は1個設置したときよりも、2個設けたときのほうが、放電持続圧力が増加した。これは、マイクロ波吸収体7が2個のときには、放電領域8への電子供給数がマイクロ波吸収体7が1個のときのおおよそ2倍になるためと推定される。
【0023】
次に、マイクロ波吸収体7を3個、等間隔に直列に配置した結果を説明する。マイクロ波吸収体7はZr丸棒(直径3mmで長さが10mm)を用い、窒素ガス流量1000ccm, 出力100Wでマイクロ波放電を行った。
マイクロ波吸収体7の間隔は、1mmと3mmで、放電持続圧力を測定した。1mmの場合には760Torr、3 mmの場合には439Torrになった。マイクロ波吸収体7を2個使用した場合と同様に、マイクロ波吸収体7間の距離が長くなるとプラズマ8の放電持続圧力は低下した。
【0024】
また同じ寸法のマイクロ波吸収体7を2個使用し、同一ガス流量と同一マイクロ波電力で比較したところ、マイクロ波吸収体7の間隔が1mmのときの放電持続圧力は920Torrになり、マイクロ波吸収体7を2つ使用した方が高い放電持続圧力が得られた。
【0025】
本発明の第2の実施の形態は、図1〜図3に示す本発明のマイクロ波放電発生装置を用いて、ガス流入口5に、ほぼ大気圧の窒素と環境汚染ガスの混合ガスを導入し、マイクロ波の放電領域8により環境汚染ガスを分解処理し、排出口6より排出する環境汚染ガスの処理方法である。
混合ガスがほぼ大気圧の窒素と窒素酸化物であるときには、窒素酸化物をN2 とO2 という安全なガスに分解することができる。
【0026】
以下に、実施例に基づいて、マイクロ波放電発生装置を使用したときの、NOガスとN2 Oガスの分解について説明する。
図5は760TorrのN2 ガス(900ccm)に、NOガスを10ccm混合し、マイクロ波吸収体は、Zr丸棒(3mm直径で長さ15mm)を2個配置し、マイクロ波電力を200Wとしたときに、ガス排出口6にガス分析装置として、四重極質量分析計を接続して、NOガスの分解を調べたものである。
【0027】
四重極質量分析計により、各化学種の主ピーク値を計測した。マイクロ波放電がある場合を放電onとして、又マイクロ放電がない場合を放電offとして、各化学種の主ピーク値のそれぞれを計測した。
NOガスの分解率とO2 ガスの生成率を以下の式で算出した。なお、放電off時のNOピーク強度は、NOの初期濃度に比例するものである。
NO分解率(%)=1−{(放電on時のNOピーク強度) /(放電off時のNOピーク強度)}・・・・・・・・(1式)
O2 の生成率(%)={(放電on時のO2 のピーク強度)−(放電off時のO2 のピーク強度)}/ (放電off時のNOピーク強度)・・・(2式)
【0028】
図5において、マイクロ波吸収体7の間隔が大きくなると、NOの分解率が上昇し、またそれにつれて、O2 の生成率が向上し、NOガスが分解する。
マイクロ波吸収体7の間隔が8mmから12mmでNOの分解率は飽和し、約80%の分解率が得られた。
【0029】
図5は、マイクロ波吸収体7がZrの場合であるが、マイクロ波吸収体7がWあるいはCでも、同様にNOガスの分解ができた。
Zrと同様に2個のマイクロ波吸収体7の間隔が大きくなると、NOの分解率は向上し、Cでは90%以上、またWでは約60%の分解ができた。
NOの分解率は、C>Zr>Wとなり、Cが一番高いものであった。Cの場合には、ZrやWの場合とは異なり、反応生成物として、N2 やO2 のほかに、CO2 が発生した。
【0030】
次に、N2 Oガスの分解について述べる。
図6は、760TorrのN2 ガス(100ccmから1000ccm)に、N2 Oガスを25ccm混合し、マイクロ波吸収体7は、Zr丸棒(3mm直径で長さ15mm)を2個配置(間隔は10mm)し、マイクロ波電力を200W印加したときに、ガス排出口6にガス分析装置として、四重極質量分析計を接続して、N2 Oガスの分解を調べたものである。
N2 Oガス流量(最大25モル%)を変化させても、いずれの場合にもほぼ90%以上の非常に高い確率で、N2 Oを分解させることができた。
【0031】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成することにより、大気圧での放電を可能とする新規なマイクロ波放電発生装置を提供することができる。また、大気圧でのマイクロ波放電が容易に行うことができるので、このマイクロ波放電を利用し、環境汚染ガスを安全な分解物へ処理する方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す構成図である。
【図2】第1の実施の形態に使用する矩形導波管マイクロ波空洞共振器と反応管の結合状態を示す図である。
【図3】図2のI−I線に沿う概略断面図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態によるマイクロ波放電発生装置の反応管に、マイクロ波吸収体を2個設けたときの、マイクロ波吸収体間隔と窒素ガスのマイクロ波放電の放電持続圧力を示す。
【図5】本発明の第2の実施の形態による、マイクロ波吸収体としてZrを用いた場合の、NOの大気圧窒素中のマイクロ波放電による分解結果を示す。
【図6】本発明の実施の第2の形態による、マイクロ波吸収体としてZrを用いた場合の、N2 Oの大気圧窒素中のマイクロ波放電による分解結果を示す。
【符号の説明】
1 マイクロ波発振器
2 伝送線路
3 マイクロ波空洞共振器
4 反応管
5 ガスの流入口
6 ガスの排出口
7 マイクロ波吸収体
8 放電領域
9 ガラスウール
10 矩形導波管マイクロ波空洞共振器
11 コネクタ
12 反射器
13 スタブチューナ
Claims (5)
- マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器に接続されたマイクロ波空洞共振器と、該マイクロ波空洞共振器に結合されたガス導入口とガス排出口を備えた反応管と、該反応管に導入される窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスとの混合ガスと、上記反応管のマイクロ波空洞共振器中に設置される複数個のマイクロ波吸収体と、を備え、
上記マイクロ波吸収体が、所定の間隔をおいて上記ガス流に沿って直列に連続的に設置されており、
上記混合ガスの大気圧での放電を、上記マイクロ波吸収体間において行なうことを特徴とする、マイクロ波放電発生装置。 - 前記マイクロ波吸収体が、Zr、W、Cの何れかであることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ波放電発生装置。
- マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器に接続されたマイクロ波空洞共振器と、該マイクロ波空洞共振器に結合されたガス導入口とガス排出口を備えた反応管に、窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスとの混合ガスを大気圧で導入し、
上記マイクロ波空洞共振器中に設けられ、所定の間隔をおいて、上記ガス流に沿って直列に連続的に設置された少なくとも1個以上のマイクロ波吸収体に上記マイクロ波発振器からマイクロ波電力を印加し、
上記窒素と少なくともN2 Oを含む環境汚染ガスとの混合ガスを、上記マイクロ波吸収体間において大気圧でマイクロ波放電することにより、上記環境汚染ガスを無害なガスに分解することを特徴とする、環境汚染ガスの処理方法。 - 前記マイクロ波吸収体がZrであり、前記環境汚染ガスがN2 Oであり、このN2 Oの分解率が90%以上であることを特徴とする、請求項3に記載の環境汚染ガスの処理方法。
- 前記マイクロ波吸収体がZr、W、Cの何れかであり、前記環境汚染ガスがNOを含み、このNOの分解率が60%以上であることを特徴とする、請求項3に記載の環境汚染ガスの処理方法。
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