JP3797309B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスクプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置全般に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より画像や文字を記録用紙に記録するプリンタ装置には、圧電振動子の伸縮等によりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド(以下「記録ヘッド」という)が用いられている(例えば、特許文献1参照。)
この記録ヘッドはインク滴を吐出させるために流路ユニット10を備えている。
図11は、このような流路ユニット10を示す概略分解斜視図である。
図11に示すように、流路ユニット10は多数のノズル開口8を有するノズルプレート3を有している。また、このノズルプレート3と後述する封止板5とに挟まれるように、流路基板4が配置されている。
この流路基板4には、圧力発生室7aが配置され、この圧力発生室7aと連通してインク供給路7bが形成され、さらに、このインク供給路7bは、インク貯留室9が連通されている。
そして、このインク貯蔵室9には、図11の封止板インク供給孔5cを介してインクが供給される構成となっている。
【0003】
すなわち、インクは図示しない、インクカートリッジから封止板5の封止板インク供給孔5c等を介してインク貯留室9、インク供給路7b、そして圧力発生室7aへと案内される構成となっている。
この圧力発生室7aは、流路基板5に図11に示すように櫛歯状に複数個配置され、封止板5とノズルプレート3によって挟持されることにより一種の閉空間が形成されている。
封止板5は流路基板5側にフィルム状の樹脂製薄膜5aが設けられ、この樹脂製薄膜5a積層されて、金属製薄膜5bが配置されている。
図12は、この櫛歯状に形成された圧力発生室7a及びインク供給路7bと封止板5の金属薄膜5bとの関係等を示す概略説明図である。また、図13は、図12の圧力発生室7a及びインク供給路7bと封止板5の金属薄膜5bとの関係等を示す概略平面図である。
【0004】
図12に示すように櫛歯状の溝の奥側(図において右側)に圧力発生室7aが形成され、それと連通してインク供給路7bが形成されている。
そして、インク供給路7bの左側にインク貯蔵室9が配置されている。
これらは、流路基板4に形成されているが、その上に図11に示す封止板5が配置されている。
図12のハッチングで示す部分は、封止板5のSUS等の金属薄膜5bを示す部分であり、透明部分は封止板5の例えばポリフェニレンサルファイドフィルム製の樹脂製薄膜5aである。
すなわち、封止板5の金属薄膜5bのハッチングが付されていない部分はエッチング等により削除されている。また、流路基板4の圧力発生室7aに上方には、エッチングされず残っている金属薄膜5bが、例えば長円状に形成され、島部5dとして配置されている。
【0005】
この島部5dに対して図示しない圧電振動子の端部が固着され、圧電振動子が駆動信号により長手方向(図12の上下方向)に伸長する構成となっている。
このため、圧電振動子が伸長すると島部5dを押し、この圧力によって圧力発生室7aの圧力が高まり、圧力発生室7a内のインクが下方向(ノズル開口8方向)に押され、図11のノズル開口8からインクが吐出される構成となっている。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−277524号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このように圧電振動子が伸長して圧力発生室7a内の圧力が高まると、その圧力は圧力発生室7a内のインクをノズル開口8へ押し出すだけでなく、この圧力発生室7aと連通しているインク供給路7bへも影響し、インク供給路7b内のインクをインク貯蔵室9側へ押し出す働きもする。
インク貯蔵室9は封止板の樹脂製薄膜5aで封止されており、圧力発生室7aより押し戻されたインクは、インク貯蔵室9及び図に示す記号Aのように隣り合うインク供給路17b方向へも流れる。
【0008】
記号Aの流れは、その経路に金属薄膜5bが存在し、この部分は変形できないため直接的に圧力を伝播する。さらに、インク貯蔵室9に流れた場合は樹脂製薄膜5aの変形で吸収されるが、それで吸収しきれない僅かな圧力は、別のインク供給路17b方向へ流れ、圧力を伝播してしまう。この場合、例えば多ノズルでの構成で1つを除いた他の全ノズルで吐出させたときなどでは、吐出させていない1つに対し、インク貯蔵室9で吸収しきれなかった圧力が集中し大きな圧力が伝播することになる。
以上のような現象をクロストークと呼び、ノズルに形成されているメニスカスと呼ばれるインクの表面張力の面が、予定しない変位や振動をして、このノズルからインクを正常なタイミングや量、方向へ飛ばすことができない不良吐出や、最悪の場合には吐出信号を送っていないのに伝播圧力により誤吐出してしまう場合や、或いは逆に吐出信号を送っているのに吐出しない未吐出といった事態を引き起こす問題があった。
【0009】
本発明は、以上の点に鑑み、一の圧力発生部に加えた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が前記他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出することを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、本発明によれば、 液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置されて、金属製薄膜とフィルム状の樹脂製薄膜とを積層してなる封止部と、を有する液体噴射ヘッドであって、前記複数の液体供給路に対応する封止部に前記圧力発生室からの圧力を発散させる圧力開放部と、前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部と、が形成され、前記減圧防止部の前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成され、前記液体貯蔵部側に対応する前記封止部にはフィルム状の樹脂製薄膜のみが形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにより達成される。
【0011】
前記構成によれば、前記複数の液体供給路に対応する封止部に圧力開放部が形成されている。
このため、前記圧力発生部における圧力が高まり、その圧力が前記液体供給路内の液体を前記液体貯蔵部側へ押し出すように働いても、この圧力は前記圧力開放部で発散される。
したがって、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路及び液体貯蔵部を介して、例えば隣接する他の圧力発生部に作用し、他の圧力発生部に対応するノズル開口部から液体を誤吐出することがない。
ゆえに、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる。
また、液体供給路の圧力発生室側の封止部の剛性が高まるので、圧力発生室の圧力逃げを効果的に防止し、圧力発生室の圧力不良も生じ難い構成となっている。
【0012】
好ましくは、前記圧力開放部は、前記封止部の前記金属製薄膜を除去した前記樹脂製薄膜により形成されることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【0013】
前記構成によれば、前記圧力開放部は、前記金属製薄膜を除去した前記樹脂製薄膜により形成される。
このため、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路に作用しても、前記フィルム状の樹脂製薄膜の撓み等によって、その圧力は発散される。
そして、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路及び液体貯蔵部を介して、例えば隣接する他の圧力発生部に作用し、他の圧力発生部に対応するノズル開口部から液体を誤吐出することがない。
また、前記圧力開放部は前記金属製薄膜をエッチング等で除去することで容易に形成できるので、前記圧力開放部の作製コストを著しく低減することができる。
ゆえに、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを低コストで未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【0014】
好ましくは、前記複数の各液体供給路相互間を仕切る隔壁部に対応する部分の前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【0015】
前記構成によれば、前記複数の各液体供給路相互間を仕切る隔壁部に対応する部分の前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されている。
このため、前記封止部を例えばヘッドケース等と接着固定する場合、前記隔壁部は、前記金属製薄膜を介してヘッドケース等と接着されるため、前記樹脂製薄膜のみで接着されている場合に比べ、格段に剥離し難くなる。
ところで、この隔壁部において剥離等が生じると隣接する圧力発生部や液体供給路から液体が剥離部分を介して漏れ出すため液体噴射ヘッドが不良となる。
したがって、液体噴射ヘッドの不良を回避しつつ、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【0016】
好ましくは、前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部が形成され、この減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
【0017】
前記構成によれば、前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部が形成されている場合は、この減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されている
ところで、前記減圧防止部は、例えば前記液体供給路を前記圧力発生部より狭くすることで、前記圧力発生部に発生する圧力が逃げてしまうのを防止するために設けられている。
このため、特に、前記減圧防止部の少なくとも前記圧力発生部側に対応する前記封止部である、前記圧力発生部の境界部に相当する部分に前記金属製薄膜が形成されることで、前記封止部の剛性が高まり、前記圧力発生部内の圧力が抜け難くなっている。
したがって、前記圧力発生部の圧力不良を生ぜず、且つ、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる液体噴射ヘッドである。
【0018】
前記目的は、本発明によれば、液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置されて、金属製薄膜とフィルム状の樹脂製薄膜とを積層してなる封止部と、を有する液体噴射装置であって、前記複数の液体供給路に対応する封止部に前記圧力発生室からの圧力を発散させる圧力開放部と、前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部と、が形成され、前記減圧防止部の前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成され、前記液体貯蔵部側に対応する前記封止部にはフィルム状の樹脂製薄膜のみが形成されていることを特徴とする液体噴射装置により達成される。
【0019】
前記構成によれば、前記液体噴射ヘッドの前記複数の液体供給路に対応する封
止部に圧力開放部が形成されている。
このため、前記圧力発生部における圧力が高まり、その圧力が前記液体供給路内の液体を前記液体貯蔵部側へ押し出すように働いても、この圧力は前記圧力開放部で発散される。
したがって、前記圧力発生部からの圧力が前記液体供給路及び液体貯蔵部を介して、例えば隣接する他の圧力発生部に作用し、他の圧力発生部に対応するノズル開口部から液体を誤吐出することがない。
ゆえに、一の圧力発生部に加えられた圧力が他の圧力発生部に対して作用するクロストークを防ぎ、液体が他の圧力発生部に対応するノズル部から誤吐出されることを未然に防ぐことができる。
また、液体供給路の圧力発生室側の封止部の剛性が高まるので、圧力発生室の圧力逃げを効果的に防止し、圧力発生室の圧力不良も生じ難い構成となっている。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【0021】
図1は、本発明の実施の形態に係る液体噴射装置である例えばインクジェット式記録装置100を示す概略斜視図である。
インクジェット式記録装置100は、液体である例えばインクを収容する液体収容手段である例えばインクカートリッジ101と、このインクカートリッジ101が搭載される液体噴射ヘッドである例えばインクジェット式記録ヘッド(以下「記録ヘッド」という)200を有している。
この記録ヘッド200は、キャリッジ102に取り付けられる構成となっている。
キャリッジ101は、図1に示すように、タイミングベルト103を介してステッピングモータ104に接続され、ガイドバー105に案内されて、記録紙106の紙幅方向(主走査方向)に往復移動するようになっている。
キャリッジ101は、上部に開放する箱形を呈し、記録紙106と対向する面(図の下面)に、記録ヘッド200のノズル面が露呈するように取り付けられると共に、インクカートリッジ101が収容されるようになっている。
【0022】
そして、記録ヘッド200にインクカートリッジ101からインクが供給され、キャリッジ102を移動させながら、記録紙106上面にインク滴を吐出させて記録紙106に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。
また、インクジェット式記録装置100は、図1に示すように、印刷休止中に記録ヘッド200のノズル開口を封止することによりインクを吐出するノズル部である例えばノズルの乾燥をできるだけ防止するキャップ107を備えている。さらに、インクジェット式記録装置100は、記録ヘッド200のノズル面をワイピングするワイパー部材108も有している。
【0023】
図2は、記録ヘッド200の要部を示す概略分解斜視図である。
図2に示すように、記録ヘッド200は、液体である例えばインクを吐出する複数のノズル開口部である例えばノズル開口211を有するノズル形成部である例えばノズルプレート210を有している。
この複数のノズル開口211のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部である例えば圧力発生室221が、流路形成部である例えば流路基板210に設けられている。
また、流路基板210には、図2に示す複数の圧力発生室221の各々に対応して形成され、且つ各々の圧力発生室221にインクを供給するため連通して形成されている複数の液体供給路である例えばインク供給路222を有している。さらに、これらインク供給路222と連通され、これらインク供給路222へインクを供給するための液体貯蔵部である例えばインク貯蔵室223を有している。
【0024】
また、図2に示すように、流路基板220の圧力発生室221、インク供給路222及びインク貯蔵室223を覆うように配置される封止部である例えば封止板230が設けられている。
封止板230は、積層して形成される金属製薄膜である例えばステンレス製のSUS製薄膜231と、フィルム状の樹脂製薄膜である例えばPPS(ポリフェニレンサルファイド)フィルム232とを有している。
この封止板230のPPSフィルム232側は、図2に示すように流路基板220に対して配置され、接着剤等により固着される。一方、ノズルプレート210も流路基板210に対して接着剤等で固着されるため、流路基板220の圧力発生室221、インク供給路222及びインク貯蔵室223は、これら封止板230とノズルプレート210によって、閉空間となる。
また、封止板230は、インクをインク貯蔵室223に供給するための封止板インク供給孔233が形成されている。
【0025】
この封止板230には、図2に示すように合成樹脂製のヘッドケース240が配置される。
ヘッドケース240には上下に貫通する圧電振動子収容空間241が形成され、そこに圧力振動子250が挿入される構成となっている。
圧電振動子収容空間241は、ノズル開口211が列設される方向に形成され、ノズル開口211に対応して形成されている。
また、ヘッドケース240には、封止板230の封止板インク供給孔233に対応するケースインク補給穴242が形成されている。
【0026】
図3は、図2の記録ヘッド200の部分概略拡大断面図である。
図2の圧電振動子250の後端側(図2の上部側)は、ヘッドケース240に図3に示すように、取り付けられた固定基板251に固着されると共に、先端側(図2の下部側)は、封止板130のSUS製薄膜231に形成される島部231aと固着されている。
したがって、図3に示すように組み立てられた記録ヘッド200において図示しない駆動回路で発生させた駆動信号を図2のフレキシブル回路板252を介して圧電振動子250に入力することにより圧電振動子250を図3の縦方向に伸長させる。
このとき、圧電振動子250の先端部は島部231aと固着されてるため、島部231aを下方向に押し付け島部231aの直下に形成されている圧力発生室221に圧力を加えることになる。
【0027】
一方、インクは、図1のインクカートリッジ101から図2のヘッドケース240のケースインク補給穴242や封止板230の封止板インク供給孔233を介して、流路基板220のインク貯蔵室223に供給される。
インク貯蔵室223に供給されたインクは、各ノズル開口211に対応して配置されている図2の圧力発生室221にインク供給路222を介して供給される。
このようにインクが収容されている圧力発生室221に上述のように圧電振動子250から圧力が加わると、その圧力でインクがノズルプレート210のノズル開口211から吐出される構成となっている。
【0028】
図4は、図3の流路基板220と封止板230等とを示す概略拡大説明図である。図5は、図4の一部の概略平面図である。
図4に示すように、流路基板220には、ノズルプレート210の各ノズル開口211に対応した圧力発生室221が、インク供給路222と一対となって複数配置されている。また、これら各インク供給路222や圧力発生室221相互間を仕切る隔壁部である例えば隔壁224によって相互にインクが流入等しないように形成されている。
また、圧力発生室221は、図4で示すようにインク供給路222と連通しているため、圧力発生室221に生じた圧力がインク供給路222へ逃げてしまう。
【0029】
そこで、インク供給路222には、図4に示すように圧力発生室221における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部である例えば圧力用島部225が形成されている。
この圧力用島部225によって、インク供給路222におけるインクの流れは狭まることになり、圧力発生室221の減圧を未然に防ぐことができる構成となっている。
【0030】
また、図4の隔壁224上には図3に示すように、封止板230のPPSフィルム232が接着剤等で固着されている。このPPSフィルム232は、図4では透明に示されている。
そして、このPPSフィルム232と積層して形成されているSUS製薄膜231は所定の形状にエッチングされており、図4ではエッチングされている部分を透明に、エッチングで残されている部分はハッチングで示されている。
このエッチングで残されたSUS製薄膜231のうち、圧力発生室221に対応して長円状に形成されているのが、図3の島部231aであり、圧電振動子250の先端部と固着され、圧電振動子250の伸長によって圧力発生室221に圧力を加える部分となる。
【0031】
また、インク供給路222に対応する部分には、SUS製薄膜231が形成されていない部分が形成され、隔壁224に対応する部分にはSUS製薄膜231が形成されている。
すなわち、図4及び図5のインク貯蔵室223側からインク供給路222方向に櫛歯状にSUS製薄膜231が形成されない部分が形成されている。また、このSUS製薄膜231が形成されない部分には、PPSフィルム232が形成され、このPPSフィルム232は、図5の圧力用島部225と接着されている。
このようにPPSフィルム232のみが形成され、圧力用島部225とも接着されていない部分、図において下部にコンプライアンス部226が設けられている。
【0032】
図5に示すコンプライアンス部226は、上述のようにSUS製薄膜231が形成されずPPSフィルム232のみから成り、PPSフィルム232の剛性がSUS製薄膜231より低く、圧力用島部225にも接着されていないので、インク供給路222内の圧力によって撓みやすい構造となっている。
すなわち、インク供給路222に対応する封止板230に形成された圧力開放部の一例が上述のコンプライアンス部226である。
【0033】
図6は、図5のB−B’線概略断面図であり、図7は図5のC−C’線概略断面図である。
図6及び図7に示すようにコンプライアンス部226を形成した部分は封止板230の厚みが著しく薄くなり、PPSフィルム232のみで構成されているので、インク供給路221の内部に圧力により撓みやすい構成となっていることが分かる。
【0034】
ここで、説明の便宜のため、図4の左側の圧力発生室221を第1の圧力発生室221aとして、これと連通するインク供給路222を第1のインク供給路222aとする。
同様に隔壁224を介して隣接する右側の圧力発生室221を第2の圧力発生室221bとして、これと連通するインク供給路222を第2のインク供給路222bとする、さらに隣接する圧力発生室221を第3の圧力発生室221c、インク供給路222を第3のインク供給路222cとする。
【0035】
そして、図3等の圧電振動子250が伸長して図4の第2の圧力発生室221bを押した場合、その圧力が第2のインク供給路222b内のインクをインク貯蔵室223側に押し出すように働いても、その圧力は第2のインク供給路222bに対応して設けられているコンプライアンス部226のPPSフィルム232が図4の上方に向かって撓むことにより発散される。
このため、この圧力が図4の矢印T1やT2のように、隣接する第1のインク供給路222aや第3のインク供給222cを介して伝播し、第1の圧力発生室221aや第3の圧力発生室221cに作用することがない。
したがって、第1の圧力発生室221aや第3の圧力発生室221cに対応するノズル開口211(図6参照)からインクが誤吐出するクロストークを未然に防止することができる。
また、このようにコンプライアンス部226は、SUS製薄膜231をエッチング等で除去することで容易に形成できるので、著しく低コストで形成することができる。
【0036】
ところで、図4に示すように、封止板230のSUS製薄膜231は、隔壁224に対応する部分にはエッチングされずに配置されている。
この隔壁224は、他のノズル開口211からのインクを吐出させるクロストークを防止する働きをするため、隔壁224と封止板230との間が剥離し、インクが隔壁224を超えて漏れ出すと記録ヘッド200の不良に直結する。そのため、可能な限り剥離し難い構成にするのが望ましい。
この点、本実施の形態では、図3等に示すように封止板230をヘッドケース240と接着固定する場合、隔壁224はSUS製薄膜231を介してヘッドケース240と接着されている。したがって、PPSフィルム232のみで接着されている場合に比べ格段に剥離し難い構成となっている。
【0037】
また、上述のように図4のインク供給路222には、圧力発生室221の圧力漏れを防止するため圧力用島部225が形成されている。このため、この圧力用島部225の少なくとも圧力発生室221側、すなわち圧力発生室221との境界部である圧力用島部225に対応する封止板230がPPSフィルム232のみで形成されている場合は、PPSフィルム232の撓みで圧力発生室221の圧力を発散してしまうことになる。
そのため、図4及び図5に示すようにコンプライアンス部226は、圧力用島部225に対応する部分の全体には形成さていない。そして、圧力発生室221とインク供給路222との境界部に当たり、圧力発生室221の圧力の逃げを
防止する役割を果たしている圧力用島部225の部分に対応する封止板230の部分には、敢えてSUS製薄膜231を残して配置されている。
したがって、前記境界部の封止板230の剛性が高まるので、圧力発生室221の圧力逃げも効果的に防止し、圧力発生室221の圧力不良も生じ難い構成となっている。
【0038】
(本実施の形態の第1の変形例)
図8は、本実施の形態のインクジェット式記録装置100の記録ヘッド200の第1の変形例の要部を示す概略平面図である。
本変形例の構成は、上述の実施の形態に係るインクジェット式記録装置100と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
図8に示すように、本変形例では、上述の図5に示す実施の形態の記録ヘッド200のコンプライアンス部226と異なり、コンプライアンス部326を小さく配置している。
このため、圧力用島部225に対応する封止板230の部分については、上述の実施の形態の記録ヘッド200より、SUS製薄膜231がより広い面積に形成されてる。
したがって、このインク供給路222と連通している圧力発生室221の圧力不良をより確実に防止することができる。
【0039】
(本実施の形態の第2の変形例)
図9は本実施の形態の第2の実施の形態の要部を示す概略平面図であり、図10は、図9のD−D’線概略断面図である。
本変形例の構成は、上述の実施の形態に係るインクジェット式記録装置100と略同様なので、同一構成は同一符号等として説明を省略し、以下相違点を中心に説明する。
本変形例の流路基板420に形成されているインク供給路422は、圧力発生室421を挟んで両側に交互、すなわち千鳥状に配置されている。そして、隔壁424も千鳥状に配置されている。
このような形態の流路基板420であっても図10に示すようにコンプライアンス部426やSUS製薄膜431等を配置することができ、上述の実施の形態に係る記載ヘッド200及びインクジェット式記録装置100と同様の作用効果を奏するものである。
【0040】
本発明は、上述の実施の形態に限定されない。さらに、上述の各実施の形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態に係る液体噴射装置である例えばインクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
【図2】 記録ヘッドの要部を示す概略分解斜視図である。
【図3】 図2の記録ヘッドの部分概略拡大断面図である。
【図4】 図3の流路基板と封止板等とを示す概略拡大説明図である。
【図5】 図4の一部の概略平面図である。
【図6】 図5のB−B’線概略断面図である。
【図7】 図5のC−C’線概略断面図である。
【図8】 本実施の形態のインクジェット式記録装置の記録ヘッドの第1の変形例の要部を示す概略平面図である。
【図9】 本実施の形態の第2の実施の形態の要部を示す概略平面図である。
【図10】 図9のD−D’線概略断面図である。
【図11】 従来の流路ユニットを示す概略分解斜視図である。
【図12】 櫛歯状に形成された圧力発生室及びインク供給路と従来の封止板の金属薄膜との関係等を示す概略説明図である。
【図13】 図12の圧力発生室及びインク供給路と従来の封止板の金属薄膜との関係等を示す概略平面図である。
【符号の説明】
100・・・インクジェット式記録装置、101・・・インクカートリッジ、102・・・キャリッジ、103・・・タイミングベルト、104・・・ステッピングモータ、105・・・ガイドバー、106・・・記録紙、107・・・キャップ、108・・・ワイパー部材、200・・・インクジェット式記録ヘッド、210・・・ノズルプレート、211・・・ノズル開口、220、420・・・流路基板、221、421・・・圧力発生室、221a・・・第1の圧力発生室、221b・・・第2の圧力発生室、221c・・・第3の圧力発生室、222、422・・・インク供給路、222a・・・第1のインク供給路、222b・・・第2のインク供給路、222c・・・第3のインク供給路、223・・・インク貯蔵室、224、424・・・隔壁、225・・・圧力用島部、230・・・封止板、231、431・・・SUS製薄膜、231a・・・島部、232・・・PPSフィルム、226、326、426・・・コンプライアンス部、233・・・封止板インク供給孔、240・・・ヘッドケース、241・・・圧電振動子収容空間、242・・・ケースインク補給穴、250・・・圧電振動子、251・・・固定基板、252・・・フレキシブル回路板。
Claims (4)
- 液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、
前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、
前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、
前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、
前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置されて、金属製薄膜とフィルム状の樹脂製薄膜とを積層してなる封止部と、を有する液体噴射ヘッドであって、
前記複数の液体供給路に対応する封止部に前記圧力発生室からの圧力を発散させる圧力開放部と、
前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部と、が形成され、
前記減圧防止部の前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成され、前記液体貯蔵部側に対応する前記封止部にはフィルム状の樹脂製薄膜のみが形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧力開放部は、前記封止部の前記金属製薄膜を除去した前記樹脂製薄膜により形成されることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記複数の各液体供給路相互間を仕切る隔壁部に対応する部分の前記封止部には、前記金属製薄膜が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 液体を吐出する複数のノズル開口部を有するノズル形成部と、
前記ノズル形成部の前記複数のノズル開口部のそれぞれに対応して形成されると共に、相互に近接して配置される複数の圧力発生部と、
前記複数の圧力発生部の各々に対応して形成され、且つ各々の前記圧力発生部に液体を供給するため連通して形成されている複数の液体供給路と、
前記複数の液体供給路と連通され、これら複数の液体供給路へ液体を供給するための液体貯蔵部と、を有する流路形成部と、
前記流路形成部の前記圧力発生部、前記液体供給路及び前記液体貯蔵部を覆うように配置されて、金属製薄膜とフィルム状の樹脂製薄膜とを積層してなる封止部と、を有する液体噴射装置であって、
前記複数の液体供給路に対応する封止部に前記圧力発生室からの圧力を発散させる圧力開放部と、
前記液体供給路に前記圧力発生部における圧力の減圧を防ぐための減圧防止部と、が形成され、
前記減圧防止部の前記圧力発生部側に対応する前記封止部には、前記金属製薄膜が形成され、前記液体貯蔵部側に対応する前記封止部にはフィルム状の樹脂製薄膜のみが形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
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