JP3787206B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は基板上に積層される半導体層の一方の導電形の半導体層に接続して電極が設けられ、その電極が設けられる側の面を発光面とする半導体発光素子に関する。さらに詳しくは、発光面側に設けられる電極により発光する光が遮断されるのを極力抑制することができる半導体発光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体発光素子は、基板上にn形層およびp形層が積層されて発光層を形成し、n形層およびp形層にそれぞれ接続される両電極に電圧が印加されることにより発光する。通常の赤色系や緑色系のGaAs系やGaP系の半導体が用いられる半導体発光素子は積層された半導体層の表面側の半導体層と基板の裏面側にそれぞれ両電極が設けられる。そして一般的には積層された半導体層の表面側を発光面として表面側から放射される光が利用される。
【0003】
一方、青色系(紫外線から黄色)の発光素子は、たとえばサファイアなどかららなる絶縁性基板上にチッ化ガリウム系化合物半導体層が積層されて形成され、一般的には発光面側に両電極が形成される。この青色系の半導体発光素子チップ(以下、LEDチップという)の基本構造は、たとえば図3に示されるような構造になっている。すなわち、サファイア基板21上にたとえばn形のGaNがエピタキシャル成長されたn形層(クラッド層)23と、バンドギャップエネルギーがクラッド層のそれよりも小さくなる材料、たとえばInGaN系(InとGaの比率が種々変わり得ることを意味する、以下同じ)化合物半導体からなる活性層24と、p形のGaNからなるp形層(クラッド層)25とからなり、その表面にNi-Auの合金層からなる電流拡散層27を介してp側(上部)電極28が設けられ、積層された半導体層の一部がエッチングされて露出するn形層23の表面にn側(下部)電極29が設けられる。
【0004】
このLEDチップは、リードの端部または回路基板などにダイボンディングされ、各電極28、29とリードとの間に金線などをワイヤボンディングして外部から電源の供給が行われる。また、前述の基板の裏面側に一方の電極が設けられるLEDチップも基板の裏面側の電極はLEDチップのダイボンディングと共に接続されるが、表面側に設けられた他方の電極は、リードとの間に金線などがワイヤボンディングされる。そのため、これらの電極はワイヤボンディングに耐え、電気的接触が充分に得られるような厚さの金属膜からなり、電極が設けられた部分は光を透過させることができない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、従来の半導体発光素子は、光を取り出す発光面側に少なくとも一方の電極が設けられる場合が多く、この電極が設けられた部分は光を透過させることができない。そのため内部で発光した光を効果的に取り出すことができず、光の取出し面から得られる光の、入力に対する割合である外部発光効率が低下するという問題がある。
【0006】
しかも、電極には前述のように、金線などがワイヤボンディングされ、電極はワイヤボンディングのボールの大きさだけあればよいのであるが、実際にはワイヤボンディング時の位置ズレなどを考慮する必要がある。たとえばワイヤボンディングのボールの大きさが、直径で30μmφ程度であるのに対して電極の大きさは50μm角程度が必要であり、電極の面積はボールの大きさの3倍以上の面積で形成され、無駄な面積で光を遮断している。また、ボンディングの位置ズレのため以外にも、抵抗の大きい半導体層にできるだけ電流を拡散するために電極を大きめに形成する必要があり、電極の面積が発光に寄与する半導体層の面積の1/3程度になる。
【0007】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、発光面側に設けられる電極による光の遮断を極力抑制し、外部発光効率を向上させることができる半導体発光素子を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体発光素子は、基板と、該基板上に積層され第1および第2導電形の半導体層を含む半導体積層部と、前記半導体積層部上に設けられる電流拡散層と、該電流拡散層を介して前記半導体積層部の第1導電形の半導体層に接続して設けられる第1の電極と、前記半導体積層部の第2導電形の半導体層に接続して設けられる第2の電極とからなり、前記第1の電極が設けられる面から光を取り出す半導体発光素子であって、前記第1の電極が前記電流拡散層上の一部領域にワイヤボンディング用電極として設けられると共に、前記第1の電極に空隙部が設けられている。この構造にすることにより、電極はその面内に隙間を多く有し、ワイヤボンディングがなされないで電極のみが露出している部分は、その下の半導体層で発光する光を透過させることができる。
【0009】
ここに電極に空隙部が設けられるとは、電極部分の全面に電極金属が連続的に設けられるのではなく、空隙部が網目状や、格子状や、リング状や、水玉状などの形状で設けられ、電極金属が面内で間欠的に設けられた状態を意味する。
【0010】
前記半導体積層部がチッ化ガリウム系化合物半導体からなり、前記電流拡散層が前記半導体積層部の表面側に設けられる第1導電形の半導体層上に設けられ、前記第2の電極が前記半導体積層部の一部が除去されて露出する第2導電形の半導体層に接続して設けられる場合には、半導体層の抵抗値が大きく発光効率が低下し易い青色系の半導体発光素子の発光効率を向上させることができるため好ましい。
【0011】
ここにチッ化ガリウム系化合物半導体層とは、III 族元素のGaとV族元素のNとの化合物またはIII 族元素のGaの一部がAl、Inなどの他のIII 族元素と置換したものおよび/またはV族元素のNの一部がP、Asなどの他のV族元素と置換した化合物からなる半導体をいう。
【0012】
【発明の実施の形態】
つぎに、図面を参照しながら本発明の半導体発光素子について説明をする。図1には、たとえば青色系の発光に適したチッ化ガリウム系化合物半導体が積層された本発明の半導体発光素子の斜視説明図が示されている。
【0013】
本発明の半導体発光素子は、たとえば図1(a)に示されるように、サファイア(Al2 O3 単結晶)などからなる基板1の表面に発光層を形成する半導体層2〜5が積層されて半導体積層部を形成し、その表面側の第1導電形の半導体層p形層5)に電流拡散層7を介してp側電極(第1の電極)8が電気的に接続されるように設けられている。また、積層された半導体層3〜5の一部が除去されて露出する第2導電形の半導体層(n形層3)にn側電極(第2の電極)9が電気的に接続されるように形成されている。本発明では、このp側電極8がその面全面に連続的に設けられるのではなく、たとえば図1(b)に平面図で示されるような網目状の空隙部8aが設けられ、電極金属8bが間欠的に形成されていることに特徴がある。
【0014】
このp側電極8は、たとえばTi/Auの積層構造からなっており、それぞれがたとえば0.1〜0.3μm程度、および0.3〜0.5μm程度の厚さに設けられている。この網目状の空隙部8aの幅Aが10〜20μm程度で、電極金属8bの幅Bが10〜20μm程度に形成される。その結果、電極部の全体の面積に対して、電極金属8bの存在する部分(図でハッチングの付してある部分)の面積が65〜75%程度で、電極金属の存在しない空隙部8aの面積が25〜35%程度となる。この電極金属8b部分の面積は、この上にワイヤボンディングされる金属との接着が充分に得られる程度に設けられる必要があり、前述のように、ボンディング部の面積の65〜75%程度設けられることが好ましく、さらに好ましくは、75〜85%程度となるように電極金属8b部分が空隙部8aを介して存在するように設けられる。間欠的に設けられる電極金属8bの間に形成される空隙部8aは、半導体層で発光した光を透過させるためのもので、その面積が大きいほど好ましいが、前述のワイヤボンディングにより電極金属8bとの充分な接着が得られるように、空隙部8aの幅Aが決定される。
【0015】
この網目状にp側電極8を形成するには、たとえば電流拡散層7の全面にレジスト膜を設けて、p側電極8を形成する部分が網目状になるようにパターニングする。その後、真空蒸着などにより、TiおよびAuの電極金属を蒸着し、レジスト膜を除去することにより、パターニングによりレジスト膜が除去されていた部分のみに電極金属8bが付着し、それ以外の蒸着金属はレジスト膜と共に除去され、p側電極8が形成される。電極金属を蒸着する前にパターニングをしたレジスト膜を設けるリフトオフ法ではなく、全面に電極金属を蒸着した後にレジスト膜を設けてパターニングをし、エッチングをしても同様に形成することができる。なお、この形状の電極の形成は、従来も電流拡散層上の一部に設けられるため、同様のレジスト膜によるパターニングを行っており、そのパターン形状を異ならせるだけで済み、何等の工数増を伴うことなく行うことができる。
【0016】
電極金属8bが空隙部8aを介して間欠的に設けられるp側電極8の形状は、図1に示される網目状でなくても、電極金属8bが設けられている部分と電極金属が設けられていない空隙部8aとが交互になるような形状であればとくに制約されない。たとえば図2(a)〜(b)に示されるように、空隙部8aが格子状になるように電極金属8bが設けられたり、空隙部8aがリング状に設けられてもよい。また、空隙部もしくは電極金属が水玉形状などの他の形状でもよい。要は、ワイヤボンディングされる金属が充分に接着されるように、電極金属部分の間隙が広がり過ぎず、かつ、光を透過させる空隙部の面積が適当に得られるように電極金属が間欠的に設けられておればよい。
【0017】
積層される半導体層は、たとえばGaNからなる低温バッファ層2、クラッド層となるn形層3、バンドギャップエネルギーがクラッド層のそれよりも小さくなる材料、たとえばInGaN系化合物半導体からなる活性層4、p形のAlGaN系(AlとGaの比率が種々変わり得ることを意味する、以下同じ)化合物半導体層5aおよびGaN層5bからなるp形層(クラッド層)5が、それぞれ順次積層されることにより構成されている。なお、この例ではp形層5はAlGaN系化合物半導体層5aとGaN層5bとの複層になっているが、キャリアの閉じ込め効果の点からAlを含む層が設けられることが好ましいためで、GaN層だけでもよい。また、n形層3にもAlGaN系化合物半導体層を設けて複層にしてもよく、またこれらを他のチッ化ガリウム系化合物半導体層で形成することもできる。さらに、この例では、n形層3とp形層5とで活性層4が挟持されるダブルヘテロ接合構造であるが、n形層とp形層とが直接接合するpn接合構造のものでもよい。
【0018】
積層された半導体層の表面には、NiおよびAuがそれぞれ蒸着されてシンターすることにより合金化された2〜100nm程度の電流拡散層7が形成されている。この電流拡散層7はp形層5の全面に電流が広がって流れるように拡散させると共に、活性層4で発光した光を透過させるためのもので、薄く形成されており、直接ワイヤボンディングなどをすることができず、前述のようにワイヤボンディングをすることができる電極8がこの上に設けられている。
【0019】
本発明の半導体発光素子によれば、光を取り出す側の面である発光面に電極が形成されている場合に、その電極が網目状、格子状またはリング状などの形状で電極金属が間欠的に設けられている。そのため、ワイヤボンディングなどの金属との接着はブリッジ状の電極金属により充分に得られると共に、電極の部分でワイヤボンディングがされない部分では電極金属の空隙部から光が放射される。その結果、従来ワイヤボンディングによるボンディング部より広い面積で形成しざるを得ない電極により光が完全に遮断されていたものが、ボンディングされていない電極部分からも光を放射することができて輝度の向上に寄与する。
【0020】
また、本発明によれば、発光面側に設けられる電極を通して光を放射することができるため、従来の抵抗が大きく充分に電流を拡散させることができない電流拡散層上に広い範囲に亘って設けることにより、電流を充分に拡散させて発光効率を向上させることができる。
【0021】
前述の例では、p側電極のみについて網目状などの電極を設けたが、図1に示される例のように、発光面側にp側およびn側の両電極が設けられる場合には、n側電極についても同様の構造にすることにより、発光効率が向上する。すなわち、図1に示される例では、n側電極の下には発光層がなくp側電極ほど効果が大きくないが、基板側で反射した光の一部はn側電極の方からも放射されるため、同様の効果がある。
【0022】
また、前述の例では、積層される半導体層がチッ化ガリウム系化合物半導体を用いた青色系の半導体発光素子であったが、チッ化ガリウム系化合物半導体を用いた青色系の半導体発光素子は、その半導体層の抵抗が大きく、できるだけ電極を大きくした方が電流の拡散に寄与すると共に、赤色系の半導体発光素子より発光効率が低く、少しでも発光効率を向上させることが望まれるため、とくに効果が大きい。しかし、GaAs系やGaP系などの半導体による赤色系や緑色系などの発光素子でも、発光面側の電極が設けられる半導体発光素子においては、その発光面側の電極に網目状などの電極を用いることにより、発光効率を向上させることができる。
【0023】
さらに、前述の例では、空隙部を介して間欠的に設けられる電極の外形が四角形状になっているが、その形状には限定されず、円形など他の形状でもよい。
【0024】
【発明の効果】
本発明によれば、発光面側に電極が設けられている半導体発光素子において、その発光面側の外部に取り出し得る光の発光効率を向上させることができる。その結果、発光効率の低いチッ化ガリウム系化合物半導体を用いた半導体発光素子においても、発光効率を向上させることができ、同じ大きさのチップに対して輝度が向上する。また、同じ輝度の半導体発光素子を得るためにはそのチップの大きさを小さくすることができ、1枚のウェハからのチップの取れ数が向上し、コストダウンに寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体発光素子の一実施形態の説明図である。
【図2】図1のp側電極の形状の他の構造例の説明図である。
【図3】従来の半導体発光素子のLEDチップの一例の斜視説明図である。
【符号の説明】
1 基板
3 n形層
5 p形層
8 p側電極
8a 空隙部
9 n側電極
Claims (2)
- 基板と、該基板上に積層され第1および第2導電形の半導体層を含む半導体積層部と、該半導体積層部上に設けられる電流拡散層と、該電流拡散層上に設けられ、前記半導体積層部の第1導電形の半導体層に接続して設けられる第1の電極と、前記半導体積層部の第2導電形の半導体層に接続して設けられる第2の電極とからなり、前記第1の電極が設けられる面から光を取り出す半導体発光素子であって、前記第1の電極が前記電流拡散層上の一部領域にワイヤボンディング用電極として設けられると共に、前記第1の電極に空隙部が設けられてなる半導体発光素子。
- 前記半導体積層部がチッ化ガリウム系化合物半導体からなり、前記電流拡散層が前記半導体積層部の表面側に設けられる第1導電形の半導体層上に設けられ、前記第2の電極が前記半導体積層部の一部が除去されて露出する第2導電形の半導体層に接続して設けられてなる請求項1記載の半導体発光素子。
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