JP3764111B2 - ハンドラのチェンバー用ファン装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術の分野】
本発明はハンドラチェンバー用ファン装置に係るもので、特にハンドラ(handler)のチェンバー(chamber)に適用されたファン装置の温度変化によるファンまたはシャフトの変形を吸収することができるハンドラチェンバー用ファン装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体部品の電気的特性をテストするためにハンドラが用いられる。ハンドラはベースフレーム(base frame)上にエレベ−タ−/トレイトランスファ(elevator/tray transfer)、X−Yロボット、交換装置であるエクスチェンジャ(exchanger)、チェンバーがそれぞれ設置され構成される。半導体部品が積載されるトレイはエレベータ/トレイトランスファに移動された後トレイに積載された半導体部品はX−Yロボットによって配列装置であるアライナ(aligner)に移動される。アライナに移動された半導体部品はエクスチェンジャによってテストトレイ(test tray)に移された後、チェンバーに移動されテストされる。
【0003】
チェンバーはプレヒーター(pre heater)、テスト サイト(test site)及びデフロスター(defroster)からなる。プリーヒーターはテスト トレイに積載された半導体部品を予熱させて、テストサイトは高温及び低温状態でプリヒーターを通過したテストトレイに積載された半導体部品の電気的特性を検査する。テスト サイトで半導体部品のテストが完了されると完了されたテストトレイはデフロスターに移動された後デフロスターで半導体部品の温度を常温にした後排出させる。
【0004】
チェンバーで半導体部品の電気的特性をテストするため前述したようにチェンバーの内部の温度を調節するためチェンバーの内側にファン装置が具備される。ファン装置の構成を図面の図5を用いて説明する。
【0005】
図5は従来のハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。図示されたように、ファン装置は回転電動機1、カップリング2、シャフト3、ケース4及びベアリングハウジング5からなる。
回転電動機1はチェンバー(図示せず)の外側に設置されてチェンバーの内側に設置された回転電動機1の回転中心軸1aにはカップリッグ2を用いてシャフト3が連結設置される。シャフト3はケース4の内側に設置されて、ケース4の両端にはそれぞれベアリングハウジング5が設置された状態でケース4の内側にはグリースが充填される。またケース4の内側に設置されたシャフト3にはセンサードッグ(sensor dog)6a及びセンサーブレーク(sensor break)6bが設置されシャフト3を停止させるため用いられる。
【0006】
前記グリースが充填されたケース4はチェンバーの内側に設置されるのでチェンバーの温度変化を直接的に受ける。従って、チェンバーの内部は半導体部品を高温/低温でテストすることによりケース4の温度変化が厳しくなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このようにケース4の温度変化が厳しくなるとケース4の内側に設置されたシャフト3の長さが変わるのでファン装置の軸方向に熱応力が発生されてこれによってベアリングハウジングが破損されてファン装置の機能を行うことができない問題点がある。
【0008】
そこで、本発明の目的はハンドラで半導体部品をテストするため高温及び低温状態を随時(よく)変化させるチェンバーの内側に装着されたファン装置の温度変化によってファン装置の軸方向に発生される長さの変形を吸収することができるファン装置を提供するにある。
【0009】
本発明のまた他の目的はファン装置の温度変化による変形を吸収することによってファン装置の軸方向に発生される熱応力によるベアリングハウジングの破損を防止することができるファン装置を提供するにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため本発明のファン装置は第1ガイド溝が形成された第1ハウジングと、前記第1ハウジングに収容されてその内側でスライディング可能に構成された第2ハウジングと、前記第2ハウジングの内側に設置されて、前記シャフトを支持するベアリングと、前記ベアリングの両側面に設置されベアリングを支持するラビリンスと、前記第1ハウジングに挿設された第2ハウジングをカバーするプッシュカバーと、から構成されて、温度変化によって前記シャフトの長さが可変される場合に、前記第2ハウジングが前記第1ハウジングの内側の前記第1ガイド溝に沿って移動されることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳しく説明する。
図1は本発明によるハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図で、図2は図1に示したベアリングハウジングの分離組み立て斜視図である。図に示すように、回転電動機10の回転中心軸11にカップリング20で連結されたシャフト30が内側に設置されるケース40の両端にそれぞれ設置される複数個のベアリングハウジング60と、複数個のベアリングハウジング60の中いずれか一つはシャフト30を支持するベアリングハウジング60が設置される第2ハウジング61と第2ハウジング61の外側を支持する第1ハウジング62からなりシャフト30の温度変化によって長さが可変される場合に第2ハウジング61が第1ハウジング62の内側に沿って移動されるように構成される。
【0012】
本発明の構成及び作用をより詳しく説明する。
本発明のファン装置は図1に示したように回転電動機10、カップリング20、シャフト30、ケース40及び複数個のベアリングハウジング60からなり、ベアリングハウジング60の一端にセンサードッグ51及びセンサーブレーク52が設置される。回転電動機10の回転中心軸11にはカップリング20を用いてシャフト30が連結設置される。カップリング20によって回転中心軸11に連結されたシャフト30はケース40の内側に設置されて、シャフト30の外周面にファン(図示せず)が設置される。
【0013】
シャフト30がケース40の内側に設置されるとともにケース40の両端に複数個のベアリングハウジング60が設置されるとグリースを充填させた後栓677で密封する。この状態でファン装置はチェンバー(図示せず)の内側に設置された状態で作動する。チェンバー内部で作動されるファン装置が厳しい温度変化を受けてケース40の内側に設置されたシャフト30またはシャフト30に設置されたファンの長さが変わる。
【0014】
シャフト30またはファンの長さが変わるとファン装置の軸方向に熱応力が発生されて、この熱応力によってケース40の両端に設置されたベアリングハウジング60の中いずれか一つは微細に押される。ケース40の両端に設置されたベアリングハウジング60の中いずれか一つが押し出されるとファン装置の機能が停止されるのでこれを防止するため本発明ではケース40の両側端に設置されたベアリングハウジング60の中いずれか一つのベアリングハウジング60を第2ハウジング61と第1ハウジング62を持つ二重構造で設置する。
【0015】
第2ハウジング61と第1ハウジング62を持つ二重構造のベアリングハウジング60を図2を用いて説明する。図2に示したようにケース40の両端に設置された複数個のベアリングハウジング60の中いずれか一つを第2ハウジング61と第1ハウジング62の持つ二重構造を持つようにして第2ハウジング61はシャフト30を支持するベアリングハウジング60を設置して、ベアリングハウジング60が設置された第2ハウジング61を第1ハウジング62が支持するように設置する。シャフト30の温度変化によって長さが可変される場合に第2ハウジング61が第1ハウジング62の内側に沿って移動されるように設置する。
【0016】
シャフト30の長さ変化によって第2ハウジング61が第1ハウジング62の内側に沿って移動されるように設置するためベアリンハウジング60は大きく第2ハウジング61、第1ハウジング62、キー63、ベアリング64、ラビリンス(labyrinth)65及びプッシュカバー(push cover)66からなる。ベアリング64はケース40の内側に設置されたシャフト30を支持して、ベアリング64の両側面にそれぞれラビリンス65が設置されベアリング64を支持する。
【0017】
前記ベアリング64は第2ハウジング61の内側に挿入設置されて、第2ハウジング61の外周面には第2ガイド溝61aが形成される。ここで、第2ガイド溝61aは第2ハウジング61の外周面に複数個が形成される。複数個の第2ガイド溝61aが形成された第2ハウジング61は第1ハウジング62の内側に挿入設置される。
【0018】
前記第1ハウジング62は内周面に第1ガイド溝62aを形成する。ここで、第1ガイド溝62aは内周面に互いに対向する方向に複数個が形成されて図3及び図4に示すように第1ハウジング62の内側に第2ハウジング61を挿入設置の際第2ハウジング61の外周面に形成された複数個の第2ガイド溝61aと複数個の第1ガイド溝61aが互いに対向する方向に設置される。
【0019】
第2ハウジング61が第1ハウジング62に挿入される前に複数個の第2ガイド溝61aに複数個のキー63が固定設置される。キー63が第2ガイド溝61aに設置された後第2ハウジング61が第1ハウジング62の内側に挿入設置の際キー63は第1ハウジング62に形成された第1ガイド溝62aの外周面に摺動されて挿入される。キー63が第2ガイド溝61aに固定設置されるとともに第1ガイド溝62aに挿入設置されることによって第2ハウジング61の移動の際キー63によって第2ハウジング61が第1ハウジング62の第1ガイド溝62aに沿って移動する。
【0020】
第2ガイド溝61aに設置されて第1ガイド溝61aに挿入設置されるキー63は、第2ハウジング61と第1ハウジング62にそれぞれ形成される第2ガイド溝61aと第1ガイド溝62aの個数と同一に具備されて第2ガイド溝61aと第1ガイド溝62aに設置される。第2ガイド溝61aと第1ガイド溝62aにキー63が設置されると第1ハウジング62をプッシュカバー(push cover)66でケース40に固定設置して二重構造を持つファン装置の設置を完了する。ここで、ケース40に固定設置される第1ハウジング62に形成されたホール62bはグリースの充填が完了されると栓67で密封する。
【0021】
ファン装置のケース40のいずれか一所を前述したように二重構造を持つベアリングハウジング60で設置することによってケース40の内側に設置されるファン(図示せず)またはシャフト30が温度変化によって長さが可変されシャフト30の軸方向に熱応力が発生されるとシャフト30の長さの可変の分だけ第2ハウジング61が第1ハウジング62の内側面に沿って移動することができてシャフト30)の軸方向に発生される熱応力を吸収することができる。
【0022】
このようにハンドラで半導体部品をテストするため高温及び低温状態を随時(よく)変化させるチェンバーの内側に装着されたファン装置の温度変化によってファン装置の軸方向に発生される熱応力によるベアリングハウジンの破損を防止することができる。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のハンドラにおいて半導体部品をテストするため高温及び低温状態を随時(よく)変化させるチェンバーの内側に装着されたファン装置の温度変化によってファン装置の軸方向に発生される熱応力によるベアリングハウジングの破損を防止することができる効果を提供する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。
【図2】 図1に示したベアリングハウジングの分離組み立て斜視図である。
【図3】 図2に示したベアリングハウジングの組み立て斜視図である。
【図4】 図3に示したベアリングハウジングの縦断面図である。
【図5】 従來のハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。
【符号の説明】
10 回転電動機
20 カップリング
30 シャフト
40 ケース
51 センサードッグ
52 センサーブレーク
60 ベアリングハウジング
61 第2ハウジング
61a 第2ガイド溝
62 第1ハウジング
62a 第1ガイド溝
63 キー
Claims (4)
- ハンドラのチェンバーに設置されて、回転中心軸にカップリングで連結されたシャフトが内側に設置されるケースの両端にそれぞれ設置される複数個のベアリングハウジングからなるファン装置において、
第1ガイド溝が形成された第1ハウジングと;
前記第1ハウジングに収容されてその内側にスライディング可能に構成された第2ハウジングと;
前記第2ハウジングの内側に設置されて、前記シャフトを支持するベアリングと;
前記ベアリングの両側面に設置されてベアリングを支持するラビリンスと;
前記第1ハウジングに挿設された第1ハウジングをカバーするプッシュカバーと、から構成されて、
温度変化によって前記シャフトの長さが可変される場合に、前記第2ハウジングが前記第1ハウジングの内側の前記第1ガイド溝に沿って移動されることを特徴とするファン装置。 - 前記第1ガイド溝は第1ハウジングの内周面に複数個が互いに対称されるように形成されることを特徴とする請求項1に記載のファン装置。
- 第2ハウジングは第1ハウジングの複数個の第1ガイド溝に対向してその外周面に複数個の第2ガイド溝が形成されることを特徴とする請求項1に記載のファン装置。
- 前記複数個の第1ガイド溝と複数個の第2ガイド溝には複数個のキーがスライディング可能に挿設されることを特徴とする請求項3に記載のファン装置。
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