JP3763696B2 - Film substrate manufacturing method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム基板の製造方法に関し、より詳細には、フィルム基板におけるフィルム洗浄工程の次工程である水切り工程、つまり、フィルム洗浄後にフィルム基板上に付着している水滴を除去する水切り装置部の構成、及び、水切装置部内におけるフィルム基板の搬送方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
フレキシブルプリント基板(FPC)、フィルム基板を用いた液晶パネルの(PF−LCD)製造工程では、各製造工程において基板上に付着した油脂等の汚れ、及び、微細な塵埃を確実に除去するための洗浄工程が不可欠であり、洗浄後の乾燥を効率的に行い、且つ、洗浄液の残留によるウォ−タマ−クの発生を防止するため、乾燥前に基板の表裏面に付着した洗浄液を予め除去する、液切り工程が必要である。
【0003】
上述のように、フィルム基板の製造においては、液切り工程(=水切り工程)を必要とし、従来、この水切りをエアーナイフによって行っているが、エアーナイフにてフィルム基板に付着している水滴を除去する場合に、エア−の吹き出しユニット表面に結露による水滴が付着し、その水滴がフィルム基板上に落下し、焼成(乾燥)工程にて焼成(乾燥)されたフィルム基板にシミが発生してしまっていた。また、吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁を安価で軽量に製作するため、材質を樹脂で製作しており、そのため、焼成(乾燥)装置部からの熱で吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁が変形してしまうといった問題があった。
【0005】
図4は、液晶表示装置の一例を説明するための断面構成図で、図中、1は液晶、2はスペーサ、3は透明電極、4は配向膜、5はシール、6はフィルム基板、7は偏光板で、図示のように、液晶表示装置においては、該液晶表示装置を駆動するための引き出し電極が必要であるため、互いの基板が対向しない部分が必要である。フィルム基板を用いた液晶表示装置においては、基板厚さが非常に薄く、かつ、可撓性を有するために、ガラス基板を用いた場合と違って、基板同士を重ねあわせた後に片側の基板だけをカットして引き出し電極部を形成することは非常に困難である。従って、フィルム基板には引き出し電極部に相当する対向側の基板部分を予め抜き型等で長方形に穴(図2,図3において、10Aにて示す)あけしておくことが一般的であり、面付け数に応じた複数個の穴が設けられている。
【0006】
図5は、上述のごとき液晶表示装置を製造する製造装置における液切り工程装置部の正面構成図、図6は側面図、図7は液晶基板搬送ホイール部の側面図、図8は液晶基板搬送時の不具合を示す図で、図中、10は枚葉の可撓性のフィルム基板、11(11a,11b)は吹き出しユニット(エアーナイフ)、12は搬送ホイール、13(13a,13b)は吸水ローラ、14は駆動ギア、15(15a,15b)はピンチローラ、16(16a,16b)は鍔ローラで、枚葉の可撓性フィルム基板10は駆動ギア14により一方向に回転駆動される複数の搬送ホイ−ル12上に載置され、エア−ナイフ11(11a,11b)及び吸水ロ−ラ13(13a,13b)により構成される液切り部に搬送される。液切り部において、前記可撓性フィルム基板10の上面側に付着している洗浄液はエア−ナイフ11より噴出される空気噴出圧力により除去し、下面側に付着している洗浄液は前記エア−ナイフ11と対向配置したPVAあるいはPVC等の発泡材により形成された吸水ロ−ラ13に前記可撓性フィルム基板10を前記エア−ナイフ11の空気噴出圧力により均一に押し付け、接触させることにより吸水除去する。
【0007】
上述のごとき複数個の長方形の穴があけられた可撓性フィルム基板の洗浄,液切りにおいては、穴付近の基板表面、特に、洗浄時の進行方向に対して後方側に液残りが生じ易いという問題があった。これは、可撓性フィルム基板においては基板の剛性が低いために、エアーナイフのエアーが基板の穴部にあたったときに、基板のバタツキで液切りが不十分になるためである。
【0008】
また、基板の穴が基板端面から近い場合には、エアーナイフのエアーによるバタツキが顕著であり、図8に示したように、基板10の先頭10′がエアーナイフや吸水ローラに引っかかってジャム,蛇行等の搬送異常を発生させることがあった。実際に、基板の面積を有効に活用するためにプレカット穴は基板端面ぎりぎりまで近づけることになる。さらに、液切りを確実に行うために2本以上のエアーナイフを配置した場合には、エアーナイフによって搬送速度が若干減速するために、後方で搬送の速度の差によって後方でたるみ10″が発生し、搬送異常を起こすことがあった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
請求項1乃至3の発明は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の可撓性フィルム基板を連続して所定方向に搬送し、洗浄を行った後、フィルム基板の表裏面に付着した洗浄液を除去する液切り工程において、十分な液切り性を確保するとともに、ジャム,蛇行等の搬送異常の発生を防止し、フィルム基板を安定して搬送することのできる搬送方法を提供することを目的としてなされたものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向して配設されている吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向と搬送方向とが平行となるように搬送することを特徴とし、もって、基板穴の長手方向と進行方向が平行となる配置で搬送することにより、フィルム基板のバタツキを少なくし、ジャム,蛇行等の搬送異常を防止し、基板穴の近くでも基板の両面の十分な液切れを可能としたものである。
【0015】
請求項2の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向している配設された吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向が該基板の搬送方向と直交する方向である場合において、前記基板の端面から前記穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送することを特徴とし、もって、フィルム基板のプレカット穴の長手方向が進行方向と直交する場合には、該基板の端面からプレカット穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送するようにし、基板の先頭のバタツキが少なく、ジャム,蛇行等の搬送異常を防止することができようにしたものである。
【0016】
請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、前記エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフと後段エアーナイフの2本以上を有し、前段エアーナイフの空気圧は後段エアーナイフの空気圧より強いことを特徴とし、もって、前段エアーナイフの空気圧と後段エアーナイフの空気圧を互いに独立して調整できるように配管し、かつ、前段エアーナイフの空気圧が後段エアーナイフの空気圧より常に強くなるようにし、これにより、前段エアーナイフによる搬送速度の減速よりも後段エアーナイフによる搬送速度の減速を少なくし、進行方向の先頭ほど搬送速度を大きくし、エアーナイフ間でのフィルム基板のたわみ,しわを発生させることなく、安定した搬送を実現できるようにしたものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明によるフィルム基板の製造方法が適用される液晶表示装置の製造装置の要部構成図で、図中、Iは洗浄装置部、IIは液(水)切り装置部、IIIは乾燥装置部で、液晶表示装置10は、搬送ホイール12によって洗浄装置部Iへ搬送され、洗浄装置部Iにおいて、スプレー21より噴射される洗浄水(液)により水洗処理され、次いで、液切り装置部IIに搬送され、液切り装置部IIにおいて、エアー吹き出しユニット(エアーナイフ)11a,11bから噴射される乾燥空気によって液晶表示装置10上の液滴が除去され、その後、乾燥装置部IIIへ送られるようになっている。
【0018】
上述のように、液晶表示装置10の製造工程において、従来、エアーナイフにて液晶表示基板に付着している水滴を除去する場合に、エア−の吹き出しユニットの表面に結露による水滴が付着し、その水滴が液晶表示基板上に落下し、乾燥装置部にて乾燥された時に、液晶表示基板にシミが発生してしまっていた。また、吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁を安価で軽量に製作するため、これらの材質が樹脂で製作されており、そのため、乾燥装置部からの熱で吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁が変形してしまう等の問題があった。
【0019】
図1に示した例では、上述のごとき問題を解決するため、吹き出しユニット11a,11bの結露及び乾燥装置部IIIからの熱が水切り装置部IIへ流れ込むのを防止し、品質の安定した生産及び装置寿命の延命を可能とするため、洗浄装置部Iにてスプレー21により水洗処理されたフィルム基板10は搬送ホイール12の駆動により水切り装置部IIへと搬送されてくる。水切り装置部IIの外壁及び乾燥空気の吹き出しユニット11a,11bは樹脂で製作されている。水切り装置部IIでは乾燥空気の吹き出しユニット11a,11bから吹き出されるナイフ状のエアーによりフィルム基板に付着している水滴を除去する。吹き出しユニット11bには、乾燥装置部III側に設置してあるエアーノズル22から該吹き出しユニットの乾燥装置側の側面に乾燥空気が吹き付けられている(矢印A)。また、エアーノズル22は吹き出しユニット11b以外に水切り装置部IIと乾燥装置部IIIとの間に垂直方向にエアーを吹き出すことでエアーによるカーテンを形成している(矢印B)。
【0020】
上記構成及び動作で水切りされたフィルム基板10は乾燥装置部IIIにて乾燥され次工程へと搬送される。この吹き出しユニットの外側に乾燥空気を吹き付けてる構造により、吹き出しユニット表面の結露の発生を抑えることができる。また、乾燥装置部に近い側の吹き出しユニット側面に乾燥空気を吹き付けることにより効率良く吹き出しユニット表面の結露発生を抑えることができる。更には、乾燥装置部と水切り装置部の間に乾燥空気によってエアーカーテンを設けることにより水切り装置部で使用している樹脂製のユニット(吹き出しユニット,水切り装置部外壁等)の変形を防止することができる。
【0021】
図2は、本発明の実施例を説明するための図(液切り装置を通過するフィルム基板の進行方向を示す平面図)で、図5乃至図7で説明したように、枚葉の可撓性フィルム基板10は、図示しない電動機等の駆動装置より、駆動ギア14により搬送ホイ−ル12を一方向に回転駆動することにより、該搬送ホイ−ル12により順次液切り装置部IIに搬送される。液切り装置部IIは、前記可撓性フィルム基板10の上面側に付着している洗浄液を除去するための空気流を噴出するエア−ナイフ11a,11bと、下面側に付着している洗浄液を除去するためPVAあるいはPVC等の発泡材により形成された吸水ロ−ラ13a,13bとを一対で対向配置する。図2は、本発明によるフィルム基板10の進行方向を示した平面図で、図示のように、フィルム基板10のプレカット穴10Aの長手方向が進行方向と平行になっている。このように、フィルム基板の穴の長手方向と進行方向が平行となる配置で搬送することにより、フィルム基板のバタツキを少なくでき、ジャム,蛇行等の搬送異常を防止し、フィルム基板穴10Aの近くでもフィルム基板10の両面の十分な液切れを行うことができる。
【0022】
図3は、本発明の他の実施例を説明するための図(液切り装置を通過するフイルム基板10の進行方向を示す平面図)で、引き出し電極が上下両側の基板にある液晶表示装置の場合には、上下両側の基板に長手方向が互いに直交するプレカット穴を設ける必要がある。また、基板内の面付け数を多くしたい場合などに、プレカット穴の長手方向と基板の進行方向が直交せざるを得ない場合もある。フィルム基板の形状は一般的には長方形であり、搬送系の幅の制約から基板の進行方向を90度回転させて搬送することが困難な場合もある。このような場合には、図3に示したように、基板の進行方向を規定する。 すなわち、基板のプレカット穴10Aの長手方向が進行方向と直交する場合には、基板の端面からプレカット穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送する。 基板端面までの距離は少なくともパネル1個の有効表示分に相当する距離は必ず確保されている。
【0023】
図5乃至図7に示したフィルム基板の製造方法において、前記エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフ11aと後段エアーナイフ11bの2本以上を配置し、前段エア−ナイフ11aと前段吸水ロ−ラ13aで構成される前段液切り部と、後段エア−ナイフ11bと後段吸水ロ−ラ13bで構成される後段液切り部の少なくとも2段以上により構成し、それぞれのエアーナイフ11a,11bの空気圧を互いに独立して調整できるように配管を独立して配置し、前段エアーナイフ11aの空気圧が後段エアーナイフ11bの空気圧より常に強くなるようにしたものである。このようにすると、前段エアーナイフによる搬送速度の減速よりも後段エアーナイフによる搬送速度の減速が少ないので、進行方向の先頭ほど搬送速度が大きいことになり、エアーナイフ間でのフィルム基板のたわみ,しわを発生させることなく、安定した搬送を実現できる。
【0027】
【発明の効果】
請求項1の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向して配設されている吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向と搬送方向とが平行となるように搬送するようにしたので、フィルム基板のバタツキを少なくでき、ジャム,蛇行等の搬送異常を防止し、基板穴の近くでも基板の両面の十分な液切れを行うことができる。
【0028】
請求項2の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向している配設された吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向が該基板の搬送方向と直交する方向である場合において、前記基板の端面から前記穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送するようにし、基板の先頭のバタツキが少なく、ジャム,蛇行等の搬送異常を防止することができ、しかも、基板端面までの距離は少なくともパネル1個の有効表示分に相当する距離を必ず確保しているので、容易に進行方向を選ぶことができるようにしたものである。
【0029】
請求項3の発明は、請求項1又は2の発明において、エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフと後段エアーナイフの2本以上を有し、前段エア−ナイフと前段吸水ロ−ラで構成される前段液切り部と、後段エア−ナイフと後段吸水ロ−ラで構成される後段液切り部の少なくとも2段以上により構成し、それぞれのエアーナイフの空気圧は互いに独立して調整できるように配管を独立して配置し、前段エアーナイフの空気圧は後段エアーナイフの空気圧より常に強くなるようにしたので、前段エアーナイフによる搬送速度の減速よりも後段エアーナイフによる搬送速度の減速が少なく、従って、進行方向の先頭ほど搬送速度が大きいことになり、エアーナイフ間での基板のたわみ,しわを発生させることなく、安定した搬送を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明が適用される液晶表示装置の製造装置における洗浄装置部,液切り装置部,乾燥装置部の構成を示す図である。
【図2】 本発明における液切り装置部を通過するフィルム基板の進行方向を示す平面図である。
【図3】 本発明における液切り装置部を通過するフィルム基板の進行方向を示す平面図である。
【図4】 液晶表示装置の断面構成図である。
【図5】 本発明が適用される液切り装置部の正面図である。
【図6】 本発明が適用される液切り装置部の側面図である。
【図7】 本発明が適用されるフィルム基板搬送ホイール部の側面図である。
【図8】 従来方法によるフィルム液晶基板搬送時の不具合を説明するための正面図である。
【符号の説明】
10…液晶表示装置、10A…プレカット穴、11(11a,11b)…吹き出しユニット(エアーナイフ)、12…搬送ホイール、13(13a,13b)…吸水ローラ、14…駆動ギア、15(15a,15b)…ピンチローラ、16(16a,16b)…鍔ローラ、21…スプレーノズル、22…乾燥エアー吹き出しノズル。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a manufacturing method of the film substrate, and more particularly, draining process is the next step in the film cleaning process in the film substrate, i.e., draining device for removing water droplets adhering to the film on the substrate after film washing The structure of a part and the conveyance method of the film substrate in the drainer part.
[0002]
[Prior art]
Liquid crystal panel (PF-LCD) manufacturing processes using flexible printed circuit boards (FPC) and film substrates are used to reliably remove dirt such as oil and fat adhering to the substrates and fine dust in each manufacturing process. A cleaning process is indispensable. In order to efficiently perform drying after cleaning and to prevent the occurrence of a water mark due to remaining cleaning liquid, the cleaning liquid adhering to the front and back surfaces of the substrate is removed in advance before drying. A liquid draining process is necessary.
[0003]
As described above, in the production of the film substrate, and requires draining step (= draining step), conventionally, it is performed with the draining by an air knife, attached by an air knife to fill arm board when the removal of water droplets, air - water droplets adhere to the balloon unit surface due to condensation, the water droplets fall onto the fill arm board, baking (drying) calcining in step (drying) have been filled beam board There was a stain on the surface. In addition, in order to manufacture the outer wall of the blowing unit and the draining device part inexpensively and lightly, the material is made of resin, and therefore the outer wall of the blowing unit and the draining unit part is deformed by the heat from the baking (drying) unit part. There was a problem such as.
[0005]
FIG. 4 is a cross-sectional configuration diagram for explaining an example of a liquid crystal display device, in which 1 is a liquid crystal, 2 is a spacer, 3 is a transparent electrode, 4 is an alignment film, 5 is a seal, 6 is a film substrate, 7 Is a polarizing plate. As shown in the figure, a liquid crystal display device requires a lead-out electrode for driving the liquid crystal display device, and therefore a portion where the substrates do not face each other is necessary. In a liquid crystal display device using a film substrate, since the substrate thickness is very thin and flexible, unlike the case of using a glass substrate, only one substrate is stacked after the substrates are stacked. It is very difficult to cut the electrode and form the extraction electrode part. Therefore, it is common to make a rectangular hole (shown by 10A in FIGS. 2 and 3) in advance with a punching die or the like on the opposite side of the film substrate corresponding to the lead electrode portion, A plurality of holes according to the number of impositions are provided.
[0006]
FIG. 5 is a front configuration diagram of a liquid draining process apparatus section in a manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display device as described above, FIG. 6 is a side view, FIG. 7 is a side view of a liquid crystal substrate transport wheel section, and FIG. a diagram showing a defect of the time, in the drawing, the flexible single wafer
[0007]
In cleaning and liquid cutting of a flexible film substrate having a plurality of rectangular holes as described above, liquid residue tends to occur on the substrate surface in the vicinity of the hole, particularly on the rear side with respect to the traveling direction during cleaning. There was a problem. This is because in the flexible film substrate, since the rigidity of the substrate is low, when the air of the air knife hits the hole portion of the substrate, liquid drainage becomes insufficient due to the flickering of the substrate.
[0008]
Further, when the hole of the substrate is close to the substrate end face, the fluttering due to the air of the air knife is remarkable, and as shown in FIG. 8, the top 10 'of the
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
According to the first to third aspects of the present invention, a single sheet of flexible film substrate having a plurality of rectangular holes formed therein is continuously conveyed in a predetermined direction and washed, and then applied to the front and back surfaces of the film substrate. Provided is a transport method capable of stably transporting a film substrate while ensuring sufficient liquid drainability in a liquid draining process for removing the attached cleaning liquid, preventing occurrence of abnormal transport such as jamming and meandering. It was made for the purpose.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1, comprising continuously and the drying device section dewatering device section, water droplets adhering to the fill arm board a water-washed filled beam board through the draining device unit and a drying device section removed, a manufacturing method of the film substrate to be dried, the fill arm board in advance a plurality of rectangular substrate sheet with a hole drilled in the substrate is the dewatering device portion of該枚leaves In the drainer unit, the cleaning liquid adhering to the upper surface side of the substrate is removed by an air knife and the cleaning liquid adhering to the lower surface side is removed from the air in the drainer unit. in the production method of the film substrate is removed by water absorption rollers so as to face the knife is arranged, the board of the sheet, and so that the conveying direction is parallel the longitudinal direction of the hole drilled in the substrate It is characterized by being conveyed to In addition, by transporting the substrate holes in the arrangement in which the longitudinal direction and the traveling direction are parallel, the film substrate flickers are reduced, and conveyance abnormalities such as jamming and meandering are prevented. It is possible to run out of liquid.
[0015]
The invention according to
[0016]
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the air knife has at least two of a front air knife and a rear air knife, and the air pressure of the front air knife is stronger than the air pressure of the rear air knife. Therefore, the air pressure of the front air knife and the air pressure of the rear air knife can be adjusted independently of each other, and the air pressure of the front air knife is always higher than the air pressure of the rear air knife, As a result, the speed reduction of the transport speed by the rear air knife is less than the speed reduction of the transport speed by the front air knife, the transport speed is increased toward the head in the traveling direction, and the film substrate is bent and wrinkled between the air knives. Thus, stable conveyance can be realized.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device to which a method for manufacturing a film substrate according to the present invention is applied . In the figure, I is a cleaning unit, II is a liquid (water) draining unit, and III is In the drying device unit, the liquid
[0018]
As described above, in the manufacturing process of the liquid
[0019]
In the example shown in FIG. 1, in order to solve the above-described problem, the condensation of the blowing
[0020]
[0021]
Figure 2 is a diagram for explaining the embodiments of the present invention (plan view showing the traveling direction of the fill arm board passing through the draining device), as described in FIGS. 5 to 7, the sheet The
[0022]
FIG. 3 is a view for explaining another embodiment of the present invention (a plan view showing the traveling direction of the
[0023]
In full Irumu substrate manufacturing method shown in FIGS. 5 to 7, wherein the air knife is at least, arranged two or more of the preceding
[0027]
【The invention's effect】
The invention according to claim 1, comprising continuously and the drying device section dewatering device section, water droplets adhering to the fill arm board a water-washed filled beam board through the draining device unit and a drying device section removed, a manufacturing method of the film substrate to be dried, the fill arm board in advance a plurality of rectangular substrate sheet with a hole drilled in the substrate is the dewatering device portion of該枚leaves In the drainer unit, the cleaning liquid adhering to the upper surface side of the substrate is removed by an air knife and the cleaning liquid adhering to the lower surface side is removed from the air in the drainer unit. in the production method of the film substrate is removed by water absorption rollers so as to face the knife is arranged, the board of the sheet, and so that the conveying direction is parallel the longitudinal direction of the hole drilled in the substrate So that Possible to reduce the flapping of Lum substrate, jam, transport failure to prevent the meandering, it is possible to perform sufficient liquid out of both surfaces of the substrate even near the substrate hole.
[0028]
The invention according to
[0029]
The invention of claim 3 is the invention of
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a cleaning unit, a liquid draining unit, and a drying unit in a liquid crystal display manufacturing apparatus to which the present invention is applied.
FIG. 2 is a plan view showing a traveling direction of a film substrate that passes through a liquid draining device according to the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing the traveling direction of the film substrate passing through the liquid draining device according to the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional configuration diagram of a liquid crystal display device.
5 is a front view of a drainer device unit to which the present invention that apply.
6 is a side view of a drainer device unit to which the present invention that apply.
7 is a side view of a full Irumu substrate conveyor wheel unit to which the present invention that apply.
FIG. 8 is a front view for explaining a problem during conveyance of a film liquid crystal substrate by a conventional method.
[Explanation of symbols]
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09218999A JP3763696B2 (en) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | Film substrate manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09218999A JP3763696B2 (en) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | Film substrate manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000284247A JP2000284247A (en) | 2000-10-13 |
JP3763696B2 true JP3763696B2 (en) | 2006-04-05 |
Family
ID=14047502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09218999A Expired - Fee Related JP3763696B2 (en) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | Film substrate manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3763696B2 (en) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100402901B1 (en) * | 2001-06-07 | 2003-10-22 | 주식회사 디엠에스 | Multi functional cleaning module of manufacturing apparatus for liquid crystal display device and Cleaning apparatus using the same |
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JP4996891B2 (en) * | 2006-07-31 | 2012-08-08 | 京セラディスプレイ株式会社 | Foreign matter removal method for display panel |
JP5444667B2 (en) * | 2008-09-08 | 2014-03-19 | 日本電気硝子株式会社 | Glass plate adhering liquid removing apparatus and glass plate adhering liquid removing method |
CN107159637A (en) * | 2017-07-03 | 2017-09-15 | 杭州博野精密工具有限公司 | A kind of full-automatic saw blade is cleaned and dried the oily all-in-one of brush |
CN114397774A (en) * | 2022-01-26 | 2022-04-26 | 重庆京东方电子科技有限公司 | Roller shaft, device and method for display module adhesive tape and display module |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP09218999A patent/JP3763696B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000284247A (en) | 2000-10-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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