JP3758214B2 - 荷電粒子装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子線を用いた分析装置や、半導体分野等においてイオンビームを使用した加工装置などの荷電粒子を試料に照射する荷電粒子装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子線マイクロアナライザ等の電子線を用いた分析装置においては、電子源からの電子ビームを試料に照射することによって試料の表面分析等を行い、また、イオンビームを使用した加工装置においては、イオン源からのイオンビームを被加工物に照射することによって配線等の加工を行っている。このような電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子のビームを用いた荷電粒子装置において、分析精度や加工精度は試料に照射されるビーム径に対する依存度が高く、ビーム径が小さいほど分析精度や加工精度は向上する。
【0003】
従来、これら分析精度や加工精度を左右するビーム径についての測定は行われておらず、荷電粒子源から照射される荷電粒子の輝度によって、経験則に基づいてビーム径を推定したり、あるいは、試料の荷電粒子ビームを照射した後に荷電粒子ビームによって変化した痕跡によって、ビーム径の観察を行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の荷電粒子装置では、高い精度でのビーム径の測定,調整が困難であるという問題点がある。
荷電粒子の輝度によって経験則に基づいて推定する場合には、荷電粒子装置の駆動条件や使用環境によってビーム径が変化するため高い精度での推定は困難であり、また、試料に形成された痕跡によってビーム径を求める場合には、分析中あるいは加工中におけるビーム径の測定や調整を行うことができない。そのため、分析精度や加工精度を向上させることも困難である。
そこで、本発明は前記した従来の荷電粒子装置の問題点を解決し、高い精度でのビーム径の測定,調整が容易な荷電粒子装置を提供することを目的とする。
【0005】
本発明は、荷電粒子を照射する荷電粒子装置において、荷電粒子ビームのビーム電流を測定するビーム電流測定手段と、ビーム電流測定手段に対する荷電粒子ビームの照射位置を走査するビームデフレクターと、ビーム電流の測定値に基づいて荷電粒子ビームの試料上のビーム径を求める演算手段とを備えることにより、前記目的を達成するものである。また、ビーム径の評価をフィードバックして荷電粒子源のフィラメント電流及び/又はセルフバイアスを調整し、ビーム径を調整することができる。
【0006】
本発明の荷電粒子装置は、電子ビームを用いた分析装置やイオンビームを使用した加工装置等の荷電粒子ビームを用いる装置に適用することができるものである。ビーム電流測定手段は、荷電粒子源から照射される荷電粒子ビームのビーム電流を測定する。このとき、ビームデフレクタはビーム電流測定手段に対する荷電粒ビームの照射位置を走査させる。この走査に対応して変化する測定ビーム電流値により、ビーム電流測定手段の位置のフォーカスポイントにおけるビーム径を求めることができ、また、荷電粒子ビームの輝度を求めることができる。
【0007】
荷電粒子装置のレンズ形状を基にして、ビーム電流測定手段の位置におけるビーム径から荷電粒子源のクロスオーバポイントにおけるビーム径あるいは試料上におけるビーム径を求めることができる。また、荷電粒子装置のレンズ形状を基にして、荷電粒子ビームの輝度から試料上におけるビーム径を求めることができる。
【0008】
さらに、求めたビーム径を基に荷電粒子源のフィラメント電流やセルフバイアスを調節することにより、ビーム径の調整を行うことができる。
本発明の実施態様は、ビーム電流測定手段をビーム絞り用のアパーチャと下流側に設けたファラデーカップとを含むものであり、これによって、荷電粒子ビームのビーム電流を測定することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の荷電粒子装置の実施の形態を説明するための概略図である。図1において、符号1はフィラメント電流やセルフバイアスを調整する電圧源や抵抗を含む荷電粒子源であり、荷電粒子ビームを試料側に照射する。この荷電粒子源1のクロスオーバポイント11におけるビーム径をdcとする。第1電磁コイル2,第2電磁コイル3、およびビーム絞り4は、荷電粒子装置の荷電粒子ビームの軌道を定める一レンズ系である。
【0010】
本発明の荷電粒子装置は、このレンズ系の下流側と試料との間にビームデフレクタ5とビーム電流測定手段8を備えている。ビーム電流測定手段8は、ビーム絞りアパーチャ6とファラデーカップ7を備え、ファラデーカップ7はビーム絞りアパーチャ6に対して移動可能である。また、ビームデフレクタ5は荷電粒子ビームを偏向させ、ビーム絞りアパーチャ6に対する荷電粒子ビームの照射位置を変えながら操作を行う。ビーム絞りアパーチャ6における荷電粒子ビームはビーム径dを有しているため、ファラデーカップ7が検出するビーム電流値は家電粒子ビームの走査に応じて変化する。
【0011】
演算手段9は、ビーム電流測定手段8が測定したビーム電流に基づいて、ビーム電流測定手段8におけるビーム径d、クロスオーバポイント11におけるビーム径をdc、試料上におけるビーム径dsを求める。
【0012】
次に、図2を用いて本発明の荷電粒子装置によるビーム径の測定手順について説明する。
はじめに荷電粒子源1の電圧源や抵抗等の制御によりフィラメント電流やセルフバイアスを調整して荷電粒子ビームの照射を行い、ビーム絞りアパーチャ6に焦点を結ばせる。このとき、荷電粒子源1のクロスオーバポイント11でのビーム径をdc、ビーム絞りアパーチャ6の焦点位置(以下、フォーカスポイント12と呼ぶ)でのビーム径をdとする(ステップS1)。
【0013】
ファラデーカップ7を荷電粒子ビームのビーム軸上に移動させ、第1電磁コイル2,第2電磁コイル3、ビーム絞り4等のレンズ系、およびビーム径絞りアパーチャ6を通過した荷電粒子ビームをファラデーカップ7で受けてビーム電流測定を行う。このビーム電流測定において、ビームデフレクタ5による荷電粒子ビームの走査を行う。
【0014】
図3は荷電粒子ビームの走査と測定ビーム電流Iaとの関係を説明するための図である。図3において、フォーカスポイント12におけるビーム径dにより、測定ビーム電流Iaの立ち上がりあるいは立ち下がりの状態は変化する。図3(a)〜(e)はフォーカスポイント12におけるビーム径dが小さい場合を示し、図3(f)〜(j)は大きい場合を示している。ビームデフレクタ5によって荷電粒子ビームが走査されると、フォーカスポイント12における荷電粒子ビームの位置は図3(a)〜(d),および図3(f)〜(i)に示すように順に移動し、この移動に応じてファラデーカップ7が測定する測定ビーム電流Iaも変化する。ビーム径dが小さい場合には図3(e)に示すように測定ビーム電流Iaの変化は急峻となり、ビーム径dが大きい場合には、図3(j)に示すように測定ビーム電流Iaの変化は緩やかとなる。そこで、本発明は、以下のステップS4において、測定ビーム電流Iaの変化からビーム径dを求める(ステップS2)。
【0015】
また、図3において測定ビーム電流Iaが平坦な部分は、ファラデーカップ7が全荷電粒子ビームを受けた場合であり、この測定ビーム電流Iaの電流値から荷電粒子ビームの輝度を測定することができる。
【0016】
次に、フォーカスポイント12でのビーム径dを求める。図4は図3(j)と同様に、ビーム走査による測定ビーム電流Ia変化を示している。前記図3に示したように、測定ビーム電流Iaの立ち上がりあるいは立ち下がり部分のx軸方向の長さは、フォーカスポイント12におけるビーム径dを表している。そこで、本発明では、測定ビーム電流Iaの最大値の20%と80%におけるx軸方向の走査位置を求め、その差をフォーカスポイント12におけるビーム径dとする。
【0017】
なお、測定ビーム電流Iaの最大値の20%と80%の値を用いるのは、図5に示すビーム絞りアパーチャと荷電粒子ビームとの位置関係図に示すように、境界部分においては、それらの形状によって測定ビーム電流Iaの値と位置との間の直線性が不十分であるためである。また、図5に示すように、x方向の走査においてビーム絞りアパーチャと荷電粒子ビームとの位置がビーム径測定に適した位置関係と必ずしもならないため、ビームデフレクタ5はx,y方向の2次元の走査を行うことによりビーム径dの正確な測定を行う(ステップS3)。
【0018】
次に、前記ステップS4で求めたフォーカスポイント12におけるビーム径dを用いてクロスオーバポイントにおけるビーム径dcを求める。クロスオーバポイント11とフォーカスポイント12との間には、図1に示すようなレンズ系が設けられ、第1電磁コイル2とビーム絞り4との距離をL1,第2電磁コイル3とビーム絞り4との距離をL2とすると、クロスオーバポイント11でのビーム径dcは以下の式(1)により表すことができる。
【0019】
dc=(L1/L2)・d …(1)
なお、前記L1,L2は、レンズ系のレンズ形状に表面荷電法や有限要素法等の数値解析を適用して行う電磁場解析によって得ることができる(ステップS4)。
【0020】
また、ビーム電流Iとビームの広がり角度Ωとビームの面積Sとの間には、以下の式(2)で示される関係がある。
I=β・Ω・S …(2)
なお、図6はビームの広がりを示す概略図であり、αはビーム軸とビームの外縁部となすビーム角度、βは輝度、Ωは立体角、Sはビーム径dにおけるビーム面積である。
【0021】
Ω=π・α2 …(3)
S=π・d2 /4 …(4)
したがって、前記式(2)の輝度βは以下の式(5)で表される。
β=I/{(π・α12 )・(π・d2 /4)} …(5)
なお、α1は図1に示すようにフォーカスポイント12におけるビーム角度である(ステップS5)。
【0022】
次に、前記ステップS5で求めたビーム径dc,あるいはステップS6で求めた輝度βを用いて試料上におけるビーム径dsを求める。以下、図7の3段のレンズを用いた場合のビームの概略図の場合を例として説明する。
荷電粒子装置のレンズ系中の第1段,第2段,および第3段に、図7に示すようなL1〜L6の関係があり、第3段中にファラデーカップを設けた場合には、ステップS5で求めたビーム径dcを用いて以下の式(6)によって試料上におけるビーム径dsを求めることができる。
【0023】
ds=(L2/L1)・(L4/L3)・(L6/L5)・dc …(6)
また、試料位置における角度をα2とすると、ステップS5で求めた輝度βを用いて以下の式(7)によって試料上におけるビーム径dsを求めることができる。
【0024】
ds=[I/{β・(π・α22 )・(π/4)}]1/2 …(7)
なお、前記L1〜L6,α2は、レンズ系のレンズ形状に表面荷電法や有限要素法等の数値解析を適用して行う電磁場解析によって得ることができる(ステップS6)。
【0025】
さらに、前記ステップS6で求めたビーム径dsを評価し、測定や加工に適していない場合には、荷電粒子源のフィラメント電流やセルフバイアスを調整して最適な条件を求め、良好なビーム径dsに調整することができる(ステップS7)。
この試料上でのビーム径dsの正確な測定および調整を行うことによって、分析精度および加工精度を向上させることができる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、高い精度でのビーム径の測定,調整が容易な荷電粒子装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の荷電粒子装置の実施の形態を説明するための概略図である。
【図2】本発明の荷電粒子装置によるビーム径の測定手順について説明するための図である。
【図3】荷電粒子ビームの走査と測定ビーム電流Iaとの関係を説明するための図である。
【図4】ビーム走査による測定ビーム電流Iaの変化を示す図である。
【図5】ビーム絞りアパーチャと荷電粒子ビームとの位置関係図である。
【図6】ビームの広がりを示す概略図である。
【図7】3段のレンズを用いた場合のビームの概略図である。
【符号の説明】
1…荷電粒子源、2…第1電磁コイル、3…第2電磁コイル、4…ビーム絞り、5…ビームデフレクタ、6…ビーム絞りアパーチャ、7…ファラデーカップ、8…ビーム電流測定手段、9…演算手段、11…クロスオーバポイント、12…フォーカスポイント、d,dc,ds…ビーム径。
Claims (2)
- 荷電粒子を照射する荷電粒子装置において、
荷電粒子ビームを発生させる荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から発生した荷電粒子ビームの軌道を定める一レンズ系と、
荷電粒子ビーム電流を測定するビーム電流測定手段と、
前記ビーム電流測定手段に対する荷電粒子ビームの照射位置を走査するビームデフレクタと、
前記一レンズ系の下流側に配置される他のレンズ系と、
前記ビーム電流測定手段の測定値に基づいて荷電粒子ビームのフォーカスポイントにおけるビーム径を求めた後、試料上におけるビーム径を求める演算手段とを備え、
前記ビームデフレクタおよび前記電流測定手段は前記一レンズ系と前記他のレンズ系との間に配置されることを特徴とする荷電粒子装置 - 前記ビーム径の評価をフィードバックして荷電粒子源のフィラメント電流および/またはセルフバイアスを調整し、ビーム径を調整すること特徴とする、請求項1に記載の荷電粒子装置
Priority Applications (1)
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JP22509895A JP3758214B2 (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 荷電粒子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP22509895A JP3758214B2 (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 荷電粒子装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0973870A JPH0973870A (ja) | 1997-03-18 |
JP3758214B2 true JP3758214B2 (ja) | 2006-03-22 |
Family
ID=16823961
Family Applications (1)
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JP22509895A Expired - Fee Related JP3758214B2 (ja) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | 荷電粒子装置 |
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WO2004105077A1 (ja) * | 1999-02-24 | 2004-12-02 | Katsuto Goto | 高密度記録走査顕微鏡 |
JP4512514B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2010-07-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線分光器を備えた透過型電子顕微鏡 |
-
1995
- 1995-09-01 JP JP22509895A patent/JP3758214B2/ja not_active Expired - Fee Related
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