JP3750249B2

JP3750249B2 - ビデオ式非接触伸び計

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Publication number: JP3750249B2
Application number: JP02066897A
Authority: JP
Inventors: 正之亀川
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1997-02-03
Filing date: 1997-02-03
Publication date: 2006-03-01
Anticipated expiration: 2017-02-03
Also published as: JPH10221027A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料表面に付された２箇所のマークをビデオカメラで撮像した映像信号を用いて、そのマーク間における試料の伸びを非接触のもとに計測するビデオ式非接触伸び計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
引張試験時等における試料の伸びを非接触のもとに計測する伸び計として、ビデオカメラを用いた、いわゆるビデオ式非接触伸び計が知られている。このビデオ式非接触伸び計においては、試験の開始に先立って試料表面に２つの標点に相当する２箇所にマークを付しておき、これらのマークを試験中においてビデオカメラで撮像して得られる映像信号から各マークの刻々の位置を認識して各マークの刻々の移動量を計測して、その各移動量の差からマーク間の試料の伸びを刻々と算出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、各種材料の引張試験においては、一般に、その材料の弾性率を正確に求めることは極めて重要である。このような弾性率を求めるためには、試料に引張負荷を与えた当初から塑性変形を生じるまでの、荷重の小さい領域である弾性領域内における伸びを正確に計測する必要がある。
【０００４】
ここで、このような引張試験においては、一般には材料試験機が用いられ、上下の掴み具に試料（試験片）の両端を把持した状態で、各掴み具の間隔を拡げることによって試験片に引張負荷を付与する。このような試験においては、通常、試験片の形状を極めて高精度に加工したり、精密に各掴み具の中心を通る軸線上に試験片を位置させた状態で把持するといったことには特に考慮が払われないので、試験開始直後に試験片が引張軸方向以外の方向に移動することがしばしば生じる。このようなずれを吸収するため、例えば上側の掴み具がクロスヘッドに取り付けられて、テーブルに固定された下側の掴み具に対して上方に変位することで引張負荷を与える材料試験機においては、上側の掴み具とクロスヘッドとの間にユニバーサルジョイント等の調心要素ないしは移動要素を介在させることが一般的である。
【０００５】
このような構造の材料試験機を用いて、試験片の伸びを計測するに当たり、伝統的に用いられている接触式の伸び計を用いる場合には、試験片が引張軸以外の方向に移動しても、伸びの計測結果には全く影響が及ばない。しかし、ビデオ式非接触伸び計を用いた非接触の伸びの計測にあっては、このような引張軸以外の方向への試験片の移動のうち、左右方向への移動は、ビデオカメラによる２次元画像の面内移動として容易に把握して補正に供することができるが、ビデオカメラに対して前後方向への移動は、以下に示すように無視することはできない。
【０００６】
すなわち、説明の簡略化のため、図１０に示すように、ビデオカメラの像面１２に単一のレンズ１１で試験片像が結像されるものとし、試験片Ｗの表面からレンズ１１までの距離をａとし、レンズ１１から像面１２までの距離をｂとする。試験片Ｗが前方に１ｍｍ移動したとすると、ａが５０ｍｍであればａは２％の変化であって、単純に倍率がｂ／ａであれば、像面１２上での物体の大きさも２％変化することになる。試験片Ｗの弾性領域が伸び１％程度までであれば、この領域内における試験片Ｗの前後方向への移動による誤差成分は実際の信号成分の２倍程度にもおよび、到底無視することはできない。このような誤差を生じさせないためには、上下の掴み具のいずれにもユニバーサルジョイント等の前後方向への移動要素を介在させず、かつ、試験片Ｗを厳密に上下の掴み具の中心線上に位置するようにチャッキングする必要があって、このような構造ないしは作業は簡便な操作を目的とする上では現実的ではない。
【０００７】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、比較的簡単な構成により、掴み具にユニバーサルジョイント等の軸方向以外の移動要素が含まれている通常の材料試験機を用いて引張試験を行う等によって、試験中に試料がカメラに対して前後方向に移動しても、その影響を受けることなく正確に試料の伸びを計測することのできるビデオ式非接触伸び計の提供を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のビデオ式非接触伸び計は、試料表面に付された２箇所のマークをビデオカメラによって撮像して得られる映像信号から、各マークの位置を認識してその刻々の各移動量を計測し、その各移動量の差から各マーク間の刻々の伸びを求める演算手段を備えた伸び計において、上記ビデオカメラに対する各マークの前後方向への移動量を非接触のもとに計測する前後移動情報計測手段と、その前後移動情報計測手段による計測結果に基づき、上記映像信号を用いた各マークの移動量計測結果を補正する補正演算手段を有し、上記演算手段が、その補正後の各マークの移動量から伸びを算出するように構成されているとともに、上記前後移動情報計測手段が、試料の側方に配置されて当該試料の側面の像を上記ビデオカメラの視野内に導くミラーと、そのビデオカメラからの映像信号のうち、試料の側面像に対応する信号を用いて、各マーク位置での試料の前後方向への移動量を算出する前後移動量算出手段によって構成されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明は、引張試験時等において試料がビデオカメラに対して前後方向（ｘ方向）に移動したとき、それに伴う２箇所のマークのｘ方向への移動情報を別途非接触のもとに計測し、その計測結果を用いて、各マークを正面から撮像した映像信号を用いた各マークの伸びの計測方向（ｚ方向）への移動量の計測結果を補正することにより、試料のｘ方向への移動に伴う伸びの計測誤差を解消しようとするものである。
【００１２】
すなわち、試料を正面から撮像した画像において、試料をｘ方向に移動させたとき、ビデオカメラの光軸上の点のｚ方向への移動は生じないが、対象とする点が光軸から遠ざかるほど、その点の画像上に置けるｚ方向への移動量が増大するとともに、その移動の向きは光軸を挟んでその両側で逆となる。従って、実際の計測に先立ち、例えば試料ないしはそれに相当する治具をｘ方向にのみ既知量ずつ移動させたとき、ビデオカメラの映像信号から認識されるその試料ないしは治具のｚ方向各位置におけるｚ方向への位置の移動量を求めて記憶しておくことにより、試験の進行に伴う各マークのｚ方向への移動に対し、ビデオカメラからの映像信号からその刻々の位置の認識結果と、上記の較正動作において記憶した内容、および、別途計測されるｘ方向への各マークの移動量を用いることにより、ビデオカメラの映像信号を基に計測した各マークのｚ方向への移動量を補正することができる。
【００１３】
しかも、本発明においては、図１に例示するように、試料Ｗの側面像をミラー２を介してビデオカメラに導き、このビデオカメラ１により試料Ｗの正面像と側面像とを併せて撮像することにより、正面像から各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量を、側面像から各マークＭ１，Ｍ２のｘ方向への移動量をそれぞれ計測することができ、ミラー２以外に各マークＭ１，Ｍ２の前後方向への移動量を計測するための特別な光学系等を用いることなく、所期の目的を達成できる。
【００１６】
ここで、本発明における前後移動情報計測手段の具体的構成の他の例としては、請求項２におけるミラー２に代えて、試料Ｗの側面を撮像するためのビデオカメラを別途配置して、その側面の映像信号から各マークＭ１，Ｍ２の前後方向への移動量を計測する構成、および、試料Ｗの２箇所のマークＭ１，Ｍ２の初期位置に対して所定の角度をもってスポット光を照射するとともに、その各反射光をそれぞれに対応するＰＳＤ（ポジションセンシティブデテクタ）等のセンサで受け、その入射位置の変化から各スポット光の照射位置の前後方向への移動量を求める、という構成を挙げることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施の形態の説明図であり、（Ａ）はその全体構成を示す模式図で、（Ｂ）は試料Ｗの引張方向（ｚ方向）に沿って上から見た状態で示す試料Ｗと撮像光学系との関係を表す模式図である。
【００１８】
試料Ｗはその両端が材料試験機の上下の掴み具Ｇ１，Ｇ２に把持された状態で、上方の掴み具Ｇ１が図１（Ａ）において上方に移動することによって、ｚ方向への引張負荷が付与される。この試料Ｗには、引張方向に所定の間隔を開けた２箇所に、その正面側および一方の側面側の双方から視認可能なマークＭ１およびＭ２が付されている。このようなマークＭ１，Ｍ２は、例えばある程度以上の厚みのあるマーク用シール、もしくは表面側に突出する凸部を有するマーク用シール等を試料Ｗの正面側に貼り付けたり、あるいは通常の薄いマーク用シールを正面と側面との陵線を跨いで貼り付ける等によって形成することができる。
【００１９】
試料Ｗの正面側にはビデオカメラ１が配設されている。また、試料Ｗの側面側にはミラー２が配設されている。このミラー２は、試料Ｗとビデオカメラ１とを結ぶ線に対して反射面が４５°の角度を持つように設置されており、試料Ｗの側面像をビデオカメラ１に導くことができるようになっている。これにより、ビデオカメラ１は、図２にそのカメラ１からの映像信号を画像化した例を模式的に示すように、その視野内に試料Ｗの正面像と、ミラー２を介した試料Ｗの側面像の双方を入れて、これらを同時に撮像することができる。
【００２０】
ビデオカメラ１からの映像信号は、アンプ３で増幅された後、Ａ−Ｄ変換器４でデジタル化されて刻々と制御装置５に取り込まれる。
制御装置５は、実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、コンピュータに書き込まれているプログラムに従った動作を行うが、図１（Ａ）では、そのプログラムに従う機能ごとにブロック化して示している。すなわち、制御装置５は、正面像演算部５１、側面像演算部５２、補正演算部５３および伸び演算部５４を主体として構成されており、この制御装置５には、伸び演算部５４による演算結果を表示するための表示装置６が接続されている。
【００２１】
前記したＡ−Ｄ変換器４によってデジタル化されたビデオカメラ１からの映像データは、制御装置５の正面像演算部５１および側面像演算部５２の双方に供給される。正面像演算部５１は、ビデオカメラ１からの映像データに含まれる試料Ｗの正面像情報から、２箇所のマークＭ１，Ｍ２それぞれのｚ方向への刻々の位置を認識し、その認識結果を刻々と補正演算部５３に供給する。一方、側面像演算部５２は、ビデオカメラ１からの映像データに含まれる試料Ｗの側面像情報から、２箇所のマークＭ１，Ｍ２の前後方向（ｘ方向、ビデオカメラ１に対して接近・離隔する方向）への刻々の位置を認識し、その認識結果を同じく刻々と補正演算部５３に供給する。ここで、ビデオカメラ１においては、試料Ｗの正面と、ミラー２を介しての側面の双方にピントを合わせることはできないが、焦点深度が十分深ければ、その映像データからこれら双方の物体を認識することが可能であるし、また、位置のないしは移動量の計算に際して、微小時間経過前後の映像データの相互相関関数などを用いれば、多少ピントが合っていなくとも像の重心の位置ないしは移動として計算できるので、コントラストさえついていれば、正面像および側面像の双方から十分に各マークＭ１，Ｍ２の刻々の位置の認識が可能である。
【００２２】
補正演算部５３では、後述する較正作業によってあらかじめ格納されている補正演算式ないしは補正テーブル等を用いて、正面像演算部５１により求められたマークＭ１，Ｍ２のｚ方向への刻々の位置情報を、側面像演算部５２により求められたマークＭ１，Ｍ２のｘ方向への刻々の位置情報によって補正し、その補正結果を伸び演算部５４に供給する。伸び演算部５４では、補正後の各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への刻々の位置情報に基づくそれぞれの移動量、つまり補正後のｚ方向への各マークＭ１，Ｍ２の移動量の差を算出し、その算出結果を当初のマークＭ１，Ｍ２間の距離で除した値に１００を乗じることにより、伸び（％）を算出して、別途供給される荷重計測データとともに表示装置６に供給して、例えば荷重−伸び（％）曲線を表示させる。
【００２３】
次に、補正演算部５３による各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向位置の補正演算の方法について詳述する。
計測に先立ち、例えば図３（Ａ）に正面図を、同図（Ｂ）に側面図を示すように、ｚ方向に直交する溝ｇ_iが互いに等間隔で形成された治具Ｊを用いて、システムを較正する。すなわち、図３のような治具Ｊを試料Ｗの伸びの計測位置に配置することにより、その治具Ｊの正面像および側面像を同時に撮像する。このときの映像データを画像化すれば図４に例示するようになるが、この映像データのうち、正面像における各溝ｇ_iのデータ領域をＦ_iとし、そのｚ方向の各位置をそれぞれｚ_iとするとともに、側面像における各溝ｇ_iのデータ領域をＳ_iとし、そのｘ方向への各位置をｘ_iとして、それぞれ正面像演算部５１および側面像演算部５２で認識する。
【００２４】
その状態から、治具Ｊを前後に移動させ、同様にそれぞれのデータ領域Ｆ_iおよびＳ_iの位置を認識する。治具Ｊをカメラ１に近づく向きに移動させたとき、Ｓ_iは左方向（＋ｘ方向）に移動し、Ｆ_iはそのｚ方向への位置に応じた量だけ上下（±ｚ方向）に移動する。この移動量をそれぞれΔｘ_i，Δｚ_iとすると、図５にグラフで例示するように、Δｚ_i／Δｘ_iと、ｚ_iとから、治具Ｊのｚ方向各位置での、ｘ方向への移動時における正面像のｚ方向への移動量の関係を表す式の傾きαとｚ軸上との交点ｚ₀を求めることができる。すなわち、側面像から求めたｚ方向任意の位置ｚ_iにおける物体のｘ方向への移動量Δｘ_iから、正面像上での位置ｚにおけるｚ方向への移動量Δｚ_iを求めるための補正式を、
Δｚ_i／Δｘ_i＝α（ｚ−ｚ₀）・・（１）
として求めることができる。このようにして得られた補正式は、補正演算部５３に記憶される。
【００２５】
さて、実際の試料Ｗの伸びの計測に際して、補正演算部５３では、側面像演算部５２からの各マークＭ１，Ｍ２の刻々のｘ方向への位置情報から求められる各マークＭ１，Ｍ２の移動量Δｘ_M1,Δｘ_M2と、正面像演算部５１からの各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への位置情報ｚ_M1,ｚ_M2、並びに上記（１）式で表される補正式を用いて、試料Ｗの前後方向への移動に伴う正面像における各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量（誤差成分）Δｚ_M1,Δｚ_M2を算出する。そして、その算出結果Δｚ_M1,Δｚ_M2を、正面像演算部５１からの各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への刻々の位置情報ｚ_M1,ｚ_M2を元に算出された各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への見かけ上の移動量ΔＺ_M1′_,ΔＺ_M2′から減算することにより、試料Ｗの前後方向への移動による誤差が除かれた各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量ΔＺ_M1,ΔＺ_M2を求めることができる。
【００２６】
図６は、試験の進行に伴う一方のマークＭ１についての移動量データを示すグラフであり、正面像演算部５１からのデータのみで得られるマークのｚ方向への移動量データΔＺ_M1′には、試料Ｗの前後方向への移動に伴う誤差成分Δｚ_M1が含まれており、この誤差成分Δｚ_M1はΔｘ_M1を用いて算出することができ、その誤差成分Δｚ_M1をΔＺ_M1′から減算することにより、真の移動量を表すデータΔＺ_M1を求めることができる。
【００２７】
以上のようにして補正された後の各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量ΔＺ_M1,ΔＺ_M2は伸び演算部５４に供給され、伸び演算部５４では、これら両者の差（ΔＺ_M1−ΔＺ_M2）を伸び量として、前記した計算によって試料Ｗの伸び（％）を求める。このようにして求められた伸び（％）は、従って、試料の前後方向への移動に伴う誤差を含まない正確な値となる。
【００２８】
次に、本発明の他の実施の形態について述べる。
図７はその全体構成図である。この例では、先の実施の形態におけるミラー２に代えて、試料Ｗに付された２箇所のマークＭ１，Ｍ２の初期位置近傍に、それぞれスポット光を照射するための２組の光源とレンズからなるスポット光照射光学系７１および７２を配置した点においてハード的な相違がある。各光源は、例えばＬＥＤあるいはＬＤとすることができる。
【００２９】
この２組のスポット光照射光学系７１，７２は、図８に側面図で示すように、ビデオカメラ１と共通の鉛直テーブル７３に支持され、例えばマイクロメータ７４の操作によってビデオカメラ１とともに既知量だけ試料Ｗに対して接近・離隔する方向（ｘ方向）に移動し得るようになっている。また、鉛直テーブル７３には、各照射光学系７１，７２からのスポット光の照射位置を試料Ｗの表面上で上下方向（ｚ方向）に調整するための調整機構７５、７６が設けられている。
【００３０】
ビデオカメラ１は、試料Ｗの各マークＭ１，Ｍ２とともに各スポット光像を撮像して、その映像信号は先の実施の形態と同様にアンプ３およびＡ−Ｄ変換器４を介して映像データとして制御装置８に取り込まれる。
【００３１】
この例において制御装置８は、ビデオカメラ１からの映像データから各マークＭ１，Ｍ２の刻々のｚ方向位置を認識する、先の例における正面像演算部５１と同等の機能を有するマーク像演算部８１と、同じ映像データから２つのスポット光像の刻々のｚ方向位置を認識するスポット光像演算部８２と、そのスポット光像演算部８２からのデータを、各スポット光照射位置における試料Ｗのｘ方向移動量に伴う映像データ上でのｚ方向への移動量に換算する換算部８３と、その換算部８３からのデータを用いて、マーク像演算部８１からのデータを補正する補正演算部８４、および、補正後のデータを用いて試料Ｗの伸び（％）を算出する伸び演算部８５を主たる構成要素とし、伸び演算部８５からのデータは先の例と同等の表示装置６に供給される。
【００３２】
換算部８３は、スポット光像演算部８２により求められた２つのスポット光像の刻々のｚ方向への位置情報を、以下の原理によってｘ方向への移動に伴うｚ方向への誤差成分量に換算する。
【００３３】
図９に示すように、簡単のためにビデオカメラ１を１個のレンズ１１と像面１２からなる単レンズ結像系としたとき、当初のマークＭ１上にスポット光を照射している状態において、試料Ｗがビデオカメラ１側に、つまりｘ方向に平行移動したとき、マークＭ１は点ＡからＢへ移動し、スポット光の照射位置は点ＡからＣへ移動する。このとき、像面１２上ではマークＭ１像はＡ′からＢ′へ、スポット光像はＡ′からＣ′へ移動する。
【００３４】
Ａ′Ｂ′間の距離をΔｚ_Mとし、スポット光の入射角度をθとし、Ａ′Ｃ′間の距離をΔｚ_Sとすると、図７より、
【００３５】
【数１】

【００３６】
となる。上式から変数ｘを消去し、Δｚ_MとΔｚ_Sの関係を求めると、
【００３７】
【数２】

【００３８】
となる。
この関係は、他方のマークＭ２とその上に照射されるスポット光についても、全く同様なことが言える。
【００３９】
システムの較正時において、まず、試料Ｗの２箇所のマークＭ１，Ｍ２にそれぞれスポット光を照射するように調整機構７５，７６を操作した後、鉛直テーブル７３をｘ方向に移動させる。この移動前後の映像データから、前記したマーク像の移動量Δｚ_Mと、スポット光像の移動量Δｚ_Sを計測することができる。この計測結果から、上記（２）式の各マークＭ１，Ｍ２ごとの係数ｋを求めることができる。このようにして求められた各係数は、換算部８３に記憶される。
【００４０】
ここで、この実施の形態の利点は、互いに隣接配置することのできるビデオカメラ１とスポット光照射光学系７１，７２を用いた構成により、これらを共通の鉛直テーブル７３等に支持して、試料Ｗに対して平行移動させることが容易である点であり、これにより、システムの較正を、先の例のような治具等を用意することなく、容易に行うことができる。
【００４１】
さて、実際の計測に際しては、スポット像光演算部５２からの各スポット光像の刻々のｚ方向位置情報に基づく各スポット光像のｚ方向移動量Δｚ_S1,Δｚ_S2が、換算部８３に記憶されている（２）式により、それぞれ試料Ｗのｘ方向への移動に伴う映像データ上での各スポット光照射位置におけるｚ方向への移動量、つまり試料Ｗの前後動により映像データ上に現れる誤差成分量Δｚ_M1,Δｚ_M2に換算され、その各値が補正演算部８４に供給される。この補正演算部８４では、マーク像演算部８１からの各マークＭ１，Ｍ２の刻々のｚ方向位置情報に基づく各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量ΔＺ_M1′，ΔＺ_M2′から、それぞれ上記の誤差成分量Δｚ_M1,Δｚ_M2を減算することにより、試料Ｗの前後方向への移動に伴う誤差が除かれた各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量ΔＺ_M1,ΔＺ_M2を求める。
【００４２】
このようにして補正された各マークＭ１，Ｍ２のｚ方向への移動量ΔＺ_M1,ΔＺ_M2は伸び演算部８５に供給され、先の例において示した計算によって試料Ｗの伸び（％）が求められる。このようにして求められた伸び（％）は、前記したように、試料Ｗのｘ方向への移動が試験開始当初において顕著に現れ、その後は殆ど移動しないこと、特に高精度の伸びの計測が求められるのは材料の弾性領域である試験開始当初であること等から、試験の進行に伴って各マークＭ１，Ｍ２の位置が変化しても、スポット光の照射位置である各マークＭ１，Ｍ２の初期位置でのｘ方向への移動量に基づいて得られた誤差成分量Δｚ_M1,Δｚ_M2の減算によって十分に正確な値となる。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、引張試験時等において試料がビデオカメラに対して前後方向に移動したとき、それに伴う試料の２箇所のマークの動方向への移動情報をそれぞれ非接触のもとに計測し、その計測結果に応じて、ビデオカメラの映像信号に基づく各マークの引張方向への移動量を補正した上で、各マーク間の伸びを算出するから、移動要素を伴う掴み具を備えた通常の材料試験機によって、特に掴み具による把持位置を正確に位置決めしない状態で試料をチャッキングして引張負荷を与えても、試料の前後方向への移動に伴う誤差を含まない正確な伸びの計測が可能となった。
【００４４】
しかも、試料の前後方向移動情報の計測に、ミラーを用いて試料の側面像を正面像とともにビデオカメラで撮像する方式を採用しているので、ハード的にはミラーのみを追加することによって、上記の効果を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の構成の説明図で、（Ａ）はその全体構成を示す模式図、（Ｂ）は試料Ｗの引張方向（ｚ方向）に沿って上から見た状態で示す試料Ｗと撮像光学系との関係を表す模式図
【図２】図１の実施の形態におけるビデオカメラ１からの映像信号を画像化した例を示す模式図
【図３】図１の実施の形態の較正に用いられる治具Ｊの一例の正面図（Ａ）および側面図（Ｂ）
【図４】図３の治具Ｊを装着した状態におけるビデオカメラ１からの映像信号を画像化したときの模式図
【図５】図３の治具Ｊを用いて得られるｚ方向各位置におけるｘ方向への移動量Δｘ_iとそれに伴う正面像のｚ方向への移動量Δｚ_iの関係を示すグラフ
【図６】図１の実施の形態における正面像演算部５１により得られるマークＭ１の移動量ΔＺ_M1′と、それに含まれる誤差成分Δｚ_M1、および補正後の移動量ΔＺ_M1の関係を示すグラフ
【図７】本発明の他の実施の形態の全体構成図
【図８】その各照射光学系７１，７２とビデオカメラ１の支持状態を示す側面図
【図９】図７の実施の形態における換算部８３での換算原理の説明図
【図１０】ビデオカメラの映像信号から求めた伸びに及ぼす、試料の前後方向への移動の影響の説明図
【符号の説明】
１ビデオカメラ
２ミラー
５制御装置
５１正面像演算部
５２側面像演算部
５３補正演算部
５４伸び演算部
７１，７２スポット光照射光学系
７３鉛直テーブル
８制御装置
８１マーク像演算部
８２スポット光像演算部
８３換算部
８４補正演算部
８５伸び演算部
Ｗ試料
Ｍ１，Ｍ２マーク

Claims

試料表面に付された２箇所のマークをビデオカメラによって撮像して得られる映像信号から、各マークの位置を認識してその刻々の各移動量を計測し、その各移動量の差から各マーク間の刻々の伸びを求める演算手段を備えた伸び計において、上記ビデオカメラに対する各マークの前後方向への移動量を非接触のもとに計測する前後移動情報計測手段と、その前後移動情報計測手段による計測結果に基づき、上記映像信号を用いた各マークの移動量計測結果を補正する補正演算手段を有し、上記演算手段が、その補正後の各マークの移動量から伸びを算出するように構成されているとともに、上記前後移動情報計測手段が、試料の側方に配置されて当該試料の側面の像を上記ビデオカメラの視野内に導くミラーと、そのビデオカメラからの映像信号のうち、試料の側面像に対応する信号を用いて、各マーク位置での試料の前後方向への移動量を算出する前後移動量算出手段によって構成されていることを特徴とするビデオ式非接触伸び計。