JP3749805B2 - 磁気軸受の制御装置 - Google Patents

磁気軸受の制御装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3749805B2
JP3749805B2 JP20941199A JP20941199A JP3749805B2 JP 3749805 B2 JP3749805 B2 JP 3749805B2 JP 20941199 A JP20941199 A JP 20941199A JP 20941199 A JP20941199 A JP 20941199A JP 3749805 B2 JP3749805 B2 JP 3749805B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
unit
displacement
signal
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP20941199A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001032833A (ja
Inventor
拓知 上山
裕豊 宮川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koyo Seiko Co Ltd filed Critical Koyo Seiko Co Ltd
Priority to JP20941199A priority Critical patent/JP3749805B2/ja
Publication of JP2001032833A publication Critical patent/JP2001032833A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3749805B2 publication Critical patent/JP3749805B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2360/00Engines or pumps
    • F16C2360/44Centrifugal pumps
    • F16C2360/45Turbo-molecular pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気軸受の制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気軸受の制御装置は、回転体の変位信号に対して例えばPID演算を行い、その制御出力に基づいて増幅器で増幅した励磁電流を磁気軸受の電磁石に流すことにより、回転体を目標位置に維持する位置制御を行っている。上記増幅器の出力回路には、電磁石の内部で短絡等が発生したとき回路を保護するためのヒューズが設けられている。従って、このヒューズの許容電流が増幅器の出力電流の上限値となり、この上限値に対応して増幅器の入力電流も制限される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
回転体に大きな荷重が負荷された場合、上記PID演算の制御出力中、積分出力が増大して飽和する。ところが、上記のように増幅器の入力電流が制限されるため、制御出力を全体として制限する必要がある。その場合、比例出力及び微分出力は非常に小さくなる。比例出力及び微分出力は、軸受のばね及びダンピング特性を司っているため、これらが非常に小さくなると、軸受の支持性能が低下して、回転体の支持が不安定となるという問題点がある。
【0004】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、回転体に大きな荷重が負荷された場合にも回転体を安定して支持する磁気軸受の制御装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気軸受の制御装置は、回転体の変位を検出する変位センサの変位検出信号に基づいて、前記回転体を支持する電磁石を制御するディジタル信号処理装置を備え、このディジタル信号処理装置は、前記変位検出信号に基づくディジタル変位信号に対して積分演算のみを行う積分演算部と、
前記積分演算部の出力 iを、所定の制限出力値の範囲に制限して出力する出力制限部と、前記変位検出信号に基づくディジタル変位信号に対して比例及び微分演算を行う主制御演算部と、前記出力制限部の出力と前記主制御演算部の出力 pdとを互いに加算して出力Uを得る加算部と、前記加算部の出力に基づいて、前記電磁石を制御するディジタル制御信号を出力する出力部とを備え、前記出力U i が前記制限出力値を超える大きな荷重が前記回転体に負荷されたとき、前記出力制限部が出力U i を制限して出力することにより変位の定常偏差を許容しつつ出力Uの増大を抑制し、前記出力U pd はそのまま前記加算部で加算されるようにしたものである(請求項1)。
上記のように構成された磁気軸受の制御装置において、積分演算部の出力は出力制限部により所定の制限出力値の範囲に制限される。従って、回転体に大きな荷重が負荷された場合、積分出力の増大が制限され、比例演算及び微分演算による比例及び微分出力が確保される。また、積分演算部は、比例演算及び微分演算を行う主制御演算部とは別に、積分演算のみを行う。
【0006】
また、上記制御装置(請求項1)は、積分演算部の出力値を所定の警報値と比較して、当該出力値が当該警報値に達した場合、警報信号を出力する比較判定部を備えたものであってもよい(請求項2)。
この場合、積分出力が増大して警報値に達すると、警報信号が出力され、荷重の増大を知らせることができる。
【0007】
また、上記制御装置(請求項)において、出力制限部の制限出力値は、警報値より大きいことが好ましい(請求項3)。
この場合、積分出力の制限が開始されるより前に、警報信号が出力される。従って、積分出力の制限による定常偏差の発生に対して、予め注意を喚起することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
図2は、本発明の一実施形態による磁気軸受の制御装置の構成を示すブロック図である。図において、ターボ分子ポンプ等の回転体1は、磁気軸受により非接触支持された状態で、モータ(図示せず)によって駆動され、高速で回転する。回転中の回転体1の変位は、変位センサ2によって検出される。変位センサ2から出力されたアナログ変位信号は、A/D変換器3によってディジタル変位信号に変換され、ディジタル信号処理装置としてのDSP4に入力される。DSP4は、入力されたディジタル変位信号に基づき、磁気軸受の電磁石制御のためのディジタル制御信号を出力する。D/A変換器5はこれをアナログ電流指令信号に変換し、増幅器6に与える。増幅器6はこれを増幅して得た制御電流を、磁気軸受の電磁石7に与える。電磁石7はこれを受けて、回転体1の位置制御を行う。また、DSP4は、シリアル通信ボード8を介してパーソナルコンピュータ9とも接続される。従って、パーソナルコンピュータ9にDSP4の情報を表示することができる。
【0009】
図1は、DSP4から電磁石7までの回路構成部分の詳細図である。図において、DSP4は、ソフトウェアによって構成された各種機能を有しており、図示しているのは電磁石制御に関する機能のブロック図である。DSP4において、主制御演算部41は、A/D変換器3から入力されるディジタル変位信号に対して、比例及び微分演算処理を行う。主制御演算部41の比例・微分出力Updは、加算部44に入力される。一方、上記ディジタル変位信号は、積分演算部42にも入力され、ここで積分演算処理のみが行われる。このように、積分演算処理が、比例及び微分演算処理とは別に行われることにより、PID演算を1つの伝達関数として処理する場合よりも、演算速度を高めることができる。
【0010】
上記積分演算部42の積分出力Uiは、出力制限部(リミッタ)43に入力され、Ui≦Uimaxとなる所定の制限出力値の範囲に制限して出力される。出力制限部43で出力制限された積分出力Uiは、加算部44により比例・微分出力Updと合算され、出力U(=Upd+Ui)となる。出力Uは、さらに、出力部としての加算部45及び46においてバイアスと加算され、2つの励磁電流信号I1(=I0+U)、及び、I2(=I0−U)としてD/A変換器5に出力される。また、積分演算部42の出力Uiは、比較判定部47にも入力され、所定の警報値Uiaと比較される。ここで、Ui≧Uiaであれば、警報信号が比較判定部47からシリアル通信ボード8に出力される。従って、パーソナルコンピュータ9(図2)に、例えば「過負荷」としての警報信号の表示を行うことができる。なお、上記制限出力値Uimaxが、警報値Uiaより大きくなるように設定しておくことにより、積分出力Uiが制限される前に、警報信号を発することができる。
【0011】
上記のようなDSP4の動作によれば、出力制限部43により、積分出力Uiの増大が制限される。図3は、本実施形態の制御装置における制御特性を示すグラフであり、上から順に、静荷重Fs、動荷重Fd、変位M、及び、励磁電流信号I1,I2を示す。図示の静荷重Fs及び動荷重Fdが負荷されると、静荷重Fsの立ち上がりとともに励磁電流信号Iが動荷重に応じた周波数の高い振動を伴いながら増加し、I2は逆に減少する。ここで、励磁電流信号I1の平均値とバイアス電流I0との差が、積分出力Uiである。従って、Ui=Uimaxとなったときから励磁電流信号I1の平均値は一定となり、目標位置には位置決めできなくなる。このため、変位Mに示す定常偏差を許容した状態となる。しかし、積分出力Uiを制限したことにより、比例・微分出力Upd(周波数の高い振動成分)は確保される。従って、支持性能が維持され、振動を減衰させることができる。なお、積分出力Uiが制限される前に、警報信号が発生することにより、定常偏差の発生に対して、予め注意を喚起することができる。
【0012】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
請求項1の磁気軸受の制御装置によれば、積分演算部の出力は出力制限部により所定の制限出力値の範囲に制限されるので、回転体に大きな荷重が負荷された場合、積分出力の増大が制限され、他方、比例及び微分出力が確保される。従って、軸受の支持性能を維持して、回転体を安定して支持することができる。また、積分演算部は、比例演算及び微分演算を行う主制御演算部とは別に、積分演算のみを行うので、これらを1つの伝達関数として処理する場合に比べて、演算処理が速い。
【0013】
請求項2の磁気軸受の制御装置によれば、積分出力が増大して警報値に達すると、警報信号が出力され、荷重の増大を知らせることができるので、負荷の状態監視に便利である。
【0014】
請求項3の磁気軸受の制御装置によれば、積分出力の制限が開始されるより前に警報信号が出るので、積分出力の制限による定常偏差の発生に対して、予め注意を喚起することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による磁気軸受の制御装置における主要部(DSP)の機能的構成を示すブロック図である。
【図2】上記DSPを含む、磁気軸受の制御装置を示すブロック図である。
【図3】上記制御装置の制御特性を示すグラフである。
【符号の説明】
1 回転体
2 変位センサ
4 DSP
7 電磁石
41 主制御演算部
42 積分演算部
43 出力制限部
44,45,46 加算部
47 比較判定部

Claims (3)

  1. 回転体の変位を検出する変位センサの変位検出信号に基づいて、前記回転体を支持する電磁石を制御するディジタル信号処理装置を備え、このディジタル信号処理装置は、
    前記変位検出信号に基づくディジタル変位信号に対して積分演算のみを行う積分演算部と、
    前記積分演算部の出力 iを、所定の制限出力値の範囲に制限して出力する出力制限部と、
    前記変位検出信号に基づくディジタル変位信号に対して比例及び微分演算を行う主制御演算部と、
    前記出力制限部の出力と前記主制御演算部の出力 pdとを互いに加算して出力Uを得る加算部と、
    前記加算部の出力に基づいて、前記電磁石を制御するディジタル制御信号を出力する出力部とを備え
    前記出力U i が前記制限出力値を超える大きな荷重が前記回転体に負荷されたとき、前記出力制限部が出力U i を制限して出力することにより変位の定常偏差を許容しつつ出力Uの増大を抑制し、前記出力U pd はそのまま前記加算部で加算されることを特徴とする磁気軸受の制御装置。
  2. 前記積分演算部の出力値を所定の警報値と比較して、当該出力値が当該警報値に達した場合、警報信号を出力する比較判定部を備えたことを特徴とする請求項1記載の磁気軸受の制御装置。
  3. 前記出力制限部の制限出力値は、前記警報値より大きいことを特徴とする請求項記載の磁気軸受の制御装置。
JP20941199A 1999-07-23 1999-07-23 磁気軸受の制御装置 Expired - Fee Related JP3749805B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20941199A JP3749805B2 (ja) 1999-07-23 1999-07-23 磁気軸受の制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20941199A JP3749805B2 (ja) 1999-07-23 1999-07-23 磁気軸受の制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001032833A JP2001032833A (ja) 2001-02-06
JP3749805B2 true JP3749805B2 (ja) 2006-03-01

Family

ID=16572446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20941199A Expired - Fee Related JP3749805B2 (ja) 1999-07-23 1999-07-23 磁気軸受の制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3749805B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103939485A (zh) * 2013-10-30 2014-07-23 南京航空航天大学 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007263144A (ja) * 2006-03-27 2007-10-11 Jtekt Corp 磁気軸受装置
JP5025707B2 (ja) * 2009-10-23 2012-09-12 Ntn株式会社 磁気浮上型ポンプ装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103939485A (zh) * 2013-10-30 2014-07-23 南京航空航天大学 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器
CN103939485B (zh) * 2013-10-30 2017-02-01 南京航空航天大学 带有位移传感器自动标定功能的磁悬浮轴承数字控制器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001032833A (ja) 2001-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102224996B1 (ko) 전동식 파워 스티어링 시스템의 토크 보상 장치 및 방법
US4885491A (en) Unstable vibration prevention apparatus for magnetic bearing system
KR100644852B1 (ko) 자기베어링 보호장치 및 터보분자펌프
US20040263011A1 (en) Magnetic bearing apparatus
JP3749805B2 (ja) 磁気軸受の制御装置
US8853905B2 (en) Radial direction controller and magnetic bearing apparatus utilizing same
JP3464384B2 (ja) 制御信号処理装置及び制御信号処理装置を用いた電力系統安定化装置
JP3463218B2 (ja) 磁気軸受装置
JP3114089B2 (ja) 磁気軸受装置
JP3600261B2 (ja) 磁気軸受装置
JP3698773B2 (ja) ターボ分子ポンプ
JP2869725B2 (ja) 磁気軸受の制御装置
JP3074284B2 (ja) 磁気軸受の制御装置
JP2002349566A (ja) 磁気軸受制御装置
JP2002039178A (ja) 磁気軸受装置
JPH0612827U (ja) 磁気軸受装置
JP3625904B2 (ja) 磁気軸受装置
JPH048911A (ja) 磁気軸受装置
JP2736056B2 (ja) 電動機の速度制御装置
JPH05332360A (ja) 磁気軸受の制御装置
JPH08320020A (ja) 磁気軸受装置
JPH0965607A (ja) インナロータ型モータ
JPH11325072A (ja) 磁気軸受の制御装置及び制御方法
JPH0746874A (ja) 電動機の回転速度制御装置
JPH08149876A (ja) モータ駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040908

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050419

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050426

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050622

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051115

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081209

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091209

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101209

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101209

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111209

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111209

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121209

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121209

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131209

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees