JP3744687B2 - インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室と、この圧力発生室内にインク吐出の圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電振動子や発熱素子によって圧力発生室内に圧力を発生させ、その圧力によりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧力発生手段として圧力発生室内に駆動信号によりジュール熱を発生する抵抗線を設けたバブルジェット式のものと、圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電振動子により変形させてノズル開口からインク滴を吐出させる圧電振動式の２種類のものに大別される。また、圧電振動式のインクジェット式記録ヘッドには、圧電振動子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電振動子を使用したものと、たわみ振動モードの圧電振動子を使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
前者は圧電振動子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電振動子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電振動子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電振動子を作り付けることができる。
【０００５】
また、特開平５−２８６１３１号公報に見られるように、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電振動子を形成したものも提案されている。
【０００６】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、帯電した記録紙などの被記録物や外部からの静電気が記録ヘッド本体の金属部品に放電されて、記録ヘッド本体内の吐出手段やドライバＩＣ等を破壊する事態を防ぐために、ノズル板の周囲を覆う金属カバーを備えたり、ノズル板に配線を施してアースに落したりしている。
【０００７】
また、印刷品位をよくするためには、インク滴の速度差や、インク滴の曲がり吐出に起因するインク滴の着弾ズレを防ぐことが必要であり、そのために、例えば、紙、フィルム等の被記録物とノズルとの間隔であるペーパーギャップ又はプラテンギャップ（以下、ＰＧという）は、限りなく零に近い方がよい。しかし、被記録物の反りやうねりによって、ノズルと被記録物とが接触すると当然インクが付着して被記録物を汚してしまう。したがって、汚れを防ぐためにはできるだけＰＧを大きくすることが望ましい。この相反する要求の妥協点として、一般にＰＧ値は１ｍｍ前後に設定されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
一方、近年、さらに高品位印刷を実行するために、微小インク滴による高解像度印刷が必要となり、それに伴いインク滴の着弾位置精度もより正確さが要求されている。そのためには、ＰＧ値を例えば、０．１ｍｍでも小さくすることが必要となる。
【０００９】
しかしながら、記録ヘッドを金属カバー等で固定するためには、その厚さ、例えば、０．２〜０．３ｍｍの分だけ余計にＰＧ値を大きくしなければならないという問題がある。また、ノズル板を接地するには確実な電気接続が必要であり、且つ、その配線の引き回しについても記録ヘッドを構成する他の部品に対する影響を無くさなければならないという問題がある。さらには、記録ヘッドの小型化や組立性の向上、部品コストの削減等も要望されている。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、ＰＧ値をより小さくでき、組立性を向上したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと前記ノズル開口に連通する圧力発生室の列を有する流路形成基板と該流路形成基板の一方面側に設けられて前記圧力発生室にインク吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段とを具備する記録ヘッド本体と、インク供給手段と前記圧力発生室とを連通するインク流路を有し且つ前記記録ヘッド本体を保持固定するヘッドケースとを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記記録ヘッド本体は、前記ヘッドケースの被印刷物に対向する端面に設けられると共に、当該記録ヘッド本体の前記被印刷物に対する側の全面が前記流路形成基板の他方面側に接合された前記ノズルプレートで構成され、且つ前記ヘッドケースの前記端面の少なくとも前記記録ヘッド本体の周囲には少なくとも一部で接地された導電層が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１２】
かかる第１の態様では、ヘッド周囲の静電気がヘッドケースの導電層を介して外部へ放電され、記録ヘッド本体の金属部品に帯電することがない。
【００１３】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記ヘッドケースの被印刷物に対向する端面に設けられた凹部内に、前記記録ヘッド本体が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１４】
かかる第２の態様では、記録ヘッド本体が、ヘッドケースの凹部内に保持固定され、その周囲に導電層が設けられる。
【００１５】
本発明の第３の態様は、第２の態様において、前記凹部の周縁部が、その中に設けられた前記記録ヘッド本体よりも突出していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１６】
かかる第３の態様では、印刷時の記録ヘッド本体と被印刷物との接触が防止され、また、静電気が記録ヘッド本体の周囲の導電層へ放電され易い。
【００１７】
本発明の第４の態様は、第２又は３の態様において、前記導電層は、前記ヘッドケースの端面の記録ヘッド本体以外の部分及びその側面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００１８】
かかる第４の態様では、ヘッドケースの端面で静電気を受け、側面から放電することができる。
【００１９】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記ヘッドケースは、導電性樹脂で形成され、前記導電層が一体的に設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２０】
かかる第５の態様では、導電層をヘッドケース本体と一体的に形成することができる。
【００２１】
本発明の第６の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記導電層は、前記ヘッドケースに導電性塗料を塗布することにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２２】
かかる第６の態様では、導電層を容易に形成することができる。
【００２３】
本発明の第７の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記導電層は、前記ヘッドケースに導電性箔をホットスタンプで転写することにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２４】
かかる第７の態様では、導電層を容易に形成することができる。
【００２５】
本発明の第８の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記導電層は、前記ヘッドケースにメッキを施すことにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２６】
かかる第８の態様では、導電層を容易に形成することができる。
【００２７】
本発明の第９の態様は、第１〜８の何れかの態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室の一方面に設けられた弾性膜上に配設された圧電振動子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００２８】
かかる第９の態様では、各圧電振動子の駆動によりインク滴を吐出することができる。
【００２９】
本発明の第１０の態様は、第９の態様において、前記流路形成基板がセラミックスで形成され、前記圧電振動子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００３０】
かかる第１０の態様では、グリーンシートを積層して焼成することによりヘッドを容易に製造することができる。
【００３１】
本発明の第１１の態様は、第９の態様において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記圧力発生室が異方性エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が薄膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００３２】
かかる第１１の態様では、高密度のノズル開口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ比較的容易に製造することができる。
【００３３】
本発明の第１２の態様は、第１〜８の何れかの態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室内に設けられた発熱素子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。
【００３４】
かかる第１２の態様では、各発熱素子を加熱することにより、インク滴を吐出することができる。
【００３５】
本発明の第１３の態様は、第１〜１２の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。
【００３６】
かかる第１３の態様では、静電気から記録ヘッドを保護しつつ、ＰＧを小さくできるので、高品位印刷が実行可能で信頼性の高いインクジェット式記録装置が実現される。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３８】
（実施形態１）
図１は本発明に使用するインクジェット式記録ヘッドの一例を概略を示す斜視図、図２はその断面図、図３は、ヘッドケースの断面図である。
【００３９】
本実施形態に係るインクジェット式記録ユニット１は、図示するように、インクジェット式記録ヘッドを構成するヘッドケース２及び記録ヘッド本体３と、大略インクカートリッジ４を収容するインクカートリッジ収容室５ａを画成するホルダ５とを有する。
【００４０】
ヘッドケース２は、ホルダ５の底面部に固定されている。そして、ヘッドケース２の下端部には、記録ヘッド本体３を固定するための凹部２ａが形成され、この凹部２ａ内に、記録ヘッド本体３が、例えば、接着剤等で固定されている。また、この凹部２ａは、少なくとも記録ヘッド本体３の厚さよりも深く形成することが好ましく、且つ記録ヘッド本体３の端面とヘッドケース２の端面との差は、極力小さい方が好ましい。例えば、本実施形態では、両者の端面の差を約０．０５ｍｍとなるように形成した。これにより、記録ヘッド本体３をヘッドケース２に固定した際、記録ヘッド本体３の端面がヘッドケース２の端面よりも突出しないようにしている。
【００４１】
また、ヘッドケース２には、記録ヘッド本体３とインクカートリッジ４とを連通するインク流路２ｂが設けられており、インク流路２ｂの記録ヘッド本体３とは反対側の端部には、インクカートリッジ４に挿入されるインク供給針６が固定されている。
【００４２】
このようなヘッドケース２は、本実施形態では、インク溶媒に対する耐久性、ガスバリア性、射出成形性、熱溶着性、及び接着性を備えた高分子材料、例えば、環状オレフィンコポリマ樹脂等に、例えば、カーボンブラック、金属粉末又は金属酸化物などを導電性フィラーを混入させて導電性を付与した導電性樹脂で形成されている。
【００４３】
一方、ホルダ５の上部には、インクカートリッジ４を固定すると共に、収容室５ａへのインクカートリッジ４の押し込み、及び引き上げを行うインクカートリッジ固定レバー７が設けられている。
【００４４】
また、ホルダ５の後面には、記録ヘッド本体３を駆動する駆動回路を実装した回路基板８が配設され、フレキシブルケーブル９により記録ヘッド本体３に接続されている。
【００４５】
ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドに用いられる記録ヘッド本体の一例を示す。図４、記録ヘッド本体の一例を示す断面図である。
【００４６】
このような記録ヘッド本体は、例えば、図４に示すように、圧力発生室３１が形成された流路形成基板３２の一方面に、弾性膜３３が形成されている。そして、この弾性膜３３上には、下電極膜３４、圧電体膜３５及び上電極膜３６が積層及びパターニングされ、各圧力発生室３１毎に圧電振動子３００を構成している。この圧電振動子３００上には、電気絶縁性を備えた絶縁体層３７が形成され、さらに、絶縁体層３７の各圧電体振動子３００に対応する部分には、リード電極３８と接続するために上電極膜３６の一部を露出させるコンタクトホール３７ａが形成されている。このコンタクトホール３７ａを介して、各上電極膜３６に一端が接続し、また他端が接続端子部に延びるリード電極３８が形成されている。
【００４７】
一方、流路形成基板３２の他方面側には、ノズル４１ａが穿設されたノズル形成基板４１が設けられ、このノズル４１ａと圧力発生室３１とを連通するノズル連通孔４２が封止板４３、共通インク室形成基板４４、薄肉板４５、及びインク室側板４６を貫通するように配されている。
【００４８】
また、封止板４３、共通インク室形成基板４４及び薄肉板４５により、共通インク室４７が形成されている。この共通インク室４７と各圧力発生室３１とは封止板４３に形成されたインク供給連通孔４８を介して連通されており、また、封止板４３には、外部からインク供給を受けるインク導入口４９が形成されている。また、この共通インク室４７に対向する部分のインク室側板４６に開口４６ａが形成されている。この開口４６ａ部分の薄肉壁４５により、インクを吐出する際に発生するノズル４１ａと反対側に向かう圧力が吸収され、他の圧力発生室３１に、共通インク室４７を経由して不要な正又は負の圧力が加わるのを防止している。
【００４９】
このような記録ヘッド本体３は、上述のように、ヘッドケース２の凹部２ａに接着剤を介して固着され、インク導入口４９とインク流路２ｂとが連通され、このインク導入口４９から共通インク室４７にインクが供給され、インク供給連通孔４８を介して各圧力発生室３１に分配される。そして、ノズル４１ａに至るまで内部をインクで満たした後、図示しない外部の駆動回路からの記録信号に従い、リード電極３８を介して下電極膜３４と上電極膜３６との間に電圧を印加し、弾性膜３３、下電極膜３４及び圧電体膜３５を撓み変形させることにより、圧力発生室３１内の圧力が高まりノズル４１ａからインクを吐出する。
【００５０】
上述のような構成のインクジェット式記録ユニットは、その後、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、本実施形態に係るインクジェット式記録ユニットが搭載されるインクジェット式記録装置の概略図であり、図６は、その要部を示す断面図である。
【００５１】
インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ４Ａ及び４Ｂが着脱可能に設けられ、キャリッジ１０に搭載される。また、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂは、印刷の際に、記録ヘッド本体３のノズル開口と記録シートＳとの距離、いわゆるＰＧ値が約０．８ｍｍとなるように搭載されている。なお、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５２】
この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ１０は、装置本体１１に取り付けられたキャリッジ軸１２に軸方向移動自在に設けられている。そして、本実施形態では、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂのヘッドケース２の側面とキャリッジ軸１２とを接続する接地板１３が設けられている。この接地板１３は、ヘッドケース２の静電気を放電するためのものであり、例えば、ステンレス鋼板等の金属で形成されている。
【００５３】
また、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂのキャリッジ１０側近傍には、例えば、紙等の記録媒体である記録シートＳを搬送するための給紙ローラ１４及び紙押さえローラ１５Ａが対向して設けられ、また、記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂの反対側には、記録シートＳを排出するための紙送りローラ１６及び紙押さえローラ１５Ｂが対向して設けられている。また、これら給紙ローラ１４と紙送りローラ１６との間には、記録シートＳのガイドとなる一対の紙案内１７が設けられている。
【００５４】
これにより、記録シートＳは、給紙ローラ１４を回転させることにより、対向する紙押さえローラ１５Ａとの間から一対の紙案内１７の間を通して、記録ヘッド本体３に対向するように給紙される。そして、駆動モータ１８の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１９を介してキャリッジ１０に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ１０はキャリッジ軸１２に沿って移動され、記録ヘッド本体３によって記録シートＳへの印刷が実行される。その後、記録シートＳは、紙送りローラ１６及び紙押えローラ１５Ｂによって排出される。
【００５５】
このようにして、記録シートＳを搬送して、記録ヘッド本体３によって印刷を実行する際には、記録シートＳの摩擦等により静電気が発生するが、本実施形態では、上述のように、ヘッドケース２を導電性樹脂で形成し、ヘッドケース２の側面とキャリッジ軸１２とを接地板１３で接続しているため、静電気がヘッドケース２及び接地板１３を介してキャリッジ軸１２に放電される。したがって、印刷の際等に、静電気が記録ヘッド本体３の金属部品に帯電することなく、静電気による記録ヘッドの破壊等を防止することができる。
【００５６】
さらに、本実施形態では、記録ヘッド本体３の端面とヘッドケース２の端面との差を小さくすることにより、ＰＧ値を小さくしたので、インク滴の着弾位置精度を向上することができる。
【００５７】
（実施形態２）
図７は、実施形態２に係るヘッドケースの断面図及び平面図である。
【００５８】
本実施形態は、ヘッドケース２を導電性を付与した樹脂で形成する代わりに、例えば、環状オレフィンコポリマ樹脂等で射出成形等によって形成し、図７に示すように、ヘッドケース２の記録ヘッド本体３側の端面及び側面に導電性塗料を塗布して、導電性を有する導電層２０を形成した。そして、記録ヘッド本体３の側面側の導電層２０とキャリッジ軸１２とを接地板１３で接続するようにした以外は、実施形態１と同様である。
【００５９】
このような構成においても、静電気が導電層２０及び接地板１３を介してキャリッジ軸１２に放電され、実施形態１と同様に、記録ヘッド本体３の金属部品が帯電することがなく、静電気による記録ヘッド本体の破壊等が防止される。
【００６０】
また、この導電層２０は、導電性塗料で形成することに限定されず、例えば、導電性箔で形成するようにしてもよい。導電層２０を導電性箔で形成する方法としては、特に限定されないが、例えば、図８に示すように、支持台５１上に固定したヘッドケース２上に導電性箔５２を配置し、ヘッドケース２とは反対側から、例えば、熱板５３等によって熱したシリコーンゴム５４を押しつける、いわゆる、ホットスタンプによって転写することにより形成することができる。
【００６１】
また、導電層２０は、例えば、ヘッドケース２に導電性皮膜となるメッキを施すことにより形成するようにしてもよい。このヘッドケース２へのメッキ方法としては、特に限定されず、ヘッドケース２上に確実にメッキできる方法であればよい。
【００６２】
ここで、ヘッドケース２へのメッキ方法の一例を示す。図９は、本実施形態のメッキ方法の工程を示す図である。
【００６３】
まず、図９（ａ）に示すようにヘッドケース２を射出成形等により形成する。次いで、図９（ｂ）に示すように、例えば、ヘッドケース２の表面を硫酸等によりエッチングして、表面を粗くする。次いで、図９（ｃ）に示すように、例えば、ＰｄＣｌ₂とＳｎＣｌ₂とを含む溶液を反応させて、ヘッドケース２の粗くした表面にＰｄ核６１を付着形成する。なお、付着させる核は、Ｐｄ核に限定されず、例えば、Ａｇ核であってもよい。次に、図９（ｄ）に示すように、無電解ニッケルメッキ液に浸して、Ｐｄ核６１の周りに導電性皮膜であるニッケル層６２を約１μｍ程度に形成、成長させる。その後、図９（ｅ）に示すように、通常の電解ニッケルメッキで所定の厚さ、例えば、本実施形態では、約１０μｍ程度の厚さにニッケル層６２を形成し、このニッケル層６２を導電層２０として用いる。
【００６４】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６５】
例えば、上述の各実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型の記録ヘッド本体を有するインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の記録ヘッド本体を有するインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。
【００６６】
また、上述の実施形態では、たわみ変位型の圧電振動子を有する記録ヘッド本体を有するインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、例えば、圧電材料と電極形成材料とをサンドイッチ状に交互に挟んで積層した構造の縦振動モードの圧電振動子を有する記録ヘッド本体を有するインクジェット式記録ヘッドにも応用することができる。
【００６７】
さらに、上述した圧電振動式のものに限定されず、例えば、バブルジェット式のもの等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドに応用することができることはいうまでもない。
【００６８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、印刷時などに発生する静電気をヘッドケースを介して放電させることができるので、記録ヘッド本体の金属部品等に静電気が帯電することがない。したがって、静電気による記録ヘッド本体の破壊等を防止することができる。また、記録ヘッド本体を保護する金属カバーを必要としないので、ＰＧ値をより小さくすることができ、インク滴の着弾位置精度を向上することができ、高品位印刷を実現することができる。さらには、部品点数が減少するため、組立性の向上及びコストの削減等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ユニットの組立斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ユニットの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１の係るヘッドケースの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッド本体の一例を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。
【図７】本発明の実施形態２に係るヘッドケースの断面図及び平面図である。
【図８】本発明の実施形態２に係る導電層の形成方法の一例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態２に係る導電層の形成方法の一例を示す図である。
【符号の説明】
１ インクジェット式記録ユニット
２ ヘッドケース
２ａ 凹部
２ｂ インク流路
３ 記録ヘッド本体
４ インクカートリッジ
５ ホルダ
１３ 接地板
２０ 導電層

Claims (13)

1. ノズル開口が穿設されたノズルプレートと前記ノズル開口に連通する圧力発生室の列を有する流路形成基板と該流路形成基板の一方面側に設けられて前記圧力発生室にインク吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段とを具備する記録ヘッド本体と、インク供給手段と前記圧力発生室とを連通するインク流路を有し且つ前記記録ヘッド本体を保持固定するヘッドケースとを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
   前記記録ヘッド本体は、前記ヘッドケースの被印刷物に対向する端面に設けられると共に、当該記録ヘッド本体の前記被印刷物に対する側の全面が前記流路形成基板の他方面側に接合された前記ノズルプレートで構成され、且つ前記ヘッドケースの前記端面の少なくとも前記記録ヘッド本体の周囲には少なくとも一部で接地された導電層が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
2. 請求項１において、前記ヘッドケースの被印刷物に対向する端面に設けられた凹部内に、前記記録ヘッド本体が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
3. 請求項２において、前記凹部の周縁部が、その中に設けられた前記記録ヘッド本体よりも突出していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
4. 請求項２又は３において、前記導電層は、前記ヘッドケースの端面の記録ヘッド本体以外の部分及びその側面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
5. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記ヘッドケースは、導電性樹脂で形成され、前記導電層が一体的に設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
6. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記導電層は、前記ヘッドケースに導電性塗料を塗布することにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
7. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記導電層は、前記ヘッドケースに導電性箔をホットスタンプで転写することにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
8. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記導電層は、前記ヘッドケースにメッキを施すことにより形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
9. 請求項１〜８の何れかにおいて、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室を成した流路形成基板の一方面に設けられた弾性膜上に配設された圧電振動子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
10. 請求項９において、前記流路形成基板がセラミックスで形成され、前記圧電振動子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
11. 請求項９において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記圧力発生室が異方性エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が薄膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
12. 請求項１〜８の何れかにおいて、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室内に設けられた発熱素子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
13. 請求項１〜１２の何れかのインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。

Images