JP3727147B2 - エピタキシャルウェハの製造方法およびその製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する分野】
本発明は、エピタキシャルウェハを製造するエピタキシャルウェハの製造方法およびその製造装置であって、反応炉内部にサセプターを収納し、その上に半導体ウェハを載置してエピタキシャルを成長させる枚葉式のエピタキシャルウェハの製造方法およびその製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
エピタキシャルウェハ製造装置によりエピタキシャルウェハを製造する際においては、精度を高めることができることと、自動化の容易性から枚葉式の製造装置が最も普及している。
この枚葉式の製造装置においては、エピタキシャル成長処理を行う反応炉内に収納され、サセプターの上に載置されて加熱されているウェハに対し、SiHCl3やHCl といったソースガスを流入させ、ウェハ表面にエピタキシャルを成長させる。
【0003】
この反応炉の内周壁は、金属汚染を防止する目的で石英やファインセラミックといった非金属で形成され、その外周壁は金属で形成されている。
したがって、この反応炉の構成は例えば図8に示すように、外周壁を形成するベースプレート3と、このベースプレート3の内周側に配置し積層されることにより内周壁を形成する下部ライナー5および上部ライナー6と、この内周壁の上下を密閉する上部ドーム71と下部ドーム72と、ソースガス噴出部91と、ソースガス排出部92とからなり、その内部に半導体ウェハ(図示せず)を載置するサセプター8が収納されている。尚、上部ドーム71および下部ドーム72はクランプリング30によりそれぞれ固定されている。
【0004】
この下部ライナー5を図8のE−E線上から見ると、図9に示す平面図のようになる。つまり、下部ライナー5およびベースプレート3は共に略ドーナッツ状に形成され、図8の要部拡大図である図10に示すように、下部ライナー5の外周面51および上部ライナー6の外周面61は、ベースプレート3の内周面31にほぼ全体に渡って接触している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これらのSiHCl3やHCl といったソースガスは、ベースプレート3と上下ライナー5、6との接触部分35に流入することができる上に、水分の存在下で激しい腐食性を有しているため、金属部分であるベースプレートと石英質のライナーとの接触部分35に水分が存在した場合は、この部分に重金属汚染が生じる。すなわち、反応炉を新規に使用する前または定期保守点検整備において、反応炉内部が外気に晒された際、ソースガスは空気中に含まれる水分の存在下でベースプレートと反応して重金属汚染を生じる結果となる。これらの重金属汚染は、徐々に蒸発するか、またはダストとして反応炉内に侵入してウェハを汚染することになる。
【0006】
高品質のエピタキシャルウェハを製造するにあたっては、この重金属汚染レベルを下げることが要求され、その重金属汚染を低減させるためには、新規使用または定期保守点検整備後において、少なくとも70枚以上、望ましくは100枚以上のダミーランを行うことにより反応炉内の浄化をし、例えば図5に示すようにそのFe濃度を1012atoms/cc以下にしている。
【0007】
しかしながら、上記したようにこの重金属汚染を要求される規格値まで低下させるためには少なくとも70枚以上のダミーランを行う必要があり、これに使用される半導体ウェハが廃棄処分され、このダミーランにかかるコスト及び時間が無駄になるという問題点があった。
また、量産開始後のエピタキシャル成長においても、図6に示すようにこの
Fe濃度の低下は1011atoms/cc程度であり、従来の反応炉ではこれ以上の低減は望めなかった。
【0008】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、定期保守点検整備等において反応炉内に生じる重金属汚染を大幅に低減させると共に、エピタキシャル成長中においてもこの重金属汚染の影響を受けないエピタキシャルウェハの製造方法およびその製造装置を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
このため本発明では、反応炉内で半導体ウェハとソースガスとを反応させてエピタキシャルを成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、反応炉の外壁を形成するベースプレートと、該反応炉の内周壁を形成するライナーとの間にパージガスを流入させながら前記エピタキシャルを成長させるようにしたものである。
【0010】
また、反応炉内で半導体ウェハとソースガスとを反応させてエピタキシャルを成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、エピタキシャル成長以外の保守点検整備の作業中において、反応炉の外壁を形成するベースプレートと、該反応炉の内周壁を形成するライナーとの間にパージガスを流入させるようにしたものである。
そして、反応炉内で半導体ウェハとソースガスとを反応させてエピタキシャルを成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、反応炉の外壁を形成するベースプレートと、該反応炉の内周壁を形成するライナーとの間にパージガスを流入させながら前記エピタキシャルを成長させ、前記エピタキシャル成長以外の保守点検整備の作業中においては、前記ベースプレート及び前記ライナーの間に異なるパージガスを流入させるようにしたものである。
【0011】
さらに、ソースガス噴出部と、ソースガス排出部と、外周壁を形成するベースプレートと、該ベースプレートの内周側に設けられ内周壁を形成するライナーと、該内周壁の上下部分をそれぞれ密閉する下部ドームおよび上部ドームとからなる反応炉を備えたエピタキシャルウェハ製造装置において、前記ベースプレートと前記ライナーとの間に連通したパージガス噴出装置を設けたものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明は、エピタキシャルウェハ製造装置の反応炉内において発生する金属汚染を低減させることを目的としている。その手段としては、ソースガスとは異なるガスを反応炉内に流入させることにより浄化(以下、「パージ」と称する)をし、ソースガスと金属部分と水分の3要素の共存を極限させると共に、結果的に発生した微少な金属汚染源を効率的に排除するようにしたものである。
特に、この金属汚染は上記したようにライナーとその外周面に当接して反応炉の外壁を形成するベースプレートとの接触面に最も発生していたことから、この部分にパージガスを均等に流入できるように反応炉を構成している。
【0013】
また、このパージガスの流入はエピタキシャル成長中およびそれ以外の定期保守点検整備等の間の双方において行うと最も効果的である。エピタキシャル成長中においては、その成長に影響を与えない水素ガスを流す。一方、それ以外の大気に晒される工程中においては、水素ガスが室内に流れ出すと火災や爆発の原因となるため、窒素ガスまたはArなどの不活性ガスを流入させる。
【0014】
このパージガスを流入させる手段としては、パージガス噴出装置をベースプレートとライナーとの間に連通させ、これに連通すると共に、ベースプレートとライナーとの間にその周回に沿ってパージガス流入溝を形成することにより、パージガス噴出装置からのパージガスがベースプレートとライナーとの間にスムーズにしかも均一に流入するように設けている。
【0015】
さらに、ライナーにその外周側と内周側とを連通する連通穴を形成し、この連通穴の内周側から反応炉内に流出するパージガスが、ライナーの内周壁に沿って流れるような方向に連通穴を形成している。これにより、反応炉内部に流れたパージガスは渦流を発生させながらサセプター下方に流れ、ソースガスの流入には影響を与えないように設けられている。
【0016】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図1は本発明に係るエピタキシャルウェハ製造装置の反応炉の一部切断側面図、図2は図1のA−A線から見た上部ドームを取り外した状態を仮想した反応炉の平面図、図3は図2のD−D線における反応炉の要部断面図、図4は図1のB−B線における平面断面図、図5は図1のC−C線における平面断面図、図6はダミーランにおけるFe濃度の変化を従来技術と比較するグラフ、図7は量産におけるFe濃度の変化を従来技術と比較するグラフである。
【0017】
図1に示すように、本実施例のエピタキシャルウェハ製造装置は枚葉式の製造装置であり、従来の反応炉と同様に外周壁を形成するベースプレート3と、このベースプレート3の内周側に配置し積層されることにより内周壁を形成する下部ライナー2および上部ライナー4と、この内周壁の上下を密閉する上部ドーム71と下部ドーム72と、ソースガス噴出部91と、ソースガス排出部92とからなり、その内部にサセプター8が収納され、上部ドーム71および下部ドーム72はクランプリング30によりそれぞれ固定されている。尚、上下部ライナー2、4は石英により形成されている。
【0018】
図2に示すように、本実施例の反応炉には、その内部にパージガスを流入させるパージガス噴出装置1が設けられ、図3に示すようにこのパージガス噴出装置1は噴出管11、12を介して、上部ライナー4とベースプレート3との間に形成された間隙43、および下部ライナー2とベースプレート3との間に形成された間隙23に連通している。また、ベースプレート3の内周面には間隙23、43へのパージガスの流入をよりスムーズにするためのパージガス流入溝32、34が形成されている。
【0019】
図4に示すように、間隙43は上部ライナー4とベースプレート3との間に周回して形成され、パージガス流入溝34もまたこの間隙43に倣って周回して形成されている。また、上部ライナー4にはその内部と間隙43とを連通させる連通穴41が形成されている。
【0020】
図5に示すように、間隙23は下部ライナー2とベースプレート3との間の一部に円弧状に形成され、パージガス流入溝32もまたこの間隙23に倣って円弧状に形成されている。
【0021】
尚、半導体ウェハ(図示せず)にエピタキシャルを成長させるにあたっては、ウェハ挿入部9から半導体ウェハを挿入してサセプタ8上に載置し、ソースガス噴出部91からソースガスを流入させ、ソースガス排出部92から排出することによりなされる。
【0022】
次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の製造装置を使用してエピタキシャルウェハを製造するにあたっては、エピタキシャル成長中およびそれ以外の保守点検整備等の作業中において、それぞれ種類の異なるパージガスを流入させてパージする。
【0023】
まず、保守点検整備等の作業中においては、パージガスとしての窒素ガスを 0.5 l/分のレートで、間隙23および間隙43の両方に流入させる。これにより、外気がこの間隙23、43に入り込むのを防止するため、従来、保守点検整備等の作業中に生じていた水分の付着がなく、ソースガスが流入した場合の反応を防止できる。
【0024】
つぎに、エピタキシャル成長中においては、腐食性がなく、エピタキシャル成長に影響を与えない水素ガスをパージガスとして流入させる。このパージガスは2.0 l/分のレートで、間隙23および間隙43の両方に流入される。これにより、ソースガスがこれら間隙に入ることを防ぐことができる。図4に示すように、間隙43に流入したパージガスの殆どは、連通穴41を通って反応炉の内部に排出されるが、連通穴41が上部ライナー4の内周面の接線方向に形成されているため、排出されたパージガスは渦流となって、半導体ウェハ近くでソースガスの流入に合流し、エピタキシャル成長に影響をあたえることはない。
【0025】
Fe濃度により本実施例の反応炉と従来技術の反応炉における重金属汚染状態を比較すると、図6及び図7に示すような結果を得られた。
すなわち、図6に示すように定期保守点検整備後の本発明におけるFe濃度は従来の約10分の1である。また、このダミーラン開始前におけるFe濃度は従来の反応炉における100枚のダミーラン終了後の値と略同じである。
さらに、ダミーラン後の量産においても図7に示すように汚染レベルが従来より大幅に低い約1010atoms/ccを維持できる。
【0026】
尚、上記実施例においては、上下ライナー2、4の外周部に凹部を形成することにより間隙23、43を形成し、ベースプレート3の内周側にパージガス流入溝32、34を形成していたが、これに限られるものではなく、ライナーとベースプレートとの間に間隙とパージガス流入溝が形成されていればよい。
また、ライナーとベースプレートとの間の間隙が、パージガスを均一にスムーズに流入させることができるように形成されていれば、必ずしもパージガス流入溝を設ける必要はない。
【0027】
さらに、上記実施例においては、エピタキシャル成長中に水素ガスを、作業中に窒素ガスをパージガスとして流入させていたが、これに限られるものではなく、例えばHeやArといった不活性ガスでも同様の効果を得られる。
【0028】
【発明の効果】
本発明では以上のように構成したので、定期保守点検整備等のエピタキシャル成長以外において外気との接触により反応炉内に生じる重金属汚染を大幅に低減させ、エピタキシャル成長中においてもこの重金属汚染の影響を受けないという優れた効果がある。また、量産開始後においても従来の反応炉に比し重金属汚染レベルを大幅に低減することができ、より高品質なエピタキシャルウェハを製造することができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るエピタキシャルウェハ製造装置の反応炉の一部切断側面図である。
【図2】図1のA−A線から見た上部ドームを取り外した状態を仮想した反応炉の平面図である。
【図3】図2のD−D線における反応炉の要部断面図である。
【図4】図1のB−B線における平面断面図である。
【図5】図1のC−C線における平面断面図である。
【図6】ダミーランにおけるFe濃度の変化を従来技術と比較するグラフである。
【図7】量産におけるFe濃度の変化を従来技術と比較するグラフである。
【図8】従来技術の枚葉式のエピタキシャルウェハ製造装置の構成を示す一部切断側面図である。
【図9】図8のE−E線から見たベースプレートとライナーの関係を示す平面図である。
【図10】図9のF−F線から見た要部拡大側面断面図である。
【符号の説明】
1‥‥‥パージガス噴出装置
11‥‥噴出管
12‥‥噴出管
2‥‥‥下部ライナー
23‥‥間隙
3‥‥‥ベースプレート
30‥‥クランプリング
32‥‥内周面
32‥‥パージガス流入溝
34‥‥パージガス流入溝
35‥‥接触部分
4‥‥‥上部ライナー
41‥‥連通穴
43‥‥間隙
5‥‥‥下部ライナー
51‥‥外周面
6‥‥‥上部ライナー
61‥‥外周面
71‥‥上部ドーム
72‥‥下部ドーム
8‥‥‥サセプター
9‥‥‥ウェハ挿入部
91‥‥ソースガス噴出部
92‥‥ソースガス排出部
Claims (10)
- 反応炉内で半導体ウェハとソースガスとを反応させてエピタキシャルを成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、
反応炉の外壁を形成するベースプレートと、該反応炉の内周壁を形成するライナーとの間にパージガスを流入させながら前記エピタキシャルを成長させることを特徴とするエピタキシャルウェハの製造方法。 - 反応炉内で半導体ウェハとソースガスとを反応させてエピタキシャルを成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、
エピタキシャル成長以外の保守点検整備の作業中において、反応炉の外壁を形成するベースプレートと、該反応炉の内周壁を形成するライナーとの間にパージガスを流入させることを特徴とするエピタキシャルウェハの製造方法。 - 反応炉内で半導体ウェハとソースガスとを反応させてエピタキシャルを成長させるエピタキシャルウェハの製造方法において、
反応炉の外壁を形成するベースプレートと、該反応炉の内周壁を形成するライナーとの間にパージガスを流入させながら前記エピタキシャルを成長させ、
前記エピタキシャル成長以外の保守点検整備の作業中においては、前記ベースプレート及び前記ライナーの間に異なるパージガスを流入させることを特徴とするエピタキシャルウェハの製造方法。 - パージガスが不活性ガスであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のエピタキシャルウェハの製造方法。
- エピタキシャル成長時のパージガスが水素ガスであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエピタキシャルウェハの製造方法。
- エピタキシャル成長以外において流入させるパージガスが窒素ガス又はArガスであることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のエピタキシャルウェハの製造方法。
- ソースガス噴出部と、ソースガス排出部と、外周壁を形成するベースプレートと、該ベースプレートの内周側に設けられ内周壁を形成するライナーと、該内周壁の上下部分をそれぞれ密閉する下部ドームおよび上部ドームとからなる反応炉を備えたエピタキシャルウェハ製造装置において、
前記ベースプレートと前記ライナーとの間に連通したパージガス噴出装置が設けられたことを特徴とするエピタキシャルウェハ製造装置。 - パージガス噴出装置に連通すると共に、ベースプレートとライナーとの間にその周回に沿ってパージガス流入溝が形成されたことを特徴とする請求項7記載のエピタキシャルウェハ製造装置。
- ライナーにその外周側と内周側とを連通する連通穴を形成したことを特徴とする請求項7記載のエピタキシャルウェハ製造装置。
- ライナーに形成された連通穴の内周側から反応炉内に流出するパージガスが、ライナーの内周壁に沿って流れるように前記連通穴が形成されたことを特徴とする請求項9記載のエピタキシャルウェハ製造装置。
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- 1997-08-12 JP JP21728297A patent/JP3727147B2/ja not_active Expired - Lifetime
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