JP3718409B2 - プリズムの蒸着方法および光学素子 - Google Patents
プリズムの蒸着方法および光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3718409B2 JP3718409B2 JP2000140324A JP2000140324A JP3718409B2 JP 3718409 B2 JP3718409 B2 JP 3718409B2 JP 2000140324 A JP2000140324 A JP 2000140324A JP 2000140324 A JP2000140324 A JP 2000140324A JP 3718409 B2 JP3718409 B2 JP 3718409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- prism
- prisms
- vapor deposition
- support frame
- optical element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数個のプリズムに蒸着膜を同時に形成するための蒸着方法、および当該蒸着方法に蒸着膜が形成されたプリズムを貼り合わせることにより構成される光学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ピックアップ装置等の光学機器においては偏光方向に応じて光を分離する偏光分離素子が使用されている。偏光分離素子としてはプリズム合成体からなるものが知られており、例えば、図３（ａ）に示す直角プリズム１の斜面２（図において斜線で示す面）に誘電体多層膜を蒸着し、図３（ｂ）に示すように、このように構成した２個のプリズム１（１）、１（２）の誘電体多層膜２（１）、２（２）が形成されている面を接着剤層３を介して相互に貼り合わせることにより構成されている。
【０００３】
プリズム１の斜面２すなわち蒸着膜形成面に誘電体膜を蒸着するための蒸着機としては、矩形のプリズム支持枠に多数個のプリズムを並べ、このプリズム支持枠を密閉されたチャンバ内に設置されている回転式ドームの表面に多数個取り付け、回転式ドームを回転させながら、１回の蒸着工程で多数個プリズムに対して同時に蒸着を行なうように構成したものがある。
【０００４】
図４（ａ）には、かかる蒸着機におけるプリズム支持枠を示してある。プリズム支持枠４は、矩形の枠本体５と、その対向する枠部分６、７に形成した段面６ａ、７ａを備えており、各プリズム１（ｎ）（ｎは正の整数であり、図示の例ではｎ＝１ないし５である。）は、その長手方向の両端がそれぞれ段面６ａ、７ａに架け渡された状態で並べられる。一般に、各プリズム１（１）ないし１（５）に応力がかからないように、各プリズム１（１）ないし１（５）は自重で段面６ａ、７ａ上に乗っているのみであり、移動が自由となっている。
【０００５】
並べられた各プリズム１（１）ないし１（５）は、図４（ｂ）に示すように、その蒸着膜形成面２を下向きにした状態で、相互の角１ａ、１ｂが接するように（線接触状態となるように）配列される。段面６ａ、７ａは同一平面上にあるので、プリズム支持枠４に並べた各プリズム１（１）ないし１（５）の蒸着膜形成面２（１）ないし２（５）も同一平面上に位置し、各蒸着膜形成面に対して同一の方向から蒸着が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、蒸着機の回転式ドームは蒸着中においては回転駆動されるので、回転運動に起因してドームに取り付けれているプリズム支持枠に振動が伝わり、当該プリズム支持枠に並べられているプリズム１（１）ないし１（５）にも振動が伝わる。各プリズム１（１）ないし１（５）は単にプリズム支持枠上に乗っているだけなので、上下の移動は自由となっている。この結果、プリズム支持枠に並べられている各プリズム１（１）ないし１（５）が上下に振動して、配列がばらけて、プリズムの角が相互に重なり合ってしまうおそれがある。
【０００７】
例えば、図５（ａ）に示すように整列配置されていたプリズム１（３）、１（４）が、振動することにより、図５（ｂ）に示すように、一方のプリズム１（３）の角１ｂの上に、他方のプリズム１（４）の角１ａが乗り上げた状態になる場合がある。
【０００８】
このような事態が発生すると、同一平面上に形成されていた各プリズムの蒸着膜形成面２（３）、２（４）のうち、蒸着膜形成面２（４）が傾斜した状態になる。この結果、蒸着方向が正規の角度からずれてしまい、形成された誘電体膜の特性が所期の特性と異なってしまう。
【０００９】
本発明の課題は、この点に鑑みて、蒸着時に伝わる振動によって各プリズムが重なり合う等の弊害を回避可能なプリズムの蒸着方法を提案することにある。
【００１０】
また、本発明の課題は、かかる蒸着方法により蒸着膜が形成されたプリズムから構成される光学素子を提案することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、複数個のプリズムをプリズム支持枠上に並べ、これら複数個のプリズムの蒸着膜形成面に対して同時に蒸着を行なうプリズムの蒸着方法において、各プリズムにおける蒸着膜形成面の両側の角に面取りを施し、形成された面取り部が相互に面接触し、かつ、各プリズムの蒸着膜形成面が同一面に位置するように、複数個のプリズムを前記プリズム支持枠上に並べることを特徴としている。
【００１３】
本発明の蒸着方法では、各プリズムの角を面取りして、面取り部分が面接触するように各プリズムをプリズム支持枠上に並べるようにしている。従って、プリズム相互の面接触によって、各プリズムの振動を抑制でき、プリズムが相互に重なり合う等の弊害を防止あるいは抑制できる。
【００１４】
次に、本発明は、蒸着膜が形成された面を相互に貼り合わせることにより構成した２個のプリズムからなる光学素子であって、前記プリズムは請求項２に記載の方法により蒸着膜が形成されたものであることを特徴としている。
【００１５】
本発明の光学素子では、双方のプリズムの角が面取りされているので、２個のプリズムに多少の貼り合わせずれが生じても、光学素子の角が所定の外形寸法の範囲から飛び出してしまうことを防止できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用した蒸着方法の例および光学素子の例を説明する。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本例の蒸着方法では、プリズム、例えば直角プリズム１の２つの角１ａ、１ｂに面取りを施こすことにより、プリズム１１を形成している。すなわち、蒸着膜形成面２の幅方向の両側に位置している角１ａ、１ｂを、三角形状に切り取ることにより、蒸着膜形成面１２に直交する面取り面１１ａ、１１ｂを備えたプリズム１１を形成している。
【００１８】
この形状のプリズム１１に対して、従来と同様な蒸着機を用いて蒸着を行なう。すなわち、図１（ｃ）に示すように、従来と同様なプリズム支持枠１４に多数個、例えば５個のプリズム１１（１）ないし１１（５）を並べる。プリズム１１（１）ないし１１（５）を並べるに当っては、両端に位置しているプリズム１１（１）、１１（５）の垂直な面取り面１１ａ、１１ｂがそれぞれプリズム支持枠１４の枠内側面１４ａ、１４ｂに面接触するように配置する。また、これらの間に配置されている各プリズムにおいては、図１（ｄ）に示すように、両端の垂直な面取り面１１ａ、１１ｂが相互に密着状態で面接触するように並べる。換言すると、このように面接触状態で丁度プリズム１１（１）ないし１１（５）を配列できるように、プリズム支持枠１４の内側面１４ａ、１４ｂ間の寸法を設定しておく。
【００１９】
このように各プリズム支持枠１４に５個ずつのプリズム１１を並べた後は、蒸着機の回転式ドーム（図示せず）の表面にプリズム支持枠１４を取り付けて、回転式ドームを回転させながら各プリズムの蒸着膜形成面１２に対して同時に蒸着を行なう。
【００２０】
このように各プリズム支持枠に配列されているプリズム１１は、相互に面接触状態にあるので、振動が伝わっても、従来のような線接触状態の場合とは異なり、各プリズムの振動が抑制あるいは防止される。よって、プリズムが相互に重なり合う等の弊害を回避できる。この結果、各プリズムの蒸着面形成面に対して適正な角度で蒸着を行なうことができ、希望する特性の蒸着膜を得ることができる。
【００２１】
次に、このようにして蒸着膜が形成された２個のプリズム１１を相互に貼り合わせることにより、偏光分離素子等の光学素子を作ることができる。例えば、図２（ａ）に示すように、直角プリズム１１の斜面に誘電体多層膜を蒸着し、図２（ｂ）に示すように、このように構成した２個のプリズム１１（１）、１１（２）を誘電体多層膜１２（１）、１２（２）を接着剤層１３を介して相互に貼り合わせることにより、偏光分離素子２０を構成できる。
【００２２】
この場合、各プリズム１１（１）、１１（２）における貼り合わせ面側の両角には面取りが施されている。従って、図２（ｂ）に示すように、双方のプリズム１１（１）、１１（２）の貼り合わせが僅かにずれたとしても、予め設定されている外形寸法Ｗの範囲内に偏光分離素子２０の幅寸法を納めることが可能になる。
【００２３】
これに対して、従来の直角プリズムを貼り合わせる場合には、図３（ｃ）に示すように、ずれた状態で２個のプリズム１（１）、１（２）が貼り合わされた状態になると、その角部分が規定寸法Ｗから突出した状態になりやすい。よって、本例のプリズム１１を使用すれば、貼り合わせ精度が多少悪くてもよいので、貼り合わせ作業が簡単になる。
【００２４】
なお、上記の例では、蒸着膜として誘電体膜の場合を説明したが、蒸着膜はそれ以外のものであってもよいことは勿論である。また、２個のプリズムを貼り合わせることにより構成される光学素子も偏光分離素子以外のものであってもよいことは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプリズムの蒸着方法では、プリズムの角を面取りし、蒸着機のプリズム支持枠にプリズムを並べる際に、面接触状態でプリズムを配列できる。よって、蒸着時に伝わる振動に起因してプリズムが相互に重なり合い、各プリズムの蒸着膜形成面に対する蒸着方向が変動してしてしまうという弊害を回避あるいは抑制できる。
【００２６】
また、本発明の光学素子では、貼り合わせた２個のプリズムにおける角を面取りしてあるので、多少の貼り合わせずれが生じても、光学素子を規定の外形寸法内に納めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は一般的なプリズムを示す斜視図、（ｂ）は本発明を適用した蒸着方法に使用するプリズムの形状を示す斜視図、（ｃ）はプリズム支持枠にプリズムを並べた状態を示す断面図、（ｄ）はプリズムの面接触状態を示す部分拡大断面図である。
【図２】（ａ）は２枚のプリズムを貼り合わせることにより構成された偏光分離素子を示す断面図であり、（ｂ）は貼り合わせずれが生じている状態を示す断面図である。
【図３】（ａ）は一般的なプリズムを示す斜視図、（ｂ）は２枚のプリズムを貼り合わせることにより構成した光学素子を示す断面図、（ｃ）は貼り合わせずれが生じている光学素子を示す断面図である。
【図４】（ａ）はプリズムが並べられたプリズム支持枠を示す斜視図、（ｂ）はその断面図である。
【図５】従来の問題点を示す説明図である。
【符号の説明】
１ プリズム
１ａ、１ｂ プリズムの角
１１、１１（１）ないし１１（５） プリズム
１１ａ、１１ｂ 面取り面
１２、１２（１）ないし１２（５） 蒸着膜形成面
１４ プリズム支持枠
１４ａ、１４ｂ プリズム支持枠の内側面
１３ 接着層
２０ 偏光分離素子
Ｗ 規定の外形寸法
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数個のプリズムに蒸着膜を同時に形成するための蒸着方法、および当該蒸着方法に蒸着膜が形成されたプリズムを貼り合わせることにより構成される光学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ピックアップ装置等の光学機器においては偏光方向に応じて光を分離する偏光分離素子が使用されている。偏光分離素子としてはプリズム合成体からなるものが知られており、例えば、図３（ａ）に示す直角プリズム１の斜面２（図において斜線で示す面）に誘電体多層膜を蒸着し、図３（ｂ）に示すように、このように構成した２個のプリズム１（１）、１（２）の誘電体多層膜２（１）、２（２）が形成されている面を接着剤層３を介して相互に貼り合わせることにより構成されている。
【０００３】
プリズム１の斜面２すなわち蒸着膜形成面に誘電体膜を蒸着するための蒸着機としては、矩形のプリズム支持枠に多数個のプリズムを並べ、このプリズム支持枠を密閉されたチャンバ内に設置されている回転式ドームの表面に多数個取り付け、回転式ドームを回転させながら、１回の蒸着工程で多数個プリズムに対して同時に蒸着を行なうように構成したものがある。
【０００４】
図４（ａ）には、かかる蒸着機におけるプリズム支持枠を示してある。プリズム支持枠４は、矩形の枠本体５と、その対向する枠部分６、７に形成した段面６ａ、７ａを備えており、各プリズム１（ｎ）（ｎは正の整数であり、図示の例ではｎ＝１ないし５である。）は、その長手方向の両端がそれぞれ段面６ａ、７ａに架け渡された状態で並べられる。一般に、各プリズム１（１）ないし１（５）に応力がかからないように、各プリズム１（１）ないし１（５）は自重で段面６ａ、７ａ上に乗っているのみであり、移動が自由となっている。
【０００５】
並べられた各プリズム１（１）ないし１（５）は、図４（ｂ）に示すように、その蒸着膜形成面２を下向きにした状態で、相互の角１ａ、１ｂが接するように（線接触状態となるように）配列される。段面６ａ、７ａは同一平面上にあるので、プリズム支持枠４に並べた各プリズム１（１）ないし１（５）の蒸着膜形成面２（１）ないし２（５）も同一平面上に位置し、各蒸着膜形成面に対して同一の方向から蒸着が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、蒸着機の回転式ドームは蒸着中においては回転駆動されるので、回転運動に起因してドームに取り付けれているプリズム支持枠に振動が伝わり、当該プリズム支持枠に並べられているプリズム１（１）ないし１（５）にも振動が伝わる。各プリズム１（１）ないし１（５）は単にプリズム支持枠上に乗っているだけなので、上下の移動は自由となっている。この結果、プリズム支持枠に並べられている各プリズム１（１）ないし１（５）が上下に振動して、配列がばらけて、プリズムの角が相互に重なり合ってしまうおそれがある。
【０００７】
例えば、図５（ａ）に示すように整列配置されていたプリズム１（３）、１（４）が、振動することにより、図５（ｂ）に示すように、一方のプリズム１（３）の角１ｂの上に、他方のプリズム１（４）の角１ａが乗り上げた状態になる場合がある。
【０００８】
このような事態が発生すると、同一平面上に形成されていた各プリズムの蒸着膜形成面２（３）、２（４）のうち、蒸着膜形成面２（４）が傾斜した状態になる。この結果、蒸着方向が正規の角度からずれてしまい、形成された誘電体膜の特性が所期の特性と異なってしまう。
【０００９】
本発明の課題は、この点に鑑みて、蒸着時に伝わる振動によって各プリズムが重なり合う等の弊害を回避可能なプリズムの蒸着方法を提案することにある。
【００１０】
また、本発明の課題は、かかる蒸着方法により蒸着膜が形成されたプリズムから構成される光学素子を提案することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、複数個のプリズムをプリズム支持枠上に並べ、これら複数個のプリズムの蒸着膜形成面に対して同時に蒸着を行なうプリズムの蒸着方法において、各プリズムにおける蒸着膜形成面の両側の角に面取りを施し、形成された面取り部が相互に面接触し、かつ、各プリズムの蒸着膜形成面が同一面に位置するように、複数個のプリズムを前記プリズム支持枠上に並べることを特徴としている。
【００１３】
本発明の蒸着方法では、各プリズムの角を面取りして、面取り部分が面接触するように各プリズムをプリズム支持枠上に並べるようにしている。従って、プリズム相互の面接触によって、各プリズムの振動を抑制でき、プリズムが相互に重なり合う等の弊害を防止あるいは抑制できる。
【００１４】
次に、本発明は、蒸着膜が形成された面を相互に貼り合わせることにより構成した２個のプリズムからなる光学素子であって、前記プリズムは請求項２に記載の方法により蒸着膜が形成されたものであることを特徴としている。
【００１５】
本発明の光学素子では、双方のプリズムの角が面取りされているので、２個のプリズムに多少の貼り合わせずれが生じても、光学素子の角が所定の外形寸法の範囲から飛び出してしまうことを防止できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用した蒸着方法の例および光学素子の例を説明する。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本例の蒸着方法では、プリズム、例えば直角プリズム１の２つの角１ａ、１ｂに面取りを施こすことにより、プリズム１１を形成している。すなわち、蒸着膜形成面２の幅方向の両側に位置している角１ａ、１ｂを、三角形状に切り取ることにより、蒸着膜形成面１２に直交する面取り面１１ａ、１１ｂを備えたプリズム１１を形成している。
【００１８】
この形状のプリズム１１に対して、従来と同様な蒸着機を用いて蒸着を行なう。すなわち、図１（ｃ）に示すように、従来と同様なプリズム支持枠１４に多数個、例えば５個のプリズム１１（１）ないし１１（５）を並べる。プリズム１１（１）ないし１１（５）を並べるに当っては、両端に位置しているプリズム１１（１）、１１（５）の垂直な面取り面１１ａ、１１ｂがそれぞれプリズム支持枠１４の枠内側面１４ａ、１４ｂに面接触するように配置する。また、これらの間に配置されている各プリズムにおいては、図１（ｄ）に示すように、両端の垂直な面取り面１１ａ、１１ｂが相互に密着状態で面接触するように並べる。換言すると、このように面接触状態で丁度プリズム１１（１）ないし１１（５）を配列できるように、プリズム支持枠１４の内側面１４ａ、１４ｂ間の寸法を設定しておく。
【００１９】
このように各プリズム支持枠１４に５個ずつのプリズム１１を並べた後は、蒸着機の回転式ドーム（図示せず）の表面にプリズム支持枠１４を取り付けて、回転式ドームを回転させながら各プリズムの蒸着膜形成面１２に対して同時に蒸着を行なう。
【００２０】
このように各プリズム支持枠に配列されているプリズム１１は、相互に面接触状態にあるので、振動が伝わっても、従来のような線接触状態の場合とは異なり、各プリズムの振動が抑制あるいは防止される。よって、プリズムが相互に重なり合う等の弊害を回避できる。この結果、各プリズムの蒸着面形成面に対して適正な角度で蒸着を行なうことができ、希望する特性の蒸着膜を得ることができる。
【００２１】
次に、このようにして蒸着膜が形成された２個のプリズム１１を相互に貼り合わせることにより、偏光分離素子等の光学素子を作ることができる。例えば、図２（ａ）に示すように、直角プリズム１１の斜面に誘電体多層膜を蒸着し、図２（ｂ）に示すように、このように構成した２個のプリズム１１（１）、１１（２）を誘電体多層膜１２（１）、１２（２）を接着剤層１３を介して相互に貼り合わせることにより、偏光分離素子２０を構成できる。
【００２２】
この場合、各プリズム１１（１）、１１（２）における貼り合わせ面側の両角には面取りが施されている。従って、図２（ｂ）に示すように、双方のプリズム１１（１）、１１（２）の貼り合わせが僅かにずれたとしても、予め設定されている外形寸法Ｗの範囲内に偏光分離素子２０の幅寸法を納めることが可能になる。
【００２３】
これに対して、従来の直角プリズムを貼り合わせる場合には、図３（ｃ）に示すように、ずれた状態で２個のプリズム１（１）、１（２）が貼り合わされた状態になると、その角部分が規定寸法Ｗから突出した状態になりやすい。よって、本例のプリズム１１を使用すれば、貼り合わせ精度が多少悪くてもよいので、貼り合わせ作業が簡単になる。
【００２４】
なお、上記の例では、蒸着膜として誘電体膜の場合を説明したが、蒸着膜はそれ以外のものであってもよいことは勿論である。また、２個のプリズムを貼り合わせることにより構成される光学素子も偏光分離素子以外のものであってもよいことは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプリズムの蒸着方法では、プリズムの角を面取りし、蒸着機のプリズム支持枠にプリズムを並べる際に、面接触状態でプリズムを配列できる。よって、蒸着時に伝わる振動に起因してプリズムが相互に重なり合い、各プリズムの蒸着膜形成面に対する蒸着方向が変動してしてしまうという弊害を回避あるいは抑制できる。
【００２６】
また、本発明の光学素子では、貼り合わせた２個のプリズムにおける角を面取りしてあるので、多少の貼り合わせずれが生じても、光学素子を規定の外形寸法内に納めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は一般的なプリズムを示す斜視図、（ｂ）は本発明を適用した蒸着方法に使用するプリズムの形状を示す斜視図、（ｃ）はプリズム支持枠にプリズムを並べた状態を示す断面図、（ｄ）はプリズムの面接触状態を示す部分拡大断面図である。
【図２】（ａ）は２枚のプリズムを貼り合わせることにより構成された偏光分離素子を示す断面図であり、（ｂ）は貼り合わせずれが生じている状態を示す断面図である。
【図３】（ａ）は一般的なプリズムを示す斜視図、（ｂ）は２枚のプリズムを貼り合わせることにより構成した光学素子を示す断面図、（ｃ）は貼り合わせずれが生じている光学素子を示す断面図である。
【図４】（ａ）はプリズムが並べられたプリズム支持枠を示す斜視図、（ｂ）はその断面図である。
【図５】従来の問題点を示す説明図である。
【符号の説明】
１ プリズム
１ａ、１ｂ プリズムの角
１１、１１（１）ないし１１（５） プリズム
１１ａ、１１ｂ 面取り面
１２、１２（１）ないし１２（５） 蒸着膜形成面
１４ プリズム支持枠
１４ａ、１４ｂ プリズム支持枠の内側面
１３ 接着層
２０ 偏光分離素子
Ｗ 規定の外形寸法
Claims (2)
- 複数個のプリズムをプリズム支持枠上に並べ、これら複数個のプリズムの蒸着膜形成面に対して同時に蒸着を行なうプリズムの蒸着方法において、
各プリズムにおける蒸着膜形成面の両側の角に面取りを施し、形成された面取り部が相互に面接触し、かつ、各プリズムの蒸着膜形成面が同一面に位置するように、複数個のプリズムを前記プリズム支持枠上に並べることを特徴とするプリズムの蒸着方法。 - 蒸着膜が形成された面を相互に貼り合わせることにより構成した２個のプリズムからなる光学素子であって、
前記プリズムは請求項１に記載の方法により蒸着膜が形成されたものであることを特徴とする光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000140324A JP3718409B2 (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | プリズムの蒸着方法および光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000140324A JP3718409B2 (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | プリズムの蒸着方法および光学素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001318212A JP2001318212A (ja) | 2001-11-16 |
| JP3718409B2 true JP3718409B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=18647639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000140324A Expired - Fee Related JP3718409B2 (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | プリズムの蒸着方法および光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3718409B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5187494B2 (ja) * | 2007-12-06 | 2013-04-24 | 日本電気硝子株式会社 | 光分離プリズム |
| JP5316448B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2013-10-16 | コニカミノルタ株式会社 | 光学素子の梱包方法、及び光学素子の梱包物 |
| CN112281131B (zh) * | 2020-10-29 | 2022-10-25 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种用于棱镜镀膜的固定保护工装 |
-
2000
- 2000-05-12 JP JP2000140324A patent/JP3718409B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001318212A (ja) | 2001-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3791485B2 (ja) | 音叉形振動子およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置および音叉形振動子の製造方法 | |
| US6473221B2 (en) | Galvano-mirror and method of making the same | |
| CN107210723A (zh) | 晶体振动片及晶体振动器件 | |
| US7975545B2 (en) | Angular velocity sensor and angular velocity sensor device | |
| EP2299584A1 (en) | Moving structure and light scanning mirror using same | |
| JP4949254B2 (ja) | アクチュエータ | |
| US8164812B2 (en) | Optical scanning mirror, semiconductor structure and manufacturing method thereof | |
| EP0709653B1 (fr) | Microgyromètre | |
| JP2008249489A (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 | |
| US20080148848A1 (en) | Angular velocity sensor and angular velocity sensing device | |
| CN1050947C (zh) | 压电谐振元件 | |
| JP3718409B2 (ja) | プリズムの蒸着方法および光学素子 | |
| US20050285483A1 (en) | Tuning folk type vibrating reed, tuning folk type vibrator, and method for making tuning folk type vibrator | |
| JP6769487B2 (ja) | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス | |
| JP6649747B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| WO2016114237A1 (ja) | 共振子 | |
| JP2008249490A (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 | |
| JP2004245892A (ja) | 光学素子 | |
| JPH1093379A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
| JP2973254B2 (ja) | 複屈折構造 | |
| EP3071933B1 (fr) | Capteur comprenant des masses mobiles et des moyens de détection des mouvements relatifs des masses | |
| EP0542619A1 (fr) | Dispositif de fixation d'une glace sur un support soumis à vibrations notamment un écran de visualisation de planche de bord d'avion | |
| US5670919A (en) | Piezoelectric filter | |
| WO2021059731A1 (ja) | 圧電振動板、圧電振動デバイス、及び、圧電振動デバイスの製造方法 | |
| JP2009122155A (ja) | マイクロデバイス製造方法、およびマイクロデバイス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050714 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050720 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050721 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050822 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050902 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |