JP3718074B2

JP3718074B2 - Pellicle storage container

Info

Publication number: JP3718074B2
Application number: JP5804799A
Authority: JP
Inventors: 聡野崎
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1999-03-05
Filing date: 1999-03-05
Publication date: 2005-11-16
Anticipated expiration: 2019-03-05
Also published as: JP2000258897A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においてリソグラフィーを行う際に、パターンが描かれた露光原版等のゴミよけとして使用されるリソグラフィー用のペリクルを収納するための容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においては、シリコンウエーハなどの半導体ウエーハまたは液晶用原版上に露光原版（本明細書中ではフォトマスク、レチクル等を総称した意味で用いる）を配置し、この露光原版に光を照射してこれを透過した光によりパターンを転写すること、すなわちリソグラフィーが行われている。
【０００３】
しかしながら、このような工程において露光原版に異物（ゴミ）が付着していると、この異物が光を吸収したり光を曲げてしまうため、半導体ウエーハや液晶用原版上に転写されるパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、その結果、半導体用デバイスや液晶表示用デバイスの性能や製造歩留りの低下をもたらすといった問題が生じる。
【０００４】
このような問題を回避するため、通常、リソグラフィーは、クリーンルーム内で行われる。しかしながら、クリーンルーム内でも露光原版を完全に清浄に保つことは困難である。そこで、露光原版の表面に異物等が付着しないように、露光用の光を良く透過させるペリクルを装着する方法が採られている。
このようにペリクルを装着した場合、異物（ゴミ）は露光原版の表面には直接付着せずにペリクル膜上に付着する。したがって、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、このような異物（ゴミ）の存在は転写とは無関係となり、上述した問題が生じることはない。
【０００５】
このようなペリクルは、その目的上それ自身に異物が付着してはならない。したがって、通常、ペリクルの輸送や保管に際しては、ペリクルにゴミ等の異物が付着しないようにペリクル収納容器に収納される。
このようなペリクル収納容器としては、図５に示されるように、容器本体１と蓋体２とこの容器本体１と蓋体２とを固定するクリップ３とから概略構成されてなるものが提案されている（実公平６−４５９６５号公報）。
なお、ここでこのペリクル収納容器に収納されるペリクルについて簡単に説明すると、図５および図６に示すようにペリクル２１は、ペリクル枠２２と、このペリクル枠２２の上端面に張設されたペリクル膜２３と、ペリクル枠２２の下端面に設けられ、ペリクル枠２２を露光原版に接着するための粘着層２４と、この粘着層２４を保護するライナー２５とから構成されるものである。
【０００６】
上記容器本体１は、図７および図８に示すように、略正方形の板状のものであり、その外周には蓋体２と嵌着しクリップ３により固定される嵌着凸部４が形成された嵌着部５が設けられている。この嵌着部５の内側には、このペリクル収納容器に収納されるペリクル２１のペリクル枠２２が載置される長方形の載置台６が嵌着部５より一段高い位置に形成されている。なお、ペリクル枠２２は、載置台６上にその下端面、すなわち露光原版に接着される側が接触するように載置される。
このように載置台６を高い位置に設け、ペリクル２１を高い位置に保持することにより、異物等は載置台６周囲の嵌着部５に集まることから、ペリクル２１に異物等が付着する機会が少なくなる。
【０００７】
上記載置台６の外周には、その四隅近傍にそれぞれ２カ所、計８カ所位置決め部７が設けられている。この８個の位置決め部７により、載置台６に載置されたペリクル枠２２は位置決めされ、水平方向の動きが固定される。すなわち、位置決め部７がペリクル枠２２の外側もしくはライナー２５の外側から接触することにより、ペリクル２１の水平方向の移動を不可能としているのである。
図５および図６は、このような容器本体１に蓋体２が嵌着された状態を示すものである。
【０００８】
上記蓋体２は、その外周に蓋体嵌着部８が設けられており、この蓋体嵌着部８の最外周には前記容器本体１の嵌着凸部４と嵌着しクリップ３により固定される嵌着凹部９が設けられている。この蓋体嵌着部８の内側には、収納されるペリクル２１のペリクル枠２２上端面と接触し、前記載置台６との間にペリクル枠２２を挟持することにより、ペリクル枠２２を固定し、鉛直方向移動不能とする固定部１０が一段高い位置に形成されている。
ここで、ペリクル枠２２上端面とは、ペリクル膜２３が張設される側のペリクル枠２２の端面をいう。
この固定部１０が載置台６との間にペリクル枠２２を挟持する点については、図６にさらに詳しく示されている。
上記固定部１０のさらに内側の部分は、収納されたペリクル２１のペリクル膜２３と接触しないようにさらに一段高く形成されている。
【０００９】
このようなペリクル収納容器へのペリクル２１の収納については、まず容器本体１の載置台６上の位置決め部７により位置決めされる位置にペリクル２１を載置する。これにより位置決め部７がライナー２５の外側から接触することによりペリクル２１の水平方向の動きを固定する。次いで、容器本体１の嵌着凸部４に蓋体２の嵌着凹部９を嵌着させ、クリップ３により固定することにより、載置台６と固定部１０との間にペリクル枠２２を挟持することができ、ペリクル２１の鉛直方向の移動も固定することができる。これにより、ペリクル収納容器内にペリクル２１を固定して収納できることから、例えば輸送に際してもペリクル２１とペリクル収納容器の各部とが擦れ合って異物等を発生することがほとんどない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
一方、このようなペリクル収納容器からペリクル２１を取り出す方法としては、位置決め部７の間からペリクル２１に直接手をかけて取り出す方法等がなされていたが、これでは手等に付着した異物がペリクル膜２３に付着したり、過大な力が加わりペリクル２１が歪んだりする可能性があり好ましくない。したがって、これに代わる方法として治具を用いて取り出す方法等が考えられる。この治具（以下、ペリクル取り出し用治具とする。）を用いてペリクル収納容器からペリクル２１を取り出す場合でも、ペリクル膜２３に異物が付着しないように細心の注意を払う必要がある。このような観点から、ペリクル取り出し用治具を用いてペリクル２１を取り出す際に、この治具がペリクル２１を把持する最も良い場所は、ペリクル枠２２の外周であるとされている。
【００１１】
しかしながら、従来のペリクル収納容器においては、ペリクル２１が載置される載置台６の周囲にはペリクル２１の水平方向の動きを固定する位置決め部７が設けられており、この結果、図５および図６に示すように、ペリクル枠２２の外周には位置決め部７が存在することになる。したがって、ペリクル取り出し治具によりペリクル枠２２外周を把持しようとしても、位置決め部７がペリクル枠２２外周に点在することから、位置決め部７が邪魔して治具がペリクル枠２２外周を把持することができない。
このような位置決め部７に当たらないような治具を考えることは可能であるが、構造が複雑となる点、ペリクル収納容器の位置決め部７の位置が異なればそれに応じた治具が必要となる点、外周を把持する場合でも位置決め部７に接触しない様に把持しなければならず、また接触した場合には破損による異物が発生する点等の種々の問題があった。
【００１２】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、位置決め部７の位置等を考慮せずにペリクル取り出し用治具を設計・製造でき、かつその治具を用いてペリクル２１を取り出す場合でも、位置決め部７との接触に対して注意する必要のないペリクル収納容器を提供することを主目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は請求項１において、収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、載置台に載置されたペリクル枠の外側にペリクルの位置決め部を設けず、前記ペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台のペリクル枠の内周に沿った部分に、もしくはペリクル枠にライナーが設けられている場合は前記載置台のライナーの内側に沿った部分に凸部を設けるようにした。
【００１４】
このように、ペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台の内側に凸部を設けることにより、ペリクル枠の内側からペリクルの位置決めを行い、ペリクルを固定しその水平方向の移動を不能としている。したがって、ペリクル枠の外側に位置決め部を設けなくてもペリクルの水平方向の移動を固定することができることから、位置決め部の位置等を考慮せずにペリクル取り出し治具を設計・製造でき、またこの治具を用いてペリクルを取り出す場合でも、位置決め部との接触に対して注意する必要がない。さらに、このペリクル取り出し治具と位置決め部が接触することにより生ずる異物の発生等のおそれもない。
【００１５】
この場合、請求項２に記載するように、凸部が載置台より最大０．５〜５ｍｍ高く形成されていることが好ましい。
０．５ｍｍ以上であれば、ペリクルの位置決めが容易に行うことができ、また水平方向の移動を固定するという効果を十分奏し得るからであり、５ｍｍ以下であれば、凸部がペリクル膜に接触する可能性がほとんどないからである。
【００１６】
さらに、請求項３に記載するように、凸部が載置台の高さから５度〜９０度の角度で立ち上がるように形成されていることが好ましい。
５度より小さい場合は、ペリクルの位置決めが困難となる可能性があり、また水平移動を固定する効果を奏し難い場合もあるからである。一方、９０度を越える角度とした場合は、ペリクル枠内側と凸部とが接触した場合に、凸部の頂部のみがペリクル枠内側と接触することになり、凸部もしくはペリクル枠の摩耗・損傷等により異物が生じる可能性があるからである。
【００１７】
さらにまた、請求項４に記載するように、凸部がペリクル枠の内側全周にわたって形成されていることが好ましい。
凸部をペリクル枠内側全周にわたって形成することにより、ペリクルの位置決めが容易となり、またペリクル枠もしくはライナーと凸部とが全周にわたって接触するため、接触圧が小さくなり、摩耗・損傷等により異物が発生する可能性が極めて低くなるからである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１〜図４は本発明のペリクル収納容器の一例を示すものであり、図１はその断面図、図２はその要部を拡大した拡大断面図、図３はこのペリクル収納容器の容器本体を示す平面図、図４はその断面図を示す。
【００１９】
本発明の一例であるこのペリクル収納容器は、従来技術の欄で説明した図５〜図８に示す従来のペリクル収納容器の位置決め部７の代わりに凸部１１を設けたところに大きな特徴を有するものである。よって、他の部材で同一の部材がある場合には、同一の番号を付して説明する。
本発明に係るペリクル収納容器は、図１に示すように、容器本体１に蓋体２が嵌着してなるものであり、これら容器本体１と蓋体２とはクリップ３により固定されている。
【００２０】
上記容器本体１は、図３及び図４に示すように、嵌着凸部４を有する嵌着部５、載置台６および凸部１１より構成されるものである。ここで嵌着部５および載置台６に関しては、載置台６の内側に凸部１１が設けられた点以外は、上述した従来のペリクル収納容器と同様であるので説明を省略する。
上記凸部１１は載置台６外周から所定の幅をおいてその内側に設けられたものである。ここで、この所定の幅とは載置台６の幅に相当し、これはペリクル枠２２の幅（ペリクル枠２２の内周面から外周面までの距離）もしくはライナー２５の幅と同等かもしくはそれより大きいことが好ましい。
【００２１】
この凸部１１は、載置台６の高さから６０°の角度で立ち上がり、１ｍｍ上昇したところで載置台６と平行になるように形成されている。また、凸部１１の外周は、載置台６上に載置されるペリクル２１のペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内周の位置に相当する部分に設けられている。この凸部１１の外周により、ペリクル２１の水平方向の位置決めをし、固定するためである。
なお、ペリクル枠２２に粘着層２４およびライナー２５が設けられており、このライナー２５がペリクル枠２２の内側面より内側にはみ出している場合は、ライナー２５により位置決めを行う必要がある。したがって、凸部１１もこのライナー２５の内周を基準として形成される。
【００２２】
ここで、凸部１１の載置台６の高さからの立ち上がりの角度、すなわち載置台６の内周からその内側に向けて凸部１１が徐々に高くなっていく角度に関しては、ペリクル枠２２の水平方向の位置決めおよび固定が可能であれば特に制限されるものではないが、好ましい範囲として挙げるのであれば、５度から９０度の範囲内である。
立ち上がり角度が５度より小さい場合は、ペリクル２１の位置決めが困難となる可能性があり、また水平移動を不能とし、固定する効果を奏し難い場合もあるからである。一方、９０度を越える角度とした場合は、ペリクル枠２２内側と凸部１１とが接触した場合に、凸部１１の頂部のみがペリクル枠２２内側と接触することになり、凸部１１もしくはペリクル枠２２の摩耗・損傷等により異物が生じる可能性があるからである。
特に好ましい立ち上がりの角度としては、４５度〜７５度の範囲内の角度である。
【００２３】
また、凸部１１の載置台６からの最大高さであるが、これもペリクル枠２２の水平方向の位置決めおよび固定が可能であれば特に制限されるものではない。しかしながら好ましい高さとして挙げるのであれば、凸部１１が載置台６より０．５〜５ｍｍの範囲内で高く形成されていることである。
０．５ｍｍ以上であれば、ペリクル２１の位置決めが容易に行うことができ、また水平方向の移動を固定するという効果を十分奏し得るからであり、５ｍｍ以下であれば、凸部１１がペリクル膜２３に接触する可能性がほとんどないからである。特に好ましい高さとしては、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内の高さである。
【００２４】
この凸部１１は、図３および図４に示されるように、ペリクル２１が載置台６に載置された際に、ペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分の全周にわたって形成されていてもよいが、これに限定されるものではなく、ペリクル２１が位置決めされ水平方向に対して固定されるのであれば、その一部に形成されたものであってもよい。
また、図３および図４に示されるように、ペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分の内側全面にわたって凸部１１が形成されてもよいが、これに限定されるものではなく、ペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分に凸部１１が形成されていればその内側に関しては、ペリクル膜２３に接するものでない限り、いかなる形状であってもよい。上記部分、すなわちペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分に凸部１１が形成されていれば、ペリクル２１の水平方向の位置決め・固定が可能だからである。
このような凸部１１の他の例としては、例えば、図５〜図８に示す従来のペリクル収納容器の位置決め部７のような突起が、載置台６に載置されたペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分に複数個形成されたもの等を挙げることができる。
【００２５】
次に、上記容器本体１に嵌着する蓋体２について説明する。
この蓋体２は、容器本体１の嵌着凸部４と嵌合する嵌着凹部９を有する蓋体嵌着部８と、その内側に固定部１０を有するものである。
この固定部１０は、図２に示すように載置台６との間にペリクル枠２２を挟持することによりペリクル２１の鉛直方向の動きを固定するものである。したがって、固定部１０は、蓋体２が容器本体１と嵌合した状態で、載置台６上方に位置し、少なくとも固定部１０の内周が挟持するペリクル枠２２の外周より内側となるように配置される必要がある。
【００２６】
そして、この固定部１０と載置台６との間にペリクル枠２２を挟持した際に、固定部１０がペリクル膜２３にかかるとペリクル膜２３に不要な歪みや傷等を加えるおそれがあることから、固定部１０の内周側は、ペリクル枠２２内周の外側に位置するように配置されることが好ましい。
さらに、ペリクル枠２２を安定に挟持するために、固定部１０は載置台６と平行に形成されることが好ましい。
【００２７】
本発明のペリクル収納容器に用いられる材質としては、特に限定されるものではなく、一般に用いられている樹脂材料、金属等を用いることができる。
具体的には、ポリプロピレン、ポリエチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料、アルミ、アルミ合金、ステンレススチール等の金属等を挙げることができる。
【００２８】
次に、このような本発明に係るペリクル収納容器にペリクル２１を収納する方法について説明する。
まず、容器本体１の載置台６上に収納するペリクル２１を載置する。次いで、このペリクル２１のペリクル枠２２の内周、もしくは粘着層２４およびライナー２５が設けられている場合はこのライナー２５の内側を凸部１１に沿うようにすることによりペリクル２１を位置決めして水平方向について固定する。
【００２９】
そして、蓋体２を嵌着凸部４と嵌着凹部９とが嵌合するように容器本体１上にかぶせる。これにより、蓋体２の固定部１０は、図２に示すようにペリクル枠２２の上端面に接することになる。
最後にクリップ３で容器本体１と蓋体２を固定することにより、固体部１０および載置台６は、両者の間にペリクル枠２２を挟持することになり、ペリクル２１の鉛直方向の移動を不能とし、固定する。
このようにして、ペリクル２１はペリクル収納容器内に水平方向および鉛直方向のいずれに対しても固定されて収納される。
【００３０】
【実施例】
以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説明する。
（実施例）
図１〜図４に示すペリクル収納容器を、容器本体１についてはＡＢＳ、蓋体２についてはＰＭＭＡ、そしてクリップ３についてはポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）を材質として用いて作成した。
このペリクル収納容器にペリクルを収納した後、治具Ａおよび治具Ｂの２種類のペリクル取り出し治具を用い、実施例のペリクル収納容器からペリクルを取り出す実験を行った。
【００３１】
（実験例１）
まず、ペリクル取り出し治具Ａを用いた実験について説明する。
ペリクル取り出し治具Ａは、図９および図１０に示すように、治具本体３１と把持アーム３２とから概略構成されてなるもので、図９が把持アーム３２が開いた状態を示し、図１０が把持アーム３２が閉じた状態、すなわち把持アーム３２がペリクル枠２１を把持した状態を示すものである。
上記治具本体３１内部には左右にスライド可能な不図示のスライド機構が内蔵されており、これに把持アーム３２が取り付けられている。上記スライド機構を作動させることにより、把持アーム３２が左右に動きペリクル２１のペリクル枠２２外側を把持するようになっている。
【００３２】
このようなペリクル取り出し治具Ａを用いて、上記実施例のペリクル収納容器に収納されたペリクルの取り出しを試みた。
図１１に示すように、実施例のペリクル収納容器の容器本体１においては、収納されたペリクル２１のペリクル枠２２の外側に位置決め部等が存在しないことから、取り出し治具Ａを用いて容易にペリクル２１を取り出すことができた。
【００３３】
（実験例２）
次に、ペリクル取り出し治具Ｂを用いた実験について説明する。
ペリクル取り出し治具Ｂは、図１２および図１３に示すようにペリクル膜２３とこの治具とが接触しないように設けられた開口部３３を有する把持板３４と、この把持板３４のペリクル枠２２の外周部に接触する部分に一カ所設けられたクランパー３５とから概略構成されてなるものである。このクランパー３５は、把持板３４から突出する球形の突出部と、この突出部を外側に向けて押し出すバネ部とから構成されている。上記把持板３４には取扱を容易にするための取手３６が設けられている。
このペリクル取り出し治具Ｂは、図１３に示すように把持板３４をペリクル枠２２にかぶせることにより、クランパー３５が機能してクランパー３５が取り付けられた把持板３４の部分に対向する方向にペリクル枠２２を押しつけてペリクル２１を把持する機構となっている。
【００３４】
このようなペリクル取り出し治具Ｂを用いて、上記実施例のペリクル収納容器に収納されたペリクル２１の取り出しを試みた。
図１４に示すように、実施例のペリクル収納容器の容器本体１においては、収納されたペリクル２１のペリクル枠２２の外側に位置決め部等が存在しないことから、取り出し治具Ｂをペリクル２１上方から嵌め込むことができ、これにより容易にペリクル２１を取り出すことができた。
【００３５】
（比較例）
図５〜図８に示すペリクル収納容器を、実施例と同様の材質を用いて作成した。
この比較例のペリクル収納容器にペリクルを収納した後、治具Ａおよび治具Ｂの２種類のペリクル取り出し治具を用いて比較例のペリクル収納容器からペリクルを取り出す実験を行った。
【００３６】
（実験例３）
図９および図１０に示すペリクル取り出し治具Ａを用いて比較例のペリクル収納容器からペリクル２１を取り出す実験を行った。
図１５に示すように、ペリクル取り出し治具Ａの把持アーム３２が位置決め部７に当たることから、ペリクル枠２２を挟むことができない。したがって、このペリクル取り出し治具Ａでは比較例のペリクル収納容器からペリクル２１を取り出すことはできなかった。
【００３７】
（実験例４）
図１２および図１３に示すペリクル取り出し治具Ｂを用いて比較例の収納容器からペリクル２１を取り出す実験を行った。
図１６に示すように、ペリクル取り出し治具Ｂの把持板３４は、位置決め部７が当たることから、ペリクル枠２２に完全にかぶせることができない。このため、クランパー３５が機能せずペリクル２１を把持することができない。
したがって、このペリクル取り出し治具Ｂでも比較例のペリクル収納容器からペリクル２１を取り出すことはできなかった。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００３９】
例えば、上記実施形態においては、容器本体の載置台の周囲に嵌着部が設けられ、蓋体の固定部の周囲には蓋体嵌着部が設けられ、この嵌着部と蓋体嵌着部とを嵌着させ、クリップで固定しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば上記載置台と固定部とを直接クリップで固定するような構造であってもよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明は、収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより前記載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、前記載置台に載置されたペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台の内側に凸部を有することを特徴とするペリクル収納容器である。
【００４１】
このため、ペリクル枠の内側からペリクルの位置決め、およびペリクルの固定を行うことができる。したがって、ペリクル枠の外側に位置決め部を設けなくてもペリクルの水平方向の移動を固定することができることから、位置決め部の位置等を考慮せずにペリクル取り出し治具を設計・製造でき、またこの治具を用いてペリクルを取り出す場合でも、位置決め部に当たらないように注意する必要がなく、さらにこのペリクル取り出し治具と位置決め部が接触することにより生ずる異物の発生等のおそれもないという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に用いられるペリクル収納容器の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示すペリクル収納容器の固定部と載置台の部分を拡大した拡大断面図である。
【図３】図１に示すペリクル収納容器の容器本体を示す平面図である。
【図４】図１に示すペリクル収納容器の容器本体を示す断面図である。
【図５】従来のペリクル収納容器を示す断面図である。
【図６】図５に示すペリクル収納容器の固定部と載置台の部分を拡大した拡大断面図である。
【図７】図５に示すペリクル収納容器の容器本体を示す平面図である。
【図８】図５に示すペリクル収納容器の容器本体を示す断面図である。
【図９】ペリクル収納容器からペリクルを取り出すペリクル取り出し治具Ａを示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図を示す。
【図１０】図９に示す取り出し治具Ａがペリクルを把持した状態を示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図を示す。
【図１１】本発明の実施例であるペリクル収納容器から図９に示すペリクル取り出し治具Ａを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）はペリクルを把持した状態を示す。
【図１２】ペリクル収納容器からペリクルを取り出すペリクル取り出し治具Ｂを示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示すものである。
【図１３】図１２に示す取り出し治具Ｂがペリクルを把持した状態を示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示す。
【図１４】本発明の実施例であるペリクル収納容器から図１２に示すペリクル取り出し治具Ｂを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）はペリクルを把持した状態を示す。
【図１５】従来のペリクル収納容器から図９に示すペリクル取り出し治具Ａを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）は位置決め部があるためペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持できない状態を示す。
【図１６】従来のペリクル収納容器から図１２に示すペリクル取り出し治具Ｂを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ｂがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）は位置決め部があるためペリクル取り出し治具Ｂがペリクルを把持できない状態を示す。
【符号の説明】
１ … 容器本体、２ … 蓋体、３ … クリップ、
４ … 嵌着凸部、５ … 嵌着部、６ … 載置台、
７ … 位置決め部、８ … 蓋体嵌着部、９ … 嵌着凹部、
１０ … 固定部、１１ … 凸部、
２１ … ペリクル、２２ … ペリクル枠、２３ … ペリクル膜、
２４ … 粘着層、２５ … ライナー、
３１ … 治具本体、３２ … 把持アーム、３３ … 開口部、
３４ … 把持板、３５ … クランパー、３６ … 取手。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention accommodates a lithographic pellicle used as a dust guard for a patterned exposure original plate or the like when performing lithography in the manufacture of semiconductor devices such as LSI and VLSI or liquid crystal display devices. This is related to the container.
[0002]
[Prior art]
In the manufacture of semiconductor devices such as LSI and VLSI, or liquid crystal display devices, an exposure master (in this specification, photomask, reticle, etc. are used as a generic term) on a semiconductor wafer such as a silicon wafer or a liquid crystal master. ), And the exposure original plate is irradiated with light, and the pattern is transferred by the light transmitted therethrough, that is, lithography is performed.
[0003]
However, if foreign matter (dust) adheres to the exposure master in such a process, the foreign matter absorbs light or bends the light, so the pattern transferred onto the semiconductor wafer or liquid crystal master is deformed. In addition to having a rough edge, the white background is stained black and the dimensions, quality, appearance, etc. are impaired, resulting in a decrease in the performance and manufacturing yield of semiconductor devices and liquid crystal display devices. Problems arise.
[0004]
In order to avoid such problems, lithography is usually performed in a clean room. However, it is difficult to keep the exposure original completely clean even in a clean room. In view of this, a method of mounting a pellicle that transmits light for exposure well is employed so that foreign matter or the like does not adhere to the surface of the exposure original plate.
When the pellicle is thus mounted, the foreign matter (dust) does not directly adhere to the surface of the exposure original plate but adheres to the pellicle film. Therefore, if the focus is set on the pattern of the exposure original plate at the time of lithography, the presence of such foreign matter (dust) is irrelevant to the transfer, and the above-described problem does not occur.
[0005]
Such a pellicle must not have foreign matter attached to itself for that purpose. Therefore, normally, when the pellicle is transported or stored, it is stored in the pellicle storage container so that foreign matter such as dust does not adhere to the pellicle.
As such a pellicle storage container, as shown in FIG. 5, a container composed of a container body 1, a lid body 2, and a clip 3 for fixing the container body 1 and the lid body 2 is proposed. (Japanese Utility Model Publication No. 6-45965).
Here, the pellicle stored in the pellicle storage container will be briefly described. As shown in FIGS. 5 and 6, the pellicle 21 includes a pellicle frame 22 and a pellicle stretched on the upper end surface of the pellicle frame 22. The film 23 is provided on the lower end surface of the pellicle frame 22 and is composed of an adhesive layer 24 for bonding the pellicle frame 22 to the exposure original plate, and a liner 25 for protecting the adhesive layer 24.
[0006]
As shown in FIGS. 7 and 8, the container body 1 has a substantially square plate shape, and a fitting convex portion 4 that is fitted to the lid 2 and is fixed by the clip 3 is formed on the outer periphery thereof. A fitted portion 5 is provided. A rectangular mounting table 6 on which the pellicle frame 22 of the pellicle 21 accommodated in the pellicle storage container is placed is formed at a position one step higher than the fitting portion 5 inside the fitting portion 5. The pellicle frame 22 is mounted on the mounting table 6 so that the lower end surface thereof, that is, the side bonded to the exposure original plate is in contact.
Thus, by providing the mounting table 6 at a high position and holding the pellicle 21 at a high position, foreign substances and the like gather at the fitting portion 5 around the mounting table 6, so there is an opportunity for the foreign substances and the like to adhere to the pellicle 21. Less.
[0007]
On the outer periphery of the mounting table 6, two positioning portions 7 are provided in the vicinity of the four corners, for a total of eight positioning portions 7. The eight positioning portions 7 position the pellicle frame 22 mounted on the mounting table 6 and fix the horizontal movement. That is, when the positioning portion 7 comes in contact with the outside of the pellicle frame 22 or the outside of the liner 25, the pellicle 21 cannot be moved in the horizontal direction.
5 and 6 show a state in which the lid body 2 is fitted to such a container main body 1.
[0008]
The lid 2 is provided with a lid fitting portion 8 on the outer periphery thereof. The lid 2 is fitted with the fitting convex portion 4 of the container body 1 on the outermost periphery of the lid body 8 by a clip 3. A fixed fitting recess 9 is provided. Inside the lid fitting portion 8, the pellicle frame 22 is fixed by contacting the upper end surface of the pellicle frame 22 of the pellicle 21 to be accommodated and sandwiching the pellicle frame 22 between the mounting table 6. The fixed portion 10 that cannot move in the vertical direction is formed at a higher position.
Here, the upper end surface of the pellicle frame 22 refers to the end surface of the pellicle frame 22 on the side where the pellicle film 23 is stretched.
The point that the fixing unit 10 holds the pellicle frame 22 between the mounting table 6 and the mounting table 6 is shown in more detail in FIG.
The further inner portion of the fixing portion 10 is formed to be higher by one step so as not to contact the pellicle film 23 of the stored pellicle 21.
[0009]
For storing the pellicle 21 in such a pellicle storage container, first, the pellicle 21 is mounted at a position positioned by the positioning unit 7 on the mounting table 6 of the container body 1. As a result, the positioning unit 7 comes into contact with the outside of the liner 25 to fix the movement of the pellicle 21 in the horizontal direction. Next, the fitting concave portion 9 of the lid body 2 is fitted to the fitting convex portion 4 of the container body 1 and fixed by the clip 3, whereby the pellicle frame 22 is sandwiched between the mounting table 6 and the fixing portion 10. And the vertical movement of the pellicle 21 can be fixed. Accordingly, since the pellicle 21 can be fixedly stored in the pellicle storage container, the pellicle 21 and each part of the pellicle storage container hardly rub against each other even during transportation, for example.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
On the other hand, as a method of taking out the pellicle 21 from such a pellicle storage container, there has been a method of taking out the pellicle 21 directly from between the positioning portions 7. The pellicle 21 may be distorted due to adhesion to the film 23 or excessive force, which is not preferable. Therefore, as an alternative method, a method using a jig or the like can be considered. Even when taking out the pellicle 21 from the pellicle storage container using this jig (hereinafter referred to as a pellicle take-out jig), it is necessary to pay close attention to prevent foreign matter from adhering to the pellicle film 23. From such a viewpoint, when the pellicle 21 is taken out using the pellicle taking jig, the best place where the jig holds the pellicle 21 is the outer periphery of the pellicle frame 22.
[0011]
However, in the conventional pellicle storage container, the positioning unit 7 for fixing the horizontal movement of the pellicle 21 is provided around the mounting table 6 on which the pellicle 21 is mounted. As a result, FIG. As shown in FIG. 6, the positioning portion 7 exists on the outer periphery of the pellicle frame 22. Therefore, even if an attempt is made to grip the outer periphery of the pellicle frame 22 with the pellicle take-out jig, the positioning unit 7 is scattered around the outer periphery of the pellicle frame 22, so that the positioning unit 7 interferes and the jig holds the outer periphery of the pellicle frame 22. I can't.
Although it is possible to consider such a jig that does not hit the positioning part 7, the structure becomes complicated, and if the position of the positioning part 7 of the pellicle storage container is different, a jig corresponding to that is required. Even when the outer periphery is gripped, it must be gripped so as not to come into contact with the positioning portion 7, and there are various problems such as the occurrence of foreign matter due to breakage when touched.
[0012]
The present invention has been made in view of the above problems, and even when the pellicle take-out jig can be designed and manufactured without considering the position of the positioning portion 7 and the pellicle 21 is taken out using the jig, The main object is to provide a pellicle storage container that does not require attention to contact with the positioning portion 7.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, according to the present invention, in claim 1, the container main body having a mounting table on which the pellicle frame is mounted so that the lower end surface of the pellicle frame of the pellicle to be stored is in contact with the container body, In a pellicle storage container comprising a lid having a fixing part that sandwiches the pellicle frame with the mounting table by contacting the upper end surface of the mounted pellicle frame, the pellicle storage container is mounted on the mounting table Without providing a pellicle positioning part outside the pellicle frame, To fix the pellicle from the inside of the pellicle frame, In the part along the inner periphery of the pellicle frame, or in the part along the inner side of the liner of the mounting table, if a liner is provided on the pellicle frame Protrusions were provided.
[0014]
In this way, by providing a protrusion on the inside of the mounting table so that the pellicle is fixed from the inside of the pellicle frame, the pellicle is positioned from the inside of the pellicle frame, and the pellicle is fixed and cannot be moved in the horizontal direction. It is said. Accordingly, since the horizontal movement of the pellicle can be fixed without providing a positioning portion outside the pellicle frame, the pellicle take-out jig can be designed and manufactured without considering the position of the positioning portion. Even when the pellicle is taken out using a jig, there is no need to pay attention to contact with the positioning portion. Furthermore, there is no fear of the generation of foreign matter caused by the contact between the pellicle removal jig and the positioning portion.
[0015]
In this case, as described in claim 2, it is preferable that the convex portion is formed to be 0.5 to 5 mm higher than the mounting table.
If it is 0.5 mm or more, positioning of the pellicle can be easily performed, and the effect of fixing the movement in the horizontal direction can be sufficiently obtained. If it is 5 mm or less, the convex portion contacts the pellicle film. This is because there is almost no possibility of doing.
[0016]
Furthermore, as described in claim 3, it is preferable that the convex portion is formed so as to rise at an angle of 5 degrees to 90 degrees from the height of the mounting table.
If the angle is less than 5 degrees, the positioning of the pellicle may be difficult, and it may be difficult to achieve the effect of fixing the horizontal movement. On the other hand, when the angle exceeds 90 degrees, when the inner side of the pellicle frame and the convex part come into contact, only the top part of the convex part comes into contact with the inner side of the pellicle frame. This is because there is a possibility that foreign matter may be generated due to the above.
[0017]
Furthermore, as described in claim 4, it is preferable that the convex portion is formed over the entire inner periphery of the pellicle frame.
By forming the convex part over the entire inner periphery of the pellicle frame, positioning of the pellicle is facilitated, and the pellicle frame or liner and the convex part are in contact with the entire periphery, so that the contact pressure is reduced, and foreign matter due to wear, damage, etc. This is because the possibility of occurrence of is extremely low.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
1 to 4 show an example of a pellicle storage container according to the present invention. FIG. 1 is a sectional view thereof, FIG. 2 is an enlarged sectional view of an essential part thereof, and FIG. 3 is a container body of the pellicle storage container. FIG. 4 shows a cross-sectional view thereof.
[0019]
This pellicle storage container, which is an example of the present invention, has a great feature in that a convex portion 11 is provided in place of the positioning part 7 of the conventional pellicle storage container shown in FIGS. Is. Therefore, when there is the same member among other members, the same number is given and explained.
As shown in FIG. 1, the pellicle storage container according to the present invention is formed by fitting a lid 2 to a container main body 1, and the container main body 1 and the lid 2 are fixed by a clip 3. .
[0020]
The said container main body 1 is comprised from the fitting part 5 which has the fitting convex part 4, the mounting base 6, and the convex part 11, as shown in FIG.3 and FIG.4. Here, the fitting portion 5 and the mounting table 6 are the same as the conventional pellicle storage container described above except that the convex portion 11 is provided on the inner side of the mounting table 6, and thus the description thereof is omitted.
The convex portion 11 is provided inside the mounting table 6 with a predetermined width from the outer periphery thereof. Here, the predetermined width corresponds to the width of the mounting table 6, which is equal to or equal to the width of the pellicle frame 22 (distance from the inner peripheral surface to the outer peripheral surface of the pellicle frame 22) or the width of the liner 25. Larger is preferred.
[0021]
The convex portion 11 rises from the height of the mounting table 6 at an angle of 60 ° and is formed to be parallel to the mounting table 6 when it rises 1 mm. Further, the outer periphery of the convex portion 11 is provided at a portion corresponding to the position of the inner periphery of the pellicle frame 22 or the inner periphery of the liner 25 of the pellicle 21 mounted on the mounting table 6. This is because the pellicle 21 is positioned in the horizontal direction and fixed by the outer periphery of the convex portion 11.
If the pellicle frame 22 is provided with an adhesive layer 24 and a liner 25, and the liner 25 protrudes inward from the inner side surface of the pellicle frame 22, it is necessary to perform positioning with the liner 25. Therefore, the convex part 11 is also formed on the basis of the inner periphery of the liner 25.
[0022]
Here, regarding the rising angle of the convex portion 11 from the height of the mounting table 6, that is, the angle at which the convex portion 11 gradually increases from the inner periphery to the inner side of the mounting table 6, Although it is not particularly limited as long as it can be positioned and fixed in the horizontal direction, it is within a range of 5 to 90 degrees as long as it is listed as a preferable range.
This is because when the rising angle is smaller than 5 degrees, the positioning of the pellicle 21 may be difficult, and it may be difficult to achieve the effect of making the horizontal movement impossible and fixing. On the other hand, when the angle exceeds 90 degrees, when the inside of the pellicle frame 22 and the convex portion 11 come into contact, only the top of the convex portion 11 comes into contact with the inside of the pellicle frame 22, and the convex portion 11 or the pellicle This is because foreign matter may be generated due to wear or damage of the frame 22.
A particularly preferable rising angle is an angle within a range of 45 degrees to 75 degrees.
[0023]
Moreover, although it is the maximum height from the mounting base 6 of the convex part 11, if this can position and fix the pellicle frame 22 in the horizontal direction, it will not be restrict | limited in particular. However, if it mentions as preferable height, it is that the convex part 11 is formed higher in the range of 0.5-5 mm than the mounting base 6. FIG.
If it is 0.5 mm or more, the positioning of the pellicle 21 can be easily performed, and the effect of fixing the movement in the horizontal direction can be sufficiently obtained. This is because there is almost no possibility of contact with 23. A particularly preferred height is a height in the range of 0.5 mm to 1.0 mm.
[0024]
As shown in FIGS. 3 and 4, the convex portion 11 is a portion corresponding to a portion along the inner periphery of the pellicle frame 22 or the inner side of the liner 25 when the pellicle 21 is placed on the placement table 6. However, the present invention is not limited to this. If the pellicle 21 is positioned and fixed in the horizontal direction, it may be formed on a part thereof. Good.
Further, as shown in FIGS. 3 and 4, the convex portion 11 may be formed over the entire inner surface of a portion corresponding to the inner periphery of the pellicle frame 22 or the portion along the inner side of the liner 25, but is not limited thereto. If the convex portion 11 is formed on a portion corresponding to the inner periphery of the pellicle frame 22 or a portion along the inner side of the liner 25, the inner side of the pellicle frame 22 is not limited as long as it does not contact the pellicle film 23. It may be a shape. This is because the pellicle 21 can be positioned and fixed in the horizontal direction if the protrusion 11 is formed on the above portion, that is, the portion corresponding to the inner periphery of the pellicle frame 22 or the portion along the inner side of the liner 25.
As another example of such a convex portion 11, for example, a projection such as the positioning portion 7 of the conventional pellicle storage container shown in FIGS. 5 to 8 is provided on the inside of the pellicle frame 22 mounted on the mounting table 6. Examples include a plurality formed on a portion corresponding to the circumference or a portion along the inside of the liner 25.
[0025]
Next, the lid body 2 fitted to the container body 1 will be described.
The lid body 2 has a lid body fitting portion 8 having a fitting concave portion 9 fitted to the fitting convex portion 4 of the container main body 1 and a fixing portion 10 inside thereof.
As shown in FIG. 2, the fixing unit 10 fixes the vertical movement of the pellicle 21 by sandwiching the pellicle frame 22 between the fixing unit 10 and the mounting table 6. Accordingly, the fixing portion 10 is positioned above the mounting table 6 in a state where the lid body 2 is fitted to the container main body 1, and at least the inner periphery of the fixing portion 10 is located inside the outer periphery of the pellicle frame 22 sandwiched therebetween. Need to be deployed.
[0026]
Then, when the pellicle frame 22 is sandwiched between the fixing unit 10 and the mounting table 6, if the fixing unit 10 hits the pellicle film 23, there is a possibility of adding unnecessary distortion or scratches to the pellicle film 23. The inner peripheral side of the fixed portion 10 is preferably arranged so as to be located outside the inner periphery of the pellicle frame 22.
Further, in order to stably hold the pellicle frame 22, the fixing portion 10 is preferably formed in parallel with the mounting table 6.
[0027]
The material used for the pellicle storage container of the present invention is not particularly limited, and generally used resin materials, metals, and the like can be used.
Specifically, polypropylene, polyethylene, acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS), phenol-formaldehyde resin (PFA), polytetrafluoroethylene (PTFE), polymethyl methacrylate (PMMA) and other resin materials, aluminum And metals such as aluminum alloy and stainless steel.
[0028]
Next, a method for storing the pellicle 21 in such a pellicle storage container according to the present invention will be described.
First, the pellicle 21 to be stored on the mounting table 6 of the container body 1 is mounted. Next, when the inner periphery of the pellicle frame 22 of the pellicle 21, or when the adhesive layer 24 and the liner 25 are provided, the pellicle 21 is positioned horizontally by aligning the inner side of the liner 25 along the projection 11. Fix the direction.
[0029]
And the cover body 2 is covered on the container main body 1 so that the fitting convex part 4 and the fitting recessed part 9 may fit. As a result, the fixing portion 10 of the lid 2 comes into contact with the upper end surface of the pellicle frame 22 as shown in FIG.
Finally, by fixing the container body 1 and the lid body 2 with the clip 3, the solid part 10 and the mounting table 6 hold the pellicle frame 22 between them, and the pellicle 21 cannot be moved in the vertical direction. And fix.
In this way, the pellicle 21 is fixed and stored in the pellicle storage container in both the horizontal direction and the vertical direction.
[0030]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples and comparative examples.
(Example)
The pellicle storage container shown in FIGS. 1 to 4 was prepared using ABS for the container body 1, PMMA for the lid 2, and polyvinyl chloride (PVC) for the clip 3.
After the pellicle was stored in this pellicle storage container, an experiment was conducted to extract the pellicle from the pellicle storage container of the example using two kinds of pellicle extraction jigs, jig A and jig B.
[0031]
(Experimental example 1)
First, an experiment using the pellicle removal jig A will be described.
As shown in FIGS. 9 and 10, the pellicle take-out jig A is generally composed of a jig body 31 and a gripping arm 32. FIG. 9 shows a state in which the gripping arm 32 is opened. Shows a state in which the gripping arm 32 is closed, that is, a state in which the gripping arm 32 grips the pellicle frame 21.
The jig body 31 includes a slide mechanism (not shown) that can slide to the left and right, and a grip arm 32 is attached to the slide mechanism. By operating the slide mechanism, the grip arm 32 moves left and right to grip the outside of the pellicle frame 22 of the pellicle 21.
[0032]
Using such a pellicle take-out jig A, an attempt was made to take out the pellicle stored in the pellicle storage container of the above embodiment.
As shown in FIG. 11, in the container body 1 of the pellicle storage container of the embodiment, there is no positioning part or the like outside the pellicle frame 22 of the stored pellicle 21, so that it is easy to use the take-out jig A. The pellicle 21 could be taken out.
[0033]
(Experimental example 2)
Next, an experiment using the pellicle removal jig B will be described.
As shown in FIGS. 12 and 13, the pellicle removal jig B includes a holding plate 34 having an opening 33 provided so that the pellicle film 23 and the jig do not come into contact with each other, and a pellicle frame 22 of the holding plate 34. And a clamper 35 provided at one place in a portion in contact with the outer peripheral portion of the. The clamper 35 includes a spherical projecting portion projecting from the holding plate 34 and a spring portion that pushes the projecting portion outward. The grip plate 34 is provided with a handle 36 for easy handling.
As shown in FIG. 13, the pellicle removing jig B covers the pellicle frame in a direction opposite to the portion of the gripping plate 34 to which the clamper 35 functions and the clamper 35 is attached by covering the pellicle frame 22 with the gripping plate 34. In this mechanism, the pellicle 21 is gripped by pressing 22.
[0034]
Using such a pellicle take-out jig B, an attempt was made to take out the pellicle 21 stored in the pellicle storage container of the above embodiment.
As shown in FIG. 14, in the container body 1 of the pellicle storage container of the embodiment, since there is no positioning portion or the like outside the pellicle frame 22 of the stored pellicle 21, the take-out jig B is removed from above the pellicle 21. Thus, the pellicle 21 could be easily taken out.
[0035]
(Comparative example)
The pellicle storage container shown in FIGS. 5 to 8 was prepared using the same material as in the example.
After the pellicle was stored in the pellicle storage container of this comparative example, an experiment was conducted to extract the pellicle from the pellicle storage container of the comparative example using two kinds of pellicle extraction jigs, jig A and jig B.
[0036]
(Experimental example 3)
An experiment was conducted to take out the pellicle 21 from the pellicle storage container of the comparative example using the pellicle take-out jig A shown in FIGS.
As shown in FIG. 15, since the grip arm 32 of the pellicle removal jig A hits the positioning unit 7, the pellicle frame 22 cannot be sandwiched. Therefore, the pellicle take-out jig A cannot take out the pellicle 21 from the pellicle storage container of the comparative example.
[0037]
(Experimental example 4)
An experiment was conducted to take out the pellicle 21 from the storage container of the comparative example using the pellicle take-out jig B shown in FIGS.
As shown in FIG. 16, the gripping plate 34 of the pellicle take-out jig B cannot be completely covered with the pellicle frame 22 because the positioning portion 7 hits it. For this reason, the clamper 35 does not function and the pellicle 21 cannot be gripped.
Accordingly, the pellicle 21 cannot be taken out of the pellicle storage container of the comparative example even with the pellicle take-out jig B.
[0038]
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
[0039]
For example, in the above-described embodiment, a fitting portion is provided around the mounting table of the container body, and a lid fitting portion is provided around the fixing portion of the lid, and the fitting portion and the lid fitting are provided. However, the present invention is not limited to this, and for example, a structure in which the mounting table and the fixing part are directly fixed with a clip may be used.
[0040]
【The invention's effect】
The present invention provides a container main body having a mounting table on which the pellicle frame is placed so that the lower end surface of the pellicle frame of the stored pellicle is in contact with the upper end surface of the pellicle frame placed on the mounting table. In a pellicle storage container comprising a lid having a fixing portion for sandwiching the pellicle frame with the mounting table, the inside of the mounting table so as to fix the pellicle from the inside of the pellicle frame mounted on the mounting table The pellicle storage container is characterized by having a convex portion.
[0041]
Therefore, the pellicle can be positioned and the pellicle can be fixed from the inside of the pellicle frame. Therefore, since the horizontal movement of the pellicle can be fixed without providing a positioning portion outside the pellicle frame, the pellicle removal jig can be designed and manufactured without considering the position of the positioning portion. Even when taking out the pellicle using a jig, there is no need to be careful not to hit the positioning part, and there is no risk of foreign matter generated due to contact between the pellicle taking jig and the positioning part. It is what you play.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a pellicle storage container used in the present invention.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view in which a fixed portion and a mounting table portion of the pellicle storage container shown in FIG. 1 are enlarged.
3 is a plan view showing a container body of the pellicle storage container shown in FIG. 1. FIG.
4 is a cross-sectional view showing a container body of the pellicle storage container shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a conventional pellicle storage container.
6 is an enlarged cross-sectional view in which a fixed portion and a mounting table portion of the pellicle storage container shown in FIG. 5 are enlarged. FIG.
7 is a plan view showing a container body of the pellicle storage container shown in FIG. 5. FIG.
8 is a cross-sectional view showing a container body of the pellicle storage container shown in FIG.
FIGS. 9A and 9B show a pellicle take-out jig A for taking out a pellicle from a pellicle storage container. FIG. 9A is a plan view thereof, and FIG.
FIGS. 10A and 10B show a state where the take-out jig A shown in FIG. 9 grips the pellicle, wherein FIG. 10A is a plan view and FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line AA.
11 is a cross-sectional view showing a state where a pellicle is taken out from a pellicle storage container according to an embodiment of the present invention using the pellicle take-out jig A shown in FIG. 9, and FIG. (B) shows a state in which the pellicle is held.
FIGS. 12A and 12B show a pellicle take-out jig B for taking out a pellicle from a pellicle storage container. FIG. 12A shows a plan view thereof, and FIG. 12B shows a cross-sectional view taken along the line BB.
13 shows a state in which the take-out jig B shown in FIG. 12 grips the pellicle, where (a) shows a plan view thereof and (b) shows a cross-sectional view taken along line BB.
14 is a cross-sectional view showing a state where the pellicle is taken out from the pellicle storage container according to the embodiment of the present invention using the pellicle take-out jig B shown in FIG. 12, and (a) shows the pellicle take-out jig A holding the pellicle. (B) shows a state in which the pellicle is held.
15 is a cross-sectional view showing a state where a pellicle is taken out from a conventional pellicle storage container using the pellicle take-out jig A shown in FIG. 9, and (a) shows a state before the pellicle take-out jig A grips the pellicle. (B) shows a state in which the pellicle removal jig A cannot grip the pellicle because of the positioning portion.
16 is a cross-sectional view showing a state where a pellicle is taken out from a conventional pellicle storage container using the pellicle take-out jig B shown in FIG. 12, and (a) is a state before the pellicle take-out jig B grips the pellicle. (B) shows a state in which the pellicle removal jig B cannot grip the pellicle because of the positioning portion.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Container main body, 2 ... Lid, 3 ... Clip,
4 ... fitting convex part, 5 ... fitting part, 6 ... mounting table,
7 ... Positioning part, 8 ... Lid fitting part, 9 ... Insertion recessed part,
10 ... fixing part, 11 ... convex part,
21 ... Pellicle, 22 ... Pellicle frame, 23 ... Pellicle film,
24 ... Adhesive layer, 25 ... Liner,
31 ... Jig body, 32 ... Grip arm, 33 ... Opening,
34 ... gripping plate, 35 ... clamper, 36 ... handle.

Claims

A container body having a mounting table on which the pellicle frame is placed so that a lower end surface of the pellicle frame of the pellicle to be stored is in contact; and the mounting table by contacting the upper end surface of the pellicle frame placed on the mounting table; In the pellicle storage container comprising a lid having a fixing part for sandwiching the pellicle frame therebetween , the pellicle positioning part is not provided outside the pellicle frame placed on the mounting table, and the pellicle is arranged from the inside of the pellicle frame. A protrusion along the inner periphery of the pellicle frame of the mounting table or a portion along the inner side of the liner of the mounting table if a liner is provided on the pellicle frame. Characteristic pellicle storage container.

The pellicle storage container according to claim 1, wherein the convex portion is formed at a height of 0.5 to 5 mm higher than the mounting table.

The pellicle storage container according to claim 1 or 2, wherein the convex portion is formed to rise at an angle of 5 to 90 degrees from the height of the mounting table.

The pellicle storage container according to any one of claims 1 to 3, wherein the convex portion is formed over the entire inner periphery of the pellicle frame.