JP3706034B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドの製造方法の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
今日、パソコン等に接続される印刷装置では、インパクト方式に取って替わり、カラー化および多階調化に適したインクジェットプリンタ等のノンインパクト方式の印刷装置が急速に普及しつつある。中でも、印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、低コスト化に有利である等の点から注目されており、カイザー方式やサーマルジェット方式が主流となっている。
【0003】
しかしながら、カイザー方式は小型化が難しく、高密度化に適さないという点で構造的に不利であった。また、サーマルジェット方式は、インクを高温に熱して噴射させるため、インクの耐久性に対する要求が厳しく、また、省エネルギー化に適さなかった。
【0004】
そこで、このような難点を解消する別の方式として、例えば、特開昭63−247051号公報には、剪断モード方式が開示されている。この方式では、圧電材料からなるインクチャンネル壁を剪断モードで駆動させてその圧力波変動を利用してインク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、省エネルギー化に適している。
【0005】
剪断モード方式のインクジェットプリンタは、現在市販されているが、そのアクチュエータは、例えば、図12に示すような横断面形状を有しており、その構造は、ノズルプレート3のある吐出方向から順に、まず、約4mmの駆動チャンネル溝部分100、次に溝加工時にダイシングブレードの直径に起因するR形状部分101、次にR部分の終端部から約3mmの電極引き出し用の深さ数十μmの浅溝部分102が続いている。そのR形状部分101の長さは、ダイシングブレードの直径が52mmのとき、約4mm程度となる。
【0006】
電極103は、斜め蒸着により、駆動チャンネル壁高さの約半分、R形状部分101の溝側面と一部の底面、電極引き出し溝の底面および側面に形成されている。共通インク室104とインク供給孔105を有するカバー部材106は、アクチュエータの開口部側に接着され、インク供給孔105からインクが導入される。
【0007】
この方式では、カバー部材106にサンドブラスト加工により長方形状の穴加工をおこなうことで、共通インク室104を形成し、チャンネル壁頂上部と共通インク室104の穴部分以外の平面部が接着された部分が駆動チャンネル溝部分100となる。
【0008】
しかしながら、この構造においては、チャンネル壁側面にある電極の電圧制御をおこなうために、インクジェットヘッド後部に電極を引き出しているので、インクジェットヘッドの全長が大となって、圧電材料の使用量が多くなり、コストアップになり、また、不要な静電容量が増加して消費電力を増加させ、かつ、熱発生量が増大するという問題があった。
【0009】
さらに、インクジェットヘッドの静電容量が大である程印字入力信号を鈍らせるため、高周波数制御をおこなうことができず、印字スピードの向上やインク滴サイズの変調制御が困難となる。よって、できるだけ不要な静電容量を低減することが望まれていた。
【0010】
このような要請に応えるべく、例えば、特開平9−94954号公報には、駆動部のみからなるインクジェットヘッドの後端面に電極を屈曲させて引き出すように構成したインクジェット記録装置が提案されている。この装置では、圧電材料は駆動部のみに必要とされるため、不要な静電容量が少なく、また、材料コストも少なくて済む。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来技術(特開平9−94954号公報)では、引き出し面に設けられた浅溝内に引き出し電極を形成しているため、外部回路との接続が難しくなるという難点があった。
【0012】
また、この技術では、それぞれのヘッド形状に切り出したヘッドの全表面に一旦電極膜を形成して不要部分をレーザー照射もしくは機械的研磨により除去しているが、この方法では、それぞれマスク処理をおこなう必要があり、量産化に適さないという難点もあった。
【0013】
本発明は、このような実情に鑑みてなされ、駆動部のみからなり、量産化に適し、かつ、外部との電気的接続が容易なインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。
【0015】
(1) 圧電材料に圧力室となる複数のインク流路が形成され、
圧力室内面の圧電材料を駆動するための第1の電極と、
前記第1の電極を圧力室外に引き出すためにヘッド後端部側に形成される第2の電極と、を具備し、前記第2の電極は、ヘッド後端面に形成される第1引き出し電極部と、ヘッド後端面近傍の圧力室内にある前記第1の電極の一部に積層されている第2引き出し電極部とを備え、前記第1引き出し電極部と第2引き出し電極部は同一工程で形成された金属蒸着層であるインクジェットヘッドにおいて、
圧力室開口部の短辺幅をT、圧力室内にある前記第2の電極の圧力室方向の最大幅をHとしたとき、前記端面内の凹形状の溝の幅tと深さdの比率t/dをT/H以下に設定し、かつ、凹形状の溝を刻設した後、前記第2の電極を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
この構成によれば、駆動部のみで構成されるアクチュエータにおいて、駆動電極である第1の電極を、外部回路を接続するためにノズル接着面の反対面である引き出し面に電極を引き出す際に、第1の電極の一部と引き出し面を覆うように、引き出し電極である第2の電極を前記第1引き出し電極部と同一工程で形成することにより、両電極の電気的接合を確実にすることができる。
一方、仮に、引き出し面全面に第2の電極を形成した後にダイシングブレードを用いた機械加工により電極分離溝を形成した場合、以下の問題があった。即ち、表層にある数μmの金属膜を同時に切削する必要があるため、ブレード摩耗が大きい。このことは、加工中に分離溝の深さが減少して確実に分離が行えない等の不具合が生じるおそれがある。また、切削された金属膜のエッジではバリが生じ電極間を短絡させる可能性があるため、バリを除去する必要がある。また、金属膜を切削するため、ブレードの摩耗及び変形が大きく、頻繁にブレードを交換する必要がある。また、ダイシング加工では切削水を使用し、外部接続が必要な引き出し電極部分を長時間に渡って水にさらすため、金属膜の表面層の変質により外部接続に支障が生じるおそれがあった。
上述した本発明の方法によれば、分離溝を形成した後で、第2の電極を形成するため、上記のような問題が発生せず、第1の電極を、第2の電極によって、確実に引き出し面に引き出すことが可能となる。
(2)前記インクジェットヘッドは、圧力室開口面には、前記第1の電極に対して略平行となるように、圧力室壁上を連通する凹形状の溝が刻設されている上記 ( 1 ) の構成である。
【0016】
この構成によれば、圧力室壁上を連通する凹形状の溝を圧力室開口面に刻設することにより、各圧力室毎に第2の電極を電気的に分離することができ、引き出された電極は、ヘッド後端面に凸状に形成される。従って、ワイヤーボンディング若しくは異方性導電膜を用いた外部駆動回路との接続が容易となる。
【0017】
(3)前記インクジェットヘッドは、圧力室内の両側面に対向する前記第1の電極を、圧力室底面もしくは天板面に設けられた前記第2の電極により、電気的に短絡している上記のいずれかの構成である。
この構成によれば、第1の電極をより確実に引き出し面に引き出すことが可能となる。例えば、引き出し面と圧力室内の電気的接合部分は、機械的、熱的ダメージにより切断されやすいが、本発明の構成では、たとえ一方が切断されたとしても、圧力室内で対向している第1の電極は短絡しているため、もう一方を介して導通を保つことができるので、引き出しの歩留まりと耐久性が向上する。
【0018】
さらに、電極分離溝の加工精度が悪く、片方の接合部分を切断したとしても、もう一方を介して導通を保つことが可能であるため、第2の電極の分離の際に厳しい加工精度が要求されず、低コスト化が可能となる。また、圧力室の底面側に第2の電極を形成すると、第1の電極間を短絡する電極の導通信頼性が高いインクジェットヘッドを製作することが可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドおよびその製造方法について図面を参照しつつ説明する。
【0020】
[第1の実施形態]
(構成)
図1はインクジェットヘッドの縦断面図、図2はその背面図(図1のZ方向から見た図)で、図2のXA−XB矢視断面図が図1である。また、図3は引き出し面側から見た斜視図である。これらの図にて、符号1はアクチュエータで、深さ300μm、幅70μm、141μmピッチの溝を計14本配列したチャンネル基板2と、その溝の底面に対向する開口に接着したカバープレート3とで構成され、長方形状の切断面が1mmに渡って連なる圧力室20を有している。
【0021】
チャンネル基板2およびカバープレート3は、圧電材料からなり、本実施形態では、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(以後PZTという)を用いている。このチャンネル基板2は、基板の厚み方向(紙面の上下方向)に分極しているが、カバープレート3は分極していない。圧力室20の内部には、図1に示すように、圧力室壁23の上半部に駆動電極21が形成されている。
【0022】
この駆動電極21が本発明でいう第1の電極である。ヘッド後端部側(図1の左側)の圧力室20内部の一部分と、ヘッド後端面の電極引き出し面には、引き出し電極22が形成されている。
【0023】
第2の電極である引き出し電極22は、便宜上3種類に大別され、圧力室20の後端部において駆動電極21上に積層された引き出し電極22A、圧力室20の後端部の駆動電極以外の部分に形成された引き出し電極22B、ヘッド後端面の引き出し面上に形成された引き出し電極22C、に区別されるが、いずれも一度の真空蒸着によって製作される。
【0024】
駆動電極21は、引き出し電極22A,22Bを介して圧力室20外の引き出し電極22Cに導通している。なお、本実施形態では、駆動電極21および引き出し電極22A,22B,22Cの材質はいずれも純銅であり真空蒸着によって製作される。
【0025】
インク吐出側の端面(図1の右側)には、直径20μmφ(吐出側)のインク吐出穴を有するポリイミドからなるノズルプレート4を接着している。また、ヘッド後端面には、射出成形等により製作した樹脂製のマニホールド5を接着剤を用いて固着し、インクを圧力室20に導入している。引き出し電極22Cとインク噴射装置を駆動制御する電気回路(図示省略)はワイヤーボンディング又は異方性導電膜を用いて電気的に接続されている。
【0026】
図2に示すように、ヘッド後端面10には、圧力室20の内側面に形成された駆動電極21に略平行で、圧力室20を隔てる圧力室壁23上を連通する複数の電極分離溝11が刻設されている。電極分離溝11は、深さ30μm、幅20μmの溝であり、その電極分離溝11の内壁には溝は形成されていない。ヘッド後端面10上の電極分離溝11以外の平坦な部分には、引き出し電極22Cが形成されており、それぞれの圧力室20内の駆動電極21と導通している。
【0027】
各部材の寸法については、チャンネル基板2およびカバープレート3は、共に、厚み0.9mm、チャンネルの深さ300μm、幅70μmで、アクチュエータ1の全長は1mmである。また、駆動電極21の幅は150μmであり、圧力室20内に侵入している引き出し電極22A,22Bの幅は約40μmである。
【0028】
以上のような構成により、圧力室壁23を介して対向している駆動電極21,21間に電位差を加えることが可能となり、圧力室壁23は、分極方向に直交する電界が印加されて剪断モードで駆動する。この際に生じる圧力変動を利用してノズルプレート4からインクの吐出がおこなわれる。
【0029】
(製造方法)
図4(a)〜(f)は製造方法の概要を示し、各図(a)〜(f)における上の図は縦断面図、下の図は溝加工方向側から見た上面(平面)図を示す。
第1の工程を図4(a)に基づいて説明する。この工程では、厚み方向に分極したPZTからなるチャンネル基板2の溝加工を行う面に、レジスト膜を塗布する。本実施形態では、20×75mmの長方形状で厚み0.9mmのPZTに、厚み25μmのドライレジスト膜24をラミネータで固着させた。なお、レジスト膜は、液体状のレジストを用いても良く、この場合、スピンコートあるいはバーコーターを用いて所望の厚みに塗布することができる。
【0030】
第2の工程を図4(b)に基づいて説明する。この工程では、圧力室20となるインク流路をダイシング等の切削加工により形成する。本実施形態では、ディスコ社製ダイシングソー「DAC−2SP/86」によりブレード外径52mm厚み70μmのダイヤモンドブレードを用い、チャンネル基板2の長手方向(矢印方向)に平行に突っ切りで計140本のインク流路を等ピッチで形成した。なお、圧力室20となるインク流路は凹形状をした溝で、溝ピッチP=141μm(180dpi)、溝幅L=70μm、PZTの上面に対して深さD=300μmとなる条件で加工されている。
【0031】
第3の工程を図4(c)に基づいて説明する。この工程では、圧力室壁23に剪断モード駆動させるための駆動電極21を形成する。本実施形態では、電子ビーム蒸着装置を用いて、図中のd1及びd2方向から計2回の斜め蒸着をおこない、圧力室壁23の両側面上半分に純銅の駆動電極21を形成している。なお、蒸着方向d1及びd2は溝長手方向に直交しており、かつ、チャンネル基板面の法線方向に対する傾斜角度を66度としている。
【0032】
この条件により、隣接する圧力室壁23のシャドー効果で圧力室壁23の上半分とドライレジスト膜24にのみ電極21が形成される。なお、斜め蒸着の最適条件は、溝幅、及び傾斜角度及びレジスト膜厚等をパラメータとして、実験的もしくは幾何学的計算により容易に得ることが可能である。
【0033】
第4の工程を図4(d)に基づいて説明する。この工程では、レジスト膜24を機械的もしくは化学的に除去する。本実施形態では、チャンネル基板2をアセトン浴に浸し、チャンネル基板2からドライレジスト膜24を膨潤させて除去した。この際、レジスト上に蒸着された電極膜はチャンネル基板2から剥離され、圧力室壁23および圧力室20を介して対向する電極21,21同士は絶縁される。
【0034】
第5の工程を図4(e)に基づいて説明する。この工程では、インク流路基板の溝開口部側にカバープレート3を接着した後、ヘッドの大きさに切断する。本実施形態では、チャンネル基板2と、同サイズで厚みが0.9mmの分極処理がおこなわれていないPZTとチャンネル基板2をエイブルスティック社のエポキシ樹脂性接着剤を用いて接着した。100℃に保ったオーブン中で1時間以上焼成させた後、溝進行方向に直交する方向(X4A−X4B)に幅1mmとなるように切断し、一つのアクチュエータ基板から複数のインクジェットヘッドを切り出す。
【0035】
第6の工程を図4(f)に基づいて説明する。この工程では、インクを吐出する側のノズル接着面の反対面である電極引き出し面に、駆動電極を制御可能な引き出し電極22Cを形成する。本実施形態では、まず、図中のd3およびd4方向から2回蒸着をおこない、引き出し面に加えて駆動チャンネル側面の一部にまで電極が侵入するようにした。その後、ダイシングブレードを用いて圧力室壁23上を通過し駆動電極21に略平行な幅20〜30μm、深さ20μmの電極分離溝11を形成した。これにより、各引き出し電極22Cは、それぞれ電気的に分離された状態となる。
【0036】
この工程を、図5および図6を用いてより具体的に説明する。図5(a)は引き出し面の上方図、(b)は、Y5a−Y5b線矢視断面図である。なお、この図は、構成を容易に理解できるように配慮して作成したものであり、寸法は忠実に再現していない。
【0037】
図5(b)に示すように、引き出し電極22Cは、引き出し面10に対して約60度傾斜させた方向から斜め蒸着をおこなうことにより、引き出し面10上と圧力室壁側面上半分にある駆動電極21を覆うように形成される。駆動電極21を覆う引き出し電極22は、圧力室幅70μm、斜め蒸着角度60度では、引き出し面から圧力室方向に約40μmの幅で形成され駆動電極21の端部(一部分)に積層状態にラップする。
【0038】
引き出し面10の全体を覆うように形成された引き出し電極22は、ヘッド後端面10側の圧力室壁上を通過するように幅30μmのブレードを用いてダイシング加工することにより、電極分離溝11を形成し、それぞれの圧力室20から引き出された電極は、チャンネル毎に電気的に分離される。
【0039】
これにより、図6の太い矢印(A)(B)で示す以下の電気的なパスが同時に形成される。
【0040】
(A)駆動電極21→駆動電極21と引き出し電極22の積層部分22A→引 き出し面10上の引き出し電極22Cの順
(B)駆動電極21→駆動電極21と引き出し電極22の積層部分22A→圧 力室20内の引き出し電極22B→引き出し面10上の引き出し電極22Cの順
以上により、駆動電極21と引き出し電極22は、圧力室側面の平坦な部分において積層され電気的に導通しており、圧力室壁両側面の駆動電極21,21は引き出し面10内の引き出し電極22により互いに短絡している。
【0041】
また、引き出し面10では、引き出し電極22は、1つのインク流路(20)の両側面の駆動電極21,21を短絡する一方、隣接する他のインク流路( 20)内の駆動電極21−とは、電極分離溝11により互いに絶縁されてい る 。
【0042】
このような構成により、各インク流路(20)壁の両側面の駆動電極21,21間に電位差を印加し、圧力室壁を剪断モードで個別に駆動することが可能となる。
【0043】
(その他)
本実施形態の別の実施例として、分離溝に相当する箇所に櫛歯状の金属マスク、液体のレジスト若しくはマスキングテープ等によりパターニングをおこない、第2の電極形成をおこなってもよい。
【0044】
また、本実施形態では、単色のインクからなるインクジェットヘッドについて説明しているが、マニホールドを分割し、複数のインクを噴射させることも可能である。
【0045】
さらに、本実施形態では、第1及び第2の電極材料をいずれも純銅としているが、必ずしも両者が同一の材料である必要はなく、他の材料であっても可能である。電極材料としては、純銅以外にアルミニウム、金、銀、タンタル、ニッケル、炭素等の導電性物質の組み合わせであればよいが、接続を確実にするためには、第2の電極材料は純銅であることが望ましい。
【0046】
(効果)
以上のように、本実施形態では、駆動部のみで構成されるアクチュエータ1において、駆動電極である第1の電極21の一部に、引き出し電極である第2の電極22を、積層させる簡易な構成により、両電極21,22の電気的接合を確実にすることができる。
【0047】
このような簡易な構成により、インクジェットヘッドを基本的にコンパクトに形成することができると共に、その生産を効率よくおこなうことが可能となる。例えば、電極分離溝11の形成、第1の電極21の形成及びカバープレート3の接着までを大面積基板上で一括して処理した後、各インクジェットヘッド毎に分断する。そして、第2の電極22はヘッド後端面に凸状に形成されているため、ワイヤーボンディング若しくは異方性導電膜を用いて外部駆動回路(図示省略)との接続を容易におこなうことができる。
【0048】
[第2の実施形態]
(構成)
本実施形態に示すアクチュエーターの形状及び材質は、第1の実施形態において説明したものと同一であるため重複する説明は省略する。図7はアクチュエータ1を圧力室開口部の上方から見た斜視図である。第1の実施形態と異なる点は、第2の電極22が、引き出し面10近傍の圧力室内のカバープレート3の部分にも形成されている点である。
【0049】
第2の電極である引き出し電極22は次の4種類に分類される。すなわち、駆動電極21上に積層されたもの(図中の22A)、圧力室側面に形成されたもの(図中の22B)、圧力室内のカバープレート3の側に形成されたもの (図中の22D)、引き出し面10に形成されたもの(図中の22C)である。
【0050】
以上の構成により、圧力室20の両側面の2つの駆動電極21,21は圧力室内面で引き出し電極22A及び22Dにより導通し、両電極21,21は同電位となる。さらに引き出し電極22Dと圧力室内壁の電極21,21は、図中の矢印(A)〜(C)に示すパスで導通する。
【0051】
(製造方法)
本実施形態に示すアクチュエータ−の製造方法は、第1の実施形態において説明した第5の工程まで同一であるため、重複する説明は省略する。
【0052】
第6の工程は、短冊状に切り出されたインクジェットヘッドに対して、第2の電極である引き出し電極22を形成する工程であるが、本実施形態による引き出し電極形成について図8を用いて説明する。図8(a)は電極引き出し面を図示の状態で紙面上側としたヘッドの縦断面図であり、紙面左側がカバープレート3、右側がチャンネル基板2である。
【0053】
引き出し電極22の形成では、引き出し面10の法線方向とは異なる2方向から蒸着する。蒸着方向は、まず第一に電極引き出し面10からチャンネル基板側に角度θだけオフセットした面方向X−X'から蒸着を行うことを基本と し、そのときの角度θは約10〜50度が望ましい。
【0054】
図8(b)は電極引き出し面から見た平面図であり、図中のYA−YB線は駆動電極21と平行である。引き出し電極22を形成するための蒸着は、前述した面方向X−X'内で、YA−YB線に対して角度φづつ左右に傾けた方向 から蒸着を2回行う。なお、角度φは30〜60度の範囲内に設定されることが望ましい。
以上の方法により、図7に示した引き出し電極22(22A〜22D)を形成することができる。
【0055】
[第3の実施形態]
(構成)
本実施形態に示すアクチュエータ1の形状及び材質は、第1の実施形態において説明したものと同一であるため重複する説明を省略する。
【0056】
図9は、圧力室開口部の上方から見たアクチュエータ1の斜視図である。本実施形態が、第1の実施形態と異なる点は、第2の電極22が、引き出し面10の近傍の圧力室内の底面にも形成されている点である。
【0057】
第2の電極である引き出し電極22は、次の4種類に分類される。駆動電極21上に積層されたもの(図中の22A)、圧力室側面に形成されたもの(図中の22B)、圧力室内の底面側に形成されたもの(図中の22D)、そして、引き出し面10に形成されたもの(図中の22C)である。
【0058】
以上の構成により、圧力室20の両側面の2つの駆動電極21,21は圧力室内面で引き出し電極22A及び22Dにより導通し、両電極21,21は同電位となる。さらに引き出し電極22Dと圧力室内壁の駆動電極21,21は、図中の矢印(A)〜(C)に示すパスで導通する。
【0059】
(製造方法)
本実施形態に示すアクチュエーターの製造方法は、第1の実施形態において説明した第5の工程まで同一であるため、重複する説明は省く。
【0060】
第6の工程は、短冊状に切り出されたインクジェットヘッドに対して、第2の電極である引き出し電極22を形成する工程であるが、本実施形態による引き出し電極22の形成について図10を用いて説明する。図10(a)は電極引き出し面10を図示の状態で紙面上側としたヘッドの縦断面図であり、紙面左側がカバープレート3、右側がチャンネル基板2である。
【0061】
引き出し電極22の形成では、引き出し面10の法線方向とは異なる2方向から蒸着する。蒸着方向は、まず第一に電極引き出し面10からカバープレート3側に角度θだけオフセットした面方向X−X'から蒸着を行うことを基本 とし、そのときの角度θは約10〜50度が望ましい。
【0062】
図10(b)は電極引き出し面10から見た平面図であり、図中のYA−YB線は駆動電極と平行である。引き出し電極を形成するための蒸着は、前述した面方向X−X'内で、YA−YB線に対して角度φづつ左右に傾けた方向か ら蒸着を2回おこなう。なお、角度φは30〜60度の範囲に設定されることが望ましい。
以上の方法により図9に示した引き出し電極を形成することができる。
【0063】
(その他)
第2,第3の実施形態では、電極分離溝11が圧力室壁23の中央を連通するものについて説明したが、「圧力室内の両側面に対向する前記第1の電極を、圧力室底面もしくは天板面に設けられた前記第2の電極により、電気的に短絡した」構成では、圧力室10内の両駆動電極21,21は短絡されているため、電極分離溝11の中心位置が圧力室壁23の中心位置から圧力室壁厚みの1/2と電極分離溝11の幅の1/2の和の範囲内にあれば良く、加工位置精度の許容範囲が広い。
【0064】
(効果)
「圧力室内の両側面に対向する前記第1の電極を、圧力室底面もしくは天板面に設けら れた前記第2の電極により、電気的に短絡した」構成により、駆動電極21,21をより確実に引き出し面10に引き出すことが可能となる。例えば、引き出し面10と圧力室10内の電気的接合部分は、機械的、熱的ダメージにより切断されやすいが、本発明に係る構成では、たとえ一方が切断されたとしても、圧力室10内で対向している駆動電極21,21は短絡しているため、もう一方を介して導通を保つことができるので、引き出しの歩留まりと耐久性が向上する。
【0065】
さらに、電極分離溝11の加工精度が悪く、片方の接合部分を切断したとしても、もう一方を介して導通を保つことが可能であるため、引き出し電極22の分離の際に厳しい加工精度をが要求されず、低コスト化が可能となる。
【0066】
また、第2の実施形態で示したようにカバー側に引き出し電極22を形成すると、第1の実施形態に比べ不要な静電容量が少なく、さらには駆動電極21と引き出し電極22の積層面積が広いインクジェットヘッドを製作することが可能となる。
【0067】
また、本実施形態のように、圧力室10の底面側に引き出し電極22を形成すると、駆動電極21,21間を短絡する電極の導通信頼性が高いインクジェットヘッドを製作することが可能となる。
【0068】
[第4の実施形態]
本実施形態は、「圧力室内の両側面に対向する前記第1の電極を、圧力室底面もしくは天板面に設けられた前記第2の電極により、電気的に短絡した」構成のインクジェットヘッドの製造方法に関するものであり、インクジェットヘッドの構成は、第2の実施形態または第3の実施形態で説明したものと同一である。本実施形態が、第2,第3の実施形態と異なる点は、第2の電極材料としてアルミニウムを用い、第6の工程である引き出し電極22の形成において、イオンプレーティング法を用いている点である。
【0069】
本実施形態では、駆動電極21及び引き出し電極22の材料として、アルミニウムを用いている。ヘッドの製作方法は、第5の工程まで同一であるが、引き出し電極22を形成する工程で、イオンプレーティング法を用いている。イオンプレーティング法とは、真空蒸着の一種で、アルゴンイオン雰囲気中を通過させ高エネルギー状態とした蒸着粒子を蒸着する方法であり、通常の真空蒸着に比べ緻密な蒸着膜の形成が可能である。
【0070】
本発明の出願人等は、第1の実施形態において説明した駆動部分のみからなるインクジェットヘッドの駆動電極21を後端面に引き出す方法としてイオンプレーティング法による真空蒸着を用いることにより、引き出し電極22の材質がアルミニウムであっても良好な引き出しが可能な条件があることを見出した。引き出し電極22をアルミニウムとすることは外部電極と接続する際に、安価で信頼性の高いワイヤーボンディングを用いることができるという利点がある。
【0071】
本実施形態では、第6の工程で、日本真空技術社製の真空蒸着装置EB−10DXを用いてアルミニウムからなる引き出し電極22の形成を行った。なお、駆動電極21の形成に当たっても同一の装置を用いてアルミニウムを蒸着している。本蒸着装置は、高真空に真空引きしたチャンバー内でソースを電子ビーム溶解させることにより真空蒸着を行う装置であるが、チャンバー内に螺旋状のコイルを設けイオンプレーティング法による蒸着を行うことも可能である。
【0072】
イオンプレーティング法の各条件は、バックグランド圧5×10-6(Torr)、イオンプレーティング時のアルゴン雰囲気ガス圧1×10-3(Torr)として、高周波印加電圧1.5kV、周波数13.56kHz、パワー150Wをコイルに印可した。なお、対比データとして、同一装置を用いて真空蒸着のみによる引き出し電極の形成を行った。
【0073】
140チャンネルの圧力室を設けたインクジェットヘッドに対して、引き出し面からの傾斜角度θ、駆動電極の平行線YA−YBからの傾きφを変えて引き出し電極の形成を行い、各駆動電極との導通の有無を確認し、最適条件を求めた。
【0074】
その結果、駆動電極の平行線の傾きφが45〜135度、引き出し面からの傾斜角度θが30〜60度の条件で、イオンプレーティングを用いることにより全ての電極の引き出しが可能であることを確認した。一方、真空蒸着のみでは同一の条件であっても引き出し率が10%未満であった。
【0075】
この差違についてさらに検討した結果、真空蒸着により形成したアルミニウム電極をSEMで観察すると柱状成長しており、引き出し面と圧力室側面の端部において導通不良しているのが確認された。一方、イオンプレーティングにより作成したアルミニウム電極は表面がなめらかであり、該端部を電極が十分に被覆しているため、導通が確実になっている。
【0076】
(効果)
引き出し電極としてアルミニウムを用いることができるため、安価で信頼性の高い電気接続であるワイヤーボンディングにより、アクチュエーターと外部回路を接続することができる。
【0077】
[第5の実施形態]
本実施形態は、第1の実施形態と類似した構成であるが、第1の実施形態では、引き出し電極を形成後に機械加工により引き出し面上の電極を分離しているのに対して、本実施形態では、電極分離用の溝を形成した後、引き出し電極を形成する点で異なっている。
【0078】
本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法は、第1の実施形態の製造方法で説明した第5の工程までは同一であり、全長1mmの短冊状に切り出された形状となっている。
【0079】
本実施形態での第6の工程では、まず初めに、このヘッドの引き出し面に、厚み30μmのダイヤモンドブレードを用いて、圧力室壁23の中央部分に電極分離溝11を加工する。なお、その溝幅tは30μm、溝深さdは30μmとする。
【0080】
次に、引き出し電極22の形成を行う。図11(a)に基づいて説明する。図11(a)は、圧力室20の横断面図であり、図5のY5a−Y5b線切断面に相当する。なお、本図では、ヘッド後端面電極引き出し面10を紙面の上側にして後端部付近を抽出し、構成を判りやすくするために電極膜の厚み等を忠実に表現していない模式図である。
【0081】
引き出し電極22の形成は、純銅を材料とした真空蒸着で、蒸着方向は、第1の実施形態において説明したものと同一である。なお、蒸着角度は引き出し面10から30度で、図は2回行う蒸着の内一回目の蒸着が終わったあとの形状を示している。
【0082】
圧力室20については、溝幅Tは70μm、駆動電極21の厚みは1μmであり、上記の条件で引き出し電極22を形成した場合、圧力室20の内側面において引き出し電極22は厚み2μmで引き出し面10から圧力室深さ方向 (紙面上下方向)への引き出し電極22の幅Hが40μmとなる。
【0083】
また、電極分離溝11の内側面にも電極が形成され、電極分離溝11の幅が30μmの場合、側面電極hは17μmの深さとなるが、ダイシング加工により加工された溝深さは30μmであるため、溝底面まで達することはない。
【0084】
同様にして、逆方向から2回目の蒸着を行うことにより図11(b)のような断面を有するインクジェットヘッドが製作される。図からも判るように、電極分離溝11の底面には、電極は形成されないため電極分離溝11の左右では電気的には絶縁されている。即ち圧力室αの両側面にある駆動電極21α,21αは引き出し電極22αと導通している。しかながら、隣接する圧力室βの両側面にある駆動電極21βと導通している引き出し電極22βと引き出し電極22αは電極分離溝11を介して絶縁されている。
【0085】
このように、電極分離溝11を形成した後、引き出し電極22を形成する方法において、引き出し面10上の引き出し電極22を電極分離溝11により確実に分離するためには、電極分離溝11の底面まで電極が形成されないことが望ましい。電極分離溝11の底面に電極が形成されないための条件としては、分離溝側面に形成される電極の幅hが分離溝深さdよりも小さいこと(h<d)が必要とされる。
【0086】
分離溝側面に形成される電極幅hは、蒸着角度θと分離溝幅tから幾何学的計算から容易に算出され、概ねh=t×tanθの関係が成り立つ。また、圧力室内に形成される引き出し電極の圧力室方向の電極幅Hも、同様にH=T×tanθとなる。よって、分離溝の深さは、蒸着角度によらず、d>t(H/T)の関係を満たせば良い。
【0087】
なお、本発明は、第2の電極形成を記載した方法だけに限定されるものではなく、例えば第2ないし第4の実施形態において記載した電極形成方法に適用することもできる。
【0088】
(効果)
引き出し面全面に引き出し電極を形成後にダイシングブレードを用いた機械加工により電極分離溝を形成した場合、表層にある数μmの金属膜を同時に切削する必要があるため、ブレード摩耗が大きい。このことは、加工中に分離溝の深さが減少して確実に分離が行えない等の不具合が生じるおそれがある。
【0089】
また、切削された金属膜のエッジではバリが生じ電極間を短絡させる可能性があるため、バリを除去する必要がある。
【0090】
また、金属膜を切削するため、ブレードの摩耗及び変形が大きく、頻繁にブレードを交換する必要がある。
【0091】
また、ダイシング加工では切削水を使用し、外部接続が必要な引き出し電極部分を長時間に渡って水にさらすため、金属膜の表面層の変質により外部接続に支障が生じるおそれがあった。
【0092】
本実施形態の方法では、分離溝を形成したあとで引き出し電極を形成するため、上記の問題が発生せず、駆動電極を引き出し電極によって確実に引き出し面に引き出すことが可能となる。
【0093】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、以下の効果を奏する。
【0094】
即ち、分離溝を形成した後で、第2の電極を形成するため、第1の電極を、第2の電極によって、電気的接合を確実にして、引き出し面に引き出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るインクジェットヘッドの縦断面図である。
【図2】同背面図である。
【図3】同背面から見た斜視図である。
【図4】同製造方法の説明図である。
【図5】同詳細な工程説明図である。
【図6】同詳細な工程説明図である。
【図7】本発明の第2の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視説明図である。
【図8】同工程説明図である。
【図9】本発明の第3の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視説明図である。
【図10】同工程説明図である。
【図11】本発明の第4の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視説明図である。
【図12】従来のインクジェットヘッドの要部構成の一例を示す図面である。
【符号の説明】
11−溝
20−圧力室
21−第1の電極
22−第2の電極
Claims (3)
- 圧電材料に圧力室となる複数のインク流路が形成され、
圧力室内面の圧電材料を駆動するための第1の電極と、
前記第1の電極を圧力室外に引き出すためにヘッド後端部側に形成される 第2の電極と、を具備し、前記第2の電極は、ヘッド後端面に形成される第1引き出し電極部と、ヘッド後端面近傍の圧力室内にある前記第1の電極の一部に積層されている第2引き出し電極部とを備え、前記第1引き出し電極部と第2引き出し電極部は同一工程で形成された金属蒸着層であるインクジェットヘッドにおいて、
圧力室開口部の短辺幅をT、圧力室内にある前記第2の電極の圧力室方向の最大幅をHとしたとき、前記端面内の凹形状の溝の幅tと深さdの比率t/dをT/H以下に設定し、かつ、凹形状の溝を刻設した後、前記第2の電極を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記インクジェットヘッドは、圧力室開口面には、前記第1の電極に対して略平行となるように、圧力室壁上を連通する凹形状の溝が刻設されている請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記インクジェットヘッドは、圧力室内の両側面に対向する前記第1の電極を、圧力室底面もしくは天板面に設けられた前記第2の電極により、電気的に短絡した請求項1または2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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