JP3704296B2

JP3704296B2 - Manufacturing method of adhesive mask for photomask protection

Info

Publication number: JP3704296B2
Application number: JP2001152690A
Authority: JP
Inventors: 満小笹
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2001-05-22
Filing date: 2001-05-22
Publication date: 2005-10-12
Anticipated expiration: 2021-05-22
Also published as: JP2002338917A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路形成工程等において粘着性を有するフォトレジストに密着させて使用するフォトマスク保護用粘着テープの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プリント配線板を作製する際に、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジストが使用されている。このような粘着性を有するフォトレジストに密着して使用される露光用フォトマスクの表面の汚れや損傷等から保護する目的で、従来よりポリエステル基材よりなるフォトマスク保護用粘着テープが用いられている。しかし、液状フォトレジストは粘着性を有するため、フォトマスク保護用粘着テープにフォトレジストが付着したりして、露光後レジストからフォトマスクを剥離し難くなるという問題点があった。
【０００３】
このような問題点を解決するために、フォトマスク保護用粘着テープの基材に離型剤をコーティングして、シリコーン系離型剤層を設けたものが提案されている（実開平３−１１４８４５号公報）。しかしながら、この離型剤層付きフォトマスク保護用粘着テープであっても、使用する度に離型剤層に付着したフォトレジストかすをクリーニングするためにアルコールで拭き取る必要があり、その際離型剤が脱落することがあり、離型効果が著しく低下することがあった。
このため、離型剤層と基材との密着性を向上させる目的でアンカー剤（シランカップリング剤）を使用する方法が採用されている。
即ち、従来のフォトマスク保護用粘着テープの製造方法は、基材にアンカー剤を塗布し、その上に離型剤層を形成した後、他面に粘着剤層を形成するのが通常であった。
【０００４】
ところで、回路基板の凹凸が著しいソルダーレジスト工程での露光では５００ショット程度使用した場合、回路基板の凹凸がフォトマスク保護用粘着テープ側に痕跡として残るため、フォトマスク保護用粘着テープを剥離して取り替える必要があった。ところが、このようなフォトマスク保護用粘着テープを剥離する際に、フォトマスク側に粘着剤が糊残りするという問題点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、アルコールクリーニングを行っても離型効果の低下がなく、しかも１，０００ショットの露光後においても、粘着剤の糊残りを起こさずに剥離することが可能なフォトマスク保護用粘着テープの製造方法を提供することにあり、更にこの検討の過程において、製造条件によっては粘着テープに白い塗布むらによる外観不良現象を来す場合があることを知見し、これを抑制する製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープの製造方法は、透明な合成樹脂基材フィルムの片面に粘着剤層が設けられ、他面にアンカー層と剥離層とがこの順に設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープを製造する際に、基材フィルムの一面にアンカー剤を塗工してアンカー層を設けた後、別途セパレータ上に形成した粘着剤層面を基材フィルムの他面にラミネートし、次いでアンカー層上に離型剤を塗工することを特徴とする。
【０００７】
以下に、本発明の製造方法を図面を参照しながら詳細に説明する。
まず、基材フィルム１の一面にアンカー層２を形成する（図１参照）。アンカー層２は、基材フィルム１と後述する離型剤層との密着性を向上させるためのものであり、この２層積層体はロール状に巻き取って保管することも可能である。
次いで、図２に示したように、別途セパレータ４上に形成した粘着剤層３面を、上記２層積層体の基材フィルム１の他面にラミネートする。この場合もラミネート後にロール状に巻き取って保管してもよく、引き続く次工程に供給してもよい。さらに、アンカー層２上に離型剤を塗工して離型剤層５を設けることにより、図３に示したフォトマスク保護用粘着テープが得られる。
【０００８】
上記基材フィルムとしては、透明性を有するものであれば特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネート、トリアセテート、ポリイミド等の透明なフィルムが好適に用いられる。
上記基材フィルムの厚みは、光透過性、取扱い性等を考慮して、適宜決定することが好ましい。
【０００９】
上記アンカー層は、アンカー剤を塗工、乾燥することによって形成することができる。アンカー剤としては、例えば特開平６−１７９７６３号公報に開示されている如き、下記（１）式で表されるシランカップリング剤が好適に用いられる。
【００１０】
【化１】

【００１１】
式中、ＸはＣＨ₃、ＹはＯＣＨ₃、Ｚは (ＣＨ₂)₃-ＯＣＨ₂-ＣＨ₂-ＯＨをそれぞれ示す。また、ｎは１７、ｍは３、ｐは２の整数をそれぞれ示す。
上記アンカー剤の塗工方法は、特に制限がなく、従来公知の塗工装置が使用可能である。
【００１２】
上記セパレータとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート等の樹脂フィルムに、シリコーン系離型剤等により離型処理を施したものを用いることが好ましい。
【００１３】
本発明で用いられる粘着剤は、特に制限はないが、透明性を考慮するとアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸エステルモノマーと官能基含有モノマーとの共重合体からなるアクリル系ポリマーを主成分とするものが好ましく、重合方法については特に制限はない。
【００１４】
上記（メタ）アクリル酸エステルモノマーとしては、例えば、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート等が挙げられ、官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。
【００１５】
上記アクリル系粘着剤としては、アクリル系ポリマー内部に一部架橋構造をもつものが好ましい。架橋構造をもつことによって粘着剤の凝集力が高められるので、テープ剥離時に糊残りし難くなる。このような架橋構造は、前記官能基含有モノマーと反応し得る架橋剤の使用によって形成することができ、架橋剤としては、例えば、エポキシ架橋剤、脂肪族又は芳香族イソシアネート系架橋剤等が好適に用いられる。
【００１６】
上記セパレータ上に粘着剤層を形成する方法としては、例えば、ロールコーター、コンマコーター等を用いて、セパレータの片面に粘着剤を直接塗工し乾燥する方法や、一旦離型紙上に同様の方法で粘着剤層を設けた後セパレータの片面へ転写する方法などが用いられる。
【００１７】
本発明の製造方法によると、まず、基材フィルムの一面にアンカー層を設けた後で基材フィルムの他面に粘着剤層を積層するので、アンカー剤塗工面は汚染されていないため、アンカー剤の塗布むらによる白化が起こらない。また、粘着剤層を積層した後で離型剤層を塗工するので、基材フィルムの粘着剤層積層面は離型剤の移行による汚染を受けていないので、密着不良現象を防止できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明をさらに詳しく説明するため以下に実施例を挙げるが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
（実施例１）
ＰＥＴ基材フィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製「Ｋ２３０−６Ｅ」、５．６μｍ厚）の片面に、上記（１）式で表されるシランカップリング剤〔式中、ＸはＣＨ₃、ＹはＯＣＨ₃、Ｚは (ＣＨ₂)₃-ＯＣＨ₂-ＣＨ₂-ＯＨをそれぞれ示し、ｎは１７、ｍは３、ｐは２の整数をそれぞれ示す〕をＭＥＫ及びｎ−ブタノールの混合溶剤で５重量％の固形分濃度に希釈した後、乾燥後の厚みが０．０５μｍとなるように塗布し、１３０℃で１分間乾燥してアンカー層を形成した。
別途、一方の面にシリコーン離型剤層が形成されたセパレータ（リンテック社製「２５１１」）上に、イソシアネート架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製「ＳＫダイン１４２５」）をトルエンで１０重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１２０℃で３０秒間乾燥して乾燥後の厚み３．５μｍの粘着剤層を設けた。次いで、上記粘着剤層をＰＥＴ基材フィルムのもう一方の面に積層した後、アンカー層上に白金触媒による付加反応型シリコーン離型剤（信越化学社製「ＫＳ−７７２」）をトルエンで５重量％の固形分濃度に希釈して、塗布量１ｇ／ｍ²の割合で塗工後１５０℃で１分間乾燥して離型剤層を設け、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００１９】
（比較例１）
ＰＥＴ基材フィルム（実施例１と同様）の片面に実施例１と同様にしてアンカー層を形成した後、実施例１と同様にしてシリコーン離型剤を塗工、乾燥し、一旦ロール状に巻き取った。次いで、アンカー層を有するＰＥＴ基材フィルムの他面に、実施例１と同様にして粘着剤層を積層し、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００２０】
（比較例２）
ＰＥＴ基材フィルム（実施例１と同様）の片面に、実施例１と同様にして粘着剤層を積層した後、ＰＥＴ基材フィルムのもう一方の面に実施例１と同様にしてアンカー層を形成し、一旦ロール状に巻き取った。
次いで、アンカー層上に実施例１と同様にしてシリコーン離型剤を塗工、乾燥し、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００２１】
上記実施例及び比較例で得られたフォトマスク保護用粘着テープにつき、下記項目の性能評価を行い、その結果を表１に示した。
（１）外観
フォトマスク保護用粘着テープの外観を目視観察し、透明性及び白化の有無を評価した。
【００２２】
（２）糊残り率
フォトマスク保護用粘着テープのセパレータを剥離し、粘着剤層側に銀塩ネガフィルムをラミネーターを用いて貼合わせ、４０℃のオーブンに２４時間入れた後取り出し常温で３０分間放冷した。次いで、フォトマスク保護用粘着テープを９０度方向に手で剥離し、フォトマスク保護用粘着テープを貼付けた全面積に対する糊残り部分の面積を百分率で表示した。
糊残り率（％）＝（糊残り部分の面積／貼付けた全面積）×１００
【００２３】
（３）耐エタノール性
エタノール１ｇを吸収させて湿らせた脱脂綿で２００ｇの重りをくるんだものを、フォトマスク保護用粘着テープの離型剤塗布面に載せ５０回及び１００回往復移動させた後、一方の粘着面に平滑な板を貼合わせた両面粘着テープ（積水化学社製「＃５７０」）のもう一方の粘着面を、フォトマスク保護用粘着テープの離型剤塗布面に重ね合わせ、２ｋｇのローラーで押圧して貼合わせ、評価用試料を作製した。この評価用試料について、剥離速度３００ｍｍ／分でフォトマスク保護用粘着テープの１８０度剥離試験を行い、剥離強度を測定した。
初期値に比べて剥離強度増加量の少ないものが良好である。
【００２４】
【表１】

【００２５】
実施例１では、外観、糊残り及び耐エタノール性のいずれの項目においても、良好な結果が得られた。これに対して、比較例１では糊残りが起こった。これは離型剤層表面のシリコーン離型剤が基材の反対面へ移行して、その表面を汚染したためと思われる。また、比較例２では、アンカー剤塗布後に白い塗布むらが認められた。これは粘着剤層形成用セパレータの背面が自身のシリコーン離型剤により汚染され、これがさらに基材のアンカー剤塗布面へ移行して、アンカー剤と何らかの反応を起こしたためと考えられる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープの製造方法は、上述の構成であり、外観、糊残り及び耐エタノール性の各性能が共に優れたフォトマスク保護用粘着テープを提供する。
【図面の簡単な説明】
【図１】基材フィルムの一面にアンカー層が形成された状態を示す模式断面図である。
【図２】基材フィルムのもう一方の面に粘着剤層が積層された状態を示す模式断面図である。
【図３】フォトマスク保護用粘着テープをを示す模式断面図である。
【符号の説明】
１基材フィルム
２アンカー層
３粘着剤層
４セパレータ
５離型剤層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for producing an adhesive tape for protecting a photomask that is used in close contact with an adhesive photoresist in a circuit formation step or the like.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, an adhesive photoresist such as a liquid photoresist has been used when producing a printed wiring board. For the purpose of protecting from the dirt and damage of the surface of the photomask for exposure used in close contact with such an adhesive photoresist, a photomask protective adhesive tape made of a polyester base material has been used conventionally. Yes. However, since the liquid photoresist has adhesiveness, there is a problem that it is difficult to peel the photomask from the resist after exposure because the photoresist adheres to the photomask protecting adhesive tape.
[0003]
In order to solve such problems, there has been proposed one in which a release agent is coated on a base material of an adhesive tape for protecting a photomask and a silicone release agent layer is provided (Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-114845). Issue gazette). However, even with this photomask protective adhesive tape with a release agent layer, it is necessary to wipe off the photo resist residue adhering to the release agent layer with alcohol each time it is used. May fall off and the release effect may be significantly reduced.
For this reason, the method of using an anchor agent (silane coupling agent) for the purpose of improving the adhesiveness of a mold release agent layer and a base material is employ | adopted.
That is, in the conventional method for producing an adhesive tape for protecting a photomask, an anchor agent is applied to a substrate, a release agent layer is formed thereon, and then an adhesive layer is formed on the other surface. It was.
[0004]
By the way, when using about 500 shots in the exposure in the solder resist process where the unevenness of the circuit board is remarkable, the unevenness of the circuit board remains as a trace on the photomask protective adhesive tape side. It was necessary to replace it. However, when peeling off such a photomask protecting adhesive tape, there is a problem that the adhesive remains on the photomask side.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the above-mentioned problems, the object of the present invention is that there is no reduction in the release effect even when alcohol cleaning is performed, and the adhesive can be peeled off without causing adhesive residue even after 1,000 shots of exposure. It is to provide a method for manufacturing a pressure-sensitive adhesive mask for protecting a photomask, and in the process of this study, it has been found that depending on the manufacturing conditions, there may be an appearance failure phenomenon due to white coating unevenness, It is in providing the manufacturing method which suppresses this.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The method for producing a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection according to the present invention is a photomask protection in which a pressure-sensitive adhesive layer is provided on one side of a transparent synthetic resin base film, and an anchor layer and a release layer are provided in this order on the other side. When manufacturing an adhesive tape for use, after applying an anchor agent on one side of the base film and providing an anchor layer, the adhesive layer surface separately formed on the separator is laminated on the other side of the base film, A release agent is applied on the anchor layer.
[0007]
Below, the manufacturing method of this invention is demonstrated in detail, referring drawings.
First, the anchor layer 2 is formed on one surface of the base film 1 (see FIG. 1). The anchor layer 2 is for improving the adhesiveness between the base film 1 and a release agent layer to be described later, and this two-layer laminate can be wound up and stored in a roll shape.
Next, as shown in FIG. 2, the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 3 separately formed on the separator 4 is laminated on the other surface of the base film 1 of the two-layer laminate. Also in this case, it may be stored after being laminated in a roll shape, or may be supplied to the subsequent process. Furthermore, by applying a release agent on the anchor layer 2 to provide the release agent layer 5, the photomask protecting adhesive tape shown in FIG. 3 can be obtained.
[0008]
The base film is not particularly limited as long as it has transparency. For example, a transparent film such as polyethylene terephthalate (PET), polypropylene, polyethylene, polyvinyl chloride, polystyrene, polycarbonate, triacetate, and polyimide is preferable. Used for.
It is preferable that the thickness of the base film is appropriately determined in consideration of light transmittance, handleability, and the like.
[0009]
The anchor layer can be formed by applying and drying an anchor agent. As the anchoring agent, for example, a silane coupling agent represented by the following formula (1) as disclosed in JP-A-6-179766 is preferably used.
[0010]
[Chemical 1]

[0011]
In the formula, X represents CH ₃ , Y represents OCH ₃ , and Z represents (CH ₂ ) ₃ —OCH ₂ —CH ₂ —OH. N is an integer of 17, m is 3, and p is an integer of 2.
There is no restriction | limiting in particular in the coating method of the said anchor agent, A conventionally well-known coating apparatus can be used.
[0012]
As the separator, for example, a resin film such as polyethylene terephthalate or polycarbonate that has been subjected to a release treatment with a silicone release agent or the like is preferably used.
[0013]
The pressure-sensitive adhesive used in the present invention is not particularly limited, but an acrylic pressure-sensitive adhesive is preferable in consideration of transparency. As the acrylic pressure-sensitive adhesive, those mainly composed of an acrylic polymer comprising a copolymer of a (meth) acrylic acid ester monomer and a functional group-containing monomer are preferable, and the polymerization method is not particularly limited.
[0014]
Examples of the (meth) acrylic acid ester monomer include ethyl acrylate, butyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate. Examples of the functional group-containing monomer include acrylic acid and methacrylic acid.
[0015]
The acrylic pressure-sensitive adhesive preferably has a partially crosslinked structure inside the acrylic polymer. Since the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive is enhanced by having a cross-linked structure, it is difficult for adhesive to remain when the tape is peeled off. Such a crosslinked structure can be formed by using a crosslinking agent capable of reacting with the functional group-containing monomer, and examples of the crosslinking agent include epoxy crosslinking agents, aliphatic or aromatic isocyanate crosslinking agents, and the like. Used for.
[0016]
As a method of forming the pressure-sensitive adhesive layer on the separator, for example, using a roll coater, a comma coater or the like, a method of directly applying the pressure-sensitive adhesive to one side of the separator and drying, or a similar method once on the release paper And a method of transferring to one side of the separator after the pressure-sensitive adhesive layer is provided.
[0017]
According to the manufacturing method of the present invention, since the adhesive layer is first laminated on the other surface of the base film after the anchor layer is provided on the one surface of the base film, the anchor agent coated surface is not contaminated. Whitening due to uneven application of the agent does not occur. Moreover, since a release agent layer is applied after laminating | stacking an adhesive layer, since the adhesive layer lamination surface of a base film has not received the contamination by transfer of a release agent, the adhesion defect phenomenon can be prevented.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
In order to describe the present invention in more detail, examples are given below, but the present invention is not limited to these examples.
(Example 1)
On one side of a PET base film (Mitsubishi Chemical Polyester Film “K230-6E”, 5.6 μm thick), a silane coupling agent represented by the above formula (1) [wherein X is CH ₃ , Y is OCH ₃ and Z are (CH ₂ ) ₃ —OCH ₂ —CH ₂ —OH, n is 17, m is 3, and p is an integer of 2, respectively, and 5 is a mixed solvent of MEK and n-butanol. After diluting to a solid content concentration of% by weight, it was applied so that the thickness after drying was 0.05 μm, and dried at 130 ° C. for 1 minute to form an anchor layer.
Separately, an isocyanate cross-linked acrylic pressure-sensitive adhesive (“SK Dyne 1425” manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) was added with toluene on a separator (“2511” manufactured by Lintec Co., Ltd.) having a silicone release agent layer formed on one surface. After coating by dilution to a solid content concentration of wt%, the adhesive layer having a thickness of 3.5 μm after drying was provided by drying at 120 ° C. for 30 seconds. Subsequently, after laminating the above-mentioned pressure-sensitive adhesive layer on the other surface of the PET base film, an addition reaction type silicone release agent (“KS-772” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) using a platinum catalyst was added to the anchor layer with toluene. After diluting to a solid content concentration of 1% by weight, coating was carried out at a rate of 1 g / m ² and dried at 150 ° C. for 1 minute to provide a release agent layer to obtain a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection.
[0019]
(Comparative Example 1)
After forming an anchor layer on one side of a PET base film (similar to Example 1) in the same manner as in Example 1, a silicone release agent is applied and dried in the same manner as in Example 1, and then once in a roll shape Winded up. Next, an adhesive layer was laminated on the other surface of the PET base film having an anchor layer in the same manner as in Example 1 to obtain an adhesive tape for photomask protection.
[0020]
(Comparative Example 2)
After laminating the pressure-sensitive adhesive layer on one side of the PET base film (similar to Example 1) in the same manner as in Example 1, the anchor layer is placed on the other side of the PET base film in the same manner as in Example 1. Once formed, it was wound up into a roll.
Next, a silicone release agent was applied onto the anchor layer in the same manner as in Example 1 and dried to obtain an adhesive tape for photomask protection.
[0021]
The performance evaluation of the following items was performed on the photomask protecting adhesive tapes obtained in the above Examples and Comparative Examples, and the results are shown in Table 1.
(1) Appearance The appearance of the photomask-protective pressure-sensitive adhesive tape was visually observed and evaluated for transparency and whitening.
[0022]
(2) Adhesive residue rate Remove the separator of the photomask protective adhesive tape, paste the silver salt negative film on the adhesive layer side using a laminator, put it in an oven at 40 ° C. for 24 hours, and take it out for 30 minutes at room temperature. Allowed to cool. Next, the adhesive mask for protecting the photomask was peeled off in the 90-degree direction by hand, and the area of the adhesive remaining portion relative to the total area where the adhesive tape for protecting the photomask was attached was displayed as a percentage.
Adhesive residue rate (%) = (area of adhesive residue / total pasted area) × 100
[0023]
(3) After putting 200 g of weight of absorbent cotton dampened with 1 g of ethanol-resistant ethanol and putting it on the release agent-coated surface of the photomask protecting adhesive tape, it was reciprocated 50 times and 100 times. The other adhesive surface of the double-sided adhesive tape ("# 570" manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) with a smooth plate bonded to one adhesive surface is overlaid on the release agent application surface of the photomask protecting adhesive tape, A sample for evaluation was prepared by pressing and bonding with a 2 kg roller. About this evaluation sample, the 180 degree peeling test of the adhesive tape for photomask protection was performed at a peeling speed of 300 mm / min, and the peeling strength was measured.
Those having a small increase in peel strength compared to the initial value are good.
[0024]
[Table 1]

[0025]
In Example 1, good results were obtained in all items of appearance, adhesive residue and ethanol resistance. In contrast, in Comparative Example 1, adhesive residue occurred. This is probably because the silicone release agent on the surface of the release agent layer migrated to the opposite surface of the base material and contaminated the surface. In Comparative Example 2, white coating unevenness was observed after the anchor agent was applied. This is presumably because the back surface of the pressure-sensitive adhesive layer-forming separator was contaminated by its own silicone release agent, which further moved to the anchor agent application surface of the base material and caused some reaction with the anchor agent.
[0026]
【The invention's effect】
The method for producing a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection according to the present invention has the above-described configuration, and provides a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection that is excellent in appearance, adhesive residue, and ethanol resistance.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a state where an anchor layer is formed on one surface of a base film.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a state in which an adhesive layer is laminated on the other surface of the base film.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a photomask protecting adhesive tape.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base film 2 Anchor layer 3 Adhesive layer 4 Separator 5 Release agent layer

Claims

When producing a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection in which an adhesive layer is provided on one side of a transparent synthetic resin base film and an anchor layer and a release layer are provided in this order on the other side, one side of the base film After the anchor agent is applied to the substrate, the anchor layer is provided, and then the pressure-sensitive adhesive layer surface separately formed on the separator is laminated on the other surface of the base film, and then the release agent is applied on the anchor layer. A method for producing an adhesive tape for protecting a photomask.