JP2006124576A - Pressure-sensitive adhesive tape for protecting photomask - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性、及び、良好な再剥離性、並びに、フォトレジストへの露光を妨げることのない優れた光透過性を併せ持つフォトマスク保護用粘着テープに関する。 The present invention has high adhesion to the surface facing the photoresist of the photomask used when manufacturing a printed wiring board and the like, good removability, and excellent without hindering exposure to the photoresist. The present invention relates to an adhesive tape for protecting a photomask having both light transmission properties.
従来、プリント配線板の作製は、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジストに、露光用原稿（フォトマスク）を密着させ、フォトマスクの上から光を照射することでフォトレジストを露光し硬化させる工程を有する。
この工程において、フォトマスクのフォトレジストに対向する面（以下、画像面ともいう）を直接フォトレジストに密着させると、露光終了後にフォトマスクを剥がす際にフォトレジストの一部がフォトマスクの画像面に転着されて汚れを生じてしまい、フォトマスクの再使用ができなくなることがあった。そこで、フォトマスクの画像面にフォトマスク保護用粘着テープを貼り付けてフォトマスクの画像面を汚染やキズ等から保護していた。
Conventionally, printed wiring boards have been prepared by exposing an exposure original (photomask) to an adhesive photoresist such as a liquid photoresist and exposing the photoresist to light by irradiating light on the photomask. A step of causing
In this step, if the surface of the photomask facing the photoresist (hereinafter also referred to as the image surface) is directly adhered to the photoresist, a part of the photoresist is removed when the photomask is removed after the exposure is completed. As a result, the photomask could not be reused. Therefore, a photomask protective adhesive tape is attached to the image surface of the photomask to protect the image surface of the photomask from contamination and scratches.
このようなフォトマスク保護用粘着テープには、一般的に、再剥離性（フォトマスク保護用粘着テープを剥した場合にフォトマスクの画像面に糊残りが生じない性能）、帯電防止性、基材の耐久性、及び、光透過性等の様々な性能が要求される。なかでも、近年、露光回数の増加に伴いフォトマスクに対する再剥離性が重要視されるようになってきている。フォトマスクの画像面に対するフォトマスク保護用粘着テープの再剥離性を向上させる方法としては、例えば、フォトマスク保護用粘着テープの粘着力を下げる方法が知られている。しかし、単に粘着力を低減させるだけでは露光を繰り返し行うと、フォトマスク保護用粘着テープにシワ、剥れ等の問題が発生してしまい、耐久性が不足し事実上使用に耐えないといった問題があった。 Such an adhesive tape for protecting a photomask generally has a removability (a performance that does not cause adhesive residue on the image surface of the photomask when the adhesive mask for protecting a photomask is peeled off), an antistatic property, a base Various performances such as durability and light transmittance of the material are required. In particular, in recent years, with the increase in the number of exposures, re-peelability with respect to a photomask has come to be regarded as important. As a method for improving the removability of the photomask protecting adhesive tape to the image surface of the photomask, for example, a method for reducing the adhesive strength of the photomask protecting adhesive tape is known. However, if the exposure is repeated simply by reducing the adhesive strength, problems such as wrinkles and peeling will occur on the adhesive tape for photomask protection, and there is a problem that the durability is insufficient and practically unusable. there were.
これに対し、特許文献１には、粘着性樹脂、光カチオン重合性樹脂、及び、光カチオン重合開始剤を含有してなる接着層を用いたフォトマスク用保護膜転写シートが開示されている。
しかし、このようなフォトマスク用保護膜転写シートは、フォトマスクの画像面に貼着した後に接着層を重合させる必要があり、重合を制御することが困難であり事実上使用が不可能であるという問題があった。
On the other hand, Patent Document 1 discloses a photomask protective film transfer sheet using an adhesive layer containing an adhesive resin, a photocationic polymerizable resin, and a photocationic polymerization initiator.
However, such a protective film transfer sheet for a photomask needs to polymerize the adhesive layer after being attached to the image surface of the photomask, which makes it difficult to control the polymerization and is virtually impossible to use. There was a problem.
本発明は、上記現状に鑑み、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性、及び、良好な再剥離性、並びに、フォトレジストへの露光を妨げることのない優れた光透過性を併せ持つフォトマスク保護用粘着テープを提供することを目的とする。 In view of the present situation, the present invention provides high adhesiveness to the surface of the photomask that is used when manufacturing a printed wiring board or the like facing the photoresist, good removability, and exposure to the photoresist. An object of the present invention is to provide an adhesive tape for protecting a photomask that has excellent light transmittance without interfering with it.
本発明は、透明基材と前記透明基材の片面に形成された粘着剤層とを有するフォトマスク保護用粘着テープであって、前記粘着剤層は、架橋された２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分と粘着性付与樹脂成分とを含有し、かつ、前記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分は、単独でのトルエン可溶分が３０重量％以下であるフォトマスク保護用粘着テープである。
以下に本発明を詳述する。
The present invention is a photomask-protective pressure-sensitive adhesive tape having a transparent base material and a pressure-sensitive adhesive layer formed on one side of the transparent base material, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is a crosslinked 2-ethylhexyl acrylate and / or Photomask protection comprising a butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component and a tackifying resin component, and the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component has a toluene soluble content of 30% by weight or less alone. This is an adhesive tape.
The present invention is described in detail below.
本発明者らは、鋭意検討した結果、フォトマスク保護用粘着テープの粘着剤層の成分を、所定の割合で架橋された粘着樹脂成分と粘着性付与樹脂成分とを含有するものとすることで、フォトマスクの画像面に対する粘着性、再剥離性、及び、光透過性に優れるものとすることができることを見出し、本発明を完成させた。 As a result of intensive studies, the present inventors have determined that the components of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection contain a pressure-sensitive adhesive resin component and a tackifying resin component that are crosslinked at a predetermined ratio. The inventors have found that the photomask can be excellent in adhesiveness to the image surface, removability, and light transmittance, and completed the present invention.
本発明のフォトマスク保護用粘着テープ（以下、本発明の粘着テープともいう）は、透明基材と前記透明基材の片面に形成された粘着剤層とを有する。
上記透明基材としては、紫外線を含む通常フォトレジストの露光に用いられる波長の光の光透過性の高いものであれば特に限定されず、例えば、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン等の樹脂からなるもの等が挙げられる。
The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention (hereinafter also referred to as the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention) has a transparent substrate and a pressure-sensitive adhesive layer formed on one side of the transparent substrate.
The transparent substrate is not particularly limited as long as it has high light transmissivity of light having a wavelength used for exposure of ordinary photoresist including ultraviolet rays. For example, polyester, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate, polypropylene, Examples thereof include those made of a resin such as polyethylene, polyvinyl chloride, polyethylene naphthalate, and polystyrene.
上記透明基材の厚さとしては特に限定されないが、好ましい下限は５μｍ、好ましい上限は５０μｍである。５μｍ未満であると、本発明の粘着テープの強度が不足して取り扱いが困難となったり、フォトマスクの画像面へ貼り付ける際にシワになったりすることがある。５０μｍを超えると、充分な光透過性が得られないことがある。 Although it does not specifically limit as thickness of the said transparent base material, A preferable minimum is 5 micrometers and a preferable upper limit is 50 micrometers. When the thickness is less than 5 μm, the strength of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may be insufficient and handling may be difficult, or wrinkles may occur when pasting on the image surface of a photomask. If it exceeds 50 μm, sufficient light transmission may not be obtained.
上記透明基材は、光透過性に影響を与えない範囲で少なくとも片面に適度な滑り性が付与されていることが好ましい。上記透明基材は、ロール状に巻き回され形態で取り扱われることがあり、このようにロール状に巻き回された透明基材を巻き戻す際に、透明基材同士が合着してしまうことを防止するためである。
上記透明基材の少なくとも片面に適度な滑り性を付与する方法としては特に限定されず、例えば、透明基材中に微粒子を含有させ、その表面に微細な突起を形成させる方法等が挙げられる。
The transparent substrate preferably has an appropriate slip property on at least one surface within a range that does not affect the light transmittance. The transparent base material may be wound in a roll shape and handled in a form, and when the transparent base material wound in a roll shape is rewound in this way, the transparent base materials may be bonded together. It is for preventing.
The method for imparting appropriate slipperiness to at least one surface of the transparent substrate is not particularly limited, and examples thereof include a method of containing fine particles in the transparent substrate and forming fine protrusions on the surface.
上記透明基材に含有させる微粒子としては特に限定されないが、二酸化珪素が最も好ましく用いられる。 The fine particles to be contained in the transparent substrate are not particularly limited, but silicon dioxide is most preferably used.
上記透明基材に含有させる微粒子の平均粒径としては特に限定されないが、透明基材の光透過性に影響を与えにくいように、好ましい下限は０．０１μｍであり、好ましい上限は３．０μｍである。 The average particle size of the fine particles to be contained in the transparent substrate is not particularly limited, but the preferable lower limit is 0.01 μm and the preferable upper limit is 3.0 μm so as not to affect the light transmittance of the transparent substrate. is there.
また、上記透明基材に含有させる微粒子は、上記透明基材の全体に存在するのではなく上記基材の表層にのみ存在することが好ましく、少なくとも上記透明基材の片側の表層にのみ含まれていることが好ましい。更に、上記透明基材に含有させる微粒子が透明基材の片側の表層にのみ含まれている場合、上記微粒子が含まれている側の透明基材の表面に後述する粘着剤層が形成されていることが好ましい。これにより、上記微粒子により形成された微細な凹凸面が粘着剤で埋まり、透明基材のヘイズ値を低減させることができる。従って、場合によっては本発明の粘着テープ全体のヘイズ値を透明基材自体のヘイズ値よりも低くすることも可能である。 Further, the fine particles to be contained in the transparent base material are preferably present only on the surface layer of the base material, not on the whole of the transparent base material, and are at least included only in the surface layer on one side of the transparent base material. It is preferable. Further, when the fine particles to be contained in the transparent substrate are contained only in the surface layer on one side of the transparent substrate, a pressure-sensitive adhesive layer described later is formed on the surface of the transparent substrate on the side containing the fine particles. Preferably it is. Thereby, the fine uneven surface formed of the fine particles is filled with the pressure-sensitive adhesive, and the haze value of the transparent substrate can be reduced. Therefore, in some cases, the haze value of the entire pressure-sensitive adhesive tape of the present invention can be made lower than the haze value of the transparent substrate itself.
上記粘着剤層は、架橋された２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分と粘着性付与樹脂成分とを含有する。
上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分は、本発明の粘着テープの粘着剤層の主成分であり、単独でのトルエン可溶分の上限が３０重量％である。上記トルエン可溶分とは、上記粘着剤成分中の非架橋部分の量を表すものである。即ち、本発明の粘着テープにおいて、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分は、架橋構造を有する部分の量が多いものである。
なお、本明細書において、上記「トルエン可溶分」は、下記方法により測定される値をいう。
即ち、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分を約１００ｍｇサンプル瓶に秤取し、これにトルエンを３０ｍＬ入れ、常温にて２４時間振とうさせ、その後２００メッシュ金網にて濾過し、不溶分を秤量し、下記式（１）により算出する。
トルエン可溶分（％）＝１００−（（Ｃ）／（Ａ）×（Ｂ）×１００） （１）
式（１）中、（Ａ）は、最初の粘着剤成分の重量を表し、（Ｂ）は、粘着剤層中の粘着性付与樹脂成分を除いた２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分の含有率を表し、（Ｃ）は、不溶分重量を表す。
The pressure-sensitive adhesive layer contains a crosslinked 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component and a tackifier resin component.
The 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component is a main component of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention, and the upper limit of toluene-soluble matter alone is 30% by weight. The toluene-soluble component represents the amount of the non-crosslinked portion in the pressure-sensitive adhesive component. That is, in the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention, the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component has a large amount of a portion having a crosslinked structure.
In the present specification, the “toluene-soluble component” refers to a value measured by the following method.
That is, the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component was weighed into a sample bottle of about 100 mg, and 30 mL of toluene was added thereto, shaken at room temperature for 24 hours, and then filtered through a 200 mesh wire mesh. The insoluble matter is weighed and calculated by the following formula (1).
Toluene-soluble component (%) = 100 − ((C) / (A) × (B) × 100) (1)
In formula (1), (A) represents the weight of the first pressure-sensitive adhesive component, and (B) represents 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive excluding the tackifying resin component in the pressure-sensitive adhesive layer. The content rate of a component is represented, (C) represents the weight of insoluble matter.
上記粘着剤層に含有される上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分のトルエン可溶分の上限が３０重量％であることにより、上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分の架橋部分の割合が高くなり、上記粘着剤層の凝集力が高められるので、本発明の粘着テープの再剥離性が高くなる。また、上記粘着剤層の常温弾性率が向上するため、本発明の粘着テープを画像面に貼着したフォトマスクを繰り返しフォトレジストの露光に用いた場合に、本発明の粘着テープにシワや凹み等の不具合が生じることがなくなる。
上記トルエン可溶分の好ましい上限は２５重量％であり、好ましい下限は１０重量％である。１０重量％未満であると、上記粘着剤層の粘着力が不充分となることがあり、本発明の粘着テープの性能が低下することがある。
When the upper limit of the toluene soluble content of the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component contained in the pressure-sensitive adhesive layer is 30% by weight, the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component Since the ratio of the cross-linked portion increases and the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive layer increases, the removability of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention increases. Further, since the room temperature elastic modulus of the pressure-sensitive adhesive layer is improved, when a photomask having the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention attached to an image surface is repeatedly used for exposure of a photoresist, the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is wrinkled or dented. And other problems will not occur.
A preferable upper limit of the toluene-soluble content is 25% by weight, and a preferable lower limit is 10% by weight. If it is less than 10% by weight, the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer may be insufficient, and the performance of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may be deteriorated.
上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分のトルエン可溶分の上限を３０重量％とする方法としては特に限定されず、例えば、本発明の粘着テープを作製する際に、未架橋状態の上記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分に架橋剤を適量添加する方法等が挙げられる。
上記架橋剤としては特に限定されず、例えば、イソシアネート系、エポキシ系、金属塩キレート剤系、メラミン系、過酸化物系等が挙げられる。また、このような架橋剤としては、市販されているものも使用することができ、市販されている架橋際としては、例えば、綜研化学社製の「Ｌ−４５」等が挙げられる。
The method for setting the upper limit of the toluene-soluble content of the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component to 30% by weight is not particularly limited. For example, when the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is produced, it is in an uncrosslinked state. And a method of adding an appropriate amount of a crosslinking agent to the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component.
It does not specifically limit as said crosslinking agent, For example, an isocyanate type, an epoxy type, a metal salt chelating agent type | system | group, a melamine type, a peroxide type etc. are mentioned. Moreover, as such a crosslinking agent, what is marketed can also be used, and as a commercially available bridge | crosslinking, "L-45" by Soken Chemical Co., Ltd. etc. are mentioned, for example.
上記粘着性付与樹脂成分は、エラストマーに配合されることで粘着性の機能を向上させる物質であるが、一般的に光学特性を著しく低下させる物質でもある。そのため、従来、優れた光学特性が要求されるフォトマスク保護用粘着テープの粘着剤層に使用されることはなかった。しかし、本発明者らの研究によると、上記粘着剤層の主成分として、上述した範囲のトルエン可溶分の２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分を用い、これに粘着性付与樹脂成分を併用することで、必要充分な粘着力を発揮するとともに、光学特性の低下を抑えることも可能となることが判明した。 The tackifying resin component is a substance that improves the adhesive function by being blended in an elastomer, but generally also a substance that significantly reduces optical properties. Therefore, conventionally, it has not been used for the pressure-sensitive adhesive layer of a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection that requires excellent optical characteristics. However, according to the study by the present inventors, as the main component of the pressure-sensitive adhesive layer, 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive components in the above-mentioned range are used, and a tackifying resin is used for this It has been found that by using the components in combination, the necessary and sufficient adhesive force can be exhibited and the deterioration of the optical properties can be suppressed.
このような粘着性付与樹脂成分は、通常、分子量が数百から数千の無定形オリゴマーで、常温で液状又は固形の熱可塑性樹脂である。具体的には、例えば、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂等に代表される天然樹脂系や、脂肪族系、芳香族系、共重合系等の石油樹脂、フェノール系樹脂、キシレン樹脂等の合成樹脂等が挙げられる。これらは単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。 Such a tackifying resin component is usually an amorphous oligomer having a molecular weight of several hundred to several thousand, and is a thermoplastic resin that is liquid or solid at room temperature. Specifically, for example, natural resins such as rosin resins and terpene resins, petroleum resins such as aliphatic resins, aromatic resins and copolymer resins, synthetic resins such as phenol resins and xylene resins. Etc. These may be used independently and 2 or more types may be used together.
また、通常、上記粘着性付与樹脂成分は、光の透過を阻害するものであるため、上記粘着剤層のヘイズ値を大きくさせず、かつ、好適な粘着性能を達成するためには、ロジン系樹脂、及び、テルペンフェノール系樹脂を併用して用いることが好ましい。 In addition, since the tackifying resin component normally inhibits the transmission of light, in order to achieve a suitable adhesive performance without increasing the haze value of the adhesive layer, It is preferable to use a resin and a terpene phenol resin in combination.
上記粘着性付与樹脂成分の配合量としては特に限定されないが、上記２−エチルヘキシル
アクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分１００重量部に対して、好ましい下限は５重量部、好ましい上限は８０重量部である。５重量部未満であると、上記粘着剤層に必要な粘着力が得られず、８０重量部を超えると、上記粘着剤層の粘着力が強くなりすぎ、製造した本発明の粘着テープを再剥離した際に、基材とともに粘着剤層が剥れない、即ち、再剥離性が低下し、被貼着物の表面に糊残りの問題が生じやすくなり事実上使用することが困難になる。より好ましい下限は８重量部、より好ましい上限は５０重量部である。
The compounding amount of the tackifying resin component is not particularly limited, but the preferred lower limit is 5 parts by weight and the preferred upper limit is 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate adhesive component. is there. If it is less than 5 parts by weight, the pressure-sensitive adhesive force required for the pressure-sensitive adhesive layer cannot be obtained, and if it exceeds 80 parts by weight, the pressure-sensitive adhesive force of the pressure-sensitive adhesive layer becomes too strong. When peeled, the pressure-sensitive adhesive layer cannot be peeled off together with the base material, that is, the re-peelability is lowered, and the problem of adhesive residue on the surface of the adherend tends to occur, making it practically difficult to use. A more preferred lower limit is 8 parts by weight, and a more preferred upper limit is 50 parts by weight.
上記粘着剤層の厚さとしては特に限定されないが、好ましい下限は３μｍ、好ましい上限は２０μｍである。３μｍ未満であると、フォトマスクへの接着強度が不足することがあったり、フォトマスクの画像面の凹凸に対して接着時に気泡を巻き込んだりすることがあり、２０μｍを超えると、充分な光透過性が得られなくなることがある。 Although it does not specifically limit as thickness of the said adhesive layer, A preferable minimum is 3 micrometers and a preferable upper limit is 20 micrometers. If the thickness is less than 3 μm, the adhesive strength to the photomask may be insufficient, or bubbles may be involved in the unevenness of the image surface of the photomask, and if it exceeds 20 μm, sufficient light transmission Sexuality may not be obtained.
このような粘着剤層が基材の片面に形成された本発明の粘着テープの粘着力としては特に限定されないが、好ましい下限は１．５Ｎ、好ましい上限は５．０Ｎである。１．５Ｎ未満であると、本発明の粘着テープを貼着したフォトマスクを用いて繰り返し露光を行うと、本発明の粘着テープにシワや剥れ等が生じてしまうことがある。５．０Ｎを超えると、再剥離性が低下してフォトマスクから本発明の粘着テープを剥した際に糊残りが発生することがある。 Although it does not specifically limit as an adhesive force of the adhesive tape of this invention in which such an adhesive layer was formed in the single side | surface of a base material, a preferable minimum is 1.5N and a preferable upper limit is 5.0N. If it is less than 1.5 N, wrinkles or peeling may occur in the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention when repeated exposure is performed using a photomask having the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention attached thereto. If it exceeds 5.0 N, re-peelability may be reduced, and adhesive residue may be generated when the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is peeled off from a photomask.
なお、本明細書において、本発明の粘着テープの粘着力とは以下の方法により測定された値である。
即ち、本発明の粘着テープを２５ｍｍ幅にカットして測定用サンプルを作製し、この測定用サンプルをＳＵＳ板に荷重２Ｎで貼着させる。これを公知の剥離試験機を用いて剥離速度５００ｍｍ／ｍｉｎで剥離させたときの粘着力を測定する。
In the present specification, the adhesive strength of the adhesive tape of the present invention is a value measured by the following method.
That is, the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is cut to a width of 25 mm to produce a measurement sample, and this measurement sample is attached to a SUS plate with a load of 2N. The adhesive strength when this is peeled at a peeling speed of 500 mm / min is measured using a known peeling tester.
本発明の粘着テープは、上記基材の粘着剤層が形成された面とは反対側の面に、光透過性に影響しない限りにおいて、帯電防止層及び／又は離型層を有することが好ましい。上記帯電防止層は、テープが帯電して空気中のゴミ等を引き寄せることを防止する役割を有する。上記離型層は、フォトレジストが粘着テープに転着され汚れが生じるのを防止する役割を有する。 The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention preferably has an antistatic layer and / or a release layer on the surface of the substrate opposite to the surface on which the pressure-sensitive adhesive layer is formed, as long as the light transmittance is not affected. . The antistatic layer has a role of preventing the tape from being charged and attracting dust in the air. The release layer has a role of preventing the photoresist from being transferred to the adhesive tape and causing contamination.
上記帯電防止層としては特に限定されず、例えば、４級アンモニウム塩を含む塗膜やアクリル等の樹脂に導電性微粒子を分散させたもの等が挙げられる。上記導電性微粒子としては特に限定されないが、例えば、酸化スズ微粒子等の透明な導電性微粒子が光透過性に影響を与えにくいことから好ましい。 The antistatic layer is not particularly limited, and examples thereof include a coating film containing a quaternary ammonium salt and a resin in which conductive fine particles are dispersed in a resin such as acrylic. Although it does not specifically limit as said electroconductive fine particle, For example, transparent electroconductive fine particles, such as a tin oxide microparticle, are preferable from being hard to affect a light transmittance.
上記離型層としては離型性を有するものであれば特に限定されず、例えば、シリコーン系樹脂からなるもの等が挙げられる。 The release layer is not particularly limited as long as it has releasability, and examples thereof include those made of a silicone resin.
また、上記粘着剤層側の最外には、上記粘着剤層を保護し、取り扱いを容易にするために、保護層が積層されていることが好ましい。
上記保護層としては特に限定されず、例えば、シリコーン系離型層が形成されたポリエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。なお、この保護層は、本発明の粘着テープをフォトマスクに貼着する前にテープから剥離される。
Further, a protective layer is preferably laminated on the outermost side of the pressure-sensitive adhesive layer in order to protect the pressure-sensitive adhesive layer and facilitate handling.
It does not specifically limit as said protective layer, For example, the polyethylene terephthalate film etc. in which the silicone type release layer was formed are mentioned. This protective layer is peeled off from the tape before the adhesive tape of the present invention is attached to the photomask.
このような粘着剤層が透明基材の片面に形成された本発明の粘着テープは、波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が３％以下とすることができる。波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が３％を超えると、本発明の粘着テープを微細な回路が描かれたフォトマスクの保護に用いた場合に、通常の照射量の紫外線を照射してもフォトレジストに充分な紫外線が到達せず
にフォトレジストが硬化しないことがある。更に、高照射量の紫外線を照射すればフォトレジストの硬化は可能であるものの、光散乱、干渉、屈折等の影響が増大するため未硬化であるべき部分まで硬化してしまうことから、複雑で、線が細く、線の間隔も狭い回路を有するプリント配線板等を得ることができない。
なお、上記ヘイズ値とは、材料の曇りの程度を示す値であって、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に
準じて求めることができる。波長３５０ｎｍにおけるヘイズ値が小さいことは、この波長における平行光線の透過性が高いことを意味する。
The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention in which such a pressure-sensitive adhesive layer is formed on one side of a transparent substrate can have a haze value of 3% or less at a wavelength of 350 nm. When the haze value at a wavelength of 350 nm exceeds 3%, the adhesive tape of the present invention is sufficient for a photoresist even when irradiated with a normal dose of ultraviolet rays when used to protect a photomask on which a fine circuit is drawn. In some cases, the photoresist may not be cured without reaching the appropriate ultraviolet rays. Furthermore, although it is possible to cure the photoresist by irradiating it with a high dose of ultraviolet rays, the effect of light scattering, interference, refraction, etc. increases, so that the portion that should be uncured is cured. It is impossible to obtain a printed wiring board or the like having a circuit in which the lines are thin and the distance between the lines is narrow.
The haze value is a value indicating the degree of cloudiness of the material, and can be determined according to JIS K 7105. A small haze value at a wavelength of 350 nm means that the transmittance of parallel rays at this wavelength is high.
このような本発明の粘着テープを製造する方法としては特に限定されず、例えば、上記基材の片面に粘着剤層となる樹脂組成物を従来公知の塗工機等を用いて塗工し、その後乾燥させる方法等が挙げられる。 The method for producing the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is not particularly limited. For example, a resin composition that forms a pressure-sensitive adhesive layer on one side of the base material is coated using a conventionally known coating machine or the like, The method of drying after that is mentioned.
本発明のフォトマスク保護用粘着テープは、基板の片面に、単独でのトルエン可溶分の上限が３０重量％である２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分と、粘着性付与樹脂成分とを含有する粘着剤層が形成されたものであるため、フォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性、良好な再剥離性、及び、高い光透過性を併せ持つものとなる。 The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention comprises a 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component having an upper limit of 30% by weight alone on one side of a substrate, and a tackifying resin component. Therefore, it has high adhesiveness to the surface of the photomask facing the photoresist, good removability, and high light transmittance.
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
（実施例１）
ポリエチレンテレフタレートからなる厚さ１２μｍの基材フィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製：グレードＭ３１０）の片面に、トルエンで３０％濃度に希釈し、粘着性付与樹脂成分（ロジン系樹脂、ペンセルＤ１２５）２５重量部と、架橋剤としてＬ−４５（綜研化学社製）を０．４重量部とを配合したイソシアネート架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製、ＳＫダイン１４２５）を乾燥後の厚さが１０μｍになるように塗布した。その後、１２０℃、３０秒間加熱して乾燥させてフォトマスク保護用粘着テープを得た。
乾燥後、粘着剤層側にシリコーン系離型剤が塗布形成されたＰＥＴフィルムからなる保護層をラミネートして粘着剤層を保護した。
なお、アクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合は、２２重量％であった。
Example 1
On one side of a 12 μm thick base film made of polyethylene terephthalate (Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd. Grade M310), diluted with toluene to a concentration of 30% to give a tackifier resin component (rosin resin, Pencel D125) 25 weight The thickness after drying an isocyanate crosslinking type acrylic pressure-sensitive adhesive (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd., SK Dyne 1425) blended with 0.4 parts by weight of L-45 (manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) as a crosslinking agent It apply | coated so that it might become 10 micrometers. Then, it heated and dried at 120 degreeC for 30 second, and obtained the adhesive tape for photomask protection.
After drying, a pressure-sensitive adhesive layer was protected by laminating a protective layer made of a PET film coated with a silicone release agent on the pressure-sensitive adhesive layer side.
In addition, the ratio of the toluene soluble part of an acrylic adhesive was 22 weight%.
（実施例２）
粘着性付与樹脂成分の配合量を８０重量部にした以外は、実施例１と同様の方法でフォトマスク保護用粘着テープを得た。
(Example 2)
A pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of the tackifying resin component was changed to 80 parts by weight.
（比較例１）
架橋剤配合量を０．１重量部に変更した他は実施例１と同様の方法でフォトマスク保護用粘着テープを得た。
なお、比較例１で得られたフォトマスク保護用粘着テープのアクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合は、４６重量％であった。
(Comparative Example 1)
A photomask protecting adhesive tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of the crosslinking agent was changed to 0.1 parts by weight.
In addition, the ratio of the toluene soluble part of the acrylic adhesive of the pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection obtained in Comparative Example 1 was 46% by weight.
（比較例２）
粘着性付与樹脂成分を配合しなかった以外は、実施例１と同様の方法でフォトマスク保護用粘着テープを得た。
(Comparative Example 2)
A photomask protecting adhesive tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the tackifying resin component was not blended.
（評価）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープについて、以下の方法により評価を行った。
(Evaluation)
The photomask protecting adhesive tapes obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated by the following methods.
（ヘイズ値）
スガ試験機社製のヘイズメーター（ＨＧＭ−２Ｋ）を用いてヘイズを測定した。その結果を表１に示した。なお、表１中、ヘイズ値が３以下であるものを○、３〜５のものを△、５以上のものを×とした。○又は△であると実使用上問題のないレベルであった。
(Haze value)
The haze was measured using a haze meter (HGM-2K) manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. The results are shown in Table 1. In Table 1, those having a haze value of 3 or less were evaluated as ◯, those having 3-5 as Δ, and those having a haze value of 5 or more as ×. If it was ○ or △, there was no problem in practical use.
（粘着力試験）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープを２５ｍｍ幅にカットし、ＳＵＳ板に２Ｎの荷重で添付させたものを、剥離試験機（東洋精機社製、形式スタログラフＥ−Ｌ）を用いて、５００ｍｍ／ｍｉｎの速度で剥離させ、粘着力を測定した。その結果を表１に示した。
(Adhesion test)
A photomask protective adhesive tape obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 was cut to a width of 25 mm, and attached to a SUS plate with a load of 2N. A peel tester (manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd., The adhesive strength was measured by peeling at a rate of 500 mm / min using a model Stallograph E-L). The results are shown in Table 1.
（再剥離試験）
実施例１、２及び比較例１、２で得られたフォトマスク保護用粘着テープをジアゾフィルム（ｆｏｌｅｘ社製、名称ＨＲＰ）にラミネートし、露光装置（オーク製作所製、形式ＨＭＷ−６Ｎ）を用いて、減圧下、７５ｍＪ／ｃｍ２の条件で、３００回の露光を行った。露光後、粘着テープを剥離し、ジアゾフィルム表面への糊残りを目視で観察した。その結果を表１に示した。なお、表１中、糊残りが認められるものを×、認められないものを○とした。
(Re-peeling test)
The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 was laminated on a diazo film (named HRP, manufactured by Folex), and an exposure apparatus (Oak Seisakusho, model HMW-6N) was used. Then, 300 exposures were performed under the condition of 75 mJ / cm 2 under reduced pressure. After the exposure, the adhesive tape was peeled off, and the adhesive residue on the diazo film surface was visually observed. The results are shown in Table 1. In Table 1, “X” indicates that adhesive residue is observed, and “◯” indicates that adhesive residue is not recognized.
表１に示したように、実施例１及び２で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、ヘイズ値、粘着力及び再剥離性のいずれも優れたものであった。
一方、比較例１で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、アクリル系粘着剤のトルエン可溶分の割合が高いため、ヘイズ値及び粘着力に優れるものの、再剥離性に劣るものであった。また、比較例２で得られたフォトマスク保護用粘着テープは、アクリル系粘着剤が粘着性付与樹脂成分を含有しないものであったため、ヘイズ値及び再剥離性には優れるものの、粘着力に劣るものであった。
As shown in Table 1, the photomask protecting adhesive tapes obtained in Examples 1 and 2 were excellent in haze value, adhesive strength and removability.
On the other hand, the pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask obtained in Comparative Example 1 has a high toluene-soluble fraction in the acrylic pressure-sensitive adhesive. . Moreover, since the adhesive for photomask protection obtained in Comparative Example 2 did not contain a tackifying resin component, the acrylic adhesive was excellent in haze value and removability, but poor in adhesive strength. It was a thing.
本発明によれば、プリント配線板等を製造する際に使用するフォトマスクのフォトレジストに対向する面に対する高い粘着性、及び、良好な再剥離性、並びに、フォトレジストへの露光を妨げることのない優れた光透過性を併せ持つフォトマスク保護用粘着テープを提供できる。 According to the present invention, high adhesiveness to the surface of the photomask used to manufacture a printed wiring board or the like facing the photoresist, good removability, and exposure to the photoresist can be prevented. It is possible to provide an adhesive tape for protecting a photomask that has both excellent light transmittance.
Claims (3)
前記粘着剤層は、架橋された２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分と粘着性付与樹脂成分とを含有し、かつ、
前記２−エチルヘキシルアクリレート及び／又はブチルアクリレート粘着剤成分は、単独でのトルエン可溶分が３０重量％以下である
ことを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープ。 An adhesive tape for protecting a photomask having a transparent substrate and an adhesive layer formed on one side of the transparent substrate,
The pressure-sensitive adhesive layer contains a crosslinked 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component and a tackifying resin component, and
The 2-ethylhexyl acrylate and / or butyl acrylate pressure-sensitive adhesive component has an independent toluene soluble content of 30% by weight or less, and is a photomask protecting pressure-sensitive adhesive tape.
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