JP3701398B2

JP3701398B2 - 透明複合フィルム

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Publication number: JP3701398B2
Application number: JP20096396A
Authority: JP
Inventors: 茂奥野
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1996-07-12
Filing date: 1996-07-12
Publication date: 2005-09-28
Anticipated expiration: 2016-07-12
Also published as: JPH1025357A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐候性、透明性、水蒸気あるいはガスの遮断性に優れ、かつ、他のシート等への接着性を付与した透明複合フィルムに関する。薄膜太陽電池モジュールの表面保護フィルム、ＥＬディスプレイ、ＬＣＤ等の表示体の表面保護フィルム、あるいは、耐光性、透明性と防湿性を要求される食品や医薬品の包装材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、太陽電池、ＥＬディスプレイ、ＬＣＤ表示体モジュールを屋外に設置する場合に耐候性や防湿性を高める必要があり、そのための保護材として、ガラス、フッ素樹脂フィルム等が用いられていた。
一般に、太陽電池モジュールとしては、現在、大型高効率モジュールと薄型軽量モジュールとがあり、大型高効率モジュールにおいては表面保護材として白板強化ガラスを用いている。薄型軽量モジュールにおいては、ガラス板を用いず、透明ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）フィルム等の表面保護フィルム等が用いられている。
前記大型太陽電池モジュールの一般的な構造は、その構造体を支持するため、表面にガラス板のような透明な材料、裏面には塗装鋼板、アルミニウムシート等を配し、その中間に太陽電池素子をサンドし、前記表面支持体と前記太陽電池素子の間、及び裏面支持体と太陽電池素子との間に充填材、例えば架橋性エチレン−酢酸ビニル共重合体等を充填して、防湿性をはじめ物理的な衝撃や振動等から前記太陽電池素子が損傷することを防止している。
前記ガラス板及び該ガラス板と太陽電池素子との間に充填する充填材は、太陽電池素子がその機能を低下することなく長期にわたって保護する目的で積層するものである。また、太陽電池は、太陽光を直接電気エネルギーに変換する装置であるから、前記ガラス面で受光する太陽光を太陽電池素子部にできるだけ、ロスなく透過するエネルギー変換効率のよい充填材が求められていた。
【０００３】
また、前記薄型軽量モジュールの一般的構造は、太陽光に面する表面保護フィルム、接着性フィルム、充填材、太陽電池素子の順に構成し太陽電池素子の裏面に充填材、接着性フィルムそして裏面保護フィルムの順に構成し、前記構成フィルムまたは構成体を前記順序に配列して、真空チャンバー内において加熱(150℃) 加圧して一体化し、太陽電池モジュールを製造していた。なお、前記接着剤フィルムと充填材とが一体化したシートとする場合もある。裏面保護フィルムとしては、ポリフッ化ビニルフィルムが用いられることが多いが、更に防湿効果をよくするため、アルミ箔等を積層することがある。
また前記太陽電池素子の裏側の充填材または接着性フィルムは入射した太陽光を吸収せずに、再度太陽電池素子側に反射するべく、白色系色材を練り込んだ材料または前記太陽電池素子側の面に白色塗装したものを用いる。
【０００４】
しかし、前記太陽電池素子より表面側の前記、表面保護フィルム、接着性フィルム、充填材のいずれも、表面で受光した太陽光を吸収することなく、できるだけ効率良く太陽電池素子に受光させる必要があり、そのために、前記各材料は、高度の透明性が必要である。
さらに、太陽電池モジュールは、長期間にわたり屋外において使用されるものであり、高温や降雨に暴露されるので耐候性が必要である。また、太陽電池モジュール構造体として吸湿すると、エネルギー変換効率の低下を来すので、太陽電池素子を保護する層は高度の防湿性を有する材料でなれければならない。標準的な条件としては、90℃、90％ＲＨにおいて水蒸気透過量が100g/m²以下であることが必要である。
これらの太陽電池モジュールとして望まれる前記各性能は、屋外で使用する表示体の表面保護フィルムとしても、さらには、食品や医薬品の包装においても程度の差はあるが、共通の課題であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
薄くて、柔軟性のある素材から構成され、長期に亘る屋外暴露使用における耐候性、耐光性と、高防湿性の各性能に優れていることに加え、太陽電池モジュールにあっては太陽エネルギーを光から電気に変換する発電効率を妨げない光の透過度の良い材料であり、なお、太陽電池モジュールやディスプレイの表示体等の製造における作業性としてメリットのある透明複合フィルムを提供する。
【０００６】
【課題を解決する手段】
本発明の課題は、次のような透明複合フィルムにすることによって解決することができた。
耐候性フィルム、バリアフィルム、接着性フィルムの順にラミネートした透明複合フィルムであって、前記前記バリアフィルムが、180 ℃以下で溶融軟化しない耐熱性プラスチックフィルムに、プラズマ化学蒸着法によって無機酸化物を蒸着してなり、次の発明を含むものとする。前記複合フィルムとして透明性が波長400 〜1100nmの範囲の光の透過率が90％以上を有すること、90℃、90％RHにおける水蒸気透過量が 100g/m²・day 以下とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の透明複合フィルムの材質構成例を示す断面図、図２は本発明の透明複合フィルムの使用例（接着層及び防湿薄膜層等の記載を省略）を示す断面図である。
本発明は、耐候性フィルムとバリア性フィルムおよび接着性フィルムを積層した透明複合フィルムである。
【０００８】
本発明の透明複合フィルムＳＰに用いるバリアフィルムは防湿用基材フィルム１の少なくとも片面に防湿薄膜層４を設けてなり、該防湿用基材フィルム（以下基材フィルムという）１としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアリレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリメチルメタアクリレート、ポリアクリレートあるいは、ポリフッ化ビニルやポリフッ化ビニリデンなどのフッ素樹脂から製膜された延伸フィルムまたは未延伸フィルムを利用できる。またこれらのフィルムは紫外線吸収剤（ベンゾフェノノン系）を添加されたものであってもよい。
特に太陽電池モジュールの表面保護フィルムとしては、屋外に載置した状況で使用されるものであり、直射日光に暴露され、かつ、降雨、降雪などの自然の過酷な条件から太陽電池素子を保護するため、前記各種フィルムのうちのポリフッ化ビニル（例えばテドラーデュポン社製商品名）が好適に用いられる。
【０００９】
本発明のバリアフィルムは、180 ℃以下の温度で溶融軟化しない防湿基材フィルム１に防湿薄膜層４として無機酸化物をプラズマ化学蒸着法によって蒸着したものを用いる。以下詳細に説明する。
前記基材フィルムに蒸着する無機酸化物としては、珪素、アルミニウム、マグネシウム等の酸化物が挙げられるが、この中でも特にハイバリアなものが得られる珪素酸化物（以下 SiO_xという）が特に望ましい。この SiO_xを耐熱性フィルムに対して蒸着し、透明性を備えたバリア性フィルムとするが、蒸着法としては、プラズマ化学蒸着（以下ＰＶＣＤという）法が望ましい。
従来の物理蒸着法が酸化珪素粒をばらまくように基材フィルム１に蒸着するので、酸化珪素粒子間に結晶粒界という隙間が生じ、高度なバリア性が発揮されないが、ＰＣＶＤ法は基材表面でプラズマ化した珪素原子を酸素で酸化しながら酸化珪素の形でフィルムに蒸着するため、緻密で隙間が極めて少なく、同じ膜厚ではより高度な蒸着層（以下防湿薄膜層４という）が形成される。
また形成される蒸着層も物理蒸着法では黄褐色度が大きく、ＰＣＶＤ法はより透明性に優れ、太陽電池、ディスプレイ等のバリア性フィルムとしては優れている。またＰＣＶＤ法は物理蒸着法より、さらに低い温度での蒸着が可能で、基材フィルムに与える損傷が少ない。特に本発明のように、長い年月にわたって高度なバリア性が要求される場合、製品の品質の安定性の見地より望ましい。
太陽電池用としては、太陽光をできるだけ効率よく、太陽電池素子に取り込むことが発電効率に影響するため、前記 SiO_xの膜は可能な限り透明性をあげる必要がある。本発明においては、前記ＰＣＶＤ法による蒸着層は、従来の物理蒸着法と比較してより高い透明性を有する蒸着膜を得ることができる。
本発明においては、太陽電池モジュールの表面保護フィルム等に利用する場合には、その発電効率に関係するため高度の透明性が必要であり、蒸着法としてＰＣＶＤ法が優位であることを見出した。
【００１０】
具体的なＰＣＶＤ法による防湿薄膜層４の形成は、次のような材料と工程により可能である。 SiO_xを設ける基材フィルム１は、可撓性をもつポリエステル、ナイロン、ポリプロピレン等の延伸あるいは未延伸フィルムを使用できるが、好ましくは、比較的薄い厚さで精度よく製膜でき、透明性にすぐれるポリエステルの延伸フィルムである。
また、防湿薄膜層４中には珪素酸化物に加えて、炭素、水素、珪素および酸素のなかの１種類、あるいは２種類以上の元素からなる化合物が少なくとも１種類含有されることが好ましく、例えば、Ｃ−Ｈ結合を有する化合物、Ｓｉ−Ｈ結合を有する化合物、または炭素単体がグラファイト状、ダイヤモンド状、フラーレン状になっている場合、さらに原料の有機珪素化合物やそれらの誘導体を含有する場合がある。具体例を挙げると、ＣＨ₃部位をもつハイドロカーボン、ＳｉＨ₃シリル、ＳｉＨ₂シリレン等のハイドロシリカ、ＳｉＨ₂ＯＨシラノールなどの水酸基誘導体などを挙げることができる。これらの化合物を有機珪素酸化物と称することにする。
上記以外でも、蒸着過程の条件を変化させることにより防湿薄膜層４に含有される化合物の種類、量等を変化させることができる。これらの化合物の防湿薄膜層４中の含有率は、0.1 〜50％、好ましくは5 〜20％程度である。この含有率が0.1 ％未満であると、防湿薄膜層４の耐衝撃性、延展性が不十分となり、曲げなどによってクラックの発生がみられ、高いバリア性を安定して維持することができなくなる。また、含有率が 40 ％を超えると、バリア性が低下し好ましくない。さらに、本発明では、防湿薄膜層４中の上記の化合物の含有量を防湿薄膜層４の表面から深さ方向へ向かって減少させることが好ましい。これにより、防湿薄膜層４の最表面において珪素酸化物の連続層は上記化合物によって耐衝撃性を高められ、一方、基材２との界面では上記化合物の含有量が少ないため、基材と珪素酸化物連続層との密着は強固なものとなる。
【００１１】
外国においては高速道路の壁面に太陽電池を取り付ける事例が報告されている。このような場合、車の通行から発生する断続的かつ長時間の振動により、従来技術による太陽電池の表面フィルム内の防湿薄膜層にクラックが発生するおそれがあったが、このように有機珪素化合物を含有することにより、耐クラック性が向上し、より過酷な条件での使用に耐えうる防湿薄膜層４を得ることができた。また、昼と夜との寒暖の差が激しい場所で使用する場合、太陽電池パネル本体自身が伸縮し、バリアフィルムのバリア性が低下する場合もあったが、有機珪素化合物を含有させて、延展性を向上させることにより、伸縮に対する耐性も向上した。さらにクラックが発生したとしても、珪素酸化物単体のＣＶＤに比べ、有機官能基が存在することにより、クラックの伝搬が少なく、バリア性の損失を最小限にくい止めることができる。
SiO_x層の形成に使用する有機珪素酸化物は、1,1,3,3-テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルメチルジシロキサン、メチルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサンなどの中から選択することができ、好ましくは、1,1,3,3-テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサンである。
【００１２】
いずれも液体である上記の有機珪素化合物を気化させ、酸素ガスと、不活性ガスであるヘリウムおよび／又はアルゴンとを混合した原料ガスを SiO_xを設けるフィルムが設置されているプラズマ化学蒸着機に導入して60〜 300Åの SiO_x層を形成する。
前述のようにＰＣＶＤ法により形成される防湿薄膜層４は、従来の物理蒸着法と比較して層の厚さを薄くして、無色透明なものでバリア性をもたせることができる。
このようにして形成された SiO_xには、炭素、水素、珪素及び酸素のなかの１種、あるいは２種以上の元素からなる化合、具体的には、メチル基等のアルキル基をもつハイドロカーボン、又は、シリル基のシリレン基を含むハイドロシリカ、シラノール等の水酸基をもつ誘導体がある。
上記以外でも、原料ガスの組成、蒸着条件を変化させることにより、防湿薄膜層４に含む化合物の種類、量を制御することができる。
【００１３】
これらの化合物の含有率は SiO_x層の 0.1〜50重量％、好ましくは 5〜20重量％である。この含有率が0.1 重量％未満であると、防湿薄膜層の耐衝撃性、展延性が不十分となり、曲げなどによってクラックの発生がみられ、高いバリア性を維持することができなくなる。また、40重量％を超えるとバリア性が低下して好ましくない。
また、 SiO_x側に含まれる上記の炭素原子の含有量は基材フィルム１に近い部分は低く、蒸着の表層の部分は濃度が高くなるように構成されることが好ましく、このようにして形成される SiO_xの蒸着層を設けたプラスチックフィルムは、通常の温度条件と高温下での防湿性とともに高温状態での防湿性にもすぐれている。
【００１４】
本発明の透明複合フィルムＳＰを、エレクトロルミネッセンスや太陽電池モジュールの表面保護として用いる場合には、接着性フィルム３は、対象物に対する接着性と透明性とが要求される。すなわち、ＥＬディスプレイ等の表示体の場合には発光素子、太陽電池モジュールの場合には太陽電池素子そのもの、または、別に充填材を積層する場合には該充填材に対して接着性がよく、透明性は、入射光をロスなく透過させる透明性を有することが望まれる。
接着性フィルム３用の樹脂としてはポリビニルブチラール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル部分ケン化物、ポリエステル変性樹脂、アイモノマー、シリコン系接着樹脂等を用いることができる。
本発明においては、上記のような、対象物に対して接着性のあるフィルムとして、加工性やその経済性から前記のエチレン−酢酸ビニル共重合体等が好適に用いられる。前記共重合体における酢酸ビニルの含有量は、１５〜４０％が好ましい。酢酸ビニル含有量が１５％以下であると、透明性が低下し、酢酸ビニル含有量が４０％を超えると、フィルムとして加工する際に該フィルムの表面がべたつき、加工の作業が殆ど不可能となる。
エチレン−酢酸ビニル共重合体は使用時においてしばしば黄変することがあるが、有機過酸化物などの架橋剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等を添加することができる。
本発明の接着性フィルムを食品の包装用として用いる場合には、前記エチレン−酢酸ビニル共重合体等も使用できるがその他、低〜中密度ポリエチレン、ポリプロピレン、アイオノマー、直鎖状低密度ポリエチレン、シングルサイト系触媒を用いて重合したエチレン−α・オレフィン共重合体等も使用可能であり、内容物の種類、包装単位量、包装機械のタイプ等によって適宜選択することが可能である。
【００１５】
太陽電池モジュールの製造において、従来は太陽電池素子と表面保護シートとの間に充填剤を介在させていたが、本発明における透明複合フィルムＳＰは、図２に示すように前記接着性フィルムは太陽電池素子に直接密着し、従来の充填材の機能をも発揮するものである。但し、太陽電池素子の厚み等の要因より、別に充填材を用いることも可能であり、接着性フィルムとして、充填材との接着性のよいものを選択し層構成として設計すればよい。
【００１６】
本発明による透明複合フィルムＳＰを太陽電池モジュールに使用する場合において、前記太陽電池モジュールの裏面フィルムＢＦとしては特に限定しない。裏面フィルムＢＦとして防湿性が必要なことは、前記表面フィルムと同じであり、本発明の透明複合フィルムＳＰと同一の積層体を裏面フィルムＢＦとして用いることは可能である。ただし、太陽電池のエネルギー変換の効率面から、裏面フィルムＢＦとして用いる際には前記積層体を構成する層の少なくとも一層は二酸化チタン等により白色に着色し、入射した太陽光の反射光を太陽電池素子に照射させるようにする。また、裏面の耐候性フィルム９としては、従来技術による材料、例えば、ポリフッ化ビニルのフィルム間にアルミ箔をサンドラミした構成などを使用することができる。本発明においては、裏面フィルムＢＦの材質を限定しない。
【００１７】
本発明の透明複合フィルムＳＰの積層方法としては、例えば、耐候性フィルム２と防湿フィルムとをドライラミネート法により貼り合わせる。この際防湿フィルムの SiO_x蒸着面は非ラミネート面（すなわち、太陽電池モジュールとした場合には太陽電池素子側）、ラミネート面のいずれでもよい。次いで、予め製膜した接着性フィルムＴを前記ラミネートフィルム蒸着面と再度ドライラミネートする。前記の２回のドライラミネートは、タンデム方式のラミネーターにより、インラインで同時に行ってもよい。前記ドライラミネートの代わりに、溶融押し出し樹脂を接着性樹脂としてサンドイッチラミネーションを採用することも可能であるが、高度の透明性を必要とするケースにおいては、前記ドライラミネート方式による積層が望ましい。
【００１８】
上記のような工程により得られた透明複合フィルムＳＰを例えば太陽電池モジュールとするには、前記複合フィルムＳＰを所定のサイズにカットし、真空式の接着機械を用いて、表面及び裏面の保護フィルムの間に太陽電池素子を挟み、前記フィルムを加熱した状態（約150 ℃) において加圧（プレス）することにより一体化することができる。また、前記真空式接着機械において仮着させ、前記機械（真空）から外して、再度加熱加圧して完全に接着することもある。
従来は前記真空式接着機械の中に太陽電池モジュールとなる各構成体として、耐候性フィルム、バリアフィルム（耐候性フィルムの厚みを増して兼用するケースもあった）、接着性フィルム、充填材、太陽電池素子、充填材、接着性フィルム、裏面保護フィルムと配置する必要があったが、本発明においては、前記の耐候性フィルム２、バリアフィルム、接着性フィルム３（充填材）が一体化しており、前記各構成体の配置が単純化し、かつ、異物混入防止や加工の精度を向上することができた。
【００１９】
そして、太陽電池素子のリード線Ｌをコネクトしたフレームにより端面を密封することにより、太陽電池モジュールのユニットとすることができる。
前記リード線は、前記フレームにコネクトせず、独自にフレームの外に引き出すことも可能である。
本発明により積層された透明複合フィルムＳＰにより表面を被覆した太陽電池モジュールやＥＬディスプレイ等の表示体には高度の耐候性および高防湿性を付与することができた。
さらに、太陽光に暴露することにより発電する太陽電池Ｂは、前記太陽光のエネルギーによって、発電装置本体およびハウジング部分が劣化し、その結果、前記装置本体の機能が低下し、最終的に発電不能にいたることがあったが、本発明の透明複合フィルムＳＰを表面に被覆することにより、前記劣化を防止することが可能である。
具体的な透明性と防湿性は次のような性能とする。太陽電池の変換エネルギーに関与する波長の範囲が 400〜1100nmの範囲の光の透過率が90％以上、90℃、90％RHにおける水蒸気透過量が 100g/m²・day 以下である。前記光の透過率が低下するとエネルギーの変換効率に影響する。また、水蒸気の透過量が100g/m²を超えると、長期にわたる使用において、太陽電池素子の機能低下の要因となる。
【００２０】
【実施例】
（実施例１）耐候性フィルム２として、ポリフッ化ビニルフィルム、テドラーTUT10BG3、25μｍ、紫外線吸収剤入り（デュポン株式会社製商品名）を用意し、基材フィルム１は、ルミラー（東レ社製商品名）ポリエチレンテレフタレートフィルム12μｍにPCVD法により SiO_xを200 Åの厚さに形成した。接着性フィルム３としては、別にＴダイ法により製膜したEVA フィルム紫外線吸収剤入り、片面コロナ放電処理、100 μｍ酢酸ビニル含有量25重量％を用意した。
前記耐候性フィルム２とバリアフィルムの防湿薄膜層４、次いで、基材フィルムの前記非蒸着面と前記接着性フィルム３のコロナ処理面とを、順次ポリウレタン系の２液型接着剤によりドライラミネートした。
ドライラミネート条件は、接着剤は、AD-76P1 、硬化剤CAT-10（東洋モートン社製、商品名）を100 部:6.5部の割合で用い、塗布量は固形分で5g/m²、塗布フィルムは、第一のラミネートでは、テドラー、第二のラミネートにおいては、 SiO_xの非蒸着面である。
得られた透明複合フィルムＳＰの90℃、90％RHでの水蒸気透過度は50g/m²であり、400 〜1100nmの範囲の光の透過率が91％であった。この透明複合フィルムＳＰを太陽電池モジュールの表面保護フィルムとして被覆した(150℃、5kg/cm²)。そして
40℃ 1.5 hrs →90℃ 1.5 hrs 1200回 ( 昇降時間 1.5hrs)
照度（320W/m²)のキセノンランプによる照射 50hrs 連続 1hrs 非照射のサイクル 20 回 ( 温度65℃、湿度50％ＲＨ)
のヒートサイクル過酷試験、カーボンアーク灯による照射試験の結果、性能の電力低下は観察されなかった。
（実施例２）耐候性フィルム２として、ポリカーボネートフィルム80μｍ、バリアフィルム基材として、ポリエチレンナフタレートテオネックスフィルム 25μｍ厚さ( 帝人社製商品名) にPCVD法によりSiO _xを120 Åの厚さに設けた。
ドライラミネートにより、前記ポリカーボネートと、バリアフィルムの SiO_x非蒸着面とを貼り合わせた、ドライラミネート用接着剤としては、AD-76P1(前出) を用い、塗布量は、固形分として、4g/m²とした。
次に、前記ラミネートしたフィルムの非SiO _x蒸着面に、イソシアネート系のアンカーコートした後、EVA 樹脂（酢酸ビニル含有量18重量％のエバフレックス（三井デュポンポリケミカル社製商品名) を押し出しコート法により、70μｍの厚さにコートした。
得られた透明複合フィルムＳＰをＥＬディスプレイの表示体の基板（ＰＥＴ）の表面に加熱、加圧(150℃、5Kg/m²) により接着した。
得られた表示体のディスプレイとしては、表示情報の視認性はよく、400 〜1100nmの範囲の光の透過率が91％であり、防湿性も、90％RHでの水蒸気透過度は50g/m²であり、いずれも優れた性質を示し、長期の使用に耐えるものであった。
【００２１】
【発明の効果】
耐候性の優れたフィルムと優れた透明性と防湿性を有する薄膜層を設けた基材フィルムおよび接着性フィルムとを複合することによって透明性に優れたフィルムであり、かつ、長期に亘る実用に耐える透明複合フィルムとすることができた。
太陽電池モジュールの製造工程において、各フィルムを重ねて熱プレスする煩雑さが、表面保護フィルムから接着性フィルムまで一体化しているので、工程における安定性がよく、製品の歩留りの向上となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の透明複合フィルムの材質構成を示す断面図
【図２】本発明の透明複合フィルムの使用例を示す（接着層および防湿薄膜層を省略して示す）断面図
【符号の説明】
ＳＰ透明複合フィルム
ＢＦ裏面フィルム
１防湿用基材フィルム
２耐候性フィルム
３接着性フィルムＴ
４防湿薄膜層
５，６接着層
７接着性フィルムＢ
８防湿フィルム
９耐候性フィルム
Ｂ太陽電池
Ｌリード線

Claims

耐候性フィルム、バリアフィルム、接着性フィルムの順にドライラミネ−ト方式または溶融押し出し樹脂を接着性樹脂として積層するサンドラミネ−ション方式でラミネ−トした複合フィルムであって、更に、上記のバリアフィルムは、１８０℃以下の温度で溶融軟化しない基材フィルムに、プラズマ化学蒸着法によって、ＳｉＯ_X層を形成した構成からなり、更に、上記のＳｉＯ_X層は、有機珪素化合物を気化させ、酸素ガスと、ヘリウム及び／またはアルゴンからなる不活性ガスとを混合した原料ガスを上記のＳｉＯ_X層を設ける基材フィルムが設置されているプラズマ化学蒸着機に導入して上記の基材フィルムの上にＳｉＯ_Xを蒸着して形成され、かつ、該ＳｉＯ_X層には、炭素、水素、珪素及び酸素の中の１種、あるいは２種以上の元素からなる化合物を、５〜２０重量％の含有率で含有することを特徴とする透明複合フィルム。
ＳｉＯ_X層は、波長４００〜１１００ｎｍの範囲の光線透過率が９０％以上の透明性を有することを特徴とする上記の請求項１に記載の透明複合フィルム。
ＳｉＯ_X層は、９０℃、９０％のＲＨにおける水蒸気透過量が１００ｇ／ｍ²・ｄａｙ以下であることを特徴とする上記の請求項１〜２のいずれか１項に記載の透明複合フィルム。