JP3674475B2

JP3674475B2 - Pure water production method

Info

Publication number: JP3674475B2
Application number: JP2000240053A
Authority: JP
Inventors: 公伸大澤
Original assignee: Kurita Water Industries Ltd
Current assignee: Kurita Water Industries Ltd
Priority date: 2000-08-08
Filing date: 2000-08-08
Publication date: 2005-07-20
Anticipated expiration: 2020-08-08
Also published as: JP2002045857A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶、製薬、食品、電力等の分野の各種産業、民生用、又は研究設備で利用される純水を製造する方法に係り、特に、電気脱イオン装置を用いた純水の製造方法において、薬剤を用いることなく電気脱イオン装置の炭酸ガス（ＣＯ_２）負荷量を軽減して高水質の処理水を得るための純水の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、液晶製造工場、製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業又は民生用ないし研究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図２に示す如く、電極（陽極１１，陰極１２）の間に複数のアニオン交換膜１３及びカチオン交換膜１４を交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成し、脱塩室１６にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填した電気脱イオン装置が多用されている。なお、図２において、１７は陽極室、１８は陰極室である。
【０００３】
電気脱イオン装置は、水解離によってＨ^＋イオンとＯＨ⁻イオンを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を発揮する。
【０００４】
図３は、このような電気脱イオン装置を組み込んだ一般的な純水製造装置を示す系統図であり、市水等の原水は、活性炭装置１及び逆浸透（ＲＯ）膜装置２で処理された後、電気脱イオン装置３で処理される。ここで、ＲＯ膜装置２は電気脱イオン装置３の有機物、硬度成分、塩類の負荷を軽減させるために設けられている。
【０００５】
ところで、電気脱イオン装置で、シリカ、ホウ素、炭酸ガス（ＣＯ_２）などの弱電解物質を除去するためには、下記のようなイオン化反応を脱塩室内で生起させ、イオンを発生させる必要がある。
ＣＯ_２＋ＯＨ⁻→ＨＣＯ_３ ⁻ （ｐＫａ＝６．３５）
ＳｉＯ_２＋ＯＨ⁻→ＨＳｉＯ_３ ⁻ （ｐＫａ＝９．８６）
Ｈ_３ＢＯ_３＋ＯＨ⁻→Ｂ（ＯＨ）_４ ⁻ （ｐＫａ＝９．２４）
【０００６】
従って、このような弱電解物質が供給水中に高濃度で含まれる場合、これをイオン化するために、電気脱イオン装置の印加電圧を上げて水解離でＯＨ⁻イオンを多量に発生させる必要があることから、多大の電気量が必要となる。このため、従来においては、図４（ａ）に示す如く、ＲＯ膜装置２の入口でアルカリ（ＮａＯＨ）を注入してｐＨを８．３付近のアルカリ性とすることにより、ＣＯ_２を重炭酸イオンに変えてＲＯ膜装置２で除去する方法や、図４（ｂ）に示す如く、ＲＯ膜装置２の前段で必要に応じて酸を添加してｐＨ５．５以下とし脱気装置４でＣＯ_２を除去する方法などにより、電気脱イオン装置３のＣＯ_２負荷を軽減させる方法が採用されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法は、脱ＣＯ_２のために、酸、アルカリといった薬剤が必要となり、薬剤を必要としない電気脱イオン装置を採用することの利点が損なわれることから、好ましい方法とは言えない。
【０００８】
本発明は上記従来の問題を解決し、電気脱イオン装置を組み込んだ純水の製造方法において、薬剤を用いることなく電気脱イオン装置のＣＯ_２負荷を軽減して高水質の処理水を得ることができる純水の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の純水の製造方法は、炭酸ガスと重炭酸イオンとを含む被処理水を、酸、アルカリといった薬剤を用いることなく電気脱イオン処理して純水を製造する方法において、該被処理水を逆浸透膜処理して重炭酸イオンを除去し、得られた透過水を脱気処理して炭酸ガスを除去し、脱気処理水を電気脱イオン処理する純水の製造方法であって、酸消費量（ｐＨ４．８）が２０ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ _３換算）以上でｐＨ６．５以上の被処理水を逆浸透膜処理して、ｐＨ６．２以下の透過水を得ることを特徴とする。
【００１１】
本発明では、薬剤を使用することなく、被処理水中に含まれる酸消費量（ｐＨ４．８）成分をＲＯ膜装置で除去することにより、ｐＨの低い透過水を得る。この低ｐＨの透過水を脱気装置で処理することによりＣＯ_２を効率的に除去し、電気脱イオン装置のＣＯ_２負荷を軽減することができる。
【００１２】
なお、本発明では、被処理水の性状を酸消費量（ｐＨ４．８）で規定しているが、図５に示す一般的に純水製造装置の原水として用いられる市水等のｐＨと（酸消費量（ｐＨ４．８）（ＣａＣＯ_３換算）／ＣＯ_２（ＣＯ_２換算））の存在比率との関係からも明らかなように、これはＣＯ_２濃度で規定することもできる。例えば、ｐＨ７で、酸消費量（ｐＨ４．８）２０ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）以上の水であれば、酸消費量（ｐＨ４．８）／ＣＯ_２＝５であるので、ＣＯ_２濃度は４（＝２０÷５）ｐｐｍ（ＣＯ_２換算）以上である。
【００１３】
しかも、本発明では、ＲＯ膜装置による処理で低ｐＨとされた水をＲＯ膜装置の後段で脱気処理することにより、図４（ｂ）に示す如く、ＲＯ膜装置の前段で脱気処理する場合に比べてＣＯ_２の除去性能を３０〜５０％も向上させることができる。これは、脱気装置の前段においてＲＯ膜装置で処理されるため、脱気装置に導入される水の導電率が低く、共存物質が少ないために、脱気装置において、脱気性能の低下を引き起こすことなく、ＣＯ_２を効率的に除去することができると考えられる。
【００１４】
特に、脱気装置として膜脱気装置を用いた場合には、ＲＯ膜装置の前段にこれを設置する場合に比べて、ＲＯ膜装置の後段に設置することにより長期に亘って脱気性能を安定させることができる。
【００１５】
これは、ＲＯ膜装置により塩類やＴＯＣ成分が除去され、これらの汚染物質に起因する膜脱気装置のスライム付着障害等が軽減されるためであり、この場合、膜汚染を有効に防止して脱気性能を長期間安定させるために、膜脱気装置に導入される水はＴＯＣ２００μｇ／Ｌ以下であるか或いは導電率２０μＳ／ｃｍ以下であることが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の純水の製造方法の実施の形態を示す系統図である。
【００１８】
この方法では、市水等の原水を活性炭装置１、ＲＯ膜装置２、脱気装置４及び電気脱イオン装置３に順次通水する。このような処理において、ＲＯ膜装置２において、酸消費量（ｐＨ４．８）が２０ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）以上でｐＨ６．５以上の被処理水を処理して、ｐＨ６．２以下の透過水を得る。
【００１９】
ＲＯ膜装置２において、このようなｐＨ及び酸消費量（ｐＨ４．８）成分の水を処理して酸消費量（ｐＨ４．８）成分を除去することによりｐＨを下げることができる。このような酸消費量（ｐＨ４．８）成分の除去によるｐＨ低減効果を得るために、ＲＯ膜装置に導入される被処理水の酸消費量（ｐＨ４．８）は２０ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）以上であることが必要であり、特に２５ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）以上であることが好ましい。この酸消費量（ｐＨ４．８）が過度に高いとＲＯ膜装置でのＣａＣＯ_３スケール発生及び脱気装置のＣＯ_２除去負荷が高くなるから、一般的には５０ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）以下である。また、この程度の酸消費量（ｐＨ４．８）の水は通常ｐＨ６．５以上、特に６．５〜８．０程度である。
【００２０】
このように酸消費量（ｐＨ４．８）２０ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）以上でｐＨ６．５以上の水は、市水や工水を除濁することにより調達することができる。
【００２１】
本発明においては、ＲＯ膜装置２において、このような水を処理してｐＨ６．２以下の透過水を得る。また、脱気装置４として膜脱気装置を用いた場合には、前述の如く、膜脱気装置の脱気性能の長期安定化のために、ＲＯ膜装置２の透過水はＴＯＣ濃度２００μｇ／Ｌ以下、特に１００μｇ／Ｌ以下であるか、導電率２０μＳ／ｃｍ以下、特に１０μＳ／ｃｍ以下であることが好ましい。なお、この水は、ＴＯＣ濃度及び導電率が共に上記上限値以下であることが好ましいことは言うまでもない。
【００２２】
ＲＯ膜装置２における処理により、上記ｐＨ、ＴＯＣ濃度、導電率の透過水を得るためには、ＲＯ膜装置２における処理において、次のような条件ないし手段を採用するのが有効である。
▲１▼ ＲＯ膜装置の給水電気伝導率は３００μＳ／ｃｍ以下である。
▲２▼ ＲＯ膜装置の給水ＴＯＣ濃度は２ｍｇ／Ｌ（Ｃ換算）以下である。
▲３▼ ＲＯ膜モジュールはＰＡ（ポリアミド）系の複合膜が好ましい。
【００２３】
なお、本発明において、脱気装置としては、膜脱気装置に限らず、脱炭酸塔、真空脱気塔等を用いることもできるが、小型で保守管理が容易な点から膜脱気装置を用いるのが好適である。
【００２４】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００２５】
実施例１
図１に示す方法で本発明に従って、下記水質の水を１５０Ｌ／ｈｒの処理量で処理した。
［原水水質］
酸消費量（ｐＨ４．８）：２５ｍｇ／Ｌ（ＣａＣＯ_３換算）
ｐＨ：７．０
電気伝導率：２００μＳ／ｃｍ
【００２６】
各装置の仕様は次の通りである。

ＲＯ膜装置の水回収率は７０％、電気脱イオン装置の水回収率は８５％とし、電気脱イオン装置の通水ＳＶは７５ｈｒ^−１とした。
【００２７】
このときのＲＯ膜装置の被処理水及び透過水の水質、電気脱イオン装置入口水（膜脱気装置の処理水）の水質、得られた最終処理水（電気脱イオン装置の脱イオン水）の水質は表１に示す通りであった。
【００２８】
この純水製造装置の運転を１０ヶ月間継続して行い、膜脱気装置におけるＣＯ_２除去率の経時変化を調べたところ、図６に示す如く、ＣＯ_２除去率９０％で安定に処理を行うことができた。
【００２９】
比較例１
実施例１において、ＲＯ膜装置における処理条件のうち、ＲＯ膜装置被処理水のｐＨをＮａＯＨによりｐＨ８．３に変えることにより、表１に示す水質の透過水を得たこと以外は同様にして処理を行ったところ、各部の水質は表１に示す通りであり、実施例１に比べて劣るものであった。
【００３０】
【表１】

【００３１】
比較例２
活性炭装置、ＲＯ膜装置、脱気装置及び電気脱イオン装置として実施例１で用いたものと同様の装置を用い、これらを図４（ｂ）に示すように組み立て、脱気装置４の入口でＨＣｌを添加してｐＨ５．５に調整して順次原水を通水して処理を行ったこと以外は実施例１と同様にして処理した。このときの膜脱気装置のＣＯ_２除去率の経時変化を調べたところ、図６に示す如く、ＣＯ_２除去率は運転開始初期においても約８５％（電気脱イオン装置の入口水のＣＯ_２濃度は７５０μｇ／Ｌ）で実施例１の場合よりも劣るものであり、しかも、経時による膜汚染で脱気性能が大幅に低下することが認められた。
【００３２】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の純水の製造方法によれば、電気脱イオン装置を用いる純水の製造において、薬剤を用いることなく電気脱イオン装置のＣＯ_２負荷を軽減して高水質の処理水を得ることができる。
【００３３】
特に、請求項３の方法によれば、膜脱気装置における脱気性能を高く維持して、高水質の処理水を長期に亘り安定に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の純水の製造方法の実施の形態を説明する系統図である。
【図２】電気脱イオン装置の一般的な構成を示す模式的な断面図である。
【図３】従来の一般的な純水製造装置を示す系統図である。
【図４】従来の純水の製造方法を示す系統図である。
【図５】ｐＨと（酸消費量（ｐＨ４．８）／ＣＯ_２）比との関係を示すグラフである。
【図６】実施例１及び比較例２における膜脱気装置のＣＯ_２除去率の経時変化を示すグラフである。
【符号の説明】
１活性炭装置
２ＲＯ膜装置
３電気脱イオン装置
４脱気装置
１０イオン交換体
１１陽極
１２陰極
１３アニオン交換膜
１４カチオン交換膜
１５濃縮室
１６脱塩室
１７陽極室
１８陰極室[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for producing pure water used in various industries such as semiconductors, liquid crystals, pharmaceuticals, foods, and electric power, for consumer use, and for research facilities, and in particular, pure water using an electrodeionization device. The method for producing pure water for reducing the amount of carbon dioxide (CO ₂ ) load of the electrodeionization apparatus without using a chemical agent to obtain high quality treated water.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in the manufacture of deionized water used in various industries such as semiconductor manufacturing factory, liquid crystal manufacturing factory, pharmaceutical industry, food industry, electric power industry, etc. or consumer use or research facilities, as shown in FIG. A plurality of anion exchange membranes 13 and cation exchange membranes 14 are alternately arranged between the anode 11 and the cathode 12) to alternately form a concentration chamber 15 and a desalting chamber 16, and an ion exchange resin, An electrodeionization apparatus in which an anion exchanger made of an ion exchange fiber or a graft exchanger or the like and a cation exchanger are mixed or filled in a multilayer form is widely used. In FIG. 2, 17 is an anode chamber and 18 is a cathode chamber.
[0003]
The electrodeionization device generates H ⁺ ions and OH ⁻ ions by water dissociation and continuously regenerates the ion exchanger filled in the desalting chamber, enabling efficient desalting treatment. Thus, it does not require a regeneration treatment using chemicals such as the ion exchange resin apparatus that has been widely used so far, and complete continuous water sampling is possible, and an excellent effect that high-purity water is obtained is exhibited.
[0004]
FIG. 3 is a system diagram showing a general pure water production apparatus incorporating such an electrodeionization apparatus. Raw water such as city water is treated by an activated carbon device 1 and a reverse osmosis (RO) membrane device 2. Then, it is processed by the electrodeionization apparatus 3. Here, the RO membrane device 2 is provided in order to reduce the load of organic substances, hardness components, and salts of the electrodeionization device 3.
[0005]
By the way, in order to remove weak electrolytic substances such as silica, boron and carbon dioxide (CO ₂ ) with an electrodeionization apparatus, it is necessary to generate an ion by causing the following ionization reaction to occur in the demineralization chamber. is there.
CO ₂ + OH ⁻ → HCO ₃ ⁻ (pKa = 6.35)
SiO ₂ + OH ⁻ → HSiO ₃ ⁻ (pKa = 9.86)
H ₃ BO ₃ + OH ⁻ → B (OH) ₄ ⁻ (pKa = 9.24)
[0006]
Therefore, when such a weak electrolytic substance is contained in the feed water at a high concentration, in order to ionize this, it is necessary to increase the applied voltage of the electrodeionization apparatus and generate a large amount of OH ⁻ ions by water dissociation. Therefore, a large amount of electricity is required. Therefore, conventionally, as shown in FIG. 4 (a), by alkaline near 8.3 pH by injecting an alkali (NaOH) at the inlet of the RO membrane apparatus 2, the CO ₂ bicarbonate a method of removing by RO membrane apparatus 2 in place of the FIG. 4 as shown in (b), RO membrane device acid optionally in 2 in the preceding stage is added to a pH5.5 following degassing apparatus 4 with CO ₂ A method of reducing the CO ₂ load of the electrodeionization apparatus 3 by a method of removing the ion is adopted.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above conventional method requires a chemical such as acid or alkali for de-CO ₂ , and the advantage of adopting an electrodeionization apparatus that does not require a chemical is impaired. Absent.
[0008]
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and obtains high-quality treated water by reducing the CO ₂ load of the electrodeionization apparatus without using chemicals in the method for producing pure water incorporating the electrodeionization apparatus. An object of the present invention is to provide a method for producing pure water that can be used.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The method for producing pure water of the present invention is a method for producing pure water by subjecting water to be treated containing carbon dioxide gas and bicarbonate ions to electrodeionization treatment without using chemicals such as acid and alkali. A method for producing pure water in which water is subjected to reverse osmosis membrane treatment to remove bicarbonate ions, the permeated water obtained is degassed to remove carbon dioxide gas, and the degassed water is subjected to electrodeionization treatment. The permeated water having a pH of 6.2 or less is obtained by subjecting the water to be treated having an acid consumption (pH 4.8) of 20 mg / L (CaCO ₃ conversion) or more to pH 6.5 or more by reverse osmosis membrane treatment. .
[0011]
In the present invention, permeated water having a low pH is obtained by removing the acid consumption (pH 4.8) component contained in the water to be treated by the RO membrane device without using a chemical. By treating this low pH permeated water with a deaeration device, CO ₂ can be efficiently removed, and the CO ₂ load of the electrodeionization device can be reduced.
[0012]
In addition, in this invention, although the property of to-be-processed water is prescribed | regulated with the amount of acid consumption (pH 4.8), generally pH of city water etc. which are used as raw water of the pure water manufacturing apparatus shown in FIG. As is clear from the relationship with the existence ratio of acid consumption (pH 4.8) (CaCO ₃ conversion) / CO ₂ (CO ₂ conversion), this can also be defined by the CO ₂ concentration. For example, in the case of water having an acid consumption (pH 4.8) of 20 mg / L (CaCO ₃ equivalent) or more at pH 7, since the acid consumption (pH 4.8) / CO ₂ = 5, the CO ₂ concentration is 4 (= 20 ÷ 5) ppm (CO ₂ equivalent) or more.
[0013]
In addition, in the present invention, the water that has been lowered in pH by the treatment with the RO membrane device is deaerated at the subsequent stage of the RO membrane device, so that the deaerated treatment is performed at the front stage of the RO membrane device as shown in FIG. Compared to the case, the CO ₂ removal performance can be improved by 30 to 50%. This is because the RO membrane device is processed before the deaeration device, so the conductivity of the water introduced into the deaeration device is low and there are few coexisting substances. It is believed that CO ₂ can be efficiently removed without causing it.
[0014]
In particular, when a membrane deaeration device is used as the deaeration device, the deaeration performance can be improved over a long period of time by installing it at the subsequent stage of the RO membrane device, compared with the case where it is installed at the previous stage of the RO membrane device. It can be stabilized.
[0015]
This is because salts and TOC components are removed by the RO membrane device, and the slime adhesion failure of the membrane deaerator caused by these contaminants is reduced. In this case, membrane contamination is effectively prevented. In order to stabilize the deaeration performance for a long period of time, it is preferable that the water introduced into the membrane deaerator is TOC 200 μg / L or less or conductivity 20 μS / cm or less.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0017]
FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of a method for producing pure water according to the present invention.
[0018]
In this method, raw water such as city water is sequentially passed through the activated carbon device 1, the RO membrane device 2, the deaeration device 4, and the electrodeionization device 3. In such treatment, the RO membrane device 2 treats water to be treated having an acid consumption (pH 4.8) of 20 mg / L (CaCO ₃ conversion) or more and a pH of 6.5 or more, and a permeation of pH 6.2 or less. Get water.
[0019]
In the RO membrane device 2, the pH can be lowered by treating the water of such pH and acid consumption (pH 4.8) components to remove the acid consumption (pH 4.8) components. To obtain a pH reduction effect by such acid consumption (pH 4.8) component removal, acid consumption of water to be treated is introduced into the RO membrane apparatus (pH 4.8) is 20 m g / L (CaCO ₃ conversion) is required to be higher than that, and particularly preferably 25 m g / L (CaCO ₃ conversion) or more. If this acid consumption (pH 4.8) is excessively high, the CaCO ₃ scale generation in the RO membrane device and the CO ₂ removal load of the deaeration device become high, so generally 50 mg / L or less (CaCO ₃ conversion) or less It is. Moreover, the water of this amount of acid consumption (pH 4.8) is usually pH 6.5 or more, particularly about 6.5 to 8.0.
[0020]
In this way, water with an acid consumption (pH 4.8) of 20 mg / L (CaCO ₃ equivalent) or more and a pH of 6.5 or more can be procured by removing the city water and industrial water.
[0021]
In the present invention, the RO membrane device 2 treats such water to obtain permeated water having a pH of 6.2 or lower. Further, when a membrane deaerator is used as the deaerator 4, the permeated water of the RO membrane device 2 has a TOC concentration of 200 μg / in order to stabilize the deaeration performance of the membrane deaerator as described above. It is preferred that it is not more than L, particularly not more than 100 μg / L, or not more than 20 μS / cm, particularly not more than 10 μS / cm. In addition, it cannot be overemphasized that it is preferable that both this TOC density | concentration and electrical conductivity are below the said upper limit for this water.
[0022]
In order to obtain permeated water having the above pH, TOC concentration, and conductivity by the treatment in the RO membrane device 2, it is effective to adopt the following conditions or means in the treatment in the RO membrane device 2.
(1) The water supply electrical conductivity of the RO membrane device is 300 μS / cm or less.
(2) The feed water TOC concentration of the RO membrane device is 2 mg / L (C conversion) or less.
(3) The RO membrane module is preferably a PA (polyamide) based composite membrane.
[0023]
In the present invention, the degassing device is not limited to the membrane degassing device, and a decarboxylation tower, a vacuum degassing tower, and the like can be used. However, the membrane degassing device is small and easy to maintain. It is preferred to use.
[0024]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples.
[0025]
Example 1
According to the present invention, water having the following water quality was treated at a treatment amount of 150 L / hr by the method shown in FIG.
[Raw water quality]
Acid consumption (pH 4.8): 25 mg / L (CaCO ₃ conversion)
pH: 7.0
Electrical conductivity: 200 μS / cm
[0026]
The specifications of each device are as follows.

The water recovery rate of the RO membrane device was 70%, the water recovery rate of the electrodeionization device was 85%, and the water flow SV of the electrodeionization device was 75 hr- ¹ .
[0027]
Water quality of RO membrane device treated water and permeated water, water quality of electrode deionizer inlet water (treated water of membrane degasser), final treated water obtained (deionized water of electrodeionizer) The water quality was as shown in Table 1.
[0028]
The operation of this pure water production apparatus was continued for 10 months, and the change over time of the CO ₂ removal rate in the membrane deaerator was examined. As shown in FIG. 6, the treatment was stably performed at a CO ₂ removal rate of 90%. Could be done.
[0029]
Comparative Example 1
In Example 1, among the processing conditions in the RO membrane device, the pH of the RO membrane device treated water was changed to pH 8.3 with NaOH to obtain the same water quality permeated water as shown in Table 1. When the treatment was performed, the water quality of each part was as shown in Table 1, which was inferior to Example 1.
[0030]
[Table 1]

[0031]
Comparative Example 2
As the activated carbon device, the RO membrane device, the deaeration device, and the electrodeionization device, the same devices as those used in Example 1 were used, and these were assembled as shown in FIG. The treatment was performed in the same manner as in Example 1 except that HCl was added to adjust the pH to 5.5 and the raw water was sequentially passed through. When the time-dependent change of the CO ₂ removal rate of the membrane deaerator at this time was examined, as shown in FIG. 6, the CO ₂ removal rate was about 85% even at the beginning of the operation (CO ₂ water in the inlet of the electrodeionization device). The concentration was 750 μg / L), which was inferior to that in Example 1. Further, it was confirmed that the deaeration performance was significantly lowered due to membrane contamination over time.
[0032]
【The invention's effect】
As described in detail above, according to the manufacturing method of the pure water of the present invention, electricity in the production of pure water using a deionizer, to reduce the CO ₂ loading of electrodeionization apparatus without using a drug high quality Treated water can be obtained.
[0033]
In particular, according to the method of claim 3, the deaeration performance in the membrane deaerator can be maintained high, and high quality treated water can be obtained stably over a long period of time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a system diagram illustrating an embodiment of a method for producing pure water according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a general configuration of an electrodeionization apparatus.
FIG. 3 is a system diagram showing a conventional general pure water production apparatus.
FIG. 4 is a system diagram showing a conventional method for producing pure water.
FIG. 5 is a graph showing the relationship between pH and (acid consumption (pH 4.8) / CO ₂ ) ratio.
6 is a graph showing a change with time of the CO ₂ removal rate of the membrane deaerator in Example 1 and Comparative Example 2. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Activated carbon device 2 RO membrane device 3 Electrodeionization device 4 Deaeration device 10 Ion exchanger 11 Anode 12 Cathode 13 Anion exchange membrane 14 Cation exchange membrane 15 Concentration chamber 16 Desalination chamber 17 Anode chamber 18 Cathode chamber

Claims

In a method for producing pure water by subjecting water to be treated containing carbon dioxide gas and bicarbonate ions to electrodeionization treatment without using chemicals such as acid and alkali,
A method for producing pure water, wherein the treated water is treated with a reverse osmosis membrane to remove bicarbonate ions, the permeated water obtained is degassed to remove carbon dioxide gas, and the degassed water is subjected to electrodeionization treatment Because
Pure water characterized in that a permeated water having a pH of 6.2 or lower is obtained by subjecting water to be treated having an acid consumption (pH 4.8) of 20 mg / L (CaCO ₃ equivalent) or higher and a pH of 6.5 or higher to reverse osmosis membrane treatment. Water production method.

Oite to claim 1, deaeration process is treatment with membrane degasifier, characterized in that water introduced into the membrane degasser is less TOC200μg / L or less whether or conductivity of 20 [mu] S / cm A method for producing pure water.