JP3674025B2 - 分光分析計 - Google Patents

分光分析計 Download PDF

Info

Publication number
JP3674025B2
JP3674025B2 JP26075199A JP26075199A JP3674025B2 JP 3674025 B2 JP3674025 B2 JP 3674025B2 JP 26075199 A JP26075199 A JP 26075199A JP 26075199 A JP26075199 A JP 26075199A JP 3674025 B2 JP3674025 B2 JP 3674025B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
connector unit
case
lens
fixed
optical fiber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP26075199A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001083010A (ja
Inventor
尚典 林
智昭 南光
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP26075199A priority Critical patent/JP3674025B2/ja
Publication of JP2001083010A publication Critical patent/JP2001083010A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3674025B2 publication Critical patent/JP3674025B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、石油化学、化学、食品などの分野で近赤外波長域の光を用いて成分分析を行うための分光分析計のサンプル光取出し部分の構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図4は分光分析計の構成を示す平面図である。図4において、1は光学部品が配置されたケースであり、このケース1の中には図示のようにランプ2、レーザービーム発生装置3、コリメートレンズ4、ビームスプリッタ5、固定ミラー6、移動ミラー7、移動ミラーホルダ8、集光レンズ9およびレーザービーム検出部14が収納されている。
【0003】
ケース1の外側壁にはファイバアダプタ10、光ファイバ11、測定サンプル光検出部13が配置されている。
上述の構成において、ランプ2から出射したブロードな波長域を持つ光はコリメートレンズ4により平行光とされ、ビームスプリッタ5を介して固定ミラー6、移動ミラー7が配置された2方向に分岐される。
【0004】
そして、移動ミラー7を光軸方向にスキャンさせることで固定ミラー6からの反射光との間に光路差が生じ、ビームスプリッタ5で再結合された光はブロードな波長域帯での合成された干渉光を得ることができる。
【0005】
この干渉光は集光レンズ9によりファイバアダプタ10を介して光ファイバー11に導かれる。この光をサンプル光としてサンプル12を透過またはサンプルに反射させて光検出部13で受光することにより被測定サンプルの吸収スペクトルまたは反射スペクトルを得ることができる。
【0006】
ここで、データのサンプリングはレーザービーム発生装置3から出射されるレーザービームの干渉信号に同期して行われ、そのときサンプル光により測定した波長の絶対確度はレーザービームとランプ2の位置関係および集光レンズ9と光ファイバー10の位置により決まる。
【0007】
ここで各要素部品であるランプ2、レーザービーム発生装置3、コリメートレンズ4、ビームスプリッタ5、固定ミラー6、移動ミラーホルダ8、集光レンズ9、ファイバアダプタ10はケース1にそれぞれ設けられた所定の光学的基準面に保持されている。
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例においては、工場などの測定現場での分析を想定し、環境変化の少ない場所に設置された分光分析計から光ファイバ11によってサンプル光を被測定サンプルまで導いており、サンプル光はケース1に位置決めされて固定された集光レンズ9およびファイバアダプタ10に光ファイバ11を接続することにより取出している。
【0008】
即ち、光ファイバ経由以外の方式は想定しておらず、サンプル光を直接被測定物へ導くオープンビーム方式や他の直接干渉信号光を必要とするサンプリング装置への接続などに対応することができなかった。
【0009】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、集光レンズ9とファイバアダプタ10を一体としたコネクタユニットとし、このコネクタユニットをケース1から着脱自在とすることによりファイバ結合による方式とオープンビームによる方式の両方に対応させるようにした分光分析計を実現することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために本発明では、請求項1においては、
ケースから出射する測定光をサンプルに照射してその透過または反射光のスペクトルを測定し、または、そのスペクトルを元にサンプルの性状値を求める分光分析計において、前記測定光となる干渉光を前記ケースから取出すに際しては、光ファイバを介して取り出すためのコネクタユニット(15)と干渉光を直接取り出すためのコネクタユニット(15a)を設けるとともに、前記ケースにコネクタユニット(15,15a)を位置決めするための基準面を設け、前記光ファイバを介して取り出すためのコネクタユニット(15)は、筒の一端のフランジに光ファイバアダプタが固定され、他端に集光レンズが固定されたレンズ支持体とし、前記干渉光を直接取り出すためのコネクタユニット(15a)は、筒の一端のフランジにピンホールを有する仕切り板と、この仕切り版から所定の距離を隔てて固定され前記ピンホールを通ったビームをコリメートするためのコリメートレンズを有し、他端に集光レンズが固定されたレンズ支持体として、これらレンズ支持体のフランジ部を前記ケースに着脱自在となるように構成し、光ファイバ接続方式とオープンビーム方式との切り替えを行うようにしたことを特徴とする。
請求項2においては、請求項1記載の分光分析計において、
コネクタユニット(15,15a)は前記ケース側面にシール構造を介して気密に固定されたことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明を説明する。図1は本発明の実施の形態の1例を示す構成図である。図1において図4と同一のものは同一符号を付している。図1のケース1は内部に分光光学系を有し、底面および壁面にその光学的基準面が作り込まれたものであり、コネクタユニット15は集光レンズ9とファイバアダプタ10が一体として構成されている。
【0012】
図2はコネクタユニット15をケース1の壁面の基準面に取り付けた状態を示す断面拡大図である。ここで、16は筒の一端にフランジ16aを有し他端に集光レンズ9が固定されたレンズ支持体であり、フランジ16aの端面にはファイバアダプタ10が固定されている。
【0013】
ケース1の壁面に形成された穴1aの内径とレンズ支持体16の外周はOリング20を介してしっくりと気密に配置されており、集光レンズ9に入射した光ビームはその焦点がファイバアダプタ10に固定されている光ファイバ11の端部中心付近に位置するように形成されている。また、図では省略するがフランジ16aはケース1の壁面にネジなどにより常に同じ位置にかつ、着脱可能に固定される。
【0014】
即ち、コネクタユニット15はケース1に対して脱着することによって、サンプル光取出し部をファイバ接続方式とオープンビーム方式との切り替えを容易に行うことができる。
ファイバ接続方式においては、分光分析を行う際、測定波長の波長確度は分光分析計のケース1に位置決め固定されたレーザービーム発生装置3より照射されるレーザービームとケース1と集光レンズ9およびファイバアダプタ10の位置により決定する。
【0015】
本発明におけるコネクタユニット15は、分光分析計のケース1の壁面の基準面に対して取り付けることにより脱着を簡単な構造とすることができ波長確度を確保することができる。また、コネクタユニット15にOリング20を介して取り付けているので、本体ケースに接続するときに同時に本体ケース内の気密性を保持することができる。
【0016】
図3はオープンビーム接続時にケース1とのコネクタユニット15aに集光レンズ9、ピンホール21、コリメートレンズ4aを配置した他の実施例を示す断面図である。このコネクタユニット15aには集光レンズ9で集光した位置にピンホール21aを有する仕切り板21が配置されており、ピンホール21aを通過したビームをさらにコリメートレンズ4aでコリメートすることによりオープンビーム時にも波長精度を保つことができる。
【0017】
この実施例においてもコネクタユニット15aには集光レンズ9、仕切り板21、コリメートレンズ4aが常に位置決めされた状態で固定されており、また、コネクタユニット15aはケース1に対して相互に位置決めできるようになっている。そして、オープンビーム接続時にはこのコネクタユニット15aを装着することにより波長精度を維持することができる。
【0018】
なお、本発明の以上の説明は、説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。特許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ケースから出射する測定光をサンプルに照射してその透過または反射光のスペクトルを測定し、または、そのスペクトルを元にサンプルの性状値を求める分光分析計において、前記測定光となる干渉光を前記ケースから取出すに際しては、光ファイバを介して取り出すためのコネクタユニット(15)と干渉光を直接取り出すためのコネクタユニット(15a)を設けるとともに、前記ケースにコネクタユニット(15,15a)を位置決めするための基準面を設け、前記光ファイバを介して取り出すためのコネクタユニット(15)は、筒の一端のフランジに光ファイバアダプタが固定され、他端に集光レンズが固定されたレンズ支持体とし、前記干渉光を直接取り出すためのコネクタユニット(15a)は、筒の一端のフランジにピンホールを有する仕切り板と、この仕切り版から所定の距離を隔てて固定され前記ピンホールを通ったビームをコリメートするためのコリメートレンズを有し、他端に集光レンズが固定されたレンズ支持体として、これらレンズ支持体のフランジ部を前記ケースに着脱自在となるように構成し、光ファイバ接続方式とオープンビーム方式との切り替えを行うようにしたので、サンプル光を直接被測定物へ導くオープンビーム方式や他の直接干渉信号光を必要とするサンプリング装置への接続などに対応することができ、また、ケース1の壁面の基準面にレンズ支持体を固定するに際してはフランジ部を介して取り付けるようにしたので脱着を簡単な構造とすることができ波長確度を確保することができる。
【0020】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る分光分析計の実施形態の一例を示すブロック構成図である。
【図2】コネクタユニットの拡大断面図である。
【図3】コネクタユニットの他の実施例の拡大断面図である。
【図4】ファイバ接続方式の従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
1 ケース
2 ランプ
3 レーザービーム発生装置
4,4a コリメートレンズ
5 ビームスプリッタ
6 固定ミラー
7 移動ミラー
8 移動ミラーホルダ
9 集光レンズ
10 ファイバアダプタ
11 光ファイバ
12 サンプル
13 光検出部
14 レーザービーム検出器
15,15a コネクタユニット
16 レンズ支持体
16a フランジ
20 Oリング
21 仕切り板
21a ピンホール

Claims (2)

  1. ケースから出射する測定光をサンプルに照射してその透過または反射光のスペクトルを測定し、または、そのスペクトルを元にサンプルの性状値を求める分光分析計において、前記測定光となる干渉光を前記ケースから取出すに際しては、光ファイバを介して取り出すためのコネクタユニット(15)と干渉光を直接取り出すためのコネクタユニット(15a)を設けるとともに、前記ケースにコネクタユニット(15,15a)を位置決めするための基準面を設け、前記光ファイバを介して取り出すためのコネクタユニット(15)は、筒の一端のフランジに光ファイバアダプタが固定され、他端に集光レンズが固定されたレンズ支持体とし、前記干渉光を直接取り出すためのコネクタユニット(15a)は、筒の一端のフランジにピンホールを有する仕切り板と、この仕切り版から所定の距離を隔てて固定され前記ピンホールを通ったビームをコリメートするためのコリメートレンズを有し、他端に集光レンズが固定されたレンズ支持体として、これらレンズ支持体のフランジ部を前記ケースに着脱自在となるように構成し、光ファイバ接続方式とオープンビーム方式との切り替えを行うようにしたことを特徴とする分光分析計。
  2. 前記コネクタユニット(15,15a)は前記ケース側面にシール構造を介して気密に固定されたことを特徴とする請求項1記載の分光分析計。
JP26075199A 1999-09-14 1999-09-14 分光分析計 Expired - Lifetime JP3674025B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26075199A JP3674025B2 (ja) 1999-09-14 1999-09-14 分光分析計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26075199A JP3674025B2 (ja) 1999-09-14 1999-09-14 分光分析計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001083010A JP2001083010A (ja) 2001-03-30
JP3674025B2 true JP3674025B2 (ja) 2005-07-20

Family

ID=17352240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26075199A Expired - Lifetime JP3674025B2 (ja) 1999-09-14 1999-09-14 分光分析計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3674025B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101484695B1 (ko) * 2013-09-09 2015-01-21 주식회사 포스코 광파이버와 분광장치를 연결하는 연결장치 및 열간 슬래브의 청정도 측정 시스템
US10436639B2 (en) * 2015-01-23 2019-10-08 Oto Photonics Inc. Spectrometer and optical input portion thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001083010A (ja) 2001-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5767976A (en) Laser diode gas sensor
US7230701B2 (en) Compact spectroscopic ellipsometer
JP6380662B2 (ja) フーリエ変換型分光光度計
WO2000058712A1 (fr) Analyseur spectral d'absorption d'isotopomere et son procede
JP3674025B2 (ja) 分光分析計
JP2022517037A (ja) 分光光度計
JP3184487B2 (ja) 全反射測定装置
Riedel Optics for tunable diode laser spectrometers
WO2004104563A1 (ja) 分光測定装置
JP2000206047A (ja) スペクトル測定装置
JP2002168779A (ja) 屈折率変化測定装置
JPS5821527A (ja) フ−リエ変換型赤外分光光度計
US7719663B2 (en) Heterodyne laser doppler probe and measurement system using the same
JP3143458U (ja) シュバルツシルド式反射対物鏡およびシュバルツシルド式反射対物鏡を備えた赤外顕微鏡
US20120002210A1 (en) Optical interferometer
US6661573B1 (en) Infrared microscope adapter for viewing at an angle
CN117538292B (zh) 液体分析系统
TWM567357U (zh) 拉曼光譜儀探頭
JP3385670B2 (ja) 赤外分光光度計
RU2226269C2 (ru) Устройство дистанционного контроля атмосферы
JP2573938Y2 (ja) フーリエ変換赤外分光計
JPH11326205A (ja) レーザブレイクダウン分光分析装置
SU1435957A1 (ru) Вакуумный фурье-спектрометр
JPS6067828A (ja) フ−リェ変換赤外分光光度計
JP2001124626A (ja) 分光分析計

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040831

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040917

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041102

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050201

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050404

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050417

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3674025

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080513

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090513

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100513

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100513

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110513

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130513

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130513

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term