JP3672609B2 - 真空ポンプ装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、エゼクタとタンクと循環ポンプを組み合わせた真空ポンプ装置に関し、特に、エゼクタの吸引効率を高めると共に、循環ポンプのポンプ効率も高く維持することのできるものに関する。エゼクタを用いた組み合わせ真空ポンプは、エゼクタ内のノズルに水等の駆動流体を循環ポンプで噴出させて、その流体の速度エネルギによりエゼクタに吸引力を発生し、ガスや蒸気等の流体をエゼクタに吸引するもので、排ガスの吸引排除や、蒸気の回収等各種の真空源として用いられている。
【０００２】
【従来の技術】
従来の真空ポンプ装置としては、例えば特公昭５７−３２２４０号公報に示されているようなものが用いられていた。これは、エゼクタのディフュ―ザと循環ポンプとしての渦巻きポンプの吸引口とを開放タンクを介して連通して、該開放タンクへ冷却水を供給する冷却水供給通路と制御弁を設けたもので、エゼクタを通過する循環流体の温度を制御してエゼクタでの真空吸引力を所定値に維持することができるものである。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】
上記従来の真空ポンプ装置では、エゼクタを通過する循環流体の量によっては充分な吸引力を得られない問題があった。これは、タンク内においてエゼクタとディフュ―ザを鉛直方向の下から上向きに設置しているためであり、特に循環流量が少ない場合は、エゼクタのノズルから吐出される流体が重力の影響を受けやすくなって吸引した流体により吐出流が乱され、充分な吸引力を生じなくなってしまうためである。
【０００４】
また、エゼクタとディフュ―ザを鉛直方向の上から下向きに設置すれば、重力の影響による吸引力の低下は防止することができるが、エゼクタが多量の空気等の気体を吸引した場合に、循環ポンプがその気体を吸入してポンプ効率が低下してしまう恐れがある。
【０００５】
従って本発明の技術的課題は、気体の吸引によるポンプ効率の低下を生じることがないと共に、充分なエゼクタの吸引力を得ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の真空ポンプ装置の構成は次の通りである。少なくともエゼクタの一部またはディフューザの一部をタンク内に配置して、該タンクとエゼクタを循環ポンプを介して接続したものにおいて、タンクを少なくとも上下の２層に形成して、エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置し、且つ、該タンクの下層にエゼクタのディフューザを連通して、上下２層のタンクを接続する接続管を取り付けると共に、上層のタンクと循環ポンプを、上層タンクの下方部に設けた開口を介して接続したものである。
【０００７】
【作用】
エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置したことにより、循環流体が重力の影響を受けて吐出流が乱されることがなくなって、エゼクタの吸引力が低下することがない。
【０００８】
タンクを上下２層に形成して接続管で接続すると共に、エゼクタのディフュ―ザを下層のタンクに連通し、循環ポンプを上層のタンクに接続したことにより、エゼクタに吸引された空気等の気体は、まず、下層のタンクに入り循環流体と混合した後、接続管を通って上層のタンクに至る。従って、接続管の開口部から離れた位置から流体を吸引すれば循環ポンプへ空気等の気体が吸引されることがなく、ポンプ効率が低下することもない。
【０００９】
【実施例】
図示の実施例を詳細に説明する。
図１に真空ポンプ装置の全体構成図を示す。タンク１とエゼクタ２と、タンク１とエゼクタ２の間に配置した循環ポンプ３とで真空ポンプ装置を構成する。タンク１は、上層タンク４と下層タンク５で構成して、上層タンク４の上部にエゼクタ２を取り付け、下層タンク５内にディフュ―ザ６の下端部７を開口して形成する。上下のタンク４，５を接続する接続管８を隔壁９に溶接固定して取り付ける。接続管８は下層タンク５内の流体を開口１０を経て上層タンク４内へ導くもである。
【００１０】
上層タンク４の下方部開口１１と循環ポンプ３の吸込み口を接続し、循環ポンプ３の吐出口１２をエゼクタ２と接続する。エゼクタ２は図示はしていないが内部にノズルとその周囲に吸込み室を設けたものであり、循環ポンプ３の吐出口１２とノズル部を接続すると共に、吸込み室を吸引通路１３と接続して、吸引通路１３から排ガスや回収蒸気等を吸引するものである。
【００１１】
上層のタンク４の上部にバルブ１５を介して大気連通管１６を取り付けると共に、下層のタンク５の下部にはブロ―管１７を取り付ける。
【００１２】
次に作用を説明する。
循環ポンプ３を駆動して上層タンク４内の流体をエゼクタ２に供給することにより、エゼクタ２で吸引通路１３から排ガスや蒸気等を吸引する。エゼクタ２に吸引された蒸気等の気体は、循環流体と共にディフュ―ザ６から下層タンク５内に至り、更に接続管８内を通過して上層タンク４内に至る。接続管８から吐出された蒸気等の気体と循環流体の混合流体は、上層タンク４の上部で気体と液体が分離され、液体はタンク４の下部に気体は上部に溜まり、液体は開口１１から循環ポンプ３により吸引され再度循環し、気体は大気連通管１６から随時系外へ排除される。
【００１３】
本実施例においては、上下２層のタンク４，５を１本の接続管８で接続した例を示したが、２つ以上のタンクを用いることも、また、このタンクを複数の接続管で接続することもできる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は次のような効果を奏する。
エゼクタを鉛直方向の上から下向きに設置したことにより、循環流体が重力の影響を受けることがなく、エゼクタで充分な吸引力を確保することができると共に、タンクを上下２層に分離したことにより、循環ポンプに排ガスや空気等の気体が吸入されることがなく、ポンプ効率が低下することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空ポンプ装置の実施例の全体構成図である。
【符号の説明】
１ タンク
２ エゼクタ
３ 循環ポンプ
４ 上層タンク
５ 下層タンク
６ ディフュ―ザ
８ 接続管
１３ 吸引通路
Claims (1)
- 少なくともエゼクタの一部またはディフューザの一部をタンク内に配置して、該タンクとエゼクタを循環ポンプを介して接続したものにおいて、タンクを少なくとも上下の２層に形成して、エゼクタを鉛直方向の上から下方向に配置し、且つ、該タンクの下層にエゼクタのディフューザを連通して、上下２層のタンクを接続する接続管を取り付けると共に、上層のタンクと循環ポンプを、上層タンクの下方部に設けた開口を介して接続したことを特徴とする真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08466495A JP3672609B2 (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08466495A JP3672609B2 (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 真空ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08254200A JPH08254200A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3672609B2 true JP3672609B2 (ja) | 2005-07-20 |
Family
ID=13836991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08466495A Expired - Fee Related JP3672609B2 (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3672609B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104121239A (zh) * | 2014-08-07 | 2014-10-29 | 苏州淮通电气有限公司 | 一种射流泵 |
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1995
- 1995-03-15 JP JP08466495A patent/JP3672609B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08254200A (ja) | 1996-10-01 |
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