JP3668959B2 - 微量液体制御機構 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微量液体制御機構に関し、さらに詳細には、圧力を利用した微量液体制御機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、生化学マイクロ分析システムにおいては、反応液たる液体を所望の位置に正確に位置決めして配置したり、混合すべき2種類の液体間にある空気を排除して混合させたりなどする必要があるために、微量の液体を任意の位置へ移動させる手法の提案が望まれていた。
【0003】
従来より、こうした要望に応じ、かつ、デッドボリュームを最小化するとともにコンタミネーションを避けるために、導管内に存在する液体を圧力を利用して任意の位置へ移動させるようにした微量液体制御機構が提案されている。
【0004】
上記した空気圧を利用した微量液体制御機構としては、例えば、「TRANSDUCERS ’97(1997 International Conference on Solid−State Sensors and Actuators, Chicago,June 16−19,1997)」誌の第477頁〜第480頁に掲載されたRolfe C.Anderson達により提案された「Microfluidic Biochemical Analysis System」や、「1998 IEEE Micro ElectroMechanical Systems」誌の第45頁〜第50頁に掲載されたP.F.Man達により提案された「MICROFABRICATED CAPILLARITY−DRIVEN STOP VALVE AND SAMPLE INJECTOR」がある。
【0005】
しかしながら、前者に開示された微量液体制御機構は、バルブやダイヤフラムなどの可動部材を用いているために構成が複雑化し、さらに、製造の際にも煩雑な組み立て工程を要するという問題点があった。
【0006】
また、後者に開示された微量液体制御機構は、導管内壁を親液性とした場合に、断面が急激に広がる箇所が液体の浸入に抵抗するため、この部分がストップバルブとして作用する原理を利用したものであるが、この微量液体制御機構は耐圧に理論的な限界値があり、しかも導管内の液体が水の場合にはその限界値が約10kPaと低いという問題点があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の技術の有する上記したような種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡潔な構成により容易に製造することができ、しかも耐圧に理論的な限界値のない圧力を利用した微量液体制御機構を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、水溶液などの液体が疎液性(この明細書において「疎液性」とは、液体をはじく性質を意味するものである。「疎液性」は、液体が水の場合には一般的に「疎水性」と称される。)の細管に対して起こす負の毛細管現象を利用して、液体の位置決めをセンサなどを用いることなく実現したものである。
【0009】
即ち、本発明のうち請求項1に記載の発明は、圧力を利用して液体を任意の位置へ移動させるようにした微量液体制御機構において、微量の液体を導入する第1の導管と、上記第1の導管より細径であるとともに断面の幅と高さがμmオーダーの大きさに形成され、一方の端部が上記第1の導管と連通するように連接された細管と、上記細管より大径に形成されるとともに、上記細管の他方の端部と連通するように連接された第2の導管とを有し、上記細管の少なくとも内壁面は疎液性に形成され、上記第1の導管内に微量の上記液体を導入した際に、上記液体を境界とした上記第1の導管側の圧力と上記第2の導管側の圧力との圧力差を上記液体が上記細管内へ浸入することのない臨界圧力差以下であるように制御して、上記第1の導管側の圧力と上記第2の導管側の圧力との圧力差に応じて上記第1の導管中の上記液体の位置を任意に制御するようにしたものである。
【0010】
従って、本発明のうち請求項2に記載の発明は、本発明のうち請求項1に記載の発明において、上記細管は、複数形成されており、上記複数形成された細管のなかの一部は、上記第1の導管の端面と連接され、上記複数形成された細管のなかの残部は、上記第1の導管の周壁面に上記第1の導管の軸方向に沿って順次に連接されているようにしたものである。
【0011】
また、本発明のうち請求項3に記載の発明は、圧力を利用して液体を任意の位置へ移動させるようにした微量液体制御機構において、内部に液体を貯留したリザーバーと第1のマイクロバルブを介して接続されて、上記第1のマイクロバルブの開閉に応じて上記リザーバーから微量の上記液体を導入するとともに、上記液体が移動されるチャンバーと第2のマイクロバルブを介して接続されて、上記第2のマイクロバルブの開閉に応じて上記リザーバーから導入された微量の上記液体を上記チャンバーへ移動する第1の導管と、上記第1の導管より細径であるとともに断面の幅と高さがμmオーダーの大きさに形成され、一方の端部が上記第1の導管と連通するように連接された細管と、上記細管より大径に形成されるとともに、上記細管の他方の端部と連通するように連接された第2の導管とを有し、上記細管の少なくとも内壁面は疎液性に形成され、上記第1の導管内に微量の上記液体を導入した際に、上記液体を境界とした上記第1の導管側の圧力と上記第2の導管側の圧力との圧力差を上記液体が上記細管内へ浸入することのない臨界圧力差以下であるように制御して、上記第1の導管側の圧力と上記第2の導管側の圧力との圧力差に応じて上記第1の導管中の上記液体の位置を任意に制御するものであり、上記第1のマイクロバルブを開くとともに上記第2のマイクロバルブを閉じ、上記第2の導管側の圧力を負圧にして、上記第1のマイクロバルブを通して上記第1の導管内に上記リザーバー内の微量の上記液体を導入し、上記第1のマイクロバルブを閉じるとともに上記第2のマイクロバルブを開き、上記第2の導管側の圧力を正圧にして、上記第1の導管内の微量の上記液体を上記第2のマイクロバルブを通して上記チャンバー内へ移動するようにしたものである。
【0012】
また、本発明のうち請求項4に記載の発明は、本発明のうち請求項3に記載の発明において、上記チャンバーは、複数形成されており、上記複数形成されたチャンバーのそれぞれは、一方の端部に上記第2のマイクロバルブが連接され、他方の端部に上記チャンバーより細径であるとともに断面の幅と高さがμmオーダーの大きさに形成された細管の一方の端部が連通するように連接され、上記チャンバーに接続された細管の他方の端部に、上記チャンバーに接続された細管より大径に形成された第3の導管が連通するように連接されていて、上記チャンバーに接続された細管の少なくとも内壁面は疎液性に形成され、上記複数のチャンバーのそれぞれは、上記チャンバー内に微量の上記液体を導入した際に、上記液体を境界とした上記チャンバーの圧力と上記第3の導管側の圧力との圧力差を上記液体が上記チャンバーに接続された細管内へ浸入することのない臨界圧力差以下であるように制御して、上記チャンバー側の圧力と上記第3の導管側の圧力との圧力差に応じて上記チャンバー中の上記液体の位置を任意に制御するようにしたものである。
また、本発明のうち請求項5に記載の発明は、本発明のうち請求項3または請求項4のいずれか1項に記載の発明において、上記細管は、複数形成されているようにしたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面に基づいて、本発明による微量液体制御機構の実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。
【0014】
図1には、本発明による微量液体制御機構の実施の形態の一例を示す概念構成説明図が示されており、この微量流体制御機構10は、「幅×高さ」が「3μm×3μm」の大きさの矩形(この実施の形態においては、正方形である。)断面を備えた微細管12を、8μmのピッチ(間隔)を開けて4本平面上に並列に配置したベント14を備えている。
【0015】
そして、このベント14の両端には、「幅×高さ」が「100μm×20μm」の大きさの矩形(この実施の形態においては、長方形である。)断面を備えた第1導管16と第2導管18とがそれぞれ連接されている。これら、第1導管16と第2導管18とは、ベント14の微細管12を通して液体ならびに気体が連通するようになされている。
【0016】
なお、符号20は、微量流体制御機構10の第1導管16内に導入された液体の滴(以下、「液滴」と称する。)である。この液滴20は、例えば、400pl(ピコリットル)の容積を備えているものとする。
【0017】
そして、この実施の形態においては、第1導管16には圧力源として第1ポンプ22が設けられているとともに、第2導管18側には圧力源として第2ポンプ24が設けられている。
【0018】
そして、これら第1ポンプ22と第2ポンプ24との作用により、液滴20を境界として、第1導管16側の領域の圧力Paと第2導管18側の圧力Pbとを任意に設定することができるようになされている。
【0019】
さらに、微量液体制御機構10においては、ベント14の微細管12の内壁は疎液性に形成されており、液体の浸入に対して抵抗するが、気体は容易に通過させるようになされている。
【0020】
ここで、ベント14の微細管12には、ある臨界圧力差△Pcが存在し、臨界圧力差△Pc以下の圧力差に対しては全く液漏れを起こさない、換言すれば、液体の浸入を許さないものである。
【0021】
即ち、液滴20が図1に示すような位置関係にある状態とは、第1導管16側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)が臨界圧力差△Pc以下の値であるため、液滴20が微細管12の第1導管16側の開口部、即ち、ベント14の開口部で静止して位置決めされており、液滴20が微細管12内へ全く浸入していない状態である。
【0022】
ここで、第1導管16側の領域の圧力Paが増大したり、あるいは、第2導管18側の圧力Pbが減少したりして、第1導管16側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)が臨界圧力差△Pcより大きくなると、当該圧力差(Pa−Pb)の値と臨界圧力差△Pcの値との差分値に応じて、液滴20がベント14の微細管12内へと浸入し、さらには第2導管18内に浸入するようになる。
【0023】
そして、所望の位置関係で上記した第1導管16とベント14と第2導管18とを連接した構成を設けておけば、第1導管16側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)を臨界圧力差△Pc以下に設定するという極めて容易な操作により、所望の位置に設けられたベント14の開口部で液滴20を確実に位置決めすることができるものである。
【0024】
ここで、臨界圧力差△Pcは、γを液滴20の表面張力とし、θを液滴20と微細管12の内壁との接触角とし、wを微細管12の矩形断面の幅とし、hを微細管12の矩形断面の高さとすると、
△Pc=−2γcosθ(1/w+1/h)
として近似的に計算することができる。
【0025】
このように、臨界圧力差△Pcの値は、液滴20と微細管12の内壁との接触角θ、即ち、疎液性に強く影響されるものである。
【0026】
次に、図2(a)(b)(c)(d)(e)を参照しながら、この微量液体制御機構10の製造方法の一例について説明する。
【0027】
微量液体制御機構10の製造にあたっては、まず、成形のための反転パターンを、シリコンウエハ(Si)100上に形成することになる。即ち、膜厚0.3μmのSiO2をマスクとして、異方性RIE(Reactive Ion Etching:反応性イオンエッチング)により微細管12を形成するための反転パターンの部分102を形成する(図2(a)参照)。
【0028】
その後に、液滴20と空気とを導入する第1導管16を形成するための反転パターンの部分104ならびに空気を導入する第2導管18を形成するための反転パターンの部分106として、フォトレジスト(photoresist:例えば、「EPON SU−8」を使用することができる。)を20μmの膜厚で塗布し、それから露光して現像する(図2(b)参照)。
【0029】
次に、未硬化のシリコーンゴムとして、例えば、PDMS(ポリジメチルシロキサン)106を、図2(a)(b)に示す工程により反転パターンを形成されたシリコンウエハ100上に注ぎ込むことになる(図2(c)参照)。
【0030】
それから、PDMS106を注ぎ込んだシリコンウエハ100を加熱し、この加熱により硬化したPDMS106をシリコンウエハ100から剥し、剥したPDMS106を板厚2mmのアクリル樹脂板として、例えば、PMMA(ポリメタクリル酸メチル)108に貼り付けて接合するものである(図2(d)参照)。
【0031】
図2(e)には、PDMS106とPMMA108とを接合した状態が示されており、PDMS106とPMMA108との間には、微細管12が形成されたベント14、第1導管16ならびに第2導管18が形成されることになる。
【0032】
なお、PMMA108には、予め液滴20ならびに第1ポンプまたは第2ポンプを介して圧力源としての空気を導入するための直径1mmの穴108aが穿設されており、さらにPMMA108の微細管12となる領域の表面にはCHF3プラズマによりフッ化炭素膜が形成されて、PMMA108の表面は疎液性となされている。
【0033】
また、PDMS106の微細管12となる領域の表面も、疎液性となされている。
【0034】
なお、硬化したシリコーンゴム(この実施の形態においては、PDMS106である。)は自己接着性を備えており、PMMA108表面にCHF3プラズマによりフッ化炭素膜を形成した後においても、PMMA108表面にある程度の強度で密着するので、特別な接合技術を用いることなくPDMS106とPMMA108とを接着することができる。
【0035】
しかしながら、適宜の接着剤を用いて、PDMS106とPMMA108とをより強固に接着してもよいことは勿論である。
【0036】
以上のように、この微量液体制御機構10は、バルブやダイヤフラムのような可動部材を備える必要がなく、簡潔な構成とすることができる。
【0037】
しかも、この微量液体制御機構10は、平面的な構造とすることができるため、図2(a)(b)(c)(d)(e)を参照しながら上記において説明した半導体微細加工技術および型成形技術を用いて容易かつ安価に製造することが可能となり、使い捨ての部品としてマイクロデバイスに組み込むことも可能になる。
【0038】
図3(a)(b)(c)(d)(e)には、液滴20として水を用い、液滴20を空気圧で操作した実験結果を示す液滴20の移動状態を示す説明図である。
【0039】
この実験においては、第1ポンプ22により付与される空気圧を大気圧で一定、即ち、第1導管16側の領域の圧力Paを大気圧で一定とし、その一方で、第2ポンプ24により付与される空気圧を変化させる、即ち、第2導管18側の領域の圧力Pbを変化させることにより、第1導管16内に導入された液滴20の位置を変化させるようにした。
【0040】
なお、第1導管16側の領域の圧力Paを大気圧で一定とする場合には、第1導管16側に第1ポンプ22を設けなくともよい。
【0041】
まず、第2ポンプ24により付与される空気圧を減少させて負圧にする、即ち、第2導管18側の領域の圧力Pbを負圧にすると、液滴20はベント14の方向に引きつけられ(図3(a)→図3(b)参照)、ベント14の微細管12の第1導管16側の開口部で停止した(図3(c)参照)。
【0042】
それから、第2ポンプ24により付与される空気圧を増大させて正圧にする、即ち、第2導管18側の領域の圧力Pbを正圧にすると、液滴20はベント14の第1導管16側の開口部から第1ポンプ22側に移動された(図3(d)→図3(e)参照)。
【0043】
また、この実験においては、第2ポンプ24により付与される空気圧を変化させて、第1導管16側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)を徐々に増大させていくことにより、臨界圧力差△Pcを測定した。
【0044】
この実験結果によると、第1導管16側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)が30kPaのときに、1本の微細管12内へ液滴20の浸入が始まり、圧力差(Pa−Pb)が50kPaのときに4本の微細管12内へ相当量の液滴20が浸入することが観察された。
【0045】
この実験結果は概ね理論的予測に適合するものであり、PDMS106およびフッ化炭素に対する水の接触角を110度と仮定すると、臨界圧力差△Pcの計算値は33kPaとなる。
【0046】
また、この微量液体制御機構10においては、微細管12を細くするほど耐圧は大きくなり、理論的な上限はないものであり、実験結果としても上記したように約30kPaの臨界圧力差△Pcを実現している。
【0047】
なお、上記した実施の形態においては、ベント14として微細管12を複数本(4本)並列に配置するようにしたが、これに限られることなしに、単数(1本)を含む任意の本数の微細管12をベント14として用いてもよい。
【0048】
ところで、上記したように、本発明による微量液体制御機構を用いると、液体を任意の位置に配置することができるため、例えば、混合すべき2種類の液体間にある空気を排除しながら、pl(ピコリットル)オーダーあるいはnl(ナノリットル)オーダーの微量の液体を混合することができるようになる。
【0049】
即ち、図4(a)(b)(c)には、本発明による微量液体制御機構の他の実施の形態が図示されており、図1に示す微量液体制御機構10と同一あるいは相当する構成には、図1において用いた符号と同一の符号を用いて示すことにより、その詳細な説明は省略するものとする。
【0050】
図4(a)(b)(c)に示す微量液体制御機構10’においては、ベント14を構成する微細管12として、図1に示す微量液体制御機構10と同様に第1導管16の端面16aに開口するものと、第1導管16の周壁面16bに開口するものとの2種類が設けられている。
【0051】
従って、この微量液体制御機構10’においては、まず、第1液滴20’を第1導管16内に導入し、液滴20’を第1導管16の端面16aまで移動させていく(図4(a)参照)。
【0052】
次に、第2液滴20’’を第1導管16内に導入し、液滴20’’を第1導管16の端面16a側へ移動させていく(図4(b)参照)。この移動の際に、第1液滴20’と第2液滴20’’間にある空気は、第1液滴20’により閉塞されていない第1導管16の周壁面16bに開口する微細管12より、第2導管18側へ排出されることになる。
【0053】
従って、液滴20’’を第1導管16の端面16a側へさらに移動させていくと、最終的には第1液滴20’と第2液滴20’’との間にある空気を排除しながら、第1液滴20’と第2液滴20’’とを混合することができる。
【0054】
しかも、第1液滴20’と第2液滴20’’とは、pl(ピコリットル)オーダーあるいはnl(ナノリットル)オーダーの微量の液体とすることができる。
【0055】
なお、上記した微量液体制御機構10’においても、第1液滴20’ならびに第2液滴20’’の移動は、第1導管16側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)に応じて行われるものであり、この点の作用は微量液体制御機構10と同様である。
【0056】
また、本発明による微量液体制御機構は、例えば、図5(a)(b)に示すようなマイクロバルブと組み合わせて使用することができる。
【0057】
即ち、マイクロバルブ200は、開口部202aを有したシリコンウエハ202上にシリコーンゴム薄膜204が被覆され、さらに開口部202aに対応するシリコーンゴム薄膜204と対向する位置に垂設された突出部206aを有するシリコーンゴム厚膜206を備えている。
【0058】
そして、シリコンウエハ202の開口部202aには、図示しない圧力源により正圧または負圧が付与されるようになされており、図5(a)に示すように圧力源により正圧が付与されている際には、シリコーンゴム厚膜206の突出部206aとシリコーンゴム薄膜204とが接触するようになされていて、シリコーンゴム厚膜206とシリコーンゴム薄膜204との間に形成された導管208の連通が遮断されている。
【0059】
即ち、図5(a)(b)において、突出部206aより左側の導管208の部分を「第1導管208a」と称し、突出部206aより右側の導管208の部分を「第2導管208b」と称すると、圧力源により正圧が付与されている際には、第1導管208aと第2導管208bとの連通が、突出部206aとシリコーンゴム薄膜204との接触により遮断されていることになる。つまり、マイクロバルブ200は閉じている。
【0060】
ここで、図5(b)に示すように圧力源により負圧を付与すると、シリコーンゴム薄膜204が圧力源側に吸引されて、突出部206aとシリコーンゴム薄膜204との間に間隙Gが形成され、マイクロバルブ200が開くことになる。
【0061】
また、本発明による微量液体制御機構10を用いると、図6に示すような、リザーバー300から一定量の体積の液体を次のステップ(図6においては、反応、分離、検出などを行うチャンバー302である。)へ移動するための体積定量システムを実現することができる。なお、図6に示す体積定量システムに微量液体制御機構10を適用する際には、微量液体制御機構10における第1導管16が体積定量チャンバー308として機能することになり、体積定量チャンバー308、即ち、第1導管16側には第1ポンプ22を設けなくともよい。
【0062】
ここで、図7(a)(b)には、図6に示す体積定量システムの動作状態が示されており、まず、第1バルブ304を開くとともに第2バルブ306を閉じて、微量液体制御機構10の第2ポンプ24を作動させて第2導管18側の圧力Pbを負圧にすると、第1バルブ304を通って体積定量チャンバー308内にリザーバー300内の液体が吸入されることになる(図7(a)参照)。しかしながら、体積定量チャンバー308側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)を臨界圧力差△Pc以下にすれば、液体がベント14の微細管12内には浸入することはない。
【0063】
その後に、第1バルブ304を閉じるとともに第2バルブ306を開いて、微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを正圧にすると、体積定量チャンバー308内の液体はチャンバー302内へ移動される(図7(b)参照)。
【0064】
ここで、液体の送り先であるチャンバー302は複数設けてもよく、この際には、図8乃至図10における(a)(b)(c)(d)(e)に示すように、各チャンバー302−1〜302−3にも微量液体制御機構10を設けるものとする(各チャンバー302−1〜302−3を第1導管16として機能させるものであり、各チャンバー302−1〜302−3には第1ポンプ22を設けなくともよい。)。このようにすると、液体の分注システムが実現できる。
【0065】
この液体の分注システムにおいては、まず、第1バルブ304を開くとともに第2バルブ306、第3バルブ310、第4バルブ312および第5バルブ314を閉じて、体積定量チャンバー308を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを負圧にし、チャンバー302−1〜302−3を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを中立にすると、第1バルブ304を通って体積定量チャンバー308内にリザーバー300内の液体が吸入されることになる(図8(a)参照)。
【0066】
しかしながら、体積定量チャンバー308を備えた微量液体制御機構10の体積定量チャンバー308側の領域の圧力Paから第2導管18側の圧力Pbを減算した値たる圧力差(Pa−Pb)を臨界圧力差△Pc以下にすれば、液体が体積定量チャンバー308を備えた微量液体制御機構10のベント14の微細管12内には浸入することはない。
【0067】
次に、第1バルブ304を閉じるとともに第2バルブ306および第3バルブ310を開き、かつ、第4バルブ312および第5バルブ314を閉じて、体積定量チャンバー308を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを正圧にし、その一方で、チャンバー302−1を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを負圧にし、さらに、チャンバー302−2〜304−3を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを中立にすると(図8(b)参照)、体積定量チャンバー308内の液体はチャンバー302−1内へ移動されることになる。体積定量チャンバー308内の液体がチャンバー302−1内へ移動されたならば、第3バルブ306を閉じるとともに、チャンバー302−1を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを中立にする。
【0068】
さらに次に、第1バルブ30を開くとともに第2バルブ306、第3バルブ310、第4バルブ312および第5バルブ314を閉じて、体積定量チャンバー308を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを負圧にし、チャンバー302−1〜302−3を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを中立にすると、第1バルブ304を通って体積定量チャンバー308内にリザーバー300内の液体が再度吸入されることになる(図9(c)参照)。
【0069】
それから、第1バルブ304を閉じるとともに第2バルブ306および第4バルブ312を開き、かつ、第3バルブ310および第5バルブ314を閉じて、体積定量チャンバー308を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを正圧にし、その一方で、チャンバー302−2を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを負圧にし、さらに、チャンバー302−1および304−3を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを中立にすると(図9(d)参照)、体積定量チャンバー308内の液体はチャンバー302−2内へ移動されることになる。
【0070】
体積定量チャンバー308内の液体がチャンバー302−2内へ移動されたならば、第2バルブ306および第4バルブ312を閉じるとともに、チャンバー302−2を備えた微量液体制御機構10の第2導管18側の圧力Pbを中立にする(図10(e)参照)。
【0071】
さらに、チャンバー302−3に関しても、上記と同様な処理を行うことにより、リザーバー300から体積定量チャンバー308を経由してチャンバー302−3内に液体を注入することができる。
【0072】
なお、上記した実施の形態においては、ベント14の微細管12をシリコーンゴムで形成するようにしたが、これに限られることなしに、数ミクロン以下の加工が可能であり、かつ、表面が疎液性であるか、あるいは、疎液性に改質が可能である材料であるならば、任意の材料を用いて形成することができる。
【0073】
例えば、シリコンを陽極化成によりポーラス加工したものは、ベント14の微細管12の材料として用いることができる。このシリコンをポーラス加工したものは、表面だけでなく内部にまで微細な穴が形成されているため、液体に対する抵抗を保ったままで空気に対する抵抗を小さくすることができるので、ベント14の微細管12の材料としては良好なものである。
【0074】
また、加工後にフッ化炭素膜などで疎液性に改質する場合には、現在マイクロマシニングされている全ての材料が、ベント14の微細管12の材料として使用可能である。
【0075】
即ち、ベント14の微細管12は、例えば、シリコンやガラス基板をエッチング(なお、エッチングとしては、異方性エッチングが好ましい。)加工したり、シリコンやガラス基板にフォトレジストをつけて現像したり、PMMAをレーザーアブレーションで加工したり、感光性PMMAを硬X線で加工したり、金属を電鋳したり、樹脂を射出成形したりして製造することができる。
【0076】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、簡潔な構成により容易に製造することができ、しかも耐圧に理論的な限界値のない圧力を利用した微量液体制御機構を提供することができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による微量液体制御機構の実施の形態の一例を示す概念構成説明図である。
【図2】 本発明による微量液体制御機構の製造方法の一例を示す説明図である。
【図3】 本発明による微量液体制御機構を用いた実験結果を示す液滴の移動状態を示す概念構成説明図である。
【図4】 本発明による微量液体制御機構の他の実施の形態による液滴の移動状態を示す概念構成説明図である。
【図5】 本発明による微量液体制御機構と組み合わせて使用することが可能なマイクロバルブの一例を示す概略断面構成説明図である。
【図6】 本発明による微量液体制御機構を用いた体積定量システムを示す概念構成説明図である。
【図7】 図6に示す体積定量システムの動作状態を示す概念構成説明図である。
【図8】 本発明による微量液体制御機構を用いた液体の分注システムの動作状態を示す概念構成説明図である。
【図9】 本発明による微量液体制御機構を用いた液体の分注システムの動作状態を示す概念構成説明図である。
【図10】 本発明による微量液体制御機構を用いた液体の分注システムの動作状態を示す概念構成説明図である。
【符号の説明】
10 微量流体制御機構
12 微細管
14 ベント
16 第1導管
18 第2導管
20 液滴
22 第1ポンプ
24 第2ポンプ
Claims (5)
- 圧力を利用して液体を任意の位置へ移動させるようにした微量液体制御機構において、
微量の液体を導入する第1の導管と、
前記第1の導管より細径であるとともに断面の幅と高さがμmオーダーの大きさに形成され、一方の端部が前記第1の導管と連通するように連接された細管と、
前記細管より大径に形成されるとともに、前記細管の他方の端部と連通するように連接された第2の導管と
を有し、
前記細管の少なくとも内壁面は疎液性に形成され、
前記第1の導管内に微量の前記液体を導入した際に、前記液体を境界とした前記第1の導管側の圧力と前記第2の導管側の圧力との圧力差を前記液体が前記細管内へ浸入することのない臨界圧力差以下であるように制御して、前記第1の導管側の圧力と前記第2の導管側の圧力との圧力差に応じて前記第1の導管中の前記液体の位置を任意に制御する
ことを特徴とする微量液体制御機構。 - 請求項1に記載の微量液体制御機構において、
前記細管は、複数形成されており、
前記複数形成された細管のなかの一部は、前記第1の導管の端面と連接され、
前記複数形成された細管のなかの残部は、前記第1の導管の周壁面に前記第1の導管の軸方向に沿って順次に連接されている
ことを特徴とする微量液体制御機構。 - 圧力を利用して液体を任意の位置へ移動させるようにした微量液体制御機構において、
内部に液体を貯留したリザーバーと第1のマイクロバルブを介して接続されて、前記第1のマイクロバルブの開閉に応じて前記リザーバーから微量の前記液体を導入するとともに、前記液体が移動されるチャンバーと第2のマイクロバルブを介して接続されて、前記第2のマイクロバルブの開閉に応じて前記リザーバーから導入された微量の前記液体を前記チャンバーへ移動する第1の導管と、
前記第1の導管より細径であるとともに断面の幅と高さがμmオーダーの大きさに形成され、一方の端部が前記第1の導管と連通するように連接された細管と、
前記細管より大径に形成されるとともに、前記細管の他方の端部と連通するように連接された第2の導管と
を有し、
前記細管の少なくとも内壁面は疎液性に形成され、
前記第1の導管内に微量の前記液体を導入した際に、前記液体を境界とした前記第1の導管側の圧力と前記第2の導管側の圧力との圧力差を前記液体が前記細管内へ浸入することのない臨界圧力差以下であるように制御して、前記第1の導管側の圧力と前記第2の導管側の圧力との圧力差に応じて前記第1の導管中の前記液体の位置を任意に制御するものであり、
前記第1のマイクロバルブを開くとともに前記第2のマイクロバルブを閉じ、前記第2の導管側の圧力を負圧にして、前記第1のマイクロバルブを通して前記第1の導管内に前記リザーバー内の微量の前記液体を導入し、
前記第1のマイクロバルブを閉じるとともに前記第2のマイクロバルブを開き、前記第2の導管側の圧力を正圧にして、前記第1の導管内の微量の前記液体を前記第2のマイクロバルブを通して前記チャンバー内へ移動する
ことを特徴とする微量液体制御機構。 - 請求項3に記載の微量液体制御機構において、
前記チャンバーは、複数形成されており、
前記複数形成されたチャンバーのそれぞれは、一方の端部に前記第2のマイクロバルブが連接され、他方の端部に前記チャンバーより細径であるとともに断面の幅と高さがμmオーダーの大きさに形成された細管の一方の端部が連通するように連接され、
前記チャンバーに接続された細管の他方の端部に、前記チャンバーに接続された細管より大径に形成された第3の導管が連通するように連接されていて、
前記チャンバーに接続された細管の少なくとも内壁面は疎液性に形成され、
前記複数のチャンバーのそれぞれは、前記チャンバー内に微量の前記液体を導入した際に、前記液体を境界とした前記チャンバーの圧力と前記第3の導管側の圧力との圧力差を前記液体が前記チャンバーに接続された細管内へ浸入することのない臨界圧力差以下であるように制御して、前記チャンバー側の圧力と前記第3の導管側の圧力との圧力差に応じて前記チャンバー中の前記液体の位置を任意に制御する
ことを特徴とする微量液体制御機構。 - 請求項3または請求項4のいずれか1項に記載の微量液体制御機構において、
前記細管は、複数形成されている
ことを特徴とする微量液体制御機構。
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Cited By (2)
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CN101858374B (zh) * | 2010-05-21 | 2011-11-09 | 北京理工大学 | 一种串联层流毛细管的设计方法 |
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