JP3663775B2 - 脱気装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液体中に溶存する気体を脱気処理する脱気装置に関するもので、さらに詳しくは、溶剤（たとえば、シンナー等）用の脱気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程において、スピンコータにてフォトレジストを塗布後、シンナーをウエハの周端部に吐出ノズルから滴下して塗布する工程があるが、圧送用の窒素が溶剤に大量に溶け込むために、前記吐出ノズルまでの配管内で気泡が発生し、シンナーの吐出が円滑になされず半導体製造の歩留りが低下し、問題となっている。そこで、前記溶剤（シンナー等）を脱気するため、溶剤に耐性のあるフッ素樹脂膜を使用して脱気装置を作るが、これまでは、中空糸を複数本定尺に揃えて端部を封止する必要があった。この端部の封止部分は、フッ素樹脂の場合非常に固着がむずかしく、したがって前記端部から溶剤が漏れ、問題となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記問題点に鑑み、溶剤漏れが発生しない脱気装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、まず請求項１に記載の発明は、真空吸引孔を穿設した芯管にチューブを巻回して脱気エレメントを構成し、該脱気エレメントを真空チャンバ内に着脱自在に装着したことを特徴としており、また請求項２に記載の発明は、前記脱気エレメントが、前記芯管の両端に固着した第一プレートおよび第二プレートと、該両プレート間において、前記芯管に巻回されたチューブとにより構成されていることを特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
つぎに、この発明の実施の形態について説明すると、この発明の脱気装置は、溶剤用脱気装置として実現される。すなわち、この脱気装置は、脱気エレメントを真空チャンバ内に着脱自在に装着した構成としている。前記脱気エレメントは、外周面に真空吸引孔を穿設した芯管を設け、この芯管の一端に、前記真空チャンバに固定する固定手段としての固定ボルトを設けた第一プレートを固着し、他端に、真空ラインとの接続手段としての接続部材と、液体接続手段としての液体入口部材および液体出口部材とを備えた第二プレートを固着し、前記芯管の外周面に所定長さの多孔質性高分子からなる一本のチューブ（たとえば、フッ素樹脂チューブ）を密着しない粗となるようにゆるく巻きつけ、このチューブの一端を前記液体入口部材に接続するとともに、他端を前記液体出口部材に接続した構成となっている。また、前記真空チャンバは、底部に穴を穿設した円筒容器であって、上端部は前記脱気エレメントの第二プレートが嵌合できる形状に形成されている。
【０００６】
前記構成の脱気エレメントと真空チャンバの組み立ては、前記真空チャンバの底部に穿設した穴に、前記脱気エレメントの第一プレートに設けた固定ボルトを挿入するとともに、前記第二プレートの外周部にシール部材を装着し前記真空チャンバの上端部に嵌合させた後、この真空チャンバの底部外側に突出した前記固定ボルトにシール付袋ナットを螺合させ、この袋ナットを締め付けることにより前記第二プレートと真空チャンバの上端部を封着する。そして、前記接続部材に真空吸引ラインを接続するとともに、前記液体入口部材に液体供給ラインを接続し、前記液体出口部材に処理液ラインを接続して脱気装置の組み立てを完了する。
【０００７】
前記構成の脱気装置によれば、真空吸引ラインに接続してある真空ポンプを駆動し、真空チャンバ内が所定の真空度となるように吸引する。そして、液体供給ラインから供給される液体（たとえば、シンナー等の溶剤）を液体入口部材を介してチューブ内に流入させる。チューブ内に流入した液体は、チューブ内を流通する過程（たとえば、チューブ長さ約４０ｍ）で液体中に溶存する気体が脱気される。脱気された処理液は、液体出口部材を介して処理液ラインへ流出する。
【０００８】
以上のように、この発明の脱気装置は、所定長さの一本のチューブを芯管に巻き付け、その両端部を液体入口部材および液体出口部材を介して確実に接続したものであるから、従来のように液体が漏れることはない。
【０００９】
【実施例】
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、この発明を実施した脱気装置の構造を概略的に示す断面説明図である。
【００１０】
図１において、この発明の脱気装置１は、脱気エレメント２を真空チャンバ３内に着脱自在に装着した構成としている。前記脱気エレメント２は、外周面に真空吸引孔４を穿設した芯管５を設け、この芯管５の一端に、前記真空チャンバ３に固定する固定手段としての固定ボルト７を設けた第一プレート８を固着している。また、芯管５の他端には、真空ライン９との接続手段としての接続部材１０と、液体接続手段としての液体入口部材１１および液体出口部材１２とを備えた第二プレート１３を固着している。そして、前記芯管５の外周面に多孔質性高分子からなる一本のチューブ６（たとえば、外径３mm，内径２．５mm，長さ約４０ｍのフッ素樹脂チューブ）を密着しない粗となるようにゆるく巻きつけ、このチューブ６の一端を前記液体入口部材１１に接続するとともに、他端を前記液体出口部材１２に接続した構成となっている。さらに、前記真空チャンバ３は、底部に前記第一プレート８に設けた固定ボルト７を挿入する穴１４を穿設した円筒容器であって、上端部にＬ形状の切欠部１５を形成し、この切欠部１５と前記脱気エレメント２の第二プレート１３の外周面が嵌合するようになっている。
【００１１】
前記接続部材１０および液体入口部材１１，液体出口部材１２は、図２に示すように、市販されている合成樹脂製のアダプターであって、それぞれ前記第二プレート１３の所定位置に固着してあり、前記真空吸引ライン９および液体供給ライン１６，処理液ライン１７ならびに前記チューブ６の両端部がそれぞれ確実に接続されるようになっている。
【００１２】
前記構成の脱気エレメント２と真空チャンバ３との組み立ては、図１に示すように、前記真空チャンバ３の底部に穿設した穴１４に前記第一プレート８に設けた固定ボルト７を挿入するとともに、前記第二プレート１３の外周面に形成した切欠部にシール部材１８を装着し、このシール部材１８を装着した第二プレート１３を真空チャンバ３の上端部に形成した切欠部１５に嵌合させる。そして、前記真空チャンバ３の底部外側に突出した前記固定ボルト７にシール付袋ナット１９を螺合させ、この袋ナット１９を締め付けることにより、前記第二プレート１３と真空チャンバ３の切欠部１５とをシール部材１８を介して封着する。そして、前記第二プレート１３に固着してある前記接続部材１０に真空吸引ライン９を接続するとともに、前記液体入口部材１１に液体供給ライン１６を接続し、前記液体出口部材１２に処理液ライン１７を接続して脱気装置１の組み立てを完了する。
【００１３】
前記構成の脱気装置１によれば、真空吸引ライン９に接続してある真空ポンプ（図示省略）を駆動し、真空チャンバ３内が所定の真空度となるように吸引する。そして、液体供給ライン１６に設けた供給ポンプ（図示省略）を駆動し、所定圧の液体（たとえば、シンナー等の溶剤）を液体入口部材１１を介して脱気エレメント２のチューブ６内へ流入させる。チューブ６内に流入した液体は、チューブ６内を流通する過程（たとえば、チューブ長さ４０ｍ）において液体中に溶存する気体が脱気される。脱気された処理液は、液体出口部材１２を介して処理液ライン１７へ流出する。
【００１４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、真空吸引孔を穿設した芯管にチューブを巻回して脱気エレメントを構成し、該脱気エレメントを真空チャンバ内に着脱自在に装着した脱気装置としたので、従来のように、中空糸を複数本定尺に揃えて端部を封止する必要はなく、したがって液体漏れが発生することはない。また、脱気エレメントを真空チャンバに着脱自在に装着した構成であるので、メンテナンスが容易であり、かつシンプルな構造の脱気装置であるから安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を実施した脱気装置の構造を概略的に示す断面説明図である。
【図２】図１の一部を拡大して示す部分断面説明図である。
【符号の説明】
１ 脱気装置
２ 脱気エレメント
３ 真空チャンバ
４ 真空吸引孔
５ 芯管
６ チューブ
８ 第一プレート
１３ 第二プレート

Claims (2)

1. 真空吸引孔４を穿設した芯管５にチューブ６を巻回して脱気エレメント２を構成し、該脱気エレメント２を真空チャンバ３内に着脱自在に装着したことを特徴とする脱気装置。
2. 前記脱気エレメント２が、前記芯管５の両端に固着した第一プレート８および第二プレート１３と、該両プレート８，１３間において、前記芯管５に巻回されたチューブ６とにより構成されていることを特徴とする請求項１に記載の脱気装置。

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