JP3657392B2 - 画像露光装置における欠陥画素の特定方法 - Google Patents
画像露光装置における欠陥画素の特定方法 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミラーアレイデバイスを用いて感光材料に画像を露光する装置においてそのミラーアレイデバイスの欠陥画素を特定する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば「Ｏ plus Ｅ」誌1994年10月号の第90〜94頁に記載されているように、２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラーと、これらの微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部とを有し、入射した光を各微小ミラー毎に２つ方向のいずれかに選択的に反射させるミラーアレイデバイスが公知となっている。
【０００３】
このようなミラーアレイデバイスを用いれば、画像信号に応じて上記駆動部の動作を制御することにより、微小ミラーを介して所定の投写面に入射する光を微小ミラー毎に変調して、該投写面に画像を投写することができる。そして、この投写面に感光材料を配置しておけば、該感光材料に画像を露光することもできる（本出願人による特願平８−３９４８９号の明細書には、そのような画像露光装置の一例が示されている）。なおこの場合、各微小ミラーが１画素を構成する。
【０００４】
またそのようにする場合、フレーム時間内において各微小ミラーのオン時間（微小ミラーが、受けた記録光を微小ミラーごとに感光材料上の対応する位置（画素）に向けて反射させるような方向（第１の方向またはオン方向）に向けられている時間）をパルス幅変調する等により、各微小ミラー毎に感光材料への入射光量（総量）を制御して、階調画像を露光することも可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこの種のミラーアレイデバイスを用いた画像露光において、より高画質の画像を得るためには、画像の画素数を増加させること、すなわち微小ミラーの数を増加させる必要がある。
【０００６】
しかし、ミラーアレイデバイスを構成する素子は非常に精巧なものであり、故障等によりミラーがオン位置（ミラーの向きが第１の方向に向けられている状態）またはオフ位置（ミラーが、受けた記録光を感光材料に入射しないように反射させる方向（第２の方向またはオフ方向）に向けられている状態）で固定されて、画像信号の有無、大小に拘らず動かなくなる欠陥が発生することがある。
【０００７】
特に画像の高画質化のために微小ミラーを高画素化、高密度化させた場合、このような欠陥画素数も増加し、露光された再生画像は見苦しいものとなる。
【０００８】
そこでこのような欠陥画素を修理し、あるいはその欠陥画素を修正しない場合にも、その欠陥画素に対応した露光画像上の画素には正しい光量を与える必要がある。そしていずれの場合にあっても欠陥画素を正確に特定する必要がある。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、欠陥画素を正確に特定する方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、ミラーアレイデバイスを構成する全てのミラー（画素）を初期的にオン状態あるいはオフ状態、すなわち全てのミラーを同一方向に向けた状態となるような画像信号を与えたうえで、ミラーアレイデバイスに光を照射し、ミラーによる反射光が感光材料に向かう方向（第１の方向）または感光材料に向かわない方向（第２の方向）での初期光量を検出し、次にミラーを１つずつ交互に最初とは異なる状態（最初がオン状態であればオフ状態、最初がオフ状態であればオン状態）となるような画像信号を与え、初期光量を検出したのと同方向での光量を順次に検出し、初期光量との相違により、欠陥画素を特定することを特徴とするものである。
【００１１】
これは、オン状態あるいはオフ状態で固定されてしまった欠陥画素については、オン方向に向けるための画像信号、あるいはオフ方向に向けるための画像信号を駆動部に与えてもミラーは動かないため、正常であればミラーの状態がオンからオフに又はオフからオンに変化することにより検出光量が初期光量とは異なった値を示すところ、異常の場合はそのような初期光量との差が認められなくなることによるものである。
【００１２】
すなわち、本発明の第１の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第１の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第１の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第１の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の第２の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、上記第１の特定方法に対して、初期状態におけるミラーの向きがオン方向であり、ミラーの向きを１つずつ交互に変えるときのその向ける方向がオフ方向である点において異なる以外は同一である。
【００１４】
すなわち本発明の第２の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第１の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第１の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第２の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の第３の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、上記第２の特定方法に対して、光量を検出する方向がオフ方向である点において異なる以外は同一である。
【００１６】
すなわち本発明の第３の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第２の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第２の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第２の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１７】
本発明の第４の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、上記第１の特定方法に対して、光量を検出する方向がオフ方向である点において異なる以外は同一である。
【００１８】
すなわち本発明の第４の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第２の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第２の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第１の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１９】
なお、上記本発明の第１から第４の各方法において、個々の微小ミラーの向きを変えて光量を検出するのに先だって、ミラーアレイデバイスを１画素よりも粗く分割した領域に含まれる複数のミラー（領域間での含まれるミラー数は同一とする）を同一の方向に向けるための画像信号を制御回路に与え、各領域について上記各(2) の操作を行なうことにより、各領域についてそれぞれ検出された光量を比較することにより、欠陥画素がどの領域にあるかの概要を把握することができる。ただし各領域内に同一数の欠陥画素が含まれる場合は領域間で検出光量差が生じないため、各領域内に含まれるすべての画素（微小ミラー）が正常に作動するとした場合に検出されるべき基準光量（全く欠陥画素が含まれないとした場合の検出光量）を予め把握し、これと比較することが必要である。
【００２０】
なお上記領域としては、例えば、ミラーの配列方向１列という領域、同じくミラーの配列方向一行という領域、その他縦○○行×横＊＊列という矩形の領域など種々の分割領域を採用することができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明の画像露光装置における欠陥画素の各特定方法によれば、ミラーアレイデバイスを構成する全てのミラー（画素）を初期的にオン状態あるいはオフ状態、すなわち全てのミラーを同一方向に向けた状態となるような画像信号を与えたうえで、ミラーアレイデバイスに光を照射し、ミラーによる反射光が感光材料に向かう方向（第１の方向）または感光材料に向かわない方向（第２の方向）での初期光量を検出し、次にミラーを１つずつ交互に最初とは異なる状態（最初がオン状態であればオフ状態、最初がオフ状態であればオン状態）となるような画像信号を与え、初期光量を検出したのと同方向での光量を順次に検出し、初期光量との相違により、欠陥画素を特定することができる。
【００２２】
すなわち、オン状態あるいはオフ状態で固定されてしまった欠陥画素については、オン方向に向けるための画像信号、あるいはオフ方向に向けるための画像信号を駆動部に与えてもミラーは動かないため、正常であればミラーの状態がオンからオフに又はオフからオンに変化することにより検出光量が初期光量とは異なった値を示すところ、異常の場合はそのような初期光量との差が認められなくなるる。
【００２３】
したがって、ミラーを１つずつ交互に初期状態とは異なる状態としたときに、検出光量の初期光量に対する変化をモニタすれば、その検出光量が初期光量に対して変化しないときの、操作対象のミラーが、特定すべき欠陥画素であることが分かる。
【００２４】
なお、ミラーアレイデバイスはオフ方向を向いた状態で動かない不具合の場合には、感光材料には何らの光も到達しないため、本願出願人が例えば特願平８-39489号において既に開示している「画素ズラシ」等の方法によって、その欠陥画素の光量を周囲の画素の光量で補間することができる。
【００２５】
一方、オン方向を向いた状態で動かない不具合の場合は、感光材料には常に光が到達しているため、一旦このミラーをオフ方向に強制的に動かす等してオフ方向を向いた状態で固定等し、そのうえで特願平８-39489号において既に開示している「画素ズラシ」の方法によって、その欠陥画素に対応した画素の光量を周囲の画素の光量で補間することができる。
【００２６】
なお、検出光量のモニタは、ミラーアレイデバイスが初期状態で光（光の大部分）を反射している方向においてしてもよい（本発明の第２または第４の欠陥画素の特定方法の場合）し、初期状態で光を反射していない方向においてしてもよい（本発明の第１または第３の欠陥画素の特定方法）が、欠陥画素となる可能性がある素子の数はミラーアレイデバイス全体の素子数に比して極わずかであるため、初期状態で光を反射している方向においては検出光量の絶対的なレベルが高く、１つのミラーの状態を変化させたことによる検出光量の変化のレベルがこの絶対的なレベルに対して極小さいものとなり、検出光量の変化を捕らえにくいと考えられるため、初期状態で光を反射していない方向において検出するのがより望ましい。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の画像露光装置における欠陥画素の特定方法を実施するための一実施形態を示す欠陥画素の特定装置を含む画像露光装置である。
【００２８】
図示の画像露光装置は、カラー感光材料10を露光させる白色の記録光Ｌを発するハロゲンランプ等の光源11と、この光源11が焦点位置近傍にあるように配されて、該光源11から発せられた記録光Ｌを平行光化する集光レンズ12と、平行光化された記録光Ｌが入射する位置に配されたミラーアレイデバイス13と、このミラーアレイデバイス13で反射した記録光Ｌが入射する位置に配された結像レンズ14と、ミラーアレイデバイス13の前において記録光Ｌの光路に挿入されるカラーフィルター15およびブラックシャッター16とを有している。
【００２９】
またミラーアレイデバイス13と結像レンズ14との間には、画素ズラシ処理を行なうための平行平板17が配されている。この平行平板17は、図示しない揺動機構により、図中の矢印Ａ方向および、軸Ｂを中心とする方向に揺動されるようになっている。
【００３０】
一方、ミラーアレイデバイス13と結像レンズ14との間の記録光Ｌの光路から外れた位置には、光吸収部材18が配されている。そしてミラーアレイデバイス13と感光材料10との間の、結像レンズ14による記録光Ｌの収束位置には、光軸から所定値以上広がっている光の通過を制限する開口絞り19が設けられている。
【００３１】
さらにこの開口絞り19の直後には開口絞り19から出射した光の全体を受ける位置（検出位置）とこの光を全く受けない位置（退避位置）との間を移動可能に設けられた光検出器41と、光検出器41により検出された光量および後述する走査信号Ｓ′に基づいてミラーアレイデバイス13を構成する多数のミラー（後述）のうち故障しているミラー（欠陥画素）を特定する特定手段40とからなる特定装置が備えられている。なお以下、実施形態の説明においては、この故障しているミラーを欠陥画素の一形態として説明する。
【００３２】
この特定装置は画像露光装置に内蔵されている必要はなく、必要に応じてこの画像露光装置にセット可能であればよい。
【００３３】
また上記光検出器41は感光材料10への露光動作中は退避位置にある。
【００３４】
上記ミラーアレイデバイス13は、図２に拡大して示すように、シリコン基板21上に２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー20を有している。各微小ミラー20はアルミニウム合金等から四角形に形成され、１つのミラー並び方向Ｘの配置ピッチａを例えば１７μｍ、それと直交するミラー並び方向Ｙの配置ピッチｂを例えば１７μｍとして配置されている。また各微小ミラー20のミラー並び方向Ｘのサイズａ′およびミラー並び方向Ｙのサイズｂ′は、それぞれミラー配置ピッチａ、ｂに近接した長さとされている。
【００３５】
図２においては中央部の１個の微小ミラー20を省いてあり、そこに示されているように、各微小ミラー20毎にそれを駆動させる駆動部が設けられている。この駆動部は、図示しないミラー支持ポストを介して微小ミラー20を支持するヨーク22、このヨーク22を保持する１対の捩れヒンジ23、23、１対のアドレス電極24、24および、これらの要素の下側に配されたバイアスバス（図示せず）等からなり、上記バイアスバスとアドレス電極24、24とによる電圧印加状態に応じて、静電力により捩れヒンジ23の向きを変えるように構成されている。
【００３６】
なお各微小ミラー20には、その有効開口を制限する光無反射性のマスク25が形成されている。
【００３７】
各微小ミラー20毎のアドレス電極24、24への電圧印加は、階調画像を示す画像信号Ｓを受ける制御回路30（図１参照）によって制御される。すなわち、アドレス電極24、24を介した電圧印加がなされない間は捩れヒンジ23が（つまり微小ミラー20が）基板21に対して平行な状態となるが、一方のアドレス電極24に所定極性の電圧が印加されるとともに他方のアドレス電極24に逆極性の相補的電圧が印加されると、微小ミラー20は図３に示すように基板面に対して角度−θ傾き、アドレス電極24、24に対する電圧印加状態が上記と逆にされると、微小ミラー20は図４に示すように基板面に対して角度θ傾くようになる。
【００３８】
そこで、図３の場合は微小ミラー20で反射した記録光Ｌが結像レンズ14の開口から外れ、図４の場合は微小ミラー20で反射した記録光Ｌが結像レンズ14を通過して、感光材料10に到達するようになる。このようにして、記録光Ｌの感光材料10への入射を、各微小ミラー20単位で制御することができる。そして、フレーム時間内において各微小ミラー20のオン時間が、各画素毎の画像信号Ｓに基づいて例えばパルス幅変調されることにより、各微小ミラー20毎に感光材料10への入射光量が制御され、該感光材料10に階調画像が露光される。
【００３９】
なお図３および図４では結像レンズ14を、その開口角度範囲を示すためのみに示しているものであり、その大きさおよび位置は実際とは異なる。また以下においては、微小ミラー20の図３、図４のような状態をそれぞれＯＦＦ（オフ）状態、ＯＮ（オン）状態と称することとする。
【００４０】
前述したカラーフィルター15はＲ（赤）フィルター、Ｇ（緑）フィルターおよびＢ（青）フィルターからなる。そしてこれらの各色フィルターが順次記録光Ｌの光路に挿入され、各色フィルターが挿入されている期間にその色に対応する各色画像信号に基づいてミラーアレイデバイス13が駆動される。なお各色フィルターの切替え期間には、全微小ミラー20がオフ状態にされる。このようにしてカラー感光材料10は、変調された赤、緑および青色光によって順次露光され、そこにカラーの写真潜像が記録される。
【００４１】
なお、オフ状態の微小ミラー20で反射した記録光Ｌは、図１に示した光吸収部材18に吸収される。
【００４２】
ここでミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20のうち、例えばいずれか１つが常にオン状態となる故障を発生した場合について説明する。
【００４３】
以下、この故障した微小ミラーを故障ミラー20′と称する。
【００４４】
故障ミラー20′は常にオン状態となっているため、感光材料10に階調画像を記録した場合にも、故障ミラー20′で反射した光による写真潜像の対応画素は周囲の画像から見て不自然な濃度、輝度となる。
【００４５】
そこでこのような故障ミラー20′が発生した場合には、まず絞り開口19の直後（光Ｌの進行方向前方）に光検出器41を配置する。これは光検出器41を退避位置から検出位置に移動させることにより行なう。
【００４６】
次に全ての微小ミラー20をそれぞれオフ状態とするような画像信号Ｓが制御回路30に入力され、制御回路30はその信号Ｓに応じてアドレス電極24、24を介した電圧印加をなし、捩れヒンジ23（微小ミラー20）は基板21に対して−θだけ傾く。
【００４７】
この操作により、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20は本来的には全てオフ状態（初期光量Ｌ０はゼロ）となるはずであるが、故障ミラー20′だけは常にオン状態であるため、この操作によってオフ状態とはならない。したがって、光検出器41にはこの状態において故障ミラー20′で反射した光が到達し、光検出器41がその到達した光の光量Ｌ1 を初期光量Ｌ０として検出する。なおこの初期光量Ｌ０の値は図示しない記憶部に記憶される。
【００４８】
次に、制御回路30に、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20を１つずつ交代で順次オン状態にするための画像信号（走査信号）Ｓ′が入力され、制御回路30はこの走査信号Ｓ′にしたがって、オン状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小微小ミラー20を順次交代でオン状態にする。
【００４９】
この結果、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオン状態に指定されたときには、オン状態にあるのは、その指定されてオン状態とされた微小ミラー20と故障ミラー20′の２つである。したがって光検出器41はその２つのオン状態にある微小ミラー20および20′によって反射された光の光量Ｌ2 （Ｌ1の略２倍）を検出する（例えば図５（１）の１〜４、６〜８画素目）。
【００５０】
ところで、制御回路30によって順次交代で各微小ミラー20がオン状態に指定されるうちに、故障ミラー20′もオン状態に指定されるが、この場合においてオン状態にあるのは、その故障ミラー20′だけである。したがって光検出器41によって検出される光量は、唯一オン状態にある故障ミラー20′によって反射された光の光量Ｌ1 となる（例えば図５（１）の５画素目）。この検出された光量Ｌ1 は、当然に他の微小ミラー20がオン状態に指定されているときに検出される光量Ｌ2 よりも小さい。そしてこのときの検出光量Ｌ１は図示しない記憶部に記憶された初期光量Ｌ０と同一値であることから、特定手段40は、このオン状態に指定されたミラー（故障ミラー20′）が故障した欠陥画素であると判定することができ、欠陥画像を容易に特定することができる。
【００５１】
なお、検出光量がＬ１である場合は、上述のようにオン側に固定されたミラーが１つであり、かつその固定されたミラーが指定された場合の他、オン側に固定されたミラーが１つであり、かつオフ側に固定されたミラーが指定された場合も該当する。このオフ側に固定されたミラーが指定された場合に該当する場合であっても、その指定されたミラーは「オフ側に固定された」欠陥画素であることから、上述のオン側に固定されたミラーが指定された場合と同様に、特定手段40は欠陥画素を容易に特定するという効果を得ることができる。
【００５２】
上記図５（１）では光検出器41が連続的にオン方向への反射光を検出したため、１画素ごとに矩形波状の光量変化が認められるが、図５（２）に示すように、制御回路30に入力される走査信号Ｓ′と同期を取って光量をサンプリングホールドしたときの走査時間と検出光量Ｌとの関係から特定手段40が故障ミラー20′を特定するものであってもよい。
【００５３】
また図６は、オン側に固定されて動かない故障ミラーが３個存在する場合の検出光量を示すものである。この検出光量からは、初期光量Ｌ０に対して第１番目の画素（第１番目の微小ミラー）をオン側に向けるための信号を制御回路30に入力したときも検出光量は初期光量Ｌ０と同一値を示すため、第１番目の画素は欠陥画素であることを判定することができ、欠陥画素を特定手段40が容易に特定することができる。次いで第２番目の画素をオン側に向ける信号を制御回路30に入力すると、検出光量は初期光量Ｌ０とは異なるＬ２を示すため、第２番目の画素は正常なものであると判定することができる。同様に第５番目の画素も欠陥画素であると特定することができる。
【００５４】
なお、予め１画素あたりの反射光量が判らない場合であっても、初期光量Ｌ０と、Ｌ０とは異なる検出光量Ｌ２との差に基づいて１画素あたりの反射光量（Ｌ２−Ｌ０）を求めることができ、さらに初期光量Ｌ０と１画素あたりの反射光量（Ｌ２−Ｌ０）とから初期的にオン側に固定されたミラーの数（欠陥画素の数）を（Ｌ２−Ｌ０）／Ｌ０の計算により求めることができる。
【００５５】
このように故障ミラー20′が特定されると、この故障ミラー20′を修理するうえで便利であるとともに、修理を行なわない場合にあっても、故障ミラー20′を強制的にオフ状態に固定して使用不可状態とする。
【００５６】
使用不可状態とされた故障ミラー20′により反射される光は常に感光材料11から外れて光吸収部材18に吸収され、この故障ミラー20′に対応する感光材料11上の画像の画素には何らの反射光も到達しないため、この画素部分は欠落画素となる。
【００５７】
そこでこのような、何らの情報も有しない画素に対しては、本願出願人が特願昭平８−３９４８９号明細書において開示しているように、平行平板17を用いた画素ズラシにより補間操作を行なえばよい。
【００５８】
なお、上記故障ミラー20′を強制的にオフ状態に固定するには、例えば、
（１）電子ビームで故障ミラー20′を照射してクーロン力によりミラー20′をオフ状態側に倒し、レーザービームを照射することによってオフ状態側に固定する方法、
（２）微小針を用いて故障ミラー20′をオフ状態側に押し倒し、レーザービームを照射することによってオフ状態側に固定する方法、
等を行なえばよく、また故障ミラー20′を強制的にオフ状態に固定するのに変えて、
（３）レーザー光により画素を照射して焼き付ける方法、
（４）ウェーハのままプローブで動作テストを行なって故障ミラー20′を特定し、再度フォトリングラフィプロセスを行ない、故障ミラーの反射面を低反射物質（黒い物質、顔料等）で覆う方法、
等により、故障ミラー20′を実質的にオフ状態側に固定したのと同様の効果を得るようにしてもよい。
【００５９】
また、以上説明した実施形態においては故障ミラー20′をオフ状態とした後に補間を行うために画素ズラシを行う旨を記載したが、本発明はこのような画素ズラシは行なわない画像露光装置に対しても適用可能であり、そして同様の効果を奏するものである。
【００６０】
本実施形態においては、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオフ状態としたが、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオン状態としてもよく、このような実施形態は本発明の第２の欠陥画素の特定方法の実施形態に該当する。
【００６１】
この実施形態（第２の実施形態という）の場合、制御回路30に、初期的にミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20のすべてをオン状態とする画像信号を入力して初期光量Ｌ０を求め、その後にミラー20を１つずつ交代で順次オフ状態にするための画像信号Ｓ′を入力し、制御回路30はこの画像信号Ｓ′にしたがって、オフ状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小ミラー20を順次交代でオフ状態にする。
【００６２】
ここで、ミラーアレイデバイス13がｎ個の微小ミラー20から構成されている場合であって、オフ状態に固定されている故障ミラーはなく、オン状態に固定されている故障ミラーが存在するときは、図７（１）に示すように、初期光量Ｌ０は微小ミラーの全数ｎにより反射された光の光量Ｌn となり、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオフ状態に指定されたときには、オン状態にあるのは、その指定されてオフ状態とされた微小ミラー20以外の全ての微小ミラーであるから、光検出器41は（ｎ−１）個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ(n−1)を検出する。これは初期光量Ｌ０（＝Ｌn )とは異なる値であるため、指定された画素は正常であることが判る。
【００６３】
ところが、制御回路30によって順次交代で各微小ミラー20がオフ状態に指定されるうちに、故障ミラー20′もオフ状態に指定されるが、故障ミラー20′はオン状態に固定されているためオフ状態にある微小ミラー20は無く、したがって光検出器41はｎ個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌn を検出する。この検出光量は初期光量Ｌ０と同一値であるため、指定された画素が欠陥画素であることを特定手段40は容易に判定することができる。
【００６４】
ただし、故障する可能性がある微小ミラーの数はミラーアレイデバイス13全体の微小ミラー数ｎに比して極わずかであるため、光量Ｌ(n-1) の絶対的なレベルは高く、これに対する検出光量の変化のレベル｛（Ｌn −Ｌ(n-1) ）／Ｌ(n-1) ｝は前述の図５に示した実施形態における検出光量の変化のレベル｛（Ｌ2 −Ｌ1 ）／Ｌ2 ｝に比べて極めて小さいため、前述の実施形態の方が検出光量の変化の有無を捕らえやすく、より望ましい。
【００６５】
なお、本実施形態においても図７（２）に示すようにサンプルホールドして光量を検出する態様としてもよい。
【００６６】
また、オフ状態に固定されている故障ミラーが存在する場合は、初期光量Ｌ０はＬ(n-1) となり、この場合も故障ミラーがオフ状態に指定されたときは初期光量と同一値の検出光量となるため、故障ミラーを特定することができる。
【００６７】
上記各実施形態において、個々の微小ミラー20の向きを１つずつ交互に変えてその都度光量を検出するのに先だって、ミラーアレイデバイス13をより粗く分割した領域（例えば図８（１）に示す１走査ラインの領域、または同図（２）に示すブロックの領域等）に含まれる複数の微小ミラー（領域間での含まれる微小ミラー数は同一とする）について、これら同一の領域内にある複数の微小ミラーを一体的な大きな１つのミラーとみなし、このミラーを１つずつ交互に向きを変えてその都度光量を検出し、それぞれ検出された光量を比較することにより、故障したミラーがどの領域にあるかの概要を把握するようにしてもよい。
【００６８】
図９は図１に示した第１または第２の実施形態に対して、故障ミラーの特定装置を開口絞り19の直後に設けるのではなく、光吸収部材18の直前に設けた以外は略同様の構成である第３の実施形態を示す図である。すなわちこの実施形態は本発明の第３の欠陥画素の特定方法の実施形態であり、光吸収部材18の直前に、ミラーアレイデバイス13がオフ状態の方向（単にオフ方向という）に反射された光Ｌを集光する集光レンズ42と、この集光レンズ42により光Ｌが集光される位置の近傍に光Ｌを通過させる開口絞り43と、開口絞り43の直後に設けられた光検出器44と、故障ミラーを特定する特定手段45とからなる特定装置が設けられている。
【００６９】
なお図９に示した実施形態においても光検出器44は開口絞り43から出射した光の全体を受ける位置（検出位置）とこの光を全く受けない位置（退避位置）との間を移動可能に設けられている。
【００７０】
本実施形態においては、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオン状態とする画像信号を入力して、オフ側で初期光量Ｌ０を検出し、制御回路30に、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20を１つずつ交代で順次オフ状態にするための画像信号Ｓ′を入力し、制御回路30はこの画像信号Ｓ′にしたがって、オフ状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小微小ミラー20を順次交代でオフ状態にしてオフ側の光量を検出する。
【００７１】
この結果、第２の実施形態の場合と同様に、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオフ状態に指定されたときには、オフ状態にあるのはその指定されてオフ状態とされた微小ミラー20のみである。
【００７２】
したがって光検出器44は指定された１個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ１を検出する。この検出光量Ｌ１はＬ０とは異なる値であるため、正常な画素と判定される。
【００７３】
一方、故障ミラー20′がオフ状態に指定されたときは、故障ミラー20′はオン状態に固定されているためオフ状態にある微小ミラー20の数はゼロとなり光検出器44は何ら光を検出せず（図１０（１）参照）、初期光量と等しい値を採るため欠陥画素であると判定することができる。
【００７４】
なお、欠陥画素がオフ側に固定されているものである場合は、初期光量Ｌ０がゼロではなく、図５（１）と同様の光量検出パターンとなり、この図５（１）に示した実施形態と同様に欠陥画素を特定することができる。
【００７５】
また、本実施形態においても図１０（２）に示すようにサンプルホールドして光量を検出する態様としてもよい。
【００７６】
また図１０に示した実施形態において、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオフ状態としてもよく、このような実施形態は本発明の第４の欠陥画素の特定方法の実施形態に該当する。
【００７７】
この実施形態（第４の実施形態という）の場合、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオフ状態とし、オフ側で初期光量Ｌ０を検出し、制御回路30に、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20を１つずつ交代で順次オン状態にするための走査信号Ｓを入力し、制御回路30はこの走査信号Ｓにしたがって、オン状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小微小ミラー20を順次交代でオン状態にする（図１１）。
【００７８】
この結果、第２の実施形態の場合と同様に、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオン状態に指定されたときには、オフ状態にあるのはその指定されてオン状態とされた微小ミラー20とオン状態に固定された故障ミラー20′とを除いた数の微小ミラーである。したがってミラーアレイデバイス13がｎ個の微小ミラー20から構成されている場合、光検出器44は（ｎ−２）個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ(n-2) を検出する。
【００７９】
ところが、故障ミラー20′がオン状態に指定されたときは、故障ミラー20′はもともとオン状態に固定されているためオフ状態にある微小ミラー20の数は（ｎ−１）個となり光検出器44は（ｎ−１）個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ(n-1) を検出する（図１１参照）。この検出された光量Ｌ(n-1) は初期光量Ｌ０と同一値であることからに、制御回路30に入力される走査信号Ｓと同期を取った走査時間と検出光量Ｌとの関係から特定手段45が故障ミラー20′を特定することができる。
【００８０】
なお上記第３、第４の各実施形態においても、図８（１）または（２）に示したように、個々の微小ミラー20の向きを１つずつ交互に変えてその都度光量を検出するのに先だって、ミラーアレイデバイス13をより粗く分割した領域についての光量の検出をおこない、その変動に応じて、故障したミラーがどの領域にあるかの概要を把握するようにしてもよい。
【００８１】
また、本実施形態においても図１１（２）に示すようにサンプルホールドして光量を検出する態様としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第１の実施形態）および第２の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第２の実施形態）を示す平面図
【図２】図１に示した画像露光装置に用いられたミラーアレイデバイスの一部破断正面図
【図３】図２に示したミラーアレイデバイスの微小ミラーの一状態（オフ状態）を示す側面図
【図４】図２に示したミラーアレイデバイスの微小ミラーの一状態（オン状態）を示す側面図
【図５】（１）第１の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【図６】欠陥画素が複数存在するとしたときの検出光量を示すグラフ
【図７】（１）第２の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【図８】個々の微小ミラー20の向きを交互に変えるのに先だって、領域ごとの光量の変動を検出するための分割領域の例を示す図であって、
（１）走査ラインを分割領域としたもの、
（２）矩形の領域をを分割領域としたもの、を示す図
【図９】本発明の第３の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第３の実施形態）および第４の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第４の実施形態）を示す平面図
【図１０】（１）第３の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【図１１】（１）第４の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【符号の説明】
10 カラー感光材料
11 光源
12，42 集光レンズ
13 ミラーアレイデバイス
14 結像レンズ
15 カラーフィルター
16 ブラックシャッター
17 平行平板
18 光吸収部材
19，43 開口絞り
20 微小ミラー
20′ 故障ミラー（欠陥画素）
22 ヨーク
23 捩れヒンジ
24 アドレス電極
25 微小ミラーのマスク
30 ミラーアレイデバイスの制御回路
41，44 光検出器
40，45 特定手段
Ｌ 記録光
【発明の属する技術分野】
本発明は、ミラーアレイデバイスを用いて感光材料に画像を露光する装置においてそのミラーアレイデバイスの欠陥画素を特定する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば「Ｏ plus Ｅ」誌1994年10月号の第90〜94頁に記載されているように、２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラーと、これらの微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部とを有し、入射した光を各微小ミラー毎に２つ方向のいずれかに選択的に反射させるミラーアレイデバイスが公知となっている。
【０００３】
このようなミラーアレイデバイスを用いれば、画像信号に応じて上記駆動部の動作を制御することにより、微小ミラーを介して所定の投写面に入射する光を微小ミラー毎に変調して、該投写面に画像を投写することができる。そして、この投写面に感光材料を配置しておけば、該感光材料に画像を露光することもできる（本出願人による特願平８−３９４８９号の明細書には、そのような画像露光装置の一例が示されている）。なおこの場合、各微小ミラーが１画素を構成する。
【０００４】
またそのようにする場合、フレーム時間内において各微小ミラーのオン時間（微小ミラーが、受けた記録光を微小ミラーごとに感光材料上の対応する位置（画素）に向けて反射させるような方向（第１の方向またはオン方向）に向けられている時間）をパルス幅変調する等により、各微小ミラー毎に感光材料への入射光量（総量）を制御して、階調画像を露光することも可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこの種のミラーアレイデバイスを用いた画像露光において、より高画質の画像を得るためには、画像の画素数を増加させること、すなわち微小ミラーの数を増加させる必要がある。
【０００６】
しかし、ミラーアレイデバイスを構成する素子は非常に精巧なものであり、故障等によりミラーがオン位置（ミラーの向きが第１の方向に向けられている状態）またはオフ位置（ミラーが、受けた記録光を感光材料に入射しないように反射させる方向（第２の方向またはオフ方向）に向けられている状態）で固定されて、画像信号の有無、大小に拘らず動かなくなる欠陥が発生することがある。
【０００７】
特に画像の高画質化のために微小ミラーを高画素化、高密度化させた場合、このような欠陥画素数も増加し、露光された再生画像は見苦しいものとなる。
【０００８】
そこでこのような欠陥画素を修理し、あるいはその欠陥画素を修正しない場合にも、その欠陥画素に対応した露光画像上の画素には正しい光量を与える必要がある。そしていずれの場合にあっても欠陥画素を正確に特定する必要がある。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、欠陥画素を正確に特定する方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、ミラーアレイデバイスを構成する全てのミラー（画素）を初期的にオン状態あるいはオフ状態、すなわち全てのミラーを同一方向に向けた状態となるような画像信号を与えたうえで、ミラーアレイデバイスに光を照射し、ミラーによる反射光が感光材料に向かう方向（第１の方向）または感光材料に向かわない方向（第２の方向）での初期光量を検出し、次にミラーを１つずつ交互に最初とは異なる状態（最初がオン状態であればオフ状態、最初がオフ状態であればオン状態）となるような画像信号を与え、初期光量を検出したのと同方向での光量を順次に検出し、初期光量との相違により、欠陥画素を特定することを特徴とするものである。
【００１１】
これは、オン状態あるいはオフ状態で固定されてしまった欠陥画素については、オン方向に向けるための画像信号、あるいはオフ方向に向けるための画像信号を駆動部に与えてもミラーは動かないため、正常であればミラーの状態がオンからオフに又はオフからオンに変化することにより検出光量が初期光量とは異なった値を示すところ、異常の場合はそのような初期光量との差が認められなくなることによるものである。
【００１２】
すなわち、本発明の第１の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第１の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第１の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第１の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の第２の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、上記第１の特定方法に対して、初期状態におけるミラーの向きがオン方向であり、ミラーの向きを１つずつ交互に変えるときのその向ける方向がオフ方向である点において異なる以外は同一である。
【００１４】
すなわち本発明の第２の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第１の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第１の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第２の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の第３の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、上記第２の特定方法に対して、光量を検出する方向がオフ方向である点において異なる以外は同一である。
【００１６】
すなわち本発明の第３の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第２の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第２の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第２の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１７】
本発明の第４の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、上記第１の特定方法に対して、光量を検出する方向がオフ方向である点において異なる以外は同一である。
【００１８】
すなわち本発明の第４の画像露光装置における欠陥画素の特定方法は、
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第２の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第２の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第１の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とするものである。
【００１９】
なお、上記本発明の第１から第４の各方法において、個々の微小ミラーの向きを変えて光量を検出するのに先だって、ミラーアレイデバイスを１画素よりも粗く分割した領域に含まれる複数のミラー（領域間での含まれるミラー数は同一とする）を同一の方向に向けるための画像信号を制御回路に与え、各領域について上記各(2) の操作を行なうことにより、各領域についてそれぞれ検出された光量を比較することにより、欠陥画素がどの領域にあるかの概要を把握することができる。ただし各領域内に同一数の欠陥画素が含まれる場合は領域間で検出光量差が生じないため、各領域内に含まれるすべての画素（微小ミラー）が正常に作動するとした場合に検出されるべき基準光量（全く欠陥画素が含まれないとした場合の検出光量）を予め把握し、これと比較することが必要である。
【００２０】
なお上記領域としては、例えば、ミラーの配列方向１列という領域、同じくミラーの配列方向一行という領域、その他縦○○行×横＊＊列という矩形の領域など種々の分割領域を採用することができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明の画像露光装置における欠陥画素の各特定方法によれば、ミラーアレイデバイスを構成する全てのミラー（画素）を初期的にオン状態あるいはオフ状態、すなわち全てのミラーを同一方向に向けた状態となるような画像信号を与えたうえで、ミラーアレイデバイスに光を照射し、ミラーによる反射光が感光材料に向かう方向（第１の方向）または感光材料に向かわない方向（第２の方向）での初期光量を検出し、次にミラーを１つずつ交互に最初とは異なる状態（最初がオン状態であればオフ状態、最初がオフ状態であればオン状態）となるような画像信号を与え、初期光量を検出したのと同方向での光量を順次に検出し、初期光量との相違により、欠陥画素を特定することができる。
【００２２】
すなわち、オン状態あるいはオフ状態で固定されてしまった欠陥画素については、オン方向に向けるための画像信号、あるいはオフ方向に向けるための画像信号を駆動部に与えてもミラーは動かないため、正常であればミラーの状態がオンからオフに又はオフからオンに変化することにより検出光量が初期光量とは異なった値を示すところ、異常の場合はそのような初期光量との差が認められなくなるる。
【００２３】
したがって、ミラーを１つずつ交互に初期状態とは異なる状態としたときに、検出光量の初期光量に対する変化をモニタすれば、その検出光量が初期光量に対して変化しないときの、操作対象のミラーが、特定すべき欠陥画素であることが分かる。
【００２４】
なお、ミラーアレイデバイスはオフ方向を向いた状態で動かない不具合の場合には、感光材料には何らの光も到達しないため、本願出願人が例えば特願平８-39489号において既に開示している「画素ズラシ」等の方法によって、その欠陥画素の光量を周囲の画素の光量で補間することができる。
【００２５】
一方、オン方向を向いた状態で動かない不具合の場合は、感光材料には常に光が到達しているため、一旦このミラーをオフ方向に強制的に動かす等してオフ方向を向いた状態で固定等し、そのうえで特願平８-39489号において既に開示している「画素ズラシ」の方法によって、その欠陥画素に対応した画素の光量を周囲の画素の光量で補間することができる。
【００２６】
なお、検出光量のモニタは、ミラーアレイデバイスが初期状態で光（光の大部分）を反射している方向においてしてもよい（本発明の第２または第４の欠陥画素の特定方法の場合）し、初期状態で光を反射していない方向においてしてもよい（本発明の第１または第３の欠陥画素の特定方法）が、欠陥画素となる可能性がある素子の数はミラーアレイデバイス全体の素子数に比して極わずかであるため、初期状態で光を反射している方向においては検出光量の絶対的なレベルが高く、１つのミラーの状態を変化させたことによる検出光量の変化のレベルがこの絶対的なレベルに対して極小さいものとなり、検出光量の変化を捕らえにくいと考えられるため、初期状態で光を反射していない方向において検出するのがより望ましい。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の画像露光装置における欠陥画素の特定方法を実施するための一実施形態を示す欠陥画素の特定装置を含む画像露光装置である。
【００２８】
図示の画像露光装置は、カラー感光材料10を露光させる白色の記録光Ｌを発するハロゲンランプ等の光源11と、この光源11が焦点位置近傍にあるように配されて、該光源11から発せられた記録光Ｌを平行光化する集光レンズ12と、平行光化された記録光Ｌが入射する位置に配されたミラーアレイデバイス13と、このミラーアレイデバイス13で反射した記録光Ｌが入射する位置に配された結像レンズ14と、ミラーアレイデバイス13の前において記録光Ｌの光路に挿入されるカラーフィルター15およびブラックシャッター16とを有している。
【００２９】
またミラーアレイデバイス13と結像レンズ14との間には、画素ズラシ処理を行なうための平行平板17が配されている。この平行平板17は、図示しない揺動機構により、図中の矢印Ａ方向および、軸Ｂを中心とする方向に揺動されるようになっている。
【００３０】
一方、ミラーアレイデバイス13と結像レンズ14との間の記録光Ｌの光路から外れた位置には、光吸収部材18が配されている。そしてミラーアレイデバイス13と感光材料10との間の、結像レンズ14による記録光Ｌの収束位置には、光軸から所定値以上広がっている光の通過を制限する開口絞り19が設けられている。
【００３１】
さらにこの開口絞り19の直後には開口絞り19から出射した光の全体を受ける位置（検出位置）とこの光を全く受けない位置（退避位置）との間を移動可能に設けられた光検出器41と、光検出器41により検出された光量および後述する走査信号Ｓ′に基づいてミラーアレイデバイス13を構成する多数のミラー（後述）のうち故障しているミラー（欠陥画素）を特定する特定手段40とからなる特定装置が備えられている。なお以下、実施形態の説明においては、この故障しているミラーを欠陥画素の一形態として説明する。
【００３２】
この特定装置は画像露光装置に内蔵されている必要はなく、必要に応じてこの画像露光装置にセット可能であればよい。
【００３３】
また上記光検出器41は感光材料10への露光動作中は退避位置にある。
【００３４】
上記ミラーアレイデバイス13は、図２に拡大して示すように、シリコン基板21上に２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー20を有している。各微小ミラー20はアルミニウム合金等から四角形に形成され、１つのミラー並び方向Ｘの配置ピッチａを例えば１７μｍ、それと直交するミラー並び方向Ｙの配置ピッチｂを例えば１７μｍとして配置されている。また各微小ミラー20のミラー並び方向Ｘのサイズａ′およびミラー並び方向Ｙのサイズｂ′は、それぞれミラー配置ピッチａ、ｂに近接した長さとされている。
【００３５】
図２においては中央部の１個の微小ミラー20を省いてあり、そこに示されているように、各微小ミラー20毎にそれを駆動させる駆動部が設けられている。この駆動部は、図示しないミラー支持ポストを介して微小ミラー20を支持するヨーク22、このヨーク22を保持する１対の捩れヒンジ23、23、１対のアドレス電極24、24および、これらの要素の下側に配されたバイアスバス（図示せず）等からなり、上記バイアスバスとアドレス電極24、24とによる電圧印加状態に応じて、静電力により捩れヒンジ23の向きを変えるように構成されている。
【００３６】
なお各微小ミラー20には、その有効開口を制限する光無反射性のマスク25が形成されている。
【００３７】
各微小ミラー20毎のアドレス電極24、24への電圧印加は、階調画像を示す画像信号Ｓを受ける制御回路30（図１参照）によって制御される。すなわち、アドレス電極24、24を介した電圧印加がなされない間は捩れヒンジ23が（つまり微小ミラー20が）基板21に対して平行な状態となるが、一方のアドレス電極24に所定極性の電圧が印加されるとともに他方のアドレス電極24に逆極性の相補的電圧が印加されると、微小ミラー20は図３に示すように基板面に対して角度−θ傾き、アドレス電極24、24に対する電圧印加状態が上記と逆にされると、微小ミラー20は図４に示すように基板面に対して角度θ傾くようになる。
【００３８】
そこで、図３の場合は微小ミラー20で反射した記録光Ｌが結像レンズ14の開口から外れ、図４の場合は微小ミラー20で反射した記録光Ｌが結像レンズ14を通過して、感光材料10に到達するようになる。このようにして、記録光Ｌの感光材料10への入射を、各微小ミラー20単位で制御することができる。そして、フレーム時間内において各微小ミラー20のオン時間が、各画素毎の画像信号Ｓに基づいて例えばパルス幅変調されることにより、各微小ミラー20毎に感光材料10への入射光量が制御され、該感光材料10に階調画像が露光される。
【００３９】
なお図３および図４では結像レンズ14を、その開口角度範囲を示すためのみに示しているものであり、その大きさおよび位置は実際とは異なる。また以下においては、微小ミラー20の図３、図４のような状態をそれぞれＯＦＦ（オフ）状態、ＯＮ（オン）状態と称することとする。
【００４０】
前述したカラーフィルター15はＲ（赤）フィルター、Ｇ（緑）フィルターおよびＢ（青）フィルターからなる。そしてこれらの各色フィルターが順次記録光Ｌの光路に挿入され、各色フィルターが挿入されている期間にその色に対応する各色画像信号に基づいてミラーアレイデバイス13が駆動される。なお各色フィルターの切替え期間には、全微小ミラー20がオフ状態にされる。このようにしてカラー感光材料10は、変調された赤、緑および青色光によって順次露光され、そこにカラーの写真潜像が記録される。
【００４１】
なお、オフ状態の微小ミラー20で反射した記録光Ｌは、図１に示した光吸収部材18に吸収される。
【００４２】
ここでミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20のうち、例えばいずれか１つが常にオン状態となる故障を発生した場合について説明する。
【００４３】
以下、この故障した微小ミラーを故障ミラー20′と称する。
【００４４】
故障ミラー20′は常にオン状態となっているため、感光材料10に階調画像を記録した場合にも、故障ミラー20′で反射した光による写真潜像の対応画素は周囲の画像から見て不自然な濃度、輝度となる。
【００４５】
そこでこのような故障ミラー20′が発生した場合には、まず絞り開口19の直後（光Ｌの進行方向前方）に光検出器41を配置する。これは光検出器41を退避位置から検出位置に移動させることにより行なう。
【００４６】
次に全ての微小ミラー20をそれぞれオフ状態とするような画像信号Ｓが制御回路30に入力され、制御回路30はその信号Ｓに応じてアドレス電極24、24を介した電圧印加をなし、捩れヒンジ23（微小ミラー20）は基板21に対して−θだけ傾く。
【００４７】
この操作により、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20は本来的には全てオフ状態（初期光量Ｌ０はゼロ）となるはずであるが、故障ミラー20′だけは常にオン状態であるため、この操作によってオフ状態とはならない。したがって、光検出器41にはこの状態において故障ミラー20′で反射した光が到達し、光検出器41がその到達した光の光量Ｌ1 を初期光量Ｌ０として検出する。なおこの初期光量Ｌ０の値は図示しない記憶部に記憶される。
【００４８】
次に、制御回路30に、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20を１つずつ交代で順次オン状態にするための画像信号（走査信号）Ｓ′が入力され、制御回路30はこの走査信号Ｓ′にしたがって、オン状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小微小ミラー20を順次交代でオン状態にする。
【００４９】
この結果、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオン状態に指定されたときには、オン状態にあるのは、その指定されてオン状態とされた微小ミラー20と故障ミラー20′の２つである。したがって光検出器41はその２つのオン状態にある微小ミラー20および20′によって反射された光の光量Ｌ2 （Ｌ1の略２倍）を検出する（例えば図５（１）の１〜４、６〜８画素目）。
【００５０】
ところで、制御回路30によって順次交代で各微小ミラー20がオン状態に指定されるうちに、故障ミラー20′もオン状態に指定されるが、この場合においてオン状態にあるのは、その故障ミラー20′だけである。したがって光検出器41によって検出される光量は、唯一オン状態にある故障ミラー20′によって反射された光の光量Ｌ1 となる（例えば図５（１）の５画素目）。この検出された光量Ｌ1 は、当然に他の微小ミラー20がオン状態に指定されているときに検出される光量Ｌ2 よりも小さい。そしてこのときの検出光量Ｌ１は図示しない記憶部に記憶された初期光量Ｌ０と同一値であることから、特定手段40は、このオン状態に指定されたミラー（故障ミラー20′）が故障した欠陥画素であると判定することができ、欠陥画像を容易に特定することができる。
【００５１】
なお、検出光量がＬ１である場合は、上述のようにオン側に固定されたミラーが１つであり、かつその固定されたミラーが指定された場合の他、オン側に固定されたミラーが１つであり、かつオフ側に固定されたミラーが指定された場合も該当する。このオフ側に固定されたミラーが指定された場合に該当する場合であっても、その指定されたミラーは「オフ側に固定された」欠陥画素であることから、上述のオン側に固定されたミラーが指定された場合と同様に、特定手段40は欠陥画素を容易に特定するという効果を得ることができる。
【００５２】
上記図５（１）では光検出器41が連続的にオン方向への反射光を検出したため、１画素ごとに矩形波状の光量変化が認められるが、図５（２）に示すように、制御回路30に入力される走査信号Ｓ′と同期を取って光量をサンプリングホールドしたときの走査時間と検出光量Ｌとの関係から特定手段40が故障ミラー20′を特定するものであってもよい。
【００５３】
また図６は、オン側に固定されて動かない故障ミラーが３個存在する場合の検出光量を示すものである。この検出光量からは、初期光量Ｌ０に対して第１番目の画素（第１番目の微小ミラー）をオン側に向けるための信号を制御回路30に入力したときも検出光量は初期光量Ｌ０と同一値を示すため、第１番目の画素は欠陥画素であることを判定することができ、欠陥画素を特定手段40が容易に特定することができる。次いで第２番目の画素をオン側に向ける信号を制御回路30に入力すると、検出光量は初期光量Ｌ０とは異なるＬ２を示すため、第２番目の画素は正常なものであると判定することができる。同様に第５番目の画素も欠陥画素であると特定することができる。
【００５４】
なお、予め１画素あたりの反射光量が判らない場合であっても、初期光量Ｌ０と、Ｌ０とは異なる検出光量Ｌ２との差に基づいて１画素あたりの反射光量（Ｌ２−Ｌ０）を求めることができ、さらに初期光量Ｌ０と１画素あたりの反射光量（Ｌ２−Ｌ０）とから初期的にオン側に固定されたミラーの数（欠陥画素の数）を（Ｌ２−Ｌ０）／Ｌ０の計算により求めることができる。
【００５５】
このように故障ミラー20′が特定されると、この故障ミラー20′を修理するうえで便利であるとともに、修理を行なわない場合にあっても、故障ミラー20′を強制的にオフ状態に固定して使用不可状態とする。
【００５６】
使用不可状態とされた故障ミラー20′により反射される光は常に感光材料11から外れて光吸収部材18に吸収され、この故障ミラー20′に対応する感光材料11上の画像の画素には何らの反射光も到達しないため、この画素部分は欠落画素となる。
【００５７】
そこでこのような、何らの情報も有しない画素に対しては、本願出願人が特願昭平８−３９４８９号明細書において開示しているように、平行平板17を用いた画素ズラシにより補間操作を行なえばよい。
【００５８】
なお、上記故障ミラー20′を強制的にオフ状態に固定するには、例えば、
（１）電子ビームで故障ミラー20′を照射してクーロン力によりミラー20′をオフ状態側に倒し、レーザービームを照射することによってオフ状態側に固定する方法、
（２）微小針を用いて故障ミラー20′をオフ状態側に押し倒し、レーザービームを照射することによってオフ状態側に固定する方法、
等を行なえばよく、また故障ミラー20′を強制的にオフ状態に固定するのに変えて、
（３）レーザー光により画素を照射して焼き付ける方法、
（４）ウェーハのままプローブで動作テストを行なって故障ミラー20′を特定し、再度フォトリングラフィプロセスを行ない、故障ミラーの反射面を低反射物質（黒い物質、顔料等）で覆う方法、
等により、故障ミラー20′を実質的にオフ状態側に固定したのと同様の効果を得るようにしてもよい。
【００５９】
また、以上説明した実施形態においては故障ミラー20′をオフ状態とした後に補間を行うために画素ズラシを行う旨を記載したが、本発明はこのような画素ズラシは行なわない画像露光装置に対しても適用可能であり、そして同様の効果を奏するものである。
【００６０】
本実施形態においては、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオフ状態としたが、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオン状態としてもよく、このような実施形態は本発明の第２の欠陥画素の特定方法の実施形態に該当する。
【００６１】
この実施形態（第２の実施形態という）の場合、制御回路30に、初期的にミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20のすべてをオン状態とする画像信号を入力して初期光量Ｌ０を求め、その後にミラー20を１つずつ交代で順次オフ状態にするための画像信号Ｓ′を入力し、制御回路30はこの画像信号Ｓ′にしたがって、オフ状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小ミラー20を順次交代でオフ状態にする。
【００６２】
ここで、ミラーアレイデバイス13がｎ個の微小ミラー20から構成されている場合であって、オフ状態に固定されている故障ミラーはなく、オン状態に固定されている故障ミラーが存在するときは、図７（１）に示すように、初期光量Ｌ０は微小ミラーの全数ｎにより反射された光の光量Ｌn となり、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオフ状態に指定されたときには、オン状態にあるのは、その指定されてオフ状態とされた微小ミラー20以外の全ての微小ミラーであるから、光検出器41は（ｎ−１）個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ(n−1)を検出する。これは初期光量Ｌ０（＝Ｌn )とは異なる値であるため、指定された画素は正常であることが判る。
【００６３】
ところが、制御回路30によって順次交代で各微小ミラー20がオフ状態に指定されるうちに、故障ミラー20′もオフ状態に指定されるが、故障ミラー20′はオン状態に固定されているためオフ状態にある微小ミラー20は無く、したがって光検出器41はｎ個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌn を検出する。この検出光量は初期光量Ｌ０と同一値であるため、指定された画素が欠陥画素であることを特定手段40は容易に判定することができる。
【００６４】
ただし、故障する可能性がある微小ミラーの数はミラーアレイデバイス13全体の微小ミラー数ｎに比して極わずかであるため、光量Ｌ(n-1) の絶対的なレベルは高く、これに対する検出光量の変化のレベル｛（Ｌn −Ｌ(n-1) ）／Ｌ(n-1) ｝は前述の図５に示した実施形態における検出光量の変化のレベル｛（Ｌ2 −Ｌ1 ）／Ｌ2 ｝に比べて極めて小さいため、前述の実施形態の方が検出光量の変化の有無を捕らえやすく、より望ましい。
【００６５】
なお、本実施形態においても図７（２）に示すようにサンプルホールドして光量を検出する態様としてもよい。
【００６６】
また、オフ状態に固定されている故障ミラーが存在する場合は、初期光量Ｌ０はＬ(n-1) となり、この場合も故障ミラーがオフ状態に指定されたときは初期光量と同一値の検出光量となるため、故障ミラーを特定することができる。
【００６７】
上記各実施形態において、個々の微小ミラー20の向きを１つずつ交互に変えてその都度光量を検出するのに先だって、ミラーアレイデバイス13をより粗く分割した領域（例えば図８（１）に示す１走査ラインの領域、または同図（２）に示すブロックの領域等）に含まれる複数の微小ミラー（領域間での含まれる微小ミラー数は同一とする）について、これら同一の領域内にある複数の微小ミラーを一体的な大きな１つのミラーとみなし、このミラーを１つずつ交互に向きを変えてその都度光量を検出し、それぞれ検出された光量を比較することにより、故障したミラーがどの領域にあるかの概要を把握するようにしてもよい。
【００６８】
図９は図１に示した第１または第２の実施形態に対して、故障ミラーの特定装置を開口絞り19の直後に設けるのではなく、光吸収部材18の直前に設けた以外は略同様の構成である第３の実施形態を示す図である。すなわちこの実施形態は本発明の第３の欠陥画素の特定方法の実施形態であり、光吸収部材18の直前に、ミラーアレイデバイス13がオフ状態の方向（単にオフ方向という）に反射された光Ｌを集光する集光レンズ42と、この集光レンズ42により光Ｌが集光される位置の近傍に光Ｌを通過させる開口絞り43と、開口絞り43の直後に設けられた光検出器44と、故障ミラーを特定する特定手段45とからなる特定装置が設けられている。
【００６９】
なお図９に示した実施形態においても光検出器44は開口絞り43から出射した光の全体を受ける位置（検出位置）とこの光を全く受けない位置（退避位置）との間を移動可能に設けられている。
【００７０】
本実施形態においては、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオン状態とする画像信号を入力して、オフ側で初期光量Ｌ０を検出し、制御回路30に、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20を１つずつ交代で順次オフ状態にするための画像信号Ｓ′を入力し、制御回路30はこの画像信号Ｓ′にしたがって、オフ状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小微小ミラー20を順次交代でオフ状態にしてオフ側の光量を検出する。
【００７１】
この結果、第２の実施形態の場合と同様に、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオフ状態に指定されたときには、オフ状態にあるのはその指定されてオフ状態とされた微小ミラー20のみである。
【００７２】
したがって光検出器44は指定された１個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ１を検出する。この検出光量Ｌ１はＬ０とは異なる値であるため、正常な画素と判定される。
【００７３】
一方、故障ミラー20′がオフ状態に指定されたときは、故障ミラー20′はオン状態に固定されているためオフ状態にある微小ミラー20の数はゼロとなり光検出器44は何ら光を検出せず（図１０（１）参照）、初期光量と等しい値を採るため欠陥画素であると判定することができる。
【００７４】
なお、欠陥画素がオフ側に固定されているものである場合は、初期光量Ｌ０がゼロではなく、図５（１）と同様の光量検出パターンとなり、この図５（１）に示した実施形態と同様に欠陥画素を特定することができる。
【００７５】
また、本実施形態においても図１０（２）に示すようにサンプルホールドして光量を検出する態様としてもよい。
【００７６】
また図１０に示した実施形態において、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオフ状態としてもよく、このような実施形態は本発明の第４の欠陥画素の特定方法の実施形態に該当する。
【００７７】
この実施形態（第４の実施形態という）の場合、初期的状態として微小ミラー20の全てをそれぞれオフ状態とし、オフ側で初期光量Ｌ０を検出し、制御回路30に、ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20を１つずつ交代で順次オン状態にするための走査信号Ｓを入力し、制御回路30はこの走査信号Ｓにしたがって、オン状態にすべき微小ミラー20を指定し、その指定された微小ミラー20に対応するアドレス電極24，24に所定の電圧を印加し、２次元配列された微小微小ミラー20を順次交代でオン状態にする（図１１）。
【００７８】
この結果、第２の実施形態の場合と同様に、故障ミラー20′以外の正常な微小ミラー20がオン状態に指定されたときには、オフ状態にあるのはその指定されてオン状態とされた微小ミラー20とオン状態に固定された故障ミラー20′とを除いた数の微小ミラーである。したがってミラーアレイデバイス13がｎ個の微小ミラー20から構成されている場合、光検出器44は（ｎ−２）個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ(n-2) を検出する。
【００７９】
ところが、故障ミラー20′がオン状態に指定されたときは、故障ミラー20′はもともとオン状態に固定されているためオフ状態にある微小ミラー20の数は（ｎ−１）個となり光検出器44は（ｎ−１）個の微小ミラー20により反射された光の光量Ｌ(n-1) を検出する（図１１参照）。この検出された光量Ｌ(n-1) は初期光量Ｌ０と同一値であることからに、制御回路30に入力される走査信号Ｓと同期を取った走査時間と検出光量Ｌとの関係から特定手段45が故障ミラー20′を特定することができる。
【００８０】
なお上記第３、第４の各実施形態においても、図８（１）または（２）に示したように、個々の微小ミラー20の向きを１つずつ交互に変えてその都度光量を検出するのに先だって、ミラーアレイデバイス13をより粗く分割した領域についての光量の検出をおこない、その変動に応じて、故障したミラーがどの領域にあるかの概要を把握するようにしてもよい。
【００８１】
また、本実施形態においても図１１（２）に示すようにサンプルホールドして光量を検出する態様としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第１の実施形態）および第２の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第２の実施形態）を示す平面図
【図２】図１に示した画像露光装置に用いられたミラーアレイデバイスの一部破断正面図
【図３】図２に示したミラーアレイデバイスの微小ミラーの一状態（オフ状態）を示す側面図
【図４】図２に示したミラーアレイデバイスの微小ミラーの一状態（オン状態）を示す側面図
【図５】（１）第１の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【図６】欠陥画素が複数存在するとしたときの検出光量を示すグラフ
【図７】（１）第２の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【図８】個々の微小ミラー20の向きを交互に変えるのに先だって、領域ごとの光量の変動を検出するための分割領域の例を示す図であって、
（１）走査ラインを分割領域としたもの、
（２）矩形の領域をを分割領域としたもの、を示す図
【図９】本発明の第３の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第３の実施形態）および第４の画像露光装置における欠陥画素の特定方法の実施形態（第４の実施形態）を示す平面図
【図１０】（１）第３の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【図１１】（１）第４の実施形態の光検出器により検出される光量を示すグラフ
（２）(1) に示した実施形態において、検出光量をサンプリングホールドした態様によるグラフ
【符号の説明】
10 カラー感光材料
11 光源
12，42 集光レンズ
13 ミラーアレイデバイス
14 結像レンズ
15 カラーフィルター
16 ブラックシャッター
17 平行平板
18 光吸収部材
19，43 開口絞り
20 微小ミラー
20′ 故障ミラー（欠陥画素）
22 ヨーク
23 捩れヒンジ
24 アドレス電極
25 微小ミラーのマスク
30 ミラーアレイデバイスの制御回路
41，44 光検出器
40，45 特定手段
Ｌ 記録光
Claims (4)
- 感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第１の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第１の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第１の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とする画像露光装置における欠陥画素の特定方法。 - 感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第１の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第１の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第２の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とする画像露光装置における欠陥画素の特定方法。 - 感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第２の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第２の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第２の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とする画像露光装置における欠陥画素の特定方法。 - 感光材料を露光させる記録光を発する光源と、
前記記録光を受ける位置において２次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第１の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第２の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、
画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、
前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、
(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第２の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第２の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、
(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の１つだけを前記第１の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第２の方向に反射される記録光の光量を検出し、
(3) 前記第１の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、
(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とする画像露光装置における欠陥画素の特定方法。
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