JP3655778B2

JP3655778B2 - X-ray analyzer

Info

Publication number: JP3655778B2
Application number: JP20905499A
Authority: JP
Inventors: 義通佐藤; 澄人大澤
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 1999-07-23
Filing date: 1999-07-23
Publication date: 2005-06-02
Anticipated expiration: 2019-07-23
Also published as: JP2001033407A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、試料に対し、Ｘ線または電子線などの放射線を照射したとき試料において生ずる螢光Ｘ線などの特性Ｘ線を検出し、この特性Ｘ線に基づいて試料の組成や構造を分析するようにしたＸ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時の螢光Ｘ線分析装置として、試料を、互いに直交するＸ方向およびＹ方向の二つの方向に移動させることができる試料ステージに載置し、この試料を例えばＣＣＤカメラなどのモニター用カメラによってモニターし、そのモニターによる試料像をコンピュータに付設された表示装置の表示画面上に表示させるとともに、測定に際して、前記試料像の所定の位置を、コンピュータに付設されたマウスによってクリックすると、前記試料ステージが移動し、試料をその所定箇所がＸ線照射位置（測定位置）に位置するように移動させるようにしたものが実用化されるに至っている。
【０００３】
ところが、従来の螢光Ｘ線分析装置においては、画像の拡大率の誤差や試料ステージにおける機構部の機械的誤差などにより、前記クリックによる試料ステージの移動が必ずしも正確に行われず、このため、試料における測定対象箇所が測定位置に移動されないことがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、従来においては、例えば図３に示すように、試料ステージ３１の表面に位置を表すスケール３２を設け、このスケール３２を、螢光Ｘ線分析装置全体を制御するコンピュータ３３に付設された表示装置３４の表示画面３４ａ上に表示し、この表示画面３４ａ上におけるスケール３２Ａを用いて距離を測定し、試料ステージ３１上における距離と画像上の距離を補正することが一般に行われている。なお、図３において、３５は試料ステージ３１の上方に設けられる試料モニター用のカメラである。
【０００５】
しかし、上記の手法では、試料ステージ３１の表面にスケール３２を設ける必要があるとともに、測定に際して画像の拡大率を変更する都度、表示位置を移動したり、画像上の距離を測定したりする必要があり、非常に手間がかかるなどの不都合がある。
【０００６】
上述のような問題は、螢光Ｘ線分析装置に限られるものではなく、他のＸ線分析装置においても同様に生じているところである。
【０００７】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、極めて操作性に優れるとともに、非常に短時間で高精度な測定を行うことができるＸ線分析装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明では、試料を載置する試料ステージと、前記試料に放射線を照射する放射線源と、この放射線源による放射線照射により前記試料において生ずる特性Ｘ線を検出するＸ線検出器と、このＸ線検出器の出力に基づいて試料中に含まれる元素とその強度を判別するパルスプロセッサと、このパルスプロセッサからの信号が入力されるコンピュータと、このコンピュータからの制御信号に基づいて前記試料ステージを所定の方向に移動させるステージコントローラと、前記試料をモニターするためのモニター用カメラと、このモニター用カメラによる試料の像を表示する表示装置とを備えたＸ線分析装置において、最初の測定位置の指定時、前記モニター用カメラによって得られ前記表示装置の画面上に表示されている前記試料像における測定対象箇所をクリックして試料像を画面上の測定位置に向けて移動させるとともに、そのクリックした点の座標位置を前記コンピュータに記憶させ、次いで、この移動した試料像における測定対象箇所を再度クリックしてそのクリックした点の座標位置を前記コンピュータに記憶させ、かつ、それらコンピュータに記憶された最初のクリック点の座標位置と再度クリック点の座標位置と画面上の測定位置の座標位置とに基づいて前記試料ステージを介して試料の測定対象箇所を測定位置に移動させるときの補正係数を求めるとともに、その求めた補正係数をコンピュータのメモリに記憶させ、最初の測定位置の指定後の測定に際しては、前記表示装置の画面上に表示された試料像の測定対象箇所をクリックして前記メモリに記憶されている補正係数を読み出し、その読み出した補正係数を乗じて算出した距離に見合う制御信号をステージコントローラに出力させるように構成している。
【０００９】
上記Ｘ線分析装置においては、最初の測定位置の指定時、コンピュータに付設された表示装置の画面上に表示されている試料像の測定対象箇所を２回クリックし、その２回クリックした点の画面上の座標位置と画面上の測定位置の座標位置に基づいて試料ステージを介して試料の測定対象箇所を測定位置に移動させるときの補正係数を求めるとともに、それをコンピュータのメモリに記憶させることができる。そして、最初の測定位置の指定後の測定時には、記憶された補正係数をクリックにより読み出し、その読み出した補正係数を乗じた算出した距離だけ試料ステージを移動させることにより、試料の測定対象箇所を測定位置に移動させることができる。
【００１０】
そして、前記補正係数は、コンピュータのメモリに登録され以後の測定において繰り返し使用できるものであり、したがって、画面上における前記試料像の２回のクリックは、最初の測定位置の指定時にのみ行えばよく、測定前に行う測定位置の指定などの予備操作が極めて簡単になるとともに、非常に短時間で高精度な測定を行うことができる。また、試料ステージにスケールなどを設けたりする必要がない。
【００１１】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１は、この発明に係るＸ線分析装置としての螢光Ｘ線分析装置の構成を概略的に示すもので、この図において、１は放射線源としてのＸ線源で、このＸ線源１からのＸ線（一次Ｘ線）２は、コリメータ３を介して試料ステージ４上に載置された試料５の測定対象箇所に照射される。６はＸ線源１に適宜の電源を供給する電源部である。そして、試料ステージ４は、コンピュータ（後述する）からの指令を受けたステージコントローラ７によってＸ方向（図の左右方向）、Ｙ方向（紙面に垂直な方向）およびＺ方向（紙面に沿う上下方向）に適宜移動するように構成されている。
【００１２】
８はＸ線源１からの一次Ｘ線２が試料５に照射されたときに生ずる特性Ｘ線、例えば螢光Ｘ線９を検出するＸ線検出器で、例えば半導体検出器よりなり、液体ヘリウムなど冷却用媒体を収容したタンク１０に連なるハウジング１１の先端に設けられている。１２はＸ線検出器８の出力を処理するパルスプロセッサで、試料５中に含まれる元素とその強度を判別する。このパルスプロセッサ１２の出力は、コンピュータ（後述する）に入力される。
【００１３】
１３は試料５の像をモニターするための例えばＣＣＤカメラなどよりなるモニター用カメラで、試料ステージ４の上方に設けられている。このモニター用カメラ１３の出力は、コンピュータ（後述する）に入力される。
【００１４】
１４はコンピュータ、１５，１６はコンピュータ１４に接続された表示装置としてのカラーディスプレイ、入力装置としてのマウスである。コンピュータ１４は、螢光Ｘ線分析装置全体を制御したり、各種の演算や画像処理を行う機能などを備えており、電源部６やステージコントローラ７に制御信号を出力するとともに、パルスプロセッサ１２からの信号に基づいて演算を行って元素マッピング像を求め、この元素マッピング像とモニター用カメラ１３からの試料像とを同一の画面に重ね合わせて画像処理を行い、これをカラーディスプレイ１５の画面１５ａ上に表示する。
【００１５】
なお、上記螢光Ｘ線分析装置において、Ｘ線源１から試料ステージ４までのＸ線パス、試料ステージ４、Ｘ線検出器８、モニター用カメラ１３などは、適度の真空空間内に設けられている。なお、ここまでの構成は、従来の螢光Ｘ線分析装置と変わるところがない。
【００１６】
上記構成の螢光Ｘ線分析装置の動作について、図２を参照しながら説明する。この図２は、表示装置１５の表示画面１５ａおよびこの表示画面１５ａに表示される試料像５Ａを示すものである。今、同図（Ａ）に示すように、試料像５Ａにおける測定対象箇所（または試料５における特徴ある箇所）を符号Ｐで示す箇所とする。
【００１７】
そして、最初の測定位置の指定時には、まず、マウス１６を操作して、図２（Ｂ）に示すように、前記点Ｐをクリック（１回目）する。このときの点Ｐの座標（これは、試料ステージ４における方向Ｘ，Ｙと対応している。）を例えばＰ₁ （ｘ₁ ，ｙ₁ ）とし、この座標位置（ｘ₁ ，ｙ₁ ）がコンピュータ１４に記憶される。
【００１８】
前記１回目のクリックによって、前記点Ｐ₁ は測定位置Ｍ（ｘ_m ，ｙ_m ）に向かって移動するが、図２（Ｃ）に示すように、モニター用カメラ１３の倍率の誤差により、正確には測定位置Ｍ（この測定位置Ｍは、試料ステージ４におけるＸ線照射位置に対応していい。）に移動しない。この移動後の点をＰ₂ で示す。
【００１９】
次いで、マウス１６を操作して、図２（Ｄ）に示すように、前記点Ｐ₂ を再度クリック（２回目）する。このときの点Ｐ₂ の座標を例えば（ｘ₂ ，ｙ₂ ）とし、この座標位置（ｘ₂ ，ｙ₂ ）がコンピュータ１４に記憶される。
【００２０】
上記２回のクリック操作により、前記コンピュータ１４に記憶されたところの、点Ｐの最初の座標位置Ｐ₁ （ｘ₁ ，ｙ₁ ）と、１回目のクリックによって点Ｐを移動させたときの座標位置Ｐ₂ （ｘ₂ ，ｙ₂ ）と、測定位置Ｍの座標位置（ｘ_m ，ｙ_m ）とから、Ｘ方向、Ｙ方向の補正係数ｋ_x ，ｋ_y が、それぞれ下式のように求められる。
ｋ_x ＝ｘ_m1／ｘ₂₁＝（ｘ_m −ｘ₁ ）／（ｘ₂ −ｘ₁ ）
ｋ_y ＝ｙ_m1／ｙ₂₁＝（ｙ_m −ｙ₁ ）／（ｙ₂ −ｙ₁ ）
【００２１】
前記Ｘ方向、Ｙ方向の補正係数ｋ_x ，ｋ_y は、コンピュータ１４のメモリに記憶される。
【００２２】
そして、試料５の螢光Ｘ線分析を行うに際し、測定対象箇所を測定位置に移動させるときは、前記マウス１６によって試料像５Ａの所定位置をクリックすると、コンピュータ１４からは、前記メモリに記憶されているＸ方向、Ｙ方向の補正係数ｋ_x ，ｋ_yが読み出され、この読み出されたＸ方向、Ｙ方向の補正係数ｋ_x ，ｋ_yを乗じて算出した距離に見合う信号をステージコントローラ７に出力し、これに基づいて、試料ステージ４がＸ方向、Ｙ方向に移動し、前記測定対象箇所を測定位置に正確に移動させることができる。
【００２３】
その後、一次Ｘ線２を試料５に照射することにより発生する螢光Ｘ線９はＸ線検出器８で検出され、その出力はパルスプロセッサ１２で処理されて、前記測定対象箇所に含まれる元素とその強度を判別する。その後、このパルスプロセッサ１２からの信号はコンピュータ１４に入力され、表示装置１５の画面１５ａには、試料５におけるＸ線マッピング像と前記試料像とが重ね合わせて表示される。
【００２４】
前記補正係数ｋ_x ，ｋ_y は、コンピュータ１４のメモリに登録しておくことにより、以後の測定において繰り返し使用できるものであり、したがって、前記試料像の２回のクリックは、最初の測定位置の指定時にのみ行えばよく、測定前に行う測定位置の指定などの予備操作が極めて簡単になるとともに、非常に短時間で高精度な測定を行うことができる。また、試料ステージ４にスケールなどを設けたりする必要がない。
【００２５】
なお、上記螢光Ｘ線分析装置は、試料５の複数の箇所を順次測定することもでき、その場合、マウス１６によって所望の測定箇所を順次クリックすることにより、それぞれの測定箇所が上記Ｘ線照射位置に移動するように、コンピュータ７に記憶された位置情報信号をステージコントローラ９に送信して試料ステージ３を移動させればよい。
【００２６】
そして、上述の実施の形態においては、試料５に対してＸ線源１からのＸ線２を照射しているが、これに代えて、電子線を試料５に対して照射するようにしてもよい。また、Ｘ線検出器８としては、透過Ｘ線や散乱Ｘ線や回折Ｘ線などをそれぞれ検出するものを適宜選んで設けてもよい。
【００２７】
また、上述の実施の形態においては、測定箇所の指定手段としてマウス１６を用いているが、タッチパネルなどを用いて指定するようにしてもよい。
【００２８】
さらに、この発明は、螢光Ｘ線分析装置に限られるものではなく、他のＸ線分析装置においても同様に適用できることはいうまでもない。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、測定前に行う測定位置の指定などの予備操作が極めて簡単になり、非常に短時間で高精度な測定を行うことができる。また、試料ステージにスケールなどを設けたりする必要がないので、装置全体を複雑化することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のＸ線分析装置の一例を概略的に示す図である。
【図２】前記Ｘ線分析装置の動作説明図である。
【図３】従来技術を説明するための図である。
【符号の説明】
１…放射線源、２…放射線、４…試料ステージ、５…試料、５Ａ…試料像、７…ステージコントローラ、８…Ｘ線検出器、９…特性Ｘ線、１２…パルスプロセッサ、１３…モニター用カメラ、１４…コンピュータ、１５…表示装置、１５ａ…表示画面、Ｍ…画面上の測定位置、Ｐ…測定対象箇所。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention detects characteristic X-rays such as fluorescent X-rays generated in a sample when the sample is irradiated with radiation such as X-rays or electron beams, and analyzes the composition and structure of the sample based on the characteristic X-rays. The present invention relates to an X-ray analyzer.
[0002]
[Prior art]
As a recent fluorescent X-ray analyzer, a sample is placed on a sample stage that can be moved in two directions, the X direction and the Y direction, which are orthogonal to each other. The sample image by the monitor is displayed on a display screen of a display device attached to the computer, and when a predetermined position of the sample image is clicked with a mouse attached to the computer during measurement, the sample is The stage is moved and a sample is moved to practical use so that the predetermined position is located at the X-ray irradiation position (measurement position).
[0003]
However, in the conventional fluorescent X-ray analyzer, the sample stage is not always moved accurately by the click due to an error in the magnification of the image or a mechanical error in the mechanism of the sample stage. In some cases, the measurement target location in the case is not moved to the measurement position.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, conventionally, as shown in FIG. 3, for example, a scale 32 representing the position is provided on the surface of the sample stage 31, and this scale 32 is attached to a computer 33 that controls the entire fluorescent X-ray analyzer. It is generally performed to display the distance on the display screen 34a of the apparatus 34, measure the distance using the scale 32A on the display screen 34a, and correct the distance on the sample stage 31 and the distance on the image. In FIG. 3, reference numeral 35 denotes a sample monitor camera provided above the sample stage 31.
[0005]
However, in the above method, it is necessary to provide the scale 32 on the surface of the sample stage 31, and it is necessary to move the display position or measure the distance on the image every time the magnification rate of the image is changed during measurement. There are disadvantages such as extremely troublesome.
[0006]
The problems as described above are not limited to fluorescent X-ray analyzers, but are similarly occurring in other X-ray analyzers.
[0007]
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and an object of the present invention is to provide an X-ray analyzer capable of performing highly accurate measurement in a very short time while being extremely excellent in operability. is there.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, a sample stage for placing a sample, a radiation source for irradiating the sample with radiation, and X-rays for detecting characteristic X-rays generated in the sample by radiation irradiation by the radiation source A detector, a pulse processor for discriminating elements contained in the sample and their intensities based on the output of the X-ray detector, a computer to which a signal from the pulse processor is input, and a control signal from the computer An X-ray analyzer comprising: a stage controller for moving the sample stage in a predetermined direction based on the monitor; a monitor camera for monitoring the sample; and a display device for displaying an image of the sample by the monitor camera , when specifying the first measurement position, is displayed on the screen of the display device obtained by the monitor camera Is moved toward the measuring position of the screen, click the sample image by the measurement target portion in the sample image are the coordinates of points that click is stored in the computer, then, measured in the moving sample images Click the target location again to store the coordinate position of the clicked point in the computer, and the coordinates of the first click point stored in the computer, the coordinate position of the click point, and the measurement position on the screen again . through the sample stage on the basis of the coordinate positions calculated correction coefficient when moving to the measurement position position to be measured of the sample Rutotomoni, the determined correction coefficient is stored in the memory of the computer, the first measurement position in the measurement after specified, before clicking the position to be measured of the sample image displayed on the screen of the display device It reads out the correction coefficient stored in the memory constitute a control signal commensurate with the distance calculated by multiplying the correction coefficient thus read out so as to output to the stage controller.
[0009]
In the above X-ray analyzer, when the first measurement position is designated, the measurement target portion of the sample image displayed on the screen of the display device attached to the computer is clicked twice, and the point clicked twice Rutotomoni obtain a correction coefficient when through the specimen stage moves the position to be measured of the sample to the measurement position on the basis of the coordinate position of the coordinate position and the measuring position on the screen on the screen, stores it in the memory of a computer is not can Rukoto. Then, at the time of measurement after the designation of the first measurement position, the stored correction coefficient is read by clicking, and the sample stage is moved by the calculated distance multiplied by the read correction coefficient, so that the measurement target location of the sample is determined. It can be moved to the measurement position.
[0010]
The correction coefficient is registered in the computer memory and can be used repeatedly in subsequent measurements. Therefore, the two clicks of the sample image on the screen need only be performed when the first measurement position is designated. Preliminary operations such as designation of a measurement position performed before measurement are extremely simple, and highly accurate measurement can be performed in a very short time. Further, it is not necessary to provide a scale or the like on the sample stage.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows a configuration of a fluorescent X-ray analyzer as an X-ray analyzer according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an X-ray source as a radiation source. X-rays (primary X-rays) 2 are irradiated to a measurement target portion of the sample 5 placed on the sample stage 4 via the collimator 3. A power supply unit 6 supplies an appropriate power source to the X-ray source 1. The sample stage 4 is moved in the X direction (left and right direction in the figure), Y direction (direction perpendicular to the paper surface), and Z direction (up and down direction along the paper surface) by a stage controller 7 that receives a command from a computer (described later). It is configured to move appropriately.
[0012]
Reference numeral 8 denotes an X-ray detector for detecting characteristic X-rays generated when the sample 5 is irradiated with primary X-rays 2 from the X-ray source 1, for example, fluorescent X-rays 9. For example, it is provided at the tip of the housing 11 connected to the tank 10 containing the cooling medium. A pulse processor 12 processes the output of the X-ray detector 8 and discriminates the elements contained in the sample 5 and their intensities. The output of the pulse processor 12 is input to a computer (described later).
[0013]
Reference numeral 13 denotes a monitoring camera such as a CCD camera for monitoring the image of the sample 5 and is provided above the sample stage 4. The output of the monitor camera 13 is input to a computer (described later).
[0014]
Reference numeral 14 denotes a computer, 15 and 16 denote a color display as a display device connected to the computer 14 and a mouse as an input device. The computer 14 has a function of controlling the entire fluorescent X-ray analyzer and performing various calculations and image processing. The computer 14 outputs control signals to the power supply unit 6 and the stage controller 7, and from the pulse processor 12. An element mapping image is obtained by performing an operation based on this signal, and this element mapping image and the sample image from the monitor camera 13 are superimposed on the same screen to perform image processing, and this is performed on the screen 15a of the color display 15. Display above.
[0015]
In the fluorescent X-ray analyzer, the X-ray path from the X-ray source 1 to the sample stage 4, the sample stage 4, the X-ray detector 8, the monitor camera 13 and the like are provided in an appropriate vacuum space. ing. The configuration so far is not different from that of a conventional fluorescent X-ray analyzer.
[0016]
The operation of the fluorescence X-ray analysis apparatus having the above configuration will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows a display screen 15a of the display device 15 and a sample image 5A displayed on the display screen 15a. Now, as shown in FIG. 5A , a measurement target location (or a characteristic location in the sample 5) in the sample image 5A is a location indicated by a symbol P.
[0017]
At the time specified in the first measurement position, first, by operating the mouse 16, as shown in FIG. 2 (B), click (first time) the point P. The coordinates of the point P at this time (which correspond to the directions X and Y on the sample stage 4) are, for example, P ₁ (x ₁ , y ₁ ), and this coordinate position (x ₁ , y ₁ ) is It is stored in the computer 14.
[0018]
By the first click, the point P ₁ moves toward the measurement position M (x _m , y _m ). However, as shown in FIG. Does not move to the measurement position M (the measurement position M may correspond to the X-ray irradiation position on the sample stage 4). It indicates a point after the movement in P _2.
[0019]
Then, by operating the mouse 16, as shown in FIG. 2 (D), to click on the point P ₂ again (second time). The coordinates of the point P _{2 at} this time are, for example, (x ₂ , y ₂ ), and this coordinate position (x ₂ , y ₂ ) is stored in the computer 14.
[0020]
The first coordinate position P ₁ (x ₁ , y ₁ ) of the point P stored in the computer 14 by the above two click operations and the coordinates when the point P is moved by the first click and the position _{_{_{P 2 (x 2, y 2}}} ), from the coordinate position of the measurement position _{_{M (x m, y m)}} , X -direction, Y-direction of the correction coefficient k _x, k _y is calculated by the following equation, respectively It is done.
_{_{_{k x = x m1 / x 21}}} = (x m -x 1) / (x 2 -x 1)
_{_{_{k y = y m1 / y 21}}} = (y m -y 1) / (y 2 -y 1)
[0021]
The X direction, Y direction correction coefficient k _x, k _y is stored in the memory of the computer 14.
[0022]
Then, when performing the fluorescent X-ray analysis of the sample 5, when moving the measurement target position to the measurement position, clicking on a predetermined position of the sample image 5A with the mouse 16 causes the computer 14 to store it in the memory. and has the X-direction, Y-direction of the correction coefficient k _x, k _y are read, the read X-direction, stage a signal commensurate with the distance calculated by multiplying the correction coefficient in the Y direction k _x, k _y controller 7, based on this, the sample stage 4 moves in the X direction and the Y direction, and the measurement target location can be accurately moved to the measurement position.
[0023]
Thereafter, the fluorescent X-ray 9 generated by irradiating the sample 5 with the primary X-ray 2 is detected by the X-ray detector 8, and its output is processed by the pulse processor 12, so that the element included in the measurement target location And its strength. Thereafter, the signal from the pulse processor 12 is input to the computer 14, and the X-ray mapping image of the sample 5 and the sample image are displayed on the screen 15 a of the display device 15 in a superimposed manner.
[0024]
The correction coefficient k _x, k _y, by registering in the memory of the computer 14, which can be used repeatedly in the subsequent measurements, therefore, two clicks of the sample images, the first measurement position Preliminary operations such as designation of the measurement position to be performed before measurement are extremely simple, and highly accurate measurement can be performed in a very short time. Further, it is not necessary to provide a scale or the like on the sample stage 4.
[0025]
The fluorescent X-ray analyzer can also sequentially measure a plurality of locations on the sample 5. In this case, by sequentially clicking a desired measurement location with the mouse 16, each measurement location becomes the X-ray. The sample stage 3 may be moved by transmitting the position information signal stored in the computer 7 to the stage controller 9 so as to move to the irradiation position.
[0026]
In the above-described embodiment, the sample 5 is irradiated with the X-ray 2 from the X-ray source 1. Instead, the sample 5 may be irradiated with the electron beam. Good. In addition, as the X-ray detector 8, a detector that detects transmitted X-rays, scattered X-rays, diffracted X-rays, and the like may be appropriately selected and provided.
[0027]
In the above-described embodiment, the mouse 16 is used as means for specifying the measurement location, but it may be specified using a touch panel or the like.
[0028]
Furthermore, it goes without saying that the present invention is not limited to a fluorescent X-ray analyzer, but can be applied to other X-ray analyzers as well.
[0029]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the preliminary operation such as the designation of the measurement position performed before the measurement becomes extremely simple, and the highly accurate measurement can be performed in a very short time. Further, since it is not necessary to provide a scale or the like on the sample stage, the entire apparatus is not complicated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of an X-ray analyzer according to the present invention.
FIG. 2 is an operation explanatory diagram of the X-ray analysis apparatus.
FIG. 3 is a diagram for explaining a conventional technique.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Radiation source, 2 ... Radiation, 4 ... Sample stage, 5 ... Sample, 5A ... Sample image, 7 ... Stage controller, 8 ... X-ray detector, 9 ... Characteristic X-ray, 12 ... Pulse processor, 13 ... Monitor Camera, 14 ... Computer, 15 ... Display device, 15a ... Display screen, M ... Measurement position on screen, P ... Measurement location.

Claims

A sample stage on which the sample is placed, a radiation source that irradiates the sample with radiation, an X-ray detector that detects characteristic X-rays generated in the sample by radiation irradiation from the radiation source, and an output of the X-ray detector A pulse processor that discriminates the elements contained in the sample and their intensities based on the signal, a computer to which a signal from the pulse processor is input, and the sample stage is moved in a predetermined direction based on a control signal from the computer In an X-ray analyzer comprising a stage controller for monitoring, a monitor camera for monitoring an image of the sample, and a display device for displaying a sample image by the monitor camera, when the first measurement position is designated, position to be measured in the sample image displayed on the screen of the resulting the display device by the monitor camera Click the sample image is moved toward the measuring position on the screen, the coordinate position of points that click is stored in the computer, then, the click position to be measured in the moving sample image by clicking again The coordinate position of the selected point is stored in the computer, and the sample stage is based on the coordinate position of the first click point stored in the computer, the coordinate position of the click point again, and the coordinate position of the measurement position on the screen. through a correction coefficient is obtained for moving the position to be measured of the sample to the measurement position Rutotomoni, the determined correction coefficient is stored in the memory of the computer, in the measurement after the specified first measurement position, the display Click the measurement target location on the sample image displayed on the instrument screen to read the correction coefficient stored in the memory. Out, X-rays analysis apparatus, wherein a control signal commensurate with the distance calculated by multiplying the correction coefficient thus read out and configured to output to the stage controller.

The correction coefficient is, {(the coordinate position of the measurement position on the screen) - (the first coordinate position of a point clicked on)} / {(coordinates of the clicked point again) - (coordinates of the point clicked first) } The X-ray analyzer according to claim 1, which is calculated by the following formula .