JP2900086B2 - X-ray fluorescence analyzer - Google Patents
X-ray fluorescence analyzerInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は螢光Ｘ線分析装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a fluorescent X-ray analyzer.
第３図は従来までの螢光Ｘ線分析装置を示し、同図に
おいて、Ｘ線管１からの一次Ｘ線がコリメータ２を介し
て試料ステージ３上の試料４の一部に照射され、螢光Ｘ
線を発生する。この螢光Ｘ線はたとえば半導体検出器
（SSD）よりなるＸ線検出器５で検出される。上記Ｘ線
検出器５からの出力はパルスプロセッサ６で処理され、
試料中に含まれる元素とその強度を判別する。その後、
このパルスプロセッサ６からの信号はコンピュータ７に
入力され、画像処理装置８にて画像表示を行う。FIG. 3 shows a conventional fluorescent X-ray analyzer, in which primary X-rays from an X-ray tube 1 are applied to a part of a sample 4 on a sample stage 3 via a collimator 2 to emit fluorescent light. Light X
Generate a line. This fluorescent X-ray is detected by an X-ray detector 5 composed of, for example, a semiconductor detector (SSD). The output from the X-ray detector 5 is processed by a pulse processor 6,
The elements contained in the sample and their intensities are determined. afterwards,
The signal from the pulse processor 6 is input to the computer 7 and the image is displayed on the image processing device 8.
試料４における測定点の指定は、試料４の上方に設け
られたテレビカメラ11によって試料４を撮像し、その試
料像をテレビモニタ12に表示することにより試料４の一
部を目視確認できるようにしておく。その後、試料ステ
ージ３を所定の方向に移動させるステージコントローラ
９をたとえばジョイスティック10などを操作することに
より試料ステージ３を移動させ、前記Ｘ線が照射される
位置（ここではテレビモニタ12にあらかじめ設けられた
スケール13の中心）に試料４の測定点を移動させてその
部分の測定を行う。The measurement point of the sample 4 is specified by photographing the sample 4 with a television camera 11 provided above the sample 4 and displaying the sample image on a television monitor 12 so that a part of the sample 4 can be visually confirmed. Keep it. Thereafter, the sample stage 3 is moved by operating the stage controller 9 for moving the sample stage 3 in a predetermined direction, for example, by operating a joystick 10 or the like. The measurement point of the sample 4 is moved to the center of the scale 13), and the portion is measured.
また、測定点が複数ある場合には、あらかじめそれぞ
れの測定点をジョイスティック10の操作により試料ステ
ージ３を移動させて、各測定点の位置を試料ステージ３
のＸ−Ｙ位置としてコンピュータ７に記憶させておき、
測定時にはコンピュータ７に記憶された位置毎に再び試
料ステージ３を移動させて測定をおこなう。If there are a plurality of measurement points, the sample stage 3 is moved in advance by operating the joystick 10 so that the position of each measurement point is
Is stored in the computer 7 as the XY position of
At the time of measurement, measurement is performed by moving the sample stage 3 again for each position stored in the computer 7.
しかしながら、測定点が複数ある場合には、１回１回
試料ステージ３を移動させてその都度コンピュータ７に
各測定点をメモリーしなければならず、また、測定点の
確認や修正を行う場合にも試料ステージ３を移動させる
必要があり非常に時間のかかる作業であった。さらに、
テレビモニタ12に表示される試料像と設定した複数の測
定点を同時に見ることができないので極めて操作性が悪
かった。However, when there are a plurality of measurement points, the sample stage 3 must be moved once and each measurement point must be stored in the computer 7 each time. This also required moving the sample stage 3 and was a very time-consuming operation. further,
Since the sample image displayed on the television monitor 12 and a plurality of set measurement points cannot be simultaneously viewed, the operability was extremely poor.
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、そ
の目的とするところは、極めて操作性に優れるととも
に、非常に短時間で高精度な測定を行える螢光Ｘ線分析
装置を提供することにある。The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and an object of the present invention is to provide a fluorescent X-ray analyzer that is extremely excellent in operability and can perform highly accurate measurement in a very short time. It is in.
上述の目的を達成するため、本発明に係る螢光Ｘ線分
析装置は、測定点の指定時、前記テレビカメラによって
得られる試料像が表示されている画像処理装置の画面上
において試料における測定点を指定し、この指定された
測定点の位置情報をコンピュータに記憶させるととも
に、前記画面上に前記測定点を表示し、測定時、前記コ
ンピュータに記憶された測定点の位置情報に基づいて試
料ステージを自動的に移動させて前記試料の測定点を一
次Ｘ線照射位置にまで移動させ、その状態で一次Ｘ線照
射を行うようにしている（請求項１）。In order to achieve the above object, the X-ray fluorescence spectrometer according to the present invention, when a measurement point is designated, a measurement point on a sample is displayed on a screen of an image processing apparatus on which a sample image obtained by the television camera is displayed. Specifying, and storing the position information of the specified measurement point in the computer, displaying the measurement point on the screen, at the time of measurement, the sample stage based on the position information of the measurement point stored in the computer Is automatically moved to move the measurement point of the sample to the primary X-ray irradiation position, and primary X-ray irradiation is performed in that state (claim 1).
また、本発明に係る螢光Ｘ線分析装置は、テレビカメ
ラによって得られる試料像と前記コンピュータからの螢
光Ｘ線元素マッピング像とを、前記画像処理装置におい
て同一の画面に重ね合わせて表示するようにしている
（請求項３）。Further, the fluorescent X-ray analyzer according to the present invention displays a sample image obtained by a television camera and a fluorescent X-ray element mapping image from the computer in a superimposed manner on the same screen in the image processing apparatus. (Claim 3).
請求項１に記載の螢光Ｘ線分析装置によれば、測定点
が単一のときは勿論のこと、測定点が複数ある場合にお
いても試料ステージを移動させることなく測定点の設定
ができ、且つ、試料像と設定した複数の測定点を同一画
面上で観察できるため設定時間が大幅に短縮するととも
に操作性が向上する。According to the X-ray fluorescence spectrometer according to the first aspect, it is possible to set the measurement points without moving the sample stage, not only when there is a single measurement point, but also when there are a plurality of measurement points, In addition, since a plurality of measurement points set as the sample image can be observed on the same screen, the setting time is greatly reduced and the operability is improved.
また、請求項３に記載の螢光Ｘ線分析装置によれば、
データ解析が容易になるとともに、高精度な測定が行え
る。According to the fluorescent X-ray analyzer of the third aspect,
Data analysis becomes easy, and high-precision measurement can be performed.
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第１図は本発明に係る螢光Ｘ線分析装置の一例を示
し、この図において、第３図に示す符号と同一のものは
同一物または相当物を示す。FIG. 1 shows an example of a fluorescent X-ray analyzer according to the present invention, in which the same reference numerals as those shown in FIG. 3 denote the same or corresponding components.
ここで、この螢光Ｘ線分析装置が従来の螢光Ｘ線分析
装置と大きく異なる点は、テレビカメラ11からの信号と
コンピュータ７からの信号とをスーパーインポーズ装置
14に入力し、これらの信号を画像処理装置８に入力して
テレビカメラ11による試料像とコンピュータ７からの画
像を同一の画面上に重ね合わせるようにした点である。Here, this fluorescent X-ray analyzer differs greatly from the conventional fluorescent X-ray analyzer in that a signal from the television camera 11 and a signal from the computer 7 are superimposed.
14 and these signals are input to the image processing device 8 so that the sample image from the television camera 11 and the image from the computer 7 are superimposed on the same screen.
即ち、テレビカメラ11で捉えた試料像の一部をスーパ
ーインポーズ装置14に入力し、その後、画像処理装置８
で画像表示を行い、その同一画面上にコンピュータ７か
らの信号による画像をスーパーインポーズ装置14を介し
て重ね合わせているのである。That is, a part of the sample image captured by the television camera 11 is input to the superimposition device 14, and then the image processing device 8
, And an image based on a signal from the computer 7 is superimposed on the same screen via the superimposing device 14.
第２図は画像処理装置８における上記画像の表示状態
を示し、同図においてＡは試料４に照射される一次Ｘ線
の照射位置を示し、Ｂはコンピュータ画像におけるカー
ソル位置を示す。なお、本実施例ではカーソル位置Ｂの
移動手段として例えばマウス15を用い、このマウス15の
移動に対応してカーソル位置Ｂが移動するようにしてあ
る。FIG. 2 shows a display state of the above image in the image processing device 8, in which A shows the irradiation position of the primary X-ray irradiated on the sample 4, and B shows the cursor position in the computer image. In this embodiment, for example, a mouse 15 is used as a moving means of the cursor position B, and the cursor position B moves in response to the movement of the mouse 15.
次に測定点を指定するには、あらかじめ設けられた測
定枠Ｍ内において、上記マウス15によりカーソル位置Ｂ
を測定点に移動させ、その位置でマウス15のボタンを操
作することによりコンピュータ７に信号を送り、その位
置をコンピュータ７に記憶させると同時に画面上に測定
点Ｃとして表示を行う。そして、複数箇所について測定
を行う場合には他の測定点Ｃについても同様に、順次コ
ンピュータ７に記憶させていく。Next, in order to specify a measurement point, the mouse 15 is used to move the cursor position B within the measurement frame M provided in advance.
Is moved to the measurement point, and a signal is sent to the computer 7 by operating the button of the mouse 15 at that position, and the position is stored in the computer 7 and simultaneously displayed on the screen as the measurement point C. When the measurement is performed at a plurality of locations, the other measurement points C are similarly sequentially stored in the computer 7.
そして測定時には、指定された順番にそれぞれの測定
点Ｃが上記一次Ｘ線照射位置Ａに移動するように、コン
ピュータ７に記憶された位置情報信号をステージコント
ローラ９に送信して試料ステージ３を移動させる。その
後、一次Ｘ線を試料４に照射することにより発生する螢
光Ｘ線はたとえば半導体検出器（SSD）よりなるＸ線検
出器５で検出され、その出力はパルスプロセッサー６で
処理されて、それぞれの測定点に含まれる元素とその強
度を判別する。その後、このパルスプロセッサー６から
の信号はコンピュータ７に入力され、スーパーインポー
ズ装置14を介して画像処理装置８で画像表示を行うこと
により、試料４におけるＸ線マッピング像を前記試料像
と重ね合わせて見ることも可能となる。Then, at the time of measurement, the sample stage 3 is moved by transmitting the position information signal stored in the computer 7 to the stage controller 9 so that each measurement point C moves to the primary X-ray irradiation position A in the designated order. Let it. Thereafter, fluorescent X-rays generated by irradiating the sample 4 with primary X-rays are detected by an X-ray detector 5 composed of, for example, a semiconductor detector (SSD), and the output thereof is processed by a pulse processor 6. The element contained in the measurement point and its intensity are determined. Thereafter, the signal from the pulse processor 6 is input to the computer 7, and the image is displayed by the image processing device 8 via the superimposing device 14, whereby the X-ray mapping image on the sample 4 is superimposed on the sample image. It is also possible to see.
なお、その他の測定方法として画像処理装置８の画面
上にラインを引き、そのライン上を任意に分割指定する
ことにより測定を行うこともできる。また、同一パター
ンの試料がある場合にはすでにコンピュータ７に記憶さ
れた測定点のコピーを行うことも可能である。As another measurement method, measurement can be performed by drawing a line on the screen of the image processing device 8 and arbitrarily dividing and specifying the line. Further, when there is a sample having the same pattern, it is possible to copy the measurement points already stored in the computer 7.
以上、本実施例では測定点Ｃの指定方法としてマウス
15を用いたが、キーボード操作等によるマニュアル操作
によっても行えることは云うまでもない。As described above, in the present embodiment, the mouse
Although 15 was used, it is needless to say that it can be performed by manual operation such as keyboard operation.
以上説明したように、本発明によれば、測定点が単一
のときは勿論のこと、測定点が複数ある場合においても
試料ステージを移動させることなく測定点の設定がで
き、且つ、試料像と設定した複数の測定点を同一画面上
で観察できるため設定時間が大幅に短縮するとともに操
作性が向上する。As described above, according to the present invention, measurement points can be set without moving the sample stage, even when there are a plurality of measurement points, as well as when there is a single measurement point. Can be observed on the same screen, the set time is greatly reduced and the operability is improved.
また、試料像とＸ線マッピング像を同一画面上に重ね
合わせることができるためデータ解析が容易になるとと
もに高精度な測定を行うことができる。Further, since the sample image and the X-ray mapping image can be superimposed on the same screen, data analysis becomes easy and high-precision measurement can be performed.
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
は螢光Ｘ線分析装置を示す全体構成図、第２図はスーパ
ーインポーズ画面を示す図である。 第３図は従来の螢光Ｘ線分析装置を示す全体構成図であ
る。 １……Ｘ線管、３……試料ステージ、４……試料、５…
…Ｘ線検出器、６……パルスプロセッサ、７……コンピ
ュータ、８……画像処理装置、９……ステージコントロ
ーラ、11……テレビカメラ。1 and 2 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is an overall configuration diagram showing a fluorescent X-ray analyzer, and FIG. 2 is a diagram showing a superimpose screen. FIG. 3 is an overall configuration diagram showing a conventional fluorescent X-ray analyzer. 1 ... X-ray tube, 3 ... Sample stage, 4 ... Sample, 5 ...
... X-ray detector, 6 ... Pulse processor, 7 ... Computer, 8 ... Image processing device, 9 ... Stage controller, 11 ... TV camera.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−102440（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−57885（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−261275（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−302800（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−73834（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−116808（ＪＰ，Ｕ) 福本夏生 他５名，「蛍光Ｘ線元素マ ッピング法による生体試料の分析」，Ｘ 線分析の進歩，1987，Ｖｏｌ．18，ｐ ｐ．233−243 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 23/223 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-102440 (JP, A) JP-A-63-57885 (JP, A) JP-A-60-261275 (JP, A) JP-A-1- 302800 (JP, A) JP-A-3-73834 (JP, A) Japanese Utility Model Application Sho 59-116808 (JP, U) Fukumoto Natsuo et al., "Analysis of biological samples by fluorescent X-ray element mapping method", X Advances in Line Analysis, 1987, Vol. 18, p.p. 233−243 (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G01N 23/223
Claims (3)
にＸ線を照射するＸ線管と、該Ｘ線照射により前記試料
において生ずる螢光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、この
Ｘ線検出器の出力に基づいて試料中に含まれる元素とそ
の強度を判別するパルスプロセッサと、このパルスプロ
セッサからの信号が入力されるコンピュータと、このコ
ンピュータの出力を処理して画像表示する画像処理装置
と、前記コンピュータからの制御信号に基づいて前記試
料ステージを所定の方向に移動させるステージコントロ
ーラと、前記試料の像をモニターするためのテレビカメ
ラとからなる螢光Ｘ線分析装置において、測定点の指定
時、前記テレビカメラによって得られる試料像が表示さ
れている画像処理装置の画面上において試料における測
定点を指定し、この指定された測定点の位置情報をコン
ピュータに記憶させるとともに、前記画面上に前記測定
点を表示し、測定時、前記コンピュータに記憶された測
定点の位置情報に基づいて試料ステージを自動的に移動
させて前記試料の測定点を一次Ｘ線照射位置にまで移動
させ、その状態で一次Ｘ線照射を行うようにしたことを
特徴とする螢光Ｘ線分析装置。An X-ray tube for irradiating the sample with X-rays; an X-ray detector for detecting fluorescent X-rays generated in the sample by the X-ray irradiation; A pulse processor that determines the elements contained in the sample and their intensities based on the output of the X-ray detector, a computer to which signals from the pulse processor are input, and an image that processes the output of the computer and displays an image In a fluorescent X-ray analyzer comprising: a processing device; a stage controller for moving the sample stage in a predetermined direction based on a control signal from the computer; and a television camera for monitoring an image of the sample. When a point is specified, a measurement point on the sample is specified on the screen of the image processing apparatus on which the sample image obtained by the television camera is displayed. While storing the position information of the designated measurement point in the computer, the measurement point is displayed on the screen, and at the time of measurement, the sample stage is automatically moved based on the position information of the measurement point stored in the computer. The fluorescent X-ray analyzer is characterized in that the measurement point of the sample is moved to a primary X-ray irradiation position and primary X-ray irradiation is performed in that state.
マウスによって行うようにした請求項（１）に記載の螢
光Ｘ線分析装置。2. The X-ray fluorescence analyzer according to claim 1, wherein the measurement points are designated by a mouse connected to a computer.
にＸ線を照射するＸ線管と、該Ｘ線照射により前記試料
において生ずる螢光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、この
Ｘ線検出器の出力に基づいて試料中に含まれる元素とそ
の強度を判別するパルスプロセッサと、このパルスプロ
セッサからの信号が入力されるコンピュータと、このコ
ンピュータの出力を処理して画像表示する画像処理装置
と、前記コンピュータからの制御信号に基づいて前記試
料ステージを所定の方向に移動させるステージコントロ
ーラと、前記試料の像をモニターするためのテレビカメ
ラとからなる螢光Ｘ線分析装置において、前記テレビカ
メラによって得られる試料像と前記コンピュータからの
螢光Ｘ線元素マッピング像とを、前記画像処理装置にお
いて同一の画面に重ね合わせて表示することを特徴とす
る螢光Ｘ線分析装置。3. A sample stage for mounting a sample, an X-ray tube for irradiating the sample with X-rays, an X-ray detector for detecting fluorescent X-rays generated in the sample by the X-ray irradiation, A pulse processor that determines the elements contained in the sample and their intensities based on the output of the X-ray detector, a computer to which signals from the pulse processor are input, and an image that processes the output of the computer and displays an image A fluorescence X-ray analyzer comprising: a processing device; a stage controller for moving the sample stage in a predetermined direction based on a control signal from the computer; and a television camera for monitoring an image of the sample. A sample image obtained by a television camera and a fluorescent X-ray element mapping image from the computer are displayed on the same screen in the image processing apparatus. X-ray Fluorescence analyzer and displaying it together.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP30586590A JP2900086B2 (en) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | X-ray fluorescence analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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| JPH04175648A JPH04175648A (en) | 1992-06-23 |
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ID=17950289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30586590A Expired - Lifetime JP2900086B2 (en) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | X-ray fluorescence analyzer |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2900086B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207908A (en) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Rigaku Industrial Co | Fluorescent x-ray analyzer |
Families Citing this family (5)
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| JP4136635B2 (en) * | 2002-12-11 | 2008-08-20 | 株式会社島津製作所 | Analysis equipment |
| GB2428868B (en) * | 2005-10-28 | 2008-11-19 | Thermo Electron Corp | Spectrometer for surface analysis and method therefor |
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-
1990
- 1990-11-08 JP JP30586590A patent/JP2900086B2/en not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 福本夏生 他５名，「蛍光Ｘ線元素マッピング法による生体試料の分析」，Ｘ線分析の進歩，１９８７，Ｖｏｌ．１８，ｐｐ．２３３−２４３ |
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| JP2005207908A (en) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Rigaku Industrial Co | Fluorescent x-ray analyzer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04175648A (en) | 1992-06-23 |
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