JP3654626B2 - 電磁誘導型位置検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、第1の部材と第2の部材との間の電磁結合を利用して両部材の相対位置を検出する電磁誘導型位置検出装置に関し、特にコイルの断線等の故障検出方式に関する。
【0002】
【従来の技術】
検出ヘッド(第1の部材)とスケール(第2の部材)との間の電磁結合を利用した従来の電磁誘導型位置検出装置は、駆動コイルと受信コイルとを設けた検出ヘッドと、これに対して相対移動して駆動コイルからの発生磁束を変調する閉ループコイル等の変調手段を形成したスケールとから構成される。駆動コイルを交流駆動したときに発生される一次変動磁束は、スケールにより変調されて所定周期の磁気パターンを形成する。この磁気パターンは検出ヘッド側の受信コイルと結合される。これにより、受信コイルには、スケールの移動に応じて変化する誘導電圧が生じる。この誘導電圧の変化を計数することにより、検出ヘッドに対するスケールの相対移動距離が検出できる。また、磁気パターンの周期を異ならせた複数の位置検出トラックを設け、各トラックの受信コイルで検出された誘導電圧のトラック間の位相差を検出することで、絶対的な位置検出が可能になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述した電磁誘導型位置検出装置では、コイルの断線による誤動作を検出することができず、誤った位置を検出しているにも拘わらず、操作者にそれを報知する手段が存在しなかった。また、スケールの断線による誤動作は、その変化が微量なため、安定かつ確実に検出することは困難であった。
【0004】
本発明は、かかる問題点に鑑みなされたもので、コイルの断線等の故障発生を安定且つ確実に検出することきができ、これにより正確な位置検出を可能にする電磁誘導型位置検出装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る第1の電磁誘導型位置検出装置は、複数のトラックを備えた電磁誘導型位置検出装置において、各トラックに多相の受信信号を検出する複数の受信コイルを備える共に、各トラック間の多相の受信信号の信号強度の差が所定値を超えたときに故障発生と判定してこれを報知する故障検出報知手段を備えてなることを特徴とする。
【0006】
本発明に係る第2の電磁誘導型位置検出装置は、複数のトラックを備えた電磁誘導型位置検出装置において、各トラックに多相の受信信号を検出する複数の受信コイルを備える共に、各トラック間の多相の受信信号の信号強度の比が所定値を超えたときに故障発生と判定してこれを報知する故障検出報知手段を備えたことを特徴とする。
【0007】
また、本発明に係る第3の電磁誘導型位置検出装置は、複数のトラックを備えた電磁誘導型位置検出装置において、各トラックに多相の受信信号を検出する複数の受信コイルを備える共に、イベント発生時の各トラックの多相の受信信号の信号強度を記憶して、この信号強度で正規化された各トラックの多相の受信信号の信号強度から故障発生を検出しこれを報知する故障検出報知手段を備えてなることを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、コイルの断線等の故障発生時に生じるトラック間の多相の受信信号の振幅バランスの崩れを検出して故障報知を行うようにしているので、極めて簡単な演算で操作者に故障の発生を知らせることができ、異常状態での測定を防止して常に正確な測定が可能になる。しかもこの発明の場合、第1の部材と第2の部材との間のギャップが変動した場合でも、その振幅レベルの変化はトラック間では同じ変化として現れるので、検出精度に影響が現れない。
【0009】
トラック間の振幅バランスは、例えばトラック間の信号強度の差や比によって監視することができる。また、何らかのイベント発生時に信号強度を記憶しておき、この記憶された信号強度で各トラックの多相の受信信号の信号強度を正規化するようにすれば、個々の製品毎の信号強度のバラツキに影響されることなく、常に精度の良い故障検出が可能になる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照してこの発明の好ましい実施の形態について説明する。 図1は、この発明の一実施例に係る電磁誘導型位置検出装置の要部を示す図である。
この装置は、所定ギャップを介して対向配置され、図中X軸方向に相対移動する第1部材である検出ヘッド1と第2部材であるスケール2とを有する。検出ヘッド1及びスケール2の図中下半分は第1トラックTr1を構成し、上半分は第2トラックTr2を構成する。
【0011】
検出ヘッド1の第1トラックTr1の部分は、ヘッド基板10上に形成された一対の駆動コイル11a,11bと、これら駆動コイル11a,11bの間に配置された受信コイル12とからなる。駆動コイル11a,11bは、X軸方向に延びる矩形パターンからなり、例えば駆動コイル11aが反時計回り、駆動コイル11bが時計回りというように、互いに反対回りに電流を流すように相互に結線されている。受信コイル12は、ヘッド基板10の両面に形成されたパターン13a,13bとこれらパターン13a,13bを接続する貫通配線14とからなる基本周期λ1の正負の正弦波形パターンによって、ヘッド基板10のX軸方向に周期λ1で繰り返される検出ループを形成している。この例では、受信コイル12は、X軸方向に空間位相をずらした3相の受信コイル12a,12b,12cからなる。これら受信コイル12a〜12cは、例えばスター結線されている。
【0012】
検出ヘッド1の第2トラックTr2の部分も、基本周期がλ1よりも僅かに短いλ2である点を除いて、第1トラックTr1と同様に形成されている。第2トラックTr2の駆動コイル21a,21bは、第1トラックTr1の駆動コイル11a,11bに対応し、第2トラックTr2の受信コイル22,22a,22b,22cは、第1トラックTr1の受信コイル12,12a,12b,12cに対応し、第2トラックTr2のパターン23a,23b及び貫通配線24は、第1トラックTr1のパターン13a,13b及び貫通配線14に対応する。
【0013】
一方、スケール2の第1トラックTr1の部分は、板状の樹脂基板30上に磁気変調手段としての結合コイル31a,31bをX軸方向に交互に配置してなる。結合コイル31aは、基本周期λ1で配列された閉ループコイルであり、検出ヘッド1の駆動コイル11aと磁気結合される第1ループ部32aと、検出ヘッド1の受信コイル12と磁気結合される第2ループ部33aとを有する。結合コイル31bは、結合コイル31aと位相を180゜異ならせて配列された閉ループコイルからなり、検出ヘッド1の駆動コイル11bと磁気結合される第1ループ部32bと、検出ヘッド1の受信コイル12と磁気結合される第2ループ部33bとを有する。
【0014】
スケール2の第2トラックTr2の部分も、基本周期がλ1よりも僅かに短いλ2である点を除いて、第1トラックTr1と同様に形成されている。第2トラックTr2の結合コイル41a,41bは、第1トラックTr1の結合コイル31a,31bに対応し、第2トラックTr2の第1ループ42a,42b及び第2ループ部43a,43bは、第1トラックTr1の第1ループ部32a,32b及び第2ループ部33a,33bにそれぞれ対応する。
【0015】
検出ヘッド1の駆動コイル11a,11b,21a,21bには、送信信号発生器からの単相交流の送信信号が供給される。これにより、ある時刻では駆動コイル11a,21aには反時計回り、駆動コイル11b,21bには時計回りで電流が流れる。この結果、駆動コイル11a,21aには、紙面からこちら側に向かう向きの一次変動磁束が発生し、駆動コイル11b,21bには、紙面から向こう側に向かう向きの一次変動磁束が発生する。駆動コイル11a,21aで発生された一次変動磁束は、スケール2の結合コイル31a,41aの第1ループ部32a,42aとそれぞれ鎖交し、電磁誘導により結合コイル31a,41aに時計回りの電流を生じさせる。これにより、第2ループ部33a,43aには、紙面から向こう側に向かう二次変動磁束が発生する。一方、駆動コイル11b,21bで発生された一次変動磁束は、スケール2の結合コイル31b,41bの第1ループ部32b,42bとそれぞれ鎖交し、電磁誘導により結合コイル31b,41bに反時計回りの電流を生じさせる。これにより、第2ループ部33b,43bには、紙面からこちら側に向かう二次変動磁束が発生する。従って、これら第2ループ部33a,33b及び43a,43bによって交互に向きが異なる二次変動磁束による周期λ1、λ2の磁気パターンが形成される。この磁気パターンを形成する二次変動磁束は、受信コイル12,22と磁気結合される。
【0016】
図2は、スター結線された第1トラックTr1の受信コイル12a,12b,12cと、各相電圧Va1,Vb1,Vc1との関係を示している。ここで同様に第2トラックTr2の各相電圧をVa2,Vb2,Vc2とすると、これらの電圧は、第3図に示すように、検出ヘッド1とスケール2の相対位置に応じて120゜位相差の3相交流波形に沿って変化する。変化の周期は、第1トラックTr1ではλ1となり、第2トラックTr2ではλ2となる。
【0017】
これらの各相電圧は、受信信号処理回路52で処理され、コントロールユニット53で、スケール2に対する検出ヘッド1の絶対的な位置が求められると共に、故障検出処理がなされる。図4は、受信信号処理回路52とコントロールユニット53の要部を示すブロック図である。各相電圧は、受信信号処理回路52の増幅器61で所定レベルまで増幅され、A/D変換器62でA/D変換されたのち、コントロールユニット53の位置算出部71及び故障検出報知部72に供給される。位置算出部71では、各相電圧Va1,Vb1,Vc1,Va2,Vb2,Vc2から、例えば以下のような演算処理を行って位相角θ1,θ2を求め、位置を算出する。即ち、3相電圧Va1,Vb1,Vc1及びVa2,Vb2,Vc2を2相信号(X1,Y1)及び(X2,Y2)に変換し、2相信号の逆タンジェントから位相角θ1,θ2を算出する。
【0018】
【数1】
X1=(1/3)*(2Va1−Vb1+Vc1)
Y1=(1/3)*(Vc1−Vb1)
θ1= tan-1(Y1/X1)
【0019】
【数2】
X2=(1/3)*(2Va2−Vb2+Vc2)
Y2=(1/3)*(Vc2−Vb2)
θ2= tan-1(Y2/X2)
【0020】
ここで、全測定範囲で、第1トラックTr1と第2トラックTr2とが丁度波数1だけ異なる関係となっていると、θ1とθ2との位相差Δθ=θ1−θ2からθ1の波数Nを求めることができる。また、θ1を内挿し、最小分解能の位置を得る。これにより、位置検出値の絶対値は、
【0021】
【数3】
絶対値=(N+θ1/2π)×λ1
【0022】
で求めることができる。この絶対値は、表示部73に表示される。
【0023】
各トラックの3相電圧は、故障検出報知部72にも供給されている。故障検出報知部72は、以下に述べる方法によりコイルの断線等の故障を検出し、アラームを発生する。なお、これらの方法は、それ単独で用いられても良いし、複数の方法による検出結果を論理演算(例えば論理和)して検出結果とするようにしても良い。
【0024】
(1)3相電圧の単純和
3相電圧Va1,Vb1,Vc1及びVa2,Vb2,Vc2の和は、正常状態では理想的には零になる。従って、この和が零から著しく異なったときをアラーム検出条件とする。例えば電圧Va1の最大値Vmax(又はA/D変換器62の最大入力範囲)の1%をその判定基準とする。即ち、
【0025】
【数4】
|Va1+Vb1+Vc1|>0.01×Vmax
又は
|Va2+Vb2+Vc2|>0.01×Vmax
【0026】
(2)3相電圧の二乗和
【0027】
【数5】
M1=√{(Va1)2+(Vb1)2+(Vc1)2}
M2=√{(Va2)2+(Vb2)2+(Vc2)2}
【0028】
としたとき、信号強度M1,M2の最大振幅は、理想的には一定であり、その最大値は、√(3/2)×Vmax=1.225...×Vmax(=Mmax)となる。従って、2乗和がMmaxに対してある判定基準を超えた場合、表示部73でアラーム音又はアラーム表示を行う。あるいは必要に応じて、アラーム信号を故障検出報知部72から外部へ図示しない有線又は光を含む無線通信手段により出力する。その判定基準を例えば50%とすると、
【0029】
【数6】
M1<0.5×Mmax
又は
M2<0.5×Mmax
又は
M1>1.1×Mmax
又は
M2>1.1×Mmax
【0030】
のときに故障報知を行う。
以上の方法では、検出ヘッド1とスケール2の距離が変化すると、その値が変化する。それを回避するため、以下(3)〜(6)の方法がある。
【0031】
(3)トラック間の信号強度の差
ΔM=M1−M2とし、その変化がある判定基準を超えた場合、アラームを発生する。
【0032】
(4)トラック間の信号強度の比
RM=M1/M2とし、その変化がある判定基準を超えた場合、アラームを発生する。
【0033】
(3),(4)では、製品間あるいは製造上のバラツキなどで信号強度M1,M2が大きく異なる場合、その判定基準を個々の製品毎に設定しなくてはならない。そこで、あるイベントが発生したときの信号強度を記憶しておき、その記憶値で信号強度M1,M2を正規化した値の差又は比が、ある判定基準を超えた場合、アラームを発生する。これにより、信号強度が正規化され、個々の製品毎に判定基準を設定しなくても良いため、調整工数が削減できる。
なお、ここで信号強度の取り込みに適したイベントとしては、例えば次のものがある。
【0034】
▲1▼ノギスやマイクロメータ等でゼロ設定を行ったとき、
▲2▼リニアゲージでプリセットを行ったとき、
▲3▼リニアスケールで外部接点スイッチ等による機械原点を検出したとき、
▲4▼電池使用機器で電池を挿入したとき、
▲5▼オートパワーオフの機器で動作起動したとき、
▲6▼外部電源使用機器で電源を投入したとき、
▲7▼アラーム(故障報知)を解除したとき、
▲8▼機器の内部タイマーで一定時間経過したとき、
以下は、イベント発生時に取り込んだデータを使用する方法である。
【0035】
(5)相対信号強度の差
イベント発生時の信号強度M1及びM2をそれぞれMr1,Mr2とすると、(M1/Mr1)−(M2/Mr2)がある判定基準を超えた場合、アラームを発生する。上記の値は、理想的にはゼロであるため、判定基準を例えば5%とした場合、判定式は、次のようになる。
【0036】
【数7】
|(M1/Mr1)−(M2/Mr2)|>0.05
【0037】
(6)相対信号強度の比
(M1/Mr1)/(M2/Mr2)がある判定基準を超えた場合、アラームを発生する。上記の値は、理想的には1であるため、判定基準を例えば5%とした場合、判定式は、次のようになる。
【0038】
【数8】
(M1/Mr1)/(M2/Mr2)>1.05
又は
(M1/Mr1)/(M2/Mr2)<0.95
【0039】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、多相の受信信号の振幅バランスに基づいて故障を検出して故障報知を行うようにしているので、極めて簡単な演算で操作者に故障の発生を知らせることができ、異常状態での測定を防止して常に正確な測定が可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係る電磁誘導型位置検出装置の要部を示す図である。
【図2】 同装置のスケールの受信コイルの結線状態と各相の電圧とを示す図である。
【図3】 同装置におけるスケール位置による受信信号の状態を示す波形図である。
【図4】 同装置における受信信号処理回路とコントロールユニットの構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…検出ヘッド、2…スケール、10…ヘッド基板、11a,11b,21a,21b…駆動コイル、12,22…受信コイル、30…樹脂基板、31a,31b…結合コイル、51…送信信号発生器、52…受信信号処理回路、53…コントロールユニット、71…位置算出部、72…故障検出報知部、73…表示部。
Claims (5)
- 複数のトラックを備えた電磁誘導型位置検出装置において、
各トラックに多相の受信信号を検出する複数の受信コイルを備える共に、
各トラック間の多相の受信信号の信号強度の差が所定値を超えたときに故障発生と判定してこれを報知する故障検出報知手段を備えた
ことを特徴とする電磁誘導型位置検出装置。 - 複数のトラックを備えた電磁誘導型位置検出装置において、
各トラックに多相の受信信号を検出する複数の受信コイルを備える共に、
各トラック間の多相の受信信号の信号強度の比が所定値を超えたときに故障発生と判定してこれを報知する故障検出報知手段を備えた
ことを特徴とする電磁誘導型位置検出装置。 - 複数のトラックを備えた電磁誘導型位置検出装置において、
各トラックに多相の受信信号を検出する複数の受信コイルを備える共に、
イベント発生時の各トラックの多相の受信信号の信号強度を記憶して、この信号強度で正規化された各トラックの多相の受信信号の信号強度から故障発生を検出しこれを報知する故障検出報知手段を備えた
ことを特徴とする電磁誘導型位置検出装置。 - 前記故障検出報知手段は、前記正規化された各トラックの受信信号の差が所定範囲を超えたことを検出するものであることを特徴とする請求項3記載の電磁誘導型位置検出装置。
- 前記故障検出報知手段は、前記正規化された各トラックの受信信号の比が所定範囲を超えたことを検出するものであることを特徴とする請求項3記載の電磁誘導型位置検出装置。
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