JP3638574B2

JP3638574B2 - Surface treatment system for foil and strip material

Info

Publication number: JP3638574B2
Application number: JP2002175812A
Authority: JP
Inventors: 和仁林; 博之林; 秀徳林; 重春山内; 勲荻野; 俊生飯田; 宜晃谷
Original assignee: Kawasaki Jukogyo KK
Current assignee: Kawasaki Motors Ltd
Priority date: 2002-06-17
Filing date: 2002-06-17
Publication date: 2005-04-13
Anticipated expiration: 2022-06-17
Also published as: JP2004018945A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属の極薄箔に合成樹脂層との接着性を向上させる為の表面粗化処理および種々の外部環境からの影響を排除する為の保護層を連続的に形成する箔および条ストリップ材の表面処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ポリイミド樹脂などの基材と銅箔等とを貼り合わせた基板は、プリント配線基板（ソフト基板）として、携帯電話等のＩＴ関連機器で採用され、近年、その需要が増大している。そして、従来、それら基板は、銅箔とポリイミド樹脂基材等を接着剤または熱圧着により貼り合わせた多層構造のものが主流であったが、その超薄肉化・高集積化のために、高接着強度を有する多層構造化の要求が高まっている。
【０００３】
一方、基板を多層構造化するには、銅箔の片面を、ポリイミド樹脂と親和性の高い構造に改質する必要がある。また、その方法としては、スパッタ処理やエッチングによって銅箔表面を改質する方法や、電気メッキ法、無電解メッキ法、ラミネート法、スパッタ処理法等で銅箔表面に薄い特殊金属膜（クロム、ニッケルなど）を形成する方法がある。そして、それらのうちで最適な製造方法として、連続処理が可能な電気メッキ法が注目されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、数ミクロンから数十ミクロンオーダー迄の厚さ域の銅箔に対する電気メッキを同一のシステムで安定的に連続処理する技術は未だ確立されておらず、電気メッキにより安定かつ連続的に銅箔その他の金属箔の表面に特殊金属膜を形成できる表面メッキ装置の早期な実現が望まれている。また、銅箔等のストリップ材を外部環境からの影響を排除する為の保護層を連続的に形成するコーティング処理装置の実現も望まれている。
【０００５】
鋼ストリップ用の連続メッキ設備としては、水平型セル、縦型セル、ラジアル型セル等様々なタイプのメッキ設備が開発されている。数ミクロンから数十ミクロンオーダー迄の厚さ域の銅箔を対象とする場合、しわ・絞りが発生する事から張力の制限や、ストリップがロールにラップしないフリースパン長さの制限、そして給電箇所でロールによる押付けが出来ないといった制限があり、従来の鋼ストリップ用連続メッキ設備をそのまま適応することは出来ない。
本発明は、前記実情に鑑み提案されたもので、電気メッキにより金属箔ストリツプの片面に安定かつ連続的に特殊金属膜を形成できると共に、外部環境からの影響を排除する為の保護層を連続的に形成することのできる箔および条ストリップ材の表面処理システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置と、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材を移動して、ストリップ材の下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置と、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置と、表面処理後のストリップ材の上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置と、ローラを介して張架されたストリップ材の表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置とを備えたものである。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明において、前記第１の洗浄装置は、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を巻出機まで搬送する入側コイルカーと、コイル状のストリップ材を展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機と、前記巻出機から送り出されたストリップ材を洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置とによってストリップ材が供給されることを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明において、前記乾燥装置から送り出されたストリップ材を巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材をスプールにコイル状に巻き取る巻取装置と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカーと、表面処理後のストリップ材間に極薄紙を挟み込む合紙装置を更に備えたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、一実施の形態を示す図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係る箔および条ストリップ材の表面処理システムの全体を示す説明図である。ここで箔および条ストリップ材の表面処理システム１は、スプール１１に巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを巻出機２０まで搬送する入側コイルカー１０と、コイル状のストリップ材Ｓを展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機２０と、この巻出機２０から送り出されたストリップ材Ｓを洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置３０と、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材Ｓ表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置４０、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材Ｓを移動して、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置５０と、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置４０ａと、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材Ｓを移動して、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をする第２のメッキ装置５０ａと、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第３の洗浄装置４０ｂと、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材Ｓを移動して、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をする第３のメッキ装置５０ｂと、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面を数％の硫酸等でスプレー洗浄する洗浄（リンス）装置６０ａと、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面を温水によりスプレー洗浄する洗浄（リンス）装置６０ｂと、表面処理後のストリップ材Ｓの上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置７０と、ローラを介して張架されたストリップ材Ｓの表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置８０と、前記乾燥装置から送り出されたストリップ材Ｓを巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置９０と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材Ｓをスプールにコイル状に巻き取る巻取装置１００と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカー１１０と、表面処理後のストリップ材Ｓ間に極薄紙を挟み込む合紙装置１２０等から構成されている。
【００１０】
図２は、本実施の形態における箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システム１における入側コイルカー１０を示す正面図である。本実施の形態において、入側コイルカー１０は、スプール１１に巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを搭載するＶ字型の受け面１２ａを有した受け台１２と、この受け台１２を下端に設けた車輪１３で水平方向に移動可能に支えるレール１４と、前記受け台１２を水平方向に駆動する油圧シリンダ１５等から構成されている。図２に二点鎖線で示す左端に位置する受け台１２のＶ字型の受け面１２ａにクレーン等で吊ったコイル状のストリップ材Ｓを載置する。次に、油圧シリンダ１５を操作して受け台１２をレール１４上を図中右に移動させて、実線で示す位置まで移動する。この実線で示す位置から次の巻出機２０へ受け渡される。
【００１１】
巻出機２０は、図３に示すように駆動モータ２１と減速機２６及びカップリング２２で接続された支持軸２３及びこれと対向配置された支持軸２４等から構成されており、コイル状のストリップ材Ｓの両軸端を前記支持軸２３、２４で保持する。支持軸２３、２４は、回転可能に支持台２５に支承されており、軸受部に非接触シールが採用されている。また、駆動モータ２１の回転は、直結された減速機２６により回転数が減速されると共に、ストリップ材Ｓの厚さ及び幅に応じて一定の張力が付加される。この巻出し張力は、自動的に調整される。
【００１２】
この巻出機２０から送り出されたストリップ材Ｓは、次の前面装置３０によって洗浄装置４０へ皺のできないように通板される。前面装置３０は、パスラインキープ用のデフレクターローラ３１と表面処理部の張力を一定に保つためのブライドルローラ３２及びブライドルローラ３２と接触回転するように配設されたピンチローラ３３等から構成されている。次の洗浄装置４０と巻出機２０とは、異なる張力設定で稼動される為に、ブライドルローラ３２で張力をカットする働きを行う。
【００１３】
洗浄装置４０は、図５及び図１１に示すように、複数のローラを介してストリップ材Ｓを処理槽４００の内部で搬送することにより、当該ストリップ材表面に所望の処理を施すようにした箔および条ストリップ材の表面処理装置であって、処理槽４００の側壁に設けられた開閉扉４１１と、この開閉扉４１１と対向する壁面４１２に垂設された駆動軸４１３と、この駆動軸４１３を回転駆動する回転アクチュエータ４１４と、この駆動軸４１３に挿脱可能に設けられたローラ４１５と、このローラ４１５の自由端側を回転可能に支持する支持軸４１６と、支持軸４１６を軸線方向に前進後退可能に駆動する支持軸駆動機構４１７とを備えている。
【００１４】
ここで、処理槽４００は、横断面が矩形で、上面が開口した容器状を呈するものであり、その上面の開口を蓋体４１８が覆っている。処理槽４００の底壁４２１は、中央に向けて漸次低くなるように傾斜しており、その最低部が処理液排出通路４２２に接続してある。また、この処理槽４００には、その並設方向に沿って上流側に位置する上流側壁４１９と下流側に位置する下流側壁４２０とにそれぞれ通材用開口４２４が設けてある。通材用開口は、それぞれ金属ストリツプ材Ｓを水平方向に沿って通過させるためのものであり、互いに同一の高さ位置となる部位に開口している。
【００１５】
上記のように構成した処理槽４００の処理空問の内部には、本実施の形態において複数のローラ４１５ａ〜４１５ｇが夫々平行に収容されている。ローラ４１５ａ〜４１５ｇは、夫々ほぼ同一の外径で、かつ中空の円柱状を成すもので、それぞれの両端部に支持円筒４２３を有しており、それぞれの軸心が金属ストリップ材Ｓの搬送方向に直交し、かつ互いに平行となる状態で駆動軸４１３と一体回転可能に挿着してある。
【００１６】
本実施の形態において、ローラ４１５ａ、４１５ｂ、４１５ｃは上流側壁４１９に沿ってほぼ垂直に配置されている。また、ローラ４１５ｃ、４１５ｄ、４１５ｅは、ほぼ水平に底壁４２１に沿って配置されている。更に、ローラ４１５ｅ、４１５ｆ、４１５ｇは、下流側壁４２０に沿ってほぼ垂直に配置されている。したがって、各ローラ４１５ａ〜４１５ｇは、処理槽４００内に正面（開閉扉４１１）方向から見て略Ｕ字状に複数個配置されている。なお、ローラ４１５ａは、ローラ４１５ｂと接触配置されており、図外の機構により離間可能な構成とされている。そして、ローラ４１５ａ、４１５ｂの間に通材用開口４２４から導かれたストリップ材Ｓを狭持して搬送する。ローラ４１５ｂ〜ローラ４１５ｆの間に張架されたストリップ材Ｓは、処理槽４００のほぼ中央に配設された流体噴射ノズル４２５によって処理液が噴霧される（図６参照）。流体噴射ノズル４２５は、三方向に吐出口４２５ａ、４２５ｂ、４２５ｃを有しており、吐出口４２５ａはローラ４１５ｂの方向を吐出口４２５ｂはローラ４１５ｄの方向を吐出口４２５ｃはローラ４１５ｆの方向を夫々向いている。
【００１７】
ここで、流体噴射ノズル４２５は、ストリップ材Ｓの上面側に処理液である数％の硫酸を噴霧する。また、ストリップ材Ｓの下面側には、噴射ノズル４２６、４２７が配設されており、ストリップ材Ｓの下端側に同一または別の処理液を噴霧することができる。噴射ノズル４２６は、ローラ４１５ｃに対向して配設されており、噴射ノズル４２７は、ローラ４１５ｅに対向して配設されている。また、各ノズルは、図示せぬ供給通路を通じて処理液の供給源に接続してある。処理液としては、例えば硫酸等の各種酸、純水、温水などを噴霧することができる。
【００１８】
ローラ４１５ｂ、４１５ｄ、４１５ｆは、ストリップ材Ｓの下面と当接し、ローラ４１５ａ、４１５ｃ、４１５ｅ、４１５ｇは、ストリップ材Ｓの上面とのみ当接するように巻回されている。
【００１９】
開閉扉４１１は、処理槽４００の正面側に形成された開口部４２８にヒンジ４２９で開閉可能に取り付けられると共に、油圧ロック４３０で固着されている。したがって、開口部４２８は、開閉扉４１１によって密閉される。油圧ロック４３０は、図７に示すように油圧シリンダ４３０ａとこれに連結された押さえ爪４３０ｂ及び押さえ爪４３０ｂを支持するリンク４３０ｃ等から構成されている。油圧ロック４３０は、処理槽４００の開口部４２８の周囲に適宜配設されており、図外の油圧配管を通じて油圧シリンダ４３０ａを作動させると、リンク４３０ｃで支持された押さえ爪４３０ｂが矢印Ａ方向に回転して開閉扉４１１の端部を押圧する。
【００２０】
また、開閉扉４１１を開成する場合、油圧シリンダ４３０ａを作動させ、押さえ爪４３０ｂを矢印Ｂ方向に回動する。押さえ爪４３０ｂが後退すると、開閉扉４１１をヒンジ４２９を中心にして開閉することができる。
【００２１】
図８、１１に示すように処理槽４００の開閉扉４１１と対向する壁面４１２には、上述したローラ４１５の駆動源として処理槽４００の外部に電動モータ、あるいはエアモータ等の回転アクチユエータ４１４を設けてある。また、回転アクチユエータ４１４ａ〜４１４ｃには、軸受４３１ａ〜４３１ｃにより回転自在に支持された駆動軸４１３ａ〜４１３ｃが直結されている。駆動軸４１３は、テーパー状の基端部４３３を有すると共に、その近傍にキー４３４が植設されており、挿通されるローラ４１５の端部に形成された図外のキー溝と嵌合する。したがって、図１１に示すようにローラ４１５を駆動軸４１３に沿って挿入するのみで、駆動軸４１３と一体回転するように簡易に取り付けることができる。また、基端部４３３は、テーパー状となっているので、ローラ４１５を挿通するのみで、ローラ４１５の支持円筒４２３に形成されたテーパー部４２３ａと接触して自動調芯することができる。更に、引き抜くのみで容易にキー溝からキー４３４が外れて取り出すことができる。ローラ４１５を取り付けたり引き抜く際に、駆動軸４１３に案内されているので、ローラ４１５が他のローラに接触したりすることがなく、安全作業できる。
【００２２】
また、軸受４３１ａは偏心スリーブ４３５を介して壁面４１２に取り付けられており、この偏心スリーブ４３５はエアシリンダ４３６により回動可能に設定されている。したがって、エアシリンダ４３６を駆動することにより軸受４３１ａの位置を変更することができ、結果としてローラ４１５ａとローラ４１５ｂとの間隔を変更することができる。また、偏心スリーブ４３５は、処理槽４００の密閉性を保持したまま、ローラ４１５ａの駆動軸４１３ａの位置を移動することができる。
【００２３】
また、開閉扉４１１には、図８、９に示すように支持軸４１６が軸受４３２により回転自在に支持されている。支持軸４１６の先端（処理槽内側）には、截頭円錐（テーパーコーン）状の支持部４３７を有しており、この支持部４３７を駆動軸４１３に挿着されたローラ４１５の自由端部に当接し、回転可能に支持する。ローラ４１５の自由端部は、支持部４３７と同一のテーパー状に開口している。また、支持軸４１６は、支持軸駆動機構４１７により軸線方向に前進、後退可能に支持されている。支持軸駆動機構４１７は、流体圧により作動するエアシリンダ等を適宜使用することができる。したがって、支持部４３７とローラ４１５のテーパー状の自由端部は、当接させるのみで自動調芯することができる。
【００２４】
また、開閉扉４１１に取り付けられた軸受４３２ａは、偏心スリーブ４３８を介して配設されており、この偏心スリーブ４３８はエアシリンダ４３９により回動可能に設定されている。したがって、エアシリンダ４３９を駆動することにより支持軸４１６の位置を変更することができ、結果としてローラ４１５ａとローラ４１５ｂとの間隔を変更することができる。また、偏心スリーブ４３８は、処理槽４００の密閉性を保持したまま、ローラ４１５ａの駆動軸４１３ａの位置を移動することができる。なお、前記エアシリンダ４３６とエアシリンダ４３９は、協働するように制御される。
【００２５】
なお、軸受４３１及び軸受４３２の周囲にパージガスを噴射して、流体噴射ノズル４２５及び噴射ノズル４２６、４２７から噴霧される処理液の滲入を防止している。これにより、軸受内のベアリング等を保護して耐用寿命を延長することができる。
【００２６】
以上のように構成された、支持軸駆動機構４１７により支持軸４１６を前進させ、支持部４３７をローラ４１５の自由端部の当接させることにより、ローラ４１５を両端支持状態で回転駆動することができる。また、支持軸駆動機構４１７により支持軸４１６をローラ４１５の端部から後退させれば、ローラ４１５の自由端部と支持部４３７とが離間するので開閉扉４１１を自由に開閉することができる。
【００２７】
次に、以上のように構成された表面処理装置４００の動作について図面に従って説明する。先ず、通材用開口４２４からストリップ材Ｓの先端を挿入し、ローラ４１５ａ、４１５ｂの間に挿通する。この際、エアシリンダ４３６，４３９を操作することにより、ローラ４１５ａ、４１５ｂの間隔を拡げておくことで、挿通作業を容易にすることができる。挿通したストリップ材Ｓは、ローラ４１５ｃ、４１５ｄ、４１５ｅの間に掛け回し、ローラ４１５ｆ、４１５ｇの間から通材用開口４２４から排出する。また、処理槽４００内において、流体噴射ノズル４２５から処理液を噴霧してストリップ材Ｓの上面の洗浄処理を行う。噴射ノズル４２６、４２７からも処理液を噴霧して、ストリップ材Ｓの下面の洗浄処理を行う。
【００２８】
また、ローラを交換する場合、支持軸駆動機構４１７を操作して支持軸４１６を後退させてローラの端部から離間させる。すると、ローラ４１５は、駆動軸４１３に片持ち支持状態で挿通されている。その後、油圧ロック４３０を操作して押さえ爪４３０ｂを緩めて開閉扉４１１の固定を解除する（図５参照）。油圧ロック４３０が解除された後に、図１０に示すようにヒンジ４２９を中心に開閉扉４１１を開成する。この際、支持軸４１６の先端に形成された支持部４３７はローラ４１５の端部と離間しているので、開閉扉４１１の開成動作の支障となることはない。開閉扉４１１が開成された後、図１１に示すようにローラ４１５をそれぞれ駆動軸４１３に沿って平行に引き抜く。ローラ４１５を引き抜く際、駆動軸４１３によって案内されているので、隣接するローラや他の部材と接触する虞がない。
【００２９】
古くなったローラ４１５を引き抜いた後、新たなローラ４１５をそれぞれ駆動軸４１３に挿通する。この際にも、新たに挿通されたローラ４１５は、長く伸びた駆動軸４１３により案内されているので、挿通するのみでそのまま保持することができる。また、新たなローラ４１５が隣接するローラや他の部材に接触して傷付く虞もない。したがって、ローラ４１５を簡易迅速に交換できる。なお、ローラ４１５の交換作業時においても、エアシリンダ４３６、４３９を操作して、ローラ４１５ａ、４１５ｂ及びローラ４１５ｆ、４１５ｇの間隔を開けておく。
【００３０】
ローラ４１５を交換後、開閉扉４１１を閉成し、油圧ロック４３０を操作して開閉扉４１１を処理槽４００に固定する。開閉扉４１１を油圧ロック４３０によって固定した後、支持軸駆動機構４１７を操作して支持軸４１６のテーパーコーン状の支持部４３７をローラ４１５の自由端部に当接させる。このようにして、ローラ４１５を両端支持状で保持できる。また、開閉扉４１１の固定及び開放は、油圧ロック４３０によりワンタッチで行うことができるの、その作業が極めて容易である。
【００３１】
図１２、１３は、メッキ装置５０の概略構成を示すものであり、ラジアルセル５００は、メッキ液Ｍを収容するセル本体５１と、セル本体５１のメッキ液Ｍ中に部分的に浸潰して配設されたガイドロール５２と、ガイドロール５２の浸漬部分の周囲に配設された弓形状のアノード５３と、セル本体５１の、図ｌ２において左右両側部分の上方に配設された偏向ロール５４とを備える。上記セル本体５ｌには、メッキ液による耐腐食性、帯電食性を考慮して，金属にゴム又はＦＲＰなどのライニングを施した材料が使用されている。
【００３２】
そして、図示省略の銅箔コイルから送給されてくるストリップ材Ｓ（金属箔ストリップ）を、偏向ロール５４で偏向させてガイドロール５２の外周表面に一定の張力でもって巻き付け、そのストリップ材Ｓの上面をガイドロール５２の外周表面に密着させた状態でセル本体５１内のメッキ液Ｍ中を移動させることで、ストリップ材Ｓの片面（下面）に連続的に電気メッキするように構成されている。また、このラジアルセル５００のガイドロール５２は、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）からなるロール本体部の外周表面部に非電導性セラミックスを溶射積層してなる構成（つまり絶縁構成）の大径ロール（本例では１０００ｍｍの外径）にしている。
【００３３】
また、上記アノード５３は、チタン製からなる基部に酸化イリジウムをコーティングしたチタン製電極をビス止めした不溶性アノードとして構成されている。そして、図１２に示すように、アノード５３は、セル中心を軸として左右対称に配設され、それぞれガイドロール５２との間に１５ｍｍ以下（本例では１０ｍｍ）の均等な間隙を保って配設される。それと共に、セル本体５１の壁を液封に貫通して配設されたブスバー（図示省略）を介して、電力供給装置（図示省略、例えば整流器）に接続されている。また、上記偏向ロール５４は、ロール胴部が優れた耐食性を有する導電性材料で構成されると共に、上記電力供給装置に接続される。これにより、偏向ロール５４は、偏向させるストリップ材Ｓに電流を伝播するコンダクターロールとしての機能を兼ねるように構成されている。
【００３４】
また、上記偏向ロール５４は、ストリップ材Ｓとの接触長を十分に確保するため、外径が３００ｍｍ程度（本例では、３５０ｍｍの外径）のロールに形成されている。そして、偏向ロール５４は、ガイドロール５２に対するストリップ材Ｓの巻付角度（ラップ角度）を十分に確保するために、図１２に示すように、偏向させるストリップ材Ｓの、ガイドロール５２の外周面（円周面）に対する巻付角度が略１８０度となる位置関係に配設されている。また、各偏向ロール５４の直下には、付着液等によるロール面の汚れを除去するためのポリッシヤー５４ａを配設している（図１２参照）。
【００３５】
一方、上記セル本体５１の上部には、図１２に示すように、メッキ液Ｍの液面高さを一定に保つ溢流ノズル５１ａが設けられている。上記セル本体５１の底部に、滞留液を排出するための液排出ポート５１ｂを設けている。また、セル本体５１には、図外のメッキ液循環供給装置から送給されるメッキ液Ｍを、アノード５３とガイドロール５２（円周面）との間の間隙に圧送する圧送ノズル５５が設けられている。そして、圧送ノズル５５は、ガイドロール５２の幅よりも狭幅の扁平ノズルに形成され、その先端部を二つのアノード５３の間に挿入させた形態で配設されている。
【００３６】
また、このセル本体５１においては、図１２に示すように、メッキ液Ｍの液面上に位置する前部側壁の内側に、ガイドロール５２に巻き付けられる前（つまりメッキ前）のストリップ材Ｓの下面（メッキ面）にメッキ液Ｍを噴霧するメッキ液噴霧ノズル５６を配設している。そして上流側に配設された偏向ロール５４とガイドロール５２との間には、ガイドロール５２の円周表面およびガイドロール５２に巻き付けられる前のストリップ材Ｓの上面（非メッキ面）に向けて純水を噴霧する純水噴霧ノズル５７を配設している。この純水噴霧ノズル５７には、図示省略の純水供給装置が接続されている。
【００３７】
第２の洗浄装置４０ａは、前記メッキ装置５０から排出されたストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液の洗浄処理を行う。第２の洗浄装置４０ａの構造は、洗浄装置４０と同様であるために説明を省略する。
【００３８】
第２のメッキ装置５０ａも、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をするものであり、メッキ装置５０と同様な構成であるので、説明を省略する。
【００３９】
第３の洗浄装置４０ｂも、前記第２のメッキ装置５０ａから排出されたストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液の洗浄処理を行う。第３の洗浄装置４０ｂの構造は、洗浄装置４０と同様であるために説明を省略する。
【００４０】
第３のメッキ装置５０ｂも、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をするものであり、メッキ装置５０と同様な構成であるので、説明を省略する。
【００４１】
洗浄装置６０ａは、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、ストリップ材表面を数％の硫酸でスプレー洗浄してリンスする。ここに於ける、洗浄装置６０ａも洗浄装置４０と同一構成であるため、説明を省略する。洗浄装置６０ｂは、洗浄装置６０ａと隣接して配設されており、同様にストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面を温水によりスプレー洗浄してリンスする。洗浄装置６０ａ、６０ｂの構成も洗浄装置４０と同様である。
【００４２】
コーティング処理装置７０は、図１４に示すようにストリップ材Ｓの上面に塗布する薬液を満たした第１薬液パン７１と、この第１薬液パン７１に一部が浸漬されたピックアップローラ７２と、ピックアップローラ７２と接触しつつ回転し薬液を受け取るミータリングローラ７３と、ミータリングローラと接触しつつ回転し薬液をストリップ材Ｓの上面に塗布するアプリケーターローラ７４を備えた第１塗布機構Ａと、ストリップ材Ｓの下面に塗布する薬液を満たした第２薬液パン７５と、この第２薬液パン７５に一部が浸漬されたピックアップローラ７６と、ピックアップローラ７６と接触しつつ回転し薬液を受け取るミータリングローラ７７と、ミータリングローラと接触しつつ回転し薬液をストリップ材Ｓの下面に塗布するアプリケーターローラ７８を備えた第２塗布機構Ｂとから構成されている。
【００４３】
以上のように構成されたコーティング処理装置７０は、表面処理後のストリップ材Ｓの上下両面にそれぞれ別の塗布ローラ（アプリケーターローラ）７４、７８を接触させてコーティングするので、それぞれストリップ材Ｓの上面には第１液を塗布し、下面には第２液を塗布することができる。
【００４４】
また、乾燥装置８０は図１５〜図１７に示すように処理槽８１内に配設されたローラ８２、８３、８４と、各ローラ間に張り渡されたストリップ材Ｓに向けて熱風を吹き付けるノズル８５，８６、８７、８８及びスチームヒータ８９を備えている。また、処理槽８１の正面の各ローラと対向した位置には、エアシリンダ８００で駆動されるスライドゲート８０１が配設されている。更に、ローラ８２、８３、８４の軸心には、図１７に示すように冷却水を循環させる為のパイプ８０２が配設されている。
【００４５】
以上のように構成された乾燥装置８０において、コーティング処理装置７０で塗布された薬液を高温の熱風で瞬時に乾燥させることができる。また、処理槽８１内でブロワからの熱風を常時受けるローラ８２、８３、８４は、時間の経過と共に温度が上昇してコーティング直後のストリップ材Ｓに悪影響を与えないようにパイプ８０２から冷却水を循環させる。この冷却水の循環によって、ローラ表面温度を一定に保持し、ストリップ材Ｓの円滑な通板を可能とすることができる。
【００４６】
後面装置９０は、パスラインキープ用のデフレクターローラ９１と乾燥装置の張力を一定に保つためのブライドルローラ９２及びブライドルローラ９２と接触回転するように配設されたピンチローラ９３ａ、９３ｂから構成されている。乾燥装置８０と次の巻取装置１００とは、異なる張力設定で稼動される為に、ブライドルローラ９２で張力をカットする働きを行う。これにより、乾燥装置８０より送り出されたストリップ材Ｓを皺の無い状態で巻取装置１００へ通板させることができる。また、出側には、巻き取り時の皺とストリップ材間へのエアー巻き込み防止用のアイロニングローラ９４を装着して、油圧一定押付制御により良好な形状の巻き取りを可能としている。
【００４７】
巻取装置１００は、後面装置９０から送り出されてきたストリップ材Ｓをスプールにコイル状に巻き取るものである。巻取装置１００は、前述の巻出機２０と略同様の構成を有しており、図外の駆動モータと減速機及びカップリングで接続された支持軸１０１及びこれと対向配置された支持軸１０２等から構成されており、コイル状のストリップ材Ｓの両軸端を前記支持軸１０１、１０２で保持する。支持軸１０１、１０２は、回転可能に支持台１０３に支承されており、軸受部に非接触シールが採用されている。また、駆動モータの回転は、直結された減速機により回転数が減速されると共に、ストリップ材Ｓの厚さ及び幅に応じて一定の張力が付加される。この張力は、自動的に調整される。
【００４８】
出側コイルカー１１０は、スプール１１１に巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを搭載するＶ字型の受け面１１２ａを有した受け台１１２と、この受け台１１２を下端に設けた車輪１１３で水平方向に移動可能に支えるレール１１４と、前記受け台１１２を水平方向に駆動する油圧シリンダ１１５等から構成されている。図１９に実線で示すように、左端に位置する受け台１１２のＶ字型の受け面１１２ａにコイル状のストリップ材Ｓを載置する。次に、油圧シリンダ１５を操作して受け台１２をレール１４上を図中右に移動させて、二点鎖線で示す位置まで移動する。この実線で示す位置から機外へ搬送する。
【００４９】
合紙装置１２０は、表面処理後のストリップ材の表面を保護するために、ストリップ材Ｓ間に極薄紙又はフィルムを挟み込むものであり、図２０に示すように合紙１２１を展開自在に支持する支持軸１２２と、合紙に一定の張力を与えるべく支持軸１２２の回転を制御するエアブレーキ１２３を備えている。また、展開した合紙の皺を取り除くエキスパンダローラ１２４を備えている。
【００５０】
以上のように構成された合紙装置１２０は、合紙１２１に適度な張力を加え、ストリップ材Ｓの間に配設しつつ巻取装置１００で巻き取る。
【００５１】
なお、以上説明した実施の形態において、洗浄装置４０の前に入側コイルカー１０，巻出機２０，前面装置３０を設ける場合について説明したが、本発明の箔および条ストリップ材の表面処理システムにおいて、必須のものではなく任意に選択できる装置である。また、乾燥装置８０の後に後面装置９０、巻取装置１００、出側コイルカー１１０、合紙装置１２０を設ける場合について説明したが、本発明の箔および条ストリップ材の表面処理システムにおいて、これらの装置も必須のものではなく任意に選択できる装置である。
【００５２】
更に、メッキ装置５０、５０ａ、５０ｂ及び洗浄装置４０ａ、４０ｂ及びリンス装置６０ａ、６０ｂの数についてもストリップ材の処理目的応じて適宜選択することができる。
【００５３】
【発明の効果】
この発明は前記した構成からなるので、以下に説明するような効果を奏することができる。
【００５４】
請求項１に記載の発明では、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置と、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材を移動して、ストリップ材の下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置と、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置と、表面処理後のストリップ材の上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置と、ローラを介して張架されたストリップ材の表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置とを備えたものである。
【００５５】
このような構成としたことによって、本発明の箔および条ストリップ材の表面処理システムは、プリント配線板製造工程において必要とされる接着性の向上の為の表面粗化処理及び、高熱、薬品からの影響を排除する保護層等の形成を確実に実行することができる。
【００５６】
また、請求項２に記載の発明において、前記第１の洗浄装置は、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を巻出機まで搬送する入側コイルカーと、コイル状のストリップ材を展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機と、前記巻出機から送り出されたストリップ材を洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置とによってストリップ材が供給されるので、第１の洗浄装置へのストリップ材Ｓの供給を円滑に行うことができる。
【００５７】
また、請求項３に記載の発明において、前記乾燥装置から送り出されたストリップ材を巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材をスプールにコイル状に巻き取る巻取装置と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカーと、表面処理後のストリップ材間に極薄紙を挟み込む合紙装置を更に備えたので、処理後のストリップ材表面を保護することができる。また、表面処理後のストリップ材の搬出を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る箔および条ストリップ材の表面処理システムの全体を示す説明図である。
【図２】図２は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける入側コイルカーを示す正面図である。
【図３】図３は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける巻出装置を示す側面図である。
【図４】図４は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける前面装置を示す正面図である。
【図５】図５は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける洗浄装置を示す要部正面図である。
【図６】図６は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける洗浄装置の開閉扉を取除いた状態を示す要部正面図である。
【図７】図７は、同洗浄装置に使用される油圧ロック機構を示す平面図である。
【図８】図８は、同洗浄装置を示す縦断面図である。
【図９】図９は、同洗浄装置の開閉扉部を示す要部横断面図である。
【図１０】図１０は、同洗浄装置の開閉扉を開いた状態を示す説明図である。
【図１１】図１１は、同洗浄装置のローラの交換する場合を示す説明図である。
【図１２】図１２は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける表面メッキ装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図１３】図１３は、図１２のＡ−Ａ線縦断面図である。
【図１４】図１４は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおけるコーティング処理装置を示す概念図である。
【図１５】図１５は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける乾燥機を示す縦断面図である。
【図１６】図１６は、同乾燥機の扉部を示す正面図である。
【図１７】図１７は、同乾燥機のローラ冷却部を示す要部側面図である。
【図１８】図１８は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける後面装置及び巻取装置を示す正面図である。
【図１９】図１９は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける出側コイルカーを示す正面図である。
【図２０】図２０は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける合紙装置を示す正面図である。
【符号の説明】
Ｓストリップ材
１箔および条ストリップ材の表面処理システム
１０入側コイルカー
１１スプール
１２受け台
１３車輪
１４レール
１５油圧シリンダ
２０巻出機
２１駆動モータ
２２カップリング
２３支持軸
２４支持軸
２５支持台
２６減速機
３０前面装置
３１デフレクターローラ
３２ブライドルローラ
３３ピンチローラ
４０洗浄装置
４０ａ〜ｂ洗浄装置
５０メッキ装置
５０ａ〜ｂメッキ装置
６０ａ、ｂ洗浄（リンス）装置
７０コーティング処理装置
８０乾燥装置
９０後面装置
１００巻取装置
１１０出側コイルカー
１２０合紙装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention provides a foil and strip for continuously forming a surface roughening treatment for improving adhesion to a synthetic resin layer on a metal ultrathin foil and a protective layer for eliminating influences from various external environments. The present invention relates to a strip material surface treatment system.
[0002]
[Prior art]
Generally, base material such as polyimide resin and copper foil etc Are used in IT-related equipment such as mobile phones as printed wiring boards (soft boards), and in recent years, their demand is increasing. And, conventionally, those substrates were mainly multi-layer structures in which copper foil and polyimide resin base material were bonded together by adhesive or thermocompression bonding, but for their ultra-thin and high integration, There is an increasing demand for a multilayer structure having high adhesive strength.
[0003]
On the other hand, in order to make the substrate have a multilayer structure, it is necessary to modify one side of the copper foil to a structure having high affinity with the polyimide resin. In addition, as a method, a thin special metal film (chromium, chromium, etc.) is formed on the copper foil surface by a method of modifying the copper foil surface by sputtering or etching, an electroplating method, an electroless plating method, a laminating method, a sputtering method, or the like. And nickel). Of these, as an optimum manufacturing method, an electroplating method capable of continuous processing has attracted attention.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, the technology to stably and continuously process the electroplating of copper foils in the thickness range from several microns to several tens of microns with the same system has not yet been established. Early realization of a surface plating apparatus capable of forming a special metal film on the surface of other metal foils is desired. Also, it is desired to realize a coating processing apparatus that continuously forms a protective layer for stripping strip material such as copper foil from the influence of the external environment.
[0005]
Various types of plating equipment such as horizontal cells, vertical cells, and radial cells have been developed as continuous plating equipment for steel strips. When copper foil with a thickness range from several microns to several tens of microns is targeted, wrinkles and squeezing occur, so there is a limit on tension, a limit on the free span length where the strip does not wrap on the roll, and a feeding point Therefore, the conventional steel strip continuous plating equipment cannot be applied as it is.
The present invention has been proposed in view of the above circumstances, and a special metal film can be stably and continuously formed on one surface of a metal foil strip by electroplating, and a protective layer for eliminating the influence from the external environment can be continuously formed. It is an object of the present invention to provide a surface treatment system for foil and strip material that can be formed automatically.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, the strip material is transported inside the processing tank via the roller, and a cleaning liquid is sprayed on the surface of the strip material to perform a cleaning process. The strip material is moved in close contact with the cleaning roller and the guide roller that is partially immersed in the plating solution of the cell body containing the plating solution, and the lower surface of the strip material is continuously plated. And a second cleaning device for transporting the strip material inside the processing tank via a roller and spraying the processing liquid onto the surface of the strip material to clean the plating solution, and after the surface treatment A coating processing device for coating by coating different application rollers on the upper and lower surfaces of the strip material, and hot air is blown onto the surface of the strip material stretched through the roller. While it dried by a, in which a drying device and which enables the temperature control of the roller surface.
[0007]
Further, in the invention according to claim 2, the first cleaning device is configured to unfold the coil-shaped strip material and the entry-side coil car that conveys the coil-shaped strip material wound around the spool to the unwinding machine. The strip material is supplied by an unwinding machine that sends out a constant tension, and a front device that passes the strip material fed from the unwinding machine through the washing device so as not to be wrinkled. To do.
[0008]
According to a third aspect of the present invention, in the spool, the rear surface device that allows the strip material fed from the drying device to pass through the winding device so as not to be wrinkled, and the strip material fed from the rear surface device to the spool. Winding device that winds in a coil shape, an output side coil car that receives a coiled strip material wound on a spool by a receiving stand and conveys it to a paper device, and a slip sheet that sandwiches ultrathin paper between strip materials after surface treatment A device is further provided.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating an embodiment. FIG. 1 is an explanatory diagram showing the entire surface treatment system for foil and strip material according to the present invention. Here, the surface treatment system 1 for the foil and strip strip material expands the entry-side coil car 10 that conveys the coil-shaped strip material S wound around the spool 11 to the unwinding machine 20 and the coil-shaped strip material S. The unwinding machine 20 that feeds out with a certain tension, the front device 30 that passes the strip material S sent out from the unwinding machine 20 through the cleaning device so as not to be wrinkled, and the strip material via rollers. S is transported inside the processing tank, and the first cleaning device 40 for cleaning the surface of the strip material S by spraying the processing solution, partially immersed in the plating solution of the cell body containing the plating solution. The strip material S is moved while being in close contact with the guide roller arranged in this manner, and the plating device 50 for continuously plating the lower surface of the strip material S, and the strip through the roller. A second cleaning device 40a for transporting the material S inside the processing tank and spraying the processing liquid onto the surface of the strip material to clean the plating liquid, and a part of the plating liquid in the cell body containing the plating liquid The strip material S is moved in close contact with the guide roller disposed so as to be immersed, and the second plating apparatus 50a for continuously plating the lower surface of the strip material S, and the strip through the roller. A third cleaning device 40b that transports the material S inside the processing tank and sprays the processing liquid onto the surface of the strip material to clean the plating liquid, and a part of the plating liquid in the cell body containing the plating liquid. The strip material S is moved in close contact with the guide roller disposed so as to be immersed, and the third plating device 50b for continuously plating the lower surface of the strip material S, and the roller Then, the strip material S is transported inside the processing tank, and the strip material S is moved inside the processing tank via a cleaning (rinsing) device 60a for spray cleaning the surface of the strip material with several percent sulfuric acid or the like. A cleaning (rinse) device 60b for transporting and spray-cleaning the surface of the strip material with warm water, and a coating processing device 70 for coating the upper and lower surfaces of the strip material S after the surface treatment with different coating rollers. Drying is performed by blowing hot air on the surface of the strip material S stretched through a roller and the temperature of the roller surface can be adjusted, and the strip material S fed from the drying device is wound. A rear surface device 90 that allows the picking device to pass through so as not to cause wrinkles, and a strip material S fed from the rear surface device. Between the winding device 100 that winds in a coil around a spool, the coil coil 110 that receives the coiled strip material S wound on the spool by a receiving stand and transports it to the interleaf device, and the strip material S after the surface treatment. It is composed of a slip sheet device 120 that sandwiches ultrathin paper.
[0010]
FIG. 2 is a front view showing the entry-side coil car 10 in the surface treatment system 1 for the foil and strip material S in the present embodiment. In the present embodiment, the entry-side coil car 10 is provided with a receiving base 12 having a V-shaped receiving surface 12a on which a coil-shaped strip material S wound around a spool 11 is mounted, and the receiving base 12 provided at the lower end. The rail 14 is supported by a wheel 13 so as to be movable in the horizontal direction, and a hydraulic cylinder 15 for driving the cradle 12 in the horizontal direction. A coil-shaped strip material S suspended by a crane or the like is placed on the V-shaped receiving surface 12a of the cradle 12 positioned at the left end indicated by a two-dot chain line in FIG. Next, the hydraulic cylinder 15 is operated to move the cradle 12 on the rail 14 to the right in the figure and to the position indicated by the solid line. It is delivered to the next unwinder 20 from the position indicated by the solid line.
[0011]
As shown in FIG. 3, the unwinding machine 20 includes a drive shaft 21, a reduction gear 26, a support shaft 23 connected by a coupling 22, a support shaft 24 disposed opposite to the support shaft 23, and the like. Both shaft ends of the strip material S are held by the support shafts 23 and 24. The support shafts 23 and 24 are rotatably supported by a support base 25, and a non-contact seal is adopted for the bearing portion. Further, the rotation of the drive motor 21 is decelerated by the directly connected speed reducer 26, and a constant tension is applied according to the thickness and width of the strip material S. This unwinding tension is automatically adjusted.
[0012]
The strip material S sent out from the unwinding machine 20 is passed through the cleaning device 40 by the next front device 30 so as not to be wrinkled. The front device 30 is composed of a deflector roller 31 for pass line keeping, a bridle roller 32 for keeping the tension of the surface treatment unit constant, a pinch roller 33 disposed so as to rotate in contact with the bridle roller 32, and the like. Yes. Since the next cleaning device 40 and the unwinding machine 20 are operated with different tension settings, the bridle roller 32 cuts the tension.
[0013]
As shown in FIGS. 5 and 11, the cleaning device 40 transports the strip material S through the plurality of rollers inside the processing tank 400, thereby performing a desired process on the surface of the strip material. The strip strip surface treatment apparatus includes an open / close door 411 provided on a side wall of the treatment tank 400, a drive shaft 413 suspended from a wall surface 412 facing the open / close door 411, and the drive shaft 413. A rotary actuator 414 that rotates, a roller 415 that can be inserted into and removed from the drive shaft 413, a support shaft 416 that rotatably supports the free end of the roller 415, and a support shaft 416 that moves forward in the axial direction. And a support shaft drive mechanism 417 that is driven to be retractable.
[0014]
Here, the processing tank 400 has a container shape with a rectangular cross section and an open top surface, and a cover 418 covers the opening on the top surface. The bottom wall 421 of the treatment tank 400 is inclined so as to gradually become lower toward the center, and the lowest part thereof is connected to the treatment liquid discharge passage 422. Further, the processing tank 400 is provided with a material passing opening 424 on an upstream side wall 419 located on the upstream side and a downstream side wall 420 located on the downstream side in the parallel arrangement direction. The through-openings are for allowing the metal strip material S to pass through in the horizontal direction, and are opened at the same height position.
[0015]
In this embodiment, a plurality of rollers 415a to 415g are accommodated in parallel in the processing space of the processing tank 400 configured as described above. The rollers 415a to 415g have substantially the same outer diameter and form a hollow columnar shape. Each of the rollers 415a to 415g has a support cylinder 423 at each end, and each axis has a center in the conveying direction of the metal strip material S. The drive shaft 413 and the drive shaft 413 are rotatably inserted so as to be orthogonal to each other and parallel to each other.
[0016]
In the present embodiment, the rollers 415 a, 415 b, and 415 c are disposed substantially vertically along the upstream side wall 419. The rollers 415c, 415d, and 415e are disposed along the bottom wall 421 substantially horizontally. Further, the rollers 415 e, 415 f, and 415 g are disposed substantially vertically along the downstream side wall 420. Therefore, a plurality of rollers 415a to 415g are arranged in the processing tank 400 in a substantially U shape when viewed from the front (opening / closing door 411) direction. The roller 415a is disposed in contact with the roller 415b and can be separated by a mechanism not shown. Then, the strip material S guided from the material passing opening 424 is sandwiched between the rollers 415a and 415b and conveyed. The strip material S stretched between the rollers 415b to 415f is sprayed with the processing liquid by the fluid ejection nozzle 425 disposed in the approximate center of the processing tank 400 (see FIG. 6). The fluid ejection nozzle 425 has discharge ports 425a, 425b, and 425c in three directions. The discharge port 425a is in the direction of the roller 415b, the discharge port 425b is in the direction of the roller 415d, and the discharge port 425c is in the direction of the roller 415f. It is suitable.
[0017]
Here, the fluid ejection nozzle 425 sprays several percent of sulfuric acid, which is a treatment liquid, on the upper surface side of the strip material S. Further, spray nozzles 426 and 427 are disposed on the lower surface side of the strip material S, and the same or different treatment liquid can be sprayed on the lower end side of the strip material S. The ejection nozzle 426 is disposed to face the roller 415c, and the ejection nozzle 427 is disposed to face the roller 415e. Each nozzle is connected to a supply source of the processing liquid through a supply passage (not shown). As the treatment liquid, for example, various acids such as sulfuric acid, pure water, warm water and the like can be sprayed.
[0018]
The rollers 415b, 415d, and 415f are in contact with the lower surface of the strip material S, and the rollers 415a, 415c, 415e, and 415g are wound so as to contact only the upper surface of the strip material S.
[0019]
The open / close door 411 is attached to an opening 428 formed on the front side of the processing bath 400 so as to be openable and closable by a hinge 429 and fixed by a hydraulic lock 430. Therefore, the opening 428 is sealed by the open / close door 411. As shown in FIG. 7, the hydraulic lock 430 includes a hydraulic cylinder 430a, a presser claw 430b connected to the hydraulic cylinder 430a, a link 430c that supports the presser claw 430b, and the like. The hydraulic lock 430 is appropriately disposed around the opening 428 of the processing tank 400. When the hydraulic cylinder 430a is operated through a hydraulic pipe (not shown), the presser claw 430b supported by the link 430c is moved in the direction of arrow A. It rotates to press the end of the door 411.
[0020]
Further, when opening the opening / closing door 411, the hydraulic cylinder 430a is operated, and the pressing claw 430b is rotated in the direction of arrow B. When the pressing claw 430b is retracted, the open / close door 411 can be opened / closed around the hinge 429.
[0021]
As shown in FIGS. 8 and 11, a rotary actuator 414 such as an electric motor or an air motor is provided outside the processing tank 400 as a driving source for the roller 415 described above on the wall surface 412 facing the opening / closing door 411 of the processing tank 400. is there. In addition, drive shafts 413a to 413c that are rotatably supported by bearings 431a to 431c are directly connected to the rotation actuators 414a to 414c. The drive shaft 413 has a tapered base end portion 433, and a key 434 is implanted in the vicinity thereof, and is fitted to a key groove (not shown) formed at an end portion of the roller 415 to be inserted. Therefore, the roller 415 can be simply attached so as to rotate integrally with the drive shaft 413 only by inserting the roller 415 along the drive shaft 413 as shown in FIG. Further, since the base end portion 433 is tapered, it can be automatically aligned by contacting the tapered portion 423a formed on the support cylinder 423 of the roller 415 only by inserting the roller 415. Furthermore, the key 434 can be easily detached from the keyway and removed by simply pulling it out. Since the roller 415 is guided by the drive shaft 413 when the roller 415 is attached or pulled out, the roller 415 does not come into contact with other rollers, and a safe operation can be performed.
[0022]
The bearing 431a is attached to the wall surface 412 via an eccentric sleeve 435, and the eccentric sleeve 435 is set to be rotatable by an air cylinder 436. Therefore, by driving the air cylinder 436, the position of the bearing 431a can be changed, and as a result, the interval between the roller 415a and the roller 415b can be changed. Further, the eccentric sleeve 435 can move the position of the drive shaft 413a of the roller 415a while maintaining the hermeticity of the processing bath 400.
[0023]
Further, as shown in FIGS. 8 and 9, a support shaft 416 is rotatably supported by the opening / closing door 411 by a bearing 432. A support portion 437 having a truncated cone shape (taper cone) is provided at the tip end (inside the processing tank) of the support shaft 416, and the free end portion of the roller 415 inserted into the drive shaft 413 is supported on the support portion 437. To support and rotatably support. The free end portion of the roller 415 opens in the same tapered shape as the support portion 437. The support shaft 416 is supported by the support shaft drive mechanism 417 so as to be capable of moving forward and backward in the axial direction. As the support shaft drive mechanism 417, an air cylinder or the like that operates by fluid pressure can be used as appropriate. Therefore, the taper-shaped free end portions of the support portion 437 and the roller 415 can be automatically aligned by simply contacting them.
[0024]
The bearing 432a attached to the open / close door 411 is disposed via an eccentric sleeve 438, and the eccentric sleeve 438 is set to be rotatable by an air cylinder 439. Therefore, by driving the air cylinder 439, the position of the support shaft 416 can be changed, and as a result, the distance between the roller 415a and the roller 415b can be changed. Further, the eccentric sleeve 438 can move the position of the drive shaft 413a of the roller 415a while maintaining the hermeticity of the processing bath 400. The air cylinder 436 and the air cylinder 439 are controlled to cooperate.
[0025]
A purge gas is jetted around the bearing 431 and the bearing 432 to prevent the treatment liquid sprayed from the fluid jet nozzle 425 and the jet nozzles 426 and 427 from entering. Thereby, the bearing life etc. in a bearing can be protected and a useful life can be extended.
[0026]
The support shaft 416 is advanced by the support shaft drive mechanism 417 configured as described above, and the support portion 437 is brought into contact with the free end portion of the roller 415, whereby the roller 415 can be rotationally driven in a state where both ends are supported. it can. Further, if the support shaft 416 is retracted from the end portion of the roller 415 by the support shaft driving mechanism 417, the free end portion of the roller 415 and the support portion 437 are separated from each other, so that the open / close door 411 can be freely opened and closed.
[0027]
Next, the operation of the surface treatment apparatus 400 configured as described above will be described with reference to the drawings. First, the leading end of the strip material S is inserted from the material-passing opening 424 and is inserted between the rollers 415a and 415b. At this time, by operating the air cylinders 436 and 439, the interval between the rollers 415a and 415b is widened, so that the insertion operation can be facilitated. The inserted strip material S is wound around between the rollers 415c, 415d, and 415e, and is discharged from between the rollers 415f and 415g from the opening 424 for passing the material. Further, in the treatment tank 400, the treatment liquid is sprayed from the fluid ejection nozzle 425 to clean the upper surface of the strip material S. The treatment liquid is also sprayed from the spray nozzles 426 and 427 to perform the cleaning process on the lower surface of the strip material S.
[0028]
When the roller is replaced, the support shaft drive mechanism 417 is operated to retract the support shaft 416 and separate it from the end of the roller. Then, the roller 415 is inserted into the drive shaft 413 in a cantilevered state. After that, the hydraulic lock 430 is operated to loosen the pressing claw 430b and release the door 411 (see FIG. 5). After the hydraulic lock 430 is released, the opening / closing door 411 is opened around the hinge 429 as shown in FIG. At this time, since the support portion 437 formed at the tip of the support shaft 416 is separated from the end portion of the roller 415, the opening / closing door 411 is not obstructed. After the opening / closing door 411 is opened, the rollers 415 are pulled out in parallel along the drive shaft 413 as shown in FIG. When the roller 415 is pulled out, since it is guided by the drive shaft 413, there is no possibility of contact with an adjacent roller or another member.
[0029]
After the old rollers 415 are pulled out, new rollers 415 are inserted through the drive shafts 413, respectively. Also in this case, since the newly inserted roller 415 is guided by the drive shaft 413 that is elongated, it can be held as it is. Further, there is no possibility that the new roller 415 may come into contact with the adjacent roller or other members and be damaged. Therefore, the roller 415 can be replaced easily and quickly. Note that, even when the roller 415 is replaced, the air cylinders 436 and 439 are operated to keep the rollers 415a and 415b and the rollers 415f and 415g apart.
[0030]
After replacing the roller 415, the opening / closing door 411 is closed, and the hydraulic lock 430 is operated to fix the opening / closing door 411 to the processing bath 400. After the opening / closing door 411 is fixed by the hydraulic lock 430, the support shaft driving mechanism 417 is operated to bring the tapered cone-shaped support portion 437 of the support shaft 416 into contact with the free end portion of the roller 415. In this way, the roller 415 can be held with both ends supported. Further, the opening and closing door 411 can be fixed and opened with a single touch by the hydraulic lock 430, and the operation is extremely easy.
[0031]
FIGS. 12 and 13 show a schematic configuration of the plating apparatus 50. The radial cell 500 includes a cell main body 51 that contains the plating solution M and a partial immersion in the plating solution M of the cell main body 51. A guide roll 52 provided, an arcuate anode 53 disposed around the immersed portion of the guide roll 52, and a deflection roll 54 disposed above the left and right side portions of the cell body 51 in FIG. Is provided. The cell main body 5l is made of a material obtained by lining a metal such as rubber or FRP in consideration of corrosion resistance by the plating solution and charging corrosion resistance.
[0032]
A strip material S (metal foil strip) fed from a copper foil coil (not shown) is deflected by the deflection roll 54 and wound around the outer peripheral surface of the guide roll 52 with a constant tension. By moving through the plating solution M in the cell body 51 with the upper surface being in close contact with the outer peripheral surface of the guide roll 52, it is configured to continuously electroplate on one surface (lower surface) of the strip material S. . Further, the guide roll 52 of the radial cell 500 is a large-diameter roll having a configuration (that is, an insulating configuration) in which non-conductive ceramics are sprayed and laminated on the outer peripheral surface portion of a roll body portion made of FRP (fiber reinforced plastic). In the example, the outer diameter is 1000 mm.
[0033]
The anode 53 is configured as an insoluble anode in which a titanium electrode having a base made of titanium coated with iridium oxide is screwed. As shown in FIG. 12, the anodes 53 are arranged symmetrically about the cell center as an axis, and are arranged with a uniform gap of 15 mm or less (10 mm in this example) between each of them and the guide rolls 52. Is done. At the same time, the cell main body 51 is connected to a power supply device (not shown, for example, a rectifier) via a bus bar (not shown) arranged through the liquid seal. The deflecting roll 54 is composed of a conductive material having an excellent corrosion resistance at the roll body and connected to the power supply device. Thereby, the deflection | deviation roll 54 is comprised so that it may serve as the conductor roll which propagates an electric current to the strip material S to deflect | deviate.
[0034]
Further, the deflection roll 54 is formed in a roll having an outer diameter of about 300 mm (in this example, an outer diameter of 350 mm) in order to ensure a sufficient contact length with the strip material S. Then, the deflection roll 54 has an outer peripheral surface of the guide roll 52 of the strip material S to be deflected, as shown in FIG. 12, in order to ensure a sufficient winding angle (wrap angle) of the strip material S with respect to the guide roll 52. The winding angle with respect to (circumferential surface) is arranged in a positional relationship of approximately 180 degrees. In addition, a polisher 54a for removing dirt on the roll surface due to adhering liquid or the like is disposed immediately below each deflection roll 54 (see FIG. 12).
[0035]
On the other hand, as shown in FIG. 12, an overflow nozzle 51a that keeps the level of the plating solution M constant is provided on the upper portion of the cell body 51. A liquid discharge port 51 b for discharging the staying liquid is provided at the bottom of the cell body 51. Further, the cell body 51 is provided with a pressure feed nozzle 55 for pressure-feeding a plating solution M fed from a plating solution circulation supply device (not shown) into the gap between the anode 53 and the guide roll 52 (circumferential surface). It has been. The pressure feed nozzle 55 is formed as a flat nozzle that is narrower than the width of the guide roll 52, and is arranged in such a manner that its tip is inserted between the two anodes 53.
[0036]
In the cell body 51, as shown in FIG. 12, the strip material S before being wound around the guide roll 52 (that is, before plating) is placed inside the front side wall located on the surface of the plating solution M. A plating solution spray nozzle 56 for spraying the plating solution M is disposed on the lower surface (plating surface). Between the deflecting roll 54 and the guide roll 52 arranged on the upstream side, the circumferential surface of the guide roll 52 and the upper surface (non-plated surface) of the strip material S before being wound around the guide roll 52. A pure water spray nozzle 57 for spraying pure water is provided. A pure water supply device (not shown) is connected to the pure water spray nozzle 57.
[0037]
The second cleaning device 40a sprays the treatment liquid on the surface of the strip material discharged from the plating device 50 to perform the washing treatment of the plating solution. Since the structure of the second cleaning device 40a is the same as that of the cleaning device 40, description thereof is omitted.
[0038]
The second plating apparatus 50a also continuously performs the plating process on the lower surface of the strip material S, and has the same configuration as the plating apparatus 50, and thus the description thereof is omitted.
[0039]
The third cleaning device 40b also performs a cleaning process of the plating solution by spraying a processing solution onto the surface of the strip material discharged from the second plating device 50a. Since the structure of the 3rd washing | cleaning apparatus 40b is the same as that of the washing | cleaning apparatus 40, description is abbreviate | omitted.
[0040]
The third plating apparatus 50b also continuously performs the plating process on the lower surface of the strip material S, and has the same configuration as the plating apparatus 50, and thus the description thereof is omitted.
[0041]
The cleaning device 60a conveys the strip material S through the roller inside the processing tank, and sprays and rinses the surface of the strip material with several percent sulfuric acid. In this case, the cleaning device 60a has the same configuration as the cleaning device 40, and thus the description thereof is omitted. The cleaning device 60b is disposed adjacent to the cleaning device 60a. Similarly, the cleaning device 60b transports the strip material S inside the processing tank and rinses the surface of the strip material by spray cleaning with warm water. The configuration of the cleaning devices 60 a and 60 b is the same as that of the cleaning device 40.
[0042]
As shown in FIG. 14, the coating processing apparatus 70 includes a first chemical liquid pan 71 filled with a chemical liquid to be applied to the upper surface of the strip material S, a pickup roller 72 partially immersed in the first chemical liquid pan 71, and a pickup. A first coating mechanism A including a metering roller 73 that rotates while being in contact with the roller 72 and receives the chemical liquid, an applicator roller 74 that rotates while being in contact with the metering roller and applies the chemical liquid to the upper surface of the strip material S; The second chemical liquid pan 75 filled with the chemical liquid to be applied to the lower surface of the material S, the pickup roller 76 partially immersed in the second chemical liquid pan 75, and the metering that rotates while contacting the pickup roller 76 and receives the chemical liquid An application that rotates in contact with the roller 77 and the metering roller to apply the chemical to the lower surface of the strip material S. And a second coating mechanism B having a Rora 78.
[0043]
Since the coating processing apparatus 70 configured as described above coats the upper and lower surfaces of the strip material S after the surface treatment by bringing different application rollers (applicator rollers) 74 and 78 into contact therewith, respectively, The first liquid can be applied to the lower surface, and the second liquid can be applied to the lower surface.
[0044]
Further, as shown in FIGS. 15 to 17, the drying device 80 includes rollers 82, 83, and 84 disposed in the processing tank 81, and a nozzle that blows hot air toward the strip material S stretched between the rollers. 85, 86, 87, 88 and a steam heater 89 are provided. A slide gate 801 driven by an air cylinder 800 is disposed at a position facing each roller on the front surface of the processing tank 81. Furthermore, a pipe 802 for circulating cooling water is disposed at the shaft center of the rollers 82, 83, 84 as shown in FIG.
[0045]
In the drying apparatus 80 configured as described above, the chemical solution applied by the coating processing apparatus 70 can be instantly dried with hot hot air. Also, the rollers 82, 83, 84 that constantly receive hot air from the blower in the treatment tank 81 receive cooling water from the pipe 802 so that the temperature rises with time and does not adversely affect the strip material S immediately after coating. Circulate. By circulating the cooling water, the roller surface temperature can be kept constant and the strip material S can be smoothly passed.
[0046]
The rear device 90 is composed of a deflector roller 91 for keeping the pass line, a bridle roller 92 for keeping the tension of the drying device constant, and pinch rollers 93a, 93b arranged to rotate in contact with the bridle roller 92. Yes. Since the drying device 80 and the next winding device 100 are operated with different tension settings, the bridle roller 92 cuts the tension. Thereby, the strip material S sent out from the drying device 80 can be passed through the winding device 100 without any wrinkles. In addition, an ironing roller 94 for preventing air from being caught between the heel and the strip material at the time of winding is mounted on the exit side, so that winding of a good shape can be performed by hydraulic constant pressing control.
[0047]
The winding device 100 winds the strip material S fed from the rear surface device 90 around a spool in a coil shape. The winding device 100 has substantially the same configuration as that of the unwinding machine 20 described above, and a support shaft 101 connected by a drive motor, a speed reducer, and a coupling (not shown), and a support shaft disposed to face the support shaft 101. 102, and the both shaft ends of the coiled strip material S are held by the support shafts 101 and 102. The support shafts 101 and 102 are rotatably supported by a support base 103, and a non-contact seal is adopted for the bearing portion. The rotation of the drive motor is decelerated by a directly connected speed reducer, and a constant tension is applied according to the thickness and width of the strip material S. This tension is automatically adjusted.
[0048]
The output side coil car 110 includes a cradle 112 having a V-shaped receiving surface 112a on which a coiled strip material S wound around a spool 111 is mounted, and a wheel 113 provided at the lower end of the cradle 112 in the horizontal direction. A rail 114 that is movably supported on the vehicle and a hydraulic cylinder 115 that drives the cradle 112 in the horizontal direction. As shown by a solid line in FIG. 19, the coil-shaped strip material S is placed on the V-shaped receiving surface 112a of the receiving stand 112 located at the left end. Next, the hydraulic cylinder 15 is operated to move the cradle 12 on the rail 14 to the right in the drawing to move to a position indicated by a two-dot chain line. It is transported out of the machine from the position indicated by the solid line.
[0049]
In order to protect the surface of the strip material after the surface treatment, the interleaf paper device 120 sandwiches an ultrathin paper or film between the strip materials S, and supports the interleaf paper 121 so as to be unfolded as shown in FIG. A support shaft 122 and an air brake 123 for controlling the rotation of the support shaft 122 so as to give a constant tension to the slip sheet are provided. In addition, an expander roller 124 is provided to remove the wrinkles of the developed slip sheet.
[0050]
The interleaf apparatus 120 configured as described above applies an appropriate tension to the interleaf paper 121 and winds it with the winding apparatus 100 while being disposed between the strip materials S.
[0051]
In the embodiment described above, the case where the inlet coil car 10, the unwinder 20, and the front device 30 are provided in front of the cleaning device 40 has been described, but in the foil and strip strip surface treatment system of the present invention. It is a device that can be arbitrarily selected, not essential. Moreover, although the case where the rear surface device 90, the winding device 100, the exit side coil car 110, and the interleaf paper device 120 are provided after the drying device 80 has been described, in the surface treatment system for foil and strip material of the present invention, these devices are provided. Is an indispensable device that is not essential.
[0052]
Furthermore, the number of the plating devices 50, 50a, 50b, the cleaning devices 40a, 40b, and the rinse devices 60a, 60b can be appropriately selected according to the purpose of processing the strip material.
[0053]
【The invention's effect】
Since this invention consists of an above-described structure, there can exist an effect which is demonstrated below.
[0054]
According to the first aspect of the present invention, the strip material is conveyed inside the processing tank via the roller, and the first cleaning device for spraying the processing liquid onto the surface of the strip material to perform the cleaning process, and the plating solution are accommodated. The strip material is moved while being in close contact with a guide roller that is partially immersed in the plating solution of the cell body, and a plating device for continuously plating the lower surface of the strip material, and a roller The strip material is transported inside the treatment tank, and the surface of the strip material is sprayed with the treatment liquid to clean the plating solution, and the strip material after the surface treatment is separately provided on the upper and lower surfaces. A coating processing device that contacts and coats the coating roller, and drying by blowing hot air on the surface of the strip material stretched through the roller Those having a drying device and which enables the temperature control of the roller surface.
[0055]
By adopting such a configuration, the surface treatment system for the foil and strip material of the present invention can be applied to the surface roughening treatment for improving the adhesion required in the printed wiring board manufacturing process, and from high heat and chemicals. Protective layer to eliminate the effects of etc Can be reliably performed.
[0056]
Further, in the invention according to claim 2, the first cleaning device is configured to develop an entry side coil car that conveys a coiled strip material wound around a spool to an unwinding machine, and a coiled strip material. Since the strip material is supplied by an unwinding machine that sends out a constant tension and a front surface device that passes the strip material fed from the unwinding machine through the washing device so as not to be wrinkled, the first The strip material S can be smoothly supplied to the cleaning device.
[0057]
According to a third aspect of the present invention, in the spool, the rear surface device that allows the strip material fed from the drying device to pass through the winding device so as not to be wrinkled, and the strip material fed from the rear surface device. Winding device that winds in a coil shape, an output side coil car that receives a coiled strip material wound on a spool by a cradle and transports it to a paper sheet device, and a slip sheet that sandwiches ultrathin paper between strip materials after surface treatment Since the apparatus is further provided, the strip material surface after processing can be protected. Moreover, the strip material after surface treatment can be easily carried out.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the entire surface treatment system for foil and strip material according to the present invention.
FIG. 2 is a front view showing an entry-side coil car in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
FIG. 3 is a side view showing an unwinding device in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
FIG. 4 is a front view showing a front device in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
FIG. 5 is a front view of an essential part showing a cleaning device in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
FIG. 6 is a main part front view showing a state in which the opening / closing door of the cleaning device in the surface treatment system for the foil and strip material S is removed.
FIG. 7 is a plan view showing a hydraulic lock mechanism used in the cleaning device.
FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing the cleaning apparatus.
FIG. 9 is a cross-sectional view of a main part showing an opening / closing door portion of the cleaning apparatus.
FIG. 10 is an explanatory view showing a state where the opening / closing door of the cleaning device is opened.
FIG. 11 is an explanatory view showing a case where a roller of the cleaning device is replaced.
FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view showing a main part of a surface plating apparatus in the surface treatment system for the foil and strip strip material S;
13 is a vertical cross-sectional view taken along line AA in FIG. 12. FIG.
14 is a conceptual diagram showing a coating processing apparatus in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
15 is a longitudinal sectional view showing a dryer in the surface treatment system for the foil and strip strip material S. FIG.
FIG. 16 is a front view showing a door portion of the dryer.
FIG. 17 is a side view of an essential part showing a roller cooling unit of the dryer.
18 is a front view showing a rear surface device and a winding device in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
FIG. 19 is a front view showing an exit side coil car in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
FIG. 20 is a front view showing an interleaf apparatus in the surface treatment system for the foil and strip material S. FIG.
[Explanation of symbols]
S Strip material
1 Surface treatment system for foil and strip material
Entry coil car
11 Spool
12 cradle
13 wheels
14 rails
15 Hydraulic cylinder
20 Unwinder
21 Drive motor
22 coupling
23 Support shaft
24 Support shaft
25 Support stand
26 Reducer
30 Front device
31 Deflector roller
32 Bridle Roller
33 Pinch roller
40 Cleaning device
40a-b Cleaning device
50 Plating equipment
50a-b plating equipment
60a, b Cleaning (rinsing) equipment
70 Coating processing equipment
80 Drying equipment
90 Rear device
100 Winding device
110 Outlet coil car
120 interleaf device

Claims

A first cleaning device that transports the strip material through the roller inside the processing tank and sprays the processing liquid on the surface of the strip material to perform cleaning, and a part of the plating solution in the cell main body containing the plating solution. The strip material is moved in close contact with the guide roller soaked in the plate, and a plating apparatus for continuously plating the lower surface of the strip material, and the strip material through the roller inside the processing tank In addition, the coating material is sprayed onto the surface of the strip material to coat the plating solution with the second cleaning device, and the upper and lower surfaces of the strip material after the surface treatment are respectively brought into contact with different coating rollers for coating. Drying is performed by blowing hot air on the surface of the coating material and the strip material stretched through the roller, and the temperature of the roller surface is adjusted. Surface treatment system of the foil and strip strip material, characterized in that a possible and the drying device.

The first cleaning device includes an entry side coil car that conveys a coiled strip material wound on a spool to an unwinder, and an unwinding device that unwinds the coiled strip material while applying a certain tension. 2. The foil and strip strip according to claim 1, wherein the strip material is supplied by a machine and a front device for allowing the strip material fed from the unwinder to pass through the washing device so as not to become wrinkled. Material surface treatment system.

A rear surface device that allows the strip material fed from the drying device to pass through the winding device so as not to be wrinkled, a winding device that winds the strip material fed from the rear surface device around the spool in a coil shape, and a spool An output side coil car that receives a coil-shaped strip material wound around the sheet by a receiving tray and conveys the strip material to a slip sheet device, and a slip sheet device that sandwiches ultrathin paper between the strip materials after the surface treatment. Item 3. A surface treatment system for a foil and strip material according to item 1 or 2.