JP3629367B2 - トランスファー成形装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はトランスファー成形装置、特に、半導体装置を樹脂で封止した後、その成形品を金型から取り出すエジェクタ機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体装置の封止にはシリンダ駆動式トランスファー成形装置が採用されているが、この種のトランスファー成形装置では、通常、固定上型と可動下型とからなる上下一対の金型を型締めして半導体リードフレームをクランプし、金型のキャビティ内に樹脂を圧入して半導体装置を封止した後、型開きして、下型が降下する際にボトムプラテンに設けた突部でエジェクタープレートを押動させ、当該エジェクタープレートに設けた複数のエジェクタピンで成形品を金型からエジェクトさせて成形品を取り出すことが行われている。
【0003】
また、特開平7−148770号公報により、エジェクタピンとプランジャーによる成形品の離型操作を正確に同期させて行うようにしたトランスファー成形装置が提案されている。この装置は、プランジャーを押動するトランスファーピストンロッドとエジェクタピンを立設したエジェクタピンプレートとの間に、成形品を金型から離型する際にトランスファーピストンロッドを押動してプランジャーにより成形品カル部分を突き出しする操作に同期してトランスファーピストンロッドの押動動作によってエジェクタピンプレートを押動するアクチュエータを設置したものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、トランスファー成形装置では、下型の降下に合わせて成形品をエジェクトさせるため成形品を取り出すタイミングは一義的に定まるため取り出しのタイミングを自由に設定することができず、しかも、型開きによって製品の取り出しを行っているため、型締め及び型開きがシリンダ駆動式である場合には、成形品を取り出すスピードを正確に調整できないという問題があった。
【0005】
他方、後者のトランスファー成形装置では、アクチュエータはエジェクタピンプレートを押動するにはエジェクタ力に打ち勝つだけのパワーを持つことが要求され、必然的に大きなアクチュエータが必要となることが明らかとなった。
【0006】
従って、本発明は、エジェクトするタイミングを自由に変更することができ、タクトタイムを短縮でき、製品形状に応じて離型速度を調整でき、かつ、小さなアクチュエータで成形品の取り出しができるようにすることを課題とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、トランスファー成形装置において、エジェクタープレートに、エジェクタピンプレートを押動する上部連係部材と、プランジャー等圧装置を配設し、かつ、プランジャーを等圧で押し上げ可能なトランスファープレートに押動される下部連係部材とを設け、前記トランスファープレートに、前記下部連係部材を収容し得る収容部を設ける一方、当該収容部を開放する開放位置と前記収容部を閉鎖し前記下部連係部材に係合する閉鎖位置とに変位可能なストッパプレートと、トランスファー成形時に前記ストッパプレートを前記開放位置へ変位させ、製品取り出し時に前記ストッパプレートを前記閉鎖位置へ変位させるアクチュエータとを配設したものである。
【0008】
前記トランスファープレートの駆動手段は、駆動源としてサーボモータを用い、当該サーボモータの回転運動を直線運動に変換する運動変換器とで構成するのが好ましい。
【0009】
なお、前記下部連係部材を収容し得る収容部は、下部連係部材の軸心と同軸にトランスファープレートに設けた貫通孔でも、また、トランスファープレートに設けた凹所であっても良く、要は、トランスファー成形時にストッパプレートの下部連係部材がトランスファープレートに当接しないように、下部連係部材を収容し得るものであれば良く、任意の形態のものを採用できる。
【0010】
また、前記ストッパプレートを駆動するアクチュエータとしては、回転式アクチュエータ、往復動式アクチュエータなど任意のものを使用でき、要は、ストッパプレートをトランスファープレート上で回動又は往復動させてトランスファープレートの収容部を開放する開放位置と、その収容部を閉鎖し下部連係部材に係合し得る閉鎖位置とに変位させることができるものであれば任意の型式のものを採用できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るトランスファー成形装置の実施形態を示す添付の図面を参照して説明する。図1に示す本発明に係るトランスファー成形装置は、トッププラテン1、可動プラテン2、ボトムプラテン3を含み、可動プラテン2にはエジェクタ機構が装着されている。金型は、上型4と下型5とからなり、上型4は上型キャビティプレート6と上型スペースブロック7とを含み、上型ベースブロック8を介してトッププラテン1に固定されている。下型5は、下型キャビティプレート9と下型スペースブロック10とを含み、下型ベースブロック11を介して可動プラテン2に固定されている。
【0012】
前記可動プラテン2を上下動させる駆動機構は、トグル機構12、運動変換機構13及び型開閉用サーボモータ14により構成され、前記トグル機構12は上下両端で可動プラテン2及びボトムプラテン3に連結されると共に、水平部材15に設けた雌ネジ部で前記運動変換機構13を構成するボールネジ16に螺合し、タイミングベルト17を介して型開閉用サーボモータ14に連結されている。従って、型開閉用サーボモータ14を作動させると、その回転運動がタイミングベルト17によりボールネジ16に伝達され、その回転運動がボールネジ16に螺合する水平部材15の上下方向の直線運動に変換される結果、トグル機構12が伸縮して可動プラテン2が上下動し、これにより型開き及び型締めが行われる。
【0013】
可動プラテン2上にはトランスファープレート18が配設され、その上にプランジャー等圧装置19が配設されている。前記プランジャー等圧装置19は、ポットの数に対応した複数のシリンダ20と、各シリンダ20内を摺動するピストンと、外ピストンに連結されポット内を摺動するプランジャー21とを含み、各シリンダ20の下端側を流体路により相互に連通させ、当該流体路内のオイルその他の圧力伝達媒体によって各プランジャー21に等しい圧力を加えてポット内の樹脂を等圧でキャビティ22内に圧送するものであって公知の構造のものを使用すれば良い。例えば、前掲公報に記載のものであっても良い。
【0014】
前記エジェクタープレート23は上向きに立接された複数の上部連係部材24と、下向きに固接された複数の下部連係部材25を備えている。前記上部連係部材24は、その上端が下型ベースブロック11の上面に設けた貫通孔26を通してエジェクタピンプレート27に当接し、成形品取り出し時にエジェクタピンプレート27を押動させるようにしてある。
【0015】
前記トランスファープレート18には、エジェクタープレート23に配設された下部連係部材25の収容部として、前記下部連係部材25と同軸にそれより若干大きな寸法の貫通孔28が穿設されると共に、当該貫通孔28に隣接して回転式アクチュエータ29が配設され、図5に示すように、当該回転式アクチュエータ29の回転軸30には前記貫通孔28を開閉するストッパプレート31が固定されている。前記回転式アクチュエータ29は、トランスファー成型時には、図5に実線で示すように、ストッパプレート31を前記貫通孔28から所定角度(図では90度)だけずれた貫通孔28を開放する開放位置に位置させて、トランスファープレート18が上昇した際に下部連係部材25がトランスファープレート18の貫通孔28に収容されトランスファープレート18に当たらないようにし、成形品取り出し時には、ストッパプレート31を回動させてトランスファープレート18の貫通孔28を閉鎖する閉鎖位置に位置させて、トランスファープレート18が上昇した際に、下部連係部材25がストッパプレート31に当接して押動され、上部連係部材24がエジェクタープレート23を押し上げるように制御される。
【0016】
可動プラテン2の底部には、アクションジャッキ33を備えた第二サーボモータ32が複数配設され、各第二サーボモータ32の回転運動は前記アクションジャッキ33によりそのシャフト34の直線運動に変換され、トランスファープレート18を押動させるようにしてある。
【0017】
エジェクタピンプレート27は、下型5内に配設され、下型キャビティプレート9に形成された下型キャビティ内に進退可能な複数のエジェクタピン35が立設されると共に、エジェクタピンプレート27の上下動をガイドするため、複数のリターンピン36が設けてある。また、図6に示すように、エジェクタピンプレート27に複数のストッパボルト37を設けて下降端の位置決めを行うと共に、前記ストッパボルト37を囲繞するスプリング38により、常時、下側へ付勢するようにしても良い。同様に、エジェクタープレート23に複数のボルト39を設けて下降端の位置決めを行うと共に、スプリング40により、常時、下側へ付勢するようにしても良い。
【0018】
使用に際しては、図1の型開き状態で、タブレットとリードフレーム(図示せず)を下型キャビティプレート9にセットし、型開閉用サーボモータ14を稼働させると、ボールネジ16が回転して水平部材15が上昇し、これによりトグル機構12が立上がって可動プラテン2が押し上げられ、型締めが行われる。
【0019】
次いで、型締め終了後、第二サーボモータ32を稼働させると、そのシャフト34の回転運動がアクションジャッキ33により直線運動に変換され、そのシャフト34によりトランスファープレート18が上昇させられる。トランスファープレート18の上昇に伴い、トランスファープレート18上のプランジャー等圧装置19により各プランジャー21は等圧で押し上げられ、各ポット内のタブレットが加圧溶融されて上型キャビティプレート6と下型キャビティプレート9とで形成されるキャビティ22内に注入され、キャビティ22内に配置されたリードフレーム上の半導体装置が樹脂で封止される。この時、図2の型締め状態では、ストッパプレート31は、図5に示すように、貫通孔28の軸とストッパプレート31の回転軸30とを結ぶ線上から所定角度(この例では90度)だけずれた開放位置にあって、トランスファープレート18の貫通孔28は開放されているため、トランスファープレート18が上昇しても、エジェクタープレート23の下部連係部材25はトランスファープレート18の貫通孔28に収容されるため、エジェクタープレート23が押動されることはない。
【0020】
トランスファー成形が完了した後、第二サーボモータ32を逆回転させ、トランスファープレート18を降下させて型開きを行い、プランジャー等圧装置19及びプランジャー21を、図3に示すように、原位置に復帰させる。この状態で、回転式アクチュエータ29を稼働させてトランスファープレート18上のストッパプレート31を図5の点線で示す位置まで90度回転させ、トランスファープレート18の貫通孔28をストッパプレート31で閉鎖させる。
【0021】
次ぎに、第二サーボモータ32を再び稼働させると、アクションジャッキ33のシャフト34によりトランスファープレート18が押し上げられる。この時、トランスファープレート18の貫通孔28は、図4に示されるように、ストッパプレート31で塞がれているため、エジェクタープレート23の下部連係部材25の底部がストッパプレート31に当接するため、トランスファープレート18の上昇に伴ってエジェクタープレート23が押し上げられる。このため、エジェクタープレート23に立設された上部連係部材24を介して下型5に組み込まれたエジェクタピンプレート27が押し上げられ、図4に示されるように、成形品がエジェクタピン35で下型キャビティプレート9より押し出される。キャビティ22から押し出された成形品は、従来と同様にローダー(図示せず。)により金型外へ搬出させる。なお、ポット、エジェクターピン貫通孔等のクリーニングの為に、金型から成形品を取り出した後、前記エジェクタピン35、プランジャー21の上昇及び下降させる動作を繰り返し行っても良い。
【0022】
成形品を金型外に搬出した後、トランスファー駆動用第二サーボモータ32を逆転させてアクションジャッキ33のシャフト34を降下させ、エジェクタピンプレート27、エジェクタープレート23及びエジェクターピンを降下させて図3の位置に戻す。次いで、回転式アクチュエータ29を稼働させ、ストッパプレート31を90度回転させて図5の実線で示す原位置に戻し、トランスファープレート18の貫通孔28を開放させて一サイクルを終える。以後、図1から図4に示す各工程が繰り返され、トランスファー封入成形が反復して行われる。
【0023】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、型開きした後、回転式アクチュエータを作動させて前記トランスファープレートに設けた下部連係部材収容部をストッパプレートで閉鎖し、このストッパプレートでエジェクタープレートの下部連係部材を押動してエジェクタピンプレートを押し上げ、成形品を排出させるようにした。このため、下型の降下に合わせて成形品を排出させる必要がなく、その排出のタイミングを自由に変更することができ、従って、ローダーに合わせて取り出し時期を設定できる。また、エジェクタスピードを正確に変更できるため、製品形状にあった離型速度に調整できる。更に、アクチュエータはストッパプレートを回転させるだけでよいので小型のもので良く、製品コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るトランスファー成形装置の側面断面図。
【図2】図1の成形装置の型締め状態を示す要部断面図。
【図3】図1の成形装置の成形終了状態の要部断面図。
【図4】図1の成形装置の成形品取出し状態を示す要部断面図。
【図5】図3のA−A線に於ける矢視図。
【図6】図1の成形装置の変形例を示す要部拡大断面図。
【符号の説明】
1…トッププラテン
2…可動プラテン
3…ボトムプラテン
4…上型
5…下型
6…上型キャビティプレート
7…上型スペースブロック
8…上型ベースブロック
9…下型キャビティプレート
10…下型スペースブロック
11…下型ベースブロック
12…トグル機構
13…運動変換機構
14…型開閉用サーボモータ
15…水平部材
16…ボールネジ
17…タイミングベルト
18…トランスファープレート
19…プランジャー等圧装置
20…シリンダ
21…プランジャー
22…キャビティ
23…エジェクタープレート
24…上部連係部材
25…下部連係部材
26…貫通孔
27…エジェクタピンプレート
28…貫通孔
29…回転式アクチュエータ
30…回転軸
31…ストッパプレート
32…第二サーボモータ
33…アクションジャッキ
34…シャフト
35…エジェクタピン
36…リターンピン
37…ストッパボルト
38…スプリング
39…ボルト
40…スプリング

Claims (4)

  1. エジェクタープレートに、エジェクタピンプレートを押動する上部連係部材と、プランジャー等圧装置を配設し、かつ、プランジャーを等圧で押し上げ可能なトランスファープレートに押動される下部連係部材とを設け、前記トランスファープレートに、前記下部連係部材を収容し得る収容部を設ける一方、当該収容部を開放する開放位置と前記収容部を閉鎖し前記下部連係部材に係合する閉鎖位置とに変位可能なストッパプレートと、トランスファー成形時に前記ストッパプレートを前記開放位置へ変位させ、製品取り出し時に前記ストッパプレートを前記閉鎖位置へ変位させるアクチュエータとを配設してなることを特徴とするトランスファー成形装置。
  2. 前記トランスファープレートを駆動する駆動手段がサーボモータと、当該サーボモータの回転運動を直線運動に変換する運動変換器とからなることを特徴とする請求項1に記載のトランスファー成形装置。
  3. 前記アクチュエータが回転式アクチュエータである請求項1又は2に記載のトランスファー成形装置。
  4. 前記アクチュエータが往復動式アクチュエータである請求項1又は2に記載のトランスファー成形装置。
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