JP3628320B2

JP3628320B2 - Substrate detection method

Info

Publication number: JP3628320B2
Application number: JP2003024328A
Authority: JP
Inventors: 保夫今西; 正美大谷; 潤渋川
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2003-01-31
Filing date: 2003-01-31
Publication date: 2005-03-09
Anticipated expiration: 2017-11-13
Also published as: JP2003234395A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for grasping the housing state of a substrate within a wafer-housing container. <P>SOLUTION: A reflection sensor 10 is fitted to a shutter member 5 for closing a pass-through port 12a of a partition 12. The sensor 10 moving down integrally with the shutter member 5 detects a substrate W within a cassette 1 in this order. A data processing part 11 collets the detected information of the substrate W. A position detection means detects the position of the sensor 10 from information sent from an encoder 13a provided on a vertically moving mechanism 7a. A handling part 14 can grasp the state of the substrate W within the cassette 1 from the detected information of the substrate W and the position of the sensor 10. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板収納容器から複数枚の基板を取り出す、あるいは基板収納容器に複数枚の基板を収納するために基板収納容器内の基板の収納状態を把握する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の装置を備えた基板処理装置として、例えば、特開平３−２９７１５６号公報に開示されたものがある。
【０００３】
この基板処理装置では、複数枚の基板を収納するためのカセットとして、オープンカセットと呼ばれるものが使用されている。このオープンカセット（以下、単に「カセット」と呼ぶ）の前側には、基板を取り出し・収納するための開口が設けられ、また、カセットの奥側には、前記開口よりも小さな開口が設けられている。また、カセットの内壁には、基板をほぼ水平に保持するための溝が多段に刻まれている。基板は、この溝に１枚ずつ収められ、その結果、複数枚の基板がカセットに収納される。
【０００４】
基板処理装置は、カセット内の特定の溝から取り出した基板に所定の処理を行い、再び、この基板を特定の溝に収納するために、カセット内の基板の収納状態を予め把握する。この基板の収納状態の把握は、載置部に設けられた検出手段によって行われる。この検出手段は、カセットを前後から挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成された透過型センサである。この透過型センサは、投光素子と受光素子との間で行われる光の伝送が遮断される否かによって、基板の有無を検出するものである。この透過型センサをカセット内の最上段の溝から最下段の溝にまで上下方向に移動させることで、カセットの各溝内に収納された基板の有無、すなわち、カセット内の基板の収納状態を把握している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の基板の大型化に伴って、この基板を収納するカセットについて、新たな規格が取り決められている。この規格に準じたカセットは、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）カセットと呼ばれている。このＦＯＵＰカセットは、基板の取り出し・収納するための単一の開口だけが設けられていて、この開口に着脱可能な蓋が取付けられた構成となっている。基板の取り出し・収納時に、ＦＯＵＰカセットは、蓋が外され、開口が開けられた状態で使用されるが、単一の開口だけしか備えていないので、従来のようにカセットを前後から挟む透過型センサによっては、カセットの各溝に収納された基板の有無を検出することができないという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板収納容器内の基板の収納状態を把握することができる基板検出方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを有する基板収納容器に基板をほぼ水平に収納し、前記基板収納容器を載置する載置部と基板に所定の処理を施す処理部とが隔壁で隔てられており、前記隔壁に前記基板収納容器から基板の取り出し・収納を行なうための通過口が設けられており、前記通過口がシャッター部材で開閉される基板処理装置に用いられる基板検出方法であって、前記開口に蓋を取り付けた状態で前記基板収納容器を前記載置部に載置する過程と、前記載置部に載置された基板収納容器の蓋をシャッター部材が保持する過程と、前記シャッター部材が蓋を保持した状態で後退・下降移動して、基板収納容器の蓋を開ける過程と、開放された前記隔壁の通過口および前記基板収納容器の開口を通じて、前記シャッター部材と一体に昇降させる検出手段で基板収納容器内の基板の有無を検出する過程とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを有する基板収納容器に基板をほぼ水平に収納し、前記基板収納容器を載置する載置部と基板に所定の処理を施す処理部とが隔壁で隔てられており、前記隔壁に前記基板収納容器から基板の取り出し・収納を行なうための通過口が設けられており、前記通過口がシャッター部材で開閉される基板処理装置に用いられる基板検出方法であって、前記開口に蓋を取り付けた状態で前記基板収納容器を前記載置部に載置する過程と、前記載置部に載置された基板収納容器の蓋をシャッター部材が保持する過程と、前記シャッター部材が蓋を保持した状態で後退・下降移動して、基板収納容器の蓋を開ける過程と、基板収納容器内の基板の有無を検出する検出手段が、前記開放された前記隔壁の通過口および前記基板収納容器の開口内を前進移動して前記基板収納容器内の基板に近づく過程と、前記シャッター部材と一体に昇降させる前記検出手段で基板収納容器内の基板の有無を検出する過程とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、基板の取り出し・収納するための開口と、前記開口に取り付けられる蓋とを有する基板収納容器に基板をほぼ水平に収納し、前記基板収納容器を載置する載置部と基板に所定の処理を施す処理部とが隔壁で隔てられており、前記隔壁に前記基板収納容器から基板の取り出し・収納を行なうための通過口が設けられており、前記通過口がシャッター部材で開閉される基板処理装置に用いられる基板検出方法であって、前記開口に蓋を取り付けた状態で前記基板収納容器を前記載置部に載置する過程と、前記載置部に載置された基板収納容器の蓋をシャッター部材が保持する過程と、前記シャッター部材が蓋を保持した状態で後退・下降移動して、基板収納容器の蓋を開ける過程と、開放された前記隔壁の通過口および前記基板収納容器の開口を通じて、前記シャッター部材と一体に昇降させる検出手段で基板収納容器内の基板の有無を検出する過程と、前記シャッター部材が蓋を保持して下降駆動している間、前記検出手段からの電気信号を収集して、前記基板収納容器内の各位置における基板の有無を記憶する過程とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
基板収納容器が開口に蓋を取り付けた状態で載置部に置かれると、シャッター部材が基板収納容器の蓋を保持して、後退・下降移動する。シャッター部材が蓋を保持して下降する際に、開放された隔壁の通過口および基板収納容器の開口を通じて、基板収納容器内の基板の有無が検出される。
【００１８】
請求項２に記載の発明の作用は次のとおりである。
基板収納容器が開口に蓋を取り付けた状態で載置部に置かれると、シャッター部材が基板収納容器の蓋を保持して、後退・下降移動する。シャッター部材が蓋を保持して下降する際に、開放された隔壁の通過口および基板収納容器の開口を通じて、基板収納容器内の基板の有無が検出される。このとき検出手段が、開放された隔壁の通過口および基板収納容器の開口内を前進移動して基板収納容器内の基板に近づくので、基板の検出精度が向上する。
【００１９】
請求項３に記載の発明の作用は次のとおりである。
基板収納容器が開口に蓋を取り付けた状態で載置部に置かれると、シャッター部材が基板収納容器の蓋を保持して、後退・下降移動する。シャッター部材が蓋を保持して下降する際に、開放された隔壁の通過口および基板収納容器の開口を通じて、基板収納容器内の基板の有無が検出される。また、シャッター部材が蓋を保持して下降駆動している間に、検出手段からの電気信号が収集されて、基板収納容器内の各位置における基板の有無が記憶される。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は本発明の実施例に係る基板処理装置の要部の概略構成を示す平面図である。図２はその側面図である。なお、この実施例の基板処理装置は、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）カセットと呼ばれている、基板を取り出し・収納するための開口に蓋が取り付けられているカセットに対応した基板処理装置である。
【００２８】
この基板処理装置は、図１に示すように、基板Ｗをカセット１から取り出して、この基板Ｗに所定の処理を施す処理部２０と、カセット１を載置する載置部３とが隔壁１２で隔てられて構成されている。載置部３には、カセット１を載置する複数個（本実施例では４個）のカセットステージ２が設けられている。
【００２９】
図３に示すように、ＦＯＵＰカセット１（以下、「カセット１」と呼ぶ）は、基板Ｗを収納するための容器１ａと、この容器１ａに備える開口１ｃに着脱可能に嵌め込まれる蓋１ｂとで構成されている。容器１ａの内壁には、多段の溝１ｄが対向して設けられている。各溝１ｄには、基板Ｗがほぼ水平に保持された状態で収納されている。蓋１ｂには、容器１ａの開口１ｃに嵌め込まれた際に、蓋１ｂを容器１ａに固定する固定機構１ｅが埋設されている。この固定機構１ｅは、基端部にラックが刻設された２本のロック部材１ｆと、ラックに噛み合う回転自在なピニオン１ｇとで構成される。後述するシャッター部材５に備えているロック機構６によって、蓋１ｂの中央付近にあるピニオン１ｇを回転させることで、ロック部材１ｆを上昇させて、蓋１ｂを容器１ａの開口１ｃに固定している。
【００３０】
カセットステージ２には、カセット１が載置されたことを検出するために、反射センサなどの図示しないカセット検出手段がカセット１の載置面に設けられている。また、カセットステージ２は、その下方に設けられたカセット駆動機構４によって、隔壁１２方向（Ｙ方向）に進退移動可能に構成されている。
【００３１】
カセット駆動機構４は、カセットステージ２の下面に設けられた凸部２ａに螺合する螺軸４ｂを電動モータ４ａで駆動する、いわゆる螺子送り機構によって構成されている。カセットステージ２にカセット１が載置されると、電動モータ４ａが螺軸４ｂを正回転させてカセットステージ２を隔壁１２に向かって前進させる。なお、カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了すると、電動モータ４ａは、螺軸４ｂを逆回転してカセットステージ２を後退させる。
【００３２】
隔壁１２には、カセット１に対向する位置に、カセット１とほぼ同じ大きさの通過口１２ａが設けられている。この通過口１２ａは、カセット１から基板Ｗの取り出し・収納を行うためのものであり、カセット１が載置されていない場合には、処理部２０と載置部３との雰囲気を遮蔽するためにシャッター部材５によって閉じられている。
【００３３】
図４に示すように、シャッター部材５は、隔壁１２の通過口１２ａに嵌め込まれる凸部５ａと、この凸部５ａが設けられている支持板部５ｂとで構成される。凸部５ａには、図示しない電動モータと、この電動モータの出力軸に連結された連結部材６ａとが埋設されている。
【００３４】
上述したカセットステージ２の前進駆動によって、カセット１の蓋１ｂは、シャッター部材５の凸部５ａに近接する位置にまで移動されるので、蓋１ｂに備えられたロック機構１ｅのピニオン１ｇが、連結部材６ａに連結接続される。この状態で、シャッター部材５に備えられたロック機構６は、電動モータを回転させて、蓋１ｂと容器１ａとのロックを解除することで、容器１ａから蓋１ｂを離脱可能とする。
【００３５】
また、上述した支持板部５ｂには、下方へ延びた「Ｌ」字型のアーム５ｃが設けられている（図２参照）。シャッター部材５は、このアーム５ｃの基端部に取り付けたシャッター駆動機構７によって、進退および昇降駆動とされる。
【００３６】
シャッター駆動機構７は、シャッター部材５をＺ方向に昇降させる昇降機構７ａと、Ｙ方向に進退させる進退機構７ｂとで構成されている。昇降機構７ａは、アーム５ｃの基端部に螺合する螺軸を電動モータによって駆動する、いわゆる螺子送り機構によって構成されている。また、昇降機構７ａの上部には、エンコーダ１３ａが設けられていて、電動モータの回転量を検出することによって、シャッター部材５のＺ方向の位置を検出するようになっている。進退機構７ｂは、昇降機構７ａをＹ方向に進退させる螺子送り機構で構成されている。昇降機構７ａおよび進退機構７ｂによって、シャッター部材５は、進退および昇降可能となる。以下、図５（ａ）、（ｂ）を参照してシャッター部材５の動作を具体的に説明する。
【００３７】
図５（ａ）に示すように、カセットステージ２（図２参照）に載置されたカセット１は、カセット駆動機構４（図２参照）によって前進駆動される。このとき、シャッター部材５は、通過口１２ａを塞いでいる。図５（ｂ）に示すように、カセット１がシャッター部材５に近接する位置にまで移動してくると、シャッター部材５は、ロック機構６（図４参照）によって、カセット１の蓋１ｂのロックを解除するとともに、この蓋１ｂを保持する。次に、シャッター部材５は、シャッター駆動機構７によって後退駆動された後、カセット１からの基板Ｗの取り出し、収納の邪魔にならない退避位置にまで下降駆動される。このカセット１の全ての基板Ｗの処理が終了するまで退避位置で待機する。カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了すると、シャッター部材５は、上昇駆動された後、前進駆動されて、通過口１２ａを塞ぐとともに、カセット１に蓋１ｂを取り付ける。
【００３８】
上述したシャッター部材５には、さらに図４に示したように、支持部材５ｂの上部に投光素子部１０ａと受光素子部１０ｂとで構成される反射型センサ１０が取り付けられている。この投光素子部１０ａと受光素子部１０ｂとは、シャッター部材５が下降する際に、カセット１の溝１ｄに収納される基板Ｗの端面上の点Ｐに向くように取り付けられている。したがって、この投光素子部１０ａから投光された光は、カセット１の溝１ｄに収納された基板Ｗの端面上の点Ｐで反射し、この反射光が受光素子部１０ｂで受光され、電気信号に変換される。つまり、受光素子部１０ｂで電気信号が発生するか否かを検出することで、溝１ｄ内に収納される基板Ｗの有無を知ることができる。
【００３９】
図６に示すように、反射型センサ１０は、データ収集部１１に繋がれている。データ収集部１１は、反射型センサ１０の受光素子部１０ｂで受光された反射光に基づいて光電変換された電気信号を収集する。データ収集部１１では、シャッター部材５の下降駆動している間、電気信号の収集を行う。位置検出部１３は、シャッター駆動機構７の昇降機構７ａに取り付けられたエンコーダ１３ａから送られる電動モータの回転量信号に基づいて、シャッター部材５に取り付けられた反射型センサ１０の位置を検出する。処理部１４は、位置検出部１３によって検出された反射型センサ１０の位置と、データ収集部１１に集められた電気信号とからカセット１内の各溝における基板Ｗの有無を求めるとともに、メモリ１５にカセット１の各溝位置における基板Ｗの有無を記憶する。
【００４０】
具体的には、シャッター部材５の下降、すなわち反射型センサ１０の下降が始まると、データ収集部１１は、反射型センサ１０の投光素子部１０ａから光を投光するとともに、受光素子部１０ｂで発生する電気信号の収集を開始する。まず、反射型センサ１０の下降によって、反射型センサ１０がカセット１の最上段の溝１ｄの正面位置に来たときには、この最上段の溝１ｄに基板Ｗが収納されている場合、その基板Ｗの端面上で、投光素子部１０ａから投光された光が反射する。受光素子部１０ｂでは、受光された反射光が光電変換されて電気信号が発生する。さらに、反射型センサ１０は下降するので、次に、反射型センサ１０がカセット１内の２段目の溝１ｄの正面位置に来たときには、２段目の溝１ｄに基板Ｗが収納されていない場合、受光素子部１０ｂでは反射光が受光されず、電気信号は発生しない。データ収集部１１は、反射型センサの下降が終了するまで、これらの電気信号の収集し続ける。このデータ収集部１１で収集される電気信号と時間経過との関係を示す模式図を図７（ａ）に示す。図中、符号７０は、基板Ｗが検出された場合の各信号を示す。
【００４１】
一方、位置検出部１３は、昇降機構７ａに設けられているエンコーダ１３ａから送られてくる電動モータの回転量に基づいて、反射型センサ１０の初期位置および下降量から反射型センサ１０の位置を把握することができる。位置検出部１３は、反射型センサ１０がカセット１の各溝１ｄに対面する位置を通過している間の時間を検出する。この溝１ｄに対面する位置を通過する時間を示す模式図を図７（ｂ）に示す。図中、符号７１は、カセット１の溝１ｄに対面する位置を通過している間の時間を示す。符号７２は、溝１ｄの番号を示す。この溝１ｄは、最初に通過する溝１ｄを「１」として、その後の溝は順番に「２」、「３」、・・・、「２５」となっている。ここで、カセット１は、２５枚の基板Ｗが収納できるので、溝１ｄの最後の番号は「２５」となっている。
【００４２】
処理部１４は、位置検出部１３で検出される、各溝１ｄに対面する位置を通過する時間と、データ収集部１１で集められた時間経過における基板Ｗの有無の情報とに基づいて、各溝１ｄの時間ごとに論理演算によって、各溝１ｄにおける基板Ｗの有無を求める。処理部１４は、この結果をメモリ１５に記憶する。このようにして、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握することができる。
【００４３】
このメモリ１５に記憶された、各溝１ｄごとの基板Ｗの有無の情報は、図示しない基板処理装置を制御するコントローラによって利用される。例えば、コントローラは、このメモリ１５の情報に基づいて、後述する基板搬送機構９を動作させて、カセット１の特定の溝から取り出した基板Ｗの処理が終了した後に、その基板Ｗを取り出した特定の溝へ返却収納するような場合に利用している。
【００４４】
基板処理装置は、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握した後、基板搬送機構９によって、カセット１から基板Ｗの取り出し・収納を開始する。
【００４５】
基板搬送機構９は、基板Ｗを保持するアーム９ａを備えている。この保持アーム９ａは、図１に示すような「Ｉ」の字型の形状となっているが、例えば「Ｕ」の字型の形状であってもよい。このアーム９ａは、基板Ｗの下面を点接触で支持する図示しない複数本の支持ピンを備え、搬送中の基板Ｗの脱落や位置ズレなどを防止するために基板Ｗの周辺に点接触する部材が設けられている。
【００４６】
基板搬送機構９は、次のように構成されている。図１、図２に示すように、アーム９ａは、アーム支持台９ｂに配備された螺子送り機構によって、水平面内で進退移動可能に構成されている。次に、アーム支持台９ｂは、アーム回転台９ｃに内蔵された電動モータの出力軸に連結支持されている。この電動モータの回転によって、アーム９ａは、水平面内で回転可能となる。さらに、アーム回転台９ｃは、螺子送り機構で構成された昇降機構９ｄによって、昇降可能に構成されている。また、昇降機構９ｄは、水平面内のＸ方向にスライド移動可能なスライド駆動機構９ｅに搭載されている。
【００４７】
上述した構成によって、アーム９ａは、次のように動作する。スライド移動機構９ｅは、載置部３に載置された所定のカセット１に対向する位置にまでアーム９ａをスライド移動させる。カセット１内の最上段の基板Ｗを取り出すために、アーム９ａを上昇させ、さらにアーム９ａを基板Ｗの下面にまで前進移動させ、アーム９ａの上に基板Ｗを保持した後に、アーム９ａを後退させて基板Ｗをカセット１から取り出す。スライド移動機構９ｅは、アーム９ａを装置のほぼ中央付近にまで移動させて、処理部２０の図示しない基板搬送ロボットに基板Ｗを受け渡す。処理部２０での基板Ｗの処理が終了すると、基板搬送機構９は、処理部２０の基板搬送ロボットから基板Ｗを受け取り、再びその基板Ｗを取り出したカセット１内に収納する。この処理をカセット１の全ての基板Ｗに対して行う。
【００４８】
カセット１の全ての基板Ｗの処理が終了し、カセット１に全ての基板Ｗが収納されると、シャッター部材５は、上昇駆動された後に前進駆動されて、通過口１２ａを塞ぎ、ロック機構６を動作させて、カセット１の容器１ａに蓋１ｂを固定する。容器１ａに蓋１ｂが固定されると、カセットステージ２は、カセット駆動機構４によって後退移動し、カセット取り上げ位置にまで移動する。
【００４９】
上述した基板処理装置は、シャッター部材５の上部に検出手段である反射型センサ１０を取り付けて、シャッター部材５の下降とともに、カセット１の各溝１ｄに保持される基板の有無を検出するので、検出手段だけを昇降させるような駆動機構を必要としない。したがって、検出手段を取り付けることによる、装置の製造コストの上昇を最小限に抑えることができる。また、装置に備わっている構成を利用して検出手段を容易に取り付けることができる。
【００５０】
本発明は、以下のように変形実施することも可能である。
【００５１】
（１）上記実施例では、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握するために、カセット１の各溝１ｄに収納された基板Ｗの有無を検出する検出手段として反射型センサを用いたが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、この反射型センサ１０の代わりに、進退駆動機構を備える透過型センサを取り付けることもできる。この透過型センサを取り付けた場合の構成を図８に示す。
【００５２】
図８に示すように、シャッター部材５の支持板部５ｂの上部には、進退駆動機構８１と、この進退駆動機構８１に進退駆動可能に取り付けられた透過型センサ８０とが配備されている。進退駆動機構８１は、連結部材８１ｃに螺合する螺軸８１ｂを電動モータ８１ａで駆動する、いわゆる、螺子送り機構によって構成されている。
【００５３】
透過型センサ８０は、先端部に投光素子８３ａを備える投光部材８０ａと、先端部に受光素子８３ｂを備える受光部材８０ｂとで構成されていて、これら両部材８０ａ、８０ｂの基端部は、連結部材８１ｃに支持固定されている。さらに、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとは、固定部材８２ａと固定部材８２ｂとをそれぞれ貫通することによって、摺動自在に案内支持されているとともに、上下に高さをずらして対向配置されている。
【００５４】
以下、この透過型センサ８０および進退駆動機構８１がシャッター部材５に取り付けられた場合の動作について説明する。シャッター部材５の下降によって、透過型センサ８０が、カセット１の上端部の正面位置に来ると、進退駆動機構８１は、電動モータ８１ａを駆動して、連結部材８１ｃを前進させる。この連結部材８１ｃと一体となって、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとがカセット１の側壁の内面と基板Ｗとの間に向かって前進する。進退駆動機構８１は、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとの先端部が所定の位置にまで来ると、電動モータ８１ａの駆動を止める。この位置は、カセット１の溝１ｄに基板Ｗが有る場合に、基板Ｗによって透過型センサ８０の光軸が遮断される位置である。透過型センサ８０は、この位置を保持された状態で、シャッター部材５の下降にしたがって、順次カセット１の各溝１ｄ内の基板Ｗの有無を検出していく。この基板Ｗの検出のタイミングは、反射型センサを使用した上記実施例の場合と同様である。
【００５５】
透過型センサ８０が、カセット１の最下部の正面に来ると、進退駆動機構８１は、電動モータ８１ａを逆方向に駆動して、連結部材８１ｃを後退させる。投光部材８０ａと受光部材８０ｂとの先端部が、固定部材８２ａ、８２ｂにまで後退したら、進退駆動機構８１は、電動モータ８１ａの駆動を止める。投光部材８０ａと受光部材８０ｂを後退させるのは、シャッター部材５が下降したときに、投光部材８０ａと受光部材８０ｂとが、載置部３などに引っ掛からないようにするためである。
【００５６】
上述した進退駆動機構８１によって、検出手段である透過型センサ８０を基板Ｗに近づけて基板Ｗの有無を検出することができるので、検出精度を向上することができる。なお、上述した実施例で説明した反射型センサを、上記の進退駆動機構８１によって前後進させ、反射型センサを基板に近接させて基板の有無を検出するようにしてもよい。
【００５７】
（２）カセット１の各溝１ｄに収納された基板Ｗの有無を検出する検出手段は、反射型センサや透過型センサに限定するものではなく、例えば、カセット１内を撮像するＣＣＤカメラでもよい。
【００５８】
例えば、図９に示すように、シャッター部材５の支持板部５ｂの上部に、ＣＣＤカメラ９０を載置する。このＣＣＤカメラ９０は、シャッター部材５が下降する間に、カセット１内を連続して撮像する。この撮像によって得られるカセット１の画像データは、データ収集部１１に収集される。処理部１４は、この画像データに２値化処理を施して、カセット１の基板Ｗの収納状態を把握する。なお、ＣＣＤカメラ９０は、本発明における撮像手段に相当する。
【００５９】
上述した構成にすれば、カセット１内を画像として捉えることができるので、さらに詳細に基板の状態を把握することができる。
【００６０】
（３）上記変形例（２）では、カセット１内の基板Ｗの収納状態を把握するために、ＣＣＤカメラ９０を用いたが、例えば、図１０に示すように、シャッター部材５の支持板部５ｂの上部に、光ファイバ９５を設置して、この光ファイバ９５の終端に接続された図示しないＣＣＤカメラによって、カセット１内を撮像するように構成してもよい。
【００６１】
上述した構成にすれば、ＣＣＤカメラを装置内の空いた場所に設置することができるので、検出手段を設けることによる装置の拡大を防止することができる。また、光ファイバは、軽いのでシャッター部材５の動作に影響を与えることもない。なお、上述したＣＣＤカメラ９０や光ファイバ９５を、図８に示したような進退駆動機構８１で前後進させ、基板に近接した状態で、カセット内を撮像するようにしてもよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、シャッター部材が蓋を保持して下降する際に、開放された隔壁の通過口および基板収納容器の開口を通じて、基板収納容器内の基板の有無を検出することができる。
【００６３】
請求項２に記載の発明によれば、検出手段が、開放された隔壁の通過口および基板収納容器の開口内を前進移動して基板収納容器内の基板に近づくので、基板の検出精度を向上させることができる。
【００６４】
請求項３に記載の発明によれば、シャッター部材が蓋を保持して下降駆動している間に、検出手段からの電気信号が収集して、基板収納容器内の各位置における基板の有無を記憶することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】実施例に係る装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】実施例のＦＯＵＰカセットを示す斜視図である。
【図４】実施例のシャッター部材とシャッター部材に取り付けられた反射型センサを示す斜視図である。
【図５】実施例のシャッター部材の動作を表す概略側面図である。
【図６】実施例の要部を示すブロック図である。
【図７】実施例の基板の検出とカセットの溝位置を示す模式図である。
【図８】変形例（１）にかかる透過型センサがシャッター部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図９】変形例（２）にかかるＣＣＤカメラがシャッター部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図１０】変形例（３）にかかる光ファイバがシャッター部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ …カセット
２ …カセットステージ
３ …載置部
４ …カセット駆動機構
５ …シャッター部材
６ …ロック機構
７ …シャッター駆動機構
９ …基板搬送機構
１０ …反射型センサ
１１ …データ収集部
１２ …隔壁
１２ａ…開口部
１３ …位置検出部
１４ …処理部
１５ …メモリ
８０ …透過型センサ
８１ …進退駆動機構
９０ …ＣＣＤカメラ
９５ …光ファイバ
Ｗ …基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a technique for grasping a storage state of a substrate in a substrate storage container in order to take out a plurality of substrates from the substrate storage container or store a plurality of substrates in the substrate storage container.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as a substrate processing apparatus provided with this type of apparatus, for example, there is one disclosed in JP-A-3-297156.
[0003]
In this substrate processing apparatus, what is called an open cassette is used as a cassette for storing a plurality of substrates. An opening for taking out and storing the substrate is provided on the front side of this open cassette (hereinafter simply referred to as “cassette”), and an opening smaller than the opening is provided on the back side of the cassette. Yes. In addition, grooves for holding the substrate substantially horizontally are engraved in multiple stages on the inner wall of the cassette. The substrates are stored one by one in the groove, and as a result, a plurality of substrates are stored in the cassette.
[0004]
The substrate processing apparatus performs a predetermined process on the substrate taken out from the specific groove in the cassette, and grasps in advance the storage state of the substrate in the cassette in order to store the substrate in the specific groove again. The grasping state of the substrate is performed by detection means provided on the placement unit. This detection means is a transmission type sensor composed of a light projecting element and a light receiving element that are arranged to face each other so as to sandwich the cassette from the front and rear. This transmissive sensor detects the presence or absence of a substrate based on whether or not transmission of light performed between a light projecting element and a light receiving element is interrupted. By moving this transmissive sensor in the vertical direction from the uppermost groove in the cassette to the lowermost groove, the presence / absence of a substrate stored in each groove of the cassette, that is, the storage state of the substrate in the cassette is determined. I know.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, with the recent increase in the size of substrates, new standards have been agreed on cassettes for storing these substrates. A cassette conforming to this standard is called a FOUP (Front Open Unified Pod) cassette. This FOUP cassette is provided with only a single opening for taking out and storing the substrate, and a detachable lid is attached to this opening. The FOUP cassette is used with the lid removed and the opening opened when the substrate is taken out and stored. However, since the FOUP cassette has only a single opening, it is a transmission type that sandwiches the cassette from the front and the rear as in the past. There is a problem that some sensors cannot detect the presence or absence of a substrate stored in each groove of the cassette.
[0006]
The present invention has been made in view of such circumstances, and a substrate detection method capable of grasping the storage state of a substrate in a substrate storage container. The law The purpose is to provide.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration.
That is, according to the first aspect of the present invention, a substrate is stored substantially horizontally in a substrate storage container having an opening for taking out and storing the substrate and a lid attached to the opening, and the substrate storage container is placed thereon. And a processing section for performing a predetermined process on the substrate are separated by a partition wall, and a passage port for taking out and storing the substrate from the substrate storage container is provided in the partition wall, and the passage A substrate detection method used in a substrate processing apparatus in which a mouth is opened and closed by a shutter member, the process of placing the substrate storage container on the placement unit with a lid attached to the opening, and the placement unit A process of holding the lid of the substrate storage container placed on the shutter member, a process of opening the cover of the substrate storage container by moving backward and downward while the shutter member holds the cover, and Open Through the opened passage opening of the partition wall and the opening of the substrate storage container, A detecting means that moves up and down integrally with the shutter member; And a step of detecting the presence / absence of a substrate in the substrate storage container.
[0008]
According to a second aspect of the present invention, a substrate is stored in a substrate storage container having an opening for taking out and storing the substrate and a lid attached to the opening, and the substrate storage container is placed thereon. The placement unit and a processing unit for performing a predetermined process on the substrate are separated by a partition wall, and a passage port for taking out and storing the substrate from the substrate storage container is provided in the partition wall. A substrate detection method used in a substrate processing apparatus that is opened and closed by a shutter member, the process of mounting the substrate storage container on the mounting unit with a lid attached to the opening, and mounting on the mounting unit A process in which the shutter member holds the lid of the placed substrate storage container, a process in which the shutter member moves backward and downward while holding the lid to open the lid of the substrate storage container, and a substrate in the substrate storage container Detect presence or absence A process detecting means closer to the forward movement of the passage opening and the opening of the substrate storage container of the opened the partition wall substrate of the substrate storage container that, Move up and down integrally with the shutter member And a step of detecting the presence or absence of a substrate in the substrate storage container by the detection means.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, a substrate is stored in a substrate storage container having an opening for taking out and storing the substrate and a lid attached to the opening, and the substrate storage container is placed thereon. The placement unit and a processing unit for performing a predetermined process on the substrate are separated by a partition wall, and a passage port for taking out and storing the substrate from the substrate storage container is provided in the partition wall. A substrate detection method used in a substrate processing apparatus that is opened and closed by a shutter member, the process of mounting the substrate storage container on the mounting unit with a lid attached to the opening, and mounting on the mounting unit A process in which the shutter member holds the lid of the placed substrate storage container, and a process in which the shutter member moves backward and downward while holding the lid to open the lid of the substrate storage container. Open Through the opened passage opening of the partition wall and the opening of the substrate storage container, Move up and down integrally with the shutter member The process of detecting the presence / absence of a substrate in the substrate storage container by the detection means, and collecting the electrical signals from the detection means while the shutter member is driven to move downward while holding the lid, And a process of storing the presence or absence of a substrate at each position.
[0017]
[Action]
The operation of the first aspect of the invention is as follows.
When the substrate storage container is placed on the mounting portion with the lid attached to the opening, the shutter member holds the lid of the substrate storage container and moves backward and downward. When the shutter member descends while holding the lid, the presence / absence of a substrate in the substrate storage container is detected through the opening of the opened partition wall and the opening of the substrate storage container.
[0018]
The operation of the invention described in claim 2 is as follows.
When the substrate storage container is placed on the mounting portion with the lid attached to the opening, the shutter member holds the lid of the substrate storage container and moves backward and downward. When the shutter member descends while holding the lid, the presence / absence of a substrate in the substrate storage container is detected through the opening of the opened partition wall and the opening of the substrate storage container. At this time, the detection means moves forward in the opening of the opened partition wall and the opening of the substrate storage container and approaches the substrate in the substrate storage container, so that the detection accuracy of the substrate is improved.
[0019]
The operation of the invention according to claim 3 is as follows.
When the substrate storage container is placed on the mounting portion with the lid attached to the opening, the shutter member holds the lid of the substrate storage container and moves backward and downward. When the shutter member descends while holding the lid, the presence / absence of a substrate in the substrate storage container is detected through the opening of the opened partition wall and the opening of the substrate storage container. Further, while the shutter member is driven downward while holding the lid, the electrical signals from the detection means are collected and the presence / absence of the substrate at each position in the substrate storage container is stored.
[0027]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a main part of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view thereof. The substrate processing apparatus of this embodiment is a substrate processing apparatus corresponding to a cassette called a FOUP (Front Open Unified Pod) cassette in which a lid is attached to an opening for taking out and storing a substrate. .
[0028]
As shown in FIG. 1, the substrate processing apparatus includes a partition wall 12 that includes a processing unit 20 that takes out a substrate W from a cassette 1 and performs a predetermined process on the substrate W, and a mounting unit 3 on which the cassette 1 is mounted. It is constituted by being separated by. The mounting section 3 is provided with a plurality (four in this embodiment) of cassette stages 2 on which the cassette 1 is mounted.
[0029]
As shown in FIG. 3, the FOUP cassette 1 (hereinafter referred to as “cassette 1”) includes a container 1a for storing the substrate W and a lid 1b that is detachably fitted into an opening 1c provided in the container 1a. It is configured. A multistage groove 1d is provided on the inner wall of the container 1a so as to face each other. In each groove 1d, the substrate W is stored in a state of being held almost horizontally. The lid 1b is embedded with a fixing mechanism 1e that fixes the lid 1b to the container 1a when fitted into the opening 1c of the container 1a. The fixing mechanism 1e includes two locking members 1f each having a rack carved at a base end portion, and a rotatable pinion 1g that meshes with the rack. A lock mechanism 6 provided in a shutter member 5 described later rotates a pinion 1g near the center of the lid 1b to raise the lock member 1f and fix the lid 1b to the opening 1c of the container 1a. .
[0030]
The cassette stage 2 is provided with cassette detection means (not shown) such as a reflection sensor on the placement surface of the cassette 1 in order to detect that the cassette 1 is placed. The cassette stage 2 is configured to be movable back and forth in the direction of the partition wall 12 (Y direction) by a cassette driving mechanism 4 provided below the cassette stage 2.
[0031]
The cassette driving mechanism 4 is configured by a so-called screw feeding mechanism in which a screw shaft 4b screwed with a convex portion 2a provided on the lower surface of the cassette stage 2 is driven by an electric motor 4a. When the cassette 1 is placed on the cassette stage 2, the electric motor 4 a rotates the screw shaft 4 b in the forward direction to advance the cassette stage 2 toward the partition wall 12. When the processing of all the substrates W in the cassette 1 is completed, the electric motor 4a rotates the screw shaft 4b in the reverse direction to move the cassette stage 2 backward.
[0032]
The partition wall 12 is provided with a passage opening 12 a having the same size as the cassette 1 at a position facing the cassette 1. The passage port 12a is used to take out and store the substrate W from the cassette 1, and when the cassette 1 is not placed, it shields the atmosphere between the processing unit 20 and the placement unit 3. The shutter member 5 is closed.
[0033]
As shown in FIG. 4, the shutter member 5 includes a convex portion 5a that is fitted into the passage port 12a of the partition wall 12, and a support plate portion 5b on which the convex portion 5a is provided. An electric motor (not shown) and a connecting member 6a connected to the output shaft of the electric motor are embedded in the convex portion 5a.
[0034]
As the cassette stage 2 is driven forward, the lid 1b of the cassette 1 is moved to a position close to the convex portion 5a of the shutter member 5, so that the pinion 1g of the lock mechanism 1e provided on the lid 1b is connected. It is connected to the member 6a. In this state, the lock mechanism 6 provided in the shutter member 5 rotates the electric motor to release the lock between the lid 1b and the container 1a, so that the lid 1b can be detached from the container 1a.
[0035]
Further, the above-described support plate portion 5b is provided with an “L” -shaped arm 5c extending downward (see FIG. 2). The shutter member 5 is driven back and forth and up and down by a shutter drive mechanism 7 attached to the base end portion of the arm 5c.
[0036]
The shutter drive mechanism 7 includes an elevating mechanism 7a that elevates and lowers the shutter member 5 in the Z direction and an advance / retreat mechanism 7b that advances and retracts in the Y direction. The elevating mechanism 7a is configured by a so-called screw feed mechanism in which a screw shaft that is screwed to the base end portion of the arm 5c is driven by an electric motor. Further, an encoder 13a is provided above the lifting mechanism 7a, and detects the position of the shutter member 5 in the Z direction by detecting the amount of rotation of the electric motor. The advance / retreat mechanism 7b is constituted by a screw feed mechanism that advances and retracts the elevating mechanism 7a in the Y direction. By the elevating mechanism 7a and the advance / retreat mechanism 7b, the shutter member 5 can advance / retreat and elevate / lower. Hereinafter, the operation of the shutter member 5 will be described in detail with reference to FIGS. 5 (a) and 5 (b).
[0037]
As shown in FIG. 5A, the cassette 1 placed on the cassette stage 2 (see FIG. 2) is driven forward by a cassette driving mechanism 4 (see FIG. 2). At this time, the shutter member 5 closes the passage opening 12a. As shown in FIG. 5B, when the cassette 1 moves to a position close to the shutter member 5, the shutter member 5 is locked by the lock mechanism 6 (see FIG. 4) to the lid 1b of the cassette 1. Is released and the lid 1b is held. Next, after the shutter member 5 is driven backward by the shutter drive mechanism 7, it is driven downward to a retracted position that does not obstruct the removal and storage of the substrate W from the cassette 1. The process waits at the retreat position until the processing of all the substrates W in the cassette 1 is completed. When the processing of all the substrates W in the cassette 1 is completed, the shutter member 5 is driven to rise and then is driven forward to close the passage port 12a and attach the lid 1b to the cassette 1.
[0038]
Further, as shown in FIG. 4, the above-described shutter member 5 is provided with a reflection type sensor 10 including a light projecting element portion 10a and a light receiving element portion 10b on an upper portion of a support member 5b. The light projecting element unit 10a and the light receiving element unit 10b are attached to face the point P on the end surface of the substrate W stored in the groove 1d of the cassette 1 when the shutter member 5 is lowered. Therefore, the light projected from the light projecting element portion 10a is reflected at the point P on the end surface of the substrate W accommodated in the groove 1d of the cassette 1, and the reflected light is received by the light receiving element portion 10b. Converted to a signal. That is, the presence or absence of the substrate W accommodated in the groove 1d can be known by detecting whether or not an electric signal is generated in the light receiving element portion 10b.
[0039]
As shown in FIG. 6, the reflective sensor 10 is connected to the data collection unit 11. The data collection unit 11 collects electrical signals that have been photoelectrically converted based on the reflected light received by the light receiving element unit 10 b of the reflective sensor 10. The data collection unit 11 collects electrical signals while the shutter member 5 is driven downward. The position detection unit 13 detects the position of the reflective sensor 10 attached to the shutter member 5 based on the rotation amount signal of the electric motor sent from the encoder 13 a attached to the lifting mechanism 7 a of the shutter drive mechanism 7. The processing unit 14 obtains the presence / absence of the substrate W in each groove in the cassette 1 from the position of the reflective sensor 10 detected by the position detection unit 13 and the electrical signal collected by the data collection unit 11, and also stores the memory 15. The presence / absence of the substrate W at each groove position of the cassette 1 is stored.
[0040]
Specifically, when the shutter member 5 descends, that is, when the reflective sensor 10 begins to descend, the data collection unit 11 projects light from the light projecting element unit 10a of the reflective sensor 10 and the light receiving element unit 10b. Start collecting electrical signals generated in First, when the reflective sensor 10 comes to the front position of the uppermost groove 1d of the cassette 1 due to the lowering of the reflective sensor 10, if the substrate W is stored in the uppermost groove 1d, the substrate W The light projected from the light projecting element unit 10a is reflected on the end surface of the light. In the light receiving element portion 10b, the received reflected light is photoelectrically converted to generate an electrical signal. Further, since the reflective sensor 10 is lowered, next, when the reflective sensor 10 comes to the front position of the second-stage groove 1d in the cassette 1, the substrate W is stored in the second-stage groove 1d. If not, the light receiving element portion 10b does not receive the reflected light and no electrical signal is generated. The data collection unit 11 continues collecting these electric signals until the descent of the reflective sensor is completed. FIG. 7A is a schematic diagram showing the relationship between the electrical signal collected by the data collection unit 11 and the passage of time. In the figure, reference numeral 70 indicates each signal when the substrate W is detected.
[0041]
On the other hand, the position detection unit 13 determines the position of the reflective sensor 10 from the initial position and the descending amount of the reflective sensor 10 based on the rotation amount of the electric motor sent from the encoder 13a provided in the lifting mechanism 7a. I can grasp it. The position detector 13 detects the time during which the reflective sensor 10 passes through the position facing each groove 1 d of the cassette 1. FIG. 7B is a schematic diagram showing the time for passing through the position facing the groove 1d. In the figure, reference numeral 71 indicates the time during the passage through the position facing the groove 1 d of the cassette 1. Reference numeral 72 indicates the number of the groove 1d. In this groove 1d, the first groove 1d passing through is “1”, and the subsequent grooves are “2”, “3”,. Here, since the cassette 1 can store 25 substrates W, the last number of the groove 1d is “25”.
[0042]
Based on the time detected by the position detection unit 13 and passing through the position facing each groove 1d and the information on the presence or absence of the substrate W collected over time collected by the data collection unit 11, the processing unit 14 The presence / absence of the substrate W in each groove 1d is obtained by logical operation for each time of the groove 1d. The processing unit 14 stores the result in the memory 15. In this way, the storage state of the substrates W in the cassette 1 can be grasped.
[0043]
Information on the presence or absence of the substrate W for each groove 1d stored in the memory 15 is used by a controller that controls a substrate processing apparatus (not shown). For example, the controller operates a substrate transport mechanism 9 to be described later based on the information in the memory 15, and after the processing of the substrate W taken out from the specific groove of the cassette 1 is completed, the controller It is used when returning and storing in the groove.
[0044]
After grasping the storage state of the substrate W in the cassette 1, the substrate processing apparatus starts taking out and storing the substrate W from the cassette 1 by the substrate transport mechanism 9.
[0045]
The substrate transport mechanism 9 includes an arm 9 a that holds the substrate W. The holding arm 9a has a “I” shape as shown in FIG. 1, but may have a “U” shape, for example. The arm 9a includes a plurality of support pins (not shown) that support the lower surface of the substrate W by point contact, and is a member that makes point contact with the periphery of the substrate W in order to prevent the substrate W from being dropped or displaced. Is provided.
[0046]
The substrate transport mechanism 9 is configured as follows. As shown in FIGS. 1 and 2, the arm 9a is configured to be movable back and forth in a horizontal plane by a screw feed mechanism provided on the arm support base 9b. Next, the arm support base 9b is connected and supported by the output shaft of the electric motor built in the arm rotary base 9c. The arm 9a can be rotated in a horizontal plane by the rotation of the electric motor. Further, the arm turntable 9c is configured to be movable up and down by an elevating mechanism 9d configured by a screw feeding mechanism. The elevating mechanism 9d is mounted on a slide drive mechanism 9e that is slidable in the X direction in a horizontal plane.
[0047]
With the above-described configuration, the arm 9a operates as follows. The slide moving mechanism 9 e slides the arm 9 a to a position facing the predetermined cassette 1 placed on the placement unit 3. In order to take out the uppermost substrate W in the cassette 1, the arm 9a is raised, the arm 9a is further moved forward to the lower surface of the substrate W, the substrate W is held on the arm 9a, and then the arm 9a is retracted. Then, the substrate W is taken out from the cassette 1. The slide moving mechanism 9e moves the arm 9a to almost the center of the apparatus and delivers the substrate W to a substrate transport robot (not shown) of the processing unit 20. When the processing of the substrate W in the processing unit 20 is completed, the substrate transport mechanism 9 receives the substrate W from the substrate transport robot of the processing unit 20 and stores the substrate W in the cassette 1 that has taken out the substrate W again. This process is performed on all the substrates W in the cassette 1.
[0048]
When the processing of all the substrates W in the cassette 1 is completed and all the substrates W are stored in the cassette 1, the shutter member 5 is driven to move upward after being lifted to close the passage port 12a, and the lock mechanism 6 Is operated to fix the lid 1 b to the container 1 a of the cassette 1. When the lid 1b is fixed to the container 1a, the cassette stage 2 is moved backward by the cassette driving mechanism 4 and moved to the cassette picking position.
[0049]
The above-described substrate processing apparatus attaches the reflective sensor 10 as the detection means to the upper part of the shutter member 5 and detects the presence or absence of the substrate held in each groove 1d of the cassette 1 as the shutter member 5 is lowered. A drive mechanism that raises and lowers only the detection means is not required. Therefore, an increase in the manufacturing cost of the apparatus due to the attachment of the detection means can be minimized. Further, the detection means can be easily attached using the configuration provided in the apparatus.
[0050]
The present invention can be modified as follows.
[0051]
(1) In the above embodiment, in order to grasp the storage state of the substrate W in the cassette 1, the reflective sensor is used as a detection means for detecting the presence or absence of the substrate W stored in each groove 1 d of the cassette 1. The present invention is not limited to this. For example, instead of the reflective sensor 10, a transmissive sensor having an advance / retreat drive mechanism can be attached. FIG. 8 shows the configuration when this transmission sensor is attached.
[0052]
As shown in FIG. 8, an advance / retreat drive mechanism 81 and a transmissive sensor 80 attached to the advance / retreat drive mechanism 81 so as to be capable of advancing / retreating are disposed on the support plate portion 5 b of the shutter member 5. The advancing / retracting drive mechanism 81 is configured by a so-called screw feed mechanism in which a screw shaft 81b screwed to the connecting member 81c is driven by an electric motor 81a.
[0053]
The transmissive sensor 80 includes a light projecting member 80a having a light projecting element 83a at a distal end portion and a light receiving member 80b having a light receiving element 83b at a distal end portion, and the base end portions of both the members 80a and 80b are The support member 81c is supported and fixed. Further, the light projecting member 80a and the light receiving member 80b are slidably guided and supported by penetrating the fixing member 82a and the fixing member 82b, respectively, and are disposed so as to face each other with a height shifted vertically. Yes.
[0054]
Hereinafter, an operation when the transmission type sensor 80 and the advance / retreat driving mechanism 81 are attached to the shutter member 5 will be described. When the transmissive sensor 80 comes to the front position of the upper end of the cassette 1 by the lowering of the shutter member 5, the advance / retreat drive mechanism 81 drives the electric motor 81a to advance the connecting member 81c. Together with the connecting member 81c, the light projecting member 80a and the light receiving member 80b move forward between the inner surface of the side wall of the cassette 1 and the substrate W. The advance / retreat drive mechanism 81 stops the driving of the electric motor 81a when the leading ends of the light projecting member 80a and the light receiving member 80b reach a predetermined position. This position is a position where the optical axis of the transmissive sensor 80 is blocked by the substrate W when the substrate W is in the groove 1 d of the cassette 1. The transmission type sensor 80 sequentially detects the presence / absence of the substrate W in each groove 1d of the cassette 1 as the shutter member 5 is lowered while the position is held. The timing for detecting the substrate W is the same as that in the above-described embodiment using the reflective sensor.
[0055]
When the transmission type sensor 80 comes to the lowermost front surface of the cassette 1, the advance / retreat drive mechanism 81 drives the electric motor 81a in the reverse direction to retract the connecting member 81c. When the tip portions of the light projecting member 80a and the light receiving member 80b are retracted to the fixing members 82a and 82b, the advance / retreat drive mechanism 81 stops driving the electric motor 81a. The reason why the light projecting member 80a and the light receiving member 80b are retracted is to prevent the light projecting member 80a and the light receiving member 80b from being caught by the mounting portion 3 or the like when the shutter member 5 is lowered.
[0056]
The above-described advance / retreat driving mechanism 81 can detect the presence or absence of the substrate W by bringing the transmissive sensor 80 serving as the detection means close to the substrate W, and thus the detection accuracy can be improved. Note that the reflection type sensor described in the above-described embodiment may be moved forward and backward by the above-described advance / retreat driving mechanism 81, and the presence or absence of the substrate may be detected by bringing the reflection type sensor close to the substrate.
[0057]
(2) The detecting means for detecting the presence / absence of the substrate W accommodated in each groove 1d of the cassette 1 is not limited to the reflection type sensor or the transmission type sensor, and may be a CCD camera for imaging the inside of the cassette 1, for example. .
[0058]
For example, as shown in FIG. 9, the CCD camera 90 is placed on the support plate portion 5 b of the shutter member 5. The CCD camera 90 continuously images inside the cassette 1 while the shutter member 5 is lowered. The image data of the cassette 1 obtained by this imaging is collected by the data collection unit 11. The processing unit 14 performs a binarization process on the image data to grasp the storage state of the substrates W in the cassette 1. The CCD camera 90 corresponds to the image pickup means in the present invention.
[0059]
With the configuration described above, the inside of the cassette 1 can be captured as an image, so that the state of the substrate can be grasped in more detail.
[0060]
(3) In the above modification (2), the CCD camera 90 is used to grasp the storage state of the substrate W in the cassette 1, but for example, as shown in FIG. An optical fiber 95 may be installed on the top of 5b, and the inside of the cassette 1 may be imaged by a CCD camera (not shown) connected to the end of the optical fiber 95.
[0061]
With the above-described configuration, the CCD camera can be installed in a vacant place in the apparatus, so that the expansion of the apparatus due to the provision of the detection means can be prevented. Further, since the optical fiber is light, the operation of the shutter member 5 is not affected. Note that the above-described CCD camera 90 and optical fiber 95 may be moved forward and backward by an advancing / retracting drive mechanism 81 as shown in FIG. 8, and the inside of the cassette may be imaged in a state of being close to the substrate.
[0062]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the first aspect of the present invention, when the shutter member descends while holding the lid, the substrate is stored through the opened partition opening and the opening of the substrate storage container. The presence or absence of the substrate in the container can be detected.
[0063]
According to the second aspect of the invention, the detection means moves forward in the opening of the opened partition wall and the opening of the substrate storage container and approaches the substrate in the substrate storage container, so that the detection accuracy of the substrate is improved. Can be made.
[0064]
According to the third aspect of the present invention, while the shutter member holds the lid and is driven downward, the electrical signals from the detection means are collected to determine the presence / absence of the substrate at each position in the substrate storage container. Can be remembered.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view illustrating a schematic configuration of an apparatus according to an embodiment.
FIG. 3 is a perspective view showing a FOUP cassette of the embodiment.
FIG. 4 is a perspective view illustrating a shutter member and a reflective sensor attached to the shutter member according to the embodiment.
FIG. 5 is a schematic side view illustrating the operation of the shutter member of the embodiment.
FIG. 6 is a block diagram illustrating a main part of the embodiment.
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating detection of a substrate and a groove position of a cassette according to an embodiment.
FIG. 8 is a perspective view showing a state in which a transmissive sensor according to Modification (1) is attached to a shutter member.
FIG. 9 is a perspective view showing a state in which a CCD camera according to a modification (2) is attached to a shutter member.
FIG. 10 is a perspective view showing a state in which an optical fiber according to Modification (3) is attached to a shutter member.
[Explanation of symbols]
1 ... cassette
2 ... cassette stage
3 Placement part
4 ... Cassette drive mechanism
5 ... Shutter member
6 ... Lock mechanism
7 ... Shutter drive mechanism
9 ... Board transfer mechanism
10: Reflective sensor
11 ... Data collection part
12 ... Bulkhead
12a ... opening
13: Position detector
14 ... processing section
15 ... Memory
80 ... Transmission type sensor
81 ... Advancing and retracting drive mechanism
90 ... CCD camera
95: Optical fiber
W ... Board

Claims

A substrate is accommodated substantially horizontally in a substrate storage container having an opening for taking out and storing the substrate and a lid attached to the opening, and a predetermined process is performed on the mounting portion and the substrate on which the substrate storage container is placed. A substrate processing apparatus in which a processing section to be applied is separated by a partition wall, a passage port for taking out and storing the substrate from the substrate storage container is provided in the partition wall, and the passage port is opened and closed by a shutter member A substrate detection method used for:
A process of placing the substrate storage container on the placement unit with a lid attached to the opening;
A process in which the shutter member holds the lid of the substrate storage container placed on the placement unit, and
The process of opening the lid of the substrate storage container by moving backward and downward while the shutter member holds the lid;
Through the opening of the passage port and said substrate container open released the said partition wall, characterized by comprising a step of detecting the presence or absence of a substrate of a substrate storage container by the detection means for elevating integrally with the shutter member Substrate detection method.

A substrate is accommodated substantially horizontally in a substrate storage container having an opening for taking out and storing the substrate and a lid attached to the opening, and a predetermined process is performed on the mounting portion and the substrate on which the substrate storage container is placed. A substrate processing apparatus in which a processing section to be applied is separated by a partition wall, a passage port for taking out and storing the substrate from the substrate storage container is provided in the partition wall, and the passage port is opened and closed by a shutter member A substrate detection method used for:
A process of placing the substrate storage container on the placement unit with a lid attached to the opening;
A process in which the shutter member holds the lid of the substrate storage container placed on the placement unit, and
The process of opening the lid of the substrate storage container by moving backward and downward while the shutter member holds the lid;
A detecting means for detecting the presence or absence of a substrate in the substrate storage container is a process of moving forward in the opening of the opened partition wall and the opening of the substrate storage container to approach the substrate in the substrate storage container;
A substrate detecting method comprising: detecting the presence / absence of a substrate in a substrate storage container by the detecting means that moves up and down integrally with the shutter member .

A substrate is accommodated substantially horizontally in a substrate storage container having an opening for taking out and storing the substrate and a lid attached to the opening, and a predetermined process is performed on the mounting portion and the substrate on which the substrate storage container is placed. A substrate processing apparatus in which a processing section to be applied is separated by a partition wall, a passage port for taking out and storing the substrate from the substrate storage container is provided in the partition wall, and the passage port is opened and closed by a shutter member A substrate detection method used for:
A process of placing the substrate storage container on the placement unit with a lid attached to the opening;
A process in which the shutter member holds the lid of the substrate storage container placed on the placement unit, and
The process of opening the lid of the substrate storage container by moving backward and downward while the shutter member holds the lid;
Through the opening of the passage port and said substrate container open released the said partition, the steps of detecting the presence or absence of a substrate of a substrate storage container by the detection means for elevating integrally with the shutter member,
A process of collecting electrical signals from the detection means and storing the presence / absence of a substrate at each position in the substrate storage container while the shutter member is driven downward while holding the lid. A substrate detection method.