JP3605928B2

JP3605928B2 - 感震装置

Info

Publication number: JP3605928B2
Application number: JP04450396A
Authority: JP
Inventors: 康裕梅景; 行夫長岡
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-03-01
Filing date: 1996-03-01
Publication date: 2004-12-22
Anticipated expiration: 2016-03-01
Also published as: JPH09236483A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスメータやガス遮断装置などに設置されて地震を検出する感震装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の感震装置は、実開昭６１−４８６３４号公報のようなものが知られていた。以下、その構成について図１０を参照しながら説明する。
【０００３】
図３に示すように、底面１が凹円錐状となっている函体２内に転動自在に球３を収納し、函体の中蓋４によって上下方向摺動自在に保持された円盤５の下面を同円盤５の自重によって球３の上面に当接させ、同円盤５の上面に設けたプランジャ６をスイッチ機構７に接触させて、円盤５の上方への移動によってスイッチ機構７が作動する。
【０００４】
上記構成において、函体２が震動すると球３は円錐状底面１上を中央から端へと転動する。この際、中心から端へ寄った位置では底面１と円盤５の凹球面との間隔が小さくなっているのでこの間隔に入った球３によってプランジャ６が押し上げられ接点８をオンする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来技術では、震動を検知はできるが、どのような大きさの震動であるかはわからなかった。また、円錐状の底面の傾斜角で接点がオンされる震動の大きさを制限することはできたが正確ではなかった。そして、接点のオンのタイミングが震動波形と一致せず、地震動か衝撃動かの判別が付けにくいという課題があった。
【０００６】
本発明は上記課題を解決するもので、自由振動子の動きを音波によって計測し振動情報を求めて地震判定を正確に行うことを主目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の感震装置においては、流体管路に設けられ音波を発生する第１の受発信手段と、前記第１の受発信手段が発した音波を受信する第２の受発信手段と、前記第１の受発信手段の略正面方向に設けた自由振動素子と、前記第１の受発信手段の音波発生情報と前記自由振動素子によって反射した音波を受信した前記第１の受発信手段からの音波受信情報とから前記自由振動素子の振動情報に変換する第１の信号処理手段と、前記振動情報から地震であるか否かを判定する判定手段と、前記第１の受発信手段の音波発生情報と前記第２の受発信手段の音波受信情報から前記流体管路を流れる流量情報に変換する第２の信号処理手段を備えている。
【０００８】
この本発明によれば、流体管路内で音波による振動情報を計測することで流体の流量情報と振動情報を同時に得ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の手段は、音波を発生する音波発生手段と、前記音波発生手段の略正面方向に設けた自由振動素子と、前記自由振動素子によって反射してくる音波を受信する音波受信手段と、前記音波発生手段の音波発生情報と前記音波受信手段の音波受信情報から前記自由振動素子の振動情報に変換する信号処理手段と、前記振動情報が地震であるか否かを判定する判定手段を備えた構成とした。
【００１０】
そして、第２の手段は、流体管路内部に音波を発生する音波発生手段と、前記流体管路で前記音波発生手段の略正面方向に設けた自由振動素子と、前記自由振動素子によって反射してくる流体管路内の音波を受信する音波受信手段と、前記音波発生手段の音波発生情報と前記音波受信手段の音波受信情報から前記自由振動素子の振動情報に変換する第１の信号処理手段と、前記振動情報が地震であるか否かを判定する判定手段と、前記音波発生情報と前記音波受信手段の音波受信情報から流体管路を流れる流量情報に変換する第２の信号処理手段を備えた構成とした。
【００１１】
また、第３の手段は、流体管路の中心軸に対して傾斜した直線上に設けた一対の音波受発信手段と、前記音波受発信手段の対向方向に対して更に傾斜した方向にそれぞれ設けたの自由振動素子と、前記受発信手段の音波受信情報から前記自由振動素子の振動情報に変換する第１の信号処理手段と、前記振動情報が地震であるか否かを判定する判定手段と、前記音波発生情報と前記音波受信手段の音波受信情報から流体管路を流れる流量情報に変換する第２の信号処理手段を備えた構成とした。
【００１２】
さらに、第４の手段は、音波受発信手段と前記音波受発信手段に対向した自由振動素子の２組のペアは互いにねじれの位置に配置した構成とした。
【００１３】
そして、第５の手段は、第１の音波受発信手段が発生した音波を第２の音波受発信手段が受信し、かつ自由振動子で反射する反射波を第１の音波受発信手段で受信し、さらに第２の音波受発信手段が発生した音波を第１の音波受発信手段が受信し、かつ自由振動子で反射する反射波を第２の音波受発信手段で受信するように第１、第２の音波受発信手段の送受信の切換と音波発生と音波受信のタイミングを制御する制御手段を備えた構成とした。
【００１４】
また、第６の手段は、振動情報で得られた変位情報を演算によって速度、加速度に変換する信号処理手段と、前記速度と加速度を用いて地震判定を行う構成とした。
【００１５】
そして、第７の手段は、音波は特定周期で発生する構成とした。
【００１６】
さらに、第８の手段は、第１の特定周期で振動情報を求め、振動情報に所定の変化があったときには、第１の特定周期より短い第２の特定周期で音波発生を行う構成とした。
【００１７】
そして、第９の手段は、一定周期で得られた振動情報から振動波形を求め、波形解析によって地震か否かを判定する判定手段を備えた構成とした。
【００１８】
また、第１０の手段は、特定周期の最大値は１０秒以内とした。
【００１９】
さらに、第１１の手段は、自由振動子の共振周波数は２０Ｈｚ近傍に設定した。
【００２０】
そして、第１２の手段は、自由振動子の反射面は音波受信手段又は音波受発信手段の受音面に焦点が一致するような凹面形状とした。
【００２１】
また、第１３の手段は、第２の信号処理手段が流量有りの流量情報を求めたときには第１の信号処理手段が振動情報を求める構成とした。
【００２２】
そして、第１４の手段は、音波は超音波を用いた構成とした。
【００２３】
本発明は上記構成によって、第１の手段によれば、自由振動子の動きを音波によって計測することで振動情報を求めて地震判定を精度よく行うことができる。
【００２４】
そして、第２の手段によれば、流体管路内で音波による振動情報を計測することで流体の流量情報と振動情報を同時に得ることができる。
【００２５】
さらに、第３の手段によれば、一対の音波受発信手段と一対の自由振動素子を用いて一回の音波発生で振動情報と流量情報を測定することができる。
【００２６】
また、第４の手段によれば、音波受発信手段と自由振動素子の２組のペアをねじれの位置に配置することで２方向の振動情報から３方向の振動情報を得ることができる。
【００２７】
そして、第５の手段によれば、第１の音波受発信手段が発信装置と受信装置を兼用するように音波到達に合わせて機能を切り換えて合理化を図ることができる。
【００２８】
また、第６の手段によれば、振動情報は変位から速度、加速度に変換して地震判定の精度を向上することができる。
【００２９】
さらに、第７の手段によれば、音波の発生を特定の周期で行うことで省電力化を図ることができる。
【００３０】
そして、第８の手段によれば、第１の周期で振動の有無を観測し、第２の周期で振動状態を観測することで省電力化と地震判定の高精度化を行うことができる。
【００３１】
また、第９の手段によれば、一定の周期で観測することで振動波形を観測して波形解析を用いて地震判定の精度を向上することができる。
【００３２】
さらに、第１０の手段によれば、周期を１０秒以内にすることで地震波形を見逃すことなく判定することができる。
【００３３】
そして、第１１の手段によれば、自由振動素子の共振周波数を２０Ｈｚ付近に設けることで地震の周波数を確実に測定すると共に高周波数のノイズを機械的に濾過して測定精度を向上することができる。
【００３４】
また、第１２の手段によれば、自由振動素子の反射面を凹面状にすることで音波を集中させて音圧を上げることで測定精度を向上することができる。
【００３５】
そして、第１３の手段によれば、流量が発生したときには振動を測定することでガスなどが流れているときに地震等の非常事態を検出することができる。
【００３６】
さらに、第１４の手段によれば、超音波を用いることで流体流路のような狭い空間でも分解能よく測定することができる。
【００３７】
以下、本発明の第１の実施例の感震装置をガス流路に使用した場合について、図１から図７を参照して説明する。
【００３８】
図に示すように、ガスの流体管路９の中心軸９ａに対して傾斜した直線上に設けた流体管路９内部に超音波を発生する一対の音波受発信手段としての第１の超音波受発信素子１０と、第２の超音波受発信素子１１と、第１の超音波受発信素子１０と第２の超音波受発信素子１１の対向方向に対して更に傾斜した方向にそれぞれ設けた第１の振動板１２と第１のバネ１３で構成された第１の自由振動素子１４と、第２の振動板１５と第２のバネ１６で構成された第２の自由振動素子１７を設けた構成とした。そして、第１の振動板１２によって反射してくる反射波を第１の超音波受発信素子１０で受信し、超音波発生情報と超音波受信情報から第１の自由振動素子１４の振動情報としての変位に変換する第１の信号処理手段１８と、変位に関する振動情報が地震であるか否かを判定する判定手段１９を備えた構成とした。一方、第１の超音波受発信素子１０で送信した超音波を第２の超音波受発信素子１１で受信し、超音波発生情報と超音波受信情報から第２の信号処理手段２０で流量情報に演算によって変換する構成とした。ここで、２１は増幅器、２２は制御手段としての制御装置、２３は地震信号出力端子、２４は信号処理を行う演算装置、２５は超音波受発信素子を受信モードと送信モードに切り換える制御手段としての信号切換器、２６は電池である。また、第１と第２の超音波受発信素子１０、１１の傾斜角はα、第１と第２の自由振動素子１４、１７の傾斜角はβだけ中心軸から傾けた構成とした。
【００３９】
このような構成において、図２示すように、制御装置２２と第１の超音波受発信素子１０によって超音波が発生すると、第１の振動板１２に当たって超音波が反射してくる。この反射波を同じ第１の超音波受発信素子１０によって受音することで、第１の振動板１２と第１の超音波受発信素子１０の間を音波が往復した時間ｔ１を測定する。この時間から第１の振動板１２と第１の超音波受発信素子１０の距離Ｌを測定する。すなわち、距離Ｌは、Ｌ＝Ｃ＊ｔ１／２で計算される。ここで、Ｃは音速である。
【００４０】
例えば、Ｌ＝０．０８ｍ、Ｃ＝３４０ｍ／ｓ、最大変位を０．００１ｍとすると、ｔ１＝（０．０８＋０．００１）＊２／３４０＝０．０００４７６となり、約５００μ秒となる。また、変位のみを求めるためには、０．０８＊２ｍ分の時間を差し引くことになり、結局、変位Δｘ分の時間はｔ１’＝０．００１／３４０＝０．０００００２９となり、約３μ秒となる。変位波形を計測するためには、この３μ秒を更に１２８分割程度の分解能で計測することが必要と考えると、単位時間として、約２０ｎ秒以下のカウンタで超音波を発信してから受信するまでの時間をカウントすれば計測できることがわかる。カウンタは、第１の信号処理手段１８で行うことができる。
【００４１】
一方、同時に放射された超音波は対向する第２の超音波受発信素子１１によって受音される。そして、発信時の時間情報と受信時の時間情報から流れがあるときの超音波の到達時間ｔ２を測定する。同様に、特定周期の所定間隔Ｔ後に他方の第２の超音波受発信素子１１から超音波が発生させられると、第２の振動板１５に当たって反射によって第２の振動板１５の変位が測定できる。変位は、所定変位以上か否かを判定して地震の可能性を判定するものである。また同時に放射された超音波は、対向する第１の超音波受発信素子１０によって受音され、発信時の時間情報と受信時の時間情報から流れがあるときの超音波の到達時間ｔ３を測定する。このｔ２、ｔ３から流速ｖを計算するのである。ここで、傾斜角αを持たせていることによって流量も計測することができるようになるのである。
【００４２】
すなわち、ｔ２＝Ｌ／（Ｃ＋ｖ）と、ｔ３＝Ｌ／（Ｃ−ｖ）とから、
Δｔ＝ｔ３−ｔ２＝２Ｌｖ／（Ｃ²−ｖ²）
で計算される。一般にＣ≧ｖとして近似的に、
ｖ＝Ｃ²＊Δｔ／２Ｌ
として第２の信号処理手段２０によって計算で求めることができるのである。よって、ｔ２とｔ３の時間差Δｔから流速を求め、流体管路の断面積Ｓを乗算して流量を求めるのである。図４に超音波波形をモデル化した受発信のタイミングを示すチャート図を、図５と図６にはそのフローチャートを示す。
【００４３】
また、地震の発生を検知するためには、変位は常時計測していなければならないが、地震動波形の多くが示すように地震波は３秒から１０数秒続くものである。よって、本装置では、第１の特定間隔Ｔ１として２秒間隔で超音波を発信して観測するものとした。そして、その２秒間隔で発生した超音波の反射波から変位を計測し、変位が所定値以上になったとき地震かどうかを判定手段によって判定することとしている。そのために、所定値以上の変位が現れたときには前記２秒間隔をさらに短くすることとしている。
【００４４】
図７にタイミングチャートを示す。例えば、第２の特定間隔Ｔ２として２０ｍ秒間隔で計測することとした。２０ｍ秒間隔で変位を計測するとサンプリング定理からおおよそ２５Ｈｚ程度の周波数まで計測することができるのでほぼ地震波形を観測することができると考える。そして、２０ｍ秒で計測した地震変位波形を第１の信号処理手段１８によって、速度と加速度に変換してその波形の特徴を抽出して地震かどうかを判定手段が判定するものである。このように、第１の所定間隔Ｔ１と第２の所定間隔Ｔ２で計測することで、地震発生を見逃すことなく検知することができ、かつ地震の変位波形を計測することができるので計算によって速度波形、加速度波形へも変換することができる。その結果、速度応答スペクトルから求めるスペクトル強度ＳＩや、振動加速度レベルであるガル値で地震強度の判定を行うことができる。また、変位、速度、加速度の各波形を波形解析のひとつであるフーリエ解析することで、周波数ごとの成分を分析することができ、地震の特徴である１から５Ｈｚ付近の周波数成分の大きさで地震か否かを判定することもできる。
【００４５】
更に、流量情報から流量が所定値以上発生しているときにのみ、振動情報から地震を判定することによって、判定処理の回数が大きく減少し電池の寿命を長寿命化することができし、流量がある場合は流速による変位の測定誤差を補正して精度よく測定することもできる。また、傾斜角度βを９０゜とすることで管路内の流速の影響をなくして自由振動子の振動を計測することができ、計測精度を向上することができる。
【００４６】
なお、特定周期は２秒が最適であるが、電池の寿命を長くするために１０秒程度まで長くしてもよいと考えている。ただし、ガス流量の計測の精度を向上するためにはできるだけ短い方が望ましい。また、流量計測と振動計測を同時に行う方法で説明したが、超音波を利用したその他の計測タンク内の貯蔵量を計測するレベルセンサなどに応用しても同様に、貯蔵量検知と共に地震検知を行うことができ、大型タンクの安全管理が行える。さらに、超音波の発信回路や受信回路は、流量計測と振動計測で兼用することができ回路を簡素化することができる。そして、超音波の周波数を４００ＫＨｚ程度にすることによって波長が約１ｍｍ程度に抑えられガス配管や流体流路のような細い配管内でも計測を行うことができる。
【００４７】
以上のように、自由振動子の動きを音波によって計測することで振動情報を求めて地震判定を精度よく行うことができ、かつ流体管路内で音波による振動情報を計測することで流体の流量情報と振動情報を同時に得ることができる。そして、一対の音波受発信手段と一対の自由振動素子を用いて一回の音波発生で振動情報と流量情報を一度に測定することができて計測を簡素化し電池の長寿命化を図ることができる。また、第１の音波受発信手段が発信装置と受信装置を兼用するように音波到達に合わせて機能を切り換えて合理化を図ることができる。さらに、振動情報は変位から速度、加速度に変換して地震判定の精度を向上することができる。そして、音波の発生を特定の周期で行うことで省電力化を図ることができ、第１の周期で振動の有無を観測し、第２の周期で振動状態を観測することで省電力化と地震判定の高精度化を行うことができる。さらに、周期を１０秒以内にすることで地震波形を見逃すことなく判定することができる。そして、流量が発生したときには振動を測定することでガスなどが流れているときに地震等の非常事態を検出することができる。さらに、第１４の手段によれば、超音波を用いることで流体流路のような狭い空間でも分解能よく測定することができるのである。
【００４８】
次に第２の実施例について図２及び図８から図１２を用いて説明する。上記第１の実施例と同一構造で、かつ同一作用をする部分には同一符号を付して詳細な説明は略し、異なる部分を中心に説明する。
【００４９】
図２に示すＡ−Ａ’断面を図８に、図２に示すＢ−Ｂ’断面を図９に示す。図８と図９か明らかのように、第１の超音波受発信素子１０と第１の自由振動素子１４を結ぶ直線と、第２の超音波受発信素子１１と第２の自由振動素子１７を結ぶ直線をお互いにねじれの位置に配置する構成とした。
【００５０】
上記構成によれば、図１０に示すように３次元空間の３方向であるＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向をそれぞれ計測した振動情報のベクトルの分割計算により求めることができる。すなわち、第１の超音波受発信素子１０と第１の自由振動素子１４を結ぶ直線方向の振動情報より、Ｘ方向とＹ方向の振動情報が得られ、第２の超音波受発信素子１１と第２の自由振動素子１７を結ぶ直線方向の振動情報より、Ｘ方向とＺ方向の振動情報が得られる。よって、２方向の振動情報から３方向の振動情報を得ることができるのである。
【００５１】
また、自由振動素子は、バネと重りで構成されているのでその共振周波数を２０Ｈｚ付近に設定した。共振周波数ｆ０は次式でもとめられ、図１１のような特性となる。
【００５２】
【数１】

【００５３】
ここで、バネ定数ｋと、質量ｍは、現実的な寸法上の制約から決定することができる。このように設定しておくことによって、感震装置が外部から振動を受けても２０Ｈｚ以上のノイズ的に振動には反応が鈍くなり検出できないのでノイズに強い構成とすることができ、電気的なフィルターを省略することができる。
【００５４】
さらに、図１２に示すように、振動板２６の反射面は超音波受発信素子１０に焦点距離が一致する凹面形状とすることで、反射波の音圧レベルを高くすることができる。すなわち、自由振動素子２７は超音波受発信素子１０の正面から少しはずれた位置に配置しているので超音波が入射してくるレベルが低い。その反射波はさらに低くなるので反射波の多くが超音波振動素子１０に向かって反射するような構成としたものである。
【００５５】
以上のように、一対の音波受発信手段と一対の自由振動素子とをねじれの位置に配置することで２方向の振動情報から３方向の振動情報を得ることができる。そして、自由振動素子の共振周波数を２０Ｈｚ付近に設けることで地震の周波数を確実に測定すると共に高周波数のノイズを機械的に濾過して測定精度を向上することができる。また、自由振動素子の反射面を凹面状にすることで音波を集中させて音圧を上げることで測定精度を向上することができる。
【００５６】
以上の説明から明らかように本発明の感震装置の実施例によれば、自由振動子の動きを音波によって計測することで振動情報を求めて地震判定を精度よく行うことができる。
【００５７】
そして、流体管路内で音波による振動情報を計測することで流体の流量情報と振動情報を同時に得ることができる。
【００５８】
さらに、一対の音波受発信手段と一対の自由振動素子を用いて一回の音波発生で振動情報と流量情報を測定することができる。
【００５９】
また、一対の音波受発信手段と一対の自由振動素子とをねじれの位置に配置することで２方向の振動情報から３方向の振動情報を得ることができる。
【００６０】
そして、第１の音波受発信手段が発信装置と受信装置を兼用するように音波到達に合わせて機能を切り換えて合理化を図ることができる。
【００６１】
また、振動情報は変位から速度、加速度に変換して地震判定の精度を向上することができる。
【００６２】
さらに、音波の発生を特定の周期で行うことで省電力化を図ることができる。
【００６３】
そして、第１の周期で振動の有無を観測し、第２の周期で振動状態を観測することで省電力化と地震判定の高精度化を行うことができる。
【００６４】
また、一定の周期で観測することで振動波形を観測して波形解析を用いて地震判定の精度を向上することができる。
【００６５】
さらに、周期を１０秒以内にすることで地震波形を見逃すことなく判定することができる。
【００６６】
そして、自由振動素子の共振周波数を２０Ｈｚ付近に設けることで地震の周波数を確実に測定すると共に高周波数のノイズを機械的に濾過して測定精度を向上することができる。
【００６７】
また、自由振動素子の反射面を凹面状にすることで音波を集中させて音圧を上げることで測定精度を向上することができる。
【００６８】
そして、流量が発生したときには振動を測定するとすることでガスなどが流れているときに地震等の非常事態を検出することができる。
【００６９】
さらに、超音波を用いることで流体流路のような狭い空間でも分解能よく測定することができる。
【００７０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、流体管路内で音波による振動情報を計測することで流体の流量情報と振動情報を同時に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す感震装置のブロック図
【図２】同装置の構成図
【図３】同装置の構成図
【図４】同装置の動作を示すタイミングチャート
【図５】同装置の計測動作を示すフローチャート
【図６】同装置の計測動作を示すフローチャート
【図７】同装置の動作を示すタイミングチャート
【図８】本発明の第２の実施例を示す感震装置の断面図
【図９】同装置の別の断面図
【図１０】同装置の計測データのベクトル図
【図１１】同装置の自由振動素子の特性図
【図１２】同装置の他の実施例の断面図
【図１３】従来の感震装置の断面図
【符号の説明】
１０第１の超音波受発信素子
１１第２の超音波受発信素子
１４第１の自由振動素子
１７第２の自由振動素子
１８第１の信号処理手段
１９判定手段
２０第２の信号処理手段
２２制御手段

Claims

流体管路に設けられ音波を発生する第１の受発信手段と、前記第１の受発信手段が発した音波を受信する第２の受発信手段と、前記第１の受発信手段の略正面方向に設けた自由振動素子と、前記第１の受発信手段の音波発生情報と前記自由振動素子によって反射した音波を受信した前記第１の受発信手段からの音波受信情報とから前記自由振動素子の振動情報に変換する第１の信号処理手段と、前記振動情報から地震であるか否かを判定する判定手段と、前記第１の受発信手段の音波発生情報と前記第２の受発信手段の音波受信情報から前記流体管路を流れる流量情報に変換する第２の信号処理手段を備えた感震装置。
流体管路の中心軸に対し傾斜して設けた一対の音波受発信手段と、前記音波受発信手段の対向方向に対し更に傾斜して設けたの自由振動素子とを備えた請求項２記載の感震装置。
一対の音波受発信手段とそれぞれ対向して設けた自由振動素子とで構成する２組のペアは互いにねじれの位置の関係にある請求項２記載の感震装置。
第１の音波受発信手段が発生した音波を第２の音波受発信手段が受信し、自由振動素子で反射する反射波を第１の音波受発信手段で受信し、第２の音波受発信手段が発生した音波を第１の音波受発信手段が受信し、自由振動子で反射する反射波を第２の音波受発信手段で受信するように前記第１及び第２の音波受発信手段の送受信の切換と音波発生と音波受信のタイミングを制御する制御手段を備えた請求項２記載の感震装置。
振動情報で得られた変位情報を速度及び、加速度に変換する信号処理手段と、前記信号処理手段からの信号により地震判定を行う請求項１〜４のいずれか１項に記載の感震装置。
音波は特定周期で発生する請求項２〜５のいずれか１項に記載の感震装置。
第１の特定周期で振動情報を求め、この振動情報に所定の変化があったときには、第１の特定周期より短い第２の特定周期で音波発生を行う請求項１〜５のいずれか１項に記載の感震装置。
一定周期で得られた振動情報から振動波形を求め、波形解析によって地震か否かを判定する判定手段を備えた請求項６または７記載の感震装置。
特定周期の最大値は１０秒以内とした請求項６、７または８記載の感震装置。
自由振動素子の共振周波数は２０Ｈｚ近傍に設定した請求項１から４記載の感震装置。
自由振動素子の反射面は音波受信手段又は音波受発信手段の受音面に焦点が一致するような凹面形状とした請求項１〜４のいずれか１項に記載の感震装置。
第２の信号処理手段が流量有りの流量情報を求めたときには第１の信号処理手段が振動情報を求める請求項１〜４のいずれか１項に記載の感震装置。
音波として超音波を用いた請求項１〜１２のいずれか１項に記載の感震装置。