JP3601916B2 - 永久磁石式ステッピングモ−タ及びその駆動方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は永久磁石式ステッピングモータ及びその駆動方法の改良に関するもので、特に、半導体製造装置の位置決め駆動用モータ等を主目的とした、高速で高トルクのダブル3相巻線式の永久磁石式ステッピングモータ及びその駆動方法として適用して有用な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の永久磁石式3相ハイブリッド型(一般にHB型と略すことが多く、以下HB型と略称する)ステッピングモータの構成を図7に示す。
図7は、ステップ角が0.6度の場合の永久磁石式3相HB型ステッピングモータの固定子10を示すもので、この固定子10には12個の磁極11a1〜11a12が設けられ、各磁極の先端には複数個(この場合は各7個)の小歯の極歯11b1〜11b12が設けられている。
これらの極歯11b1〜11b12と所定の空隙を隔てて、円周上に均等に100個の極歯を設けた回転子(図示せず)が回転自在に設けられている。
なお、固定子10の各磁極に固定子コイルが装着されるが、簡単のため図示は省略している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のものは、その構成上、次のような問題点があった。
(1)例えば0.6度のステップ角を作るためには、前述のように100個の回転子の極歯が必要であり、このモータを1回転させるためには1相分のコイル電流で100サイクル必要となる。
(2)従って、ステッピングモータを高速回転させようとするとリアクタンス成分が増加し、電流の減少が激しく、高速ではトルクが減少してしまう。
本発明は従来のものの上記課題(問題点)を解決するようにした永久磁石式ステッピングモータ及びその駆動方法を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の永久磁石式ステッピングモータは、上記課題を解決するために、6m個の固定子主磁極(以下主磁極という)をその内径又は外径方向に放射状に有し、各主磁極はNs個の極歯を有し、上記6m個の主磁極の外周又は内周は環状等に連結し、各相分の固定子コイルは各々点対称となる各2個の主磁極を同極性とするように巻かれた固定子と、Nr個の極歯を有する磁性体より成る2個の回転子磁極により永久磁石を挟持し各回転子磁極の極歯を1/2ピッチずらして設けた回転子(ハイブリッド型回転子といい、HB型回転子と略称する)とを備えた永久磁石式ステッピングモータにおいて、上記6m個の主磁極の各々同位置の極歯の成す角度が
次の条件の配置となるように構成した。
(イ)60/m°、60/m°、(60/m)−α°、60/m°、60/m°、(60/m)+α°の以上のm回繰返し、又は
(ロ)12m個の主磁極の場合で、30°の5回繰り返し、(30−α)°、30°の5回繰り返し、(30+α)°の以上のm回繰返し
但し、m≧1の整数、αは偏角である。
これらの場合、固定子側は上記と同一構成として、回転子の方を上記のHB型回転子に代えて、円筒状マグネットの外周にN極及びS極に各々交互に磁化して成る回転子で構成するようにしても良い。
上記各場合において、上記偏角αは、α=30/Nr、又はα=75/Nr、又はα=90/Nrとするのが望ましい。但し、Nrは回転子磁極の極歯の数、又は円筒状マグネットの極対数(以下回転子歯数と略す)である。
さらに、上記のいずれかに記載の永久磁石式ステッピングモータの駆動方法としては、6m個の主磁極が連続して隣接する3個の主磁極の相巻線の巻終わり同士を短絡したスター結線か巻終わりと次相巻線の巻始めとを結合したデルタ巻線とし、6m個の主磁極のn番目と(n+3)番目の印加電圧の位相差が30°の励磁電圧で順次駆動するようにした。
この場合、12m個の主磁極のn番目と(n+6)番目の印加電圧の位相差が30°の励磁電圧で順次駆動するようにしても良い。
さらに、前述の永久磁石式ステッピングモータを、6m個の主磁極のn番目と(n+3)番目又はn番目と(n+6)番目の印加電圧の位相差を零にして、3相ステッピングモータとして駆動することもできる。
【0005】
本発明の永久磁石式ステッピングモータは、上記のような構成であるから、ダブル3相(6相)巻線式のステッピングモータに適用して好適のものであり、前述したリアクタンス成分は、従来の3相機で同一ステップ角のものと比較して約半減するため、高速域でも電流が制御できる。従って高速で、高トルクのステッピングモータが実現できる。
即ち、ステップ角は相数をP、回転子歯数をNrとすると、(180/PNr)度となるため、同一ステップ角の回転子歯数Nrは、従来の3相機に比べ1/2となる(P=6であり、従来の3相機はP=3である)。
また、高速回転時の電流を左右するリアクタンス分はNrω0L(ω0:機械角速度、L:コイルインダクタンス)なので、同一速度(ω0が同じ)ではNrが1/2の本発明の6相(ダブル3相)機の方が従来の3相機の約1/2のリアクタンスとなり、高速でも電流が流れ、高トルクとすることができる。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、第1及び第2の各実施の形態となるインナーロータの構成の場合で本発明を具体的に説明する。
図1は本発明の第1の実施の形態であるダブル3相HB型ステッピングモータの6m個の主磁極を有する場合のm=2、Ns=1、Nr=2の例、図4は第2の実施の形態例である12m個の主磁極を有する場合のm=1、Ns=1、Nr=2の例における、夫々最も単純化した軸方向からみた固定子と回転子の側面図であり、図2は第1及び第2の各実施の形態が共通に適用されるステッピングモータの構成を示す縦断正面図である。
但し、前述したように、Nsは固定子主磁極に設けた極歯の数、Nrは回転子に設けた極歯の数である。
第1の実施の形態:
まず、図1、図2によって本発明の第1の実施の形態のダブル3相(6相)HB型ステッピングモータの全体構成の概要を説明する。
図1、図2において、Sは固定子で、この固定子Sは固定子鉄心1、固定子コイル2(図1では図示を省略している)より成る。
Rは回転子で、これは同図に示すように、回転子磁極3A、3B、これら磁極3A、3Bに挟着された永久磁石4(図1では図示を省略している)及び回転子軸5より成る。
次に、図1を用いて、図2に表わされていない固定子及び回転子の構成について説明する。
図1に示すように、固定子Sは、12個の固定子主磁極(以下単に主磁極という)A1、B1、C1、D1、E1、F1、A2、B2、C2、D2、E2、F2より成り、ステップ角度を小さく設計するためには、図7の従来例の場合に示したように、前記主磁極の各先端に、複数の極歯を形成するのが望ましい。
しかし、図1では簡単のため、これらの極歯は図示してない。
回転子Rは図2に示すように、永久磁石4を挟持した回転子磁極3A、3Bより成り、これらの回転子磁極3A、3Bの外周には極歯が形成されており、回転子軸5の軸方向に磁化するので、図1では永久磁石4は図示されず、前側をS極、後側をN極として括弧を用いて示している。
12個の固定子主磁極の内、相互に対向する主磁極、即ち、主磁極A1とA2、D1とD2、・・・・・F1とF2が点対称となっており、これらの点対称の2個の各主磁極に対して、相巻線を同極となるように巻くのが望ましい。
また、各主磁極A1、B1、C1、A2、B2、C2は夫々、相隣る主磁極間を30度でA1とA2、B1とB2、C1とC2で1相ずつ計3相となるように配置されている。これは、残りの主磁極D1、E1、F1、D2、E2、F2についても同様である。
しかし、前者の6個の主磁極群に対し後者の6個の主磁極群はα度(機械角)だけ前者にその中間位置より偏角させて配置してあり、その配置は図1の如くなる。
Nr=50の場合は、α=(30/Nr)=0.6度となり、一方、ステップ角は、{180/(6×50)}=0.6度のステッピングモータとなる。
また、Nr=100の場合は、α=(30/Nr)=0.3度とすることでステップ角は、180/(6×100)=0.3度のステッピングモータとなる。
固定子コイル2を各主磁極に巻回して装着する時、12個の各主磁極に形成されるスロット幅は大きい方が良く、トルクを大きくするには12個の各主磁極の先端に形成される極歯の数を多くするほど良い。
本実施の形態のように、D、E、F相の位置をA、B、C相の主磁極位置に対しα度、偏在させる場合、αは小さいほどスロット幅の大小が少なく、コイル巻きには良い。
例えば、固定子内径を35mmとした場合、Nr=50のステップ角0.6度の設計では、偏角αが0.6度となるが、この偏角のときは円周上の長さとしては約0.18mm程度の長さであるので、12個の先端の極歯を4個としても、十分に、固定子コイルを巻き込める寸法である。
なお、本発明のものでは、α=90/Nr、即ちα=1.8度(Nr=50の時)でも、ステップ角は0.6度となるが、コイル巻き可能なスロット幅とするには12個の先端の極歯は3個となり、トルクの点で好ましくないが、実用上は支障は生じない。
上記のように、図1の第1の実施の形態のものでは各相コイルは12個の主磁極の内、点対称の関係にある対向する2個の各主磁極に巻かれ、かつ同極性になるように巻かれているので、これらの2個の主磁極で回転子の極歯に与えるラジアル方向力は相互に相殺され、従って低振動とすることができる。
【0007】
次に、第1の実施の形態の固定子の12個の主磁極A1〜F2に装着する固定子コイル2の具体的な結線方式例を図3によって説明する。
同図において、2a1、2b1、2c1、2a2、2b2、2c2及び2d1、2e1、2f1、2d2、2e2、2f2は夫々図1での主磁極A1、B1、C1、A2、B2、C2及びD1、E1、F1、D2、E2、F2に対して装着される固定子コイルで、これらの各コイルは、図3に示すように、夫々巻終り同士を短絡した2重デルタ結線となっている。
なお、コイル2a1、2a2の巻終り、コイル2b1、2b2の巻終わり、2c1、2c2の巻終わりを結び、短絡させた、いわゆるスター結線方式とした場合でも、駆動回路に使用するスイッチングトランジスタは12個でドライブできる。
【0008】
第2の実施の形態:
図4は本発明の第2の実施の形態を示すものであり、同図に示すように、主磁極の各々同位置の成す隣接角度が、30°を5回並べた後、(30−α)°、さらに、30°を5回並べた後(30+α)°となるように形成している。
本実施の形態の場合のステッピングモータの全体の構成は図2に示す第1の実施の形態のものと同様な構成とすれば良い。
本実施の形態の場合は、12主磁極が点対称になってないため、振動はやや図1に示す第1の実施の形態のものより大きくなるが、ステップ角の微小角化に対しては、第1の実施の形態の場合と同様な効果が得られる。
また、固定子コイルは電流の方向を正、逆交互に反転する交流電流を通電して励磁するバイポーラ式のため、ユニポーラ式のものに比べると、固定子コイルのスペースファクターが大きくなり高効率となる。
また、各相の固定子コイルの巻終りを短絡したスター結線式とする場合には、バイポーラ6相式でも駆動回路に使用するスイッチングトランジスタは12個で良く、従来の6相機のスイッチングトランジスタより半減される。
なお、各相独立の6相バイポーラ式の場合には、駆動回路に使用するスイッチングトランジスタの数は24個必要である。
【0009】
図5は第2の実施の形態の場合の具体的な結線方法をスター結線で示した例であり、図3に示す第1の実施の形態の場合と同じく12個のスイッチングトランジスタで駆動できる。
本結線の入力端子a、b、c、d、e、fには、駆動回路が接続され同回路に使用されるブリッジ結合の2個のスイッチングトランジスタの内、一方のスイッチングトランジスタを電源の(+)側に、他方のスイッチングトランジスタを電源の(−)側に接続する。
この2個のスイッチングトランジスタの内、どちらか一方のスイッチングトランジスタを導通させることで各相に交番電流を流すことができる、いわゆるバイポーラ式となり高トルク化に有利となる。
普通バイポーラ式で各相独立の6相式とすると、24個のスイッチングトランジスタが必要となるが、本発明の駆動方式では12個のスイッチングトランジスタで済む点に利点がある。
【0010】
図6は、上記した本発明の第1及び第2の各実施の形態の各ステッピングモータの固定子コイルに印加する励磁電圧を示すもので、同図において、Va〜Vfは夫々図3又は図5の入力端子a〜fに印加する励磁電圧の波形である。Va〜Vfの副字である小文字のa〜fと入力端子a〜fと一致させて結線させる。
同図に示すようにa、b、cの各端子及びd、e、fの各端子の各々に印加される励磁電圧は60度の位相差の電圧となっており、この結果、入力端子a、b、cの群と入力端子d、e、fの群間の位相差角をδとするとδは30度の位相差の電圧が印加されるようにすることが望ましい。
しかし、0°≦δ<30°でも動作可能でありδ=0°では3相ステッピングモータとして動作させることができる。
【0011】
本発明のステッピングモータは、その動作原理は、例えば、第1の実施の形態のものについていえば、図6において、A、B、C相は各々Va、Vb、Vcが印加されて3相のステッピングモータとして動作可能であるが、そのA相とB相の間にVdによりD相が、B相とC相の間にVeによりE相が、C相とA相の間にVfによりF相が励磁されるために、各々の中間のD、E、F相で回転子が停止できるために分解能が3相の2倍となることがダブル3相の原理である。
【0012】
本発明は以上述べた各実施の形態のものに限定されるものではない。
即ち、図1及び図2に示す第1の実施の形態のものは、ダブル3相(6)相巻線式の永久磁石式ステッピングモータであるが、例えば固定子主磁極A1、B1、C1、A2、B2、C2の各コイルのみを励磁して3相機として駆動することもでき、このように3相機として駆動する場合には、前述したように6相機として駆動する場合の2倍のステップ角で動作させることができる。
このことは、固定子主磁極D1、E1、F1、D2、E2、F2の各コイルを励磁する場合でも同様である。
また、図3に示した結線方式に代え、A、B、C群の各固定子主磁極とD、E、F群の各固定子主磁極の各々のコイルを直列又は並列接続するようにしても良い。ここで、A群とは主磁極A1、A2を1対としたものを指すように表示したもので、他のB〜F群についても同様な趣旨で表示している。
【0013】
さらに、上記実施の形態のものは、図1、図2及び図4に示した固定子と、ハイブリッド(HB)型の回転子構造であった。
しかし、本発明はこのようなハイブリッド型の回転子に限定されるものではなく、このようなハイブリッド型の回転子に代えて、円筒状永久磁石(図示せず)を用い、その外周にN極とS極を交互にハイブリッドの場合の歯数に等しい各Nr個磁化するようにしても、上述した動作を行うものである。
なお、この場合、Nrは奇数で点対称の2主磁極は同相異極性に巻かれても点対称の2主磁極と回転子間に働くラジアル方向の吸引力を打ち消すことができる。
これはNrが奇数の時、回転子の180°(点対称)の位置は互いに異極に磁化されているためである。
また、このように円筒状永久磁石とした場合は、N極、S極に磁化すると磁化が正弦波状に表面磁束密度分布するので、ハイブリッド型より低振動化に有利となる。
【0014】
【発明の効果】
本発明の永久磁石式ステッピングモータは、上記のように構成され、また駆動されるから、次のような優れた効果を有する。
(1)本発明を第1の実施の形態に示すように6相(ダブル3相)機に適用した場合、従来の3相機のものに比べ、1/2の回転子歯数で同一ステップ角が得られるから、高速で、高トルクのステッピングモータとなる。
(2)バイポーラ式とした場合には、高トルクに有利であり、本発明のステッピングモータはスイッチングトランジスタの数も12個で済み、従来のものの半分で良いから、ドライバー(駆動回路)も安価となる。
(3)3相機として駆動する場合には、6相(ダブル3相)機として駆動する場合の2倍角ドライブが可能となるから、自由度が向上する。
(4)回転子を円筒状永久磁石とすれば、低振動化が、さらに促進される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態であるダブル3相ハイブリッド型ステッピングモータの固定子と回転子の一実施の形態を示す概略側面図である。
【図2】第1、第2の各実施の形態に共通ステッピングモータの構成を示す縦断正面図である。
【図3】第1の実施の形態の固定子コイルに対する結線方式の一例を示す接続図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態を示す概略側面図である。
【図5】第2の実施の形態の固定子コイルに対する結線方式の一例を示す接続図である。
【図6】本発明の固定子コイルの入力端子に印加される励磁電圧の波形図である。
【図7】従来例の固定子の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
1:固定子鉄心
A1〜F2:固定子主磁極
2、2a1〜2f2:固定子コイル
3A、3B:回転子磁極
4:永久磁石
S:固定子
R:回転子
Claims (6)
- 略環状固定子鉄心が巻線された6m個の固定子主磁極を内径又は外径方向に放射状に有し、その各先端にはNs個の極歯を有し、エアギャップを介して、Nr個の極歯を有する磁性体2個で永久磁石を挟持したハイブリッド型回転子(以下HB型回転子と称す)、又は、N、S極交互に計2Nr個の極数の永久磁石回転子を有するステッピングモータにおいて、
6m個の主磁極の各々同位置の極歯の成す隣接角度が、次の各順序をm回繰返すように配置したことを特徴とする永久磁石式ステッピングモータ。
(1)60/m
(2)60/m
(3)(60/m)−α
(4)60/m
(5)60/m
(6)(60/m)+α
但し、m≧1の整数、Ns≧1の整数、Nr≧2の整数、αは偏角(機械角)である。 - 略環状固定子鉄心が巻線された12m個の固定子主磁極を内径又は外径方向に放射状に有し、その各先端にはNs個の極歯を有し、エアギャップを介して、Nr個の極歯を有するHB型回転子又はN、S極交互に計2Nr個の極数の永久磁石回転子を有するステッピングモータにおいて、
12m個の主磁極の各々同位置の極歯の成す隣接角度が、次の各順序をm回繰返すように配置したことを特徴とする永久磁石式ステッピングモータ。
(1)30/mの5回繰返し
(2)(30/m)−α
(3)30/mの5回繰返し
(4)(30/m)+α
但し、m≧1の整数、Ns≧1の整数、Nr≧2の整数、αは偏角(機械角)である。 - 請求項1又は2に記載のステッピングモータにおいて、
α=30/Nr、又はα=75/Nr、又はα=90/Nrのいずれかとした永久磁石式ステッピングモータ。 - 略環状固定子鉄心が巻線された6m個の固定子主磁極を内径又は外径方向に放射状に有し、その各先端にはNs個の極歯を有し、エアギャップを介して、Nr個の極歯を有するHB型回転子、又はN、S極交互に磁化された永久磁石回転子を有するステッピングモータにおいて、
6m個の主磁極が連続して隣接する3個の主磁極の相巻線の巻終わり同士を短絡したスター結線とするか、又は巻終わりと次相巻線の巻始めとを結合したデルタ巻線とし、6m個の主磁極のn番目と(n+3)番目の印加電圧の位相差が30°の励磁電圧で順次駆動する永久磁石式ステッピングモータの駆動方法。
但し、Ns≧1の整数、Nr≧2の整数、m≧1の整数、n≧1の整数である。 - 請求項4記載のステッピングモータの駆動方法において、
12m個の主磁極のn番目と(n+6)番目の印加電圧の位相差が30°の励磁電圧で順次駆動する永久磁石式ステッピングモータの駆動方法。 - 請求項1乃至3に記載の永久磁石式ステッピングモータを、請求項4又は5に記載の駆動方法で駆動させる時、6m個の主磁極のn番目と(n+3)番目、又は12m個の主極のn番目と(n+6)番目の印加電圧の位相差をδとした永久磁石式ステッピングモータの駆動方法。但し0°≦δ<30°
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