JP3595011B2 - 研磨制御を改善した化学的機械的研磨装置 - Google Patents
研磨制御を改善した化学的機械的研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3595011B2 JP3595011B2 JP4321895A JP4321895A JP3595011B2 JP 3595011 B2 JP3595011 B2 JP 3595011B2 JP 4321895 A JP4321895 A JP 4321895A JP 4321895 A JP4321895 A JP 4321895A JP 3595011 B2 JP3595011 B2 JP 3595011B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- carrier head
- polishing pad
- carrier
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、半導体処理の分野に関する。特に本発明は、一様性の高いまたコストが低減された、基板を化学的機械的に研磨するための方法及び装置に関する。本発明は、基板上の異なった場所から材料を除去する速さの一様性を改善するための装置を提供し、それによって最終的に基板から回収される有用なダイの数を増す。更に、本発明は単一の研摩パッド上で多基板を同時に研摩する為の装置と方法を提供し、それによって化学的機械的研摩装置の生産性を上げる。
【0002】
【従来の技術】
普通CMPと称される化学的機械的研摩(chemical mechanical polishing)は、基板を平面化(planarizing)或いは研摩する方法である。CMPは、半導体のスライスを基板に作り上げる際の最終準備工程として用いることができ、実質的に平坦な前面と背面を提供する。CMPはまた、基板上にマイクロエレクトロニク回路を作り上げる際に基板の最外部の表面上に創られる、高所(high elevation features)或いは他の非連続性部分を除去するのに用いられる。
【0003】
典型的な先行技術のCMPプロセスにおいては、化学的に反応性のあるスラリ−(slurry)を受容する大きな回転研摩パド(polishing pad)が用いられ、基板の最外部の表面を研摩する。基板を研摩パッド上に位置決めするために、その基板はキャリア内に置かれる。そのキャリアは、研摩パッド上に受容され或いはその直接上方に受容され、それは基板の表面と回転研摩パッドとの間に押し付け(bias)力を維持する。そのキャリアはまた、基板を研摩パッド上で揺動、振動或いは回転させてもよい。基板の平坦な面に渡る、スラリ−で磨かれる(slurry whetted)研摩パッドの動きにより、材料が基板の表面から化学的に又物理的に研摩される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
CMPプロセスで繰返し発生する一つの問題は、基板の平坦な表面研摩に差がついてしまい、それにより基板上の場所により過剰研摩をしたり研摩不足の領域を作りだすという傾向である。普通、研摩の差が生じる基板の表面上の一つの領域は、基板のエッジに隣接する部分である。そのようなエッジの過剰研摩が生じると、研摩された基板は凸形状をとる。即ちそれは中央で厚く、エッジに沿ったところで薄い。例えばフォトリトグラフィ(photolithography)やエッチングなどにより基板がさらに処理されるとき、この厚さの相違により、基板上に高解像度の線を印刷するのが極端に困難となる。同様にして、CMPが、基板の作動面上に回路を形成する結果として生じる高所を除去するのに使われるときは、研摩の差は、過剰研摩領域に形成されるダイを物理的に破壊してしまう。
【0005】
エッジの過剰研摩は幾つかのファクタ−によって引き起こされる。基板の表面上の研摩高進スラリ−の不均一な分布は、エッジの過剰研摩の原因となる一つのファクタ−である。基板のエッジに沿った場所のように、スラリ−がより迅速に補充されるところでは、基板はより迅速に研摩される。基板上の異なった場所における基板と研摩パッドとの間の相対的な圧力はまた、研摩率(rate)に影響を与える。より高い圧力はより高い研摩率をもたらすからである。一つの相対的に高い圧力の領域は、基板エッジが研摩パッドに押し付けられるところに生じ、それにより基板エッジが、基板中心よりも迅速に研摩されることとなる。さらに、研摩パッドと基板の両方が回転するときは、基板と研摩パッドとの間の累積的運動距離(cumulative motion)は、基板のエッジ近傍で基板の中心部よりも高くなる。研摩パッドと基板との間の累積的運動距離が大きければ大きいほど、基板から除去される材料の量は大きくなる。これらのファクタ−及び他のファクタ−の結果として、通常基板エッジ部分は基板中心部よりも高い速さ(rate)で研摩される。
【0006】
基板の過剰研摩は、基板の非接触(non−contiguous)領域においても生じる。この過剰研摩は通常、歪んだあるいはそうでなくても不適切に準備された基板に起因し、その基板をキャリアに取付けている搭載システムによって悪化させられる。普通そのキャリアは、ほぼ平坦な基板受容面を含む。適合性(conformable)材料がこの下部面に置かれており、基板をそこに受容する。その適合性材料はポリマ−(polymer)シ−トであってもよく、或いは基板が押し付けられ適合性のある受容面を形成するワックスのマウンド (mound)であってもよい。これらの適合性材料及びキャリアの下部面は、基板の所望の平坦度ほど平坦でないかもしれない。それ故、その適合背材料及び平坦な下部面は、基板が研摩パッド上に置かれたとき基板の背面側に異なった負荷をかける隆起部を含む。この異なった負荷により、平坦面および適合性材料の隆起した領域の位置に対応する研摩パッドに係合した基板の表面上に過負荷領域が作りだされる。この過負荷が発生する基板の局部的領域では、基板は過剰研摩され、基板からのダイの生産歩留まりが低くなる。
【0007】
基板上に過剰研摩領域が作られるということの結果として生じるダイの生産歩留まりの低下に加え、基板を順番に処理するために大きな回転研摩パッドを使用するということは本来的に効率が悪い。基板の表面積は研摩パッドの表面積の20%より大きくないのが普通である。それ故、如何なる時点においても、研摩パッド材料の殆どは基板と接触していない。回転研摩パッドの表面積の活用度を高める一つの方法は、研摩パッド上で多数の基板を同時に処理することである。しかしながらCMP装置の使用者は、そうすることを躊躇する。それは、基板はクラックが発生するかもしれないし或いはその他の欠陥が生じるかもしれず、かけらやその他の汚染物質が、回転する研摩パッドによって、その研摩パッド上で同時に処理されている全ての基板に移送されるからである。
【0008】
それ故、(1)基板の面上の各別々の位置或いは領域間における材料除去率の一様性を高めること、(2)研摩パドの活用度を高めること、を可能とするCMP研摩装置の必要性が存在する。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用】
本発明は、化学的機械的研摩装置の、材料除去率の一様性或いは活用度を増すのに有用な多数の実例を含む化学的機械的研摩装置及び方法である。第一の実施例では、その装置は、研摩パッドに対して基板の外側面の選択された部分に異なった負荷をかける基板キャリアを含む。エッジの過剰研摩が起ると、そのキャリアは基板の中心部における研摩パッドと基板との間の圧力を増すように形成されており、そうでなければ基板のエッジに近傍に生じたであろう高材料除去率を補償する。本発明の第二の実施例では、キャリアは、研摩パッドに対して基板の最外部表面の全ての部分に等しく負荷をかけるように形成されている。研摩パッドに対して基板に等しく負荷をかけることによって、適合性材料或いはキャリア下部面上の隆起によって引き起こされる局部的過剰研摩の発生が低減され或いは完全に防止される。さらに、基板エッジ部における基板と研摩パッドの間のより大きな累積的運動距離の結果として生じるエッジの過剰研摩を抑制するために、研摩パッドがゆっくりと回転している間、基板は研摩パッド上で軌道運動させてもよい。キャリアは、基板を回転することなく軌道運動させるために、或いは基板をそれが軌道運動している間に所望の速度で回転させるように制御してもよい。研摩パッドの回転速度と比較して基板の回転速度を精密に制御することによって、基板の異なった別々の位置或いは領域における異なった累積的運動距離によって引き起こされる基板の研摩量の差は、低減され或いは防止される。
【0010】
本発明の第三の実施例では、単一の研摩パッド上に同時に多数の基板を置いて負荷をかけるために多数の基板キャリアが提供される。多数キャリア実施例の一つのサブ実施例においては、研摩パッドは回転的に揺動される。研摩パッドを回転的に揺動させることによって、多数の基板の何れか一つと接触している研摩パッドの領域は、その他の基板と接触している研摩パッドの領域から隔離される。本発明の別のサブ実施例においては、研摩パッドは一本の溝或いは多数の溝を含んでおり、その溝は処理中に生じうる基板のかけらを集めるように形成されている。本発明の多数キャリア実施例のさらに別のサブ実施例においては、研摩パッドは静止位置に維持されており、多葉状の(multi−lobed)溝が、研摩パッド内であって、基板が研摩パッド上に受容される位置のすぐ下に置かれている。その多葉状の溝は、基板と研摩パッド間に接触及び非接触領域を提供し、スラリ−が、基板と研摩パッド間の非接触領域に補充されるようになっている。
【0011】
【実施例】
先ず、本発明の概略を説明する。
【0012】
本発明は、改善された一様性と歩留まりをもって大きな研摩パッド上で基板を研摩するための多数の実施例を提供する。ここで述べる本発明の各実施例においては、基板12は、図1の研摩装置10のような研摩装置上で、研摩パッド22に押し付けられ、好ましくは制御された回転をもって軌道路(orbital path)を運動をする。研摩パッド22は回転運動をするのが好ましいが、基板12がそれに対して運動させられている間静止状態に維持されてもよい。
【0013】
図1及び2に示される本発明の実施例においては、基板キャリア24が基板12を受容しまた基板12を回転研摩パッド22上に位置決めするように提供されている。キャリア24はトランスファ−ケ−ス54に連結されており、そのトランスファケ−スは、キャリア24とその中に受容されている基板12とを研摩パッド22上で軌道路に沿って動かし、また研摩装置10のベ−ス14のような固定点に関してキャリア24及び基板12の回転方向を同時に制御するように形成されている。キャリア24は、基板12のエッジに隣接してかけられている基板上の負荷と比べて基板12の中心部に選択的に差別的に負荷をかけるように形成されている。基板12の中心部に差別的に負荷をかけることによって、基板12の中心部における材料除去率は、基板12のエッジに隣接した部分の材料除去率と合致するように調整される。
【0014】
図3に示される発明の実施例においては、基板キャリアは、研摩パッド22に対して基板12の全ての位置或いは領域に等しく負荷をかける、前面基準(front referencing)キャリア200として形成されている。このことにより、基板12の非接触で差別的に負荷のかけられた領域があることから結果として生じる、基板12上の非接触過剰研摩領域の発生が減る。
【0015】
図4から6までに示される本発明の実施例においては、単一の研摩パッド302或いは400上で多数の基板12を同時に研摩するための装置が示されている。図4と5では、多数の基板12が分離研摩パッド302に押し付けられており、その分離研摩パッドは何れか一つの基板12と接触している分離研摩パッド302の領域が、その上で研摩される他の基板12と接触しないようにするために、回転的に揺動運動するのが好ましい。図6には、葉状研摩パッド400が示されており、それはその表面内にロ−ブ(lobes)404即ち凹み(recesses)を有している。そのロ−ブは、グル−プ状に密集しており、基板12が単一グル−プのロ−ブ404に対して軌道運動しても、回転運動をしても、振動しても、揺動しても或いは他の熊様で動かされてもいいようになっている。葉状研摩パッド400は静止状態を維持するのが好ましく、また基板12と葉状研摩パッド400との間の全ての相対運動が基板12を動かすことによって与えられるのが好ましい。
【0016】
次に、本発明の研摩装置を説明する。
【0017】
図1には、ここで説明する本発明の何れの実施例を用いて基板12を研摩するためにも有用な研摩装置10が示されている。本装置10は、ここで説明する本発明の各実施例にとって有用であるが、図解を容易にするために、キャリア24と研摩パッド22と関連づけて描かれている。本研摩装置10は一般的に、回転可能なプラテン16及びその上の研摩パッド22を支えるベ−ス14と、基板12を受容し、基板12を研摩パッド22上に位置決めするキャリア24と、研摩パッド22に関して基板12に負荷をかけまた運動させるようにキャリア24に接続されたトランスファ−ケ−ス54とを含む。研摩パッド22を回転させたい場合は、図示しないモ−タ及び歯車組立体がベ−ス14の下側に配設され、プラテン16の下側の中心に接続されプラテン16を回転させる。プラテン16は、軸受でベ−ス14から支持されてもいいし、或いはモ−タと歯車組立体がプラテン16を回転すると同時に支持してもよい。研摩パッド22は、プラテン16の上面に置かれており、それによりモ−タと歯車組立体によって回転させられる。
【0018】
研摩パッド22の研摩特性を高めるためにスラリ−が研摩パッド22上に提供される。スラリ−は、スラリ−を研摩パッド22上に滴下させ或いは他の方法で計量しながら供給するスラリ−ポ−ト23を通して研摩パッド22に供給してもよいし、或いはプラテン16及び研摩パッド22の下側を通して供給し、研摩パッド22を通して上方向に基板12まで流れるようにしてもよい。研摩パッド22とスラリ−は、基板12を望み通りに研摩できるように選ばれる。研摩パッド22の組成としては、織られたポリウレタン(woven polyeurethane)材料とするのが望ましい。それは例えばIC1000或いはス−バ
IV(Suba IV)であり、ペンシルバニア州のニュ−ア−ク(Newark)のロ−デル(Rodel)から入手できる。基板上に堆積した材料の選択的エッチングを高める一つのスラリ−組成は、5%のNaOH、5%のKOH及びおよそ200nmのサイズを有するコロイドシリカ(colloidal silica)を有する水溶液である。当業者であれば、基板12に所望の研摩を与える為に、研摩パッド22の材料及びスラリ−の組成を容易に改変することができるであろう。
【0019】
キャリア24を研摩パッド22に関して適切に位置決めするために、トランスファケ−ス54は、研摩パッド22の上方に伸延しているクロスバ−36に接続されている。クロスバ−36は、一対の対向した位置にある垂直部材38、39及びバイアシング(biasing)ピストン40とにより、研摩パド22の上方に位置決めされている。クロスバ−36は、その第一の端部44において垂直部材38にヒンジで接続されるのが好ましく、またその第二の端部46でバイアシングピストン40に接続されるのが好ましい。第二の垂直部材39は、バイアシングピストン40に隣接して設けられており、クロスバ−36の第二の端部46の下方向の運動を制限するための垂直方向の止め具を提供する。キャリア24上の基板12を交換するために、クロスバ−36はバイアシングピストン40からと取り外すことができ、またクロスバ−36の第二の端部46は、クロスバ−36に接続されたキャリア24を研摩パッド22から持ち上げるために、引っ張り上げられる。次に基板12が交換され、キャリア24が基板12の面26を研摩パッド22に対して置くために下げられる。
【0020】
本発明の研磨装置のトランスファ−ケ−スにつき説明する。
【0021】
図1及び2を参照すると、研摩パッド22上の基板12の好ましい軌道運動及び制御された回転運動を与えるのに必要なトランスファ−ケ−ス54の構造の形態及び詳細が示されている。ここでも図解の便のために、トランスファ−ケ−ス54はキャリア24と関係づけて描かれている。しかしながら、トランスファ−ケ−ス54は前面基準キャリア200を含む、軌道運動をする如何なるキャリアをも互換的に駆動できるように特に構成されている。トランスファ−ケ−ス54は、クロスバ−36の下に釣り下げられており、キャリア24をクロスバ−36に結合している。一般的にトランスファ−ケ−ス54は、駆動軸56及びハウジング58とを含む。駆動軸56は、クロスバ−36を貫通して上方に延びており、クロスバ−36にしっかりと接続されたモ−タ−及び駆動組立体50に接続しており、またハウジング58を貫通して下方向に延びており、モ−タ及び駆動組立体50の回転運動をキャリア24の軌道運動的及び制御された回転運動に変換するようになっている。駆動軸56を回転させるために、駆動ベルト52が駆動軸56をモ−タ及び歯車組立体50に接続している。さらに、駆動スプロケット88が、ハウジング58の外表面上に置かれている。この駆動スプロケット88は、クロスア−ム36上に置かれたハウジング駆動モ−タ90に、駆動ベルト61によって接続されている。ハウジング58はその上にスプロケット88を有するものとして示されているが、例えば滑車或いはプ−リ−のような、回転運動を転送するための他の形態で、スプロケット88を容易に置き換えることができる。
【0022】
次に図2を参照すると、トランスファ−ケ−ス54の内部詳細構造が示されている。ハウジング58は、内側の固定ハブ57と外側の回転ハブ59とを有する。ハウジング58の内側の固定ハブ57は、好ましくは複数のボルト或いは他の取外し可能な部材(図示せず)によって、クロスバ−36の下側にしっかりと取付けられている。外側の回転ハブ59は、好ましくは上部及び下部のテ−パ−付きベアリングによって、内側の固定ハブ57に軸受接続されている。これらのベアリングは、外側の回転ハブ59を垂直方向に支えており、一方外側の回転ハブ59が内側の固定ハブ57に関して回転できるようにしている。駆動軸56は、ハウジング58の内側の固定ハブ57を貫通して伸延しており、駆動軸56を垂直方向に支え、また駆動軸56が内側の固定ハブ57に関して回転できるようにしているテ−パ−付きベアリングによって、同様にその中に支えられている。外側の回転ハブ59を回転させるために、スプロケット88がその上に直接搭載されている。
【0023】
トランスファ−ケ−スの軌道運動駆動部につき説明する。
【0024】
キャリア24を軌道運動させるように軌道運動を与えるために、駆動軸56の下端にクロスア−ム60が設けられている。クロスア−ム60は第一の端部と第二の端部を含む。クロスア−ム60の第一の端部は、その中に駆動軸56の下端部を受容し、またクロスア−ム60の第二の端部は、そこから下方向に伸延する第二の軸64を支えている。第二の軸64の下端部は、その末端部をキャリアプレ−ト80の中心に置いており、そのキャリアプレ−トはキャリア24の上端を形成している。軸受組立体79がキャリアプレ−ト80に備わっており、第二の軸64の下端部を受容している。駆動軸56が回転すると、それはクロスア−ム60の第二の端部を、ひいてはそこから下方向に伸延している軸64を、円弧上にスイ−プ(sweeps)する。この円弧の半径は、駆動軸56と第二の軸64との間の距離であるが、キャリア24が動く軌道路の半径を定める。第二の軸64が軸受79に接続していることによって、第二の軸64がキャリア24を軌道路に沿って押すと、キャリア24が第二の軸64に関して回転運動できるようになっている。第二の軸64の下端部はまた、基板12を研摩パド22に押し付けるとき、キャリア24が支えられるしっかりとした軸受点を形成する。
【0025】
トランスファ−ケ−スの回転補償部につき説明する。
【0026】
軸64のキャリア24への接続は、キャリア24に伝わる回転力が最小限になるように形成されており、また基板12が研摩パッド22上で軌道運動する際、基板12とキャリア24の回転を最小限にするように形成されている。しかしながら、基板12と研摩パッド22との間の、及びキャリア24と第二の軸64との間の動的相互作用のため、基板12はそれが軌道運動をする際ゆっくりと回転して(precess)しまう。基板12が軌道運動する際の回転を抑制或いは防止するために、回転補償組立体62がハウジング58の下側に備えられ、基板12が軌道運動する際それをしっかりと(positively)位置決めするようになっている。このしっかりとした位置決めをするために、補償組立体62はハウジング58の外側回転ハブ59の下側に配設された内歯リング歯車70とクロスア−ム60のすぐ下の第二の軸64に取付けられたピニオン歯車74とを含む。ピニオン歯車74は、リング歯車70の歯と噛み合う外側に歯を切った面と、第二の軸64上の軸受77に受容されている内側直径とを含む。ピニオン歯車74は、ピニオン歯車74からキャリアプレ−ト80内の一対の合わせ凹み (mating recesses)75内に伸延する一対のピン73によってキャリアプレ−ト80に関して回転的に固定されている。それ故、第二の軸64が軌道運動すると、軸64の軌道運動は軸受79においてキャリアプレ−ト80に伝えられ、ピニオン歯車74の回転運動はピン73を通じてキャリアプレ−ト80に伝えられる。
【0027】
補償組立体62があるために、CMP装置の使用者はキャリア24の運動の回転成分を変えることができ、それによってキャリア24が軌道運動する際のキャリア24の回転を防止し或いは正確に制御することができる。クロスア−ム60が駆動軸54に関して回転運動する際、それはリング歯車70の内周周りにピニオン歯車74をスイ−プする。ピニオン歯車74の歯とリング歯車70の歯とは噛み合っているので、リング歯車70の歯がピニオン歯車74の歯と同速度で動いていない限り、ピニオン歯車74はリング歯車70に関して回転する。駆動軸56を同時に回転させながらハウジング58の外側の回転ハブ59を回転させることによって、第二の軸64の周りのピニオン歯車74の、またそれに取付けられたキャリア24の実効回転運動は制御することができる。例えば、リング歯車70が、キャリア24が一軌道運動する際にピニオン歯車74を完全に一回転させるに十分なスピ−ドで回転するならば、ピニオン歯車74は、そしてひいてはそれに取付けられた軌道運動キャリア74はベ−ス10のような固定基準点に関して回転しない。さらに、キャリア24の回転速さは、駆動軸56及びハウジング58の外部回転ハブ59の相対回転速さを単に変えることによって、研摩パッド22の回転速さに合致させることもできるしそれと変えることもできる。この物理的現象は、リング歯車70とピニオン歯車74の相対速さを変えることによって、キャリア24が軌道運動する際その回転速度を制御するのに用いられる。
【0028】
トランスファ−ケ−ス54のその形状のお陰でCMP装置の使用者は、基板12を研摩する際面26上の異なった場所における相対スピ−ドを制御するすることによって、基板12の面26に渡る研摩率の一様性を厳密に制御することができる。基板12が、研摩パッド22上の軌道路内をキャリア24によって動かされる際、プラテン16及び研摩パッド22は、モ−タ及び歯車組立体(図示せず)によって回転させられる。基板12の軌道運動スピ−ドと研摩パッド22の回転スピ−ドとが一緒になって、基板の表面26における公称スピ−ド、1800から4800cm/分を与える。その軌道運動半径は1インチより小さく、研摩パッド22は比較的低スピ−ド、10rpmより低いスピ−ドで回転するのが好ましく、また5rpmより低速度とするのが最も好ましい。
【0029】
軌道運動している基板12は、ハウジング58をベルト61を通してモ−タ91によって選択的に回転することによって、回転させられるかもしれないし或いは回転せずに軌道運動するかもしれない。軌道運動している基板12を研摩パッド22と同じスピ−ドで回転することによって、研摩パッド22と基板12上の各点との間の累積的運動距離は一様に維持できる。それ故、基板の異なった領域において累積的運動距離が異なることに起因する過剰研摩が防止される。さらに、もしそれが望ましいならば、基板のエッジ部分と研摩パッド22との間の相対的運動距離を基板の中心部の点と比べて増やすために、基板の回転スピ−ドを研摩パッド22の回転スピ−ドと変えてもよい。もし望ましいならば、基板12は研摩パッド22の方向とは逆の回転方向に動かされてもよい。
【0030】
本発明の研磨装置の基板キャリアを説明する。
【0031】
図2を参照すると、キャリア24の好ましい一実施例の構造が詳細に示されている。キャリア24はその中に内部バイアシング部材30を含んでおり、その部材は研摩パッド22上で基板12に負荷をかけるのに用いられる一次的及び二次的力の応用を選択的に制御し、また基板12に軌道運動を伝える外部スリ−ブ部分130を含む。内部バイアシング部分30は、上部バイアシング部分102及び下部本体部分104とを含む。
【0032】
キャリアの上部バイアシング部分102は、研摩パッド22に対して基板12に負荷をかけるために与えられる一次的圧力を制御するように形成されている。一次的負荷圧力を制御するために、キャリア24の上部バイアシング部分102は、研摩パッド22に対して基板12に負荷をかけるように選択的に加圧される空洞112として形成されている。空洞112は、その上端を形成しているキャリアプレ−ト80と、下部本体部分の上面と、キャリアプレ−ト80から下方向に伸延し下部本体部分104で終わるベロ−ズ110とによって画成されている。ベロ−ズ110は、キャリア24の実質的な捩じれを防止するのに十分な剛性を与えるおよそ1000分の8インチの厚さのステンレス鋼で製作するのが好ましい。ベロ−ズ110は、空洞114の外壁として働き、またそれはキャリアプレ−ト80から基板12へ回転運動を伝える働きもする。
【0033】
キャリア24の下部本体部分104は、基板12の異なる場所における基板12と研摩パッド22との間の負荷圧力を微妙に調整するのに使われる。下部本体部分104は、一般的には正しい(right)円形の中空部材であり、スリ−ブ部分130内に受容されており、またベロ−ズ110の下端部と下部本体部分104との間の接続を形成している一般的に円形の上部壁138を有する。外部円形壁140が、円形部材132から下方に伸延しており、下部輪郭壁142で終わっている。円形部材132と外部壁140と下部輪郭壁142がチャンバ−144の外部境界を形成している。下部輪郭壁142は、ほぼ平坦な外側表面152と輪郭のついた内側表面とを有する。好ましくは、下部輪郭壁142の内側表面の輪郭は、壁142の外周からその半径のおよそ三分の一の位置まで広がっている第一のテ−パ−付き部分146と、テ−パ−付き部分146のどの部分よりも薄い、壁142の中心部における一定厚さの薄膜150を形成する平坦部分148とを含む。壁142の外側或いは下部の表面152は平坦であり、それはその上にフィルム154、好ましくは閉じたセル(closed cell)のフィルムの層を受容しているのが好ましい。スリ−ブ130の下端部は、壁142の外側面152及びその上のフィルム154を越えて下側に伸延しており、壁142と一緒になって、下部基板受容凹み28を形成している。
【0034】
スリ−ブ部分130は、その中に内部バイアシング部分30の部品を受容し、これらの部品及び基板12を軌道路内で案内するように形成されている。スリ−ブ部分130は、上部の一般的に正しい環状(right annular)部材132であって、その上端部においてキャリアプレ−ト80の下端部に接続されている部材と、下部の一般的に正しい環状リング134とを含む。その円環リング134は、環状部材132の下側に接続され、環状部材132とリング134との接続部に配設された円形のリ−フ(leaf)バネ128によって下方向に押し付けられ研摩パッド22に係合することができるようになっている。スリ−ブ部分130は、強い実質的に剛性のある部材を提供し、その部材はその中に下部本体部分104を受容し、軌道路を通してその下部本体部分104を案内する。円形リング134は、適合性部材(conformable member)であるのが好ましく、その部材は基板12がそれに負荷をかけると僅かに順応する。
【0035】
基板12と研摩パッド22との間に負荷圧力を与えるために、空洞112及びチャンバ−144に、加圧状態で流体を供給しなければならない。さらに、空洞112に供給される流体は、チャンバ−144に供給される流体とは違った圧力に独立して維持できなければならない。それらの流体を供給するために、駆動軸56はその中を長手方向に伸延する一対の流路160、162を含む。同様に、第二の軸64は、その中を長手方向に伸延する一対の流路160’,162’を含む。回転ユニオン164が、駆動軸54の上端部に備えられ、流路160、162に流体を供給する。回転ユニオンはまた、クロスア−ム60の、駆動軸54と第二の軸64との双方への接続部にも置かれており、またクロスア−ム60は一対の貫通する通路(図示せず)を含み、その通路は回転ユニオンと連携して、流体を流路160から流路160’に、また流路162から流路162’に流す。流路160’は流体を加圧状態で供給し、空洞112を選択的に加圧する。ホ−ス124が、流路162’の下部端末部に回転フィッティングで接続されており、流路162’から下部本体部分にある開口126に延びており、流体を下部本体部分104のチャンバ−144に供給するようになっている。その流体は、絞られた出力の多数の調整されたガス供給、調整された加圧液体源或いは他の加圧された流体供給を有するポンプのような可変圧力源から供給されるのが好ましい。
【0036】
研摩パッド22に対して基板12に負荷をかけるために、ベロ−ズの空洞112及びチャンバ−144に流体が加圧状態で供給される。ベロ−ズの空洞112に流体によって与えられる圧力は、キャリア24に対して負荷をかける部品の重量及びキャリア24それ自身の重量と一緒になって、研摩パッド22に対する基板12の一次的負荷圧力0.3から0.7kg/cm2 を創り出す。もし基板12が研摩される際エッジ部分の過剰研摩が生じないならば、チャンバ−144は大気圧に保たれる。しかしながら、基板12のエッジ部分に過剰研摩が生じるならば、基板12の中心部を下方向に研摩パッド22に対して付加的に差別的に押し付けるに十分な距離だけ、輪郭のついた下部壁144特にその中心部の平坦部分148を外側にたわませるに十分な圧力でチャンバ−144が加圧される。チャンバ−144に供給される圧力は、基板12のエッジにおける研摩率を均一化するために、基板12の中心部の研摩率を増やすように、平坦部分148のたわみを制御するために変えてもよい。与えられた半導体研摩操作に対して望ましいたわみ量は、一旦研摩とエッジ部の過剰研摩の履歴が確立されると、製造中に定められるであろう。
【0037】
キャリア24は基板12の中心近傍で研摩パッド22と基板12との間の負荷力を増やすように補償力を与えるものとして説明してきたが、それはまた基板12の中心部における圧力を低減し中心部の過剰研摩に対処するのに使用してもよい。これはチャンバ−144内の流体を排出することによって達成できる。さらに、キャリア24の形態は、基板12のエッジ部分により大きな力を与えるように変えてもよいし、或いは下部輪郭壁142の輪郭を変えることによって基板12上の別の半径の位置により大きな力をかけるように変えてもよい。
【0038】
本発明の研磨装置の別の基板キャリアを説明する。
【0039】
図3には、キャリアの別の実施例が示されており、これはトランスファ−ケ−ス54と一緒に使用するのが好ましいものである。この別の実施例においては、基板キャリアは前面基準(front referencing)キャリア200として形成されており、研摩パッド22に対して平等に基板12の面26に負荷をかけるようになっている。前面基準キャリア200は、ウエハの裏側に平等に負荷をかけ、このことにより基板12の前面は平等に負荷がかけられる。即ち研摩パッド22に対して前面基準(front referenced)となる。前面基準キャリア200は、上部軸の受容部分206を有する正しい円形の本体204と、その上部軸の受容部分206から下方向に伸延する外周壁208とを含み、それらが一緒になってブラダ−(bladder)空洞110の境界を形成している。トランスファ−ケ−ス54の第二の軸64の下端部は、軸の受容部分206の中心部にある軸受に受容されており、軌道運動を前面基準キャリア200に伝えるようになっている。第二の軸64はまた、研摩パッド22上の基板12に負荷をかける際にキャリア200が乗る、垂直方向の剛性のある軸受点も与える。前面基準キャリア200の回転を制御するために、トランスファ−ケ−ス54のピン73がピニオン歯車74から下の方向に伸延しており、キャリア200の軸の受容部分206内の合わせ穴(mating apertures)75に受容されている。
【0040】
ブラダ−空洞210は、弾力性のあるゴム状のブラダ−214をその中に受容するように形成されている。ブラダ−空洞210の下端部212は開いており、その中に基板12を受容できる大きさになっている。基板12はキャリアの下端部212に受容されると、キャリアの開口端212に渡って広がっているブラダ−214に接触する。基板12のブラダ−空洞210内への内側方向の配置を制限するため、またブラダ−214が加圧されていないときブラダ−214がブラダ−空洞の中に収縮するのを防止するため、ブラダ−空洞210の下端部212の内側であってブラダ−214の外被内に制限板216が置かれている。制限板はブラダ−空洞210の内壁にしっかりと接続されており、それを越えて広がっているブラダ−214の部分が、ブラダ−空洞210の内壁と制限板216のエッジとの間に縮み込むようになっている。或いは、ブラダ−空洞210の内壁はその中に多数の凹んだ溝(recessed grooves)を含んでおり、また制限板216はその凹みに受容される複数のタブ(tabs)を含む。ブラダ−214はまたタブを越えて凹みの中に伸延していてもよいし、或いはタブがブラダ−214を通過して伸延していてもよいし、またタブの周りの領域はシ−ルされておりブラダ−214の完全さを維持している。基板12をブラダ−空洞の開口端212に保持するために、下方向に延びる壁208の下端部にスリ−ブ220が備えられている。スリ−ブ220は、プラスチック材料のような適合性のある材料で製造するのが好ましく、その適合性材料は基板がそれに対して負荷をかけられたときに僅かに順応するようなものである。スリ−ブ220は、スリ−ブ220と下方向に伸延する壁208との間の境界面に置かれた円形リ−フバネ或いは他の押し付け部材(図示せず)によって、下方向に押し付けられ研摩パッド22と係合するようになっているのが好ましい。
【0041】
前面基準キャリア200は、軌道運動をまた選択的回転運動を前面基準キャリア200に伝えるように形成されたトランスファ−ケ−ス54によって、研摩パッド22上に位置決めされるのが好ましい。研摩パッド22に対して基板12の一次的負荷を与えるために、ブラダ−214は加圧される。ブラダ−中に空気を供給するために、駆動軸58及び第二の軸64を貫通したル−トを通して、好ましくは空気のような流体が供給される。ブラダ−214が加圧されると、それはブラダ−空洞210内で膨張し、基板12を研摩パッド22に対して下方向に押し付ける。同時に、膨張するブラダ−214は制限板216から分離し、キャリア200の本体204を基板12に関して僅かに上方に上昇させる。しかしこの動きは第二の軸64の固定下端部によって制限される。それ故、ブラダ−241がさらに加圧されると、キャリア200の本体204は第二の軸64の下端部上に乗っかり、基板12上の負荷が増える。前面基準キャリア200によって基板12上にかけられた負荷は、研摩パッド22に対して平等に基板の面26に負荷をかける。それは、ブラダ−214は基板12の後ろ側に不平等な負荷をかけることがないからである。それ故、基板12がキャリア上の或いは適合性のある材料内の隆起した領域によって不平等な力がかけられたときに普通生じるような、研摩の格差は実質的に排除される。
【0042】
次に本発明の多数基板研摩形態を説明する。
【0043】
図4には、単一の回転プラテン16上で多数の半導体12を研摩するための、別の装置が示されている。このもう一つの実施例では、二つの研摩ヘッド300、300’が分割された研摩パッド302上に置かれている。各ヘッド300、300’は、分割された研摩パッド302に関して、軌道運動してもよいし、揺動運動してもよいし、振動運動してもよいし、回転運動してもよく、または他の方法で配置されてもよい。ヘッド300、300’は、キャリア24として、前面基準キャリア200として、或いは分割された研摩パッド302に対して基板12を保持することができる他のキャリア形態として形成してもよい。ヘッド300、300’は、その中で基板12を分割された研摩パッド302に関して動かすように軌道運動させるのが好ましいが、その代りに、分割された研摩パッド302に関して運動を与えるために振動させてもよいし、揺動運動させてもよいし或いは回転運動させてもよい。
【0044】
単一研摩パッド上で多数の基板12を研摩することに伴う一つの問題は、基板12が欠けたりクラックが入ったりするかもしれないということであり、これがCMP装置使用者によって懸念されているところである。もし基板12が欠けると、損傷した基板12のかけらが移動して、一つ或いはそれより多くの他の基板12と接触し、それを傷つけ得る。本発明は、分割した研摩パッド302を回転的に揺動運動させることによってこの問題を克服している。そのようにすれば、ヘッド300内の基板12に接触している分割された研摩パッド302の何れの部分も、ヘッド300’内の基板12とは接触し得ないし、逆もまた同様であるからである。この運動をさせるために、分割された研摩パッド302は先ず第一の回転方向に動き、次に逆の回転方向に動く。図5に示されるようにベ−ス14の下側に二方向モ−タ310が備えられており、分割された研摩パッド22を逆方向に順番に回転させるように選択的に作動させる。分割された研摩パッド302を何れかの方向に動かすだけでは不十分であり、分割された研摩パッド302の何れかの部分が2以上の基板12と接触してしまう。このことにより確実に、分割された研摩パッド302のおよそ二分の一がヘッド300の下だけで動き、また分割された研摩パッド302のおよそ二分の一がヘッド300’の下でのみ動くこととなる。さらに、一つの基板12から他の基板へ汚染物質が移動するのを防ぐために、一つの基板12から発生した如何なる微粒子をも受容し集めるための溝304が分割された研摩パッド302内に設けられてもよい。さらに、溝304が用いられるときは、研摩パッドは連続的に回転させてもよい。かけらや他の微粒子状の汚染物質は溝304に集まり、別の基板12に接触することはないからである。
【0045】
プテラン16と分割された研摩パッド302とを回転的に揺動運動させるために、引き金(triggering)手段が備えられ、二方向モ−タ310を、所望の回転運動をした後で逆回転させる。モ−タの逆回転を起すための一つの装置が図5に示されている。この引き金手段は、プラテン16の下のベ−ス14に接続された電磁ピックアップ306を含む。一対の磁石308はプラテン16の下側に取付けられており、プラテン16の逆回転が生じるまでに望まれる所望の円弧(arcuate)運動に等しい円弧距離だけ離れている。何れかの磁石308がピックアップ306の近傍に入ると、信号がコントロ−ラ−に送られる。こうするとコントロ−ラ−が二方向モ−タ310を逆回転させ、それによってモ−タ及びプラテン16の回転運動を逆にする。このようにしてプラテン16は、モ−タが停止或いは解放されるまで、磁石308の間で回転的に揺動運動する。
【0046】
本発明の葉状(lobed)研摩パッドを説明する。
【0047】
図6には、一以上の基板12を同時に研摩するのに有用な葉状研摩パッド400のさらに別の実施例が示されている。この実施例では、葉状研摩パッド400はその中に一以上の多葉溝部材402を含み、その部材はその上に基板12を受容する位置の研摩パッド400上にある。各溝部材402は、中央の凹んだ領域406から放射状に伸延する複数の葉(lobes)404を含む。各葉404は、円弧端410で終わる、対向して延びている側部408を有する、実質的に三角形状をしているのが好ましい。葉404は平坦な側部を有するものとして示されているけれども、他の形態が特に企図されている。例えば葉404は曲線状であってもよいし、或いは葉404はパッド400の密集した領域内に形成された、直線の或いは曲線のプロフィルを有する、複数の凹み(depressions)を画成していてもよい。さらに、葉404は、スラリ−が研摩パッド22を通して中央の凹み領域406に供給され、葉404にまで至るように、中央の凹み領域406で相互に接続しているのが好ましい。一つの葉も使用できるけれども、少なくとも二つの葉404が備えられるのが好ましい。葉404の寸法は、葉404の間の研摩パッド400の材料と共に、葉404が研摩パッド400上の基板12の軌道運動の、振動運動の、揺動運動の或いは回転運動の全進路に等しい領域上に広がるように決められる。葉状溝部材402は、図1から3に示されるトランスファ−ケ−ス54のような、回転位置制御を有する軌道運動駆動部材によって駆動される、軌道キャリアと共に使用されるのが好ましく、また葉状研摩パッド400は静止位置に保持される。また、葉状研摩パッド400は、静止した或いは運動している基板12の下で揺動運動し、振動運動し或いは軌道運動し、基板12と葉状研摩パッド400との間に相対的な運動を与えてもよい。葉404は、葉状研摩パッド400に係合する基板の表面にスラリ−補充溜りを与え、基板12が葉状研摩パッド400上で研摩される際その表面にスラリ−を連続的に補充する。図6には、葉状溝メンバ−402は単一の葉状研摩パッド400上で多数の基板12を研摩するための形態で示されているけれども、葉状研摩パッド400は基板12より僅かに大きく寸法を決め、単一の基板12を順番に(sequentially)その上で処理するようにしてもよい。
【0048】
ここでは葉状溝部材402が使われるように説明したが、他の溝形態も基板12の下側にスラリ−を供給するのに用いることができる。例えば、研摩パッド22が回転しているならば、パッドはその中に、研摩パッド22の表面内で放射状にまた好ましくは放射状に且つ周方向に伸延する一以上の溝を含んでもよい。このようにして、研摩パッド22が基板12の下を通過する際、グル−ブは基板の下をスイ−プし基板にスラリ−を補充する。そのような溝は、ここに同時に提出されたタリ−(Talieh)のスラリ−分布が改善された化学的機械的研摩装置と題する米国特許出願で詳細に議論されている。
【0049】
結論としては、以上述べた実施例は、局部的な過剰研摩の発生を低減し、また単一の研摩パッド上で多数の基板を同時に研摩する装置を提供することによって、化学的機械的研摩によって処理された基板から生産される有用なダイの数を増やすのに用いることのできる装置を提供している。ここで開示された改善は、それがなければ化学的機械的研摩処理に固有の制限の結果として生じる、基板上に作られる欠陥のあるダイの数を低減する。ここでは特定の材料及び寸法が説明されたけれども、当業者であればここに開示された寸法や材料は本発明の範囲から逸脱することなしに変更できるということが理解できるであろう。
【0050】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、局部的な過剰研磨を防止し、ダイの生産歩留りを高める。
【0051】
本発明の、以上述べたような或いは他の特徴及び利点は、実施例の記載を以下の図面と合わせて読むことによって明らかとなるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の研摩装置の部分断面斜視図である。
【図2】図2は、図1の研摩装置の基板キャリアと駆動組立体の断面図である。
【図3】図3は、図2の基板キャリアの別の実施例の断面図である。
【図4】図4は、図1の研摩装置の別の実施例の斜視図であって、研摩パッド上で二つの研摩ヘッドが作動している状態を示す図である。
【図5】図5は、図4の装置を5−5において断面した部分断面図である。
【図6】図6は、本発明の研摩パッドの別の実施例の上面図であり、別の研摩パッド形態の詳細を示す図である。
【符号の説明】
10…研磨装置、12…基板、16…プラテン、22…研磨パッド、23…スラリーポート、24…基板キャリア、36…クロスバー、38、39…垂直部材、40…バイヤシングピストン、54…トランスファケース。
Claims (16)
- 基板を研磨するためのキャリアヘッドであって、
基板の裏面を受けて基板の表面を研磨パッドに相対するように配置する基板受容部と、
可圧型の第1のチャンバを備え、基板の裏面の中心部と中心部を囲む周辺部とで異なる負荷圧力を与える偏与圧部材と、
偏与圧部材上に下向きの力を作用させるための可圧型の第2のチャンバと、
を有するキャリアヘッド。 - 第1のチャンバが、基板受容部の基板受容面を与える下壁を有する、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 下壁が、別々の部分において別々の厚さを有する、請求項2に記載のキャリアヘッド。
- 下壁の厚さが、中心から放射方向に変化する、請求項3に記載のキャリアヘッド。
- 下壁と基板の間に配置された順応材料を更に備える、請求項2に記載のキャリアヘッド。
- キャリアヘッドが更に、駆動軸に接続するためのハウジングを備え、
第2のチャンバは、ハウジングと偏与圧部材の間に配置される、請求項1に記載のキャリアヘッド。 - 第2のチャンバが、ベローズである、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 基板を基板受容部の下に保持するための保持リングを更に備える、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 基板を研磨するためのキャリアヘッドであって、
基板の裏面を受けて基板の表面を研磨パッドに相対するように配置する基板受容部と、
第1のチャンバを有し、基板受容部に下向きの力を作用させて基板受容部を基板の裏面に押圧する、第1の偏与圧部材であって、基板の裏面の中心部と中心部を囲む周縁部とで異なる負荷圧力を与える、前記第1の偏与圧部材と、
第2のチャンバを有し、第1の偏与圧部材に下向きの力を作用させる第2の与圧部材と、
を備えるキャリアヘッド。 - 第1のチャンバが、基板受容部の基板受容面を与える下壁を有し、下壁が、別々の部分において別々の厚さを有する、請求項9に記載のキャリアヘッド。
- キャリアヘッドが更に、駆動軸に接続するためのハウジングを備え、ハウジング内には第2の与圧部材が配置される、請求項9に記載のキャリアヘッド。
- 第1の偏与圧部材が外側環状壁を有し、第2の与圧部材が基板の裏面に対する外側環状壁の負荷を制御することが可能である、請求項9に記載のキャリアヘッド。
- 基板を研磨するためのキャリアヘッドであって、
開口を有するハウジングと、
開口を覆う、たわみ可能な薄膜であって、前記たわみ可能な薄膜は、開口を覆うことで前記たわみ可能な薄膜とハウジングの間に可圧型のチャンバを形成し、前記たわみ可能 な薄膜の上面はチャンバに接し前記たわみ可能な薄膜の下面は基板裏面に接触する基板受容面を与える前記たわみ可能な薄膜と、
前記可圧型のチャンバの内側に配置される硬質の板と、
を備える、キャリアヘッド。 - 硬質の板が、前記たわみ可能な薄膜の内向きの移動を防止するように配置される、請求項13に記載のキャリアヘッド。
- 前記たわみ可能は薄膜が、ブラダーを形成する、請求項13に記載のキャリアヘッド。
- 前記たわみ可能な薄膜が、ゴム製である、請求項13に記載のキャリアヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/205,276 US5643053A (en) | 1993-12-27 | 1994-03-02 | Chemical mechanical polishing apparatus with improved polishing control |
US08/205276 | 1994-03-02 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003002545A Division JP3974857B2 (ja) | 1994-03-02 | 2003-01-08 | 化学機械研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0839422A JPH0839422A (ja) | 1996-02-13 |
JP3595011B2 true JP3595011B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=22761551
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4321895A Expired - Lifetime JP3595011B2 (ja) | 1994-03-02 | 1995-03-02 | 研磨制御を改善した化学的機械的研磨装置 |
JP2003002545A Expired - Lifetime JP3974857B2 (ja) | 1994-03-02 | 2003-01-08 | 化学機械研磨装置 |
JP2006073267A Expired - Lifetime JP4386897B2 (ja) | 1994-03-02 | 2006-03-16 | キャリアヘッド |
JP2009187448A Pending JP2009255292A (ja) | 1994-03-02 | 2009-08-12 | キャリアヘッド及び基板の化学機械研磨のためのシステム |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003002545A Expired - Lifetime JP3974857B2 (ja) | 1994-03-02 | 2003-01-08 | 化学機械研磨装置 |
JP2006073267A Expired - Lifetime JP4386897B2 (ja) | 1994-03-02 | 2006-03-16 | キャリアヘッド |
JP2009187448A Pending JP2009255292A (ja) | 1994-03-02 | 2009-08-12 | キャリアヘッド及び基板の化学機械研磨のためのシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP3595011B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022062298A1 (zh) * | 2020-09-27 | 2022-03-31 | 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 | 一种打磨抛光装置 |
TWI791062B (zh) * | 2017-11-07 | 2023-02-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 基板研磨裝置及研磨方法 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5908530A (en) * | 1995-05-18 | 1999-06-01 | Obsidian, Inc. | Apparatus for chemical mechanical polishing |
US6024630A (en) | 1995-06-09 | 2000-02-15 | Applied Materials, Inc. | Fluid-pressure regulated wafer polishing head |
US6183354B1 (en) | 1996-11-08 | 2001-02-06 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with a flexible membrane for a chemical mechanical polishing system |
EP1327498B1 (en) * | 1997-04-08 | 2013-06-12 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
US6113479A (en) * | 1997-07-25 | 2000-09-05 | Obsidian, Inc. | Wafer carrier for chemical mechanical planarization polishing |
US6171174B1 (en) * | 1998-06-26 | 2001-01-09 | Advanced Micro Devices | System and method for controlling a multi-arm polishing tool |
US6488565B1 (en) | 2000-08-29 | 2002-12-03 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for chemical mechanical planarization having nested load cups |
JP3970561B2 (ja) | 2001-07-10 | 2007-09-05 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持装置及び基板研磨装置 |
KR100776570B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2007-11-15 | 두산메카텍 주식회사 | 화학적 기계적 연마장비의 연마패드 개질 장치 및 방법 |
KR101004432B1 (ko) * | 2008-06-10 | 2010-12-28 | 세메스 주식회사 | 매엽식 기판 처리 장치 |
US8460067B2 (en) * | 2009-05-14 | 2013-06-11 | Applied Materials, Inc. | Polishing head zone boundary smoothing |
WO2013001719A1 (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-03 | 信越半導体株式会社 | 研磨ヘッド及び研磨装置 |
DE102011082777A1 (de) * | 2011-09-15 | 2012-02-09 | Siltronic Ag | Verfahren zum beidseitigen Polieren einer Halbleiterscheibe |
JP2017037918A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | エスアイアイ・セミコンダクタ株式会社 | 研磨ヘッド、研磨ヘッドを有するcmp研磨装置およびそれを用いた半導体集積回路の製造方法 |
JP6509766B2 (ja) | 2016-03-08 | 2019-05-08 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US11986923B2 (en) | 2020-11-10 | 2024-05-21 | Applied Materials, Inc. | Polishing head with local wafer pressure |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56146667A (en) * | 1980-04-18 | 1981-11-14 | Hitachi Ltd | Mirror surface grinder |
US4811522A (en) * | 1987-03-23 | 1989-03-14 | Gill Jr Gerald L | Counterbalanced polishing apparatus |
JPS6416886A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-20 | Nippon Telegraph & Telephone | Adhesive equipment |
JPH02262950A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-25 | Toshiba Corp | セラミックスの研磨方法 |
JP2770087B2 (ja) * | 1991-09-17 | 1998-06-25 | 不二越機械工業株式会社 | ウェーハの研磨方法及びその研磨用トップリング |
-
1995
- 1995-03-02 JP JP4321895A patent/JP3595011B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-01-08 JP JP2003002545A patent/JP3974857B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-03-16 JP JP2006073267A patent/JP4386897B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2009
- 2009-08-12 JP JP2009187448A patent/JP2009255292A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI791062B (zh) * | 2017-11-07 | 2023-02-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 基板研磨裝置及研磨方法 |
WO2022062298A1 (zh) * | 2020-09-27 | 2022-03-31 | 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 | 一种打磨抛光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009255292A (ja) | 2009-11-05 |
JP4386897B2 (ja) | 2009-12-16 |
JP2003224095A (ja) | 2003-08-08 |
JPH0839422A (ja) | 1996-02-13 |
JP3974857B2 (ja) | 2007-09-12 |
JP2006212775A (ja) | 2006-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4386897B2 (ja) | キャリアヘッド | |
US5643053A (en) | Chemical mechanical polishing apparatus with improved polishing control | |
US6648740B2 (en) | Carrier head with a flexible membrane to form multiple chambers | |
US6350346B1 (en) | Apparatus for polishing workpiece | |
US5820448A (en) | Carrier head with a layer of conformable material for a chemical mechanical polishing system | |
US7357699B2 (en) | Substrate holding apparatus and polishing apparatus | |
US6143127A (en) | Carrier head with a retaining ring for a chemical mechanical polishing system | |
JPH10249707A (ja) | 化学的機械的研磨システム中で研磨パッドを調整する方法と装置 | |
US20030171076A1 (en) | Chemical mechanical polishing apparatus and method having a retaining ring with a contoured surface for slurry distribution | |
JP4750250B2 (ja) | 変更された可撓膜を有するキャリアヘッド | |
US20030079836A1 (en) | Carrier head for chemical mechanical polishing | |
EP0835723A1 (en) | A carrier head with a layer of conformable material for a chemical mechanical polishing system | |
US6641461B2 (en) | Chemical mechanical polishing apparatus having edge, center and annular zone control of material removal | |
JP3856634B2 (ja) | 基板保持装置及び該基板保持装置を備えたポリッシング装置 | |
US20030077986A1 (en) | Front-reference carrier on orbital solid platen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020910 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070910 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080910 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090910 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100910 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110910 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110910 Year of fee payment: 7 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120910 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |