JP3594350B2

JP3594350B2 - Inspection system

Info

Publication number: JP3594350B2
Application number: JP3488795A
Authority: JP
Inventors: 章夫曽根原; 武行土公; 哲一村上; 賢佐々木
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1995-02-23
Filing date: 1995-02-23
Publication date: 2004-11-24
Anticipated expiration: 2019-11-24
Also published as: JPH08225113A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、複数の検査装置を備えた検査ラインにより製品の各種検査工程を一貫して行う検査システムに係り、特にカラーフィルタ基板の検査に好適に用いられる検査システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、製品の各種検査工程を一貫して行う検査システムとして特開平５−１４３７５９号公報に記載のものが知られている。この公報に記載のシステムは磁気カードを検査するもので、カード供給用ストッカにセットされた磁気カードをフィーダにより検査工程搬送機構に供給した後、複数の検査装置や測定装置を経てデリバリへと磁気カードを搬送し、その途中で検査と測定を繰り返すように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で挙げた検査システムでは、検査装置別に検査処理時間が異なるので、これらを単に接続して一貫した検査ラインを構成するのには無理がある。すなわち、１つの検査装置が別の製品を検査中である場合や、当該検査装置が故障中であった場合に、検査工程がスムースに流れないという問題点がある。また、検査装置を製造ラインに続けて設置すると、製造速度を検査処理時間に合わせて遅らせる必要があり、十分な生産性が得られないという問題点がある。
【０００４】
また、上記の検査システムにおいては、６個のマガジンを備えた回転式のオートチェンジャーからフィーダにより磁気カードを１枚ずつ吸着して供給するようにし、一つのマガジンが空になると次のマガジンに切り替わるように構成されている。しかしながら、カラーフィルタ基板のような大型板状製品を格納するカセットをフィーダ部に使用した場合には、カセットから製品を全て搬出した後に、当該カセットを交換する必要があり、カセットの交換時間が無駄になるという問題点が発生する。
【０００５】
さらに、上記の検査システムでは、品質判定後に製品を良品と不良品との２種類に分類するだけであるので、カラーフィルタ基板のように多面付けであって、一部の面のみに不良がある場合に不良品の面を捨てて良品の面のみを使用することを行うような製品に対しては従来のデリバリを適用するのは不便であるという問題点もあった。
【０００６】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、各種検査工程をスムースに行うことができ、さらにはカラーフィルタ基板の如き多面付けの製品の検査に好適に使用できる一貫した検査システムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、複数の検査装置を備えた１本の検査ラインにより多面付けのカラーフィルタ基板の各種検査工程を一貫して行う検査システムにおいて、複数のカラーフィルタ基板を格納するカセットを使用するようにし、検査ラインの前に設けた製品保管庫からカセットを検査ラインに搬入するとともに、隣接する検査装置の間にカセットの一時保管庫を設け当該一時保管庫を経由して次の検査装置にカセットを搬入するようにし、各検査装置との間で信号のやりとりを行ってカセットの搬入と搬出を指示する保管庫管理装置により、一時保管庫に対するカセットの搬入と搬出を行うようにするとともに、検査ラインの最終段階にはデリバリが４つ以上ある仕分け装置を設けておき、各検査装置との間で検査対象のカラーフィルタ基板を特定しその品質を判定するための各種データのやりとりを検査の前後で行って該カラーフィルタ基板の品質情報を更新する品質情報管理装置を使用し、当該品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報をもとに作成した出荷製品情報にしたがって各カラーフィルタ基板を仕分け装置の複数のデリバリに仕分けするようにしたことを特徴としている。
【０００８】
そして、少なくとも１つ以上の検査装置に、カセットをセットするフィーダを複数設けるようにするとよい。
【０００９】
【作用】
上述の構成からなる本発明の検査システムでは、製品保管庫から検査ラインに製品が順番に搬送されて各種検査が行われる。そして、１つの検査装置において当該検査装置が別の製品を検査中である場合や当該検査装置が故障中である場合に、搬送されてきた製品が一時保管庫に保管され、当該検査装置が空いた段階で一時保管庫より当該検査装置に搬送されて検査が行われる。
【００１０】
そして、複数の製品を格納するカセットを用いることによって途中での一時保管の際に製品を１つずつ扱わずに済む。また、カセットをセットするフィーダを検査装置に複数設けることで、カセットの交換時間の無駄を省くことができる。また、製品の仕分け装置のデリバリを４つ以上設けることで、２面以上の多面付けの各面の良否による製品の仕分けを行うことができる。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明の実施例について説明する。
【００１２】
図１は本発明に係る検査システムの一実施例を示す全体ブロック図である。本実施例での検査対象製品は４面付けのカラーフィルタ基板である。このカラーフィルタ基板はカセットに例えば２０枚格納されて各検査装置へ搬送される。このブロック図により各構成部分の作動について順を追って説明する。
【００１３】
（１）画像検査装置２１から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は製品保管庫１０にカセット搬送の指示を出し、製品保管庫１０からカセットが画像検査装置２１のフィーダＦ_１（又はＦ_２）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、画像検査装置２１は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。画像検査装置２１にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。ここで使用する画像検査装置２１は、カラーフィルタ基板にレーザー光等を照射してその透過光や反射光をＣＣＤカメラ等で検出して基板上の着色パターンの突起、異物付着、白抜け等の欠陥を検出できるものである。
（２）画像検査を終えた製品を格納したカセットは画像検査装置２１のデリバリＤよりＡＧＶ（自動搬送車）で搬出され、カラーフィルタの膜厚検査装置２２のフィーダＦ_１（又はＦ_２）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、膜厚検査装置２２は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。膜厚検査を終了した後、品質情報管理装置へ測定結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットは膜厚検査装置２２のデリバリＤよりＡＧＶで搬出され、一時保管庫１１に搬入されて一時保管される。なお、画像検査装置２１と膜厚検査装置２２は処理速度がほぼ同じなので、これらの間には一時保管庫を設置していない。それにも関わらずフィーダを２つ設けているのはちょっとした停止した場合の無駄時間を吸収できるようにするためである。また、将来どちらかの処理速度がアップした時にも保管庫とＡＧＶを増設すれば済むためでもある。
（３）ムラ検査装置２３から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫１１にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫１１からカセットがムラ検査装置２３のフィーダＦ_１（又はＦ_２）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、ムラ検査装置２３は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。ムラ検査装置２３にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットはムラ検査装置２３のデリバリＤよりＡＧＶで搬出され、一時保管庫１２に搬入されて一時保管される。ここでいうムラ検査装置２３は、カラーフィルタの細部を検査するもので、前記の画像検査装置２１で発見できない細かいムラ欠陥を検査する装置である。
（４）目視検査装置２４から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫１２にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫１２からカセットが目視検査装置２４のフィーダＦ_１（又はＦ_２）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、目視検査装置２４は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。目視検査装置２４にて各製品の検査を終了した後、品質情報管理装置へ検査結果を送信して品質情報の更新を行う。検査済みの製品を格納したカセットは目視検査装置２４のデリバリＤよりＡＧＶで搬出され、一時保管庫１３に搬入されて一時保管される。ここでいう目視検査装置２４は、前記画像検査装置２１、前記ムラ検査装置２３で発見できない全体的なイメージの欠陥を検査するもので、光源によりカラーフィルタの背面及び上面から光を照射して直接目視により検査する装置である。以上の各検査装置ではデリバリＤは１つであるが、搬送効率を向上させるために２つにしてもよい。
（５）仕分け装置２５から保管庫管理装置にカセットの搬入を要求する信号が送信される。これに基づいて当該管理装置は一時保管庫１３にカセット搬送の指示を出し、一時保管庫１３からカセットが仕分け装置２５のフィーダＦ_１（又はＦ_２）へ搬送される。カセットの搬入が終了した後、仕分け装置２５は品質情報管理装置へ品質情報の要求を行い、搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を入手する。仕分けを終了した後、品質別に出荷ケースに格納された製品は各デリバリＤ_１，Ｄ_２・・・Ｄ_ｎよりＡＧＶで搬出され、図示していない出荷待ちエリアにて出荷を待つ。併せて品質情報管理装置からの品質情報をもとに、出荷製品情報を作成して品質情報管理装置へ送信する。そして、フィーダＦ_１（又はＦ_２）の空カセットは洗浄装置に搬送され洗浄される。ここでいう仕分け装置２５は、多面付けのカラーフィルタ基板における各面の品質情報である総合判定にしたがって各カラーフィルタ基板をデリバリ（デリバリＮｏ）に仕分けする装置である。併せて前記出荷製品情報に基づき出荷先、品質情報等の情報をラベルにプリント出力し、出荷ケースを出荷待ちエリアへ搬出する時にこのラベルを出荷ケースに自動的に貼り付ける。なお、品名、宛先等のラベルを作成し貼る装置はラベラーとして市販品がある。
【００１４】
上記の各種検査装置（仕分け装置を含む）は基本的に次の動作を行う。
▲１▼製品を格納したカセットが検査装置のフィーダに有るか無いかを確認する。
▲２▼無ければカセットの搬入を要求し、続いて搬入されるカセット内のカラーフィルタ基板に関する品質情報を要求する。
▲３▼検査装置の処理動作を行う。
▲４▼検査を終了したカラーフィルタ基板の品質情報を更新する。
▲５▼前記カセットが空になったらフィーダを切り換える。
【００１５】
図２は各種検査装置（仕分け装置を含む）の動作フロー図であり、以下同図を参照して各ステップ毎に説明する。
【００１６】
（１）フィーダＦ_１（又はＦ_２）にカセットが有るか無いかを確認する。両方ともにカセットが有れば何れかのカセットが搬出されるまで待つ。
（２）カセットが無ければ、フィーダＦ_１（又はＦ_２）へのカセットの搬入要求を保管庫管理装置に送信する。
（３）フィーダＦ_１（又はＦ_２）におけるカセットの搬入完了を確認する。
（４）搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を品質情報管理装置に要求する。
（５）搬入されたカセット内の製品に関する品質情報を受信する。
（６）フィーダＦ_１（又はＦ_２）用のメモリに品質情報を記憶する。
（７）検査装置の処理動作に入る。
（８）カセットが空になったかどうかを確認する。
（９）フィーダを切り換える。（空カセットは排出される。）
（１０）品質情報の更新要求を製品情報管理装置へ送信する。
（１１）検査装置の番号を送信する。
（１２）更新するカセットの受注番号、カセット番号を送信する。
（１３）更新する品質情報を送信して（１）へ戻る。
なお、最終段階の仕分け装置には図の（Ａ）で示すステップはない。
【００１７】
図３は保管庫管理装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【００１８】
（１）製品予定表をもとに出庫順番のデータを入力する。手入力でもよいが、一般的には生産管理用のコンピュータから予定データを入手して、納期順に出庫順番を決める。そして、受注ナンバと対応させてカセット毎の各種データを記憶する。ここで図４に例示した製品予定表について説明する。データは出庫順番、受注ナンバ、カセットナンバ、保管アドレスより構成されている。ここで言うカセットナンバとは、カラーフィルタ基板の製品群を示し、カセットケースそのものの固有ナンバではない。つまり、製品群が各種検査装置において１カセットずつ移動し、カセットケースがフィーダとデリバリで異なっても格納される製品群が同じならばカセットナンバは同じとしている。さらに保管アドレスの上位に保管庫ナンバを配置し、中位にカセットが保管庫にあるのかフィーダにあるのかを示すフィーダナンバ（０又は１）を配置し、下位に保管庫内のロケーションを示すアドレスを配置する。ここでは、カセットナンバとカセットケースの固有ナンバを対応させる対応表を保管庫管理装置内に設けて、カラーフィルタ基板の製品群がカセットケースを変える毎にカセットケースの固有ナンバを変える。ただし、製品群は同じためカセットナンバは変わらない。
（２）画像検査装置２１からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（３）搬入要求があれば、製品保管庫１０に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、画像検査装置２１の空きフィーダに搬送する指示を製品保管庫に送信する。
（４）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、画像検査及び膜厚検査を終えた製品は、膜厚検査装置２２のデリバリに配置してあるカセットに格納され、このカセットがフィーダに配置してあるカセット内のカラーフィルタ基板をすべて格納したら、保管庫アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。ここで、格納してあるカセットは異なっても、カラーフィルタ基板はフィーダからデリバリへ１カセットずつ移動しているだけであるから、図４に示す製品予定表の保管アドレスは変わらない。
（５）ムラ検査装置２３からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（６）搬入要求があれば、一時保管庫１１に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、ムラ検査装置２３の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫１１に送信する。
（７）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、ムラ検査を終えた製品は、ムラ検査装置２３のデリバリに配置してあるカセットに格納され、このカセットがフィーダに配置してあるカセット内のカラーフィルタ基板をすべて格納したら、保管アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。
（８）目視検査装置２４からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（９）搬入要求があれば、一時保管庫１２に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、目視検査装置２４の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫１２に送信する。
（１０）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、目視検査を終えた製品は、目視検査装置２４のデリバリに配置してあるカセットに格納され、このカセットがフィーダに配置してあるカセット内のカラーフィルタ基板をすべて格納したら、保管アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。
（１１）仕分け装置２５からのカセット搬入要求が有るかどうかを確認する。
（１２）搬入要求があれば、一時保管庫１３に格納されているもののうち出庫順番の要求の高いカセットを、仕分け装置２５の空きフィーダに搬送する指示を一時保管庫１３に送信する。
（１３）当該カセットの保管アドレスの保管庫ナンバを次の保管庫ナンバに更新する。また、当該カセットの保管アドレスのフィーダナンバを０から１に更新する。そして、仕分けを終えた製品は、仕分け装置２５のデリバリに移動した後、カセットの保管アドレスのフィーダナンバを１から０に更新する。
【００１９】
図５は品質情報管理装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【００２０】
（１）品質情報の送信要求が有るかどうかを確認する。
（２）要求が有るならば、要求している検査装置の番号を確認する。
（３）搬入したカセットの受注番号、カセット番号を確認する。
（４）受注番号、カセット番号に基づいて、品質情報管理装置内の記憶メモリから品質情報を抽出して検査装置に送信する。
（５）品質情報の更新要求が有るかどうかを確認する。
（６）要求が有るならば、要求している検査装置の番号を確認する。
（７）更新するカセットの受注番号、カセット番号を確認する。
（８）更新するカセットの品質情報を受信する。
（９）受注番号、カセット番号に基づいて、品質情報管理装置内の記憶メモリの品質情報を更新する。
（１０）検査結果のＯＲ演算を行い総合判定結果を求める。
（１１）出荷製品情報の受信要求が有るかどうかを確認する。
（１２）要求が有るならば、出荷製品の受注番号、得意先番号、出荷ケース番号等を確認する。
（１３）出荷製品情報を受信する。
（１４）出荷製品情報を品質情報管理装置の該当製品のファイルに記憶する。
【００２１】
図６は品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報の一例を示す図である。この図を参照してデータ面から検査システムの概要を説明する。
【００２２】
営業担当者は製品の注文を受けると営業用の端末から、製品の受注番号、得意先番号、製品番号、納期等を入力する。これらのデータはホストコンピュータに記録・登録される。そして、ホストコンピュータから製造工程の生産管理コンピュータへデータが送信され製造予定表が作成される。この予定に合わせてカラーフィルタ基板が製造され、製造されたカラーフィルタ基板を格納したカセットが製品保管庫に搬送されて保管される。そして、本検査システムの品質情報管理装置内の記憶メモリに生産情報が入力される。
【００２３】
この品質情報管理装置内の記憶メモリには、カセット内に格納されているカラーフィルタ基板の基板番号と、基板内の面付けに従った面付け番号と、この面付け番号ごとに展開された検査結果等の各種データが記憶される。本実施例の場合、カラーフィルタ基板は４面付けであり、所定の面から１，２，３，４と面付け番号（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄでもよい）を付してある。また、カセットには２０枚のカラーフィルタ基板が格納されているので、１台のカセットの中には２０×４面があることになり、したがってデータは８０行となる。
【００２４】
面付け番号の後ろには、画像検査装置２１での検査結果の欄、膜厚検査装置２２での測定結果の欄、ムラ検査装置２３での検査結果の欄、目視検査装置２４での検査結果の欄が順に設けられている。さらにその後ろには、上記４つの検査結果をまとめた総合判定の欄が設けられている。総合判定の欄では４つのビットを設け、各ビットを４つの判定結果にそれぞれ対応させてある。つまり、画像検査結果はビット３、膜厚測定結果はビット２、ムラ検査結果はビット１、目視検査結果はビット０に対応させている。各判定結果において不良は１とし良品は０とする。そして、総合判定の欄に１つでも不良を示す１があれば仕分け部の欄を１とする。この仕分け部でのデータに従い、仕分け装置での基板の分配先をどのデリバリにするかを決定する。ここでは、面付け番号１はデリバリＮｏ．のビット０、面付け番号２はビット１、面付け番号３はビット２、面付け番号４はビット３に対応させている。つまり、仕分け部の欄のデータの並びがデリバリナンバ（デリバリＮｏ．）になる。
【００２５】
図７は検査システムにおける製品の仕分け装置の処理を示す動作フロー図であり、以下各ステップ毎に説明する。
【００２６】
（１）品質情報管理装置内の記憶メモリにおける基板内面付け番号別の総合判定結果を使用して基板内の面付け番号別の仕分け部情報を求める。すなわち、前記したように総合判定の欄の４つのビットに１つでも１があると仕分け部の欄を１とする。
（２）上記で求めた仕分け情報に基づいて基板別の仕分けをするために、仕分け装置の複数のデリバリの中より該当するデリバリナンバを求める。
（３）基板毎に求めたデリバリナンバのデリバリに基板を搬送して出荷ケースに格納する。
（４）このデリバリ用のカウンタを１増加する。
（５）このデリバリに対応する出荷情報の記憶メモリに基板の製品履歴を書き込む。
（６）カウンタが出荷ケースに収まる所定枚数の２０になったかどうかを確認する。
（７）所定枚数になったならば、出荷情報に基づき出荷先、製品名、品質情報のみをラベルにプリント出力し、このラベルを出荷ケースに貼る。
（８）出荷情報の受信要求を品質情報管理装置に送信する。
（９）受注番号、得意先番号、出荷ケース番号等の出荷情報を品質情報管理装置に送信する。
（１０）このデリバリ用のカウンタをクリアしてもとに戻る。
【００２７】
図８は品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた出荷情報を示す図である。以下にこの概要を説明する。
【００２８】
同図に示すように、出荷情報はカラーフィルタ基板の各種データを出荷ケース毎にまとめたファイルの形態で管理される。ファイルの上部には出荷先（得意先の住所又は得意先指定の場所）、出荷ケース番号、製品名、品質情報等が記録されている。中段から下段にかけては各基板の製品情報と製品履歴に関する詳細データが記録されている。基板毎の製品情報としては、受注番号、得意先番号、製品番号があり、製品履歴としては、製造及び検査時のカセット番号、その中での基板番号、そして面別判定結果、仕分け部がある。この面別判定結果には多面付けのカラーフィルタ基板におけるどの面が不良品であるかが示されている。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、次に記載の効果を奏する。
【００３０】
請求項１記載の検査システムにおいては、隣接する検査装置の間に必要に応じて一時保管庫を設けて製品を一時的に保管することにより、各検査装置で要する処理時間の差を無視でき、また途中の検査装置が故障した時でも故障機の前後では検査を別途進めることができることから、各種検査を一貫してスムースに行うことができる。また、板状製品の搬送に複数の製品を格納するカセットを用いることにより、途中での一時保管の際に製品を１つずつ扱わずに済むことから、一時保管を容易に行うことができる。また、検査ラインの最終段階に設ける仕分け装置にデリバリを４つ以上設けることにより、２面以上の多面付け製品の検査を一貫して行った後、各面の良否による製品の仕分けを行うことができるので、出荷作業が簡単になるという効果がある。
【００３２】
請求項２記載の検査システムでは、請求項１に記載の検査システムにおいて、製品を格納したカセットをセットするためのフィーダを検査装置に複数設けることにより、上記効果に加えて、カセットの交換時間の無駄を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査システムの一実施例を示す全体ブロック図である。
【図２】各種検査装置（仕向け装置を含む）の動作フロー図である。
【図３】保管庫管理装置の処理を示す動作フロー図である。
【図４】製品予定表の一例を示す図である。
【図５】品質情報管理装置の処理を示す動作フロー図である。
【図６】品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた品質情報の一例を示す図である。
【図７】検査システムにおける製品の仕分け装置の処理を示す動作フロー図である。
【図８】品質情報管理装置内の記憶メモリに書き込まれた出荷情報を示す図である。
【符号の説明】
１０製品保管庫
１１，１２，１３一時保管庫
２１画像検査装置
２２膜厚検査装置
２３ムラ検査装置
２４目視検査装置
２５仕分け装置
Ｆフィーダ
Ｄデリバリ[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to an inspection system that performs various inspection processes of a product in an integrated manner using an inspection line including a plurality of inspection devices, and more particularly to an inspection system that is suitably used for inspecting a color filter substrate.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, an inspection system disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 143759/1993 is known as an inspection system that performs various inspection processes of a product consistently. The system described in this publication inspects a magnetic card. After a magnetic card set in a card supply stocker is supplied to an inspection process transport mechanism by a feeder, the magnetic card is delivered to a delivery via a plurality of inspection devices and measurement devices. The card is transported, and inspection and measurement are repeated in the middle.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In the inspection system described in the related art, since the inspection processing time differs for each inspection device, it is impossible to simply connect them to form a consistent inspection line. That is, there is a problem that the inspection process does not flow smoothly when one inspection device is inspecting another product or when the inspection device is out of order. In addition, if the inspection apparatus is continuously installed on the production line, it is necessary to reduce the production speed in accordance with the inspection processing time, and there is a problem that sufficient productivity cannot be obtained.
[0004]
Further, in the above inspection system, a magnetic card is sucked and supplied one by one by a feeder from a rotary autochanger provided with six magazines, and when one magazine becomes empty, the next magazine is switched to the next magazine. Is configured. However, when a cassette for storing a large plate-shaped product such as a color filter substrate is used for the feeder section, it is necessary to replace the cassette after all the products are carried out of the cassette, and the cassette replacement time is wasted. Problem arises.
[0005]
Further, in the above-described inspection system, products are only classified into two types, that is, non-defective products and defective products after quality judgment. Therefore, the inspection system is multi-layered like a color filter substrate, and only some of the surfaces have defects. In such a case, it is inconvenient to apply the conventional delivery to a product in which a defective product is discarded and only a good product is used.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and has as its object to perform various inspection processes smoothly, and to inspect a multi-faced product such as a color filter substrate. It is an object of the present invention to provide a consistent inspection system that can be suitably used for a computer.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides an inspection system that performs various inspection processes of a multi-faced color filter substrate by one inspection line having a plurality of inspection devices, and stores a plurality of color filter substrates. to use the cassette, it is transported from the product vault cassettes to an inspection line provided in front of the inspection line, via the temporal storage provided temporary stocker cassette during inspection apparatus adjacent The cassette is loaded into the next inspection device, and signals are exchanged with each inspection device, and the cassette management device instructs the loading and unloading of the cassette, and the cassette is loaded and unloaded into the temporary storage. At the final stage of the inspection line, a sorting device with four or more deliveries is provided, and the color of the inspection target is A quality information management device that updates the quality information of the color filter substrate by exchanging various data for identifying the filter substrate and determining the quality thereof before and after the inspection is used, and a storage memory in the quality information management device. is characterized in that so as to sort the plurality of delivery of the sorter each color filter substrate in accordance with shipping product information created on the basis of written quality information.
[0008]
Then, one or more test devices even without low, good and I Unisuru Ru providing a plurality of feeders to set the cassette.
[0009]
[Action]
In the inspection system of the present invention having the above-described configuration, products are sequentially transported from the product storage to the inspection line to perform various inspections. When the inspection device is inspecting another product in one inspection device or when the inspection device is out of order, the conveyed product is stored in the temporary storage, and the inspection device is empty. At this stage, the wafer is transported from the temporary storage to the inspection device and inspected.
[0010]
By using a cassette for storing a plurality of products, it is not necessary to handle products one by one at the time of temporary storage in the middle. Further, by providing a plurality of feeders for setting the cassette in the inspection apparatus, it is possible to eliminate waste of time for replacing the cassette. Further, by providing four or more deliveries of the product sorting device, it is possible to sort the products based on the quality of each of the two or more surfaces.
[0011]
【Example】
Hereinafter, examples of the present invention will be described.
[0012]
FIG. 1 is an overall block diagram showing an embodiment of an inspection system according to the present invention. The product to be inspected in this embodiment is a color filter substrate with four impositions. For example, 20 color filter substrates are stored in a cassette and transported to each inspection device. The operation of each component will be described step by step with reference to this block diagram.
[0013]
(1) The image inspection apparatus 21 transmits a signal requesting the loading of the cassette to the storage management apparatus. Based on this, the management device issues an instruction to transport the cassette to the product storage 10, and the cassette is transported from the product storage 10 to the feeder F ₁ (or F ₂ ) of the image inspection device 21. After the loading of the cassette is completed, the image inspection device 21 requests the quality information to the quality information management device, and obtains the quality information on the product in the loaded cassette. After the inspection of each product is completed by the image inspection device 21, the inspection result is transmitted to the quality information management device to update the quality information. The image inspection apparatus 21 used here irradiates the color filter substrate with laser light or the like, detects the transmitted light or the reflected light with a CCD camera or the like, and detects the projections of the colored pattern on the substrate, adhesion of foreign matter, white spots, and the like. A defect can be detected.
(2) The cassette storing the products that have undergone the image inspection is carried out from the delivery D of the image inspection apparatus 21 by an AGV (automatic transport vehicle) and fed to the feeder F ₁ (or F ₂ ) of the color filter film thickness inspection apparatus 22. Conveyed. After the loading of the cassette is completed, the film thickness inspection device 22 requests quality information from the quality information management device, and obtains quality information on products in the loaded cassette. After finishing the film thickness inspection, the measurement result is transmitted to the quality information management device to update the quality information. The cassette storing the inspected products is carried out from the delivery D of the film thickness inspection device 22 by the AGV, carried into the temporary storage 11, and temporarily stored. Since the image inspection device 21 and the film thickness inspection device 22 have almost the same processing speed, no temporary storage is provided between them. Nevertheless, the reason why two feeders are provided is to make it possible to absorb a dead time in case of a slight stop. Another reason is that, in the event that either processing speed increases in the future, the storage and AGV need only be added.
(3) A signal requesting loading of a cassette is transmitted from the unevenness inspection device 23 to the storage management device. Based on this, the management device issues an instruction to transport the cassette to the temporary storage 11, and the cassette is transported from the temporary storage 11 to the feeder F ₁ (or F ₂ ) of the unevenness inspection device 23. After the loading of the cassette is completed, the unevenness inspection device 23 requests the quality information from the quality information management device, and obtains the quality information on the product in the loaded cassette. After the inspection of each product is completed by the unevenness inspection device 23, the inspection result is transmitted to the quality information management device to update the quality information. The cassette storing the inspected products is carried out by the AGV from the delivery D of the unevenness inspection device 23, carried into the temporary storage 12, and temporarily stored. The unevenness inspection device 23 here inspects the details of the color filters, and inspects fine unevenness defects that cannot be found by the image inspection device 21.
(4) The visual inspection device 24 sends a signal to the storage management device to request the cassette to be loaded. Based on this, the management device issues an instruction to transport the cassette to the temporary storage 12, and the cassette is transported from the temporary storage 12 to the feeder F ₁ (or F ₂ ) of the visual inspection device 24. After the loading of the cassette is completed, the visual inspection device 24 requests the quality information from the quality information management device, and obtains the quality information on the product in the loaded cassette. After the inspection of each product is completed by the visual inspection device 24, the inspection result is transmitted to the quality information management device to update the quality information. The cassette storing the inspected products is carried out by the AGV from the delivery D of the visual inspection device 24, carried into the temporary storage 13, and temporarily stored. The visual inspection device 24 here inspects an entire image defect that cannot be found by the image inspection device 21 and the unevenness inspection device 23. The visual inspection device 24 directly irradiates light from the rear surface and the upper surface of the color filter with a light source. This is a device for visual inspection. In each of the above inspection devices, the number of the delivery D is one, but two may be used in order to improve the transport efficiency.
(5) The sorting device 25 transmits a signal to the storage management device to request the cassette to be loaded. Based on this, the management device issues an instruction to transport the cassette to the temporary storage 13, and the cassette is transported from the temporary storage 13 to the feeder F ₁ (or F ₂ ) of the sorting device 25. After the loading of the cassette is completed, the sorting device 25 requests the quality information from the quality information management device, and obtains the quality information on the product in the loaded cassette. After completing the sorting, products that have been stored in the shipping case to another quality is carried out in the AGV from each delivery _{_{_{D 1, D 2 ··· D n}}} , waiting for the shipment by shipment waiting area (not shown). At the same time, based on the quality information from the quality information management device, shipping product information is created and transmitted to the quality information management device. Then, the empty cassette of the feeder F ₁ (or F ₂ ) is transported to the cleaning device and cleaned. The sorting device 25 is a device that sorts each color filter substrate into a delivery (delivery No) according to a comprehensive judgment that is quality information of each surface of the multi-colored color filter substrate. At the same time, information such as shipping destination and quality information is printed out on a label based on the shipping product information, and the label is automatically attached to the shipping case when the shipping case is carried out to the waiting area for shipping. In addition, there is a commercial product as a labeler for a device for creating and attaching a label such as a product name and a destination.
[0014]
The above various inspection devices (including the sorting device) basically perform the following operations.
{Circle around (1)} Check whether the cassette storing the product is in the feeder of the inspection apparatus.
If there is no (2), a request is made to carry in the cassette, and then quality information relating to the color filter substrate in the subsequently carried-in cassette is requested.
(3) Perform the processing operation of the inspection device.
{Circle around (4)} Update the quality information of the color filter substrate that has been inspected.
(5) When the cassette is empty, switch the feeder.
[0015]
FIG. 2 is an operation flowchart of various inspection apparatuses (including a sorting apparatus), and each step will be described below with reference to the same figure.
[0016]
(1) Check whether there is a cassette in the feeder F ₁ (or F ₂ ). If both cassettes are present, wait until one of the cassettes is unloaded.
(2) If there is no cassette, a request to load the cassette into the feeder F ₁ (or F ₂ ) is transmitted to the storage management device.
(3) Confirm that the loading of the cassette in the feeder F ₁ (or F ₂ ) is completed.
(4) Request quality information on the product in the loaded cassette from the quality information management device.
(5) Receive quality information on products in the loaded cassette.
(6) Store the quality information in the memory for the feeder F ₁ (or F ₂ ).
(7) The processing operation of the inspection device is started.
(8) Check whether the cassette is empty.
(9) Switch the feeder. (Empty cassette is ejected.)
(10) The quality information update request is transmitted to the product information management device.
(11) Transmit the number of the inspection device.
(12) Transmit the order number and cassette number of the cassette to be updated.
(13) The quality information to be updated is transmitted, and the process returns to (1).
It should be noted that the sorting device at the final stage does not have the step shown in FIG.
[0017]
FIG. 3 is an operation flowchart showing the processing of the storage management apparatus, and each step will be described below.
[0018]
(1) Input the order of delivery data based on the product schedule. Although manual input may be used, generally, schedule data is obtained from a computer for production management, and the delivery order is determined in order of delivery date. Then, various data for each cassette is stored in association with the order number. Here, the product schedule illustrated in FIG. 4 will be described. The data includes a delivery order, an order number, a cassette number, and a storage address. The cassette number here indicates a product group of the color filter substrate, and is not a unique number of the cassette case itself. In other words, the product group moves one cassette at a time in the various inspection devices, and the cassette number is the same if the stored product group is the same even if the cassette case differs between the feeder and the delivery. Further, a storage number is arranged at the upper position of the storage address, a feeder number (0 or 1) indicating whether the cassette is in the storage or the feeder is arranged at the middle position, and an address indicating the location in the storage is arranged at the lower position. Place. Here, a correspondence table for associating the cassette number with the unique number of the cassette case is provided in the storage management device, and the unique number of the cassette case is changed each time the product group of the color filter substrate changes the cassette case. However, since the product group is the same, the cassette number does not change.
(2) Check whether there is a cassette loading request from the image inspection device 21.
(3) If there is a carry-in request, an instruction to convey a cassette, which is requested to be taken out in a high order from among those stored in the product storage 10 to an empty feeder of the image inspection apparatus 21, is transmitted to the product storage.
(4) Update the storage number of the storage address of the cassette to the next storage number. Further, the feeder number of the storage address of the cassette is updated from 0 to 1. Then, the product having undergone the image inspection and the film thickness inspection is stored in a cassette arranged in the delivery of the film thickness inspection device 22, and when this cassette stores all the color filter substrates in the cassette arranged in the feeder. , The feeder number of the storage address is updated from 1 to 0. Here, even if the stored cassettes are different, the storage address of the product schedule shown in FIG. 4 does not change because the color filter substrate is only moved one cassette at a time from the feeder to the delivery.
(5) Check whether there is a cassette loading request from the unevenness inspection device 23.
(6) If there is a carry-in request, the temporary storage 11 is sent an instruction to transport the cassettes of which storage order is high among those stored in the temporary storage 11 to the empty feeder of the unevenness inspection device 23.
(7) Update the storage number of the storage address of the cassette to the next storage number. Further, the feeder number of the storage address of the cassette is updated from 0 to 1. Then, the product having undergone the unevenness inspection is stored in a cassette arranged in the delivery of the unevenness inspection device 23. When this cassette stores all the color filter substrates in the cassette arranged in the feeder, the storage address feeder Update the number from 1 to 0.
(8) Check whether there is a cassette loading request from the visual inspection device 24.
(9) If there is a carry-in request, the temporary storage 12 is instructed to transport the cassettes in the temporary storage 12 that have a higher order of delivery to the empty feeder of the visual inspection device 24 among those stored in the temporary storage 12.
(10) Update the storage number of the storage address of the cassette to the next storage number. Further, the feeder number of the storage address of the cassette is updated from 0 to 1. Then, the product having undergone the visual inspection is stored in a cassette disposed in the delivery of the visual inspection device 24. When the cassette stores all the color filter substrates in the cassette disposed in the feeder, the feeder of the storage address is stored. Update the number from 1 to 0.
(11) Check whether there is a cassette loading request from the sorting device 25.
(12) If there is a carry-in request, the temporary storage 13 is instructed to transport the cassettes in the temporary storage 13, which are requested to be delivered in a high order, to the empty feeder of the sorting device 25.
(13) Update the storage number of the storage address of the cassette to the next storage number. Further, the feeder number of the storage address of the cassette is updated from 0 to 1. Then, the sorted product is moved to the delivery of the sorting device 25, and then the feeder number of the storage address of the cassette is updated from 1 to 0.
[0019]
FIG. 5 is an operation flowchart showing the processing of the quality information management apparatus, and each step will be described below.
[0020]
(1) Check whether there is a transmission request for quality information.
(2) If there is a request, confirm the number of the requesting inspection device.
(3) Check the order number and cassette number of the loaded cassette.
(4) Based on the order number and the cassette number, the quality information is extracted from the storage memory in the quality information management device and transmitted to the inspection device.
(5) Check whether there is a quality information update request.
(6) If there is a request, confirm the number of the requesting inspection device.
(7) Check the order number and cassette number of the cassette to be updated.
(8) Receive the quality information of the cassette to be updated.
(9) Update the quality information in the storage memory in the quality information management device based on the order number and the cassette number.
(10) Perform an OR operation on the inspection results to obtain an overall judgment result.
(11) Check whether there is a request to receive shipping product information.
(12) If there is a request, confirm the order number, customer number, shipping case number, etc. of the shipped product.
(13) Receive shipping product information.
(14) Store the shipping product information in the file of the corresponding product in the quality information management device.
[0021]
FIG. 6 is a diagram showing an example of the quality information written in the storage memory in the quality information management device. The outline of the inspection system will be described from a data perspective with reference to FIG.
[0022]
When a sales person receives an order for a product, he or she inputs a product order number, a customer number, a product number, a delivery date, and the like from a sales terminal. These data are recorded and registered in the host computer. Then, data is transmitted from the host computer to the production management computer in the manufacturing process, and a manufacturing schedule is created. A color filter substrate is manufactured according to this schedule, and a cassette storing the manufactured color filter substrate is transported and stored in a product storage. Then, production information is input to a storage memory in the quality information management device of the inspection system.
[0023]
The storage memory in the quality information management device includes a substrate number of the color filter substrate stored in the cassette, an imposition number according to the imposition on the substrate, and an inspection developed for each imposition number. Various data such as results are stored. In the case of the present embodiment, the color filter substrate has four impositions, and imposition numbers (A, B, C, and D may be assigned) as 1, 2, 3, and 4 from predetermined surfaces. In addition, since 20 color filter substrates are stored in the cassette, one cassette has 20 × 4 planes, and thus the data has 80 rows.
[0024]
After the imposition number, a column of the inspection result by the image inspection device 21, a column of the measurement result by the film thickness inspection device 22, a column of the inspection result by the unevenness inspection device 23, and the inspection result by the visual inspection device 24 Are provided in order. Behind it, there is provided a column for comprehensive judgment that summarizes the above four inspection results. In the column of comprehensive judgment, four bits are provided, and each bit corresponds to each of the four judgment results. That is, the image inspection result corresponds to bit 3, the film thickness measurement result corresponds to bit 2, the unevenness inspection result corresponds to bit 1, and the visual inspection result corresponds to bit 0. In each of the judgment results, the defect is 1 and the non-defective product is 0. If there is at least one “1” indicating a defect in the column of the comprehensive judgment, the column of the sorting section is set to “1”. According to the data in the sorting unit, it is determined which delivery destination of the substrate is to be distributed in the sorting apparatus. Here, the imposition number 1 is the delivery number. Bit 0, imposition number 2 correspond to bit 1, imposition number 3 corresponds to bit 2, and imposition number 4 corresponds to bit 3. That is, the arrangement of the data in the column of the sorting unit is the delivery number (delivery number).
[0025]
FIG. 7 is an operation flowchart showing the processing of the product sorting apparatus in the inspection system, and each step will be described below.
[0026]
(1) Sorting unit information for each imposition number in the board is obtained using the comprehensive determination result for each imposition number in the board in the storage memory in the quality information management device. That is, as described above, if at least one of the four bits in the column of the overall judgment has a value of 1, the column of the sorting unit is set to 1.
(2) A corresponding delivery number is obtained from a plurality of deliveries of the sorting apparatus in order to perform sorting for each substrate based on the sorting information obtained above.
(3) The board is transported to the delivery of the delivery number obtained for each board and stored in the shipping case.
(4) This delivery counter is incremented by one.
(5) The product history of the board is written in the storage memory of shipping information corresponding to this delivery.
(6) Check whether the counter has reached the predetermined number of 20 that can fit in the shipping case.
(7) When the number reaches a predetermined number, only the shipping destination, product name, and quality information are printed out on a label based on the shipping information, and the label is attached to a shipping case.
(8) Send a shipping information reception request to the quality information management device.
(9) Send shipping information such as an order number, a customer number, and a shipping case number to the quality information management device.
(10) After clearing the delivery counter, the process returns to the beginning.
[0027]
FIG. 8 is a diagram showing shipping information written in a storage memory in the quality information management device. The outline will be described below.
[0028]
As shown in the figure, the shipping information is managed in the form of a file in which various data of the color filter substrate are collected for each shipping case. At the top of the file, the shipping destination (customer address or customer-designated place), shipping case number, product name, quality information, and the like are recorded. From the middle stage to the lower stage, detailed information on product information and product history of each board is recorded. The product information for each board includes an order number, a customer number, and a product number, and the product history includes a cassette number at the time of manufacture and inspection, a board number therein, a determination result for each surface, and a sorting unit. . The determination result for each surface indicates which surface of the multi-surface color filter substrate is defective.
[0029]
【The invention's effect】
Since the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.
[0030]
In the inspection system according to the first aspect, a temporary storage is provided between the adjacent inspection devices as necessary to temporarily store the products, so that a difference in processing time required in each inspection device can be ignored, Further, even when the inspection device in the middle breaks down, the inspection can be performed separately before and after the failed machine, so that various inspections can be performed consistently and smoothly. In addition, by using a cassette for storing a plurality of products for transporting the plate-like products, the products need not be handled one by one at the time of temporary storage in the middle, so that the temporary storage can be easily performed. In addition, by providing four or more deliveries to the sorting device provided at the final stage of the inspection line, it is possible to consistently inspect multi-imposition products on two or more surfaces and then sort products based on the quality of each surface. Since it can be performed, there is an effect that shipping work is simplified.
[0032]
In the inspection system according to the second aspect, in the inspection system according to the first aspect, by providing a plurality of feeders for setting a cassette in which a product is stored in the inspection apparatus, in addition to the above-described effect, the time required for replacing the cassette is reduced. Waste can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall block diagram showing an embodiment of an inspection system according to the present invention.
FIG. 2 is an operation flowchart of various inspection apparatuses (including a destination apparatus).
FIG. 3 is an operation flowchart showing a process of the storage management device.
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a product schedule;
FIG. 5 is an operation flowchart showing a process of the quality information management device.
FIG. 6 is a diagram showing an example of quality information written in a storage memory in the quality information management device.
FIG. 7 is an operation flowchart showing processing of a product sorting device in the inspection system.
FIG. 8 is a diagram showing shipping information written in a storage memory in the quality information management device.
[Explanation of symbols]
10 Product Storage 11, 12, 13 Temporary Storage 21 Image Inspection Device 22 Film Inspection Device 23 Unevenness Inspection Device 24 Visual Inspection Device 25 Sorting Device F Feeder D Delivery

Claims

In an inspection system that performs various inspection processes of a multi-faced color filter substrate by one inspection line including a plurality of inspection devices, a cassette that stores a plurality of color filter substrates is used . A cassette is loaded into the inspection line from the product storage provided before, and a temporary storage of cassettes is provided between adjacent inspection devices so that the cassette is loaded into the next inspection device via the temporary storage. A storage management device that exchanges signals with each inspection device and instructs loading and unloading of cassettes is performed, so that loading and unloading of cassettes to and from temporary storage is performed, and at the final stage of the inspection line. Has a sorting device with four or more deliveries, identifies the color filter substrate to be inspected with each inspection device, and judges the quality. The quality information management device updates the quality information of the color filter substrate by exchanging various data before and after the inspection to check the quality information written in the storage memory in the quality information management device. An inspection system, wherein each color filter substrate is sorted into a plurality of deliveries of a sorting device according to the shipping product information created in (1) .

At least one or more of the inspection apparatus, the inspection system according to claim 1, characterized in that a plurality of feeders to set the cassette.