JP3591817B2

JP3591817B2 - Manufacturing method of wiring board

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Publication number: JP3591817B2
Application number: JP17159499A
Authority: JP
Inventors: 啓介時任
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1999-06-17
Filing date: 1999-06-17
Publication date: 2004-11-24
Anticipated expiration: 2019-06-17
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子や容量素子、抵抗器等の電子部品が搭載される配線基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体素子や容量素子、抵抗器等の電子部品が搭載される配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体から成る絶縁基体の内部及び表面にタングステン、モリブデン等の高融点金属材料から成る配線導体層、スルーホール導体層、電源導体層および接地導体層を形成した構造を有しており、絶縁基体表面に半導体素子や容量素子、抵抗器等の電子部品が搭載されるとともに各電子部品の電極が配線導体層等に電気的に接続させるようになっている。
【０００３】
かかる配線基板は、一般に、セラミックスの積層技術及びスクリーン印刷等の厚膜形成技術を採用することによって製作されており、具体的には以下の方法によって製作される。
【０００４】
即ち、
（１）まず、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化珪素（ＳｉＯ_２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化カルシウム（ＣａＯ）等から成るセラミックス原料粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿物を作り、次にこれを従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等によりシート状に形成して複数枚のセラミックグリーンシート（セラミック生シート）を得る。そして各セラミックグリーンシートの上面側から下面側にかけて金属製の打ち抜きピンを押圧し、各セラミックグリーンシートの所定位置に厚み方向に貫通するスルーホールを形成する。
【０００５】
（２）次に、前記セラミックグリーンシートのの表面及びスルーホール内に、タングステンやモリブデン粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して得た導電ペーストをスクリーン印刷法により所定パターンに印刷塗布する。
【０００６】
（３）そして最後に前記導電ペーストを印刷塗布した各セラミックグリーンシートを上下に積層するとともに還元雰囲気中、約１６００℃の温度で焼成し、有機溶剤、溶媒を気化除去するとともに、セラミックグリーンシートと導電ペーストとを焼結一体化することによって絶縁基体の内部及び表面に所定パターンの配線導体層を有する配線基板が完成する。
【０００７】
しかしながら、この従来の配線基板においては、スルーホール導体層を形成するためのスルーホールがセラミックグリーンシートの上面側から下面側にかけて金属製の打ち抜きピンを押圧することによって形成されており、該打ち抜きピンは機械的強度の関係から直径を８０μｍ未満とすることができず、その結果、打ち抜きピンを用いて形成されるスルーホール及び該スルーホール内に形成されるスルーホール導体層は直径が８０μｍ以上となり、スルーホール導体層を高密度に形成することができないという欠点を有していた。
【０００８】
そこで上記欠点を解消するためにセラミックグリーンシートを感光性とし、所定領域に光を照射して光硬化させるとともに非硬化領域を現像により除去する、いわゆるフォトリソグラフィー技術を採用することによって直径が約６０μｍ程度の微細なスルーホールを形成することが提案されている（特開平６−３０５８１４号公報参照）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、感光性のセラミックグリーンシートを用いて配線基板を製造した場合、光硬化後のセラミックシートは内部および表面に網目状の構造を有する有機樹脂が存在し、該網目状の有機樹脂はその構造上変形し難いものであるため光硬化後のセラミックシートも変形し難いものとなっている。そのため上面に配線導体層となる導電ペーストが印刷塗布されている光硬化後のセラミックシートを上下に積層したとき、上下の光硬化セラミックシート間に配線導体層となる導電ペーストの厚みに起因して隙間が形成され、この隙間によって得られる絶縁基体に剥離やフクレ等が発生するとともに該剥離等によって配線導体層等に断線が生じるという欠点を有していた。
【００１０】
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的はスルーホール導体層を高密度に形成することができるとともに、絶縁基体に剥離やフクレ等が発生するのを有効に防止し、配線導体層等の導通を確実とした配線基板の製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の配線基板の製造方法は、
（１）感光性樹脂組成物にセラミック粉末を分散させた複数枚の感光性セラミックグリーンシートと、金属粉末に有機溶剤を添加した導電ペーストを作製する工程と、
（２）前記感光性セラミックグリーンシートの所定領域に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに現像して、厚み方向に貫通するスルーホールを有する複数枚の光硬化セラミックシートと、所定パターンの貫通穴を有する複数枚の補助光硬化セラミックシートとを形成する工程と、
（３）前記光硬化セラミックシートの下面に、前記補助光硬化セラミックシートを貼りつけ下面に所定パターンの溝部を形成する積層光硬化セラミックシートを形成する工程と、
（４）前記導電ペーストを用いて、前記積層光硬化セラミックシートの上面及びスルーホール内に所定パターンの配線用導体層及びスルーホール用導体層を形成する工程と、
（５）前記複数枚の積層光硬化セラミックシートを、下部に位置する積層光硬化セラミックシートの上面に形成した配線用導体層と上部に位置する積層光硬化セラミックシートの下面に形成した溝部とが嵌合するように重ねるとともに焼成し、セラミックから成る絶縁基体の内部及び表面に配線導体層及びスルーホール導体層を形成する工程とから成ることを特徴とするものである。
【００１２】
また本発明の配線基板の製造方法は、
（１）感光性樹脂組成物にセラミック粉末を分散させた複数枚の感光性セラミックグリーンシートと、金属粉末に有機溶剤を添加した導電ペーストを作製する工程と、
（２）前記感光性セラミックグリーンシートの所定領域に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに現像して厚み方向に貫通するスルーホールを有する複数枚の光硬化セラミックシートを形成する工程と、
（３）前記光硬化セラミックシートの下面に所定パターンのメタルマスクを押圧することにより所定パターンの溝部を形成する工程と、
（４）前記導電ペーストを用いて、前記光硬化セラミックシートの上面及びスルーホール内に所定パターンの配線用導体層及びスルーホール用導体層を形成する工程と、
（５）前記複数枚の光硬化セラミックシートを、下部に位置する光硬化セラミックシートの上面に形成した配線用導体層と上部に位置する光硬化セラミックシートの下面に形成した溝部とが嵌合するように重ねるとともに焼成し、セラミックから成る絶縁基体の内部及び表面に配線導体層及びスルーホール導体層を形成する工程とから成ることを特徴とするものである。
【００１３】
また本発明の配線基板の製造方法は、
（１）感光性樹脂組成物にセラミック粉末を分散させた複数枚の感光性セラミックグリーンシートと、金属粉末に有機溶剤を添加した導電ペーストを作製する工程と、
（２）前記感光性セラミックグリーンシートの所定領域に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに現像して、厚み方向に貫通するスルーホールを有する複数枚の光硬化セラミックシートを形成する工程と、
（３）前記光硬化セラミックシートの下面にレーザー加工により所定パターンの溝部を形成する工程と、
（４）前記導電ペーストを用いて、前記光硬化セラミックシートの上面及びスルーホール内に所定パターンの配線用導体層及びスルーホール用導体層を形成する工程と、
（５）前記複数枚の光硬化セラミックシートを、下部に位置する光硬化セラミックシートの上面に形成した配線用導体層と上部に位置する光硬化セラミックシートの下面に形成した溝部とが嵌合するように重ねるとともに焼成し、セラミックから成る絶縁基体の内部及び表面に配線導体層及びスルーホール導体層を形成する工程とから成ることを特徴とするものである。
【００１４】
また本発明の配線基板の製造方法は、
（１）感光性樹脂組成物にセラミック粉末を分散させた複数枚の感光性セラミックグリーンシートと、有機樹脂組成物にセラミック粉末を分散させたセラミックペーストと、金属粉末に有機溶剤を添加した導電ペーストとを作製する工程と、
（２）前記感光性セラミックグリーンシートの所定領域に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに現像して、厚み方向に貫通するスルーホールを有する複数枚の光硬化セラミックシートを形成する工程と、
（３）前記光硬化セラミックシートの下面に感光性レジストフィルムを載置させ、かつ所定位置に光を照射し所定領域を光硬化させるとともに非硬化領域を現像により除去して所定パターンの貫通穴を有するレジスト膜を形成する工程と、
（４）前記レジスト膜の貫通穴内に前記セラミックペーストを充填し、しかる後、レジスト膜を除去することにより、前記光硬化セラミックシートの下面に所定パターンの溝部を形成する工程と、
（５）前記導電ペーストを用いて、前記光硬化セラミックシートの上面及びスルーホール内に所定パターンの配線用導体層及びスルーホール用導体層を形成する工程と、
（６）前記複数枚の光硬化セラミックシートを、下部に位置する光硬化セラミックシートの上面に形成した配線用導体層と上部に位置する光硬化セラミックシートの下面に形成した溝部とが嵌合するように重ねるとともに焼成し、セラミックから成る絶縁基体の内部及び表面に配線導体層及びスルーホール導体層を形成する工程とから成ることを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の配線基板の製造方法によれば、絶縁基体を形成するためのセラミックグリーンシートを感光性樹脂組成物にセラミック粉末を添加分散させて感光性となしたことからセラミックグリーンシートの所定位置に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに未硬化の領域の感光性樹脂組成物を現像により除去することによってスルーホールを極めて簡単に、かつ直径が６０μｍ以下の小さな径に形成することができ、これによってスルーホール内に形成されるスルーホール導体層もその直径を６０μｍ以下の小さいものとしてスルーホール導体層を高密度に形成することが可能となる。
【００１６】
また、本発明の配線基板の製造方法によれば、上下に重ねられる光硬化セラミックシートのうち、下部側に配される光硬化セラミックシートの上面に配線用導体層を、上部側に配される光硬化セラミックシートの下面に溝部を各々形成したことから上下に重ね合わせる時、下部側に配される光硬化セラミックシート上面の配線導体層が、上部側に配される光硬化セラミックシート下面の溝部に嵌合して上下の光硬化セラミックシートが密着し、その結果、上下の光硬化セラミックシート間に配線導体層となる導電ペーストの厚みに起因して隙間が形成されることはなく、得られる絶縁基体も剥離やフクレ等の発生が有効に防止され、配線導体層等の導通を確実となすことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に本発明の配線基板の製造方法を図１（ａ）乃至（ｇ）に示す実施例に基づいて説明する。
【００１８】
まず図１（ａ）に示す如く、感光性セラミックグリーンシート１を複数枚形成する。
前記感光性セラミックグリーンシート１はセラミック粉末に、光反応性化合物、光重合開始剤、光重合促進剤から成る感光性樹脂組成物および必要に応じて有機バインダー、紫外線吸収剤、熱重合禁止剤、非感光性ポリマー等を混合して感光性泥漿物を作り、前記感光性泥漿物をドクターブレード法やカレンダーロール法等によりシート状に成形することによって形成される。
【００１９】
前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられるセラミック粉末としてはガラスセラミックス粉末、酸化アルミニウム粉末、ムライト粉末、窒化アルミニウム粉末、結晶化ガラス粉末等が使用され、例えば、ガラスセラミックス粉末が使用される場合には、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）１０．８重量％、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）２８．０重量％、酸化珪素（ＳｉＯ_２）４３．８重量％、酸化亜鉛（ＺｎＯ）７．１重量％、残部がホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）から成るガラス成分８０重量％に対し、酸化珪素（ＳｉＯ_２）粉末を２０重量％としたものが好適に使用される。
【００２０】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる光反応性化合物は光反応性の炭素−炭素不飽和結合を有するアクリル系またはメタクリル系のモノマーもしくはオリゴマーであり、光硬化して感光性セラミックグリーンシート１を後述する現像液に不溶となすことにより、フォトリソグラフィー法によるスルーホール形成を可能とする作用を有し、例えば、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、２−（２−エトキシエトキシ）エチルアクリレート、ステアリルアクリレート、テトラヒドラフルフリルアクリレート、ラウリルアクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソオクチルアクリレート、トリデシルアクリレート、カプロラクトンアクリレート、エトキシ化ノニルフェニールアクリレート、ジンクジアクリレート、１，３ブタンジオールジアクリレート、１．４ブタンジオールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート、プロピシ化ネオペンチルグリコールアクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリストールトリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロキシ化グリセリルトリアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリストールヒドロキシペンタアクリレート、エトキシ化ペンタエリストールテトラアクリレート、ペンタアクリレートエステル及び上記のアクリレートをメタクリレートに置き換えたものがあり、これらの１種または２種以上を混合したものを用いることができる。
【００２１】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる光重合開始剤は紫外線等の光エネルギーによりラジカルを生じ、このラジカルにより光反応性化合物に光硬化の反応を開始させる作用を有し、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，４−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、４，４ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２ジメトキシ−２−フェニル−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジル、ベンジルジメチルケタノール、ベンジル−メトキシエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンゾアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、４−アジドベンザルアセトフェノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサノン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、Ｎ−フェニルチオアクリドン、４，４−アゾビスイソビチロニトリル、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ベンジル−２ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１，２−４ジエチルチオキサントン、２，２ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ジフェニルジスルフィド、ベンゾチアゾールジスルフィド、トリフェニルホルフィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイン、及び、エオシン、メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられ、上記化合物中の１種または２種以上を用いることができる。
【００２２】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる光重合促進剤は光反応性化合物の光硬化の反応を促進する作用をなし、例えば４−ジメチルアミノイソアミルベンゾエート、４−ジメチルアミノエチルベンゾエートなどがあり、これらの１種または２種以上を用いることができる。
【００２３】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる有機バインダーは、セラミック粉末と結合してこれを有機溶剤中に分散させる作用をなし、イソブチルメタクリレート（ｉ−ＢＭＡ）とアクリル酸またはメタクリル酸との共重合体を用いることができる。
【００２４】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる紫外線吸収剤は、光硬化の反応を起こすために照射された紫外線が感光性セラミックグリーンシート１の内部でセラミック粉末により散乱されて不要な部分まで光硬化をさせてしまい、例えばスルーホールの形成精度を劣化させてしまうということを防ぐ作用をなし、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、ビンダードアミン系の化合物の１種または２種以上を用いることができる。
【００２５】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる熱重合禁止剤はフリーラジカルを吸収する性質があり、感光性セラミックグリーンシート１に環境中から加わる弱い熱エネルギーにより感光性樹脂組成物の一部から小量のフリーラジカルを生じ、このフリーラジカルにより光反応性化合物が部分的に重合して現像液に溶解し難くなってフォトリソグラフィー法によるスルーホールの形成が困難になるのを防止する作用をなし、例えば、キノン、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、ニトロソアルミニウム塩、ハイドロキノンモノメチルエーテル、２，６−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、２，３−ジメチル−６−ｔ−ブチルフェノールが挙げられ、これらの１種または２種以上を用いることができる。
【００２６】
また前記感光性セラミックグリーンシート１を形成する際に用いられる非感光性ポリマーは、光反応性化合物の作用を補完してセラミック粉末をシート状に成形することを補助する作用をなし、アクリル酸エステル共重合体、メタクリル酸エステル共重合体、アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等の樹脂にカルボン酸を置換した樹脂を置換した樹脂が挙げられ、例えば、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ｔ−ブチル、メタクリル酸２エチルヘキシル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸イソボニル、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、メタクリル酸アリル、メタクリル酸２ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシプロピル、メタクリル酸２−メトキシエチル、メタクリル酸２−エトキシエチル、ジメタクリル酸エチレングリコール、ジメタクリル酸トリエチレングリコール、ジメタクリル酸１，３ブチレングリコール、ジメタクリル酸１，６ヘキサンジオール、ジメタクリル酸ポリプロピレングリコール、トリメタクリル酸トリメチロールプロパン、コハク酸２−メタクリロイルオキシエチル、マレイン酸２−メタクリロイルオキシエチル、フタル酸２−メタクリロイルオキシエチル、ヘキサヒドロフタル酸２−メタクリロイルオキシエチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸トリフルオロエチル、メタクリル酸ヘプタデカフルオデシル及びこれらの有機酸をアクリル酸で置き換えたものの共重合体が挙げられ、置換するカルボン酸としてはアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酸およびこれらの酸無水物が使用される。
【００２７】
次に前記感光性セラミックグリーンシート１の上面に図１（ｂ）に示す如く、フォトマスクパターン２を被着形成する。
【００２８】
前記フォトマスクパターン２は微細加工が可能なフォトリソグラフィー技術を採用することによって感光性セラミックグリーンシート１の上面に形成され、その形状は形成しようとするスルーホールの形状に対応したものとなっている。
【００２９】
次に前記上面にフォトマスクパターン２が被着されている感光性セラミックグリーンシート１に対し、フォトマスクパターン２側から、例えば、約３００ｍｊ／ｃｍ^２の強度の紫外線を照射し、フォトマスクパターン２の存在しない部分に紫外線を照射させ、紫外線が照射された領域の感光性樹脂組成物に光重合を起こさせて光硬化させるとともにフォトマスクパターン２で覆われた紫外線の照射されていない領域、即ち、未硬化の領域を現像により除去することによって図１（ｃ）に示す如く、所定位置にスルーホール３が形成された光硬化セラミックシート１ａを得る。
【００３０】
前記感光性セラミックグリーンシート１に紫外線等の光を照射してスルーホール３を有する光硬化セラミックシート１ａを形成した場合、フォトマスクパターン２が微細加工の可能なフォトリソグラフィー技術を採用することによって形成されているためスルーホール３の径は６０μｍ以下の小さな径とすることができ、同時にスルーホール３の形成がフォトマスクパターンを介して紫外線等の光を照射し、未硬化の領域を現像で除去するという極めて簡単な作業で行うことができる。
【００３１】
なお、前記スルーホール３を形成するための未硬化の感光性樹脂組成物を除去する現像液としては、例えば、トリエタノールアミン等の有機アルカリの溶液が使用され、該トリエタノールアミン等の有機アルカリから成る溶液は未硬化の感光性セラミックグリーンシート１中の有機バインダーの有するカルボキシル基から水素イオンを奪い、このカルボキシル基をイオン化することによって水溶性となし、現像液または洗浄水中に溶解させる。
【００３２】
また前記スルーホール３を有する光硬化セラミックシート１ａを形成する場合、感光性セラミックグリーンシート１に含有されているセラミック粉末の平均粒径を約２μｍ（マイクロトラック法でＤ５０）としておくと、紫外線の透過が良好で光硬化を均一に行わせることができる。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１のセラミック粉末はその平均粒径を約２μｍとしておくことが好ましい。
【００３３】
また前記感光性セラミックグリーンシート１に含有されている光反応性化合物は、その添加量をセラミック粉末１００重量部に対して５〜１２重量部としておくとスルーホール３を感光性セラミックグリーンシート１の厚み方向に均一に形成することが容易となる。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１に含有されている光反応性化合物はその添加量をセラミック粉末１００重量部に対して５〜１２重量部としておくことが好ましい。
【００３４】
また前記感光性セラミックグリーンシート１に含有されている光重合開始剤は、その添加量をセラミック粉末１００重量部に対して０．５〜５重量部としておくと光硬化の反応を感光性セラミックグリーンシート１中で均一に開始させることができる。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１に含有されている光重合開始剤はその添加量をセラミック粉末１００重量部に対して０．５〜５重量部としておくことが好ましい。
【００３５】
また前記感光性セラミックグリーンシート１に含有されている光重合促進剤は、その添加量をセラミック粉末１００重量部に対して２〜５重量部としておくと感光性セラミックグリーンシート１中で均一に光硬化の反応を促進させることができる。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１に含有されている光重合促進剤はその添加量をセラミック粉末１００重量部に対して２〜５重量部としておくことが好ましい。
【００３６】
また前記感光性セラミックグリーンシート１に含有される有機バインダーは、その添加量をセラミック粉末１００重量部に対して１０〜２５重量部としておくと、セラミック粉末を有機溶剤中に均一に分散させることが容易であり、また後の焼成の際に容易に分解してセラミックから成る絶縁基体中に残留することがない。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１に含有される有機バインダーはその添加量をセラミック粉末１００重量部に対して１０〜２５重量部としておくことが好ましい。
【００３７】
また前記感光性セラミックグリーンシート１に含有される紫外線吸収剤は、その添加量をセラミック粉末１００重量部に対して０．０１〜２重量部としておくと紫外線を過度に吸収することなく効果的に吸収し、不要な部分の光硬化を抑えることができる。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１に含有される紫外線吸収剤はその添加量をセラミック粉末１００重量部に対して０．０１〜２重量部としておくことが好ましい。
【００３８】
また前記感光性セラミックグリーンシート１に含有される熱重合禁止剤はセラミック粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の範囲としておくと熱エネルギーにより生じた小量のフリーラジカルを効果的に吸収することができるとともに、光硬化の反応を妨げることがなく、スルーホール３を任意の箇所に精度良く形成することができる。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１に含有される熱重合禁止剤はその添加量をセラミック粉末１００重量部に対して０．１〜５重量部の範囲としておくことが好ましい。
【００３９】
また前記感光性セラミックグリーンシート１は、その厚みが１０μｍ未満の場合、機械的強度が弱く、容易に破断して、取扱いが困難となり、また６０μｍを超えると、光硬化のために照射される紫外線等の光が感光性セラミックグリーンシート１の下面側に到達し難くなってスルーホール３の形成の解像度が低下する恐れがある。従って、前記感光性セラミックグリーンシート１は、その厚みを１０〜６０μｍの範囲としておくことが好ましい。
【００４０】
次に、図１（ｄ）に示す如く、所定パターンの貫通穴４ａを有する補助光硬化セラミックシート１ｂを形成する。
【００４１】
前記補助光硬化セラミックシート１ｂは、上述の光硬化セラミックシート１ａと同様に、まず、感光性セラミックグリーンシートの上面にフォトマスクパターンを、形成しようとする貫通穴のパターンを有するメタルマスク等のマスク材を用いたフォトリソグラフィー技術により被着形成し、次に前記上面にフォトマスクパターンが被着されている感光性セラミックグリーンシートに対し、フォトマスクパターン２側から、例えば、約３００ｍｊ／ｃｍ^２の強度の紫外線を照射し、フォトマスクパターン２の存在しない部分に紫外線を照射させ、紫外線が照射された領域の感光性樹脂組成物に光重合を起こさせて光硬化させるとともにフォトマスクパターン２で覆われた紫外線の照射されていない領域、即ち、未硬化の領域を現像により除去することによって、所定パターンに形成される。
【００４２】
前記補助光硬化セラミックシート１ｂは光硬化セラミックシート１の下面に溝部を形成するための部材として作用し、その厚みは、形成しようとする溝部の深さとほぼ同じとされている。
【００４３】
次に、前記補助光硬化セラミックシート１ｂを光硬化セラミックシート１ａの下面に熱圧着等の方法で貼りつけることにより、図１（ｅ）に示す如く、下面に所定の深さ及びパターンの溝部４を有する積層光硬化セラミックシート１ｃを形成する。
【００４４】
前記溝部４は、後述する積層光硬化セラミックシート１ｃを上下に重ね合わせる際、下部に位置する積層光硬化セラミックシート１ｃの上面に形成される配線用導体層を嵌合収容する作用をなし、そのパターンの形状、深さは下部に位置する積層光硬化セラミックシート１ｃの上面に形成される配線用導体層と同じになっている。
【００４５】
そして次に図１（ｆ）に示す如く、前記スルーホール３を有する積層光硬化セラミックシート１ｃの上面およびスルーホール３内に導電ペーストを被着充填し、所定厚みの配線用導体層５及びスルーホール用導体層６を形成する。
【００４６】
前記導電ペーストは、金、銀、白金、パラジウム、銅、ニッケル、モリブデン、タングステンまたはこれらの合金、あるいはこれらを主成分とする合金等から成る平均粒径が５μｍ以下の金属粉末に、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）等のエステル系、αテルピネオール等のアルコール系、トルエン等の芳香族系等の有機溶剤、溶媒を添加し混練することによって作製される。
【００４７】
また、前記配線用導体層５及びスルーホール用導体層６は、まず積層光硬化セラミックシート１ｃの上面に感光性レジストフィルムを被着させ、次に、この感光性レジストフィルムの所定位置にメタルマスク等を介して光を照射し、所定領域を光硬化させるとともに非硬化領域を現像により除去して所定パターンの貫通穴を有するレジスト膜を形成し、最後に前記レジスト膜の貫通穴内に導電ペーストを充填し、レジスト膜を除去することにより、積層光硬化セラミックシート１ｃの上面およびスルーホール３内に所定パターンに形成される。
【００４８】
この場合、メタルマスク等を上述の溝部４を形成する際に用いたメタルマスクと同じものを使用するようにしおくと、溝部４と同じパターンの貫通穴を有するレジスト膜が形成されるため、溝部４と同じパターンに配線用導体層５を容易に形成することができる。
【００４９】
なお、前記溝部４は、上述の補助光硬化セラミックシート１ｂを光硬化セラミックシート１ａの下面に貼りつける方法に替えて、図２に示す如く、形成しようとする溝部４のパターンを有するメタルマスク７を準備するとともに、このメタルマスク７を光硬化セラミックシート１ａの下面に位置合わせして押圧することによっても形成することができる。
【００５０】
この場合、光硬化セラミックシート１ａの上面に感光性レジストフィルムを被着させるとともに、この感光性レジストフィルムに前記メタルマスク７を介して光を照射することにより溝部４と同じパターンの貫通穴を形成することができることから、この貫通穴に導電ペーストを印刷充填することにより溝部４に対応した所定パターンの配線用導体層５およびスルーホール用導体層６を容易に形成することができる。
【００５１】
また、前記溝部４は、図３に示す如く、光硬化セラミックシート１ａの下面にＹＡＧ（イットリウムアルミニウムガーネット）レーザやＡｒ（アルゴン）イオンレーザ等のレーザ光を、例えば約４Ｗのレーザパワーで所定の走査パターンに照射してエッチングする、レーザ加工法によっても形成することができる。
【００５２】
さらにまた前記溝部４は、図４に示す如く、光硬化セラミックシート１ａの下面にレジスト膜８を所定パターンに被着させておくとともにレジスト膜８が被着されていない領域にセラミックペースト９をスクリーン印刷法等により被着させ、レジスト膜を除去することによっても形成することができる。
【００５３】
前記セラミックペースト９は、溝部４を形成する壁部材として作用し、例えば、感光性セラミックグリーンシート１ａの形成に用いたのと同様のセラミック粉末に、ポリアクリル酸エステル等のアクリル系またはポリビニルブチラール（ＰＶＢ）等のポリマーバインダーと、アセトン、トルエン等の有機溶剤とを主成分とし、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）等の可塑剤等を必要に応じて添加してなる有機樹脂組成物を添加、混練してペースト状となすことにより作製される。
【００５４】
また、前記レジスト膜８は、例えば、まず、光硬化セラミックシート１ａの下面に感光性レジストフィルムを被着させ、次に、この感光性レジストフィルムの所定位置にメタルマスク等を介して光を照射し、所定領域を光硬化させるとともに非硬化領域を現像により除去することにより、光硬化セラミックシート１ａの下面に所定パターンに形成することができる。
【００５５】
この場合も、光硬化セラミックシート１ａの上面に感光性レジストフィルムを被着させるとともに前記レジスト膜８の形成に用いたメタルマスク８を介して光を照射することにより、溝部４と同じパターンの貫通穴を形成することができることから、溝部４に対応した所定パターンの配線用導体層５およびスルーホール用導体層６を容易に形成することができる。
【００５６】
そして最後に、前記配線用導体層５、スルーホール用導体層６、及び溝部４を有する複数枚の積層光硬化セラミックシート１ｃを、上部に位置する積層光硬化セラミックシート１ｃの溝部４と、下部に位置する積層光硬化セラミックシート１ｃの配線用導体層５とが嵌合するようにして重ねるとともに焼成し、セラミック粉末および金属粉末を一体焼結させることにより、図１（ｇ）に示す如くセラミックから成る絶縁基体１ｄの内部及び表面に配線導体層５ａ及びスルーホール導体層６ａを有する製品としての配線基板が完成する。
【００５７】
この場合、下部に位置する積層光硬化セラミックシート１ｃの上面に形成された配線用導体層５が、上部に位置する積層光硬化セラミックシート１ｃの下面に形成された溝部４内に嵌合、収容されてしまうことから、配線用導体層５と溝部４の内壁面とを密着させるとともに上下の積層光硬化セラミックシート１ｃ同士を密着させることができ、重ねられた上下の積層光硬化セラミックシート１ｃ間に隙間が生じることはなく、同時に得られる絶縁基体１ｄも剥離やフクレ等の発生が有効に防止されて隣接する配線導体層５ａ間及び配線導体層５ａとスルーホール導体層６ａとの間の導通を確実となすことができる。
【００５８】
かくして得られた配線基板は、絶縁基体１ｄの上面に半導体素子や容量素子、抵抗器等の電子部品が搭載されるとともに各電子部品の電極が配線導体層５ａ等に電気的に接続され、これによって各電子部品はその各々が配線導体層５ａ等を介して互いに電気的に接続されるとともに外部電気回路に接続されることとなる。
【００５９】
なお本発明は上述の実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。
【００６０】
【発明の効果】
本発明の配線基板の製造方法によれば、絶縁基体を形成するためのセラミックグリーンシートを感光性樹脂組成物にセラミック粉末を添加分散させて感光性となしたことからセラミックグリーンシートの所定位置に光を照射し所定領域の感光性樹脂組成物を光硬化させるとともに未硬化の領域の感光性樹脂組成物を現像により除去することによってスルーホールを極めて簡単に、かつ直径が６０μｍ以下の小さな径に形成することができ、これによってスルーホール内に形成されるスルーホール導体層もその直径を６０μｍ以下の小さいものとしてスルーホール導体層を高密度に形成することが可能となる。
【００６１】
また、本発明の配線基板の製造方法によれば、上下に重ねられる光硬化セラミックシートのうち、下部側に配される光硬化セラミックシートの上面に配線用導体層を、上部側に配される光硬化セラミックシートの下面に溝部を各々形成したことから上下に重ね合わせる時、下部側に配される光硬化セラミックシート上面の配線導体層が、上部側に配される光硬化セラミックシート下面の溝部に嵌合して上下の光硬化セラミックシートが密着し、その結果、上下の光硬化セラミックシート間に配線導体層となる導電ペーストの厚みに起因して隙間が形成されることはなく、得られる絶縁基体も剥離やフクレ等の発生が有効に防止され、配線導体層等の導通を確実となすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の配線基板の製造方法を説明するための工程毎の断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１・・・・感光性セラミックグリーンシート
１ａ・・・光硬化セラミックシート
１ｂ・・・補助光硬化セラミックシート
１ｃ・・・積層光硬化セラミックシート
１ｄ・・・絶縁基体
３・・・・スルーホール
４・・・・溝部
４ａ・・・貫通穴
５・・・・配線用導体層
５ａ・・・配線導体層
６・・・・スルーホール用導体層
６ａ・・・スルーホール導体層[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a wiring board on which electronic components such as a semiconductor element, a capacitance element, and a resistor are mounted.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a wiring board on which electronic components such as a semiconductor element, a capacitor element, and a resistor are mounted has a wiring conductor made of a refractory metal material such as tungsten or molybdenum on the inside and surface of an insulating base made of an aluminum oxide sintered body. Layers, through-hole conductor layers, power supply conductor layers, and ground conductor layers. Electronic components such as semiconductor elements, capacitors, resistors, etc. are mounted on the surface of the insulating base and the electrodes of each electronic component Are electrically connected to a wiring conductor layer or the like.
[0003]
Such a wiring board is generally manufactured by employing a ceramic laminating technique and a thick film forming technique such as screen printing, and is specifically manufactured by the following method.
[0004]
That is,
(1) First, aluminum oxide (Al ₂ O ₃ ), Silicon oxide (SiO ₂ ), Magnesium oxide (MgO), calcium oxide (CaO), and the like, and an organic solvent and a solvent are added to and mixed with ceramic raw material powder to form a slurry, which is then formed by a well-known doctor blade method, calender roll method, or the like. A plurality of ceramic green sheets (ceramic green sheets) are obtained by forming a sheet. Then, a metal punch pin is pressed from the upper surface side to the lower surface side of each ceramic green sheet, and a through hole penetrating in a thickness direction is formed at a predetermined position of each ceramic green sheet.
[0005]
(2) Next, a conductive paste obtained by adding and mixing an organic solvent and a solvent to tungsten or molybdenum powder is printed and applied in a predetermined pattern on the surface of the ceramic green sheet and in the through holes by a screen printing method.
[0006]
(3) Finally, the ceramic green sheets on which the conductive paste is printed and applied are laminated one on top of the other and fired at a temperature of about 1600 ° C. in a reducing atmosphere to evaporate and remove the organic solvent and the solvent. By sintering and integrating the conductive paste, a wiring substrate having a predetermined pattern of wiring conductor layers inside and on the surface of the insulating base is completed.
[0007]
However, in this conventional wiring board, a through-hole for forming a through-hole conductor layer is formed by pressing a metal punching pin from the upper surface side to the lower surface side of the ceramic green sheet. Cannot be less than 80 μm in diameter due to the mechanical strength, and as a result, the diameter of the through-hole formed by using the punched pin and the through-hole conductor layer formed in the through-hole becomes 80 μm or more. However, there is a disadvantage that the through-hole conductor layer cannot be formed at a high density.
[0008]
Therefore, in order to eliminate the above-mentioned disadvantage, the ceramic green sheet is made photosensitive, and a predetermined area is irradiated with light to be light-cured and the uncured area is removed by development. It has been proposed to form through holes as fine as possible (see JP-A-6-305814).
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, when a wiring board is manufactured using a photosensitive ceramic green sheet, the photocured ceramic sheet has an organic resin having a network structure inside and on the surface, and the network organic resin has the structure. Since it is hardly deformed, the ceramic sheet after light curing is also hardly deformed. Therefore, when the photo-cured ceramic sheets on which the conductive paste to be the wiring conductor layer is printed and applied on the upper surface are vertically stacked, due to the thickness of the conductive paste to be the wiring conductor layer between the upper and lower photo-cured ceramic sheets. A gap is formed, and the insulating base obtained by the gap causes peeling, blistering, and the like, and has a defect that the peeling or the like causes disconnection in the wiring conductor layer and the like.
[0010]
The present invention has been devised in view of the above-mentioned drawbacks, and its object is to form a through-hole conductor layer at a high density, to effectively prevent the insulating substrate from peeling, blistering, etc. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a wiring board in which conduction of a conductor layer or the like is ensured.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The method of manufacturing a wiring board according to the present invention includes:
(1) a step of preparing a plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, and a conductive paste obtained by adding an organic solvent to metal powder;
(2) A plurality of light-cured ceramic sheets having through holes penetrating in a thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. And forming a plurality of auxiliary light-cured ceramic sheets having through holes of a predetermined pattern,
(3) forming a laminated photo-cured ceramic sheet having the predetermined pattern of grooves formed on the lower surface by attaching the auxiliary light-cured ceramic sheet to the lower surface of the photo-cured ceramic sheet;
(4) forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface and in the through-holes of the laminated photo-cured ceramic sheet using the conductive paste;
(5) A wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower laminated photocurable ceramic sheet and a groove formed on the lower surface of the upper laminated photocurable ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating substrate made of ceramic.
[0012]
Further, the method for manufacturing a wiring board of the present invention includes:
(1) a step of preparing a plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, and a conductive paste obtained by adding an organic solvent to metal powder;
(2) A plurality of photo-cured ceramic sheets having through holes penetrating in the thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. Forming,
(3) forming a groove of a predetermined pattern by pressing a metal mask of a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet;
(4) using the conductive paste, forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface of the photocurable ceramic sheet and in the through-holes;
(5) The plurality of light-cured ceramic sheets are fitted with the wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower light-cured ceramic sheet and the groove formed on the lower surface of the upper light-cured ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating base made of ceramic.
[0013]
Further, the method for manufacturing a wiring board of the present invention includes:
(1) a step of preparing a plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, and a conductive paste obtained by adding an organic solvent to metal powder;
(2) A plurality of light-cured ceramic sheets having through holes penetrating in a thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. Forming a;
(3) forming a groove of a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet by laser processing;
(4) using the conductive paste, forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface of the photocurable ceramic sheet and in the through-holes;
(5) The plurality of light-cured ceramic sheets are fitted with the wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower light-cured ceramic sheet and the groove formed on the lower surface of the upper light-cured ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating base made of ceramic.
[0014]
Further, the method for manufacturing a wiring board of the present invention includes:
(1) A plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, a ceramic paste in which ceramic powder is dispersed in an organic resin composition, and a conductive paste in which an organic solvent is added to metal powder And a step of producing
(2) A plurality of light-cured ceramic sheets having through holes penetrating in a thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. Forming a;
(3) A photosensitive resist film is placed on the lower surface of the photocurable ceramic sheet, and a predetermined position is irradiated with light to cure the predetermined region with light, and the uncured region is removed by development to form a through hole of a predetermined pattern. Forming a resist film having
(4) filling the through-hole of the resist film with the ceramic paste and then removing the resist film to form a groove of a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet;
(5) using the conductive paste, forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface of the photocurable ceramic sheet and in the through-holes;
(6) The plurality of light-cured ceramic sheets are fitted with the wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower light-cured ceramic sheet and the groove formed on the lower surface of the upper light-cured ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating base made of ceramic.
[0015]
According to the method of manufacturing a wiring board of the present invention, a ceramic green sheet for forming an insulating substrate is made photosensitive by adding and dispersing ceramic powder to a photosensitive resin composition, so that the ceramic green sheet is formed at a predetermined position on the ceramic green sheet. By irradiating light to light cure the photosensitive resin composition in a predetermined area and removing the photosensitive resin composition in an uncured area by development, the through hole is extremely easily formed, and the diameter is reduced to a small diameter of 60 μm or less. This allows the through-hole conductor layer formed in the through-hole to have a small diameter of 60 μm or less, thereby forming the through-hole conductor layer at a high density.
[0016]
According to the method of manufacturing a wiring board of the present invention, among the photocurable ceramic sheets stacked vertically, the wiring conductor layer is disposed on the upper surface of the photocurable ceramic sheet disposed on the lower side, and is disposed on the upper side. When the grooves are formed on the lower surface of the light-cured ceramic sheet, the wiring conductor layer on the upper surface of the light-cured ceramic sheet disposed on the lower side is overlapped with the grooves on the lower surface of the light-cured ceramic sheet disposed on the upper side when the layers are vertically stacked. The upper and lower light-cured ceramic sheets adhere to each other, and as a result, no gap is formed between the upper and lower light-cured ceramic sheets due to the thickness of the conductive paste serving as the wiring conductor layer. The insulating substrate is also effectively prevented from peeling or blistering, and the conduction of the wiring conductor layer and the like can be ensured.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, a method for manufacturing a wiring board according to the present invention will be described based on an embodiment shown in FIGS.
[0018]
First, as shown in FIG. 1A, a plurality of photosensitive ceramic green sheets 1 are formed.
The photosensitive ceramic green sheet 1 is obtained by adding a photosensitive resin composition comprising a photoreactive compound, a photopolymerization initiator, a photopolymerization accelerator and, if necessary, an organic binder, an ultraviolet absorber, a thermal polymerization inhibitor, The photosensitive slurry is formed by mixing a non-photosensitive polymer or the like to form a photosensitive slurry, and forming the photosensitive slurry into a sheet by a doctor blade method, a calendar roll method, or the like.
[0019]
As the ceramic powder used for forming the photosensitive ceramic green sheet 1, glass ceramic powder, aluminum oxide powder, mullite powder, aluminum nitride powder, crystallized glass powder and the like are used. For example, glass ceramic powder is used. In this case, 10.8% by weight of magnesium oxide (MgO) and aluminum oxide (Al ₂ O ₃ 28.0% by weight, silicon oxide (SiO ₂ 43.8% by weight, zinc oxide (ZnO) 7.1% by weight, the balance being boron (B ₂ O ₃ ) To 80% by weight of a glass component composed of silicon oxide (SiO 2). ₂ ) A powder containing 20% by weight is preferably used.
[0020]
The photoreactive compound used for forming the photosensitive ceramic green sheet 1 is an acrylic or methacrylic monomer or oligomer having a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond. By making the ceramic green sheet 1 insoluble in a developing solution described later, the ceramic green sheet 1 has an effect of enabling formation of a through hole by a photolithography method. For example, 1,6 hexanediol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, trimethylol Propane triacrylate, 2- (2-ethoxyethoxy) ethyl acrylate, stearyl acrylate, tetrahydrfurfuryl acrylate, lauryl acrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acryle , Tridecyl acrylate, caprolactone acrylate, ethoxylated nonylphenyl acrylate, zinc diacrylate, 1,3 butanediol diacrylate, 1.4 butanediol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, Triethylene glycol diacrylate, ethoxylated bisphenol A diacrylate, propicylated neopentyl glycol acrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate triacrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, propoxylated trimethylol Propane triacrylate, proxy glyceryl triacryle G, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol hydroxypentaacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, pentaacrylate ester, and the above acrylates are replaced with methacrylates. One or more of these are mixed. Can be used.
[0021]
Further, the photopolymerization initiator used when forming the photosensitive ceramic green sheet 1 has a function of generating a radical by light energy such as ultraviolet light, and causing the photoreactive compound to start a photocuring reaction by the radical, For example, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenylketone, dibenzyl Ketone, fluorenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2 dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methyl Thioxanthone, 2- Lorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl, benzyldimethylketanol, benzyl-methoxyethylacetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloro Anthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone 2-phenyl-1,2-butadione-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxycarbo) Nil) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [ 4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobityronitrile, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl- Ketone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,4-diethylthioxanthone, 2,2 dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, diphenyl disulfide, benzo Thiazole disulfide, trif Nylphorphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide, and a combination of a photoreducing dye such as eosin and methylene blue and a reducing agent such as ascorbic acid and triethanolamine. One or more of the compounds can be used.
[0022]
Further, the photopolymerization accelerator used when forming the photosensitive ceramic green sheet 1 has an action of accelerating the photocuring reaction of the photoreactive compound, for example, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, 4-dimethylaminoethylbenzoate. And one or more of these can be used.
[0023]
The organic binder used to form the photosensitive ceramic green sheet 1 has a function of binding to ceramic powder and dispersing the same in an organic solvent, and isobutyl methacrylate (i-BMA) and acrylic acid or methacrylic acid are used. Can be used.
[0024]
The ultraviolet absorber used when forming the photosensitive ceramic green sheet 1 is unnecessary because ultraviolet rays emitted to cause a photo-curing reaction are scattered by ceramic powder inside the photosensitive ceramic green sheet 1. It does not act to prevent the photocuring up to the part, for example, deteriorating the precision of the formation of through holes, and uses one or more of benzotriazole-based, benzophenone-based, and binderdamine-based compounds be able to.
[0025]
Further, the thermal polymerization inhibitor used when forming the photosensitive ceramic green sheet 1 has a property of absorbing free radicals, and the photosensitive resin composition of the photosensitive resin green sheet 1 is weakened by weak thermal energy applied from the environment. A small amount of free radicals are generated from a part, and the free radicals prevent the photoreactive compound from being partially polymerized and hardly dissolved in the developer, thereby preventing the formation of through holes by photolithography. Acting, for example, quinone, hydroquinone, methylhydroquinone, nitrosoaluminum salt, hydroquinone monomethyl ether, 2,6-t-butyl-p-cresol, 2,3-dimethyl-6-t-butylphenol; One or more kinds can be used.
[0026]
In addition, the non-photosensitive polymer used in forming the photosensitive ceramic green sheet 1 complements the action of the photoreactive compound and assists in forming the ceramic powder into a sheet. Copolymers, methacrylic acid ester copolymers, resins such as acrylic acid ester-methacrylic acid ester copolymers and the like, in which a resin obtained by substituting a resin with a carboxylic acid, include, for example, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, and methacrylic acid. N-butyl acrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, lauryl methacrylate, tridecyl methacrylate, stearyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, isobonyl methacrylate, glycidyl methacrylate, methacrylyl Tetrahydrofurfuryl, allyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-ethoxyethyl methacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, dimethacrylic acid 1 1,3-butylene glycol, 1,6-hexanediol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, 2-methacryloyloxyethyl succinate, 2-methacryloyloxyethyl maleate, 2-methacryloyloxyethyl phthalate , 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalate, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl methacrylate, trifur methacrylate Roethyl, heptadecafluorodecyl methacrylate and copolymers of these organic acids replaced with acrylic acid, and the substituted carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, and fumaric acid. , Vinyl acids and their anhydrides are used.
[0027]
Next, a photomask pattern 2 is formed on the upper surface of the photosensitive ceramic green sheet 1 as shown in FIG.
[0028]
The photomask pattern 2 is formed on the upper surface of the photosensitive ceramic green sheet 1 by employing a photolithography technique capable of fine processing, and the shape thereof corresponds to the shape of the through hole to be formed. .
[0029]
Next, the photosensitive ceramic green sheet 1 on which the photomask pattern 2 is adhered on the upper surface is, for example, about 300 mj / cm from the photomask pattern 2 side. ² UV light is applied to a portion where the photomask pattern 2 is not present, and the photosensitive resin composition in the region where the UV light is irradiated is photopolymerized to be photo-cured. By removing the covered area not irradiated with ultraviolet rays, that is, the uncured area by development, a photocured ceramic sheet 1a having a through hole 3 formed at a predetermined position is obtained as shown in FIG. 1 (c). .
[0030]
When the photosensitive ceramic green sheet 1 is irradiated with light such as ultraviolet rays to form a photo-cured ceramic sheet 1a having through holes 3, the photomask pattern 2 is formed by employing a photolithography technique capable of fine processing. Therefore, the diameter of the through hole 3 can be reduced to a small diameter of 60 μm or less. At the same time, the formation of the through hole 3 is performed by irradiating light such as ultraviolet rays through a photomask pattern, and an uncured region is removed by development. It can be done with a very simple task of doing.
[0031]
As the developer for removing the uncured photosensitive resin composition for forming the through hole 3, for example, a solution of an organic alkali such as triethanolamine is used, and an organic alkali such as triethanolamine is used. The solution consisting of is deprived of hydrogen ions from the carboxyl groups of the organic binder in the uncured photosensitive ceramic green sheet 1 and ionized, so that the carboxyl groups are rendered water-soluble and dissolved in a developing solution or washing water.
[0032]
When the photocurable ceramic sheet 1a having the through holes 3 is formed, if the average particle size of the ceramic powder contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is set to about 2 μm (D50 by the microtrack method), Light transmission is good and light curing can be performed uniformly. Therefore, it is preferable that the average particle size of the ceramic powder of the photosensitive ceramic green sheet 1 is about 2 μm.
[0033]
When the photoreactive compound contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is added in an amount of 5 to 12 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, the through holes 3 are formed in the photosensitive ceramic green sheet 1. It becomes easy to form uniformly in the thickness direction. Therefore, the amount of the photoreactive compound contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is preferably set to 5 to 12 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
[0034]
When the photopolymerization initiator contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is added in an amount of 0.5 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, the photo-curing reaction is prevented. It can be started uniformly in the sheet 1. Therefore, the amount of the photopolymerization initiator contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is preferably set to 0.5 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
[0035]
When the photopolymerization accelerator contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is added in an amount of 2 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, the photopolymerization accelerator is uniformly dispersed in the photosensitive ceramic green sheet 1. The curing reaction can be accelerated. Therefore, the amount of the photopolymerization accelerator contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is preferably set to 2 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
[0036]
When the organic binder contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is added in an amount of 10 to 25 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, the ceramic powder can be uniformly dispersed in the organic solvent. It is easy and does not easily decompose during the subsequent firing and remains in the insulating substrate made of ceramic. Therefore, the organic binder contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is preferably added in an amount of 10 to 25 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
[0037]
When the amount of the ultraviolet absorber contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is set to 0.01 to 2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, the ultraviolet absorber is effectively prevented from excessively absorbing ultraviolet rays. It absorbs and can suppress the photocuring of an unnecessary part. Therefore, it is preferable that the amount of the ultraviolet absorber contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is 0.01 to 2 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
[0038]
When the thermal polymerization inhibitor contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is in the range of 0.1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, a small amount of free radicals generated by thermal energy can be effectively removed. The through-hole 3 can be accurately formed at any position without hindering the photocuring reaction. Therefore, it is preferable that the amount of the thermal polymerization inhibitor contained in the photosensitive ceramic green sheet 1 is set in the range of 0.1 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
[0039]
When the thickness of the photosensitive ceramic green sheet 1 is less than 10 μm, the mechanical strength is weak, the sheet is easily broken, and handling becomes difficult. When the thickness exceeds 60 μm, ultraviolet rays irradiated for photocuring are used. Such light may hardly reach the lower surface side of the photosensitive ceramic green sheet 1, and the resolution of the formation of the through hole 3 may be reduced. Therefore, it is preferable that the photosensitive ceramic green sheet 1 has a thickness in the range of 10 to 60 μm.
[0040]
Next, as shown in FIG. 1D, an auxiliary light-curable ceramic sheet 1b having through holes 4a of a predetermined pattern is formed.
[0041]
The auxiliary light-cured ceramic sheet 1b is, like the light-cured ceramic sheet 1a, first formed with a photomask pattern on the upper surface of the photosensitive ceramic green sheet and a mask such as a metal mask having a pattern of through holes to be formed. A photosensitive ceramic green sheet having a photomask pattern adhered to the upper surface is formed on the upper surface of the photosensitive ceramic green sheet from the photomask pattern 2 side by, for example, about 300 mj / cm. ² UV light is applied to a portion where the photomask pattern 2 is not present, and the photosensitive resin composition in the region where the UV light is irradiated is photopolymerized to be photo-cured. The covered area not irradiated with ultraviolet rays, that is, the uncured area is removed by development to form a predetermined pattern.
[0042]
The auxiliary light-cured ceramic sheet 1b functions as a member for forming a groove on the lower surface of the light-cured ceramic sheet 1, and has a thickness substantially equal to the depth of the groove to be formed.
[0043]
Next, the auxiliary light-cured ceramic sheet 1b is attached to the lower surface of the light-cured ceramic sheet 1a by a method such as thermocompression bonding, as shown in FIG. Is formed.
[0044]
The groove 4 functions to fit and accommodate a wiring conductor layer formed on the upper surface of the laminated photocurable ceramic sheet 1c located below when the laminated photocurable ceramic sheet 1c described later is vertically stacked. The shape and depth of the pattern are the same as those of the wiring conductor layer formed on the upper surface of the laminated photocured ceramic sheet 1c located at the lower part.
[0045]
Then, as shown in FIG. 1 (f), the upper surface of the laminated photocurable ceramic sheet 1c having the through holes 3 and the inside of the through holes 3 are filled with a conductive paste, and a predetermined thickness of the wiring conductor layer 5 and the through holes 3 are formed. The conductor layer 6 for a hole is formed.
[0046]
The conductive paste may be a metal powder having an average particle size of 5 μm or less made of gold, silver, platinum, palladium, copper, nickel, molybdenum, tungsten, or an alloy containing any of these, or dibutyl phthalate. It is prepared by adding and kneading an organic solvent such as an ester type such as (DBP), an alcohol type such as α-terpineol, or an aromatic type such as toluene, and a solvent.
[0047]
The wiring conductor layer 5 and the through-hole conductor layer 6 are formed by first depositing a photosensitive resist film on the upper surface of the laminated photocurable ceramic sheet 1c, and then placing a metal mask on a predetermined position of the photosensitive resist film. Irradiate light through the like, to cure the predetermined region with light and remove the uncured region by development to form a resist film having a through hole of a predetermined pattern, and finally apply a conductive paste in the through hole of the resist film. By filling and removing the resist film, a predetermined pattern is formed on the upper surface of the laminated photocurable ceramic sheet 1c and in the through hole 3.
[0048]
In this case, if the same metal mask as that used when forming the above-described groove portion 4 is used, a resist film having a through hole having the same pattern as that of the groove portion 4 is formed. The wiring conductor layer 5 can be easily formed in the same pattern as the wiring pattern 4.
[0049]
The groove 4 is formed by a metal mask 7 having a pattern of the groove 4 to be formed as shown in FIG. 2 instead of the method of attaching the auxiliary light-curable ceramic sheet 1b to the lower surface of the light-cured ceramic sheet 1a. And the metal mask 7 can be formed by positioning and pressing the metal mask 7 on the lower surface of the photocurable ceramic sheet 1a.
[0050]
In this case, a photosensitive resist film is applied on the upper surface of the photocurable ceramic sheet 1a, and light is irradiated to the photosensitive resist film through the metal mask 7 to form a through-hole having the same pattern as the groove 4. Since the conductive paste is printed and filled in the through holes, the conductor layers 5 for wiring and the conductor layers 6 for through holes having a predetermined pattern corresponding to the grooves 4 can be easily formed.
[0051]
As shown in FIG. 3, the groove 4 is provided on the lower surface of the photocurable ceramic sheet 1a with a laser beam such as a YAG (yttrium aluminum garnet) laser or an Ar (argon) ion laser at a predetermined laser power of, for example, about 4 W. It can also be formed by a laser processing method in which a scanning pattern is irradiated and etched.
[0052]
Further, as shown in FIG. 4, a resist film 8 is applied in a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet 1a, and a ceramic paste 9 is screened in a region where the resist film 8 is not applied, as shown in FIG. It can also be formed by applying a printing method or the like and removing the resist film.
[0053]
The ceramic paste 9 acts as a wall member for forming the groove portion 4 and, for example, an acrylic or polyvinyl butyral (such as polyacrylate) is added to the same ceramic powder as used for forming the photosensitive ceramic green sheet 1a. An organic resin composition containing a polymer binder such as PVB) and an organic solvent such as acetone and toluene as main components, and optionally adding a plasticizer such as dibutyl phthalate (DBP) is added and kneaded. It is produced by forming a paste.
[0054]
The resist film 8 is formed, for example, by first depositing a photosensitive resist film on the lower surface of the photocurable ceramic sheet 1a, and then irradiating a predetermined position of the photosensitive resist film with light through a metal mask or the like. Then, the predetermined region is photo-cured and the uncured region is removed by development, whereby a predetermined pattern can be formed on the lower surface of the photo-cured ceramic sheet 1a.
[0055]
Also in this case, a photosensitive resist film is adhered on the upper surface of the photocurable ceramic sheet 1a and irradiated with light through the metal mask 8 used for forming the resist film 8, so that the same pattern as the groove 4 is formed. Since the holes can be formed, the conductor layers 5 for wiring and the conductor layers 6 for through holes can be easily formed in predetermined patterns corresponding to the grooves 4.
[0056]
Finally, the plurality of laminated photocurable ceramic sheets 1c having the wiring conductor layer 5, the through-hole conductor layer 6, and the groove 4 are combined with the groove 4 of the laminated photocurable ceramic sheet 1c located at the upper part, and the lower part. Is laminated and fired in such a manner that the wiring conductor layer 5 of the laminated photocured ceramic sheet 1c located at the position shown in FIG. A wiring board as a product having the wiring conductor layer 5a and the through-hole conductor layer 6a inside and on the surface of the insulating base 1d made of is completed.
[0057]
In this case, the wiring conductor layer 5 formed on the upper surface of the lower laminated photocurable ceramic sheet 1c is fitted and accommodated in the groove 4 formed on the lower surface of the upper laminated photocurable ceramic sheet 1c. Therefore, the wiring conductor layer 5 and the inner wall surface of the groove 4 can be brought into close contact with each other, and the upper and lower laminated photo-cured ceramic sheets 1c can be brought into close contact with each other. No gap is formed in the insulating substrate 1d, and the resulting insulating substrate 1d is also effectively prevented from peeling or blistering, so that conduction between the adjacent wiring conductor layers 5a and between the wiring conductor layer 5a and the through-hole conductor layer 6a are prevented. Can be ensured.
[0058]
In the wiring board thus obtained, electronic components such as semiconductor elements, capacitance elements, and resistors are mounted on the upper surface of the insulating base 1d, and the electrodes of each electronic component are electrically connected to the wiring conductor layer 5a and the like. Accordingly, each of the electronic components is electrically connected to each other via the wiring conductor layer 5a and the like, and is connected to an external electric circuit.
[0059]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
[0060]
【The invention's effect】
According to the method of manufacturing a wiring board of the present invention, a ceramic green sheet for forming an insulating substrate is made photosensitive by adding and dispersing ceramic powder to a photosensitive resin composition, so that the ceramic green sheet is formed at a predetermined position on the ceramic green sheet. By irradiating light to light cure the photosensitive resin composition in a predetermined area and removing the photosensitive resin composition in an uncured area by development, the through hole is extremely easily formed, and the diameter is reduced to a small diameter of 60 μm or less. This allows the through-hole conductor layer formed in the through-hole to have a small diameter of 60 μm or less, thereby forming the through-hole conductor layer at a high density.
[0061]
According to the method of manufacturing a wiring board of the present invention, among the photocurable ceramic sheets stacked vertically, the wiring conductor layer is disposed on the upper surface of the photocurable ceramic sheet disposed on the lower side, and is disposed on the upper side. When the grooves are formed on the lower surface of the light-cured ceramic sheet, the wiring conductor layer on the upper surface of the light-cured ceramic sheet disposed on the lower side is overlapped with the grooves on the lower surface of the light-cured ceramic sheet disposed on the upper side when the layers are vertically stacked. The upper and lower light-cured ceramic sheets adhere to each other, and as a result, no gap is formed between the upper and lower light-cured ceramic sheets due to the thickness of the conductive paste serving as the wiring conductor layer. The insulating substrate is also effectively prevented from peeling or blistering, and the conduction of the wiring conductor layer and the like can be ensured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of each process for explaining a method of manufacturing a wiring board according to the present invention.
FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 .... Photosensitive ceramic green sheet
1a: Light-cured ceramic sheet
1b: Auxiliary light-cured ceramic sheet
1c ... Laminated photo-cured ceramic sheet
1d ... insulating substrate
3 ··· Through hole
4 ... groove
4a: Through hole
5 ···· Conductor layer for wiring
5a: Wiring conductor layer
6 Conductor layer for through hole
6a: Through-hole conductor layer

Claims

(1) a step of preparing a plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, and a conductive paste obtained by adding an organic solvent to metal powder;
(2) A plurality of light-cured ceramic sheets having through holes penetrating in a thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. And forming a plurality of auxiliary light-cured ceramic sheets having through holes of a predetermined pattern,
(3) forming a laminated photo-cured ceramic sheet having the predetermined pattern of grooves formed on the lower surface by attaching the auxiliary light-cured ceramic sheet to the lower surface of the photo-cured ceramic sheet;
(4) forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface and in the through-holes of the laminated photo-cured ceramic sheet using the conductive paste;
(5) A wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower laminated photocurable ceramic sheet and a groove formed on the lower surface of the upper laminated photocurable ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating substrate made of ceramic by stacking and firing so as to fit each other.

(1) a step of preparing a plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, and a conductive paste obtained by adding an organic solvent to metal powder;
(2) A plurality of photo-cured ceramic sheets having through holes penetrating in the thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. Forming,
(3) forming a groove of a predetermined pattern by pressing a metal mask of a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet;
(4) using the conductive paste, forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface of the photocurable ceramic sheet and in the through-holes;
(5) The plurality of light-cured ceramic sheets are fitted with the wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower light-cured ceramic sheet and the groove formed on the lower surface of the upper light-cured ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating substrate made of ceramic.

(1) a step of preparing a plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, and a conductive paste obtained by adding an organic solvent to metal powder;
(2) A plurality of light-cured ceramic sheets having through holes penetrating in a thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. Forming a;
(3) forming a groove of a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet by laser processing;
(4) using the conductive paste, forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface of the photocurable ceramic sheet and in the through-holes;
(5) The plurality of light-cured ceramic sheets are fitted with the wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower light-cured ceramic sheet and the groove formed on the lower surface of the upper light-cured ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating substrate made of ceramic.

(1) A plurality of photosensitive ceramic green sheets in which ceramic powder is dispersed in a photosensitive resin composition, a ceramic paste in which ceramic powder is dispersed in an organic resin composition, and a conductive paste in which an organic solvent is added to metal powder And a step of producing
(2) A plurality of light-cured ceramic sheets having through holes penetrating in a thickness direction by irradiating light to a predetermined area of the photosensitive ceramic green sheet and photo-curing and developing the photosensitive resin composition in the predetermined area. Forming a;
(3) A photosensitive resist film is placed on the lower surface of the photocurable ceramic sheet, and a predetermined position is irradiated with light to cure the predetermined region with light, and the uncured region is removed by development to form a through hole of a predetermined pattern. Forming a resist film having
(4) filling the through-hole of the resist film with the ceramic paste and then removing the resist film to form a groove of a predetermined pattern on the lower surface of the photocurable ceramic sheet;
(5) using the conductive paste, forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer in a predetermined pattern on the upper surface of the photocurable ceramic sheet and in the through-holes;
(6) The plurality of light-cured ceramic sheets are fitted with the wiring conductor layer formed on the upper surface of the lower light-cured ceramic sheet and the groove formed on the lower surface of the upper light-cured ceramic sheet. Forming a wiring conductor layer and a through-hole conductor layer inside and on the surface of an insulating substrate made of ceramic.