JP3582425B2 - 成膜方法、成膜装置および複合成膜装置 - Google Patents
成膜方法、成膜装置および複合成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3582425B2 JP3582425B2 JP31016799A JP31016799A JP3582425B2 JP 3582425 B2 JP3582425 B2 JP 3582425B2 JP 31016799 A JP31016799 A JP 31016799A JP 31016799 A JP31016799 A JP 31016799A JP 3582425 B2 JP3582425 B2 JP 3582425B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film forming
- film
- adapter
- reaction chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、スパッタ装置やCVD装置等における成膜方法、成膜装置および複合成膜装置に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】
従来の成膜装置、例えば、スパッタ装置では、ステージ上に載置された基板の上面に膜を成膜していた。そのため、基板の被成膜面や成膜面上にダスト等の異物が付着しやすいという欠点があり、異物の付着によって膜に欠陥が生じるおそれがあった。また、基板搬送工程においても基板の成膜面を上方にして搬送を行っていたので、同様の問題があった。
【0003】
本発明の目的は、基板の成膜面上への異物の付着を防止して、高品質な膜を形成することができる成膜方法、成膜装置および複合成膜装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
発明の実施の形態を示す図1、図3、図4および図5に対応付けて説明する。
(1)図3に対応付けて説明すると、請求項1の発明の成膜方法では、基板Sを装着した基板アダプタ2を吊り下げることによって基板Sの被成膜面Pを略鉛直下向きにし、基板Sの被成膜面Pを略鉛直下向きに保持した状態で基板アダプタ2を反応室1の固定部材1aに当接させ、被成膜面Pへ成膜を行うことにより上述の目的を達成する。
(2)図1および図3に対応付けて説明すると、請求項2の発明の成膜装置は、反応室内1で基板Sの被成膜面Pに成膜を行う成膜装置において、基板Sの被成膜面Pが略鉛直下向きとなった状態で基板Sを装着する基板アダプタ2を反応室1で保持する保持手段2,20と、保持手段2,20で保持した基板アダプタ2の上面を反応室1の固定部材1aに当接する当接手段1a,2と、基板アダプタ2を当接手段1a,2で固定部材1aに当接した状態で被成膜面Pに成膜を行う成膜手段1,3〜8,10,14とを有することにより上述の目的を達成する。
(3)図1、図4および図5に対応付けて説明すると、請求項3の発明の複合成膜装置は、請求項2に記載の少なくとも二つの成膜装置と、成膜装置間において、基板Sの被成膜面Pを略鉛直下向きに保持した状態で基板Sを装着した基板アダプタ2を搬送する搬送装置51とを有することにより上述の目的を達成する。
【0005】
なお、本発明の構成を説明する上記課題を解決するための手段の項では、本発明を分かり易くするために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本発明が発明の実施の形態に限定されるものではない。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図6を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明による成膜装置の一実施の形態を示す図であり、ECR−CVD装置の概略構成を示す図である。ECR−CVD装置の反応室1内には、基板アダプタ2に固定された状態の基板Sが、被成膜面Pを下向きにして装着されている。なお、基板アダプタ2およびそれを装置へ装着するための機構の詳細は後述する。ECRプラズマ発生部3は、磁場内にマイクロ波電力を供給して電子サイクロトロン共鳴プラズマを発生し、反応室1内にプラズマ流を導入するものである。
【0007】
マイクロ波源4で発生した2.45GHzのマイクロ波を導波管5を介してプラズマ室6に導入すると、プラズマ室6においてマイクロ波放電が発生する。さらに、コイル7,8による磁場によってECR条件の磁束密度875Gを形成すると、電子サイクロトロン共鳴が生じて活性なECRプラズマが発生する。プラズマ室6内に発生したECRプラズマは、プラズマ窓9から発散磁界に沿って上方の反応室1内に移動する。
【0008】
バイアス電源部10においては、バイアス電源11がマッチングユニット12を介して反応室1内の基板アダプタ2に接続されており、反応室1内に配置された基板Sに負のバイアス電圧が印加される。このバイアス電圧は電圧モニタ13により測定される。反応ガス導入部14から反応室1内に導入された反応ガスはECRによる高密度プラズマ内でイオン化され、上記負バイアス電圧によって基板Sの被成膜面P上に成膜される。例えば、DLC膜を成膜する場合には、エチレン(C2H4)、メタン(CH4)、プロパン(C3H8)等が成膜ガスとして反応ガス導入部14から供給される。15は反応室1内の排気を行う排気ポンプであり、16は反応室1内の圧力を測定する圧力計である。なお、装置全体のコントロールや成膜条件の制御は制御部17によって行われる。
【0009】
図2は、基板Sが装着された基板アダプタ2の斜視図である。なお、図2では図の上方を鉛直下方として図示した。基板アダプタ2の下面2aには、基板Sが爪2cおよびボルトBを用いて固定される。基板アダプタ2の上面(基板sが装着される面2aとは反対側の面)には、ヘッド部2bが突設されている。基板Sが装着された基板アダプタ2は、基板S側を鉛直下方状態にして図1の反応室1に搬送される。
【0010】
図3は反応室1に装填された基板Sを示す図であり、基板Sが装着された基板アダプタ2は、基板アダプタ2のヘッド部2bをチャッキング機構20の吊り治具20aに掛けるようにして吊り下げられる。図4に示すように、基板アダプタ2が載置された搬送ロボット21を吊り治具20aに対して矢印R方向に移動させて、吊り治具20aに形成された長孔部201にヘッド部2bの軸202を挿入する。次いで、吊り治具20aを図3のアクチュエータ20b(エアシリンダ等が用いられる)により上方に引き上げると、ヘッド部2bが吊り治具20aに掛かって基板アダプタ2が吊り治具20aに吊り下げられることになる。
【0011】
基板Sが装着された基板アダプタ2を吊り治具20aに吊り下げたならば、吊り治具20aをアクチュエータ20bによりさらに上方に引き上げて、基板アダプタ2の上面を反応室1の上壁1aに当接させる。このようにして、基板Sが装着された基板アダプタ2が反応室1内に固定され、その後に、成膜プロセスが行われる。従来は、基板Sをステージ上に載置するだけであったが、本実施の形態では基板Sが固定された基板アダプタ2をアクチュエータ20bにより上方に引き上げて反応室1の上壁1aに当接させるようにしているので、振動などにより基板Sがずれたりせず確実に固定することができる。
【0012】
図5は複数の成膜装置を一体とした複合成膜装置50の一例を示す図である。図5の複合成膜装置50は例えば磁気ヘッドに保護膜を形成する装置であり、搬送ロボット21が設けられている搬送室51に対して、ロードロック室52,スパッタ装置53、エッチング装置54および図1に示したECR−CVD装置55がゲートバルブ56a〜56dを介して一体に設けられている。ロードロック室52には、基板アダプタ2に装着された状態の基板Sを複数収納した基板カセット57が装填される。図5では、複数の基板Sが紙面前後方向に並べて収納されている。また、基板カセット57内では、基板Sの被成膜面P(図1参照)が鉛直下方を向くように収納される。
【0013】
図6は磁気ヘッド基板60上に形成された保護膜61を示す図であり、保護膜61は保護層であるDLC(Diamondlike Carbon)層61bと密着層であるSi層61aとから成る。成膜手順は以下のようになる。まず、ロードロック室52を大気開放して、基板カセット57をロードロック室52に装填する。このとき、ゲートバルブ56b〜56dは閉じており、搬送室51,スパッタ装置53、エッチング装置54およびECR−CVD装置55はそれぞれ真空排気されている。
【0014】
次に、ロードロック室52を真空排気した後、ゲートバルブ56aを開いて搬送ロボット21により基板カセット57から磁気ヘッド基板60が装着された基板ホルダ2を一つ取り出し、ゲートバルブ56aを閉じた後にゲートバルブ56cを開いてエッチング装置54に装填する。エッチング装置54内でも、基板アダプタ2は図3に示したチャッキング機構20により所定の位置にセットされる。なお、以下の説明では、磁気ヘッド基板60と称したときには基板アダプタ2に装着された状態の磁気ヘッド基板60を指す。
【0015】
その後、ゲートバルブ56cを閉じてエッチングにより磁気ヘッド基板60の表面を洗浄して酸化膜等を除去する。このエッチングも磁気ヘッド基板60の表面を下に向けて行う。エッチングが終了したならば、ゲートバルブ56cを開いて磁気ヘッド基板60をエッチング装置54より取り出し、ゲートバルブ56cを閉じた後にゲートバルブ56bを開いて磁気ヘッド基板60をスパッタ装置53に装填する。スパッタ装置53でも基板アダプタ2は図3に示したチャッキング機構20により所定の位置にセットされ、磁気ヘッド基板60を下向きにした状態でスパッタが行われる。スパッタ装置53では、スパッタ法によりSi層61aを磁気ヘッド基板60上に所定厚さだけ成膜する。
【0016】
次いで、スパッタが終了したならば、ゲートバルブ56bを開いてスパッタ装置53から磁気ヘッド基板60を取り出し、ゲートバルブ56bを閉じた後にゲートバルブ56dを開いて磁気ヘッド基板60をECR−CVD装置55に装填する。上述したように、基板アダプタ2は図3に示すチャッキング機構20によりセットされ、磁気ヘッド基板60を下向きにした状態で下方からECR成膜が行われる。ECR−CVD装置55では、ECR−CVD法によりDLC層61bをSi層61a上に所定厚さだけ成膜する。DLC層61bの成膜が終了したならば、ゲートバルブ56dを開いて磁気ヘッド基板60をECR−CVD装置55から取り出し、ゲートバルブ56dを閉じた後にゲートバルブ56aを開いて磁気ヘッド基板60をロードロック室52の基板カセット57に収納する。
【0017】
このようにして一つの磁気ヘッド基板60について保護膜61の成膜が終了したならば、基板カセット57にセットされた二つ目以降の磁気ヘッド基板60について同様の成膜を行った後、ロードロック室52を大気開放して基板カセット57,58を取り出す。なお、上述した一連の成膜,エッチングおよび搬送工程においては、磁気ヘッド基板60の被成膜面は常に下向きの状態で同一の基板アダプタ2にセットされている。
【0018】
なお、図5では3つの成膜装置53,55,エッチング装置54を共通の搬送室51を介して一体に接続したが、各装置53〜55を共通の搬送室51を介することなく、独立して配置されていても良い。この場合も各装置間で基板アダプタ2により基板の被成膜面を下に向けて搬送する。また、搬送室51にはスパッタ装置53およびECR−CVD装置55のような成膜装置の他に、一連の成膜プロセスにおいて必要となるエッチング装置54も設けられているが、本発明では、このような一連の成膜プロセスに必要な装置も成膜装置とみなして扱う。さらに、搬送室51に接続される装置は3つに限定されない。また、成膜装置53,55で成膜する膜は磁気ヘッド用保護膜以外でも良い。
【0019】
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、反応室1,ECRプラズマ発生部3,マイクロ波源4,導波管5,プラズマ室6,コイル7,8,バイアス電源部10および反応ガス導入部14は成膜手段を構成し、搬送室51は搬送装置を構成する。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、成膜工程や搬送工程において被成膜部材の被成膜面が鉛直下方を向いているため、被成膜面および成膜面に微細な反応生成物やゴミなどが付着するのを防止することができ、品質の高い膜を成膜することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による成膜装置の一実施の形態を示す図であり、ECR−CVD装置の概略構成を示す図である。
【図2】基板Sが装着された基板アダプタ2の斜視図である。
【図3】反応室1に装填された基板Sを示す図である。
【図4】搬送ロボット21による基板アダプタ2の吊り治具20aへの装着を説明する図。
【図5】複数の成膜装置を一体とした複合成膜装置50を示す図である。
【図6】磁気ヘッド基板60上に形成された保護膜61の示す断面図。
【符号の説明】
1 反応室
2 基板アダプタ
2b ヘッド部
2c 爪
20 チャッキング機構
20a 吊り治具
20b アクチュエータ
21 搬送ロボット
P 被成膜面
S 基板
60 磁気ヘッド基板
Claims (3)
- 基板を装着した基板アダプタを吊り下げることによって前記基板の被成膜面を略鉛直下向きにし、
前記基板の被成膜面を略鉛直下向きに保持した状態で前記基板アダプタを反応室の固定部材に当接させ、
前記被成膜面へ成膜を行うことを特徴とする成膜方法。 - 反応室内で基板の被成膜面に成膜を行う成膜装置において、
基板の被成膜面が略鉛直下向きとなった状態で基板を装着する基板アダプタを前記反応室で保持する保持手段と、
前記保持手段で保持した前記基板アダプタの上面を前記反応室の固定部材に当接する当接手段と、
前記基板アダプタを前記当接手段で前記固定部材に当接した状態で前記被成膜面に成膜を行う成膜手段とを有することを特徴とする成膜装置。 - 請求項2に記載の少なくとも二つの成膜装置と、
前記成膜装置間において、前記基板の被成膜面を略鉛直下向きに保持した状態で前記基板を装着した前記基板アダプタを搬送する搬送装置とを有することを特徴とする複合成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31016799A JP3582425B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 成膜方法、成膜装置および複合成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31016799A JP3582425B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 成膜方法、成膜装置および複合成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001131749A JP2001131749A (ja) | 2001-05-15 |
JP3582425B2 true JP3582425B2 (ja) | 2004-10-27 |
Family
ID=18001982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31016799A Expired - Fee Related JP3582425B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | 成膜方法、成膜装置および複合成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3582425B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006190754A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Shimadzu Corp | 成膜装置および複合成膜装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008280617A (ja) * | 2008-07-30 | 2008-11-20 | Shimadzu Corp | 複合成膜装置 |
JP2013251325A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 炭化珪素除去装置及び炭化珪素除去方法 |
TWI757781B (zh) * | 2020-07-06 | 2022-03-11 | 大陸商蘇州雨竹機電有限公司 | 化學氣相沉積反應腔及其基板承載裝置 |
-
1999
- 1999-10-29 JP JP31016799A patent/JP3582425B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006190754A (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Shimadzu Corp | 成膜装置および複合成膜装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001131749A (ja) | 2001-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102330725B1 (ko) | 저압 툴 교체를 허용하는 얇은 필름 캡슐화 프로세싱 시스템 및 프로세스 키트 | |
US7913646B2 (en) | Vacuum processing apparatus and vacuum processing method | |
US5997962A (en) | Plasma process utilizing an electrostatic chuck | |
JP3135189B2 (ja) | リフトオフ法 | |
JP2001207268A (ja) | 成膜装置 | |
JPH1191946A (ja) | 基板支持装置 | |
JPWO2002029877A1 (ja) | 真空処理装置 | |
JP3582425B2 (ja) | 成膜方法、成膜装置および複合成膜装置 | |
JP3909608B2 (ja) | 真空処理装置 | |
EP1138801B1 (en) | Method of forming thin film onto semiconductor substrate | |
JP4493863B2 (ja) | プラズマ処理装置およびそのクリーニング方法および静電チャックの除電方法 | |
US20220389574A1 (en) | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method | |
TW200837808A (en) | Plasma Processing Method | |
JP2000021947A (ja) | 乾式処理装置 | |
US20030074784A1 (en) | Method of forming protective film on magnetic head | |
JP3254482B2 (ja) | プラズマ処理装置及びそのクリーニング方法 | |
JP3115549U (ja) | 複合成膜装置 | |
EP0730266A2 (en) | Apparatus for plasma-processing a disk substrate and method of manufacturing a magnetic disk | |
JP2008280617A (ja) | 複合成膜装置 | |
KR100855879B1 (ko) | 실링부재용 지그 및 실링부재를 삽입하는 방법 | |
JP2006190754A (ja) | 成膜装置および複合成膜装置 | |
JP3153323B2 (ja) | 気密室の常圧復帰装置及びその常圧復帰方法 | |
US20220399210A1 (en) | Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method | |
JP7146017B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US11600295B2 (en) | Vacuum process apparatus and vacuum process method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040706 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040719 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090806 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090806 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100806 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110806 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |